JP2009182295A - 基板処理装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応管と、該反応管を加熱する加熱装置と、該加熱装置より外部に設けられた非金属材料で構成され、前記反応管の軸心に対し直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有し、少なくとも該突出部に、前記反応管内へガスを供給するガス供給部を備えるマニホールドと、を有する基板処理装置。
【選択図】なし
Description
例えば、半導体集積回路装置(以下、ICという。)が作り込まれる半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に酸化膜や金属膜や半導体膜を形成する成膜、アニール、酸化、拡散およびリフロー等の熱処理(thermal treatment )に使用される熱処理装置(furnace )に利用して有効なものに関する。
バッチ式縦形ホットウオール形CVD装置(以下、CVD装置という。)は、アウタチューブと、アウタチューブの内側に設けられて処理室を形成するインナチューブと、アウタチューブ内を加熱する加熱装置(ヒータ)と、アウタチューブおよびインナチューブを載置し処理室を排気する排気管および処理室にガスを供給するガス導入管が接続されたマニホールドと、複数枚のウエハを垂直方向に整列させて保持して処理室に搬入するボートとを備えている。
そして、複数枚のウエハを保持したボートが処理室に下端の炉口から搬入(ボートローディング)され、処理室に成膜ガスがガス導入管から供給されるとともに、加熱装置によって処理室が加熱されることにより、ウエハの上にCVD膜が堆積される。
金属製のマニホールドの場合には、板厚が薄く熱容量も小さいために、炉口外に放熱し易かった。
また、ICの微細化に伴って、金属製マニホールドを使用したCVD装置においては、金属製マニホールドからの金属の放出が問題となって来ている。
反応管と、該反応管を加熱する加熱装置と、該加熱装置より外部に設けられた非金属材料で構成され、前記反応管の軸心に対し直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有し、少なくとも該突出部に、前記反応管内へガスを供給するガス供給部を備えるマニホールドと、
を有する基板処理装置。
ヒータ12は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース11に支持されることにより垂直に据え付けられている。
アウタチューブ14は、例えば石英または炭化シリコンの耐熱性材料が使用されて、内径がインナチューブ15の外径よりも大きい円筒形状に形成されている。アウタチューブ14は上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。
インナチューブ15は、例えば石英(SiO2 )または炭化シリコン(SiC)の耐熱性材料が使用されて、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナチューブ15の筒中空部は処理室16を形成している。処理室16はウエハ1を後述するボートによって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。
アウタチューブ14とインナチューブ15とは同心円状に設けられている。アウタチューブ14とインナチューブ15との隙間によって筒状空間17が形成されている。
アウタチューブ14の下側には後述するマニホールドがアウタチューブ14と同心円状に配設されている。マニホールドの上にはアウタチューブ14およびインナチューブ15が載置されている。プロセスチューブ13とマニホールドとよって処理容器18が構成されている。
排気管20のアウタチューブ14との接続側と反対側である下流側には、真空ポンプ等の排気装置23が圧力検出器としての圧力センサ21および圧力調整装置22を介して接続されている。排気装置23は処理室16内の圧力が所定の圧力(真空度)となるように排気する。
