JP2003130819A - 放射線利用検査装置 - Google Patents
放射線利用検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】Ｘ線やγ線の放射方向や照射面積と照射体積を
容易にコントロールすることができ、高い解像度と高い
コントラストの得られる放射線利用検査装置を提供す
る。 【解決手段】被検体３にむけてＸ線またはγ線からなる
放射線ビーム２を放出する放射線源１と、遮光箱内14ａ
に設けられ前記被検体３内で散乱されずに透過した放射
線ビームのみを通過させる回転コリメータ４ａおよびこ
の回転コリメータ４ａを通過した放射線ビームを受けて
発光するシンチレータ10と、このシンチレータ10上の発
光像を撮影するカメラ12とを備えた構成とする。
容易にコントロールすることができ、高い解像度と高い
コントラストの得られる放射線利用検査装置を提供す
る。 【解決手段】被検体３にむけてＸ線またはγ線からなる
放射線ビーム２を放出する放射線源１と、遮光箱内14ａ
に設けられ前記被検体３内で散乱されずに透過した放射
線ビームのみを通過させる回転コリメータ４ａおよびこ
の回転コリメータ４ａを通過した放射線ビームを受けて
発光するシンチレータ10と、このシンチレータ10上の発
光像を撮影するカメラ12とを備えた構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線やγ線によっ
て被検体の内部状態の観察撮像、組成分析、非破壊検査
等をおこなう放射線利用検査装置に関する。
て被検体の内部状態の観察撮像、組成分析、非破壊検査
等をおこなう放射線利用検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種対象物の内部観察等のためにＸ線が
用いられているが、代表的なＸ線発生装置と言えるＸ線
管は、装置構成が簡単で低コストである反面、発生点の
サイズが大きく放出角が広いという短所があり、それに
よって対象物の撮像、診断、分析、照射等に利用する場
合の性能限界が大きく制限されるものとなる。
用いられているが、代表的なＸ線発生装置と言えるＸ線
管は、装置構成が簡単で低コストである反面、発生点の
サイズが大きく放出角が広いという短所があり、それに
よって対象物の撮像、診断、分析、照射等に利用する場
合の性能限界が大きく制限されるものとなる。
【０００３】図20は、Ｘ線透過撮像法における空間分解
能（解像度）とコントラストについての説明を示したも
のである。この図に示すように、Ｘ線発生点のサイズが
小さくなり点光源に近づくことによって撮像の解像度を
向上することができ、その効果のみに着目すれば、電子
ビームを極限サイズにまで集束してターゲットに入射し
てＸ線を発生させるマイクロフォーカスＸ線管を利用す
ることが考えられるが、被検体内部での散乱成分による
コントラストの低下を防止するには至らない。
能（解像度）とコントラストについての説明を示したも
のである。この図に示すように、Ｘ線発生点のサイズが
小さくなり点光源に近づくことによって撮像の解像度を
向上することができ、その効果のみに着目すれば、電子
ビームを極限サイズにまで集束してターゲットに入射し
てＸ線を発生させるマイクロフォーカスＸ線管を利用す
ることが考えられるが、被検体内部での散乱成分による
コントラストの低下を防止するには至らない。
【０００４】また、点光源であることと放射Ｘ線の発散
角が小さいという特徴を備えたＸ線源として電子蓄積リ
ング加速器からの放射光があるが、利用できるＸ線のエ
ネルギーは最大20keV程度までにとどまることと設備コ
ストが膨大となるので汎用的なものとしてしての適用は
困難である。
角が小さいという特徴を備えたＸ線源として電子蓄積リ
ング加速器からの放射光があるが、利用できるＸ線のエ
ネルギーは最大20keV程度までにとどまることと設備コ
ストが膨大となるので汎用的なものとしてしての適用は
困難である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように理想的な
Ｘ線源として汎用的なものは無く、また数10keV以上の
高エネルギーＸ線については反射，屈折作用により自由
にビームを集束，発散させるような光学素子が無いた
め、Ｘ線を利用した撮像装置、照射装置、その他の装置
いずれにおいてもＸ線の放射方向や照射面積・体積を任
意にコントロールする技術は非常に重要なものである。
Ｘ線源として汎用的なものは無く、また数10keV以上の
高エネルギーＸ線については反射，屈折作用により自由
にビームを集束，発散させるような光学素子が無いた
め、Ｘ線を利用した撮像装置、照射装置、その他の装置
いずれにおいてもＸ線の放射方向や照射面積・体積を任
意にコントロールする技術は非常に重要なものである。
【０００６】そこで本発明は、Ｘ線やγ線の放射方向や
照射面積と照射体積を容易にコントロールすることがで
き、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線利
用検査装置を提供することを目的とする。
照射面積と照射体積を容易にコントロールすることがで
き、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線利
用検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明の放射線利用検査装置は、被検体にむ
けてＸ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放
射線源と、遮光箱内に設けられ前記被検体内で散乱され
ずに透過した放射線ビームのみを通過させる回転コリメ
ータおよびこの回転コリメータを通過した放射線ビーム
を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータ上
の発光像を撮影するカメラとを備えた構成とする。
に請求項１の発明の放射線利用検査装置は、被検体にむ
けてＸ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放
射線源と、遮光箱内に設けられ前記被検体内で散乱され
ずに透過した放射線ビームのみを通過させる回転コリメ
ータおよびこの回転コリメータを通過した放射線ビーム
を受けて発光するシンチレータと、このシンチレータ上
の発光像を撮影するカメラとを備えた構成とする。
【０００８】この発明によれば、解像度の低下をもたら
す放射線源の発散成分と、コントラストの低下の要因と
なる散乱成分を取り除くことができる。したがって、Ｘ
線やγ線の放射方向や照射面積と体積を容易にコントロ
ールすることができ、高い解像度と高いコントラストが
得られる。
す放射線源の発散成分と、コントラストの低下の要因と
なる散乱成分を取り除くことができる。したがって、Ｘ
線やγ線の放射方向や照射面積と体積を容易にコントロ
ールすることができ、高い解像度と高いコントラストが
得られる。
【０００９】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、放射線源は、狭い放出領域を有する点状線源であ
り、回転コリメータは延長された中心軸上の１点に集束
する形状の複数のビーム通過孔を有する構成とする。こ
の発明によれば、解像度の低下をもたらす放射線源の発
散成分と、コントラストの低下の要因となる散乱成分を
取り除くことができる。
て、放射線源は、狭い放出領域を有する点状線源であ
り、回転コリメータは延長された中心軸上の１点に集束
する形状の複数のビーム通過孔を有する構成とする。こ
の発明によれば、解像度の低下をもたらす放射線源の発
散成分と、コントラストの低下の要因となる散乱成分を
取り除くことができる。
【００１０】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、回転コリメータは、Ｘ線またはγ線の遮蔽材となる
鉛、タングステンなどの高原子番号の金属、または合金
のブロックを複数等配に分割し、それぞれの分割パーツ
の分割面に複数の溝を１点に集束するように形成し、再
度、元のブロック形状となるように結合して、前記溝に
よってビーム通過孔を形成した構成である構成とする。
この発明によれば、集束、発散、平行など、所期の角度
で放射線ビームの出射方向を定める回転コリメータを提
供することができる。
て、回転コリメータは、Ｘ線またはγ線の遮蔽材となる
鉛、タングステンなどの高原子番号の金属、または合金
のブロックを複数等配に分割し、それぞれの分割パーツ
の分割面に複数の溝を１点に集束するように形成し、再
度、元のブロック形状となるように結合して、前記溝に
よってビーム通過孔を形成した構成である構成とする。
この発明によれば、集束、発散、平行など、所期の角度
で放射線ビームの出射方向を定める回転コリメータを提
供することができる。
【００１１】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、放射線源は広い放出領域を有する面状線源であり、
回転コリメータは中心軸に平行な複数のビーム通過孔を
有する構成とする。
て、放射線源は広い放出領域を有する面状線源であり、
回転コリメータは中心軸に平行な複数のビーム通過孔を
有する構成とする。
【００１２】この発明によれば、面状の放射線放射が得
られる放射線源に対して平行に出射される成分のみを通
過させる回転コリメータにより被検体の透過画像が得ら
れ、より高い強度の放射線ビームを利用した透過撮影を
行うことができる。
られる放射線源に対して平行に出射される成分のみを通
