JP2004064019A - プラズマcvd薄膜製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】均一なプラズマを形成することを課題とする。
【解決手段】真空容器21と、この真空容器21内にガスを導入する導入手段27と、前記真空容器内を排気する排気手段31と、前記真空容器21内に配置され、基板25を支持する基板加熱用ヒータ22と、前記真空容器21内に前記基板25と対向するように配置された放電用電極24と、この放電用電極24に接続された高周波電源30とを具備したプラズマCVD薄膜製造装置において、前記放電用電極24は複数のスリット23が形成された電極であることを特徴とするプラズマCVD薄膜製造装置。
【選択図】 図1
【解決手段】真空容器21と、この真空容器21内にガスを導入する導入手段27と、前記真空容器内を排気する排気手段31と、前記真空容器21内に配置され、基板25を支持する基板加熱用ヒータ22と、前記真空容器21内に前記基板25と対向するように配置された放電用電極24と、この放電用電極24に接続された高周波電源30とを具備したプラズマCVD薄膜製造装置において、前記放電用電極24は複数のスリット23が形成された電極であることを特徴とするプラズマCVD薄膜製造装置。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アモルファスシリコン太陽電池、薄膜トランジスタ、光センサ、半導体保護膜など各種電子デバイスに使用されるプラズマCVD薄膜製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば非晶質シリコン太陽電池を製造するために適用されるプラズマCVD薄膜製造装置として、図2(A),(B)に示すものが知られている。ここで、図2(A)は同装置の全体図、図2(B)は図2(A)の一構成要素である平衡平板型電極(放電用電極)の平面図を示す。
【0003】
図中の符番1はアース線2aに接続された真空容器であり、内部に基板加熱用ヒータ2、及びガス流れ用の多数の小孔3が格子状に形成された平行平板型電極4が対向して配置されている。前記基板加熱用ヒータ2の内側には基板5が支持されている。前記平行平板型電極4はガス混合箱6の上部開口部分に支持されている。前記ガス混合箱6には原料ガス導入管7が連通され、この原料ガス導入管7からガス混合箱6の内部、平行平板型電極4の小孔3を通って平行平板型電極4と基板5間のプラズマ領域に供給されるようになっている。前記平行平板型電極4には、同軸ケーブル8を介してインピーダンス整合器9、高周波電源10が順次電気的に接続されている。また、前記反応容器1には、排気管11を介して真空ポンプ12が接続されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のプラズマCVD薄膜製造装置のように、等方的な表面形状を有する平行平板型電極4を用いた装置においては、平行平板型電極4に高周波電源10から高周波電力を印加した場合、高周波は平面的に伝播し、端部での反射等により複雑なモードの定在波を形成する。この場合、定在波の振幅に従って平行平板型電極4に図3に示すような電圧分布を生じるため、プラズマの不均一を生じ、その結果として、膜厚あるいは膜質に不均一を生じる。
【0005】
本発明は、こうした事情を考慮してなされたもので、放電用電極として複数のスリットが形成された電極を用いた構成にすることにより、定在波の時間的な振幅を無くして放電用電極上の電圧分布をなくし、もって均一なプラズマを形成することが可能なプラズマCVD薄膜製造装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空容器と、この真空容器内にガスを導入する導入手段と、前記真空容器内を排気する排気手段と、前記真空容器内に配置され、基板を支持する基板加熱用ヒータと、前記真空容器内に前記基板と対向するように配置された放電用電極と、この放電用電極に接続された高周波電源とを具備したプラズマCVD薄膜製造装置において、前記放電用電極は複数のスリットが形成された電極であることを特徴とするプラズマCVD薄膜製造装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について更に具体的に説明する。
本発明において、前記放電用電極としては、例えば平面形状が長方形で、かつ複数のスリットが該長方形の短辺方向に沿って等間隔で形成されている電極(図1(B)参照)、もしくは平面形状が四角形(正方形が好ましい)で、かつ複数のスリットが該四角形の斜め方向に沿って等間隔で形成されている電極(図5参照)が挙げられる。
【0008】