圧力センサ21および圧力調整装置22には圧力制御部24が電気配線Bによって電気的に接続されている。圧力制御部24は圧力調整装置22を、圧力センサ21により検出された圧力に基づいて、処理室16内の圧力が所望の圧力となるように、かつ、所望のタイミングをもって制御する。
ここで、均熱エリア外の処理容器18の高さを大きくした場合には、それに応じてボートの高さを大きくしないと、ヒータ12が形成する均熱エリアにウエハを配置することができない。また、ボートが高くなると、処理容器18下方の待機室(予備室)の高さをも、それに応じて大きくする必要がある。そのため、均熱エリア外の処理容器18の高さが大きくなると、それに応じて、その部分の高さの約2倍分、CVD装置10全体の高さが必要になってしまう。
本実施の形態においては、排気管20に傾斜部20aを設けることにより、均熱エリア外の処理容器18の高さを小さくすることができるので、約2倍分、CVD装置10全体の高さを小さくすることができる。
ガス供給管26にはガス供給部25との接続側と反対側である上流側に、ガス流量制御器としてのMFC(マスフローコントローラ)27が接続されており、MFC27はガス供給源28に接続されている。ガス供給源28は処理ガスや不活性ガスを供給する。
MFC27にはガス流量制御部29が電気配線Cによって電気的に接続されている。ガス流量制御部29はMFC27を、供給するガスの流量が所望の量となるように、かつ、所望のタイミングをもって制御する。
シールキャップ30の処理室16側にはシールキャップカバー31が設けられている。シールキャップカバー31は、例えば石英のような非金属材料によって形成されている。シールキャップカバー31はシールキャップ30を被覆することにより、金属部分が処理室16側に露出するのを防止している。
シールキャップカバー31は処理容器18下面に垂直方向下側から当接する。
図2に示されているように、シールキャップ30には上面にOリング30aが設けられている。Oリング30aはシールキャップカバー31下面と当接する密閉部材である。
シールキャップカバー31上面にもOリング31aが設けられている。Oリング31aは処理容器18下面と当接する密閉部材である。
シールキャップ30にはシールキャップカバー31と反対側(下側)に、フランジ32が設けられている。フランジ32の外径は円形孔30bの口径よりも大きい。フランジ32はシールキャップ30に下方から、取り付けねじ32cにより固定されている。フランジ32には中央部に挿通孔32aが開設されている。フランジ32上面には窪み32bが挿通孔32aと同心円状に形成されている。窪み32bの口径は挿通孔32aの口径よりも大きく、シールキャップ30の円形孔30bおよびシールキャップカバー31の円形孔31bの口径以下のサイズとなっている。
フランジ32には下面中央部に回転機構33が軸受34を介して設置されている。回転機構33の回転軸33a上端にはボート受け35が回転軸33aと一体回転するように取り付けられている。ボート受け35は、例えばステンレスまたはニッケル合金のような金属が使用されて、上部が大径で下部が小径の二段円柱形状に形成されている。ボート受け35はフランジ32の挿通孔32aおよび窪み32bと、シールキャップ30の円形孔30bとが画成する室内に嵌入されている。
ボート受け35上には台座36がボート受け35および回転軸33aと一体回転するように載せられている。台座36はアルミナセラミックスまたは透明石英もしくは不透明石英が使用されて円柱形状に形成されている。台座36はシールキャップカバー31の円形孔31b内に回転可能に嵌入されている。台座36の上にはボート37が台座36とボート受け35、回転軸33aと一体回転するように載せられている。
なお、ボート37の下部には断熱部材としての断熱板38が複数枚、水平姿勢で多段に配置されている。この断熱板38は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料が使用されて円板形状に形成されている。断熱板38はヒータ12からの熱がシールキャップ30側に伝わり難くさせる。
また、ボート受け35および台座36およびフランジ32および軸受34および回転軸33aおよび回転機構33を、シールキャップ30が処理容器18の炉口を閉じた状態で、シールキャップ30の下方から取り付け取り外しすることができる。
