JP2010262594A - 物品搬送設備 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1合流経路27、第2合流経路28、及び、合流後経路29の夫々には、個別に通信用中継装置26が設けられ、通信用中継装置26の夫々は、シート状アンテナにて構成されたアンテナ部30と、アンテナ部30を用いて移動体側の通信装置25との間での通信により取得した移動体情報とその移動体情報をどの経路に配設されたアンテナ部30により取得したかを示す識別情報とを関連付けて管理手段24との間で通信自在な中継装置本体33とを備え、管理手段24は、中継装置本体33から受信した移動体情報と識別情報とに基づいて、どの経路に移動体3が存在するのかを判別して、複数の移動体3の運行を管理する。
【選択図】図4
Description
そこで、従来の物品搬送設備では、第1経路から合流部に至る第1合流経路に進入する移動体があるか否かを検出する第1合流検出センサが設けられ、その第1合流検出センサの検出情報を管理手段に通信するとともに、第2経路から合流部に至る第2合流経路に進入した移動車から進入情報を管理手段に通信することにより、管理手段が、第1合流経路及び第2合流経路の双方に進入した移動車があると判別すると、一方の移動車に対して走行停止させる運行指令情報を指令して、移動車同士の衝突を防止している(例えば、特許文献1参照。)。
また、例えば、移動体に対する走行指令を与えることが可能なリモコン等を作業者が使って異常停止した移動体を人為的に走行させるときに、合流部よりも走行方向の下流側から異常停止していた移動体を走行方向とは逆方向に走行させて合流部に進入させることがある。この場合には、管理手段が、人為的に合流部に進入した移動体を検出することができず、既に合流走行させている移動体やあらたに合流走行させる移動体が衝突する可能性がある。
前記第1経路から前記合流部に至る第1合流経路、前記第2経路から前記合流部に至る第2合流経路、及び、前記合流部にて合流後の前記合流部を含む合流後経路の夫々には、個別に前記通信用中継装置が設けられ、前記通信用中継装置の夫々は、前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路の経路に沿って配設されて前記移動体側の通信装置との間で情報を無線通信自在なアンテナ部と、前記アンテナ部が接続線にて接続され且つ通信線により前記管理手段との間で情報を通信自在な中継装置本体とを備えて構成され、前記アンテナ部は、長尺状で且つ横断面形状が平板状のシート状に形成されて、通信可能領域を表面に沿って形成するシート状アンテナにて構成され、前記中継装置本体は、前記アンテナ部を用いて前記移動体側の通信装置との間での通信により取得した移動体情報とその移動体情報を前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路のうちのどの経路に配設された前記アンテナ部により取得したかを示す識別情報とを関連付けて前記管理手段との間で通信自在に構成され、前記管理手段は、前記中継装置本体から受信した移動体情報と前記識別情報とに基づいて、前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路のうちのどの経路に前記移動体が存在するのかを判別して、前記複数の移動体の運行を管理するように構成されている点にある。
以上のことから、移動体同士の衝突を防止しながら、移動体を合流部に合流走行させることができる物品搬送設備を実現できる。
よって、第1合流経路又は第2合流経路に移動体が進入した段階で、移動体同士の衝突を発生せずに合流走行可能であるか否かを確認することができるので、移動体同士の衝突を確実に阻止することができる。
本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、図1及び図2に示すように、複数の物品処理部1を経由する状態で走行レール2が天井側に設置されて走行経路Sが形成されており、走行経路Sに沿って一方向に移動自在な天井搬送式の移動車3(移動体に相当する)が複数設けられている。移動車3が走行する走行経路Sとしては、直線部分とカーブ部分とを繋いだ環状のメイン経路4と、メイン経路4の直線部分から分岐したのちメイン経路4の直線部分に合流するサブ経路5とを有しており、メイン経路4及びサブ経路5の夫々が物品処理部1を経由するように設けられている。この物品搬送設備では、半導体基板を収納した容器を物品6として、移動車3が複数の物品処理部1の間で物品6を搬送するように構成されている。走行レール2は、走行レール用ブラケット7により天井部に固定状態で設置されている。
ちなみに、図2では、把持部8が上昇位置から下降位置に下降する場合を上方側に示し、把持部8を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を下方側に示している。
移動車3は、把持部8を上昇位置に位置させた状態で走行レール2に沿って移動し、複数のステーション10のうち、移載対象のステーション10に対応する停止位置に停止した状態で上昇位置と下降位置との間で把持部8を昇降させることにより、ステーション10との間で物品6の授受を行うように構成されている。
図3に示すように、走行駆動部11には、駆動モータ13にて回転駆動されて一対のレール部分2a,2b夫々の上面を転動する一対の駆動輪14と、一対のレール部分2a,2b夫々の対向する側面に接当する回転自在な一対の案内輪15とが設けられている。そして、駆動輪14が駆動モータ13にて回転駆動し、案内輪15が一対のレール部分2aにて接当案内されることにより、移動車3が走行レール2に案内されて移動するように構成されている。
通信用中継装置26は、合流部23において1つ設置されているのではなく、メイン経路4から合流部23に至る第1合流経路27、サブ経路5から合流部23に至る第2合流経路28、及び、合流部23にて合流後の合流部23を含む合流後経路29の夫々に、個別に設置されており合計3つ設けられている。
通信用中継装置26の夫々は、第1合流経路27、第2合流経路28及び合流後経路29の各経路に沿って配設された移動車側の通信装置25との間で情報を無線通信自在なアンテナ部30と、アンテナ部30が接続線31にて接続され且つ通信線32により管理手段24との間で情報を通信自在な中継装置本体33とを備えて構成されている。
