JP2013014478A - カーボンナノウォール配列体およびカーボンナノウォールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボンナノウォール配列体10は、基板1と、カーボンナノウォール2〜9とを備える。基板1は、シリコンからなる。そして、基板1は、凸部11と凹部12とを含む。凸部11および凹部12は、方向DR1に沿って基板1の一方の表面に形成される。凸部11および凹部12は、方向DR1に垂直な方向DR2において、交互に形成される。凸部11は、方向DR2において、0.1〜0.5μmの長さを有し、凹部12は、方向DR2において、0.6〜1.5μmの長さを有する。また、凸部11の高さは、0.3〜0.6μmである。カーボンナノウォール2〜9の各々は、基板1の凸部11の長さ方向(=方向DR1)に沿って凸部11上に形成される。
【選択図】図1
Description
Claims (2)
- 一主面に凹凸形状がストライプ状または碁盤目状に形成された基板と、
前記凹凸形状の凸部の長さ方向に沿って前記凸部上に形成された複数のカーボンナノウォールとを備え、
前記基板の面内方向における前記凸部の幅が前記基板の面内方向における前記凹凸形状の凹部の幅よりも狭く、かつ、前記凸部の幅が0.5μm以下である、カーボンナノウォール配列体。 - プラズマを用いてカーボンナノウォールを製造する製造方法であって、
一主面に凹凸形状がストライプ状または碁盤目状に形成された基板を前記真空容器内に配置する第1の工程と、
前記基板の温度を所望の温度に昇温する第2の工程と、
前記真空容器内に炭素原子を含む材料ガスを導入する第3の工程と、
電極に高周波電力を印加する第4の工程とを備え、
前記基板の面内方向における前記凹凸形状の凸部の幅が前記基板の面内方向における前記凹凸形状の凹部の幅よりも狭く、かつ、前記凸部の幅が0.5μm以下である、カーボンナノウォールの製造方法。
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