JP5835052B2

JP5835052B2 - 無人搬送車システム

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Publication number: JP5835052B2
Application number: JP2012071991A
Authority: JP
Inventors: 智己小田原
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2012-03-27
Filing date: 2012-03-27
Publication date: 2015-12-24
Anticipated expiration: 2032-03-27
Also published as: JP2013205954A

Description

本発明は、搬送経路を自動走行する無人搬送車を用いて、荷物を搬送する無人搬送車システムに関する。

従来より、例えば半導体や液晶パネルの製造工場のクリーンルーム等には、無人搬送車システムが設置されている（例えば、特許文献１参照）。この無人搬送車システムでは、荷物を搭載可能な無人搬送車が用いられる。無人搬送車は、地上コントローラによって管理される。クリーンルームに敷設された搬送経路に沿って無人搬送車を自動走行させることにより、無人搬送車に搭載された荷物を搬送することができる。

無人搬送車の走行中に無人搬送車と作業者等とが衝突するのを防止するために、無人搬送車システムでは、例えば非接触式センサを用いた安全対策が講じられている。この非接触式センサは、無人搬送車に取り付けられており、無人搬送車の前方に存在する障害物を検出する。非接触式センサにより障害物が検出された際には、非接触式センサからの検出信号に基づいて、無人搬送車が減速又は停止される。

特開平３−１６３６０７号公報

上述した従来の無人搬送車システムでは、次のような問題がある。例えば、搬送経路の脇から作業員等が急に搬送経路に飛び出した場合などに、無人搬送車が作業員等と衝突するおそれがあるため対策が必要となっている。

無人搬送車が作業員等と衝突するのを確実に防止するためには、搬送経路全体において無人搬送車の最高走行速度を低く設定することが考えられる。しかしながら、このように無人搬送車の最高走行速度を低く設定した際には、無人搬送車が搬送経路を１周するのに要する時間が長くなるので、荷物の搬送効率が低下してしまう。従って、従来の無人搬送車システムでは、安全性の確保と荷物の搬送効率の向上とを両方実現することが難しいという問題がある。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、安全性を確保することができるとともに、荷物の搬送効率を高めることができる無人搬送車システムを提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る無人搬送車システムは、予め定められた搬送経路を走行することにより荷物を搬送する無人搬送車と、前記無人搬送車を管理する地上コントローラと、前記無人搬送車に設けられ、前記無人搬送車を走行させる車体コントローラと、を備え、前記搬送経路の少なくとも一部は、前記無人搬送車が走行する第１のエリア及び第２のエリアに設けられ、前記第１のエリアは、人の出入りを防止するための区画設備によって前記第１のエリアの外部と区画されており、前記車体コントローラは、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高くなるように、前記無人搬送車を走行させる。

本態様によれば、第１のエリアにおいては、無人搬送車は比較的高速で走行され、第２のエリアにおいては、無人搬送車は比較的低速で走行される。これにより、無人搬送車が搬送経路を１周するのに要する時間を短縮することができ、無人搬送車による荷物の搬送効率を高めることができる。また、無人搬送車が比較的高速で走行される第１のエリアは、人の出入りを防止するための区画設備によって第１のエリアの外部と区画されているので、第１のエリアにおいて無人搬送車が人と衝突するおそれが少なく、安全性を確保することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記地上コントローラは、前記第１のエリアへの人の進入を監視する進入監視部と、前記進入監視部により人の進入が検出された際に、前記車体コントローラに所定の情報を送信する送信部と、を有し、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が第１の最高走行速度から前記第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度に低下された状態で、前記無人搬送車を走行させるように構成してもよい。

本態様によれば、第１のエリアに人が進入した際に、第１のエリアを走行する無人搬送車の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に低下させることにより、荷物の搬送を継続させながら安全性を確保することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記所定の情報は、前記第１のエリアに人が進入したことを示す情報であり、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更するように構成してもよい。

本態様によれば、車体コントローラにおいて、第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記地上コントローラは、さらに、前記進入監視部により人の進入が検出された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する設定変更部を有し、前記所定の情報は、前記第２の最高走行速度に関する情報であり、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおいて前記第２の最高走行速度に基づいて前記無人搬送車を走行させるように構成してもよい。

本態様によれば、地上コントローラにおいて、第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記第１のエリアにおいて前記無人搬送車が複数走行している場合に、前記送信部は、前記第１のエリアを走行している前記複数の無人搬送車の各々の前記車体コントローラに前記所定の情報を送信するように構成してもよい。