上記放電用電極のようにスリットを設けることにより、高周波の伝播を各スリット間の細長い電極に対して一次元的とすることが可能となり、同位相面が平行となり、見かけ上平面波となる。従って、こうした放電用電極において、各点での位相を制御すれば、定在波の時間的な振幅がなくなる。このため、電極上の電圧分布がなくなり、均一なプラズマを形成することが可能となる。
【0009】
本発明において、上記放電用電極に形成するスリットは、等間隔で形成することが好ましい。このように、スリットを等間隔で形成することにより、各電極間のインピーダンスが一定となり、位相のずれが小さくなる。
【0010】
前記放電用電極において、スリットの開口率は、30%以上80%以下が望ましい。ここで、開口率が30%未満の場合は、ガス流れが不均一となって膜厚分布が大きくなる。また、開口率が80%を越えると、電極の剛性が小さくなり、電極が変形しやすくなり、電極−基板間距離を一定に保つことが困難となる。更に、スリットの幅やスリット間隔は特に限定されず、開口率が上記範囲にあればよい。
【0011】
【実施例】
以下、本発明の一実施例に係るプラズマCVD薄膜製造装置ついて図1(A),(B)を参照して説明する。ここで、図1(A)は同装置の全体図、図1(B)は図1(A)の一構成要素である放電用電極の平面図を示す。
【0012】
図中の符番21はアース線22aに接続された真空容器であり、内部に基板加熱用ヒータ22、及びガス流れ用の多数のスリット23が形成されたスリット付き電極(放電用電極)24が対向して配置されている。ここで、スリット付き電極24は長方形形状になっており、スリット23は長方形の短辺方向にそって等間隔で形成されている。また、前記スリット23の開口率は約50%である。
【0013】
前記スリット付き電極24はガス混合箱26の上部開口部分に支持されている。前記ガス混合箱26にはガスを導入する導入手段としての原料ガス導入管27が連通され、この原料ガス導入管27からガス混合箱26の内部、スリット付き電極24のスリット23を通ってスリット付き電極24と基板25間のプラズマ領域に供給されるようになっている。前記スリット付き電極24には、同軸ケーブル28を介してインピーダンス整合器29、高周波電源30が順次電気的に接続されている。また、前記反応容器21には、ガスを排気する排気手段としての排気管31を介して真空ポンプ32が接続されている。
【0014】
上記実施例によれば、真空容器21内でかつ基板25と対向した位置に図1(B)に示すような平面形状のスリット付き電極24を配置した構成となっているため、高周波の伝播を各スリット24間の細長い電極に対して一次元的とすることが可能となり、同位相面が平行となり、見かけ上、平面波となる。従って、こうしたスリット付き電極24において、各点での位相を制御すれば、定在波の時間的な振幅がなくなる。このため、図4に示すようにスリット付き電極24上の電圧分布がなくなり、均一なプラズマを形成することが可能となる。また、前記スリット付き電極24を用いることにより、大面積で高密度なプラズマを得ることが可能となり、生産性が向上する。
給電点は、例えば、図1においては、上辺及び下辺の各2点ずつ、即ちP1,P2,P3,P4の計4点とする。但し、各給電点P1,P2,P3,P4は電極24の4隅に必ずしもある必要はなく、上辺のP1,P2が下辺のP3,P4と対称となるようにあればよい。この4点の位相を制御することにより、定在波に時間的振幅がなくなる。なお、図4において、給電点は1点でも良いが、より望ましくは上辺及び下辺の各2点ずつ、計4点とする。
【0015】
なお、上記実施例では、放電用電極として長方形状でかつ短辺方向に沿ってスリットが形成されたスリット付き電極を用いた場合について述べたが、これに限らず、正方形状で且つ一辺方向に沿って複数のスリットが形成された電極でもよい。また、図5に示すように、正方形状で且つ斜め方向に沿って複数のスリット33が等間隔で形成された形状のスリット付き電極34を用いてもよい。図5における給電点は、上辺及び下辺の各2点ずつ、計4点とする。なお、給電点の数及び位置は、電極の形状及び大きさに応じて変更が可能である。更に、放電用電極のスリットが等間隔でない場合も適用可能である。
【0016】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、放電用電極として複数のスリットが形成された電極を用いた構成にすることにより、定在波の時間的な振幅を無くして放電用電極上の電圧分布をなくし、もって均一なプラズマを形成することが可能となり、生産性の向上をなしえるプラズマCVD薄膜製造装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係るプラズマCVD装置の説明図。
【図2】従来のプラズマCVD装置の説明図。