過させる回転コリメータにより被検体の透過画像が得ら
れ、より高い強度の放射線ビームを利用した透過撮影を
行うことができる。
【００１３】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、カメラは遮光箱の外に設けられ、シンチレータの発
光像を前記カメラへ導くファイバー光学系を備えた構成
とする。この発明によれば、撮像ヘッドを構成する遮光
箱を小型化し、カメラで発生する画像ノイズを低減する
ことができる。
て、カメラは遮光箱の外に設けられ、シンチレータの発
光像を前記カメラへ導くファイバー光学系を備えた構成
とする。この発明によれば、撮像ヘッドを構成する遮光
箱を小型化し、カメラで発生する画像ノイズを低減する
ことができる。
【００１４】請求項６の発明は、請求項１の発明におい
て、シンチレータの後に微小径の光ファイバーを束ねて
作られたファイバー光学系を設け、その終端にCCDを直
結して直接画像信号をモニタに映し出すようにした構成
とする。この発明によれば、撮像ヘッドを構成する遮光
箱を小型化し、カメラで発生する画像ノイズを低減する
ことができる。
て、シンチレータの後に微小径の光ファイバーを束ねて
作られたファイバー光学系を設け、その終端にCCDを直
結して直接画像信号をモニタに映し出すようにした構成
とする。この発明によれば、撮像ヘッドを構成する遮光
箱を小型化し、カメラで発生する画像ノイズを低減する
ことができる。
【００１５】請求項７の発明の放射線利用検査装置は、
Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線
源と、前記放射線ビームから細いペンシル状ビームを形
成するコリメータと、前記ペンシル状ビームを被検体に
入射したとき発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過
させる回転コリメータと、この回転コリメータを通過し
たコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータ
と、このシンチレータの発光を検出する光検出器と、前
記固定コリメータと前記回転コリメータと前記シンチレ
ータを収容する遮光箱とを備えた構成とする。この発明
によれば、被検体内部の情報を持ったコンプトン散乱信
号を有効にとらえて被検体内部の任意位置の状態の検査
を行うことができる。
Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線
源と、前記放射線ビームから細いペンシル状ビームを形
成するコリメータと、前記ペンシル状ビームを被検体に
入射したとき発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過
させる回転コリメータと、この回転コリメータを通過し
たコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータ
と、このシンチレータの発光を検出する光検出器と、前
記固定コリメータと前記回転コリメータと前記シンチレ
ータを収容する遮光箱とを備えた構成とする。この発明
によれば、被検体内部の情報を持ったコンプトン散乱信
号を有効にとらえて被検体内部の任意位置の状態の検査
を行うことができる。
【００１６】請求項８の発明の放射線利用検査装置は、
Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線
源と、前記放射線ビームを被検体内の所定の一点に向け
て集束するコリメータと、前記放射線ビームによって被
検体内で発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させ
る回転コリメータと、この回転コリメータを通過したコ
ンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、こ
のシンチレータの発光を検出する光検出器と、前記回転
コリメータとシンチレータを収容する遮光箱とを備えた
構成とする。この発明によれば、より高強度の放射線ビ
ームによるコンプトン散乱信号をとらえて被検体内部の
検査を行うことができる。
Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを放出する放射線
源と、前記放射線ビームを被検体内の所定の一点に向け
て集束するコリメータと、前記放射線ビームによって被
検体内で発生する所定のコンプトン散乱Ｘ線を通過させ
る回転コリメータと、この回転コリメータを通過したコ
ンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシンチレータと、こ
のシンチレータの発光を検出する光検出器と、前記回転
コリメータとシンチレータを収容する遮光箱とを備えた
構成とする。この発明によれば、より高強度の放射線ビ
ームによるコンプトン散乱信号をとらえて被検体内部の
検査を行うことができる。
【００１７】請求項９の発明の放射線利用検査装置は、
Ｘ線またはγ線からなる放射線を放出する被検体に対向
して配置される撮像装置と、この撮像装置から信号を受
けて被検体の放射線画像および可視光画像を表示する画
像処理ユニットとを備え、前記撮像装置は、被検体に対
して斜に向けられた放射線・可視光分割ミラーと、この
分割ミラーの放射線透過側に設けられコリメータとシン
チレータと光検出器を有するコリメータ・検出ユニット
と、前記分割ミラーの可視光反射側に設けられた可視光
画像撮像部とを備えた構成とする。この発明によれば、
放射線を放射する被検体について放射線と可視光の複合
画像を得ることができる。
Ｘ線またはγ線からなる放射線を放出する被検体に対向
して配置される撮像装置と、この撮像装置から信号を受
けて被検体の放射線画像および可視光画像を表示する画
像処理ユニットとを備え、前記撮像装置は、被検体に対
して斜に向けられた放射線・可視光分割ミラーと、この
分割ミラーの放射線透過側に設けられコリメータとシン
チレータと光検出器を有するコリメータ・検出ユニット
と、前記分割ミラーの可視光反射側に設けられた可視光
画像撮像部とを備えた構成とする。この発明によれば、
放射線を放射する被検体について放射線と可視光の複合
画像を得ることができる。
【００１８】請求項10の発明の放射線利用検査装置は、
回転コリメータ，シンチレータ，ファイバー光学系およ
び光検出器を備え被検体から放出されるＸ線またはγ線
からなる放射線を検出する撮像装置と、この撮像装置を
支持し被検体に沿って移動させるマニピュレータと、こ
のマニピュレータの位置を制御するコントローラと、こ
のコントローラおよび前記撮像装置から信号を受けて被
検体の放射線画像を表示する画像処理ユニットとを備え
た構成とする。この発明によれば、放射化された被検体
内部の欠陥の有無やサイズを検知することができる。
回転コリメータ，シンチレータ，ファイバー光学系およ
び光検出器を備え被検体から放出されるＸ線またはγ線
からなる放射線を検出する撮像装置と、この撮像装置を
支持し被検体に沿って移動させるマニピュレータと、こ
のマニピュレータの位置を制御するコントローラと、こ
のコントローラおよび前記撮像装置から信号を受けて被
検体の放射線画像を表示する画像処理ユニットとを備え
た構成とする。この発明によれば、放射化された被検体
内部の欠陥の有無やサイズを検知することができる。
【００１９】請求項11の発明の放射線利用検査装は、Ｘ
線またはγ線からなる放射線ビームを放出する面状線源
と、この面状線源の前面に設けられ前記放射線ビームを
集束する方向にビーム通過孔を設けた回転コリメータと
を備えた複数の線源ユニットを備え、前記複数の線源ユ
ニットは被検体内の同一部分に放射線ビームの集束点有
するように配置された構成とする。この発明によれば、
被検体内の１点に高密度の放射線を照射し高感度の検査
を行うことができる。
線またはγ線からなる放射線ビームを放出する面状線源
と、この面状線源の前面に設けられ前記放射線ビームを
集束する方向にビーム通過孔を設けた回転コリメータと
を備えた複数の線源ユニットを備え、前記複数の線源ユ
ニットは被検体内の同一部分に放射線ビームの集束点有
するように配置された構成とする。この発明によれば、
被検体内の１点に高密度の放射線を照射し高感度の検査
を行うことができる。
【００２０】請求項12の発明の放射線利用検査装は、Ｘ
線またはγ線からなる放射線ビームを放出する面状線源
と、この面状線源の前面に設けられ前記放射線ビームを
集束する方向にビーム通過孔を設けた回転コリメータと
を備えたＸ線源ユニットと、前記集束された放射線ビー
ムから所定の単一エネルギー成分を取り出し被検体表面
に入射させる分光器と、前記被検体表面で発生する蛍光
Ｘ線を検出するエネルギー分別型の検出器と、この検出
器に接続された光子カウンターとを備えた構成とする。
この発明によれば、放射線の散乱成分を除去して被検体
表面からの蛍光Ｘ線だけをとらえて被検体の組成分析を
行うことができる。
線またはγ線からなる放射線ビームを放出する面状線源
と、この面状線源の前面に設けられ前記放射線ビームを
集束する方向にビーム通過孔を設けた回転コリメータと
を備えたＸ線源ユニットと、前記集束された放射線ビー
ムから所定の単一エネルギー成分を取り出し被検体表面
に入射させる分光器と、前記被検体表面で発生する蛍光
Ｘ線を検出するエネルギー分別型の検出器と、この検出
器に接続された光子カウンターとを備えた構成とする。
この発明によれば、放射線の散乱成分を除去して被検体
表面からの蛍光Ｘ線だけをとらえて被検体の組成分析を
行うことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態の放射
線利用検査装置を図１を参照して説明する。すなわち、
本実施の形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と撮像
装置14とモニタ15を備えている。Ｘ線源１は小さい表面
積の点状線源１ａを備え、Ｘ線ビーム２を発生する。撮
像装置14は、遮光箱14ａ内にコリメータ装置４とミラー
11とCCDカメラ12を備えている。
線利用検査装置を図１を参照して説明する。すなわち、
本実施の形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と撮像
装置14とモニタ15を備えている。Ｘ線源１は小さい表面
積の点状線源１ａを備え、Ｘ線ビーム２を発生する。撮
像装置14は、遮光箱14ａ内にコリメータ装置４とミラー
11とCCDカメラ12を備えている。
【００２２】コリメータ装置４は、ビーム通過孔４ｂを
有する円柱状の回転コリメータ４ａと、この回転コリメ
ータ４ａを保持するコリメータハウジング５と、このコ
リメータハウジング５に取付けられた回転子６を回転駆
動するモータ７と、このモータ７等を収めコリメータハ
ウジング５をベアリング８を介して支持する外部ハウジ
ング９からなる。
有する円柱状の回転コリメータ４ａと、この回転コリメ
ータ４ａを保持するコリメータハウジング５と、このコ
リメータハウジング５に取付けられた回転子６を回転駆
動するモータ７と、このモータ７等を収めコリメータハ
ウジング５をベアリング８を介して支持する外部ハウジ
ング９からなる。
【００２３】コリメータ装置４には蛍光板からなるシン
チレータ10が取付けられている。遮光箱14ａ内壁のＸ線
源１側には開口を有するＸ線遮蔽板13が設けられてい
る。被検体３はＸ線源１と撮像装置14の間に設置されて
いる。
チレータ10が取付けられている。遮光箱14ａ内壁のＸ線
源１側には開口を有するＸ線遮蔽板13が設けられてい
る。被検体３はＸ線源１と撮像装置14の間に設置されて
いる。
【００２４】このように構成された本実施の形態の放射
線利用検査装置においては、図２に示すように、Ｘ線源
１の所定の領域以外から放出された発散Ｘ線である無効
成分２ｂと被検体３の内部で散乱を受けた散乱成分２ｃ
を回転コリメータ４ａで除去して、有効成分２ａだけを
シンチレータ10に導き、これによってこ解像度とコント
ラストの低下の要因を除去することが可能となり、鮮明
な透過画像を得ることができる。
線利用検査装置においては、図２に示すように、Ｘ線源
１の所定の領域以外から放出された発散Ｘ線である無効
成分２ｂと被検体３の内部で散乱を受けた散乱成分２ｃ
を回転コリメータ４ａで除去して、有効成分２ａだけを
シンチレータ10に導き、これによってこ解像度とコント
ラストの低下の要因を除去することが可能となり、鮮明
な透過画像を得ることができる。
【００２５】回転コリメータ４ａにほどこされたビーム
通過孔４ｂは、回転コリメータ４ａが回転しなければ、
１方向からだけ飛来するＸ線ビームを通過することにな
るので、シンチレータ10には点状の透過像を映すだけと
なるが、回転コリメータ４ａが回転することにより被検
体３を通過するＸ線を回転コリメータ４ａの全面積に対
してまんべんなく通過させることができ、シンチレータ
10に透過像を映すことが可能となる。
通過孔４ｂは、回転コリメータ４ａが回転しなければ、
１方向からだけ飛来するＸ線ビームを通過することにな
るので、シンチレータ10には点状の透過像を映すだけと
なるが、回転コリメータ４ａが回転することにより被検
体３を通過するＸ線を回転コリメータ４ａの全面積に対
してまんべんなく通過させることができ、シンチレータ
10に透過像を映すことが可能となる。
【００２６】このように回転コリメータ４ａを通過でき
るＸ線ビームの有効成分２ａは、透過像の解像度とコン
トラストを低下させる成分を除去する一方で、シンチレ
ータ10に到達するＸ線ビーム量を非常に小さなものとし
てしまうので、シンチレータ10には特に使用するＸ線エ
ネルギーに対して蛍光効率の高い素材を選んでつくられ
たもの、あるいは反応面積を大きくするような針状の表
面構造を持った素材を用いる。
るＸ線ビームの有効成分２ａは、透過像の解像度とコン
トラストを低下させる成分を除去する一方で、シンチレ
ータ10に到達するＸ線ビーム量を非常に小さなものとし
てしまうので、シンチレータ10には特に使用するＸ線エ
ネルギーに対して蛍光効率の高い素材を選んでつくられ
たもの、あるいは反応面積を大きくするような針状の表
面構造を持った素材を用いる。
【００２７】シンチレータ10に映し出された透過像は、
CCDカメラ12で撮影し、外部に置かれたモニタ15に映す
が、シンチレータ10を通過してCCDカメラ12に入射する
Ｘ線成分による画像ノイズの発生を抑制するために、シ
ンチレータ10の映像はミラー11を介して、透過Ｘ線が飛
び込まない位置に置かれたCCDカメラ12に導く。コリメ
ータ装置４やCCDカメラ12は、Ｘ線遮蔽板13を設けた遮
光箱14ａの中に設置してあるので、散乱Ｘ線や外光の入
射を防ぐことができる。
CCDカメラ12で撮影し、外部に置かれたモニタ15に映す
が、シンチレータ10を通過してCCDカメラ12に入射する
Ｘ線成分による画像ノイズの発生を抑制するために、シ
ンチレータ10の映像はミラー11を介して、透過Ｘ線が飛
び込まない位置に置かれたCCDカメラ12に導く。コリメ
ータ装置４やCCDカメラ12は、Ｘ線遮蔽板13を設けた遮
光箱14ａの中に設置してあるので、散乱Ｘ線や外光の入
射を防ぐことができる。
【００２８】ここで本実施の形態の放射線利用検査装置
に備えられる回転コリメータ４ａについて詳細に説明す
る。すなわち、回転コリメータ４ａは、多数本の微細な
ビーム通過孔４ｂが１点で集束するようにな方向で設け
られていることが必要である。このような構成の回転コ
リメータ４ａをつくるために図３に示すように、Ｘ線の
遮蔽材となる鉛、タングステンなどの高原子番号の金
属、または合金のブロックを複数等配に分割し、それぞ
れの分割パーツの分割面にＸ線ビームが通過できる溝４
ｃを、それぞれの溝４ｃが１点に集束するよう切削して
つくり、再度、元のブロック形状となるように貼り合わ
せて組み上げた構成とする。
に備えられる回転コリメータ４ａについて詳細に説明す
る。すなわち、回転コリメータ４ａは、多数本の微細な
ビーム通過孔４ｂが１点で集束するようにな方向で設け
られていることが必要である。このような構成の回転コ
リメータ４ａをつくるために図３に示すように、Ｘ線の
遮蔽材となる鉛、タングステンなどの高原子番号の金
属、または合金のブロックを複数等配に分割し、それぞ
れの分割パーツの分割面にＸ線ビームが通過できる溝４
ｃを、それぞれの溝４ｃが１点に集束するよう切削して
つくり、再度、元のブロック形状となるように貼り合わ
せて組み上げた構成とする。
【００２９】ここで切削形成するビーム通過孔４ｂのサ
イズ（幅、深さ）は、要求するＸ線透過像の解像度に合
わせて調整するものとし、１面にできるだけ多数本の溝
を形成することと、各面で溝の位相を少しずつずらせて
形成することによって、回転コリメータ４ａが回転した
ときにＸ線ビームの不通過となる領域をなくすような構
成とする。こうすることによって、回転コリメータ４ａ
を通過してシンチレータ10に映し出される像の中にＸ線
不透過部分によって円形の影が生じることを防ぐことが
できる。
イズ（幅、深さ）は、要求するＸ線透過像の解像度に合
わせて調整するものとし、１面にできるだけ多数本の溝
を形成することと、各面で溝の位相を少しずつずらせて
形成することによって、回転コリメータ４ａが回転した
ときにＸ線ビームの不通過となる領域をなくすような構
成とする。こうすることによって、回転コリメータ４ａ
を通過してシンチレータ10に映し出される像の中にＸ線
不透過部分によって円形の影が生じることを防ぐことが
できる。
【００３０】以上のように構成された回転コリメータ４
ａは、図１に示したように、全ての分割ブロックに設け
られたビーム通過孔４ｂが所定の焦点位置に向くように
精度よくつくられたコリメータハウジング５に収納され
る。
ａは、図１に示したように、全ての分割ブロックに設け
られたビーム通過孔４ｂが所定の焦点位置に向くように
精度よくつくられたコリメータハウジング５に収納され
る。
【００３１】このような方法で回転コリメータ４ａを構
成すると、全てのビーム通過孔４ｂの集束点は任意に設
定することができる。例えば、逆方向の集束点を持つ
（発散）ケースや、中心軸に対して全てのビーム通過孔
４ｂが平行に向いたようなケースにも自由に対応するこ
とができ、いろいろな形態の放射線利用検査装置に適用
することができる。
成すると、全てのビーム通過孔４ｂの集束点は任意に設
定することができる。例えば、逆方向の集束点を持つ
（発散）ケースや、中心軸に対して全てのビーム通過孔
４ｂが平行に向いたようなケースにも自由に対応するこ
とができ、いろいろな形態の放射線利用検査装置に適用
することができる。
【００３２】次に本発明の第２の実施の形態の放射線利
用検査装置を図４を参照して説明する。本実施の形態
は、前記第１の実施の形態の放射線利用検査装置に対し
てそのＸ線源の部分と、回転コリメータの部分を以下の
ように変更した構成である。すなわち、Ｘ線源１は放出
領域１ｃが大面積の大面積Ｘ線源１ｂを適用し、撮像装
置14内のコリメータ装置４は、大面積Ｘ線源１ｂから放
出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に対して平行に出
