JP2008111117A - 熱安定性アリールポリシロキサン組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】硬化性アリールシロキサン組成物が開示される。熱安定性硬化アリールポリシロキサン組成物が、その熱安定性硬化アリールポリシロキサン組成物を硬化性アリールシロキサン組成物から製造する方法と共にさらに開示される。封止半導体装置および半導体装置の半導体要素を熱安定性硬化アリールポリシロキサンでコーティングすることによってその封止半導体装置を製造する方法がさらに開示される。
【選択図】なし
Description
A.アルキレン架橋アリールポリシロキサンであって、
少なくとも1つのケイ素架橋アルキレン部分、および
該アルキレン架橋アリールポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基、
を含むアルキレン架橋アリールポリシロキサン;並びに
B.ヒドロシル化触媒:
を含み、該ヒドロシル化触媒は白金、ロジウム、パラジウムおよびそれらの組み合わせから選択されるVIII族元素を含む金属もしくは金属化合物であり;かつ該ヒドロシル化触媒およびそれらのあらゆる誘導体は、硬化アリールポリシロキサン組成物の重量を基準にし、VIII族元素当量値として表して、少なくとも0.005ppmから3.0ppm以下の組み合わせ量で存在し;および
CIE 1976 L*a*b* D65(照射角)/10(観察角)色試験法を用いる決定で、熱エージング後の硬化アリールポリシロキサン組成物の0.6ミリメートル厚検体で測定される2.0以下のCIEb値で示される、空気中200℃で14日間の熱エージングの間に変色しない硬化アリールポリシロキサン組成物に関する。
本発明の第2の態様は、本発明の第1の態様の硬化アリールポリシロキサン組成物の製造方法であって、
A.i)アリールアルケニルポリシロキサンであって、
少なくとも2つのケイ素結合アルケニル基、および
該アリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基、
を含むアリールアルケニルポリシロキサン;
ii)ヒドリドケイ素化合物であって、
少なくとも2つのケイ素結合水素原子、および
ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、0モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基、
を含むヒドリドケイ素化合物;並びに
iii)ヒドロシル化触媒;
を用意する工程;
B.アリールアルケニルポリシロキサン、ヒドリドケイ素化合物およびヒドロシル化触媒を合わせて硬化性アリールシロキサン組成物を生成する工程;
C.硬化性アリールシロキサン組成物を硬化させて硬化アリールポリシロキサン組成物を形成する工程;並びに
D.任意工程として、硬化アリールポリシロキサン組成物を、ヒドロシル化触媒の少なくとも一部の除去、ヒドロシル化触媒の少なくとも一部の失活、およびそれらの組み合わせから選択される工程を含む技術によって精製する工程:
を含み、
該ヒドロシル化触媒は白金、ロジウム、パラジウムおよびそれらの組み合わせから選択されるVIII族元素を含む金属もしくは金属化合物であり、
該ヒドロシル化触媒は、硬化性アリールシロキサン組成物の重量を基準にし、VIII族元素当量値として表して、少なくとも0.005ppmから3.0ppm以下の量で存在し、並びに
該硬化アリールポリシロキサン組成物は、CIE 1976 L*a*b* D65(照射角)/10(観察角)色試験法を用いる決定で、熱エージング後の硬化アリールポリシロキサン組成物の0.6ミリメートル厚検体で測定される2.0以下のCIEb値で示される、空気中200℃で14日間の熱エージングの間に変色しない、
方法に関する。
PSD多分散性=(dw)/(dn),
式中、dn=Σnidi/Σni
dw=Σnididi/Σnidi、および
niは粒子サイズdiを有する粒子の数である。
Mw=Σ(WiMi)/ΣWi=Σ(NiMi 2)/ΣNiMi
Mn=ΣWi/Σ(Wi/Mi)=Σ(NiMi)/ΣNi
式中、
Mi=分布の第i成分のモル質量
Wi=分布の第i成分の重量
Ni=第i成分の鎖の数