本態様によれば、安全性をより一層高めることができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記地上コントローラは、前記第１のエリアに進入する前記無人搬送車に搭載された前記荷物の高さを監視する高さ監視部と、前記高さ監視部により検出された前記荷物の高さが所定値以上である場合に、前記車体コントローラに所定の情報を送信する送信部と、を有し、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が第１の最高走行速度から前記第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度に低下された状態で、前記無人搬送車を走行させるように構成してもよい。

本態様によれば、第１のエリアに進入する無人搬送車に搭載された荷物の高さが所定値以上である際に、無人搬送車の最高走行速度を第１の最高走行速度から低下させることにより、荷物の荷崩れを防止することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記所定の情報は、前記荷物の高さが前記所定値以上であることを示す情報であり、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更するように構成してもよい。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記地上コントローラは、さらに、前記高さ監視部により検出された前記荷物の高さが前記所定値以上である際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する設定変更部を有し、前記所定の情報は、前記第２の最高走行速度に関する情報であり、前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおいて前記第２の最高走行速度に基づいて前記無人搬送車を走行させるように構成してもよい。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記第１のエリアに前記無人搬送車が複数走行している場合に、前記送信部は、前記第１のエリアを走行している前記複数の無人搬送車のうち、前記荷物の高さが前記所定値以上である前記無人搬送車の前記車体コントローラに前記所定の情報を送信するように構成してもよい。

本態様によれば、荷物の搬送効率を保ちながら、荷物の荷崩れを防止することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記地上コントローラは、前記無人搬送車の現在位置に関する現在位置情報を取得することにより、前記無人搬送車の最高走行速度を設定する管理部を有し、前記管理部は、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高く設定し、前記車体コントローラは、前記管理部により設定された最高走行速度に基づいて、前記無人搬送車を走行させるように構成してもよい。

本態様によれば、地上コントローラにおいて無人搬送車の最高走行速度を設定することができる。

例えば、本発明の一態様に係る無人搬送車システムにおいて、前記車体コントローラは、前記無人搬送車の現在位置に関する現在位置情報を取得することにより、前記無人搬送車の最高走行速度を設定して前記無人搬送車を走行させる調整部を有し、前記調整部は、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高く設定するように構成してもよい。

本態様によれば、車体コントローラにおいて無人搬送車の最高走行速度を設定することができる。

本発明によれば、安全性を確保することができるとともに、荷物の搬送効率を高めることができる無人搬送車システムを実現することができる。

本発明の実施の形態１に係る無人搬送車システムの構成を示す平面図である。図１の無人搬送車システムの一部を拡大して示す斜視図である。無人搬送車を示す斜視図である。図１の無人搬送車システムの制御系を簡略的に示すブロック図である。図１の無人搬送車システムにおける無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。本発明の実施の形態２に係る無人搬送車システムの制御系を簡略的に示すブロック図である。第１のエリアに進入した無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。

以下、本発明に係る無人搬送車システムの各種実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。本発明は、特許請求の範囲によって特定される。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る無人搬送車システムの構成を示す平面図である。図２は、図１の無人搬送車システムの一部を拡大して示す斜視図である。図３は、無人搬送車を示す斜視図である。

図１に示すように、本実施の形態の無人搬送車システム１０は、例えば液晶パネル製造工場のクリーンルーム１０１に設置されている。クリーンルーム１０１内は、例えば第１のエリア１０２ａ，１０２ｂと第２のエリア１０３ａ，１０３ｂとに区画されている。第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにはそれぞれ、無人搬送車１０４（後述する）により搬送された例えばガラス基板１０５に対して所定の加工処理を施すための処理装置１０６が配置されている。処理装置１０６には、搬送経路１０７（後述する）上の無人搬送車１０４との間でガラス基板１０５を移載するためのローラコンベア１０６ａが設けられている。このローラコンベア１０６ａは、搬送経路１０７に面するように配置されている。

クリーンルーム１０１内には、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂの各々を囲むようにして、作業員等（人を構成する）の出入りを防止するための防護柵１０８（区画設備を構成する）が設けられている。この防護柵１０８によって、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂはそれぞれ、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂの外部と区画されている。第１のエリア１０２ａ，１０２ｂと第２のエリア１０３ａ，１０３ｂとの境界部における搬送経路１０７には、防護柵１０８は設けられておらず、無人搬送車１０４が通過可能なゲート１０９が設けられている。このゲート１０９には、作業員等がゲート１０９を通過したことを検出するためのエリアセンサ１１０が設けられている。エリアセンサ１１０からの検出信号は、地上コントローラ１１１（後述する）に送信される。

