JP2009070877A - 半導体装置および半導体装置の評価方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】2つの異なる構造を有するスルーホールチェーン抵抗を同時に測定する半導体装置のチェックパターンの小面積化を可能とする。
【解決手段】配線層とビア層が交互に積層した多層配線構造を有する半導体装置10において、ビア層に形成された複数のスルーホールと、スルーホールとビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなる構造を有する複数のスルーホールチェーンSを備え、ビア層が異なるスルーホールチェーンSが電極パッド16を介して環を形成するように接続され、電極パッド16を用いて、ビア層が異なる2つのスルーホールチェーンSの抵抗を同時に測定するように構成される。
【選択図】図1
【解決手段】配線層とビア層が交互に積層した多層配線構造を有する半導体装置10において、ビア層に形成された複数のスルーホールと、スルーホールとビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなる構造を有する複数のスルーホールチェーンSを備え、ビア層が異なるスルーホールチェーンSが電極パッド16を介して環を形成するように接続され、電極パッド16を用いて、ビア層が異なる2つのスルーホールチェーンSの抵抗を同時に測定するように構成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置および半導体装置の評価方法に関する。
半導体装置の特性評価をする際に、コンタクトホールやスルーホールの抵抗を測定し、導通のチェックを行っている。このようなコンタクトホールやスルーホールの導通性を評価できる半導体装置として、従来、特許文献1、2に記載のものがある。
特許文献1には、従来技術として、スルーホールを直列に繋いだ場合の半導体装置のチェックパターンが記載されている。図12に示す半導体装置40において、端子131と同層の上層配線111は、スルーホール101を介して下層配線121に電気的に接続され、さらに、スルーホール102を介して上層配線112に接続されている。同様にして、スルーホール103〜106を介して、下層配線122、上層配線113、下層配線123および上層配線114がそれぞれ接続されることにより、端子131と端子132が繋がれている。
また、特許文献2には、抵抗値が異なる複数の導電性配線を層間絶縁膜を介して積層して設け、導電性配線の両端を積層方向で隣接する導電性配線と並列接続された半導体装置が記載されている。半導体装置の評価は、導電性配線の両端に電圧を印加して電流値を測定し、予め用意した電流値と測定結果と比較して断線を特定しておこなわれる。かかる構成により、複数のTEGを上下に重ね、さらに共用パッドによって複数のTEGに対して同時に測定することが可能となる。このため、TEG面積及びパッド面積を低減できる。
特開2001−144253号公報
特開2005−223227号公報
しかしながら、図12で説明した半導体装置40では、端子131と端子132との間の抵抗を測定するのみであるため、端子131と端子132との間の直列に繋がれた異なる層に形成された複数のスルーホール抵抗をそれぞれ測定することは困難であった。また、異なる層に形成された2つスルーホール抵抗を同時に測定するためには、1つのスルーホールについて2つの端子を用いることとなり、端子を形成するための領域がさらに必要となるといった問題が生じる。
また、特許文献2に記載された半導体装置では、複数の導電性配線について断線の特定のみが行われている。それゆえ、断線以外の半導体装置の不良の原因となる配線ショート等を検出することが困難であった。
また、特許文献2に記載された半導体装置では、複数の導電性配線について断線の特定のみが行われている。それゆえ、断線以外の半導体装置の不良の原因となる配線ショート等を検出することが困難であった。
一般的な半導体装置のスルーホール抵抗測定は、図13に示すような、電極パッド56とスルーホールチェーンRとを直線上に並べて行われる。例えば、半導体装置50が5層アルミ配線を有する場合のスルーホール抵抗測定について以下に説明する。
図14は、図13のA−A'断面図、及び、B−B'断面図を示している。半導体装置50において、最下層のアルミ配線571上に、アルミ配線572、アルミ配線573、アルミ配線574および最上層のアルミ配線575が形成されている。チェックパターンが形成された最上層のアルミ配線575は、電極パッド56として機能する。各層のアルミ配線は、プラグ58を介して接続されている。各アルミ配線層には、複数のスルーホールがチェーン状につながったスルーホールチェーンRがそれぞれ形成されている。
電極パッド56aと電極パッド56b間は第1スルーホールチェーンR1で、電極パッド56bと電極パッド56c間は第2スルーホールチェーンR3で、それぞれ接続されている。電極パッド56dと電極パッド56e間は第3スルーホールチェーンR3で、電極パッド56eと電極パッド56f間は第4スルーホールチェーンR4で、それぞれ接続されている。
