JP4315058B2 - 表示パネル及びその製造方法 - Google Patents
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アノード、カソード及び発光層を有する複数の発光素子と、
前記複数の発光素子をそれぞれ駆動する複数の画素回路と、
前記アノード、前記カソード及び前記複数の画素回路の電極とは異なる層の導電層からなり、前記複数の画素回路を介して前記複数の発光素子の各アノードに接続された第1配線と、前記複数の発光素子の各カソードに接続された第2配線と、を有し、前記第1配線及び第2配線が前記発光素子の発光層が成膜される区画の互いに対向する一辺として前記発光層を仕切る導電層である配線と、
を備えることを特徴とする表示パネルである。
アノード、カソード及び発光層を有する複数の発光素子の各アノードを形成し、
基板上に設けられた複数の画素回路の電極とは異なる層の導電層からなり、前記複数の画素回路を介して前記アノードに接続された第1配線及び前記第1配線に対向した第2配線を有する配線を設け、
前記配線を隔壁として前記第1配線及び前記第2配線の間に前記発光層を成膜し、
前記発光層及び前記第2配線上に前記カソードを形成する、
ことを特徴とする表示パネルの製造方法である。
図2〜図9を用いて、発光素子である有機エレクトロルミネッセンス素子を画素とする表示パネルの製造方法について説明する。図2〜図9は製造方法における各工程の断面図であり、工程順序は図2〜図9の順になっている。
まず、フッ素を含む官能基を有したシラザン化合物を含有した溶液(以下、シラザン系溶液という。)を、トランジスタアレイ基板1の画素電極16a,16a,…が形成された面に塗布し、シラザン化合物の溶液の膜を成膜する。
RfSi(NH)3/2 …(1)
一般式(1)においてRfは、フッ素を含む官能基である。
「フッ素を含む官能基」としては、フルオロアルキル基があり、例えば、次の一般式(2)〜(19)で表す官能基が挙げられる。
−(CH2)a(CF2)bCF3 …(2)
−(CH2)a(CF2)bCF(CF3)2 …(3)
−(CH2)a(CF2)bC(CF3)3 …(4)
−(CF2)aCF3 …(5)
−(CF2)aCF(CF3)2 …(6)
−(CF2)aC(CF3)3 …(7)
−(CF2)a(C(CF3)2)bCF3 …(8)
−(CF2)a(C(CF3)2)bCF(CF3)2 …(9)
−(CF2)a(C(CF3)2)bC(CF3)3 …(10)
−(CF2)a(C(CF3)2)b(CF2)cCF3 …(11)
−(CF2)a(C(CF3)2)b(CF2)cCF(CF3)2 …(12)
−(CF2)a(C(CF3)2)b(CF2)cC(CF3)3 …(13)
−(C(CF3)2)aCF3 …(14)
−(C(CF3)2)aCF(CF3)2 …(15)
−(C(CF3)2)aC(CF3)3 …(16)
−(C(CF3)2)a(CF2)bCF3 …(17)
−(C(CF3)2)a(CF2)bCF(CF3)2 …(18)
−(C(CF3)2)a(CF2)bC(CF3)3 …(19)
一般式(2)〜(19)においてa,b,cはいずれも整数である。
C8F17C2H4Si(NH)3/2 …(20)
以上により、アクティブマトリクス駆動方式のエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルが完成する。
走査ドライバが複数の走査線4にオンレベル(ハイレベル)のシフトパルスを順次出力し、それに同期するように駆動ドライバが複数の電流源ライン18にローレベル(ELライン19よりも低電位又は等電位)のシフトパルスを順次出力し、それぞれ走査線4にシフトパルスが出力されている時に、電流制御ドライバが、電流線3並びに電流制御トランジスタ9に接続された電流経路制御トランジスタ7のドレイン7D−ソース7S間を介して強制的に電流制御トランジスタ9のドレイン9D−ソース9S間に記憶電流(引抜電流)を流す。
図11〜図16を用いて、第2の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法について説明する。図11〜図16は製造方法における各工程の断面図であり、工程順序はこの順になっている。また、図11〜図16では、第1の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの各部に対応する部分に対して同一の符号を付す。
以上により、アクティブマトリクス駆動方式のエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルが完成する。
図17〜図21を用いて、第3の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法について説明する。図17〜図21は製造方法における各工程の断面図であり、工程順序は図17〜図21の順になっている。また、図17〜図21では、第1、第2の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの各部に対応する部分に対して同一の符号を付す。