なお、上述したゲート１０９に代えて、開閉可能なシャッタを設けるように構成することもできる。無人搬送車１０４が上記境界部を通過する際には、シャッタが開くことによって搬送経路１０７が開放される。無人搬送車１０４が上記境界部を通過した後には、シャッタが閉じることによって搬送経路１０７が遮断される。

また、本実施の形態では、図２に示すように、ゲート１０９の両側にエリアセンサ１１０を１つずつ設けるように構成したが、ゲート１０９の両側にエリアセンサ１１０を複数個ずつ上下に並べて設けるように構成することもできる。これら複数個のエリアセンサ１１０により、例えば、無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３（後述する）の高さＨの検出及び無人搬送車１０４と作業員等との識別等を行うことができる。

クリーンルーム１０１の床面には、例えばループ状に形成された搬送経路１０７が設けられている。搬送経路１０７は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂ及び第２のエリア１０３ａ，１０３ｂをそれぞれ通過するようにして設けられている。第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおいては、搬送経路１０７は直線状に延びており、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおいては、搬送経路１０７は円弧状に延びている。搬送経路１０７には、搬送経路１０７に沿って連続的に延びる磁気テープ１１２が貼り付けられている。

無人搬送車１０４は、本実施の形態では、搬送経路１０７に貼り付けられた磁気テープ１１２に沿って、搬送経路１０７を所定方向に走行する磁気誘導方式の無人搬送車で構成されている。無人搬送車１０４には、複数の車輪（図示せず）と、複数の車輪を駆動するための電動モータ等の駆動源（図示せず）とが設けられている。駆動源によって複数の車輪が駆動されることにより、無人搬送車１０４が走行する。無人搬送車１０４の上部には、荷物１１３が搭載されている。本実施の形態では、荷物１１３は、複数のガラス基板１０５が収納されたカセット１１４で構成されている。

無人搬送車１０４には、無人搬送車１０４を走行させるための車体コントローラ１１５が搭載されている。この車体コントローラ１１５は、例えばクリーンルーム１０１内に設置された地上コントローラ１１１と無線通信される。以下、本実施の形態の無人搬送車システム１０の制御系について説明する。図４は、図１の無人搬送車システムの制御系を簡略的に示すブロック図である。なお、図４には、無人搬送車システム１０の機能構成のうち、本発明に関連する機能構成のみを図示している。

車体コントローラ１１５は、機能的には、記憶部１１６及び制御部１１７を有している。記憶部１１６には、搬送経路１０７に関するマップ情報等が記憶されている。制御部１１７は、調整部１１８及び通信部１１９を含んでいる。調整部１１８は、駆動源の回転数を調整することにより、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。通信部１１９は、地上コントローラ１１１との間で各種の情報を無線通信するためのものである。通信部１１９は、例えば、無人搬送車１０４の現在位置に関する現在位置情報及び搬送指令の実行状況に関する情報等を地上コントローラ１１１に送信する。なお、無人搬送車１０４の現在位置情報は、記憶部１１６に記憶されたマップ情報に基づいて送信される。

地上コントローラ１１１は、無人搬送車１０４を管理するためのものである。地上コントローラ１１１は、機能的には、記憶部１２０及び制御部１２１を有している。記憶部１２０には、搬送経路１０７に関するマップ情報及び無人搬送車１０４の最高走行速度に関する情報等が記憶されている。無人搬送車１０４の最高走行速度に関する情報は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂ及び第２のエリア１０３ａ，１０３ｂの各々における最高走行速度である。第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける最高走行速度は、第１の最高走行速度（例えば１２０〜１８０ｍ／分）であり、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける最高走行速度は、第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度（例えば６０ｍ／分）である。

制御部１２１は、管理部１２２、進入監視部１２３、設定変更部１２４及び通信部１２５（送信部を構成する）を含んでいる。管理部１２２は、例えば、無人搬送車１０４の現在位置、無人搬送車１０４の最高走行速度及び無人搬送車１０４に対する搬送指令の実行状況等を管理する。管理部１２２は、車体コントローラ１１５から送信された無人搬送車１０４の現在位置情報及び記憶部１２０に記憶された最高走行速度に関する情報を取得することにより、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂを走行する無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度に設定し、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂを走行する無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定する。