図14は、図13のA−A'断面図、及び、B−B'断面図を示している。半導体装置50において、最下層のアルミ配線571上に、アルミ配線572、アルミ配線573、アルミ配線574および最上層のアルミ配線575が形成されている。チェックパターンが形成された最上層のアルミ配線575は、電極パッド56として機能する。各層のアルミ配線は、プラグ58を介して接続されている。各アルミ配線層には、複数のスルーホールがチェーン状につながったスルーホールチェーンRがそれぞれ形成されている。
電極パッド56aと電極パッド56b間は第1スルーホールチェーンR1で、電極パッド56bと電極パッド56c間は第2スルーホールチェーンR3で、それぞれ接続されている。電極パッド56dと電極パッド56e間は第3スルーホールチェーンR3で、電極パッド56eと電極パッド56f間は第4スルーホールチェーンR4で、それぞれ接続されている。
次に、図15、図16を用いて評価方法を説明する。スルーホール抵抗測定器(図示なし)は、3本の探針591、探針592、および探針593、直流の電源、電流計1,2、スイッチ1,2で主に構成される。
まず、探針591、探針592、および探針593を、それぞれ、電極パッド56a、電極パッド56b、および電極パッド56cに接触させる。スイッチ1はオン、スイッチ2はオフにする(図15)。電源によって、探針592への電圧をゼロ、探針591への電圧をEvとなるように印加し、このとき探針591に流れる電流Iaを、電流計1を用いて計測する。第1スルーホールチェーンR1の抵抗Rabは、次式(1)のようにして求められる。
Rab=Ev/Ia・・・(1)
一つのスルーホールチェーンR1におけるスルーホールの数をN1とすると、スルーホール1つあたりの抵抗r(平均値)は、次式(2)のようにして求められる。
rab=Rab/N1・・・(2)
まず、探針591、探針592、および探針593を、それぞれ、電極パッド56a、電極パッド56b、および電極パッド56cに接触させる。スイッチ1はオン、スイッチ2はオフにする(図15)。電源によって、探針592への電圧をゼロ、探針591への電圧をEvとなるように印加し、このとき探針591に流れる電流Iaを、電流計1を用いて計測する。第1スルーホールチェーンR1の抵抗Rabは、次式(1)のようにして求められる。
Rab=Ev/Ia・・・(1)
一つのスルーホールチェーンR1におけるスルーホールの数をN1とすると、スルーホール1つあたりの抵抗r(平均値)は、次式(2)のようにして求められる。
rab=Rab/N1・・・(2)
次に、探針591、探針592、および探針593を、それぞれ、電極パッド56a、電極パッド56b、および電極パッド56cに接触させた状態で、スイッチ1はオフ、スイッチ2はオンにする。電源によって、探針592への電圧をゼロ、探針593への電圧Evとなるように印加し、このとき探針593に流れる電流Icを、電流計2を用いて計測する。第2スルーホールチェーンR2の抵抗Rbcは、次式(3)のようにして求められる。
Rbc==Ev/Ic・・・(3)
一つのスルーホールチェーンR2におけるスルーホールの数をN2とすると、スルーホール1つあたりの抵抗r(平均値)は、次式(4)のようにして求められる。
rbc=Rbc/N2・・・(4)
Rbc==Ev/Ic・・・(3)
一つのスルーホールチェーンR2におけるスルーホールの数をN2とすると、スルーホール1つあたりの抵抗r(平均値)は、次式(4)のようにして求められる。
rbc=Rbc/N2・・・(4)
探針591、探針592、および探針593を、それぞれ、電極パッド56d、電極パッド56e、および電極パッド56fに接触させた状態で、上記と同様の動作で、第3スルーホールチェーンR3の抵抗Rde、第4スルーホールチェーンR4の抵抗Refもそれぞれ求められる。
このようにして、それぞれのスルーホールチェーンの抵抗が求められ、各スルーホール抵抗測定が行われる。
このようにして、それぞれのスルーホールチェーンの抵抗が求められ、各スルーホール抵抗測定が行われる。
しかしながら、このような半導体装置では、Rab、Rbcを測定するときには、電極パッド56a、電極パッド56b、および電極パッド56cが用いられ、電極パッド56d、電極パッド56e、および電極パッド56fが用いられない状態となっている。一方、Rde、Refを測定するときには、電極パッド56d、電極パッド56e、および電極パッド56fが用いられ、電極パッド56a、電極パッド56b、および電極パッド56cが用いられない状態となっている。つまり、4つの抵抗Rを測定するために6つの電極パッドが用いられる。また、3本の探針を用いて3つの電極パッドに使うときに、残りの3つの電極パッドは何も使われない状態となる。したがって、このような状態では、チェックパターンが形成された電極パッドが占有する面積が大きくなる(すなわち無駄な面積を要する)ため、特に、半導体装置のさらなる微細化、多層配線化ができないといった問題がある。