アンテナ部30は、図4及び図5に示すように、経路に沿って長尺状で且つ横断面形状が平板状のシート状に形成されて、厚さ方向に沿う通信可能領域を表面全体に形成するシート状アンテナにて構成されている。アンテナ部30は、無線信号を二次元方向に伝播して、無線通信可能な通信領域を表面に沿って形成して厚さ方向に沿う通信可能領域を表面全体に形成する状態で出力させている。ちなみに、無線信号により通信を行うときの通信形式としては、一般的な無線LANと同様に、標準通信規格(IEEE802.11a)に基づいて行うようになっている。
中継装置本体33は、図4に示すように、アンテナ部30を用いて移動体側の通信装置25との間での通信により取得した移動体情報(例えば、どの移動車であるかを識別可能な台車No.等の台車識別情報)とその移動体情報を第1合流経路27、第2合流経路28及び合流後経路29のうちのどの経路に配設されたアンテナ部30により取得したかを示す識別情報(例えばアンテナNo.)とを関連付けて管理手段24との間で通信自在に構成されている。例えば、第1合流経路27に設置されたアンテナ部30にて移動体情報を取得すると、そのアンテナ部30に接続線31にて接続された中継装置本体33が、その移動体情報(台車識別情報)と識別情報(例えばアンテナNo.等のアンテナ識別情報)とを通信線32により管理手段24に送信する。
管理手段24は、中継装置本体33から受信した移動体情報と識別情報とに基づいて、第1合流経路27、第2合流経路28及び合流後経路29のうちのどの経路に移動車3が存在するのかを判別して、複数の移動車3の運行を管理するように構成されている。
移動車3に備えられた走行制御手段22は、第1合流経路27又は第2合流経路28に進入すると、移動車3を一旦走行停止させるとともに、移動体情報として、台車識別情報等の他に、メイン経路4又はサブ経路5から合流部23に合流走行を要求する合流走行要求情報を移動車側の通信装置25にて通信用中継装置26に送信する。ここで、走行制御手段22が移動車3の現在位置を把握しているので、この現在位置から第1合流経路27又は第2合流経路28に進入したか否かの判別を行うことができる。また、例えば、移動車側の通信装置25と通信用中継装置26との間で無線通信可能となることによって、第1合流経路27又は第2合流経路28に進入したか否かの判別を行うこともできる。
このようにして、第1合流経路27及び第2合流経路28の何れかに移動車3が進入すると、その移動車3に備えられた走行制御手段22から移動体情報として台車識別情報と合流走行要求情報とを含めた情報が管理手段24に送信される。
管理手段24は、第1合流経路27、第2合流経路28及び合流後経路29に移動車3が存在していると、その移動車3からの移動体情報と識別情報(例えばアンテナNo.等のアンテナ識別情報)とを受信するので、合流走行するときに通過予定の経路に他の移動車3が存在するか否か、及び、先に合流走行させている移動車3が存在するか否かを判別することができる。ここで、合流走行するときに通過予定の経路とは、移動車3が進入したのが第1合流経路27である場合には、第1合流経路27及び合流後経路29であり、移動車3が進入したのが第2合流経路28である場合には、第2合流経路28及び合流後経路29である。
ここで、合流走行するときに通過予定の経路に他の移動車3が存在せず且つ先に合流走行させている移動車3が存在しないと判別することにより、合流走行可能と判別しているが、例えば、合流走行するときに通過予定の経路に他の移動車3が存在しないことを判別すると、合流走行可能であると判別することもできる。これにより、先に合流走行させている移動車3との衝突を防止しながら、その移動車3の合流走行が終了する以前から次の移動車3を第1合流経路27又は第2合流経路28に進入させておくことができ、複数の移動車3を効率よくスムーズに合流走行させることも可能である。
この第2実施形態では、第1実施形態における通信用中継装置26の設置箇所についての別実施形態であり、その他の構成については第1実施形態と同様であるので、異なる構成のみを説明する。
この第2実施形態では、図8に示すように、第1合流経路27、第2合流経路28、及び、合流後経路29の夫々が、複数の分割経路部分41に分割されている。そして、複数の分割経路部分41の夫々には、個別に通信用中継装置26が設けられている。
管理手段24は、移動車3が存在する分割経路部分41があると判別すると、合流走行させている移動車3に対してその分割経路部分41に対する進入を禁止する進入禁止指令情報を運行指令情報として指令する進入禁止処理を行う(ステップ#21、#22)。また、管理手段24は、移動車3が存在する分割経路部分41がないと判別すると、合流走行させている移動車3に対して、走行を継続させる走行継続指令を運行指令情報として指令する走行継続処理を行う(ステップ#23)。
(1)上記第1及び第2実施形態では、本発明に係る物品搬送設備を天井搬送式の移動車3を備えた設備に適応した例を示したが、地上を走行する移動車を備えた設備にも適応可能であり、天井搬送式の移動車を備えた設備に限るものではない。
4 第1経路(メイン経路)
5 第2経路(サブ経路)
22 走行制御手段
23 合流部
24 管理手段
25 移動体側の通信装置(移動車側の通信装置)
26 通信用中継装置
27 第1合流経路
28 第2合流経路
29 合流後経路
30 アンテナ部
31 接続線
32 通信線
33 中継装置本体
S 走行経路
Claims (6)
- 走行経路に沿って走行する物品搬送用の移動体が複数設けられ、
前記複数の移動体の夫々に備えられた移動体側の通信装置との間で無線通信を行う通信用中継装置が設けられ、
前記走行経路における第1経路と第2経路とが合流する合流部において、前記複数の移動体の運行を管理すべく、前記通信用中継装置と前記移動体側の通信装置との間での無線通信により運行指令情報を前記複数の移動体の夫々に指令する管理手段が設けられ、
前記複数の移動体の夫々には、前記移動体側の通信装置にて受信する前記管理手段からの運行指令情報に基づいて、前記移動体の走行を制御する走行制御手段が備えられている物品搬送設備であって、