進入監視部１２３は、エリアセンサ１１０からの検出信号に基づいて、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂへの作業員等の進入及び第１のエリア１０２ａ，１０２ｂからの作業員等の退出を監視する。設定変更部１２４は、進入監視部１２３からの検出結果に基づいて、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を設定変更する。具体的には、設定変更部１２４は、進入監視部１２３により第１のエリア１０２ａ，１０２ｂへの作業員等の進入が検出された際に、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更する。その後、進入監視部１２３により第１のエリア１０２ａ，１０２ｂからの作業員等の退出が検出された際には、設定変更部１２４は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度から第１の最高走行速度に設定変更する。

通信部１２５は、車体コントローラ１１５との間で各種の情報を無線通信するためのものである。通信部１２５は、例えば、管理部１２２により設定された第１の最高走行速度及び第２の最高走行速度に関する情報、設定変更部１２４により設定変更された第２の最高走行速度に関する情報（所定の情報を構成する）並びに荷物の搬送指令に関する情報等を車体コントローラ１１５に送信する。

次に、本実施の形態の無人搬送車システム１０による無人搬送車１０４の最高走行速度の制御方法について説明する。図５は、図１の無人搬送車システムにおける無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。

搬送経路１０７には、荷物１１３を搭載した複数の無人搬送車１０４が間隔を置いて配置されている。地上コントローラ１１１から複数の無人搬送車１０４の各々の車体コントローラ１１５に搬送指令が送信された際には、複数の無人搬送車１０４の各々は、搬送経路１０７を所定方向に走行する。例えば、無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ａ、第２のエリア１０３ａ、第１のエリア１０２ｂ及び第２のエリア１０３ｂをこの順に通過する。

無人搬送車１０４が第１のエリア１０２ａに設置された処理装置１０６の前で停止した状態で、移載装置（図示せず）によって荷物１１３が処理装置１０６のローラコンベア１０６ａに移載される。処理装置１０６において所定の加工処理が施された荷物１１３は、移載装置によって再度無人搬送車１０４に移載される。その後、無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ａ及び第２のエリア１０３ａを走行し、第１のエリア１０２ｂに設置された処理装置１０６の前で停止する。上述と同様に、無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３が処理装置１０６に移載され、荷物１１３に対して所定の加工処理が施される。荷物１１３が再度無人搬送車１０４に搭載された後に、無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ｂ及び第２のエリア１０３ｂを走行する。以上のようにして、無人搬送車１０４によって荷物１１３が例えば２つの処理装置１０６間を搬送される。

無人搬送車１０４が第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を走行している際には（Ｓ１１でＹＥＳ）、地上コントローラ１１１の管理部１２２は、無人搬送車１０４の現在位置情報を取得することにより、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度に設定する（Ｓ１２）。地上コントローラ１１１の通信部１２５は、設定された第１の最高走行速度に関する情報を当該無人搬送車１０４の車体コントローラ１１５に送信する。車体コントローラ１１５の通信部１１９が第１の最高走行速度に関する情報を受信することにより、調整部１１８は、駆動源の最大回転数を第１の最高走行速度に対応する第１の最大回転数に制御する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を第１の最高走行速度以下で走行する（Ｓ１３）。なお、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける無人搬送車１０４の走行速度は一定ではなく、第１の最高走行速度を上限の速度として適宜加速又は減速される。

無人搬送車１０４が第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける搬送経路１０７を走行している、或いは、無人搬送車１０４がゲート１０９を通過して第２のエリア１０３ａ，１０３ｂに進入した際には（Ｓ１１でＮＯ）、地上コントローラ１１１の管理部１２２は、無人搬送車１０４の現在位置情報を取得することにより、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定する（Ｓ１４）。地上コントローラ１１１の通信部１２５は、設定された第２の最高走行速度に関する情報を当該無人搬送車１０４の車体コントローラ１１５に送信する。車体コントローラ１１５の通信部１１９が第２の最高走行速度に関する情報を受信することにより、調整部１１８は、駆動源の最大回転数を第２の最高走行速度に対応する第２の最大回転数に制御する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける搬送経路１０７を第２の最高走行速度以下で走行する（Ｓ１５）。なお、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける無人搬送車１０４の走行速度は一定ではなく、第２の最高走行速度を上限の速度として適宜加速又は減速される。

なお、無人搬送車１０４がゲート１０９を通過して第２のエリア１０３ｂ（又は第２のエリア１０３ａ）から退出して第１のエリア１０２ａ（又は第１のエリア１０２ｂ）に進入した際には（Ｓ１１でＹＥＳ）、上述したＳ１２が実行される。