本発明による半導体装置は、配線層とビア層が交互に積層した多層配線構造を有する半導体装置において、前記半導体装置は、前記ビア層に形成された複数のスルーホールと、前記スルーホールと前記ビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなる複数のスルーホールチェーンを備え、前記ビア層が異なる前記スルーホールチェーンが、電極パッドを介して環を形成するように接続され、前記電極パッドを用いて、前記ビア層が異なる2つの前記スルーホールチェーンの抵抗を同時に測定するように構成されたことを特徴とする。
この半導体装置においては、ビア層が異なる複数のスルーホールチェーンが電極パッドを介して環を形成するように接続されることにより、各スルーホールチェーン同士が一つの電極パッドを共有するため、ビア層が異なる複数のスルーホールチェーン抵抗の測定に用いられる電極パッドの数を減らし、チェックパターンの小面積化を可能とする。
また、本発明による半導体装置の評価方法は、スルーホールチェーンの抵抗を測定するための電極パッドを3つ以上有する半導体装置であって、電極パッドのうち、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドに所定の電圧を同時に印加し、印加により流れる電流を測定することにより、第1の電極パッドと第2の電極パッドの間に接続されたスルーホールチェーンの抵抗と、第1の電極パッドと第3の電極パッドの間に接続されたスルーホールチェーンの抵抗と、を同時に測定することを特徴とする。
この半導体装置の評価方法においては、第1の電極パッド、第2の電極パッド、および第3の電極パッドを用い、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドに所定の電圧を同時に印加し、この印加により流れる電流を測定している。通常、スルーホールチェーンと電極パッドが環状に接続されている場合、例えば、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドに電圧Vを印加すると、第2の電極パッドには、電源から直接的に流れる電流と、環を循環してきた電流も流れることとなる。このような場合、第2の電極パッドに流れる電流を正確に測定することが困難になる。これに対し、本発明による半導体装置の評価方法では、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドに所定の電圧を同時に印加するため、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドを通って環を循環して流れる電流同士が打ち消しあい、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドにそれぞれ電源から直接的に流れる電流のみが測定される。このため、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドそれぞれについて正確な電流測定が同時に可能となり、第1の電極パッドと第2の電極パッドの間に接続されたスルーホールチェーンの抵抗と、第1の電極パッドと第3の電極パッドの間に接続されたスルーホールチェーンの抵抗と、を同時に測定することができる。このため、測定時間を短縮することができる。
本発明によれば、ビア層が異なるスルーホールチェーンの抵抗を測定し、抵抗測定用のチェックパターンの面積が低減化された構造の半導体装置、および測定時間が短縮された半導体装置の評価方法が実現される。
以下、図面を参照しつつ、本発明による半導体装置およびその評価方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
図1乃至7は、本発明による半導体装置の第1実施形態を示す上面図または断面図である。図1中のC−C'断面図、D−D'断面図、E−E'断面図、F−F'断面図、G−G'断面図、およびH−H'断面図を、それぞれ、図2、図3、図4、図5、図6、および図7に示す。
図1乃至7は、本発明による半導体装置の第1実施形態を示す上面図または断面図である。図1中のC−C'断面図、D−D'断面図、E−E'断面図、F−F'断面図、G−G'断面図、およびH−H'断面図を、それぞれ、図2、図3、図4、図5、図6、および図7に示す。
半導体装置10は、配線層13とビア層14が交互に積層した5層アルミ配線を有する。
配線層13は、最下層のアルミ配線171上に、アルミ配線172、アルミ配線173、アルミ配線174およびアルミ配線175の順に形成されている。最上層のアルミ配線175には、チェックパターンが形成され、電極パッド16(16g、16h、16i、16j)として機能する。チェックパターンは、製品ウエハのデバイス特性チェック用パターンとしてデバイス配線形成と同時に形成され、ダイシング前に特性チェックのために使用される。