【図3】図2のプラズマCVD装置の一構成要素である放電用電極における電位分布の説明図。
【図4】図1のプラズマCVD装置の一構成要素である放電用電極における電位分布の説明図。
【図5】図1のプラズマCVD装置における放電用電極と異なる形状の放電用電極の平面図。
【符号の説明】
21…真空容器、
22…基板加熱用ヒータ、
22a…アース、
23,33…スリット、
24,34…スリット付き電極(放電用電極)、
25…基板、
26…ガス混合箱、
27…原料ガス導入管(導入手段)、
28…同軸ケーブル、
29…インピーダンス整合器、
30…高周波電源、
31…排気管(ガス排気手段)、
32…真空ポンプ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、アモルファスシリコン太陽電池、薄膜トランジスタ、光センサ、半導体保護膜など各種電子デバイスに使用されるプラズマCVD薄膜製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば非晶質シリコン太陽電池を製造するために適用されるプラズマCVD薄膜製造装置として、図2(A),(B)に示すものが知られている。ここで、図2(A)は同装置の全体図、図2(B)は図2(A)の一構成要素である平衡平板型電極(放電用電極)の平面図を示す。
【0003】
図中の符番1はアース線2aに接続された真空容器であり、内部に基板加熱用ヒータ2、及びガス流れ用の多数の小孔3が格子状に形成された平行平板型電極4が対向して配置されている。前記基板加熱用ヒータ2の内側には基板5が支持されている。前記平行平板型電極4はガス混合箱6の上部開口部分に支持されている。前記ガス混合箱6には原料ガス導入管7が連通され、この原料ガス導入管7からガス混合箱6の内部、平行平板型電極4の小孔3を通って平行平板型電極4と基板5間のプラズマ領域に供給されるようになっている。前記平行平板型電極4には、同軸ケーブル8を介してインピーダンス整合器9、高周波電源10が順次電気的に接続されている。また、前記反応容器1には、排気管11を介して真空ポンプ12が接続されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のプラズマCVD薄膜製造装置のように、等方的な表面形状を有する平行平板型電極4を用いた装置においては、平行平板型電極4に高周波電源10から高周波電力を印加した場合、高周波は平面的に伝播し、端部での反射等により複雑なモードの定在波を形成する。この場合、定在波の振幅に従って平行平板型電極4に図3に示すような電圧分布を生じるため、プラズマの不均一を生じ、その結果として、膜厚あるいは膜質に不均一を生じる。
【0005】
本発明は、こうした事情を考慮してなされたもので、放電用電極として複数のスリットが形成された電極を用いた構成にすることにより、定在波の時間的な振幅を無くして放電用電極上の電圧分布をなくし、もって均一なプラズマを形成することが可能なプラズマCVD薄膜製造装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空容器と、この真空容器内にガスを導入する導入手段と、前記真空容器内を排気する排気手段と、前記真空容器内に配置され、基板を支持する基板加熱用ヒータと、前記真空容器内に前記基板と対向するように配置された放電用電極と、この放電用電極に接続された高周波電源とを具備したプラズマCVD薄膜製造装置において、前記放電用電極は複数のスリットが形成された電極であることを特徴とするプラズマCVD薄膜製造装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について更に具体的に説明する。
本発明において、前記放電用電極としては、例えば平面形状が長方形で、かつ複数のスリットが該長方形の短辺方向に沿って等間隔で形成されている電極(図1(B)参照)、もしくは平面形状が四角形(正方形が好ましい)で、かつ複数のスリットが該四角形の斜め方向に沿って等間隔で形成されている電極(図5参照)が挙げられる。
【0008】
上記放電用電極のようにスリットを設けることにより、高周波の伝播を各スリット間の細長い電極に対して一次元的とすることが可能となり、同位相面が平行となり、見かけ上平面波となる。従って、こうした放電用電極において、各点での位相を制御すれば、定在波の時間的な振幅がなくなる。このため、電極上の電圧分布がなくなり、均一なプラズマを形成することが可能となる。
【0009】
本発明において、上記放電用電極に形成するスリットは、等間隔で形成することが好ましい。このように、スリットを等間隔で形成することにより、各電極間のインピーダンスが一定となり、位相のずれが小さくなる。
【0010】
