JP2009206253A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009206253A5 JP2009206253A5 JP2008046061A JP2008046061A JP2009206253A5 JP 2009206253 A5 JP2009206253 A5 JP 2009206253A5 JP 2008046061 A JP2008046061 A JP 2008046061A JP 2008046061 A JP2008046061 A JP 2008046061A JP 2009206253 A5 JP2009206253 A5 JP 2009206253A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor element
- semiconductor device
- semiconductor
- functional member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 80
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 25
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims 22
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims 12
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims 6
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims 6
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 6
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 2
- IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N azanylidynetungsten Chemical compound [W]#N IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008046061A JP5344336B2 (ja) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | 半導体装置 |
| US12/394,911 US8164191B2 (en) | 2008-02-27 | 2009-02-27 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008046061A JP5344336B2 (ja) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | 半導体装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009206253A JP2009206253A (ja) | 2009-09-10 |
| JP2009206253A5 true JP2009206253A5 (enExample) | 2012-06-14 |
| JP5344336B2 JP5344336B2 (ja) | 2013-11-20 |
Family
ID=41148245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008046061A Expired - Fee Related JP5344336B2 (ja) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | 半導体装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8164191B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5344336B2 (enExample) |
Families Citing this family (50)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5318634B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2013-10-16 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | チップサイズパッケージ状の半導体チップ及び製造方法 |
| US8536671B2 (en) * | 2010-06-07 | 2013-09-17 | Tsang-Yu Liu | Chip package |
| JP5450295B2 (ja) * | 2010-07-05 | 2014-03-26 | オリンパス株式会社 | 撮像装置および撮像装置の製造方法 |
| JP5521862B2 (ja) * | 2010-07-29 | 2014-06-18 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| JP5709435B2 (ja) * | 2010-08-23 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | 撮像モジュール及びカメラ |
| FR2968832A1 (fr) * | 2010-12-08 | 2012-06-15 | St Microelectronics Grenoble 2 | Procédé de fabrication de dispositifs semi-conducteurs et dispositifs semi-conducteurs |
| US8900913B2 (en) * | 2011-08-19 | 2014-12-02 | Chuan-Jin Shiu | Chip package and method for forming the same |
| CN104364898A (zh) * | 2012-05-30 | 2015-02-18 | 奥林巴斯株式会社 | 摄像装置的制造方法以及半导体装置的制造方法 |
| EP2858105A4 (en) * | 2012-05-30 | 2016-05-18 | Olympus Corp | IMAGING DEVICE, SEMICONDUCTOR DEVICE AND IMAGING UNIT |
| US8987871B2 (en) * | 2012-05-31 | 2015-03-24 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Cap for a microelectromechanical system device with electromagnetic shielding, and method of manufacture |
| JP6146976B2 (ja) * | 2012-09-24 | 2017-06-14 | オリンパス株式会社 | 撮像装置、該撮像装置を備える内視鏡 |
| JP2015001459A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、電子機器、および移動体 |
| JP6300029B2 (ja) | 2014-01-27 | 2018-03-28 | ソニー株式会社 | 撮像素子、製造装置、製造方法 |
| JP2015142067A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、半導体装置、並びに電子機器 |
| TWI529891B (zh) * | 2014-05-01 | 2016-04-11 | 精材科技股份有限公司 | 半導體結構及其製作方法 |
| US9418877B2 (en) * | 2014-05-05 | 2016-08-16 | Qualcomm Incorporated | Integrated device comprising high density interconnects in inorganic layers and redistribution layers in organic layers |
| DE102014111945A1 (de) * | 2014-05-19 | 2015-11-19 | Zentrum Mikroelektronik Dresden Ag | Funktionseinheit mit strahlungsundurchlässigen Mitteln |
| KR20160090972A (ko) * | 2015-01-22 | 2016-08-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 패키지 및 제조 방법 |
| US9543347B2 (en) | 2015-02-24 | 2017-01-10 | Optiz, Inc. | Stress released image sensor package structure and method |
| JP6727948B2 (ja) | 2015-07-24 | 2020-07-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、製造方法 |
| JP6629440B2 (ja) * | 2015-10-10 | 2020-01-15 | 蘇州晶方半導体科技股▲分▼有限公司China Wafer Level Csp Co., Ltd. | イメージセンシングチップのためのパッケージング方法およびパッケージ構造 |
| WO2017059777A1 (zh) * | 2015-10-10 | 2017-04-13 | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 | 影像传感芯片的封装方法以及封装结构 |
| US9895459B2 (en) * | 2015-10-21 | 2018-02-20 | Stanley Electric Co., Ltd. | Ultraviolet ray emitting package having resin adhesive layer and ultraviolet ray irradiating apparatus |
| US9653504B1 (en) * | 2015-11-03 | 2017-05-16 | Omnivision Technologies, Inc. | Chip-scale packaged image sensor packages with black masking and associated packaging methods |
| JP6989383B2 (ja) | 2015-11-05 | 2022-01-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び、電子機器 |
| US10506186B2 (en) * | 2015-11-12 | 2019-12-10 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and solid-state imaging apparatus |