配線層13は、最下層のアルミ配線171上に、アルミ配線172、アルミ配線173、アルミ配線174およびアルミ配線175の順に形成されている。最上層のアルミ配線175には、チェックパターンが形成され、電極パッド16(16g、16h、16i、16j)として機能する。チェックパターンは、製品ウエハのデバイス特性チェック用パターンとしてデバイス配線形成と同時に形成され、ダイシング前に特性チェックのために使用される。
各ビア層14には、複数のスルーホールsが形成されている。スルーホールsの数は、各ビア層14ごとに異なっていてもよい。これらスルーホールsと各ビア層14の上部および下部に設けられたアルミ配線と、が連結してなるスルーホールチェーンSが形成されている。スルーホールチェーンSの両端は、アルミ配線とビア層を介して、電極パッド16にそれぞれ接続されている。電極パッド16の下部には、プラグ18が形成され、スルーホールチェーンSと繋がっている。また、スルーホールチェーンSは、単一ビア層14に形成された複数のスルーホールsと、ビア層14の上部および下部に設けられたアルミ配線と、が連結してなる。すなわち、それぞれ異なる単一のビア層14に形成されるスルーホールチェーンSが、電極パッド16を介して接続される。これにより、ビア層が異なるスルーホールチェーンSが電極パッド16を介して環を形成するように接続されるため、ビア層が異なるスルーホールチェーンSごとの抵抗を測定することができる。いいかえると、スルーホールチェーンSが有するスルーホールsは単一のビア層14に形成されるため、ビア層14ごとに、スルーホールチェーンSの抵抗測定を行うことができる。
図1中のC−C'断面図、D−D'断面図、E−E'断面図、F−F'断面図、G−G'断面図、およびH−H'断面図について、以下に、詳述する。
図2、5に示すように、アルミ配線172と173の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線172と173とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS2を形成している。スルーホールチェーンS2の一方は、電極パッド16gに、もう一方は、電極パッド16iに、それぞれ接続されている。
図3に示すように、アルミ配線171と172の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線171と172とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS1を形成している。スルーホールチェーンS1の一方は、電極パッド16gに、もう一方は、電極パッド16hに、それぞれ接続されている。
図4、7に示すように、アルミ配線173と174の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線173と174とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS3を形成している。スルーホールチェーンS3の一方は、電極パッド16hに、もう一方は、電極パッド16jに、それぞれ接続されている。
図6に示すように、アルミ配線174と175の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線174と175とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS4を形成している。スルーホールチェーンS4の一方は、電極パッド16iに、もう一方は、電極パッド16jに、それぞれ接続されている。
図2、5に示すように、アルミ配線172と173の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線172と173とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS2を形成している。スルーホールチェーンS2の一方は、電極パッド16gに、もう一方は、電極パッド16iに、それぞれ接続されている。
図3に示すように、アルミ配線171と172の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線171と172とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS1を形成している。スルーホールチェーンS1の一方は、電極パッド16gに、もう一方は、電極パッド16hに、それぞれ接続されている。
図4、7に示すように、アルミ配線173と174の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線173と174とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS3を形成している。スルーホールチェーンS3の一方は、電極パッド16hに、もう一方は、電極パッド16jに、それぞれ接続されている。