射された成分で、被検体３内部で散乱を受けなかった成
分だけを選別して透過できるように中心軸に対して平行
にビーム通過孔４ｂを設けた構造を持つ回転コリメータ
４ａを適用した構成とする。
用検査装置を図４を参照して説明する。本実施の形態
は、前記第１の実施の形態の放射線利用検査装置に対し
てそのＸ線源の部分と、回転コリメータの部分を以下の
ように変更した構成である。すなわち、Ｘ線源１は放出
領域１ｃが大面積の大面積Ｘ線源１ｂを適用し、撮像装
置14内のコリメータ装置４は、大面積Ｘ線源１ｂから放
出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に対して平行に出
射された成分で、被検体３内部で散乱を受けなかった成
分だけを選別して透過できるように中心軸に対して平行
にビーム通過孔４ｂを設けた構造を持つ回転コリメータ
４ａを適用した構成とする。
【００３３】この第２の実施の形態の放射線利用検査装
置においては、面状のＸ線発生領域を持つ大面積Ｘ線源
１ｂとして一般的には平板形状の同位体（RI）線源を適
用することができ、また、Ｘ線管または電子ビーム源を
用いたＸ線源でも、そのようなＸ線放出面となるように
構成されたタイプのものを適用することができる。この
ような大面積Ｘ線源１ｂを適用することによって、一般
的なＸ線管のような小サイズのＸ線放出面を持つＸ線源
よりも結果的に高い強度のＸ線を利用した撮像をするこ
とができ、撮像時間の短縮に効果的である。
置においては、面状のＸ線発生領域を持つ大面積Ｘ線源
１ｂとして一般的には平板形状の同位体（RI）線源を適
用することができ、また、Ｘ線管または電子ビーム源を
用いたＸ線源でも、そのようなＸ線放出面となるように
構成されたタイプのものを適用することができる。この
ような大面積Ｘ線源１ｂを適用することによって、一般
的なＸ線管のような小サイズのＸ線放出面を持つＸ線源
よりも結果的に高い強度のＸ線を利用した撮像をするこ
とができ、撮像時間の短縮に効果的である。
【００３４】次に本発明の第３の実施の形態の放射線利
用検査装置を図５を参照して説明する。本実施の形態の
放射線利用検査装置は、放出領域（Ｘ線放出領域）１ｃ
が大面積のＸ線管または同位体のような平板型Ｘ線源１
ｄとし、Ｘ線出射口にコリメータ装置41を設置し、Ｘ線
源１ｄから放出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に平
行に出射される成分だけを選別して取り出す構成とす
る。コリメータ装置41は、撮像装置14に備えられるコリ
メータ装置４と同じ構成であり、その入射側には不要な
低エネルギー成分を除去するＸ線フィルター18を備え
る。
用検査装置を図５を参照して説明する。本実施の形態の
放射線利用検査装置は、放出領域（Ｘ線放出領域）１ｃ
が大面積のＸ線管または同位体のような平板型Ｘ線源１
ｄとし、Ｘ線出射口にコリメータ装置41を設置し、Ｘ線
源１ｄから放出されるＸ線ビーム２のうち、中心軸に平
行に出射される成分だけを選別して取り出す構成とす
る。コリメータ装置41は、撮像装置14に備えられるコリ
メータ装置４と同じ構成であり、その入射側には不要な
低エネルギー成分を除去するＸ線フィルター18を備え
る。
【００３５】本実施の形態の放射線利用検査装置におい
ては、平板型Ｘ線源１ｄから出射するＸ線ビーム２を平
行ビームとして保つことが可能となり、これによって撮
像装置14の周辺に向けて照射されるＸ線成分を低減する
ことができ、撮像系の遮蔽構造を簡略化し、ノイズを低
減することができる。
ては、平板型Ｘ線源１ｄから出射するＸ線ビーム２を平
行ビームとして保つことが可能となり、これによって撮
像装置14の周辺に向けて照射されるＸ線成分を低減する
ことができ、撮像系の遮蔽構造を簡略化し、ノイズを低
減することができる。
【００３６】ここで、上記第２および第３の実施の形態
の放射線利用検査装置に備えられるコリメータ装置４，
41を構成する回転コリメータ４ａについて図６を参照し
て説明する。
の放射線利用検査装置に備えられるコリメータ装置４，
41を構成する回転コリメータ４ａについて図６を参照し
て説明する。
【００３７】この回転コリメータ４ａは、多数本の微細
なビーム通過孔４ｂが中心軸に対して平行な方向で設け
られていることが必要である。このような回転コリメー
タ４ａは、先に図３に示した方法によってもつくること
ができるが、ここでは図６に示すように、重金属からな
る遮蔽ロッド４ｃを多数本束ね、その隙間をビーム通過
孔４ｂとする。これによって、図３の場合のように部品
に高精度の加工を施すことをしなくても比較的容易に平
行ビームの回転コリメータ４ａを構成することができ
る。
なビーム通過孔４ｂが中心軸に対して平行な方向で設け
られていることが必要である。このような回転コリメー
タ４ａは、先に図３に示した方法によってもつくること
ができるが、ここでは図６に示すように、重金属からな
る遮蔽ロッド４ｃを多数本束ね、その隙間をビーム通過
孔４ｂとする。これによって、図３の場合のように部品
に高精度の加工を施すことをしなくても比較的容易に平
行ビームの回転コリメータ４ａを構成することができ
る。
【００３８】次に本発明の第４の実施の形態の放射線利
用検査装置を図７を参照して説明する。本実施の形態
は、CCDカメラ12を、コリメータ装置４とシンチレータ1
0を収容する遮光箱14ａの外部に設け、石英などの細線
ロッドを束ねてつくられたフィバー光学系16と、同じよ
うに光ファイバーを多数本束ねてつくられたバンドルフ
ァイバー16ｂからなる画像伝送系を設ける。シンチレー
タ10に投影された透過像は、前記画像伝送系によって遮
光箱14ａの外部に設置されたCCDカメラ12に送られ、モ
ニタ15に映し出される。本実施の形態によれば、耐久性
の劣るCCDカメラ12をＸ線バックグランドの低い離れた
場所に設置し、ノイズの少ない環境下でモニタすること
ができる。
用検査装置を図７を参照して説明する。本実施の形態
は、CCDカメラ12を、コリメータ装置４とシンチレータ1
0を収容する遮光箱14ａの外部に設け、石英などの細線
ロッドを束ねてつくられたフィバー光学系16と、同じよ
うに光ファイバーを多数本束ねてつくられたバンドルフ
ァイバー16ｂからなる画像伝送系を設ける。シンチレー
タ10に投影された透過像は、前記画像伝送系によって遮
光箱14ａの外部に設置されたCCDカメラ12に送られ、モ
ニタ15に映し出される。本実施の形態によれば、耐久性
の劣るCCDカメラ12をＸ線バックグランドの低い離れた
場所に設置し、ノイズの少ない環境下でモニタすること
ができる。
【００３９】次に本発明の第５の実施の形態の放射線利
用検査装置を図８を参照して説明する。本実施の形態
は、コリメータ装置４とシンチレータ10を収容する遮光
箱14ａの中に、石英などの細線ロッドを束ねてつくられ
90°屈曲したフィバー光学系16ａと、その端部にCCDチ
ップ12ａを設けて、シンチレータ10に投影された透過像
をこれらの画像伝送系によって遮光箱14ａの外部に設置
されたモニタ15に伝送し映し出すものである。
用検査装置を図８を参照して説明する。本実施の形態
は、コリメータ装置４とシンチレータ10を収容する遮光
箱14ａの中に、石英などの細線ロッドを束ねてつくられ
90°屈曲したフィバー光学系16ａと、その端部にCCDチ
ップ12ａを設けて、シンチレータ10に投影された透過像
をこれらの画像伝送系によって遮光箱14ａの外部に設置
されたモニタ15に伝送し映し出すものである。
【００４０】本実施の形態によれば、コリメータ装置４
を含む撮像装置14の中でCCDチップ12ａへＸ線が直接入
射することを防止することができ、これによってCCDチ
ップ12ａの耐久性を上げ、撮像装置14を小型化すること
ができる。
を含む撮像装置14の中でCCDチップ12ａへＸ線が直接入
射することを防止することができ、これによってCCDチ
ップ12ａの耐久性を上げ、撮像装置14を小型化すること
ができる。
【００４１】次に本発明の第６の実施の形態の放射線利
用検査装置を図９と図11を参照して説明する。本実施の
形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と、光線処理装
置17と、光子カウンタ22とを備えている。Ｘ線源１は表
面積の小さい点状線源１ａを備えている。
用検査装置を図９と図11を参照して説明する。本実施の
形態の放射線利用検査装置は、Ｘ線源１と、光線処理装
置17と、光子カウンタ22とを備えている。Ｘ線源１は表
面積の小さい点状線源１ａを備えている。
【００４２】光線処理装置17は遮光箱17ａの中に、それ
ぞれ中心孔を有する固定コリメータ19とミラー11ｂとシ
ンチレータ10ｂとコリメータ装置４を備え、また、レン
ズ20と光電子増倍管21を備えている。また遮光箱17ａの
被検体３側の内壁には開口部を有するＸ線遮蔽板13が設
けられている。コリメータ装置４において回転コリメー
タ４ａを保持し回転させるための構成は第１〜第５の実
施の形態におけると同じである。
ぞれ中心孔を有する固定コリメータ19とミラー11ｂとシ
ンチレータ10ｂとコリメータ装置４を備え、また、レン
ズ20と光電子増倍管21を備えている。また遮光箱17ａの
被検体３側の内壁には開口部を有するＸ線遮蔽板13が設
けられている。コリメータ装置４において回転コリメー
タ４ａを保持し回転させるための構成は第１〜第５の実
施の形態におけると同じである。
【００４３】このような構成によって、Ｘ線源１内の点
状線源１ａから放出されたＸ線は、固定コリメータ19の