上述したように、本実施の形態の無人搬送車システム１０では、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおいては、無人搬送車１０４は比較的高速で走行され、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおいては、無人搬送車１０４は比較的低速で走行される。これにより、無人搬送車１０４が搬送経路１０７を１周するのに要する時間を短縮することができ、無人搬送車１０４による荷物１１３の搬送効率を高めることができる。また、無人搬送車１０４が比較的高速で走行する第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおいて、無人搬送車１０４が作業員等と衝突するおそれが少なく、安全性を高めることができる。

さらに、本実施の形態の無人搬送車システム１０では、作業員等が第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入した場合に、次のようにして安全性を確保することができる。図６は、第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。上述したように、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を走行している無人搬送車１０４の最高走行速度は、第１の最高走行速度に設定されている（Ｓ３１）。これにより、当該無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を第１の最高走行速度以下で走行する（Ｓ３２）。

作業員等がゲート１０９を通過して例えば第１のエリア１０２ａに進入した際には、エリアセンサ１１０は、作業員等がゲート１０９を通過したことを検出する。進入監視部１２３は、エリアセンサ１１０からの検出信号に基づいて、第１のエリア１０２ａへの作業員等の進入を検出する。進入監視部１２３によって作業員等の進入が検出されることにより（Ｓ３３でＹＥＳ）、設定変更部１２４は、第１のエリア１０２ａにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更する（Ｓ３４）。これにより、管理部１２２は、第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行している複数の無人搬送車１０４の各々の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定する。地上コントローラ１１１の通信部１２５は、第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行している複数の無人搬送車１０４の各々の車体コントローラ１１５に対して、第２の最高走行速度に関する情報（所定の情報を構成する）を送信する。車体コントローラ１１５の通信部１１９が第２の最高走行速度に関する情報を受信することにより、調整部１１８は、駆動源の最大回転数を第２の最大回転数に制御する。これにより、第１のエリア１０２ａに存在する全ての無人搬送車１０４は、第２の最高走行速度以下で第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行する（Ｓ３５）。

その後、作業員等がゲート１０９を通過して例えば第１のエリア１０２ａの外部に退出した際には、エリアセンサ１１０は、作業員等がゲート１０９を通過したことを検出する。進入監視部１２３は、エリアセンサ１１０からの検出信号に基づいて、第１のエリア１０２ａからの作業員等の退出を検出する。進入監視部１２３によって作業員等の退出が検出されることにより（Ｓ３６でＹＥＳ）、設定変更部１２４は、第１のエリア１０２ａにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度から第１の最高走行速度に設定変更する（Ｓ３７）。これにより、管理部１２２は、第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行している複数の無人搬送車１０４の各々の最高走行速度を第１の最高走行速度に設定する。地上コントローラ１１１の通信部１２５は、第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行している複数の無人搬送車１０４の各々の車体コントローラ１１５に対して、第１の最高走行速度に関する情報を送信する。車体コントローラ１１５の通信部１１９が第１の最高走行速度に関する情報を受信することにより、調整部１１８は、駆動源の最大回転数を第１の最大回転数に制御する。これにより、第１のエリア１０２ａに存在する全ての無人搬送車１０４は、再び第１の最高走行速度以下で第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行する（Ｓ３２）。

上述したように、本実施の形態の無人搬送車システム１０では、作業員等が第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入した際に、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに存在する全ての無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に低下させることにより、荷物１１３の搬送を継続させながら安全性を確保することができる。

なお、例えば第１のエリア１０２ａに複数の作業員等が進入する可能性がある場合には、エリアセンサ１１０により第１のエリア１０２ａからの作業員等の退出が検出された回数をカウントするためのカウンタを設けるように構成することができる。この場合には、エリアセンサ１１０からの検出信号及びカウンタからのカウント結果に基づいて、進入監視部１２３は、全ての作業員等がゲート１０９を通過して第１のエリア１０２ａの外部に退出したこと、即ち、第１のエリア１０２ａ内に作業員等が存在しないことを検出することができる。

（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２に係る無人搬送車システムの制御系を簡略的に示すブロック図である。なお、本実施の形態では、図１〜図６に記載の符号を適宜用いて説明する。

本実施の形態の無人搬送車システム１０Ａでは、搬送経路１０７上に設置されたゲート１０９には、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入する無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨ（図３参照）を検出するためのエリアセンサ１１０Ａが設けられている。エリアセンサ１１０Ａからの検出信号は、地上コントローラ１１１Ａに送信される。