図6に示すように、アルミ配線174と175の間のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、アルミ配線174と175とチェーン状に連結して、スルーホールチェーンS4を形成している。スルーホールチェーンS4の一方は、電極パッド16iに、もう一方は、電極パッド16jに、それぞれ接続されている。
図1に示すように、このようにして、電極パッド16gと電極パッド16h間は第1スルーホールチェーンS1で、電極パッド16gと電極パッド16i間は第2スルーホールチェーンS2で、電極パッド16hと電極パッド16j間は第3スルーホールチェーンS3で、電極パッド16iと電極パッド16j間は第4スルーホールチェーンS4で、それぞれ接続されている。いいかえると、スルーホールチェーンSがそれぞれ電極パッド16を介して環を形成するように接続されている。
次に、図8、図9を用いて評価方法を説明する。スルーホール抵抗測定器(図示なし)は、3本の探針191、探針192、および探針193、直流の電源、電流計、スイッチで主に構成される。半導体装置10は、スルーホールチェーンSの抵抗を測定するための電極パッド16を4つ有している。
まず、探針191、探針192、および探針193を、それぞれ、電極パッド16g、電極パッド16h、および電極パッド16iに接触させる。電源によって、電極パッド16gへの電圧をゼロ、電極パッド16h、および電極パッド16iへの電圧をEvとなるように同時に印加し、この印加により探針192および探針193に流れる電流IhおよびIiを、電流計1、および電流計2を用いてそれぞれ計測する(図8)。電極パッド16gと電極パッド16hの間に接続された第1スルーホールチェーンS1の抵抗Rgh、および電極パッド16gと電極パッド16iの間に接続された第2スルーホールチェーンS2の抵抗Rgiは、それぞれ次式(5)、(6)のようにして求められる。
Rgh=Ev/Ih・・・(5)
Rgi=Ev/Ii・・・(6)
一つのスルーホールチェーンS1,S2におけるスルーホールsの数をそれぞれN1,N2(Nは2以上の整数)とすると、スルーホールs1つあたりの抵抗r(平均値)は、それぞれ次式(7)、(8)のようにして求められる。単一のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、ビア層14ごとに同様の抵抗値をとると考えられるためである。
rgh=Rgh/N1・・・(7)
rgi=Rgi/N2・・・(8)
Rgh=Ev/Ih・・・(5)
Rgi=Ev/Ii・・・(6)
一つのスルーホールチェーンS1,S2におけるスルーホールsの数をそれぞれN1,N2(Nは2以上の整数)とすると、スルーホールs1つあたりの抵抗r(平均値)は、それぞれ次式(7)、(8)のようにして求められる。単一のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、ビア層14ごとに同様の抵抗値をとると考えられるためである。
rgh=Rgh/N1・・・(7)
rgi=Rgi/N2・・・(8)
次に、探針191、探針192、および探針193を、それぞれ、電極パッド16h、電極パッド16i、および電極パッド16jに接触させる。電源によって、電極パッド16jへの電圧をゼロ、電極パッド16h、および電極パッド16iへの電圧をEvとなるように同時に印加し、この印加により探針191および探針192に流れる電流IhおよびIiを、電流計1、および電流計2を用いてそれぞれ計測する(図9)。電極パッド16hと電極パッド16jの間に接続された第3スルーホールチェーンS3の抵抗Rhj、および電極パッド16iと電極パッド16jの間に接続された第4スルーホールチェーンS4の抵抗Rijは、それぞれ次式(9)、(10)のようにして求められる。
Rhj=Ev/Ih・・・(9)
Rij=Ev/Ii・・・(10)
一つのスルーホールチェーンS3,S4におけるスルーホールsの数をそれぞれN3,N4とすると、スルーホールs1つあたりの抵抗r(平均値)は、それぞれ次式(11)、(12)のようにして求められる。単一のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、ビア層14ごとに同様の抵抗値をとると考えられるためである。
rhj=Rhj/N3・・・(11)
rij=Rij/N4・・・(12)
Rhj=Ev/Ih・・・(9)
Rij=Ev/Ii・・・(10)
一つのスルーホールチェーンS3,S4におけるスルーホールsの数をそれぞれN3,N4とすると、スルーホールs1つあたりの抵抗r(平均値)は、それぞれ次式(11)、(12)のようにして求められる。単一のビア層14に形成された複数のスルーホールsは、ビア層14ごとに同様の抵抗値をとると考えられるためである。
rhj=Rhj/N3・・・(11)
rij=Rij/N4・・・(12)