前記第1経路から前記合流部に至る第1合流経路、前記第2経路から前記合流部に至る第2合流経路、及び、前記合流部にて合流後の前記合流部を含む合流後経路の夫々には、個別に前記通信用中継装置が設けられ、
前記通信用中継装置の夫々は、前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路の経路に沿って配設されて前記移動体側の通信装置との間で情報を無線通信自在なアンテナ部と、前記アンテナ部が接続線にて接続され且つ通信線により前記管理手段との間で情報を通信自在な中継装置本体とを備えて構成され、
前記アンテナ部は、長尺状で且つ横断面形状が平板状のシート状に形成されて、通信可能領域を表面に沿って形成するシート状アンテナにて構成され、
前記中継装置本体は、前記アンテナ部を用いて前記移動体側の通信装置との間での通信により取得した移動体情報とその移動体情報を前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路のうちのどの経路に配設された前記アンテナ部により取得したかを示す識別情報とを関連付けて前記管理手段との間で通信自在に構成され、
前記管理手段は、前記中継装置本体から受信した移動体情報と前記識別情報とに基づいて、前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路のうちのどの経路に前記移動体が存在するのかを判別して、前記複数の移動体の運行を管理するように構成されている物品搬送設備。 - 前記走行制御手段は、前記第1合流経路又は前記第2合流経路に進入すると、前記第1経路又は前記第2経路から前記合流部に合流走行を要求する合流走行要求情報を前記移動体側の通信装置にて前記通信用中継装置に送信し、
前記管理手段は、前記合流走行要求情報を受信した場合に、合流走行するときに通過予定の経路に他の移動体が存在せず且つ先に合流走行させている移動体が存在しないと判別すると、合流走行させる合流走行指令を前記運行指令情報として前記合流走行要求情報を送信した前記移動体に対して指令し且つ前記通過予定の経路への進入を禁止する通過予定進入禁止指令を前記運行指令情報として他の移動体に指令し、前記通過予定の経路に他の移動体が存在する或いは先に合流走行させている移動体が存在すると判別すると、合流走行を禁止する合流走行禁止指令を前記運行指令情報として前記合流走行要求情報を送信した前記移動体に対して指令するように構成されている請求項1に記載の物品搬送設備。 - 前記管理手段は、前記合流走行中の移動体が存在する場合に、その移動体が合流走行する通過予定の経路に他の移動体が存在すると判別すると、合流走行中の移動体に対して走行停止させる走行停止指令を前記運行指令情報として指令するように構成されている請求項2に記載の物品搬送設備。
- 前記管理手段は、先に合流走行している移動体が前記合流部に到達していないときに、その合流走行する移動体よりも優先して合流させる移動体から前記合流走行要求情報を受信した場合に、走行停止させる走行停止指令を前記運行指令情報として先に合流走行している移動体に指令し、且つ、合流走行指令を前記運行指令情報として優先して合流させる移動体に指令するように構成されている請求項2又は3に記載の物品搬送設備。
- 前記第1合流経路、前記第2合流経路及び前記合流後経路の少なくとも1つが、複数の分割経路部分に分割され、
前記複数の分割経路部分の夫々には、個別に前記通信用中継装置が設けられ、
前記中継装置本体は、前記アンテナ部を用いて前記移動体側の通信装置との間での通信により取得した移動体情報とその移動体情報をどの分割経路部分に配設された前記アンテナ部により取得したかを示す分割識別情報とを関連付けて前記管理手段との間で通信自在に構成され、
前記管理手段は、前記中継装置本体から受信した移動体情報と前記分割識別情報とに基づいて、前記複数の分割経路部分のどの分割経路部分に前記移動体が存在するのかを判別して、前記複数の移動体の運行を管理するように構成されている請求項1〜4の何れか1項に記載の物品搬送設備。 - 前記管理手段は、前記移動体が存在する分割経路部分に対しては進入を禁止する進入禁止指令を前記運行指令情報として前記複数の移動体の夫々に指令するように構成されている請求項5に記載の物品搬送設備。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017191361A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP2018128914A (ja) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN109384000A (zh) * | 2017-08-04 | 2019-02-26 | 株式会社大福 | 物品搬运设备 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT507525B1 (de) | 2008-10-23 | 2010-09-15 | Siemens Vai Metals Tech Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum betrieb eines schmelzreduktionsverfahrens |
DE102011076317A1 (de) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Karl Storz Gmbh & Co. Kg | Tragvorrichtung für einen Operationssaal |
WO2014125845A1 (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-21 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
KR102394712B1 (ko) | 2015-09-09 | 2022-05-04 | 삼성전자주식회사 | 이송 시스템 및 이에 포함된 이송 유닛 |