中心孔を通ることによってペンシル状のＸ線ビーム２ｄ
となる。このペンシル状Ｘ線ビーム２ｄは、ミラー11
ｂ、シンチレータ10ｂおよび回転コリメータ４ａの中心
孔を通って被検体３に入射し、被検体３の所定の部分か
らコンプトン散乱Ｘ線２ｅを発生させる。
状線源１ａから放出されたＸ線は、固定コリメータ19の
中心孔を通ることによってペンシル状のＸ線ビーム２ｄ
となる。このペンシル状Ｘ線ビーム２ｄは、ミラー11
ｂ、シンチレータ10ｂおよび回転コリメータ４ａの中心
孔を通って被検体３に入射し、被検体３の所定の部分か
らコンプトン散乱Ｘ線２ｅを発生させる。
【００４４】コンプトン散乱Ｘ線２ｅは、回転コリメー
タ４ａに設けられたビーム通過孔４ｂを通ってシンチレ
ータ10ｂに当り発光を生じる。この発光は、ミラー11ｂ
で反射され、レンズ20で集光されて、光電子増倍管21に
入り、増幅された電気信号となって光子カウンタ22へ伝
送される。
タ４ａに設けられたビーム通過孔４ｂを通ってシンチレ
ータ10ｂに当り発光を生じる。この発光は、ミラー11ｂ
で反射され、レンズ20で集光されて、光電子増倍管21に
入り、増幅された電気信号となって光子カウンタ22へ伝
送される。
【００４５】図11の説明図に示すように、被検体内に入
射したＸ線ビームは、その到達点において、その部分の
物質の電子密度に比例したコンプトン散乱を起こすの
で、被検体内に欠陥などの欠損した部分があればコンプ
トン散乱Ｘ線は急減する。したがって、所定の位置にお
けるコンプトン散乱Ｘ線を測定することによって欠陥の
有無を検知することができ、Ｘ線源と検査ヘッド（光線
処理装置17）をスキャンニングすることによって被検体
内部の欠陥の位置、形状をとらえた3次元断層画像を得
ることができる。
射したＸ線ビームは、その到達点において、その部分の
物質の電子密度に比例したコンプトン散乱を起こすの
で、被検体内に欠陥などの欠損した部分があればコンプ
トン散乱Ｘ線は急減する。したがって、所定の位置にお
けるコンプトン散乱Ｘ線を測定することによって欠陥の
有無を検知することができ、Ｘ線源と検査ヘッド（光線
処理装置17）をスキャンニングすることによって被検体
内部の欠陥の位置、形状をとらえた3次元断層画像を得
ることができる。
【００４６】この場合、コンプトン散乱を起こす散乱微
分断面積は、非常に小さいオーダ（〜10-27cm2／sterad
／電子）であるため、小さい領域からの少量の散乱Ｘ線
を効果的に集めることが重要なポイントとなる。
分断面積は、非常に小さいオーダ（〜10-27cm2／sterad
／電子）であるため、小さい領域からの少量の散乱Ｘ線
を効果的に集めることが重要なポイントとなる。
【００４７】そのため、本実施の形態では、被検体内部
の特定位置からの散乱成分を見込む角度でビーム通過孔
４ｂを設けた回転コリメータ４ａを適用し、被検体３内
部の所定の領域から放出されたコンプトン散乱Ｘ線２ｅ
を集めてシンチレータ10ｂを発光させる。これにより、
被検体３内部の小さい領域からのコンプトン散乱Ｘ線を
有効に集めて被検体３の内部状態を検査することができ
る。
の特定位置からの散乱成分を見込む角度でビーム通過孔
４ｂを設けた回転コリメータ４ａを適用し、被検体３内
部の所定の領域から放出されたコンプトン散乱Ｘ線２ｅ
を集めてシンチレータ10ｂを発光させる。これにより、
被検体３内部の小さい領域からのコンプトン散乱Ｘ線を
有効に集めて被検体３の内部状態を検査することができ
る。
【００４８】次に本発明の第７の実施の形態の放射線利
用検査装置を図10を参照して説明する。本実施の形態に
おいては、回転コリメータ４ａのビーム通過孔４ｂはす
べて、中心孔と一定の角度を有する構成とする。他の構
成は上述の第６の実施の形態と同じである。
用検査装置を図10を参照して説明する。本実施の形態に
おいては、回転コリメータ４ａのビーム通過孔４ｂはす
べて、中心孔と一定の角度を有する構成とする。他の構
成は上述の第６の実施の形態と同じである。
【００４９】この構成によって、回転コリメータ４ａを
通過してシンチレータ10ｂに入射するコンプトン散乱Ｘ
線は、被検体３に入射するペンシル状Ｘ線ビーム２ｄの
通過軌跡上に存在する部分から発せられた成分を集めた
ものとなる。したがって、得られる信号は、ペンシル状
Ｘ線ビーム２ｄの入射した軌跡上の深さ方向の所定の範
囲にわたるコンプトン散乱Ｘ線を積分したものとなるの
で、被検体３内部の深さ方向の欠陥情報を取得すること
ができる。
通過してシンチレータ10ｂに入射するコンプトン散乱Ｘ
線は、被検体３に入射するペンシル状Ｘ線ビーム２ｄの
通過軌跡上に存在する部分から発せられた成分を集めた
ものとなる。したがって、得られる信号は、ペンシル状
Ｘ線ビーム２ｄの入射した軌跡上の深さ方向の所定の範
囲にわたるコンプトン散乱Ｘ線を積分したものとなるの
で、被検体３内部の深さ方向の欠陥情報を取得すること
ができる。
【００５０】次に本発明の第８の実施の形態の放射線利
用検査装置を図12を参照して説明する。本実施の形態
は、図９に示した第６の実施の形態において、Ｘ線源と
して面状線源１ｅを有する平板型Ｘ線源１ｄを備え、そ
こから放出されるＸ線ビームのうち、１点に集束する点
集束Ｘ線ビーム２ｆを取り出すようにビーム通過孔を設
けた回転コリメータ４ａ１を有するコリメータ装置41を
Ｘ線源のＸ線放出口の前面に設置し、コリメータ装置41
の入口側にＸ線エネルギーの不要な成分を除去するため
のＸ線フィルター18を設置した構成とする。
用検査装置を図12を参照して説明する。本実施の形態
は、図９に示した第６の実施の形態において、Ｘ線源と
して面状線源１ｅを有する平板型Ｘ線源１ｄを備え、そ
こから放出されるＸ線ビームのうち、１点に集束する点
集束Ｘ線ビーム２ｆを取り出すようにビーム通過孔を設
けた回転コリメータ４ａ１を有するコリメータ装置41を
Ｘ線源のＸ線放出口の前面に設置し、コリメータ装置41
の入口側にＸ線エネルギーの不要な成分を除去するため
のＸ線フィルター18を設置した構成とする。
【００５１】この放射線利用検査装置において、Ｘ線源
１ｄから出射されるＸ線ビームは、コリメータ装置41に
よってコーン状のものとなり、中心に穴を設けたミラー
11ｂとシンチレータ10ｂを通過し、さらにもう１つのコ
リメータ装置４の中心の穴を通って被検体３の特定部位
に集束して到達する。その集束点から放出されるコンプ
トン散乱Ｘ線２ｅは、回転コリメータ４ａに設けられた
ビーム通過孔を通ってシンチレータ10ｂに当たって蛍光
を発し、その発光はミラー11ｂで反射され集束レンズ20
を通して光電子増倍管21に集められて光子カウンタ22に
よってその量が検出される。
１ｄから出射されるＸ線ビームは、コリメータ装置41に
よってコーン状のものとなり、中心に穴を設けたミラー
11ｂとシンチレータ10ｂを通過し、さらにもう１つのコ
リメータ装置４の中心の穴を通って被検体３の特定部位
に集束して到達する。その集束点から放出されるコンプ
トン散乱Ｘ線２ｅは、回転コリメータ４ａに設けられた
ビーム通過孔を通ってシンチレータ10ｂに当たって蛍光
を発し、その発光はミラー11ｂで反射され集束レンズ20
を通して光電子増倍管21に集められて光子カウンタ22に
よってその量が検出される。
【００５２】この実施の形態によれば、より大強度のＸ
線を集束して入射してコンプトン散乱Ｘ線量を増加させ
ることが可能となり、コンプトン散乱量の小さい低密
度、低原子番号の被検体、または散乱Ｘ線の吸収の大き
い高原子番号の材質で厚さのある被検体の深い部位の検
査を効率よく行うことができる。
線を集束して入射してコンプトン散乱Ｘ線量を増加させ
ることが可能となり、コンプトン散乱量の小さい低密
度、低原子番号の被検体、または散乱Ｘ線の吸収の大き
い高原子番号の材質で厚さのある被検体の深い部位の検
査を効率よく行うことができる。
【００５３】次に本発明の第９の実施の形態の放射線利
用検査装置を図13を参照して説明する。本実施の形態
は、図９，10，12に示した第６，７，８の実施の形態に
おいて、光電子増倍管21を光線処理装置17の外に設け、
光線処理装置17と光電子増倍管21のあいだに光ファイバ
ー23を設けて、レンズ20によって集められたシンチレー
タ10ｂでの発光を光ファイバー23で光線処理装置17の外
に導き、外部に設置した光電子増倍管21と光子カウンタ
22で検出する構成である。
用検査装置を図13を参照して説明する。本実施の形態
は、図９，10，12に示した第６，７，８の実施の形態に
おいて、光電子増倍管21を光線処理装置17の外に設け、
光線処理装置17と光電子増倍管21のあいだに光ファイバ
ー23を設けて、レンズ20によって集められたシンチレー
タ10ｂでの発光を光ファイバー23で光線処理装置17の外
に導き、外部に設置した光電子増倍管21と光子カウンタ
22で検出する構成である。
【００５４】この構成によれば、シンチレータ10ｂで発
生された蛍光信号は光ファイバー23で外部に導かれるの
で、Ｘ線バックグラウンドの低い場所に光電子増倍管21
を設置することによって、信号対ノイズ比率の高い検出
を行うことができる。
生された蛍光信号は光ファイバー23で外部に導かれるの
で、Ｘ線バックグラウンドの低い場所に光電子増倍管21
を設置することによって、信号対ノイズ比率の高い検出
を行うことができる。
【００５５】次に本発明の第10の実施の形態の放射線利
用検査装置を図14を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、ステージ26ａ，26ｂに搭載さ
れ被検体３を挟んで配置されたＸ線源ユニット24および