このようにして、それぞれのスルーホールチェーンSの抵抗Rから、スルーホールs1つあたりの抵抗rが求められる。本実施形態では、4つのスルーホールチェーンSが4つの電極パッド16を介して環を形成するように接続されることにより、ビア層が異なる2つのスルーホールチェーンSが一つの電極パッド16を共有するため、全体として4つのスルーホールチェーン抵抗の測定に用いられる電極パッドの数を4つにおさえ、チェックパターンの小面積化を可能とする。また、スルーホールチェーンSが有するスルーホールsが、それぞれ異なる単一のビア層14に形成されるため、共有する電極パッド16に異なるビア層14から形成されるスルーホールチェーンSが接続されることとなり、ビア層14ごとに、スルーホールチェーンSの抵抗測定を行うことができる。
さらに、従来の半導体装置50では、4つの抵抗Rを測定するために6つの電極パッドが用いられ、3本の探針を3つの電極パッドに使うときに、残りの3つの電極パッドは何も使われない状態となっていたが、これに対し本実施形態における半導体装置10では、4つの抵Rを測定するために4つの電極パッドが用いられ、3本の探針を用いて同時に2つの抵抗Rを測定できる。したがって、このような状態では、チェックパターンが形成された電極パッドが占有する面積が減少でき、試算では、8%〜30%程度の面積縮小が可能となる。これにより、半導体装置のさらなる微細化、多層配線化が実現できるようになる。
また、通常の半導体装置の評価方法では、スルーホールチェーンと電極パッドが環状に接続されている場合、例えば、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドに電圧Vを印加すると、第2の電極パッドには、電源から直接的に流れる電流と、環を循環してきた電流も流れることとなる。このような場合、第2の電極パッドに流れる電流を正確に測定することが困難になる。これに対し、本実施形態における半導体装置10の評価方法では、例えば、電極パッド16gへの電圧をゼロ、電極パッド16h、および電極パッド16iへの電圧をEvとなるように同時に印加するため、電極パッド16h、および電極パッド16iを通って環を循環する電流同士が打ち消しあい、電極パッド16h、および電極パッド16iには電圧をEvによる電流のみが流れるようになるため、電流測定に影響を及ぼさない。このため、電極パッド16h、および電極パッド16iそれぞれについて正確な電流測定が同時に可能となり、電極パッド16gと、電極パッド16hの間に接続されたスルーホールチェーンS1の抵抗と、電極パッド16gと電極パッド16iの間に接続されたスルーホールチェーンS2の抵抗と、を同時に測定することができる。このため、測定時間を短縮することができる。
(第2実施形態)
図10は、本発明による半導体装置の第2実施形態を示す上面図である。第1実施形態が4つの電極パッドが直線上に配置された例であったのに対し、本実施形態の半導体装置20では、4つの電極パッド26が縦2つ横2つのマトリクス状に配置されている。図10(a)に示すように、4つの電極パッド26はスルーホールチェーンU1、U2、U3、およびU4を介して環を形成するようにそれぞれ繋がれている。
図10は、本発明による半導体装置の第2実施形態を示す上面図である。第1実施形態が4つの電極パッドが直線上に配置された例であったのに対し、本実施形態の半導体装置20では、4つの電極パッド26が縦2つ横2つのマトリクス状に配置されている。図10(a)に示すように、4つの電極パッド26はスルーホールチェーンU1、U2、U3、およびU4を介して環を形成するようにそれぞれ繋がれている。
スルーホールチェーンU1、U2、U3、およびU4の抵抗測定は、第1実施形態で説明したのと同様にして行われる。その際、図10(b)、および図10(c)に示すように、3本の探針29をそれぞれの電極パッド26に接続するが、真ん中の探針29への電圧をゼロ、両側の探針29への電圧をVとなるように同時に印加し、このとき両側の探針29にそれぞれ流れる電流を計測する。このようにして、U1、U2、U3、およびU4の抵抗Rがそれぞれ求められる。
第1実施形態では、電極パッド16が横1列に配置されているが、第2実施形態の半導体装置20では、電極パッド26が縦2つ横2つのマトリクス状に配置されている。このためチェックパターンの小面積化、省スペース化が可能となる。
(第3実施形態)
図11は、本発明による半導体装置の第3実施形態を示す上面図である。第1実施形態が、4層のアルミ配線構造と電極パッド層を有する半導体装置において4つの電極パッドが直線上に配置された例であったのに対し、本実施形態では、6層のアルミ配線構造と電極パッド層を有する半導体装置30において6つの電極パッド36が縦2つ横3つに配置されている。図11(a)に示すように、6つの電極パッド36はスルーホールチェーンT1、T2、T3、T4、T5、およびT6を介して環を形成するようにそれぞれ繋がれている。