したがって、フランジ32に回転機構33、軸受34、ボート受け35および台座36を設置した状態で、シールキャップカバー31をシールキャップ30から取り外したり、シールキャップ30に取り付けたりすることができる。
つまり、シールキャップ30、シールキャップカバー31、フランジ32、台座36、ボート受け35、回転軸33a、軸受34、回転機構33等に対するメンテナンス作業の能率を向上させることができる。
また、シールキャップ30より処理室16側での作業の低減により、人体からの発塵による処理室内汚染、ねじ部材回転操作時の発塵による処理室内汚染を低減することができる。
なお、好ましくは、シールキャップカバー31の下面よりボート受け35の上面が下側に位置するようにすると良いが、少なくともボート受け35の上面がシールキャップカバー31の上面より下側に位置すればよい。
ちなみに、シールキャップ30の円形孔30bおよびシールキャップカバー31の円形孔31bとボート受け35との隙間に、不活性ガスを流すことにより、処理容器18内雰囲気をボート受け35、フランジ32、回転軸33a、軸受34と接触することを防止するようにしてもよい。
アルミナセラミックスの場合は石英よりも機械的強度が大きいので、ボート37が台座36に載置される際に、ボート37または台座36が欠けたり割れたりするのを防止することができる。
ボートエレベータ40はプロセスチューブ13の外部に垂直に設備されている。ボートエレベータ40はボートを垂直方向に昇降させる昇降機構である。すなわち、ボートエレベータ40はボート37を処理室16へ搬入したり、処理室16から搬出したりする。
回転機構33およびボートエレベータ40には駆動制御部42が電気配線Aによって電気的に接続されている。駆動制御42は回転機構33およびボートエレベータ40を、所望の動作をするように、かつ、所望のタイミングをもって制御する。
ヒータ12と温度センサ43には温度制御部44が電気配線Dによって電気的に接続されている。温度制御部44はヒータ12への通電具合を、温度センサ43によって検出された温度情報に基づき、処理室16内の温度が所望の温度分布となるように、かつ、所望のタイミングをもって制御する。
圧力制御部24、ガス流量制御部29、駆動制御部42、温度制御部44および主制御部45はコントローラ46を構成している。
なお、図2に示されているように、マニホールド50にガス供給部25が外側壁50bから突出部50aの内側壁50cに至るまで形成された貫通孔50dと貫通孔50dに貫通されて設けられたノズル26Aにより形成されている。
このように、マニホールド50は非金属部材である石英によって形成されているため、処理容器18内に金属部材を腐食させるガスを流したり、処理容器18内をエッチングガスを使用してドライクリーニングしたりしても腐食による金属汚染物を放出することはない。
円形リング形の扁平ブロック形状に形成されたマニホールド50は、特に、突出部50aを有するため、ヒータ12からの熱線を直接受ける表面積を大きくすることができる。これにより、ヒータ12からの輻射熱を受け易くでき、かつ、厚みが薄いため、熱容量を小さくできるので、マニホールド50全体に熱が伝わり易い。
このため、マニホールド50の表面には副生成物が付着し難くなる。
さらに、マニホールド50はガス供給部25のガス等の供給ガスを予備加熱する。
マニホールド50をこのように構成することにより、マニホールド50の高さAを小さくすることができる。
マニホールド50の高さAを大きくした場合には、それに応じてボート37の高さを大きくしないと、ヒータ12が形成する均熱エリアにウエハ1を配置することができない。これに加えて、ボート37が待機する待機室の高さをも大きくする必要がある。
このため、マニホールド50の高さAが大きくなると、マニホールド50の高さAの約2倍分、CVD装置10全体の高さが必要になってしまう。
換言すれば、本実施の形態のように、マニホールド50の高さAを小さくすることにより、約2倍分、CVD装置10全体の高さを小さくすることができる。
マニホールド50をこのように構成することにより、マニホールド50をコンパクトにすることができ、また、ヒータ12からの熱線を直接受ける表面積を大きくすることができる。
なお、マニホールド50の第一接合面51にはOリング53が敷設されている。Oリング53はアウタチューブ14下面と当接する密閉部材である。
