JP2009169410A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009169410A5 JP2009169410A5 JP2008322043A JP2008322043A JP2009169410A5 JP 2009169410 A5 JP2009169410 A5 JP 2009169410A5 JP 2008322043 A JP2008322043 A JP 2008322043A JP 2008322043 A JP2008322043 A JP 2008322043A JP 2009169410 A5 JP2009169410 A5 JP 2009169410A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power line
- auxiliary
- line
- auxiliary power
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (5)
- 補助電源線と、
前記補助電源線上の層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上の補助電源線用補助配線及び2つの電源線と、
前記2つの電源線の一方から電流が供給される発光素子と、
前記2つの電源線の他方から電流が供給される発光素子と、
を有し、
前記2つの電源線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記補助電源線に電気的に接続されており、
前記補助電源線用補助配線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記補助電源線に電気的に接続され、
前記2つの電源線及び前記補助電源線用補助配線に用いられる材料の電気伝導率は、前記補助電源線に用いられる材料の電気伝導率よりも高いことを特徴とする半導体表示装置。 - 2つのトランジスタのゲート電極に電気的に接続された走査線と、
補助電源線と、
前記2つのトランジスタ、前記走査線及び前記補助電源線上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された補助電源線用補助配線、走査線用補助配線及び2つの電源線と、
前記2つのトランジスタの一方によって、前記2つの電源線の一方からの電流の供給が制御される発光素子と、
前記2つのトランジスタの他方によって、前記2つの電源線の他方からの電流の供給が制御される発光素子と、
を有し、
前記2つの電源線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記補助電源線に電気的に接続されており、
前記補助電源線用補助配線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記補助電源線に電気的に接続されており、
前記走査線用補助配線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記走査線に電気的に接続され、
前記2つの電源線、前記補助電源線用補助配線及び走査線用補助配線に用いられる材料の電気伝導率は、前記補助電源線、前記ゲート電極及び前記走査線に用いられる材料の電気伝導率よりも高いことを特徴とする半導体表示装置。 - 請求項2において、
前記2つの電源線、前記補助電源線用補助配線または前記走査線用補助配線の厚さが、0.8μm以上1.5μm以下であることを特徴とする半導体表示装置。 - 第1の補助電源線及び第2の補助電源線と、
前記第1の補助電源線及び前記第2の補助電源線上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成された第1の補助電源線用補助配線、第2の補助電源線用補助配線、第1の電源線及び第2の電源線と、
前記第1の電源線から電流が供給される発光素子と、
前記第2の電源線から電流が供給される発光素子と、
を有し、
前記第1の電源線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記第1の補助電源線に電気的に接続されており、
前記第2の電源線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記第2の補助電源線に電気的に接続されており、
前記第1の補助電源線用補助配線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記第1の補助電源線に電気的に接続されており、
前記第2の補助電源線用補助配線は、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して、前記第2の補助電源線に電気的に接続され、
前記第1の電源線、前記第2の電源線、前記第1の補助電源線用補助配線、前記第2の補助電源線用補助配線に用いられる材料の電気伝導率は、前記第1の補助電源線及び前記第2の補助電源線に用いられる材料の電気伝導率よりも高いことを特徴とする半導体表示装置。 - 請求項4において、
前記第1の電源線、前記第2の電源線、前記第1の補助電源線用補助配線または前記第2の補助電源線用補助配線の厚さが、0.8μm以上1.5μm以下であることを特徴とする半導体表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008322043A JP5341495B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-18 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007329579 | 2007-12-21 | ||
JP2007329579 | 2007-12-21 | ||
JP2008322043A JP5341495B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-18 | 表示装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013164974A Division JP5603469B2 (ja) | 2007-12-21 | 2013-08-08 | 表示装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009169410A JP2009169410A (ja) | 2009-07-30 |
JP2009169410A5 true JP2009169410A5 (ja) | 2011-12-22 |
JP5341495B2 JP5341495B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=40787519
Family Applications (10)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008322043A Active JP5341495B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-18 | 表示装置 |
JP2013164974A Active JP5603469B2 (ja) | 2007-12-21 | 2013-08-08 | 表示装置 |
JP2014168083A Active JP6139482B2 (ja) | 2007-12-21 | 2014-08-21 | 表示装置 |
JP2016059460A Active JP6259851B2 (ja) | 2007-12-21 | 2016-03-24 | 表示装置 |
JP2017236696A Active JP6318297B1 (ja) | 2007-12-21 | 2017-12-11 | 表示装置 |
JP2018070584A Active JP6578403B2 (ja) | 2007-12-21 | 2018-04-02 | 表示装置 |
JP2019153890A Active JP7008668B2 (ja) | 2007-12-21 | 2019-08-26 | 表示装置 |
JP2021106935A Active JP7170095B2 (ja) | 2007-12-21 | 2021-06-28 | 表示装置 |
JP2022174362A Active JP7214917B1 (ja) | 2007-12-21 | 2022-10-31 | 半導体装置 |
JP2023005583A Active JP7466012B2 (ja) | 2007-12-21 | 2023-01-18 | 半導体装置 |
Family Applications After (9)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013164974A Active JP5603469B2 (ja) | 2007-12-21 | 2013-08-08 | 表示装置 |
JP2014168083A Active JP6139482B2 (ja) | 2007-12-21 | 2014-08-21 | 表示装置 |
JP2016059460A Active JP6259851B2 (ja) | 2007-12-21 | 2016-03-24 | 表示装置 |