およびそれら合計は分布中の成分の全てである。MwおよびMnは、典型的には、ゲル浸透クロマトグラフィーによって測定されるMWDから算出される(実験の項を参照)。「MWD多分散性」はMw/Mnに等しい。
δt 2=δd 2+δp 2+δh 2
によって定義し、式中、δd、δpおよびδhは、それぞれ、溶解度パラメータの分散性、極性および水素結合性成分である。δd、δpおよびδhの値は多くの溶媒、ポリマーおよびポリマーセグメントについて決定されており、Van Krevelenの原子団寄与法(group contribution methods)を用いて推定することができる。例えば、所定の組成を有するポリマーが特定の溶媒もしくは(例えば、約500以下の分子量を有する)他の小分子と混和性かどうかを推定するには、ポリマーのδt 2および溶媒のδt 2を算出する。典型的には、これら2つの間の差、Δδt 2が25を上回る(すなわち、Δδt>5)場合、そのポリマーおよびその溶媒は混和性ではない。
(R1 nSiO(4−n)/2)a(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)b (I)
(式中、
各々の(R1 nSiO(4−n)/2)単位について、
下付きnは、独立に、0、1、2もしくは3に等しく、
各々の(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)単位について、
下付きpは0、1、2もしくは3に等しく、
下付きqは0、1、2もしくは3に等しく、
p+q=0から[8−(2r+1)]、
下付きr=1、2もしくは3、
Zは−CHR4CHR5−XS−、アリーレン、置換アリーレンおよびそれらの組み合わせから選択され、ここで、
−CHR4CHR5−XS−はケイ素−架橋アルキレン部分であり、
Xは、独立に、メチレン、フェニル、置換フェニルおよびそれらの組み合わせから選択され、
下付きs=0もしくは1、並びに
R4およびR5は、独立に、水素原子およびアルキルから選択され、
R1、R2およびR3はアルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択され、
下付きaおよびbは、それぞれ、(R1 nSiO(4−n)/2)単位および(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)単位のモル分率と整合するように選択され、
0<a<1、0<b<1、およびa+b=1)
下付き「a」および「b」はモル分率を表す。例えば、4つの(R1 nSiO(4−n)/2)単位および6つの(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)単位を有するアルキレン架橋アリールポリシロキサンは、それぞれ、0.4および0.6の式I「a」および「b」値を有する。
(R6 3SiO1/2)c(R7 2SiO2/2)d(R8SiO3/2)e(SiO4/2)f (II)
(式中、
R6 3SiO1/2、R7 2SiO2/2、R8SiO3/2およびSiO4/2は、それぞれ、M−単位、D−単位、T−単位およびQ−単位であって、それらの全ては一次シロキサン単位であり、
下付きc、d、eおよびfは、それぞれ、R6 3SiO1/2、R7 2SiO2/2、R8SiO3/2およびSiO4/2のモル分率と整合するように選択され、
0.001≦c≦1、0≦d≦0.999、0≦e≦0.50、0≦f≦0.10、c+d+e+f=1であり、
ケイ素結合アルケニル基はアリールアルケニルポリシロキサン中に、そのアリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも0.1モルパーセントから60モルパーセント以下の量で存在し、
ケイ素結合アリール基はアリールアルケニルポリシロキサン中に、そのアリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下の量で存在し、並びに
R6−R8は、アルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される)。
i)平均組成式IIIを有するヒドリドケイ素化合物
(R9 3SiO1/2)g(R10 2SiO2/2)h(R11SiO3/2)j(SiO4/2)k (III)
(式中、