また、支持部54すなわち扁平ブロック形状のマニホールド50は、ガス供給部25下方のデッドスペースを埋める。すなわち、シールキャップカバー31と支持部54との間の隙間を狭小としているので、ウエハ1よりも上流側でのガス溜り部を減少させることができる。
ガス溜りは反応生成物を生成させ易いために、ウエハ1の上流側でガス溜まり部が形成されると、反応生成物がガスの流れにそのまま乗って、パーティクルとなってウエハ1に付着し易くなってしまう。
本実施の形態によれば、ウエハ1よりも上流側でのガス溜まり部の形成を抑制することができるので、パーティクルがウエハ1に付着し難くなる。
マニホールド50の支持部54がインナチューブ15を支持することにより、メンテナンス時にマニホールド50とインナチューブ15とを同時に、取り出すことができる。
ガス供給部25内にはガス供給管26が挿入されており、ガス供給管26の先端にはノズル26Aが垂直方向に延在するように接続されている。
ガス供給部溝55内にはノズル26Aが収容されており、ノズル26Aはガス供給部溝55によって位置決めされている。換言すれば、ガス供給部溝55はガス供給管26およびノズル26Aを周方向および下方向の位置ずれを防止して安定的に位置を規制する。
ガス供給管26およびノズル26Aの設置方向はガス供給部溝55によって決定されるため、ガス供給部溝55はガス供給管26およびノズル26Aの取付再現性を向上させることができる。
ガス供給部溝55がガス供給管26およびノズル26Aを位置決めするので、ガス供給管26およびノズル26Aの位置ずれを防止するための金属部材で形成された専用パーツを省略することができる。
ちなみに、ガス供給部溝55にガス供給管26を挿入することにより、ガス供給部25下方のデッドスペースを減少させることができるので、ウエハ上流側ガス溜りをより一層抑制することができる。
なお、好ましくは、図3に想像線で示されているように、ガス供給溝55をノズル26Aの垂直方向に延在された部分の直径以上の深さに形成するとノズル26Aをより安定的に位置を規制し、取付再現性の向上、より一層のガス溜まりの抑制を可能とする。
温度センサ溝56内には温度センサ43の垂直部分が収容されており、温度センサ43は温度センサ溝56によって位置決めされている。換言すれば、温度センサ溝56は温度センサ43を周方向および下方向の位置ずれを防止して安定的に位置規制する。
温度センサ43の設置方向は温度センサ溝56によって決定されるため、温度センサ溝56は温度センサ43の取付再現性を向上させることができる。
温度センサ溝56が温度センサ43を位置決めするので、温度センサ43の位置ずれを防止するための金属部材で形成された専用パーツを省略することができる。
ちなみに、温度センサ溝56に温度センサ43を挿入することにより、温度センサ43下方のデッドスペースを減少させることができるので、ウエハ上流側ガス溜りをより一層抑制することができる。
なお、好ましくは、図3に想像線で示されているように、温度センサ溝56を温度センサ43の垂直方向に延在された部分の直径以上の深さに形成すると、温度センサ43をより安定的に位置を規制し、取付再現性の向上、より一層のガス溜まりの抑制を可能とする。
図2および図3に示されているように、マニホールド50には上面にインナチューブ15の水平方向の位置を規制する位置規制部としての突起50eが周方向全周に形成されている。
なお、突起50eは周方向に所定の間隔、好ましくは、等間隔に配置してもよい。
3本の支柱60はアウタチューブ受け(第一支持部材)61を吊持している。すなわち、アウタチューブ受け61の外周に所定の間隔、好ましくは等間隔で突設された3個のブラケット62aが、3本の支柱60、60、60下端面に各ボルト(締結部材)63によって締結されている。
アウタチューブ受け61はアウタチューブ14下端のフランジ部14aに対応した円形リング形状に形成されている。アウタチューブ受け61はフランジ部14a外周に装着されている。したがって、アウタチューブ14はアウタチューブ受け61によって支持されている。