JP2017236696A Active JP6318297B1 (ja) | 2007-12-21 | 2017-12-11 | 表示装置 |
JP2018070584A Active JP6578403B2 (ja) | 2007-12-21 | 2018-04-02 | 表示装置 |
JP2019153890A Active JP7008668B2 (ja) | 2007-12-21 | 2019-08-26 | 表示装置 |
JP2021106935A Active JP7170095B2 (ja) | 2007-12-21 | 2021-06-28 | 表示装置 |
JP2022174362A Active JP7214917B1 (ja) | 2007-12-21 | 2022-10-31 | 半導体装置 |
JP2023005583A Active JP7466012B2 (ja) | 2007-12-21 | 2023-01-18 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7977678B2 (ja) |
JP (10) | JP5341495B2 (ja) |
KR (6) | KR101573209B1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130009160A1 (en) * | 2010-03-19 | 2013-01-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate |
KR101294853B1 (ko) * | 2010-10-21 | 2013-08-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 |
JP2013250319A (ja) * | 2012-05-30 | 2013-12-12 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板、製造方法、及び表示装置 |
KR20150137214A (ko) * | 2014-05-28 | 2015-12-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
JP6326006B2 (ja) * | 2014-06-20 | 2018-05-16 | 富士フイルム株式会社 | 転写材料、液晶パネルの製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
KR102360783B1 (ko) * | 2014-09-16 | 2022-02-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
TWI622844B (zh) * | 2017-03-29 | 2018-05-01 | 友達光電股份有限公司 | 畫素單元與其製造方法 |
CN107357105A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-11-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、显示面板、显示装置 |
KR102456352B1 (ko) * | 2017-12-18 | 2022-10-19 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 |
CN208173203U (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-30 | 北京京东方技术开发有限公司 | 显示面板及显示装置 |
WO2020044170A1 (ja) | 2018-08-29 | 2020-03-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示パネル、表示装置、入出力装置、情報処理装置 |
JP7264694B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-04-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
KR102350760B1 (ko) | 2021-05-25 | 2022-01-14 | (주)케이엠에스 | 안정성이 향상된 이물질 여과장치 및 이의 관리 시스템 |
Family Cites Families (76)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62209514A (ja) | 1986-03-11 | 1987-09-14 | Seiko Epson Corp | アクテイブマトリクス基板 |
JPS6342144A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Hitachi Ltd | 多層配線構造体 |
US5075674A (en) * | 1987-11-19 | 1991-12-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix substrate for liquid crystal display |
GB8909011D0 (en) * | 1989-04-20 | 1989-06-07 | Friend Richard H | Electroluminescent devices |
JPH0430475A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタアレイ基板 |
JPH04313729A (ja) | 1991-04-09 | 1992-11-05 | Mitsubishi Electric Corp | 液晶表示装置 |
JPH06160904A (ja) | 1992-11-26 | 1994-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
JP2821347B2 (ja) * | 1993-10-12 | 1998-11-05 | 日本電気株式会社 | 電流制御型発光素子アレイ |
US5440208A (en) * | 1993-10-29 | 1995-08-08 | Motorola, Inc. | Driver circuit for electroluminescent panel |
JPH07199215A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-08-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置及び液晶ディスプレイ |
JP3541026B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2004-07-07 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置、およびアクティブマトリクス基板 |
US5965363A (en) * | 1996-09-19 | 1999-10-12 | Genetrace Systems Inc. | Methods of preparing nucleic acids for mass spectrometric analysis |
JPH10198292A (ja) * | 1996-12-30 | 1998-07-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP4207979B2 (ja) * | 1997-02-17 | 2009-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置 |
CN1151481C (zh) * | 1997-02-17 | 2004-05-26 | 精工爱普生株式会社 | 显示装置 |
TW379360B (en) * | 1997-03-03 | 2000-01-11 | Semiconductor Energy Lab | Method of manufacturing a semiconductor device |
JP2000194322A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | St Microelectronics Kk | Elドライバ回路 |
JP4334045B2 (ja) * | 1999-02-09 | 2009-09-16 | 三洋電機株式会社 | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP4860293B2 (ja) * | 1999-02-12 | 2012-01-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP2000242196A (ja) | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP4359959B2 (ja) * | 1999-04-13 | 2009-11-11 | 株式会社デンソー | 容量性負荷の駆動装置 |