図７に示すように、地上コントローラ１１１Ａの制御部１２１Ａは、管理部１２２、高さ監視部１２６及び通信部１２５（送信部を構成する）を含んでいる。高さ監視部１２６は、エリアセンサ１１０からの検出信号に基づいて、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入する無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨを監視する。地上コントローラ１１１Ａの記憶部１２０には、搬送経路１０７に関するマップ情報が記憶されている。通信部１２５は、荷物１１３の高さＨが所定値（例えば２ｍ）以上であることを示す情報（所定の情報を構成する）等を車体コントローラ１１５Ａに送信する。なお、本実施の形態では、管理部１２２は、無人搬送車１０４の最高走行速度の管理は行わない。

車体コントローラ１１５Ａの記憶部１１６には、搬送経路１０７に関するマップ情報及び無人搬送車１０４の最高走行速度に関する情報が記憶されている。無人搬送車１０４の最高走行速度に関する情報は、上記第１の実施形態と同様に、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂ及び第２のエリア１０３ａ，１０３ｂの各々における最高走行速度である。車体コントローラ１１５Ａの制御部１１７Ａは、調整部１１８、設定変更部１２７及び通信部１１９を含んでいる。調整部１１８は、記憶部１１６に記憶されたマップ情報に基づいて無人搬送車１０４の現在位置情報を取得する。調整部１１８は、無人搬送車１０４の現在位置情報及び記憶部１１６に記憶された最高走行速度に関する情報を取得することにより、無人搬送車１０４の最高走行速度を設定し、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。設定変更部１２７は、高さ監視部１２６からの検出結果に基づいて、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける無人搬送車１０４の最高走行速度を設定変更する。具体的には、設定変更部１２７は、高さ監視部１２６により検出された荷物１１３の高さＨが所定値以上である際に、当該荷物１１３を搬送している無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更する。

次に、本実施の形態の無人搬送車システム１０による無人搬送車１０４の最高走行速度の制御方法について説明する。無人搬送車１０４が第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を走行している際には、車体コントローラ１１５Ａの調整部１１８は、無人搬送車１０４の現在位置情報を取得することにより、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度に設定し、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂにおける搬送経路１０７を第１の最高走行速度以下で走行する。

無人搬送車１０４が第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける搬送経路１０７を走行している際には、車体コントローラ１１５Ａの調整部１１８は、無人搬送車１０４の現在位置情報を取得することにより、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定し、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第２のエリア１０３ａ，１０３ｂにおける搬送経路１０７を第２の最高走行速度以下で走行する。

さらに、本実施の形態の無人搬送車システム１０では、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入する無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨが所定値以上である場合に、次のようにして荷物１１３の荷崩れを防止することができる。図８は、第１のエリアに進入した無人搬送車の最高走行速度の制御の流れを示すフローチャートである。

無人搬送車１０４がゲート１０９を通過して例えば第１のエリア１０２ａに進入した際には（Ｓ５１）、エリアセンサ１１０は、当該無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨを検出する。高さ監視部１２６は、エリアセンサ１１０からの検出信号に基づいて、無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨを検出する。

高さ監視部１２６により検出された荷物１１３の高さＨが所定値未満である場合には（Ｓ５２でＮＯ）、調整部１１８は、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度に設定することにより（Ｓ５３）、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第１の最高走行速度以下で第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行する（Ｓ５４）。

高さ監視部１２６により検出された荷物１１３の高さＨが所定値以上である場合には（Ｓ５２でＹＥＳ）、地上コントローラ１１１Ａの通信部１２５は、荷物１１３の高さＨが所定値以上であることを示す情報（所定の情報を構成する）を車体コントローラ１１５Ａに送信する。この情報が車体コントローラ１１５Ａの通信部１１９により受信されることにより、設定変更部１２７は、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に設定変更する（Ｓ５５）。調整部１１８は、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定し、無人搬送車１０４の走行速度を調整する。これにより、当該無人搬送車１０４は、第２の最高走行速度以下で第１のエリア１０２ａにおける搬送経路１０７を走行する（Ｓ５６）。

上述したように、本実施の形態の無人搬送車システム１０Ａでは、第１のエリア１０２ａ，１０２ｂに進入する無人搬送車１０４に搭載された荷物１１３の高さＨが所定値以上である際に、当該無人搬送車１０４の最高走行速度を第１の最高走行速度から第２の最高走行速度に低下させることにより、荷物１１３の荷崩れを防止することができる。