図4(b)に示されているように、6個の第二ブラケット62bはマニホールド受け(第二支持部材)64を吊持している。すなわち、マニホールド受け64外周部に所定の間隔、好ましくは等間隔で突設された6個のブラケット65が、6個の第二ブラケット62b下端面に各ボルト(締結部材)66によって締結されている。
マニホールド受け64はマニホールド50に対応した円形リング形状に形成されている。マニホールド受け64はマニホールド50外周に装着されている。したがって、マニホールド50はマニホールド受け64によって支持されている。また、インナチューブ15はマニホールド50によって支持されているので、インナチューブ15もマニホールド受け64によって支持されている。
支柱60からアウタチューブ受け61を取り外すことにより、アウタチューブ14、マニホールド50およびインナチューブ15を同時に取り外すことができる。したがって、アウタチューブ14、マニホールド50およびインナチューブ15の交換作業を容易とすることができる。
なお、好ましくは、アウタチューブ受け61およびマニホールド受け64を周方向等間隔の複数箇所で支持することにより、アウタチューブ14、マニホールド50およびインナチューブ15の荷重を均等に分散させて支持することができるので、Oリング30a、31aおよび53のシール状態を良好に維持することができる。
なお、以下の説明において、CVD装置10を構成する各部の動作はコントローラ46により制御される。
この状態で、シールキャップ30はOリング30a、シールキャップカバー31およびOリング31aを介してマニホールド50の下面をシールした状態となる。
また、処理室16内が所望の温度となるようにヒータ12によって加熱される。この際、処理室16内が所望の温度分布となるように、温度センサ43が検出した温度情報に基づきヒータ12への通電具合がフィードバック制御される。
続いて、回転機構33によってボート37が回転されることにより、ウエハ1が回転される。
導入されたガスは処理室16内を上昇し、インナチューブ15の上端開口から筒状空間17に流出して排気管20から排気される。
ガスは処理室16内を通過する際にウエハ1の表面と接触し、この際に熱CVD反応によってウエハ1の表面上に薄膜が堆積(デポジション)される。
その後、処理済ウエハ1はボート37から取出される(ウエハディスチャージ)。
図5によれば、金属製のボート受け35をシールキャップ30より下に配置することにより、ボート受け35の温度が300℃以下に抑制されているのが判る。
このため、金属製のボート受け35を起因とする金属汚染を低減することができる。
また、図5によれば、マニホールド50が加熱されていることが判る。
マニホールド50が加熱されていることにより、マニホールド50に、反応生成物の付着を防止することができ、ガス供給部でのガスの予備加熱をすることができる。
例えば、Si3 N4 膜をウエハに成膜する場合、アンモニアガス(NH3 ガス)とジクロルシランガス(SiH2 Cl2 ガス)を処理室内に流して、処理室内の圧力を、50pa〜200paとして、700℃〜800℃で成膜するが、その際、副生成物として塩化アンモン(NH4 Cl)が生成される。この塩化アンモンは150℃近辺で固化付着する。これに対し、図5の温度分布によれば、マニホールドの処理室側は190℃以上に維持されることが判る。これにより、塩化アンモンの付着を防げることが判る。
本実施形態が前記実施形態と異なる点は、第一接合面51と第二接合面52との間の高さAは、アウタチューブ14内周面からマニホールド50内周面までの距離Bよりも大きく、かつ、アウタチューブ14内周面からマニホールド50内径までの距離Bと、マニホールド50外周面からアウタチューブ14内周面までの距離Cとの和よりも小さく設定されている点である。
すなわち、A、B、Cは次式(1)(2)を満足するように設定されている。
A>B・・・(1)
A<B+C・・・(2)
本実施形態によれば、マニホールド50の内周面が前記実施形態よりも外側に位置しているために熱を受け難い点で若干劣るものの、副生成物の付着を防止することができる。
なお、Oリング53が熱的な耐久性を保てない場合は、断熱板38の枚数の調整により熱を受け易くすることで、Oリング53に熱が伝わり難くすることもできるが、一度に処理するウエハの枚数、すなわち、ボートへのウエハの載置枚数が少なくなってしまうおそれがある場合には、B<Cとして、Oリング53より外周に配置することが有効である。