検出ユニット25と、ステージ26ａと26ｂを駆動するステ
ージコントローラ27と、このステージコントローラ27お
よび検出ユニット25から信号を受けて被検体３内のＸ線
画像を処理表示する画像処理ユニット28とを備えてい
る。Ｘ線源ユニット24はＸ線源１とコリメータ装置41を
備え、検出ユニット25はコリメータ装置４およびシンチ
レータ，ミラー，レンズ等を備えている。
用検査装置を図14を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、ステージ26ａ，26ｂに搭載さ
れ被検体３を挟んで配置されたＸ線源ユニット24および
検出ユニット25と、ステージ26ａと26ｂを駆動するステ
ージコントローラ27と、このステージコントローラ27お
よび検出ユニット25から信号を受けて被検体３内のＸ線
画像を処理表示する画像処理ユニット28とを備えてい
る。Ｘ線源ユニット24はＸ線源１とコリメータ装置41を
備え、検出ユニット25はコリメータ装置４およびシンチ
レータ，ミラー，レンズ等を備えている。
【００５６】この実施の形態の放射線利用検出装置にお
いては、Ｘ線源ユニット24と検出ユニット25をステージ
コントローラ27で同期をとって駆動することにより、被
検体３の透過像を連続的に撮像することができ、この連
続撮像画像データは、画像処理装置28において画像処理
することにより大面積の撮像画像として表示することが
できる。
いては、Ｘ線源ユニット24と検出ユニット25をステージ
コントローラ27で同期をとって駆動することにより、被
検体３の透過像を連続的に撮像することができ、この連
続撮像画像データは、画像処理装置28において画像処理
することにより大面積の撮像画像として表示することが
できる。
【００５７】本実施の形態の放射線利用検査装置は、大
サイズの被検体の透過像を得るのに有効であり、平行Ｘ
線ビームを使用することにより散乱成分に対する防護の
ための遮蔽措置が不要である。
サイズの被検体の透過像を得るのに有効であり、平行Ｘ
線ビームを使用することにより散乱成分に対する防護の
ための遮蔽措置が不要である。
【００５８】次に本発明の第11の実施の形態の放射線利
用検査装置を図15を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、同図（ａ）に示すように、Ｘ
線源１とコリメータ装置４を有しステージ26に搭載され
てタンク等の被検体３ａに対向して配置されたコンプト
ン散乱検出ユニット29と、ステージ26を駆動するステー
ジコントローラ27と、このステージコントローラ27から
コンプトン散乱検出ユニット29の位置信号を受け、光子
カウンター22を介してコンプトン散乱検出ユニット29か
ら散乱Ｘ線についての信号を受けて被検体３ａの断層画
像を表示する画像処理ユニット28を備えている。
用検査装置を図15を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、同図（ａ）に示すように、Ｘ
線源１とコリメータ装置４を有しステージ26に搭載され
てタンク等の被検体３ａに対向して配置されたコンプト
ン散乱検出ユニット29と、ステージ26を駆動するステー
ジコントローラ27と、このステージコントローラ27から
コンプトン散乱検出ユニット29の位置信号を受け、光子
カウンター22を介してコンプトン散乱検出ユニット29か
ら散乱Ｘ線についての信号を受けて被検体３ａの断層画
像を表示する画像処理ユニット28を備えている。
【００５９】この実施の形態の放射線利用検査装置は、
コンプトン散乱検出ユニット29をステージ26によって被
検体３ａの外壁方向からスキャンニングしながら取り込
んだ信号を画像処理ユニット28で処理することにより、
同図（ｂ）に示すように、構造壁の内表面、または内部
の欠陥、亀裂などの様子をとらえた断層画像を得ること
ができる。したがって、本実施の形態によれば、何らか
の溶液を満たした容器について、溶液を充填したままで
容器の外から容器構造壁の探傷検査を行うことができ
る。
コンプトン散乱検出ユニット29をステージ26によって被
検体３ａの外壁方向からスキャンニングしながら取り込
んだ信号を画像処理ユニット28で処理することにより、
同図（ｂ）に示すように、構造壁の内表面、または内部
の欠陥、亀裂などの様子をとらえた断層画像を得ること
ができる。したがって、本実施の形態によれば、何らか
の溶液を満たした容器について、溶液を充填したままで
容器の外から容器構造壁の探傷検査を行うことができ
る。
【００６０】次に本発明の第12の実施の形態の放射線利
用検査装置を図16を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、放射線（γ線）を放出する被
検体３ｂに対向して配置される撮像装置42と、この撮像
装置42から信号を受けて被検体３ｂの放射線画像および
可視光画像を描く画像処理ユニット28ａとを備えてい
る。
用検査装置を図16を参照して説明する。この実施の形態
の放射線利用検査装置は、放射線（γ線）を放出する被
検体３ｂに対向して配置される撮像装置42と、この撮像
装置42から信号を受けて被検体３ｂの放射線画像および
可視光画像を描く画像処理ユニット28ａとを備えてい
る。
【００６１】撮像装置42は、被検体３ｂに対して45度の
角度で向けられるγ線・可視光分割ミラー11ｃと、この
分割ミラー11ｃのγ線透過側に設けられγ線ビームを集
束させるコリメータ装置４とシンチレータとミラー11と
CCDカメラ12を有するコリメータ・検出ユニット25ａ
と、前記γ線・可視光分割ミラー11ｃの可視光反射側に
設けられたミラー11，CCDカメラ12ｂ，自動焦点・ズー
ム制御ユニット30を備えている。γ線・可視光分割ミラ
ー11ｃは例えばアルミニウム蒸着プラスチックからな
る。
角度で向けられるγ線・可視光分割ミラー11ｃと、この
分割ミラー11ｃのγ線透過側に設けられγ線ビームを集
束させるコリメータ装置４とシンチレータとミラー11と
CCDカメラ12を有するコリメータ・検出ユニット25ａ
と、前記γ線・可視光分割ミラー11ｃの可視光反射側に
設けられたミラー11，CCDカメラ12ｂ，自動焦点・ズー
ム制御ユニット30を備えている。γ線・可視光分割ミラ
ー11ｃは例えばアルミニウム蒸着プラスチックからな
る。
【００６２】コリメータ・検出ユニット25ａ中に設置す
るコリメータ装置４は、ある外部に向かって発散方向で
内部の任意の点に集束点を持つようにビーム通過孔を施
した回転コリメータを適用し、放射性物質の付着した被
検体３ｂからの放射線（γ線）をとらえることによって
被検体３ｂの放射線放出強度（放射化の程度）のマッピ
ング画像を得ることがかできる。また、回転コリメータ
のビーム透過溝によって決まる画角にあわせて同一方向
に向けた可視光画像をCCDカメラ12ｂの可視光撮像系で
とらえ、これを先の放射線強度マッピング画像と合成す
ることによって可視光画像の上に放射線放出強度のマッ
ピング画像を重ねて表示した画像を得ることができる。
るコリメータ装置４は、ある外部に向かって発散方向で
内部の任意の点に集束点を持つようにビーム通過孔を施
した回転コリメータを適用し、放射性物質の付着した被
検体３ｂからの放射線（γ線）をとらえることによって
被検体３ｂの放射線放出強度（放射化の程度）のマッピ
ング画像を得ることがかできる。また、回転コリメータ
のビーム透過溝によって決まる画角にあわせて同一方向
に向けた可視光画像をCCDカメラ12ｂの可視光撮像系で
とらえ、これを先の放射線強度マッピング画像と合成す
ることによって可視光画像の上に放射線放出強度のマッ
ピング画像を重ねて表示した画像を得ることができる。
【００６３】このように、本実施の形態の放射線利用検
出装置では、回転コリメータを用いて画像内に入射する
放射線（γ線）の方向を選択することによって極度に強
い放射線を放出する部分からの放射線による画像上のか
ぶりの発生を防止し、被検体の形状と放射化の程度を同
時に計測することができる。
出装置では、回転コリメータを用いて画像内に入射する
放射線（γ線）の方向を選択することによって極度に強
い放射線を放出する部分からの放射線による画像上のか
ぶりの発生を防止し、被検体の形状と放射化の程度を同
時に計測することができる。
【００６４】次に本発明の第13の実施の形態の放射線利
用検出装置を図17を参照して説明する。本実施の形態の
放射線利用検出装置は、前述の第５の実施の形態（図
８）における撮像装置14をマニピュレータ31上に搭載し
て、格納容器33中にある放射化された構造材等からなる
被検体３ｂに対向配置し、格納容器33の外部にマニピュ
レータ制御ユニット32と画像処理ユニット28を設けたも
のである。
用検出装置を図17を参照して説明する。本実施の形態の
放射線利用検出装置は、前述の第５の実施の形態（図
８）における撮像装置14をマニピュレータ31上に搭載し
て、格納容器33中にある放射化された構造材等からなる
被検体３ｂに対向配置し、格納容器33の外部にマニピュ
レータ制御ユニット32と画像処理ユニット28を設けたも
のである。
【００６５】この実施の形態によれば、小サイズにまと
めた撮像装置14を格納容器内の構造材の外表面に自在に
走査することができる。また。撮像装置14内に設置する
コリメータ装置４は、構造材から放出されるγ線の中
で、回転コリメータに平行に入射する成分だけを選択し
て透過させることによって構造材の内部から表面への透
過像を、ファイバー光学系16ａを通してCCDチップ12ａ
でとらえ、その画像を画像処理ユニット28で処理するこ