JP6698399B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-05-27 | 北陽電機株式会社 | 搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法 |
JP6758757B2 (ja) * | 2016-07-13 | 2020-09-23 | ジヤトコ株式会社 | 搬送システム |
JP6652106B2 (ja) * | 2017-05-10 | 2020-02-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN108466788A (zh) * | 2018-02-07 | 2018-08-31 | 广东信源物流设备有限公司 | 一种邮袋进入带走输送线上的位置预约方法 |
KR102599356B1 (ko) | 2018-11-09 | 2023-11-07 | 삼성전자주식회사 | 주행 시스템, 이에 포함되는 자동 주행 장치 및 교차점 충돌 방지 방법 |
JP6958534B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2021-11-02 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
CN109533905A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-29 | 湖南省烟草公司衡阳市公司 | 一种异型烟空箱回收输送装置及其控制方法 |
SG11202109765QA (en) * | 2019-04-03 | 2021-10-28 | Murata Machinery Ltd | Traveling vehicle system |
JP7140279B2 (ja) * | 2019-05-14 | 2022-09-21 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送制御方法 |
US11819965B2 (en) | 2019-05-17 | 2023-11-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Device maintenance in semiconductor manufacturing environment |
KR102270044B1 (ko) | 2019-07-18 | 2021-06-28 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 |
KR102289023B1 (ko) | 2019-09-18 | 2021-08-11 | 세메스 주식회사 | 이송 차량의 동작 제어 방법 |
KR102277215B1 (ko) | 2019-10-07 | 2021-07-14 | 세메스 주식회사 | 이송 차량의 동작 제어 방법 |
KR102289024B1 (ko) | 2019-11-07 | 2021-08-11 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 |
KR102242360B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2021-04-20 | 제닉스주식회사 | 반도체 반송 시스템 및 이의 반송 차량 제어 방법 |
KR102289028B1 (ko) | 2020-01-02 | 2021-08-11 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 |
CN111976719A (zh) * | 2020-08-03 | 2020-11-24 | 长沙理工大学 | 一种车辆入库系统及方法 |
JP7283456B2 (ja) * | 2020-09-09 | 2023-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR102459085B1 (ko) | 2021-04-09 | 2022-10-26 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템을 위한 합류구간 제어장치 및 그 장치의 구동방법, 그리고 반송 시스템 |
CN116453993B (zh) * | 2023-06-15 | 2023-09-08 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 天车搬运系统、搬运方法和可存储介质 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5445017A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | Mergning controller |
JPS62140106A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-23 | Daifuku Co Ltd | 移動車の走行制御設備 |
JPS62183211U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-20 | ||
JPH04160413A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-03 | Daifuku Co Ltd | 移動車の走行制御設備 |
JPH11177337A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-07-02 | Fujitsu Ltd | 中継アンテナおよび無線通信システム |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4361202A (en) * | 1979-06-15 | 1982-11-30 | Michael Minovitch | Automated road transportation system |