R9 3SiO1/2、R10 2SiO2/2、R11SiO3/2およびSiO4/2は、それぞれ、M−単位、D−単位、T−単位およびQ−単位であって、それらの全ては一次シロキサン単位であり、
下付きg、h、jおよびkは、それぞれ、R9 3SiO1/2、R10 2SiO2/2、R11SiO3/2およびSiO4/2のモル分率と整合するように選択され、
0.001≦g≦1、0≦h≦0.999、0≦j≦0.50、0≦k≦0.10、g+h+j+k=1であり、
ケイ素結合水素原子はヒドリドケイ素化合物中に、ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも0.1モルパーセントから60モルパーセント以下の量で存在し、
ケイ素結合アリール基はヒドリドケイ素化合物中に、ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下の量で存在し、並びに
R9−R11はアルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される)
および
ii)式IVを有するヒドリドケイ素化合物
R12 mSiH(4−m) (IV)
(式中、
m=1もしくは2、並びに
R12はアルケニル、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される)
並びにそれらの組み合わせ。
ビニル#1の合成。ケイ素に結合するフェニルおよびメチル基を有する、トリメチルケイ素キャップされたアリールビニルポリシロキサンの調製。ビニルトリメトキシシラン(76.24グラム)、370.96gのジメチルジメトキシシラン、11.6gの0.02N HClおよび136.92gの水を三口フラスコに加えた。ポット温度を67から130℃に傾斜させ、留出物を4時間にわたって除去した。その反応混合物を室温に冷却し、さらなる11.6gの0.02N HClの添加と共に、120.91gのトリメチルメトキシシランを添加した。反応物を60℃で3時間攪拌した後、85℃までで留出物を除去した。ポリマーを完全にキャッピングするため、72.86gの乾燥トリエチルアミンを添加した後、78.22gのトリメチルクロロシランを徐々に添加した。反応物を300mLのヘキサンで希釈し、有機物のpHが7未満に低下するまで10%HClで洗浄した。次に、有機(ヘキサン)相をpHが5〜6となるまで水で洗浄した。その後、有機相を真空下、80℃の温度で除去した。収量は190グラムの液体アリールビニルポリシロキサンであった。
ビニル#4の合成。ケイ素に結合するフェニルおよびメチル基を有し、かつ重合シルフェニレンモノマー単位を含む、ジフェニルメチルケイ素キャップされたアリールビニルポリシロキサンの調製。1,4−ビス(ヒドロキシジメチルシリル)ベンゼン(4.08グラム)、2.73gのフェニルメチルジメトキシシラン、2.38gのメチルビニルジメトキシシラン、2.18gのジフェニルメチルエトキシシラン、4.32gの水および28mgの水酸化カリウムを丸底フラスコ内で合わせた。その反応混合物を簡単に還流し、メタノールを100〜110℃のポット温度(120℃油浴)で1.5時間にわたって除去した。メタノールおよび幾らかの水が除去された後、反応混合物を冷却し、トルエンで希釈した。そのトルエン溶液を、pHが中性となるように、塩化アンモニウム溶液で2回、脱イオン水で1回抽出した。有機相を濾過して硫酸マグネシウムで乾燥させ、ロータリーエバポレータで濃縮した。収量は8.09gの液体アリールビニルポリシロキサンであった。
ビニル#5の合成。ケイ素に結合するフェニルおよびメチル基を有する、トリメチルエトキシケイ素キャップされたアリールビニルポリシロキサンの調製。ジフェニルジメトキシシラン(8.06グラム)、6.38gのフェニルメチルジメトキシシラン、2.37gのビニルトリメトキシシラン、1.89gのトリメチルエトキシシラン、9gの水および105mgの水酸化カリウムを丸底フラスコ内で合わせた。その反応物を75℃で16時間攪拌した。その後、メタノールを100−110℃のポット温度(120℃油浴)で除去した。メタノールおよび幾らかの水が除去された後、3.80gのトリメチルエトキシシランを添加してキャッピングを確かなものとし、混合物を80℃で40分間攪拌した。反応物を冷却し、トルエンで希釈した。pHが中性になるように、それを塩化アンモニウム溶液で2回、脱イオン水で1回抽出した。有機相を濾過して硫酸マグネシウムで乾燥させ、ロータリーエバポレータで濃縮した。収量は9.98gの液体アリールビニルポリシロキサンであった。