以上、本発明の無人搬送車システムについて、実施の形態１及び２に基づいて説明したが、本発明は、これら実施の形態１及び２に限定されるものではない。これらの実施の形態に対して当業者が思い付く変形を施して得られる形態、及び、これらの実施の形態における構成要素を任意に組み合わせて実現される別の形態も本発明に含まれる。

上記実施の形態１では、地上コントローラから車体コントローラに所定の情報として第２の最高走行速度に関する情報を送信するように構成したが、このような構成に代えて、上記実施の形態２と同様に構成することもできる。即ち、地上コントローラから車体コントローラに所定の情報として第１のエリアに作業員等が進入したことを示す情報を送信し、車体コントローラにおいて無人搬送車の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定変更するように構成することもできる。

また、上記実施の形態１では、無人搬送車の最高走行速度の設定を地上コントローラの管理部で行うように構成したが、上記実施の形態２と同様に、無人搬送車の最高走行速度の設定を車体コントローラの調整部で行うように構成することもできる。

また、上記実施の形態２では、地上コントローラから車体コントローラに所定の情報として荷物の高さが所定値以上であることを示す情報を送信し、車体コントローラにおいて無人搬送車の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定変更するように構成したが、このような構成に代えて、上記実施の形態１と同様に構成することもできる。即ち、地上コントローラにおいて無人搬送車の最高走行速度を第２の最高走行速度に設定変更し、地上コントローラから車体コントローラに所定の情報として第２の最高走行速度に関する情報を送信するように構成することもできる。

上記実施の形態１及び２では、磁気誘導方式の無人搬送車を用いたが、これに限られず、例えば、搬送経路に貼り付けられた反射テープに沿って搬送経路を所定方向に走行する光誘導方式の無人搬送車を用いることもできる。或いは、無人搬送車に搭載されたレーザレーダが壁等に取り付けられた反射板を検出しながら走行するレーザ誘導方式の無人搬送車を用いることもできる。或いは、搬送経路に敷設されたレールにガイドされながら走行する方式の無人搬送車を用いることもできる。

上記実施の形態１及び２では、第１のエリア及び第２のエリアはそれぞれ、搬送経路の一部とその周囲の領域とを含むように構成されているが、第１のエリア及び第２のエリアの各々が搬送経路の一部自体となるように構成することもできる。

上記実施の形態１及び２では、搬送経路の全部が第１のエリア及び第２のエリアに設けられているが、搬送経路の一部が第１のエリア及び第２のエリアに設けられていてもよい。

上記実施の形態１及び２では、第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度を第１の最高走行速度から低下させる際に、低下後の最高走行速度を第２のエリアにおける第２の最高走行速度としたが、これに限られず、第１の最高走行速度よりも低い任意の最高走行速度に低下するように構成することができる。

上記実施の形態１及び２では、搬送経路が第１のエリア及び第２のエリアに設けられるように構成したが、搬送経路の少なくとも一部が第１のエリア、第２のエリア及び第３のエリアに設けられるように構成することもできる。この場合には、第１のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度は第１の最高走行速度、第２のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度は第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度、第３のエリアにおける無人搬送車の最高走行速度は第２の最高走行速度よりも低い第３の最高走行速度に設定される。

上記実施の形態１及び２では、搬送経路をループ状に形成したが、複数のルートを有する複雑な形状に形成することもできる。この場合には、第２のエリアにおける搬送経路には、例えば分岐合流部、右左折部及び横行部等が設けられる。

なお、無人搬送車の所定部位には、無人搬送車の前方に存在する障害物を検出する非接触式センサを設けることができる。非接触式センサにより障害物が検出された際には、非接触式センサからの検出信号に基づいて、無人搬送車が減速又は停止される。或いは、無人搬送車のバンパには、バンパに加わった外力を検出する接触式センサを設けることができる。無人搬送車のバンパが作業員等と衝突した際には、接触式センサからの検出信号に基づいて、無人搬送車が減速又は停止される。