但し、アルミナ部材は熱勾配に弱く割れる可能性がある。例えば、アルミナ製のマニホールドは炉内温度700℃で100℃以上の温度差が生じる場合に割れる可能性がある。したがって、マニホールドは石英によって形成することが好ましい。
(1)反応管と、該反応管を加熱する加熱装置と、該加熱装置より外部に設けられた非金属材料で構成され、前記反応管の軸心に対し直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有し、少なくとも該供給部に、前記反応管内へガスを供給するガス供給部を備えるマニホールドと、
を有する基板処理装置。
(2)前記(1)において、前記反応管はアウタチューブとインナチューブとを有し、前記マニホールドの前記突出部が該インナチューブを支持する支持部を形成し、該支持部は、前記第一の厚さ以上の厚みで形成されている基板処理装置。
(3)前記(1)において、前記反応管はアウタチューブとインナチューブとを有し、前記マニホールドの前記突出部が該インナチューブを支持する支持部を形成し、該支持部は、前記インナチューブの内側壁より内側に延在され、該支持部の内壁側には前記ガス供給部から前記インナチューブの載置面まで延在される溝が形成されている基板処理装置。
(4)前記(3)において、前記溝には、ガス供給ノズルもしくは温度センサが配置されている基板処理装置。
(5)前記(3)において、前記溝は、ガス供給ノズルもしくは温度センサの半径以上の深さで形成されている基板処理装置。
(6)前記(1)において、前記マニホールドは、前記反応管の軸心に対し直交する方向であって前記反応管内周面から前記マニホールド内径までの距離が、前記第二の厚さより大きく形成されている基板処理装置。
(7)前記(2)において、前記マニホールドは、前記反応管の軸心に対し直交する方向であって前記アウタチューブ内側壁から外側壁までの距離より、前記アウタチューブ内周面から前記インナチューブ内周面までの距離のほうが大きくなるように形成されている基板処理装置。
(8)前記(1)において、前記アウタチューブの側壁に排気管が形成されており、該排気管は傾斜部を有し、該傾斜部はアウタチューブを支持するアウタチューブ受けより上方の側壁から前記アウタチューブ受け上端より下方まで延在するように傾斜している基板処理装置。
(9)前記(2)において、前記アウタチューブの下端部を支持するアウタチューブ受けと、前記マニホールドを支持するマニホールド受けと、前記アウタチューブ受けと前記マニホールド受けとを締結する締結部材と、前記アウタチューブ受けもしくは前記マニホールド受けとを支持する支柱と、を有する基板処理装置。
(10)前記(2)において、前記アウタチューブおよびインナチューブ、前記マニホールドは石英によって形成されている基板処理装置。
(11)内部でボートにより基板を保持しつつ処理する処理容器と、前記処理容器内にガスを供給するガス供給部を有するマニホールドと、該マニホールドの開口部を蓋する蓋体と、
前記蓋体に設けられ円形孔と、前記蓋体の前記処理室外側に配置された回転機構と、前記回転機構の回転軸に設けられたボート受けとを備え、
前記円形孔は、前記ボート受けの外径より大きく形成されている基板処理装置。
(12)前記(11)において、前記ボート受けは金属製であって、前記蓋体に設けられたシールキャップカバーより下方に配置されている基板処理装置。
(13)前記(12)において、前記ボート受けと前記ボートとの間に非金属部材からなる台座が設けられている基板処理装置。
(14)前記(13)において、前記ボートは非金属部材からなり、前記台座はアルミナ含有材からなる基板処理装置。
(15)前記(13)において、前記回転機構は前記ボートを取外し、前記蓋体が前記マニホールドの開口部を閉じた状態で前記処理容器外部から取外し可能に形成されている基板処理装置。
(16)前記(2)において、アウターチューブの下端を支持するアウタチューブ受けと、前記マニホールドの下端を支持するマニホールド受けとを有する基板処理装置。
(17)前記(1)の基板処理装置を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記基板を反応管内に搬入しつつ前記マニホールドの開口部を前記蓋体により閉じるステップと、
