JP2008056546A - 炭素構造体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】製造装置は、基板を収容する第1空間を形成する第1室と、第1空間に炭素構造体を形成するための原料ガスを供給する原料ガス供給装置と、第1空間とは別の第2空間を形成する第2室と、前記第2空間にプラズマを生成するためのガスを供給するガス供給装置と、第2空間においてプラズマを生成するプラズマ生成装置と、第1空間と第2空間とを接続する開口と、第2空間で生成されたプラズマを開口を介して第1空間に導入するプラズマ導入装置とを備え、第1空間に導入されたプラズマによって、原料ガスを用いて基板上に炭素構造体を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の態様によると、基板上に炭素構造体を形成する炭素構造体の製造装置であって、前記基板を収容する第1空間を形成する第1室と、前記第1空間に前記炭素構造体を形成するための原料ガスを供給する原料ガス供給装置と、前記第1空間とは別の第2空間を形成する第2室と、前記第2空間にプラズマを生成するためのガスを供給するガス供給装置と、前記第2空間においてプラズマを生成するプラズマ生成装置と、前記第1空間と前記第2空間とを接続する開口と、前記第2空間で生成された前記プラズマを前記開口を介して前記第1空間に導入するプラズマ導入装置と、を備え、前記第1空間に導入された前記プラズマによって、前記原料ガスを用いて前記基板上に前記炭素構造体を形成する製造装置が提供される。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る炭素構造体の製造装置FAを示す概略構成図である。炭素構造体は、いわゆる炭素ナノ構造体を含む。炭素ナノ構造体は、例えば、カーボンナノウォール、カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノフレーク、及びカーボンナノシート等を含む。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態の特徴的な部分は、製造装置FAが、第1空間1Aに配置されるようにターゲット材料Tを保持する保持部材12を有し、第1空間1Aに導入されたプラズマ中の不活性ガスに基づいて生成したイオン粒子をターゲット材料Tに照射して、ターゲット材料Tより基板W上に金属膜及び/又は触媒微粒子を形成するためのスパッタ粒子を放出させるスパッタ装置11を備えた点にある。すなわち、上述の第1実施形態においては、いわゆるプラズマCVD法に基づいて炭素構造体を形成しているが、第2実施形態においては、プラズマCVD法に基づいて炭素構造体を形成する動作に加えて、いわゆるスパッタ法に基づいて金属膜及び/又は触媒微粒子を形成する動作が実行される。以下の説明において、上述の第1実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。上述の第2実施形態においては、ターゲット材料Tを保持する電極12Aに電力を印加して、第1空間1Aにプラズマ発生領域PU’を形成して、金属膜を形成しているが、図5(A)に示すように、プラズマ生成装置4で生成したプラズマを、ターゲット材料Tが配置された第1空間1Aに導入し、その導入したプラズマ(シートプラズマ10)を用いて、ターゲット材料Tをスパッタリングしてもよい。こうすることによっても、基板W上に金属膜を形成することができる。
次に、第4実施形態について説明する。上述の第2、第3実施形態では、基板Wに金属膜及び/又は触媒微粒子を形成した後、炭素構造体を形成しているが、例えば、基板Wに炭素構造体を形成した後、触媒微粒子を形成することができる。上述の第2、第3実施形態で説明したような、スパッタ法に基づいて金属膜及び/又は触媒微粒子を形成する動作は、基板W上に炭素構造体を形成する動作の後に実施可能である。例えば、基板W上に炭素構造体を形成した後、スパッタ法により、炭素構造体の表面に所定の材料を入射することができる。例えば、炭素構造体を燃料電池の電極材料として用いる場合、基板W上に形成された炭素構造体に、触媒微粒子として、白金、ニッケル等を供給可能である。供給された白金、ニッケル等の触媒微粒子は、炭素構造体に担持される
Claims (7)
- 基板上に炭素構造体を形成する炭素構造体の製造装置であって、
前記基板を収容する第1空間を形成する第1室と、
前記第1空間に前記炭素構造体を形成するための原料ガスを供給する原料ガス供給装置と、
前記第1空間とは別の第2空間を形成する第2室と、
前記第2空間にプラズマを生成するためのガスを供給するガス供給装置と、
前記第2空間においてプラズマを生成するプラズマ生成装置と、
前記第1空間と前記第2空間とを接続する開口と、
前記第2空間で生成された前記プラズマを前記開口を介して前記第1空間に導入するプラズマ導入装置と、を備え、
前記第1空間に導入された前記プラズマによって、前記原料ガスを用いて前記基板上に前記炭素構造体を形成する製造装置。 - 前記第2空間よりも前記第1空間の圧力を低く設定する請求項1記載の製造装置。
- 前記開口の近傍に配置され、前記第1空間における前記プラズマをシート状に整形する磁場生成装置を備えた請求項1又は2記載の製造装置。
- 前記第1空間に配置されるようにターゲット材料を保持する保持部材を有し、前記第1空間に導入された前記プラズマ中の不活性ガスに基づいて生成したイオン粒子を前記ターゲット材料に照射して、前記ターゲット材料より前記基板上に導電性膜及び触媒微粒子の少なくとも一方を形成するためのスパッタ粒子を放出させるスパッタ装置を備えた請求項1〜3のいずれか一項記載の製造装置。
- 基板上に炭素構造体を形成する炭素構造体の製造方法であって、
前記基板が収容された第1空間に前記炭素構造体を形成するための原料ガスを供給する動作と、
前記第1空間とは別の第2空間においてプラズマを生成する動作と、
前記第2空間で生成された前記プラズマを開口を介して前記第1空間に導入する動作と、
前記第1空間に導入された前記プラズマによって、前記原料ガスを用いて前記基板上に前記炭素構造体を形成する動作と、を含む製造方法。 - 前記基板上に前記金属膜及び触媒微粒子の少なくとも一方を形成した後、前記炭素構造体を形成する請求項5記載の製造方法。
- 前記基板上に前記炭素構造体を形成した後、触媒微粒子を形成する請求項5記載の製造方法。
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