水素化物#3の合成。ケイ素に結合するフェニルおよびメチル基を有するヒドリドケイ素化合物の調製。ジフェニルジメトキシシラン(19.55グラム)、6.01gのペンタメチルシクロペンタシロキサン、2gの硫酸および4gの水をフラスコに加え、室温で一晩攪拌した。150mLのトルエンを添加することによってその反応を仕上げた。有機相を飽和重炭酸ナトリウム水溶液で2回(各々300mL)、水で2回(各々300mL)抽出した。有機相をロータリーエバポレータで除去し、18gの粘性透明ポリマーを得た。
硬化性アリールシロキサン組成物の調製および硬化。アリールビニルポリシロキサンにトルエンもしくはキシレン中に溶解された所定量のヒドロシル化触媒(白金触媒)を添加し、それらの成分をローラーミキサで充分に混合した。粘性ビニルシリコーンについては、ヘキサンを希釈剤として用いてポリマーの秤量および白金触媒との混合を補助した。これらの場合、ヘキサンは、ヒドリドケイ素化合物の添加に先立ち、ホットプレートでの蒸発によって除去された。ヒドリドケイ素化合物を添加し、ローラーミキサで充分に混合した。その後、その配合物を石英スライド上(UV−vis測定用の検体)もしくはスライドガラス上(CIE測定用の検体)またはガラスマイクロビーカー内(視認測定用の検体)に注いだ。NMR分析は定式化のための水素化物およびビニル成分のグラム当量重量をもたらした。初期硬化温度および期間は、それぞれ、100〜130℃および1〜4時間の範囲であり、より遅い硬化特性を有する硬化性アリールシロキサン組成物にはより高温およびより長い時間を選択した。0.2ppmを上回るPt濃度を有する試料を、サーモスタットを備えるホットプレート上で、100〜130℃で2.0時間までの期間硬化させた。特定の低触媒濃度配合物(0.2ppm未満のPt濃度)は160〜180℃の高温で0.5〜4時間の初期硬化を必要とした。その後、最初に硬化させた試料の全てに、130℃で8時間、最終硬化工程を施した。
(b)Si−ビニルの当量あたりのSi−Hの当量。
(c)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(d)約+/−0.05の標準偏差を有する、3回の測定の平均。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(c)試料は200℃で67時間後に依然として粘着性であり、これは部分的硬化を示す。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(c)0、3、7、14および31日は、0並びに、それぞれ、約72、168、336および744時間に相当する。
(b)硬化ポリシロキサン組成物C13、C14および17−19は白金カルボニルシクロビニルメチルシロキサン錯体(Ossko)を用いて硬化させ、硬化ポリシロキサン組成物C15、C16および20−22は白金オクタナール/オクタノール錯体(Lamoreaux)を用いて硬化させた。
(c)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(b)CIE読み取りは、硬化ポリシロキサン組成物を通過する〜0.6mmの路程を有する検体の1回の観察である。
(b)1.8cmの直径を有するガラスマイクロビーカー内で試料を硬化させた。
(c)1.8cmの直径を有するガラスマイクロビーカー内で試料を硬化させた。
(b)0、7、14、21、28および49日は0並びに、それぞれ、約168、336、504、672および1176時間に相当する。
Claims (9)
- 硬化アリールポリシロキサン組成物であって、
A.アルキレン架橋アリールポリシロキサンであって、
少なくとも1つのケイ素架橋アルキレン部分;および
アルキレン架橋アリールポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基:
を含むアルキレン架橋アリールポリシロキサン;並びに
B.ヒドロシル化触媒:
を含み、
ヒドロシル化触媒は白金、ロジウム、パラジウムおよびそれらの組み合わせから選択されるVIII族元素を含む金属もしくは金属化合物であり;および