とによって構造材表面の亀裂等の状態や大きさを示す画
像として表示することができる。
めた撮像装置14を格納容器内の構造材の外表面に自在に
走査することができる。また。撮像装置14内に設置する
コリメータ装置４は、構造材から放出されるγ線の中
で、回転コリメータに平行に入射する成分だけを選択し
て透過させることによって構造材の内部から表面への透
過像を、ファイバー光学系16ａを通してCCDチップ12ａ
でとらえ、その画像を画像処理ユニット28で処理するこ
とによって構造材表面の亀裂等の状態や大きさを示す画
像として表示することができる。
【００６６】次に本発明の第14の実施の形態の放射線利
用検査装置を図18を参照して説明する。本実施の形態
は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを
１点に集束するコリメータ装置４を備えた複数のＸ線源
ユニット24をそれぞれのＸ線ビーム２の集束点が一致す
るように配置したものである。
用検査装置を図18を参照して説明する。本実施の形態
は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを
１点に集束するコリメータ装置４を備えた複数のＸ線源
ユニット24をそれぞれのＸ線ビーム２の集束点が一致す
るように配置したものである。
【００６７】この実施の形態によれば、被検体３ｄ内の
１点に高密度のＸ線を照射することができ、拡散成分や
散乱成分によるターゲット以外の部位への照射量を最低
限に抑制することができる。また、Ｘ線源ユニット24の
備えるコリメータ装置４を集束距離を変更したものに取
りかえることによって照射点に至るまでのＸ線ビーム２
の形を任意に決めることができる。
１点に高密度のＸ線を照射することができ、拡散成分や
散乱成分によるターゲット以外の部位への照射量を最低
限に抑制することができる。また、Ｘ線源ユニット24の
備えるコリメータ装置４を集束距離を変更したものに取
りかえることによって照射点に至るまでのＸ線ビーム２
の形を任意に決めることができる。
【００６８】次に本発明の第15の実施の形態の放射線利
用検査装置を図19を参照して説明する。本実施の形態
は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを
１点に集束するコリメータ装置４を備えたＸ線源ユニッ
ト24から出射される集束Ｘ線ビーム２をＸ線分光器33に
通して任意の単色（単一エネルギー）成分だけを取り出
し、試料34の表面に焦点位置を合わせて入射することに
よって試料34の表面の元素から蛍光Ｘ線を発生させる。
この蛍光Ｘ線を、試料34表面のＸ線照射点に焦点位置を
合わせたようにビーム通過孔を施したコリメータ装置41
を通してSi(Li)のようなエネルギー分別型のＸ線検出器
35に入射することによって蛍光Ｘ線のスペクトルを検出
し、試料表面の元素組成を測定、判別する。
用検査装置を図19を参照して説明する。本実施の形態
は、面状のＸ線放出領域を持つＸ線源１とＸ線ビームを
１点に集束するコリメータ装置４を備えたＸ線源ユニッ
ト24から出射される集束Ｘ線ビーム２をＸ線分光器33に
通して任意の単色（単一エネルギー）成分だけを取り出
し、試料34の表面に焦点位置を合わせて入射することに
よって試料34の表面の元素から蛍光Ｘ線を発生させる。
この蛍光Ｘ線を、試料34表面のＸ線照射点に焦点位置を
合わせたようにビーム通過孔を施したコリメータ装置41
を通してSi(Li)のようなエネルギー分別型のＸ線検出器
35に入射することによって蛍光Ｘ線のスペクトルを検出
し、試料表面の元素組成を測定、判別する。
【００６９】この実施の形態によれば、試料34表面の目
標領域以外へのＸ線照射や試料34内部から発せられる散
乱成分がＸ線検出器35に入射することによって生じるバ
ックグラウンドレベルの増加を抑制し、試料34に微量に
含まれる元素の検出を行うことができる。
標領域以外へのＸ線照射や試料34内部から発せられる散
乱成分がＸ線検出器35に入射することによって生じるバ
ックグラウンドレベルの増加を抑制し、試料34に微量に
含まれる元素の検出を行うことができる。
【００７０】
【発明の効果】本発明によれば、Ｘ線やγ線の放射方向
や照射面積と照射体積を容易にコントロールすることが
でき、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線
利用検査装置を提供することができる。
や照射面積と照射体積を容易にコントロールすることが
でき、高い解像度と高いコントラストの得られる放射線
利用検査装置を提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装
置における透過撮像作用を説明する図。
置における透過撮像作用を説明する図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の放射線利用検査装
置における回転コリメータの構成方法を説明する図。
置における回転コリメータの構成方法を説明する図。
【図４】本発明の第２の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図５】本発明の第３の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図６】本発明の第３の実施の形態の放射線利用検査装
置における回転コリメータの構成方法を説明し、（ａ）
は部分図、（ｂ）は全体図、（ｃ）は部分側面図。
置における回転コリメータの構成方法を説明し、（ａ）
は部分図、（ｂ）は全体図、（ｃ）は部分側面図。
【図７】本発明の第４の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図８】本発明の第５の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図９】本発明の第６の実施の形態の放射線利用検査装
置の構成図。
置の構成図。
【図１０】本発明の第７の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１１】Ｘ線コンプトン散乱撮像法の説明図。
【図１２】本発明の第８の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１３】本発明の第９の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１４】本発明の第10の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１５】本発明の第11の実施の形態の放射線利用検査
装置を示し、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は断層画像を
例示する図。
装置を示し、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は断層画像を
例示する図。
【図１６】本発明の第12の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１７】本発明の第13の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１８】本発明の第14の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図１９】本発明の第15の実施の形態の放射線利用検査
装置の構成図。
装置の構成図。
【図２０】従来の技術を説明する図。
１…Ｘ線源、１ａ…点状線源、１ｂ…大面積Ｘ線源、１
ｃ…放出領域、１ｄ…平板型Ｘ線源、１ｅ…面状線源、
２…Ｘ線ビーム、２ａ…Ｘ線ビームの有効成分、２ｂ…
Ｘ線ビームの無効成分、２ｃ…Ｘ線ビームの散乱成分、
２ｄ…ペンシル状Ｘ線ビーム、２ｅ…コンプトン散乱Ｘ
線、２ｆ…点集束Ｘ線ビーム、３，３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄ…被検体、４…コリメータ装置、４ａ，４ａ１…回
転コリメータ、４ｂ…ビーム通過孔、４ｃ…溝、４ｄ…
遮蔽ロッド、５…コリメータハウジング、６…回転子、
７…モータ、８…ベアリング、９…外部ハウジング、1
0，10ｂ…シンチレータ、11，11ｂ…ミラー、11ｃ…γ
線・可視光分割ミラー、12…CCDカメラ、12ａ…CCDチッ
プ、13…Ｘ線遮蔽板、14…撮像装置、14ａ…遮光箱、15
…モニタ、16，16ａ…ファイバー光学系、16ｂ…バンド
ルファイバー、17…光線処理装置、17ａ…遮光箱、18…
Ｘ線フィルター、19…固定コリメータ、20…レンズ、21
…光電子増倍管、21ａ…Ｘ線検出器、22，22ａ…光子カ
ウンタ、23…光ファイバ、24…Ｘ線源ユニット、25…検
出ユニット、25ａ…コリメータ・検出ユニット、26，26
ａ，26ｂ…ステージ、27…ステージコントローラ、28，
28ａ…画像処理ユニット、29…コンプトン散乱検出ユニ
ット、30…自動焦点・ズーム制御ユニット、31…マニピ
ュレータ、32…マニピュレータ制御ユニット、33…格納
容器、33…Ｘ線分光器、34…試料、35…Ｘ線検出器、41
…コリメータ装置、42…撮像装置。
ｃ…放出領域、１ｄ…平板型Ｘ線源、１ｅ…面状線源、
２…Ｘ線ビーム、２ａ…Ｘ線ビームの有効成分、２ｂ…
Ｘ線ビームの無効成分、２ｃ…Ｘ線ビームの散乱成分、
２ｄ…ペンシル状Ｘ線ビーム、２ｅ…コンプトン散乱Ｘ
線、２ｆ…点集束Ｘ線ビーム、３，３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄ…被検体、４…コリメータ装置、４ａ，４ａ１…回