| CN105744127B (zh) * | 2015-11-13 | 2020-04-28 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 摄像模组及其电气支架和组装方法 |
| US20170186712A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-06-29 | Xintec Inc. | Chip package and method for forming the same |
| TWI649856B (zh) * | 2016-05-13 | 2019-02-01 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封裝體與其製造方法 |
| US10128289B2 (en) * | 2016-09-12 | 2018-11-13 | Semiconductor Components Industries, Llc | Embedded image sensor semiconductor packages and related methods |
| JP6843570B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2021-03-17 | キヤノン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| US10424540B2 (en) * | 2016-10-06 | 2019-09-24 | Xintec Inc. | Chip package and method for forming the same |
| JP6851773B2 (ja) | 2016-10-31 | 2021-03-31 | キヤノン株式会社 | 半導体装置 |
| CN109087897A (zh) | 2017-06-13 | 2018-12-25 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封装体及其制作方法 |
| US10804206B2 (en) | 2017-07-31 | 2020-10-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Deep trench protection |
| JP2019040893A (ja) * | 2017-08-22 | 2019-03-14 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
| JP2019161046A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、撮像装置、および電子機器 |
| US10868061B2 (en) * | 2018-08-13 | 2020-12-15 | Semiconductor Components Industries, Llc | Packaging structure for a sensor having a sealing layer |
| US10998361B2 (en) * | 2018-09-22 | 2021-05-04 | Omnivision Technologies, Inc. | Image-sensor package and associated method |
| JP2020098849A (ja) | 2018-12-18 | 2020-06-25 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置 |
| JP7297329B2 (ja) * | 2019-05-16 | 2023-06-26 | 中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司 | エアギャップ型半導体デバイスのパッケージング構造及びその製作方法 |
| US12185018B2 (en) | 2019-06-28 | 2024-12-31 | Apple Inc. | Stacked electromagnetic radiation sensors for visible image sensing and infrared depth sensing, or for visible image sensing and infrared image sensing |
| CN114846610A (zh) * | 2020-02-13 | 2022-08-02 | 索尼半导体解决方案公司 | 半导体装置和半导体装置的制造方法 |
| CN111554698B (zh) * | 2020-03-27 | 2023-05-23 | 广州立景创新科技有限公司 | 图像获取组件及其制备方法 |
| KR20220031161A (ko) * | 2020-09-04 | 2022-03-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
| US12166050B2 (en) | 2020-09-20 | 2024-12-10 | UTAC Headquarters Ptd Ltd. | Reliable semiconductor packages |
| WO2022190640A1 (ja) * | 2021-03-11 | 2022-09-15 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、撮像装置 |
| KR20230031712A (ko) * | 2021-08-27 | 2023-03-07 | 삼성전자주식회사 | 크랙 방지 구조를 포함한 반도체 소자 |
| US20240030265A1 (en) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | Semiconductor Components Industries, Llc | Stacked chip scale optical sensor package |
| CN119133139B (zh) * | 2024-11-12 | 2025-03-07 | 甬矽半导体(宁波)有限公司 | 高密度衬底叠层封装结构和封装方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487354A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-19 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| JP2750253B2 (ja) * | 1993-01-26 | 1998-05-13 | 京セラ株式会社 | 半導体装置 |
| JP2004079608A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
| JP4271625B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2009-06-03 | 株式会社フジクラ | 半導体パッケージ及びその製造方法 |
| JP4947256B2 (ja) | 2004-09-28 | 2012-06-06 | 大日本印刷株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JP4760713B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2011-08-31 | 住友ベークライト株式会社 | 受光装置 |
| WO2006073085A1 (ja) * | 2005-01-04 | 2006-07-13 | I Square Reserch Co., Ltd. | 固体撮像装置及びその製造方法 |
| JP4816051B2 (ja) | 2005-12-13 | 2011-11-16 | 大日本印刷株式会社 | センサーパッケージおよびその製造方法 |
| JP2009260269A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-11-05 | Panasonic Corp | 光学デバイス及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-02-27 JP JP2008046061A patent/JP5344336B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-02-27 US US12/394,911 patent/US8164191B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009206253A5 (enExample) | ||
| JP7439486B2 (ja) | 配線基板および実装基板 | |
| JP2005520342A5 (enExample) | ||
| TW200601466A (en) | Packaged microelectronic imagers and methods of packaging microelectronic imagers | |
| JP2014068014A5 (enExample) | ||
| WO2010104610A8 (en) | Stacked microelectronic assembly with microelectronic elements having vias extending through bond pads | |
| JP2012175024A5 (enExample) | ||
| JP2009283902A5 (enExample) | ||
| JP2007150150A5 (enExample) | ||
| JP7439487B2 (ja) | 配線基板、実装基板、および配線基板の製造方法 | |
| JP5301108B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2008052721A5 (enExample) | ||
| JP2014086447A5 (enExample) | ||
| EP1699277A4 (en) | CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE | |
| JP2013187464A5 (enExample) | ||
| JP2009194387A5 (enExample) | ||
| JP2009532874A5 (enExample) | ||
| JP2006310799A5 (enExample) | ||
| TW201810580A (zh) | 於半導體封裝中之電容性互連件 | |
| JP2014157884A5 (enExample) | ||
| JP2010118637A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2019096831A (ja) | 抵抗器 | |
| JP2011146665A (ja) | ハイブリッド型放熱基板およびその製造方法 | |
| JP2010267695A5 (enExample) | ||
| JP2008047843A5 (enExample) |