JP4501206B2 (ja) * | 1999-04-14 | 2010-07-14 | 株式会社デンソー | 表示装置用駆動回路 |
US6512504B1 (en) * | 1999-04-27 | 2003-01-28 | Semiconductor Energy Laborayory Co., Ltd. | Electronic device and electronic apparatus |
KR100296113B1 (ko) * | 1999-06-03 | 2001-07-12 | 구본준, 론 위라하디락사 | 전기발광소자 |
JP3770368B2 (ja) * | 1999-06-14 | 2006-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置、回路基板、回路基板の製造方法 |
JP4472073B2 (ja) * | 1999-09-03 | 2010-06-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置及びその作製方法 |
TW465122B (en) * | 1999-12-15 | 2001-11-21 | Semiconductor Energy Lab | Light-emitting device |
US6559594B2 (en) * | 2000-02-03 | 2003-05-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device |
US6528950B2 (en) * | 2000-04-06 | 2003-03-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device and driving method |
JP2001305583A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-10-31 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
TW554637B (en) * | 2000-05-12 | 2003-09-21 | Semiconductor Energy Lab | Display device and light emitting device |
JP2002032037A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP4637873B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2011-02-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
JP2002190598A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
JP4096585B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2008-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置の製造方法及び表示装置並びに電子機器 |
JP3706107B2 (ja) * | 2002-01-18 | 2005-10-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置及び電子機器 |
JP4310984B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2009-08-12 | 株式会社日立製作所 | 有機発光表示装置 |
JP4094863B2 (ja) * | 2002-02-12 | 2008-06-04 | 三星エスディアイ株式会社 | 有機el表示装置 |
JP4409196B2 (ja) * | 2002-04-09 | 2010-02-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及びそれを用いた表示装置、並びに半導体装置の作製方法 |
JP4156431B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2008-09-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置およびその作製方法 |
JP4683825B2 (ja) * | 2002-04-24 | 2011-05-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置およびその作製方法 |
US7164155B2 (en) * | 2002-05-15 | 2007-01-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US7897979B2 (en) | 2002-06-07 | 2011-03-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and manufacturing method thereof |
JP2004192935A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示装置 |
US7408196B2 (en) * | 2002-12-25 | 2008-08-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and display device |
JP2004226543A (ja) | 2003-01-21 | 2004-08-12 | Sharp Corp | 表示装置 |
JP2004342457A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示パネルの製造方法および表示パネル |
US7557779B2 (en) * | 2003-06-13 | 2009-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP4515051B2 (ja) | 2003-06-30 | 2010-07-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 素子基板及び発光装置 |
TWI279760B (en) * | 2003-07-11 | 2007-04-21 | Toshiba Matsushita Display Tec | Liquid crystal display |
KR100544123B1 (ko) * | 2003-07-29 | 2006-01-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판표시장치 |
KR100560782B1 (ko) * | 2003-08-25 | 2006-03-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시 장치 |
KR100611147B1 (ko) * | 2003-11-25 | 2006-08-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계발광표시장치 |
KR100611153B1 (ko) * | 2003-11-27 | 2006-08-09 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 표시 소자 |
KR100642491B1 (ko) | 2003-12-26 | 2006-11-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기전계발광 소자 |
KR100573132B1 (ko) * | 2004-02-14 | 2006-04-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법 |
KR100560792B1 (ko) * | 2004-03-23 | 2006-03-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전면 발광 구조를 갖는 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의제조방법 |
JP4849821B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2012-01-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、電子機器 |
JP4315058B2 (ja) * | 2004-06-09 | 2009-08-19 | カシオ計算機株式会社 | 表示パネル及びその製造方法 |
KR100611652B1 (ko) * | 2004-06-28 | 2006-08-11 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시 소자 및 그 제조방법 |