前記反応管内を加熱しつつ、前記マニホールドに設けられたガス供給部から前記反応管内にガスを供給し、基板を処理するステップと、
前記基板を前記反応管内から搬出しつつ、前記マニホールドの開口部を前記蓋体により開くステップと、を有する半導体装置の製造方法。
(18)蓋体によって保持した基板を反応管内に搬入しつつ、前記反応管の軸心に対して直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有する非金属材料で構成されるマニホールドの開口部を、前記蓋体によって閉じるステップと、
前記反応管内を加熱しつつ、前記マニホールドの少なくとも前記突出部に設けられたガス供給部から前記反応管内にガスを供給し、基板を処理するステップと、
前記基板を前記反応管内から搬出しつつ、前記マニホールドの開口部を前記蓋体により開くステップと、を有する半導体装置の製造方法。
10…CVD装置、11…ヒータベース、12…ヒータ、
13…プロセスチューブ、14…アウタチューブ、14a…フランジ部、15…インナチューブ、16…処理室、17…筒状空間、18…処理容器、
20…排気管、20a…傾斜部、21…圧力センサ、22…圧力調整装置、23…排気装置、24…圧力制御部、
25…ガス供給部、26…ガス供給管、26A…ノズル、27…MFC、28…ガス供給源、29…ガス流量制御部、
30…シールキャップ(蓋体)、30a…Oリング、30b…円形孔、31…シールキャップカバー、31a…Oリング、31b…円形孔、
32…フランジ、32a…挿通孔、32b…窪み、32c…取り付けねじ、33…回転機構、33a…回転軸、34…軸受、35…ボート受け、36…台座、37…ボート、38…断熱板、39…ベース
40…ボートエレベータ、41…アーム、42…駆動制御部、
43…温度センサ、44…温度制御部、
45…主制御部、46…コントローラ、
50…マニホールド、50a…突出部、50b…外側壁、50c…内側壁、50d…貫通孔、50e…突起、51…アウタチューブとの第一接合面、52…シールキャップカバーとの第二接合面、53…Oリング、54…支持部、55…ガス供給部溝、56…温度センサ溝、
60…支柱、61…アウタチューブ受け(第一支持部材)、62a…第一ブラケット、62b…第二ブラケット、63…ボルト(締結部材)、64…マニホールド受け(第二支持部材)、65…ブラケット、66…ボルト(締結部材)。
Claims (4)
- 反応管と、該反応管を加熱する加熱装置と、該加熱装置より外部に設けられた非金属材料で構成され、前記反応管の軸心に対し直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有し、少なくとも該突出部に、前記反応管内へガスを供給するガス供給部を備えるマニホールドと、
を有する基板処理装置。 - 請求項1において、前記反応管はアウタチューブとインナチューブとを有し、前記マニホールドの前記突出部が該インナチューブを支持する支持部を形成し、該支持部は、前記第一の厚さ以上の厚みで形成されている基板処理装置。
- 請求項1において、前記反応管はアウタチューブとインナチューブとを有し、前記マニホールドの前記突出部が該インナチューブを支持する支持部を形成し、該支持部は、前記インナチューブの内側壁より内側に延在され、該支持部の内壁側には前記ガス供給部から前記インナチューブの載置面まで延在される溝が形成されている基板処理装置。
- 蓋体によって保持した基板を反応管内に搬入しつつ、前記反応管の軸心に対して直交する方向の第一の厚さが、前記反応管に隣接する位置の前記反応管の軸心と平行方向の第二の厚さより厚く形成されており、少なくとも一部が前記反応管の内壁より内側に突き出された突出部を有する非金属材料で構成されるマニホールドの開口部を、前記蓋体によって閉じるステップと、
前記反応管内を加熱しつつ、前記マニホールドの少なくとも前記突出部に設けられたガス供給部から前記反応管内にガスを供給し、基板を処理するステップと、
前記基板を前記反応管内から搬出しつつ、前記マニホールドの開口部を前記蓋体により開くステップと、を有する半導体装置の製造方法。
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