図11は、本発明による半導体装置の第3実施形態を示す上面図である。第1実施形態が、4層のアルミ配線構造と電極パッド層を有する半導体装置において4つの電極パッドが直線上に配置された例であったのに対し、本実施形態では、6層のアルミ配線構造と電極パッド層を有する半導体装置30において6つの電極パッド36が縦2つ横3つに配置されている。図11(a)に示すように、6つの電極パッド36はスルーホールチェーンT1、T2、T3、T4、T5、およびT6を介して環を形成するようにそれぞれ繋がれている。
スルーホールチェーンT1、T2、T3、T4、T5、およびT6の抵抗測定は、第1実施形態で説明したのと同様にして行われる。その際、図11(b)乃至(d)に示すように、3本の探針39をそれぞれの電極パッド36に接続するが、真ん中の探針39への電圧をゼロ、両側の探針39への電圧をVとなるように同時に印加し、このとき両側の探針39にそれぞれ流れる電流を計測する。このようにして、T1、T2、T3、T4、T5、およびT6の抵抗Rがそれぞれ求められる。このように配線層数と同一の電極パッド数になるように環状のチェックパターンを構成することができる。
本発明による半導体装置およびその評価方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、本実施形態では、ビア層が異なるスルーホールチェーンは、異なる単一のビア層に形成された複数のスルーホールと、ビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなる場合について説明したが、スルーホールチェーンは複数の異なる層のビア層に跨って形成されていてもよい。すなわち、スルーホールチェーンは、複数のビア層に形成された複数のスルーホールと、ビア層の上部および下部に設けられた配線とが連結した構造であって、ビア層の数や組合せの違いによって異なるビア層を有している。これにより、異なるビア層を有する2つのスルーホールチェーンが電極パッドを介して環状に接続されるため、ビア層が異なる2つのスルーホールチェーンの抵抗を同時に測定することができる。
また、電極パッドは、3つ以上であれば、いくつ形成されていてもよい。また、抵抗測定に用いられる探針の数も3本に限られい。
また、電極パッドは、3つ以上であれば、いくつ形成されていてもよい。また、抵抗測定に用いられる探針の数も3本に限られい。
10、20、30 半導体装置
13 配線層
14 ビア層
16g、16h、16i、16j、26、36 電極パッド
171〜175 アルミ配線
18 プラグ
191〜193 探針
29、39 探針
s スルーホール
S、S1〜S4 スルーホールチェーン
T1〜T6 スルーホールチェーン
U1〜U4 スルーホールチェーン
13 配線層
14 ビア層
16g、16h、16i、16j、26、36 電極パッド
171〜175 アルミ配線
18 プラグ
191〜193 探針
29、39 探針
s スルーホール
S、S1〜S4 スルーホールチェーン
T1〜T6 スルーホールチェーン
U1〜U4 スルーホールチェーン
Claims (4)
- 配線層とビア層が交互に積層した多層配線構造を有する半導体装置において、
前記半導体装置は、
前記ビア層に形成された複数のスルーホールと、前記スルーホールと前記ビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなる複数のスルーホールチェーンを備え、
前記ビア層が異なる前記スルーホールチェーンが、電極パッドを介して環を形成するように接続され、
前記電極パッドを用いて、前記ビア層が異なる2つの前記スルーホールチェーンの抵抗を同時に測定するように構成されたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記スルーホールチェーンは、単一の前記ビア層に形成された複数の前記スルーホールと、前記ビア層の上部および下部に設けられた配線と、が連結してなることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記電極パッドが、縦2つ以上横2つ以上のマトリクス状に配置され、前記スルーホールチェーンを介して環を形成するように接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の半導体装置の評価方法であって、
前記半導体装置は、前記スルーホールチェーンの抵抗を測定するための電極パッドを3つ以上有し、
前記電極パッドのうち、第1の電極パッドの電圧を0とし、第2の電極パッドおよび第3の電極パッドに所定の電圧を同時に印加し、前記印加により流れる電流を測定することにより、前記第1の電極パッドと前記第2の電極パッドの間に接続された前記スルーホールチェーンの抵抗と、前記第1の電極パッドと前記第3の電極パッドの間に接続された前記スルーホールチェーンの抵抗と、を同時に測定することを特徴とする半導体装置の評価方法。
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