また上記各実施形態では、電流源ライン18は、正孔輸送層22が成膜される区画の少なくとも一辺として正孔輸送層22を仕切り、さらに、発光層23が成膜される区画の少なくとも一辺として発光層23を仕切っていたが、有機EL素子26が正孔輸送層のない発光層単層の場合でも、発光層が成膜される区画の少なくとも一辺として発光層を仕切ってもよく、有機EL素子26が電子輸送層が設けられた場合であっても、電子輸送層が成膜される区画の少なくとも一辺として電子輸送層を仕切ってもよい。
2 基板
9 電流制御トランジスタ
18 電流源ライン
19 ELライン
26 有機EL素子
Claims (18)
- アノード、カソード及び発光層を有する複数の発光素子と、
前記複数の発光素子をそれぞれ駆動する複数の画素回路と、
前記アノード、前記カソード及び前記複数の画素回路の電極とは異なる層の導電層からなり、前記複数の画素回路を介して前記複数の発光素子の各アノードに接続された第1配線と、前記複数の発光素子の各カソードに接続された第2配線と、を有し、前記第1配線及び第2配線が前記発光素子の発光層が成膜される区画の互いに対向する一辺として前記発光層を仕切る導電層である配線と、
を備えることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記導電層の単位長さあたりの抵抗が前記画素回路の電極の単位長さあたりの抵抗よりも小さいことを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記導電層が前記画素回路の電極よりも厚いことを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記導電層の抵抗率が前記画素回路の電極の抵抗率よりも低いことを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記画素回路が薄膜トランジスタを有することを特徴とする表示パネル。 - 請求項5に記載の表示パネルにおいて、
前記画素回路の電極がソース、ドレインであることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記複数の発光素子がそれぞれ画素電極を有し、
前記画素電極の表面には親液性膜が成膜されていることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記画素回路が、
選択期間中では前記電流線に所定の電流値の記憶電流を流し、非選択期間中では前記電流線に電流を流すことを停止するスイッチ回路と、
前記選択期間中に前記電流線を介して流れる前記記憶電流の電流値にしたがった電流データを記憶し、前記選択期間中に記憶された前記電流データにしたがって前記記憶電流の電流値と実質的に等しい電流値の駆動電流を前記非選択期間中に前記発光素子に供給する電流記憶回路と、を有することを特徴とする表示パネル。 - 請求項8に記載の表示パネルにおいて、
前記電流記憶回路が前記発光素子に前記駆動電流を流す電流制御トランジスタを有することを特徴とする表示パネル。 - 請求項8に記載の表示パネルにおいて、
前記スイッチ回路が、ソース、ドレインの一方が前記電流線に接続され、前記選択期間中に前記記憶電流を前記電流線に流し、そして前記非選択期間中に前記駆動電流を前記電流線に流すことを停止する電流経路制御トランジスタを有することを特徴とする表示パネル。 - 請求項8に記載の表示パネルにおいて、
前記スイッチ回路が、前記電流記憶回路への前記電流データの書込みを制御する電流データ書込み制御トランジスタを有することを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記第1配線が前記画素回路を覆う絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して前記前記画素回路と接続されていることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記第2配線が前記画素回路を覆う絶縁膜の上方に配置されていることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記カソードは、透明電極であることを特徴とする表示パネル。 - 請求項1に記載の表示パネルにおいて、
前記アノードは画素電極であり、
前記配線が前記画素電極と重ならない位置に配置されていることを特徴とする表示パネル。 - アノード、カソード及び発光層を有する複数の発光素子の各アノードを形成し、
基板上に設けられた複数の画素回路の電極とは異なる層の導電層からなり、前記複数の画素回路を介して前記アノードに接続された第1配線及び前記第1配線に対向した第2配線を有する配線を設け、
前記配線を隔壁として前記第1配線及び前記第2配線の間に前記発光層を成膜し、
前記発光層及び前記第2配線上に前記カソードを形成する、
ことを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 請求項16に記載の表示パネルの製造方法において、
前記配線をメッキ処理によって成膜することを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 請求項16に記載の表示パネルの製造方法において、
前記発光層を湿式成膜することを特徴とする表示パネルの製造方法。
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