転コリメータ、４ｂ…ビーム通過孔、４ｃ…溝、４ｄ…
遮蔽ロッド、５…コリメータハウジング、６…回転子、
７…モータ、８…ベアリング、９…外部ハウジング、1
0，10ｂ…シンチレータ、11，11ｂ…ミラー、11ｃ…γ
線・可視光分割ミラー、12…CCDカメラ、12ａ…CCDチッ
プ、13…Ｘ線遮蔽板、14…撮像装置、14ａ…遮光箱、15
…モニタ、16，16ａ…ファイバー光学系、16ｂ…バンド
ルファイバー、17…光線処理装置、17ａ…遮光箱、18…
Ｘ線フィルター、19…固定コリメータ、20…レンズ、21
…光電子増倍管、21ａ…Ｘ線検出器、22，22ａ…光子カ
ウンタ、23…光ファイバ、24…Ｘ線源ユニット、25…検
出ユニット、25ａ…コリメータ・検出ユニット、26，26
ａ，26ｂ…ステージ、27…ステージコントローラ、28，
28ａ…画像処理ユニット、29…コンプトン散乱検出ユニ
ット、30…自動焦点・ズーム制御ユニット、31…マニピ
ュレータ、32…マニピュレータ制御ユニット、33…格納
容器、33…Ｘ線分光器、34…試料、35…Ｘ線検出器、41
…コリメータ装置、42…撮像装置。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA02 BA11 BA16 CA01
CA02 DA01 DA03 DA09 GA06
HA12 HA13 JA01 JA06 KA03
LA20 SA02 SA10 SA30
2G088 EE27 EE29 FF02 FF04 FF14
GG15 GG16 GG20 JJ01 JJ05
JJ12 JJ13 JJ18 KK32 LL09
LL12
Claims (12)
- 【請求項１】 被検体にむけてＸ線またはγ線からなる
放射線ビームを放出する放射線源と、遮光箱内に設けら
れ前記被検体内で散乱されずに透過した放射線ビームの
みを通過させる回転コリメータおよびこの回転コリメー
タを通過した放射線ビームを受けて発光するシンチレー
タと、このシンチレータ上の発光像を撮影するカメラと
を備えたことを特徴とする放射線利用検査装置。 - 【請求項２】 放射線源は、狭い放出領域を有する点状
線源であり、回転コリメータは延長された中心軸上の１
点に集束する形状の複数のビーム通過孔を有することを
特徴とする請求項１記載の放射線利用検査装置。 - 【請求項３】 回転コリメータは、Ｘ線またはγ線の遮
蔽材となる鉛、タングステンなどの高原子番号の金属、
または合金のブロックを複数等配に分割し、それぞれの
分割パーツの分割面に複数の溝を１点に集束するように
形成し、再度、元のブロック形状となるように結合し
て、前記溝によってビーム通過孔を形成した構成である
ことを特徴とする請求項２記載の放射線利用検査装置。 - 【請求項４】 放射線源は広い放出領域を有する面状線
源であり、回転コリメータは中心軸に平行な複数のビー
ム通過孔を有することを特徴とする請求項１記載の放射
線利用検査装置。 - 【請求項５】 カメラは遮光箱の外に設けられ、シンチ
レータの発光像を前記カメラへ導くファイバー光学系を
備えたことを特徴とする請求項１記載の放射線利用検査
装置。 - 【請求項６】 シンチレータの後に微小径の光ファイバ
ーを束ねて作られたファイバー光学系を設け、その終端
にCCDを直結して直接画像信号をモニタに映し出すよう
にしたことを特徴とする請求項１記載の放射線利用検査
装置。 - 【請求項７】 Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを
放出する放射線源と、前記放射線ビームから細いペンシ
ル状ビームを形成するコリメータと、前記ペンシル状ビ
ームを被検体に入射したとき発生する所定のコンプトン
散乱Ｘ線を通過させる回転コリメータと、この回転コリ
メータを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光する
シンチレータと、このシンチレータの発光を検出する光
検出器と、前記固定コリメータと前記回転コリメータと
前記シンチレータを収容する遮光箱とを備えたことを特
徴とする放射線利用検査装置。 - 【請求項８】 Ｘ線またはγ線からなる放射線ビームを
放出する放射線源と、前記放射線ビームを被検体内の所
定の一点に向けて集束するコリメータと、前記放射線ビ
ームによって被検体内で発生する所定のコンプトン散乱
Ｘ線を通過させる回転コリメータと、この回転コリメー
タを通過したコンプトン散乱Ｘ線を受けて発光するシン
チレータと、このシンチレータの発光を検出する光検出
器と、前記回転コリメータとシンチレータを収容する遮
光箱とを備えたことを特徴とする放射線利用検査装置。 - 【請求項９】 Ｘ線またはγ線からなる放射線を放出す
る被検体に対向して配置される撮像装置と、この撮像装
置から信号を受けて被検体の放射線画像および可視光画
像を表示する画像処理ユニットとを備え、前記撮像装置
は、被検体に対して斜に向けられた放射線・可視光分割
ミラーと、この分割ミラーの放射線透過側に設けられコ
リメータとシンチレータと光検出器を有するコリメータ
・検出ユニットと、前記分割ミラーの可視光反射側に設
けられた可視光画像撮像部とを備えていることを特徴と
する放射線利用検査装置。 - 【請求項１０】 回転コリメータ，シンチレータ，ファ
イバー光学系および光検出器を備え被検体から放出され
るＸ線またはγ線からなる放射線を検出する撮像装置
と、この撮像装置を支持し被検体に沿って移動させるマ
ニピュレータと、このマニピュレータの位置を制御する
コントローラと、このコントローラおよび前記撮像装置
から信号を受けて被検体の放射線画像を表示する画像処
理ユニットとを備えたことを特徴とする放射線利用検査
装置。 - 【請求項１１】 Ｘ線またはγ線からなる放射線ビーム
を放出する面状線源と、この面状線源の前面に設けられ
前記放射線ビームを集束する方向にビーム通過孔を設け
た回転コリメータとを備えた複数の線源ユニットを備
え、前記複数の線源ユニットは被検体内の同一部分に放
射線ビームの集束点を有するように配置されていること
を特徴とする放射線利用検査装置。 - 【請求項１２】 Ｘ線またはγ線からなる放射線ビーム
を放出する面状線源と、この面状線源の前面に設けられ
前記放射線ビームを集束する方向にビーム通過孔を設け
た回転コリメータとを備えたＸ線源ユニットと、前記集
束された放射線ビームから所定の単一エネルギー成分を
取り出し被検体表面に入射させる分光器と、前記被検体
表面で発生する蛍光Ｘ線を検出するエネルギー分別型の
検出器と、この検出器に接続された光子カウンターとを
備えたことを特徴とする放射線利用検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001330690A JP3850711B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | 放射線利用検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001330690A JP3850711B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | 放射線利用検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003130819A true JP2003130819A (ja) | 2003-05-08 |
| JP3850711B2 JP3850711B2 (ja) | 2006-11-29 |
Family
ID=19146381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001330690A Expired - Fee Related JP3850711B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | 放射線利用検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3850711B2 (ja) |
Cited By (15)
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| CN112331375A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-02-05 | 四川玄武岩纤维新材料研究院(创新中心) | 一种玄武岩等纤维蜂窝织物核屏蔽复合材料及其制备方法和应用 |
| CN113490865A (zh) * | 2019-02-27 | 2021-10-08 | 浜松光子学株式会社 | 放射线摄像单元中的闪烁器的安装结构 |
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| US12058472B2 (en) | 2019-02-27 | 2024-08-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Imaging unit and radiation image acquisition system |
-
2001
- 2001-10-29 JP JP2001330690A patent/JP3850711B2/ja not_active Expired - Fee Related
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