KR100570998B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2006-04-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그 형성 방법 |
JP4720115B2 (ja) * | 2004-07-02 | 2011-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 自発光装置及び電子機器 |
JP4974500B2 (ja) * | 2004-09-15 | 2012-07-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、モジュール及び電子機器 |
JP4254675B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2009-04-15 | カシオ計算機株式会社 | ディスプレイパネル |
KR100712111B1 (ko) * | 2004-12-14 | 2007-04-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 보조 전극 라인을 구비하는 유기전계발광소자 및 그의제조 방법 |
JP4715197B2 (ja) | 2004-12-27 | 2011-07-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP5170964B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2013-03-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
JP5008323B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2012-08-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | メモリ装置 |
TW200701167A (en) * | 2005-04-15 | 2007-01-01 | Seiko Epson Corp | Electronic circuit, and driving method, electrooptical device, and electronic apparatus thereof |
JP2006337713A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Seiko Epson Corp | 発光装置および電子機器 |
JP5137342B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2013-02-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
TWI301670B (en) * | 2005-07-21 | 2008-10-01 | Ind Tech Res Inst | Multi-layered complementary wire structure and manufacturing method thereof and manufacturing method of a thin film transistor display array |
US8149346B2 (en) | 2005-10-14 | 2012-04-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
JP2007148215A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Seiko Epson Corp | 発光装置および電子機器 |
JP5250960B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2013-07-31 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置および電子機器 |
JP4126666B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2008-07-30 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、及び電子機器 |
-
2008
- 2008-12-17 US US12/336,996 patent/US7977678B2/en active Active
- 2008-12-18 JP JP2008322043A patent/JP5341495B2/ja active Active
- 2008-12-18 KR KR1020080129068A patent/KR101573209B1/ko active IP Right Grant
-
2011
- 2011-07-11 US US13/179,824 patent/US8294154B2/en active Active
-
2013
- 2013-08-08 JP JP2013164974A patent/JP5603469B2/ja active Active
-
2014
- 2014-08-21 JP JP2014168083A patent/JP6139482B2/ja active Active
- 2014-11-13 KR KR1020140158021A patent/KR101590328B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-12 KR KR1020150158868A patent/KR101643534B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-03-24 JP JP2016059460A patent/JP6259851B2/ja active Active
- 2016-07-21 KR KR1020160092451A patent/KR101721408B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-03-23 KR KR1020170036702A patent/KR101858089B1/ko active IP Right Grant
- 2017-12-11 JP JP2017236696A patent/JP6318297B1/ja active Active
-
2018
- 2018-04-02 JP JP2018070584A patent/JP6578403B2/ja active Active
- 2018-05-04 KR KR1020180051557A patent/KR101970130B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-08-26 JP JP2019153890A patent/JP7008668B2/ja active Active
-
2021
- 2021-06-28 JP JP2021106935A patent/JP7170095B2/ja active Active
-
2022
- 2022-10-31 JP JP2022174362A patent/JP7214917B1/ja active Active
-
2023
- 2023-01-18 JP JP2023005583A patent/JP7466012B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009169410A5 (ja) | ||
JP2010157636A5 (ja) | ||
JP2011009352A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2014029529A5 (ja) | ||
JP2009033145A5 (ja) | ||
JP2013012483A5 (ja) | 発光装置 | |
JP2013041287A5 (ja) | ||
JP2011141524A5 (ja) | 表示装置 | |
JP2008151963A5 (ja) | ||
JP2007073499A5 (ja) | ||
MY159871A (en) | Semiconductor device | |
JP2017085114A5 (ja) | ||
JP2017116927A5 (ja) | ||
JP2010097212A5 (ja) | 表示装置 | |
JP2010532095A5 (ja) | ||
JP2010113346A5 (ja) | ||
JP2011071503A5 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008116502A5 (ja) | ||
JP2007128900A5 (ja) | ||
JP2012078798A5 (ja) | ||
JP2007273640A5 (ja) | ||
JP2008171907A5 (ja) | ||
JP2010098305A5 (ja) | ||
JP2011029579A5 (ja) | 表示装置 | |
JP2013175738A5 (ja) | 発光装置の作製方法 |