ヒドロシル化触媒およびそれらのあらゆる誘導体は、硬化アリールポリシロキサン組成物の重量を基準にし、VIII族元素当量値として表して、少なくとも0.005ppmから3.0ppm以下の合計量で存在し;および
CIE 1976 L*a*b* D65(照射角)/10(観察角)色試験法を用いて決定される、熱エージング後の硬化アリールポリシロキサン組成物の0.6ミリメートル厚検体によって測定される2.0以下のCIEb値で示される、空気中200℃で14日の熱エージングの間に変色しない硬化アリールポリシロキサン組成物。 - ヒドロシル化触媒およびそれらのあらゆる誘導体が、硬化アリールポリシロキサン組成物の総重量を基準にし、VIII族元素当量値として表して、少なくとも0.005ppmから1.0ppm未満の合計量で存在する、請求項1記載の硬化アリールポリシロキサン組成物。
- アルキレン架橋アリールポリシロキサンが平均組成式Iによって表される、請求項1記載の硬化アリールポリシロキサン組成物:
(R1 nSiO(4−n)/2)a(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)b (I)
(式中、
各々の(R1 nSiO(4−n)/2)単位について、
下付きnは、独立に、0、1、2もしくは3に等しく;
各々の(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)単位について、
下付きpは0、1、2もしくは3に等しく;
下付きqは0、1、2もしくは3に等しく;
p+q=0から[8−(2r+1)];
下付きr=1、2もしくは3;
Zは−CHR4CHR5−XS−、アリーレン、置換アリーレンおよびそれらの組み合わせから選択され、ここで、
−CHR4CHR5−XS−はケイ素−架橋アルキレン部分であり;
Xは、独立に、メチレン、フェニル、置換フェニルおよびそれらの組み合わせから選択され;
下付きs=0もしくは1;並びに
R4およびR5は、独立に、水素原子およびアルキルから選択され;
R1、R2およびR3はアルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択され;
下付きaおよびbは、それぞれ、(R1 nSiO(4−n)/2)単位および(O(4−p−r)/2R2 pSiZrSiR3 qO(4−q−r)/2)単位のモル分率と整合するように選択され;
0<a<1;0<b<1;並びに
a+b=1)。 - 合わせたR1、R2およびR3の少なくとも70モルパーセントから100モルパーセントがビニル、水素原子、メチル、フェニル、ナフチル、フェノキシフェニルおよびそれらの組み合わせから選択される、請求項3記載の硬化アリールポリシロキサン組成物。
- 請求項1記載の硬化アリールポリシロキサン組成物の製造方法であって、
A.i)アリールアルケニルポリシロキサンであって、
少なくとも2つのケイ素結合アルケニル基;および
アリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基:
を含むアリールアルケニルポリシロキサン;
ii)ヒドリドケイ素化合物であって、
少なくとも2つのケイ素結合水素原子;および
ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、0モルパーセントから99.9モルパーセント以下のケイ素結合アリール基:
を含むヒドリドケイ素化合物;並びに
iii)ヒドロシル化触媒:
を用意する工程;
B.アリールアルケニルポリシロキサン、ヒドリドケイ素化合物およびヒドロシル化触媒を合わせて硬化性アリールシロキサン組成物を生成する工程;
C.硬化性アリールシロキサン組成物を硬化させて硬化アリールポリシロキサン組成物を形成する工程;並びに
D.任意工程として、硬化アリールポリシロキサン組成物を、ヒドロシル化触媒の少なくとも一部の除去、ヒドロシル化触媒の少なくとも一部の失活、およびそれらの組み合わせから選択される工程を含む技術によって精製する工程:
を含み、
ヒドロシル化触媒は白金、ロジウム、パラジウムおよびそれらの組み合わせから選択されるVIII族元素を含む金属もしくは金属化合物であり;
ヒドロシル化触媒は、硬化性アリールシロキサン組成物の重量を基準にし、VIII族元素当量値として表して、少なくとも0.005ppmから3.0ppm以下の量で存在し;並びに