CA2053028C (en) | 1990-10-23 | 1996-04-09 | Hideichi Tanizawa | Carriage running control system |
US5434490A (en) * | 1992-07-31 | 1995-07-18 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport system |
DE4227005B4 (de) | 1992-08-14 | 2006-03-30 | Fritz-Herbert Frembgen | Verfahren zur Regelung des Stromes bei einem elektrochemischen Bearbeitungsprozeß |
DE19541650A1 (de) * | 1995-11-08 | 1997-05-15 | Siemens Ag | Kabelförmige Antenne sowie Zugfernsehanlage mit einer derartigen Antenne |
US6629502B2 (en) | 2000-09-14 | 2003-10-07 | Daifuku Co., Ltd. | Conveyance system |
ES2380919T3 (es) | 2001-05-08 | 2012-05-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Método de mecanizado electroquímico con duración de impulso de mecanizado óptima |
JP2002351543A (ja) | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
DE10214618B4 (de) | 2002-04-03 | 2007-07-12 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels eines Bearbeitungsverfahrens, insbesondere des elektrochemischen Bearbeitungsverfahrens |
TWI233913B (en) | 2002-06-06 | 2005-06-11 | Murata Machinery Ltd | Automated guided vehicle system |
JP4241306B2 (ja) * | 2003-10-07 | 2009-03-18 | アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 | 衝突防止制御システム |
DE10348259A1 (de) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Duerr Automotion Gmbh | Spurgeführtes Transportsystem |
US20060069470A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | International Business Machines Corporation | Bi-directional absolute automated tracking system for material handling |
JP4775650B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2011-09-21 | 株式会社ダイフク | 移動体の走行設備 |
-
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- 2010-04-28 TW TW099113478A patent/TWI448862B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5445017A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | Mergning controller |
JPS62140106A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-23 | Daifuku Co Ltd | 移動車の走行制御設備 |
JPS62183211U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-20 | ||
JPH04160413A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-03 | Daifuku Co Ltd | 移動車の走行制御設備 |
JPH11177337A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-07-02 | Fujitsu Ltd | 中継アンテナおよび無線通信システム |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017191361A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN107291076A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
CN107291076B (zh) * | 2016-04-11 | 2021-11-30 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
JP2018128914A (ja) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR20180092875A (ko) | 2017-02-09 | 2018-08-20 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
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