本発明は、搬送経路を自動走行する無人搬送車を用いて、荷物を搬送する無人搬送車システムとして利用することができる。

１０，１０Ａ無人搬送車システム
１０１クリーンルーム
１０２ａ，１０２ｂ第１のエリア
１０３ａ，１０３ｂ第２のエリア
１０４無人搬送車
１０５ガラス基板
１０６処理装置
１０６ａローラコンベア
１０７搬送経路
１０８防護柵
１０９ゲート
１１０，１１０Ａエリアセンサ
１１１，１１１Ａ地上コントローラ
１１２磁気テープ
１１３荷物
１１４カセット
１１５，１１５Ａ車体コントローラ
１１６，１２０記憶部
１１７，１１７Ａ，１２１，１２１Ａ制御部
１１８調整部
１１９，１２５通信部
１２２管理部
１２３進入監視部
１２４，１２７設定変更部
１２６高さ監視部

Claims

予め定められた搬送経路を走行することにより荷物を搬送する無人搬送車と、
前記無人搬送車を管理する地上コントローラと、
前記無人搬送車に設けられ、前記無人搬送車を走行させる車体コントローラと、を備え、
前記搬送経路の少なくとも一部は、前記無人搬送車が走行する第１のエリア及び第２のエリアに設けられ、前記第１のエリアは、人の出入りを防止するための区画設備によって前記第１のエリアの外部と区画されており、
前記車体コントローラは、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高くなるように、前記無人搬送車を走行させる
無人搬送車システム。
前記地上コントローラは、
前記第１のエリアへの人の進入を監視する進入監視部と、
前記進入監視部により人の進入が検出された際に、前記車体コントローラに所定の情報を送信する送信部と、を有し、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が第１の最高走行速度から前記第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度に低下された状態で、前記無人搬送車を走行させる
請求項１に記載の無人搬送車システム。
前記所定の情報は、前記第１のエリアに人が進入したことを示す情報であり、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する
請求項２に記載の無人搬送車システム。
前記地上コントローラは、さらに、前記進入監視部により人の進入が検出された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する設定変更部を有し、
前記所定の情報は、前記第２の最高走行速度に関する情報であり、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおいて前記第２の最高走行速度に基づいて前記無人搬送車を走行させる
請求項２に記載の無人搬送車システム。
前記第１のエリアにおいて前記無人搬送車が複数走行している場合に、前記送信部は、前記第１のエリアを走行している前記複数の無人搬送車の各々の前記車体コントローラに前記所定の情報を送信する
請求項２〜４のいずれか１項に記載の無人搬送車システム。
前記地上コントローラは、
前記第１のエリアに進入する前記無人搬送車に搭載された前記荷物の高さを監視する高さ監視部と、
前記高さ監視部により検出された前記荷物の高さが所定値以上である場合に、前記車体コントローラに所定の情報を送信する送信部と、を有し、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度が第１の最高走行速度から前記第１の最高走行速度よりも低い第２の最高走行速度に低下された状態で、前記無人搬送車を走行させる
請求項１に記載の無人搬送車システム。
前記所定の情報は、前記荷物の高さが前記所定値以上であることを示す情報であり、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する
請求項６に記載の無人搬送車システム。
前記地上コントローラは、さらに、前記高さ監視部により検出された前記荷物の高さが前記所定値以上である際に、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第１の最高走行速度から前記第２の最高走行速度に設定変更する設定変更部を有し、
前記所定の情報は、前記第２の最高走行速度に関する情報であり、
前記車体コントローラは、前記送信部から前記所定の情報が送信された際に、前記第１のエリアにおいて前記第２の最高走行速度に基づいて前記無人搬送車を走行させる
請求項６に記載の無人搬送車システム。
前記第１のエリアに前記無人搬送車が複数走行している場合に、前記送信部は、前記第１のエリアを走行している前記複数の無人搬送車のうち、前記荷物の高さが前記所定値以上である前記無人搬送車の前記車体コントローラに前記所定の情報を送信する
請求項６〜８のいずれか１項に記載の無人搬送車システム。
前記地上コントローラは、前記無人搬送車の現在位置に関する現在位置情報を取得することにより、前記無人搬送車の最高走行速度を設定する管理部を有し、
前記管理部は、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高く設定し、
前記車体コントローラは、前記管理部により設定された最高走行速度に基づいて、前記無人搬送車を走行させる
請求項１〜９のいずれか１項に記載の無人搬送車システム。
前記車体コントローラは、前記無人搬送車の現在位置に関する現在位置情報を取得することにより、前記無人搬送車の最高走行速度を設定して前記無人搬送車を走行させる調整部を有し、
前記調整部は、前記第１のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度を前記第２のエリアにおける前記無人搬送車の最高走行速度よりも高く設定する
請求項１〜９のいずれか１項に記載の無人搬送車システム。