硬化アリールポリシロキサン組成物は、CIE 1976 L*a*b* D65(照射角)/10(観察角)色試験法を用いて決定される、熱エージング後の硬化アリールポリシロキサン組成物の0.6ミリメートル厚検体によって測定される2.0以下のCIEb値で示される、空気中200℃で14日の熱エージングの間に変色しない;
方法。 - E.半導体要素を含む半導体装置を用意する工程;並びに
F.硬化の工程の前もしくはその間に、硬化性アリールシロキサン組成物を表面に適用すること;
硬化アリールポリシロキサン組成物を表面に適用すること;および
それらの組み合わせ:
から選択される工程を含む技術によって、少なくとも1つの半導体要素の少なくとも1つの表面上にコーティングを形成する工程:
をさらに含む請求項5記載の方法。 - アリールアルケニルポリシロキサンが平均組成式IIによって表される、請求項5記載の方法:
(R6 3SiO1/2)c(R7 2SiO2/2)d(R8SiO3/2)e(SiO4/2)f (II)
(式中、
R6 3SiO1/2、R7 2SiO2/2、R8SiO3/2およびSiO4/2は、それぞれ、M−単位、D−単位、T−単位およびQ−単位であって、それらの全ては一次シロキサン単位であり;
下付きc、d、eおよびfは、それぞれ、R6 3SiO1/2、R7 2SiO2/2、R8SiO3/2およびSiO4/2のモル分率と整合するように選択され;
0.001≦c≦1;0≦d≦0.999;0≦e≦0.50;0≦f≦0.10;
c+d+e+f=1;
ケイ素結合アルケニル基はアリールアルケニルポリシロキサン中に、アリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも0.1モルパーセントから60モルパーセント以下の量で存在し;
ケイ素結合アリール基はアリールアルケニルポリシロキサン中に、アリールアルケニルポリシロキサンのケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下の量で存在し;並びに
R6−R8は、アルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される)。 - ヒドリドケイ素化合物が以下から選択されるヒドリドケイ素化合物を含む、請求項5記載の方法:
i)平均組成式IIIを有するヒドリドケイ素化合物、
(R9 3SiO1/2)g(R10 2SiO2/2)h(R11SiO3/2)j(SiO4/2)k (III)、
(式中、
R9 3SiO1/2、R10 2SiO2/2、R11SiO3/2およびSiO4/2は、それぞれ、M−単位、D−単位、T−単位およびQ−単位であって、それらの全ては一次シロキサン単位であり;
下付きg、h、jおよびkは、それぞれ、R9 3SiO1/2、R10 2SiO2/2、R11SiO3/2およびSiO4/2のモル分率と整合するように選択され;
0.001≦g≦1;0≦h≦0.999;0≦j≦0.50;0≦k≦0.10;
g+h+j+k=1;
ケイ素結合水素原子はヒドリドケイ素化合物中に、ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも0.1モルパーセントから60モルパーセント以下の量で存在し;
ケイ素結合アリール基はヒドリドケイ素化合物中に、ヒドリドシロキサン化合物のケイ素結合有機基の総モルを基準にして、少なくとも10モルパーセントから99.9モルパーセント以下の量で存在し;並びに
R9−R11はアルケニル、水素原子、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される);および
ii)式IVを有するヒドリドケイ素化合物、
R12 mSiH(4−m) (IV)
(式中、
m=1もしくは2;並びに
R12はアルケニル、アリール、アルキル、ヒドロキシ、アルコキシ、アリールオキシ、他の炭化水素基およびそれらの組み合わせから選択される);
並びにそれらの組み合わせ。 - 半導体要素を含む封止半導体装置であって、半導体要素の1つ以上が請求項1記載の硬化アリールポリシロキサン組成物でコートされている封止半導体装置。
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