前記放電用電極において、スリットの開口率は、30%以上80%以下が望ましい。ここで、開口率が30%未満の場合は、ガス流れが不均一となって膜厚分布が大きくなる。また、開口率が80%を越えると、電極の剛性が小さくなり、電極が変形しやすくなり、電極−基板間距離を一定に保つことが困難となる。更に、スリットの幅やスリット間隔は特に限定されず、開口率が上記範囲にあればよい。
【0011】
【実施例】
以下、本発明の一実施例に係るプラズマCVD薄膜製造装置ついて図1(A),(B)を参照して説明する。ここで、図1(A)は同装置の全体図、図1(B)は図1(A)の一構成要素である放電用電極の平面図を示す。
【0012】
図中の符番21はアース線22aに接続された真空容器であり、内部に基板加熱用ヒータ22、及びガス流れ用の多数のスリット23が形成されたスリット付き電極(放電用電極)24が対向して配置されている。ここで、スリット付き電極24は長方形形状になっており、スリット23は長方形の短辺方向にそって等間隔で形成されている。また、前記スリット23の開口率は約50%である。
【0013】
前記スリット付き電極24はガス混合箱26の上部開口部分に支持されている。前記ガス混合箱26にはガスを導入する導入手段としての原料ガス導入管27が連通され、この原料ガス導入管27からガス混合箱26の内部、スリット付き電極24のスリット23を通ってスリット付き電極24と基板25間のプラズマ領域に供給されるようになっている。前記スリット付き電極24には、同軸ケーブル28を介してインピーダンス整合器29、高周波電源30が順次電気的に接続されている。また、前記反応容器21には、ガスを排気する排気手段としての排気管31を介して真空ポンプ32が接続されている。
【0014】
上記実施例によれば、真空容器21内でかつ基板25と対向した位置に図1(B)に示すような平面形状のスリット付き電極24を配置した構成となっているため、高周波の伝播を各スリット24間の細長い電極に対して一次元的とすることが可能となり、同位相面が平行となり、見かけ上、平面波となる。従って、こうしたスリット付き電極24において、各点での位相を制御すれば、定在波の時間的な振幅がなくなる。このため、図4に示すようにスリット付き電極24上の電圧分布がなくなり、均一なプラズマを形成することが可能となる。また、前記スリット付き電極24を用いることにより、大面積で高密度なプラズマを得ることが可能となり、生産性が向上する。
給電点は、例えば、図1においては、上辺及び下辺の各2点ずつ、即ちP1,P2,P3,P4の計4点とする。但し、各給電点P1,P2,P3,P4は電極24の4隅に必ずしもある必要はなく、上辺のP1,P2が下辺のP3,P4と対称となるようにあればよい。この4点の位相を制御することにより、定在波に時間的振幅がなくなる。なお、図4において、給電点は1点でも良いが、より望ましくは上辺及び下辺の各2点ずつ、計4点とする。
【0015】
なお、上記実施例では、放電用電極として長方形状でかつ短辺方向に沿ってスリットが形成されたスリット付き電極を用いた場合について述べたが、これに限らず、正方形状で且つ一辺方向に沿って複数のスリットが形成された電極でもよい。また、図5に示すように、正方形状で且つ斜め方向に沿って複数のスリット33が等間隔で形成された形状のスリット付き電極34を用いてもよい。図5における給電点は、上辺及び下辺の各2点ずつ、計4点とする。なお、給電点の数及び位置は、電極の形状及び大きさに応じて変更が可能である。更に、放電用電極のスリットが等間隔でない場合も適用可能である。
【0016】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、放電用電極として複数のスリットが形成された電極を用いた構成にすることにより、定在波の時間的な振幅を無くして放電用電極上の電圧分布をなくし、もって均一なプラズマを形成することが可能となり、生産性の向上をなしえるプラズマCVD薄膜製造装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に係るプラズマCVD装置の説明図。
【図2】従来のプラズマCVD装置の説明図。
【図3】図2のプラズマCVD装置の一構成要素である放電用電極における電位分布の説明図。
【図4】図1のプラズマCVD装置の一構成要素である放電用電極における電位分布の説明図。
【図5】図1のプラズマCVD装置における放電用電極と異なる形状の放電用電極の平面図。
【符号の説明】
21…真空容器、
22…基板加熱用ヒータ、
22a…アース、
23,33…スリット、
24,34…スリット付き電極(放電用電極)、
25…基板、
26…ガス混合箱、
27…原料ガス導入管(導入手段)、
28…同軸ケーブル、
29…インピーダンス整合器、
30…高周波電源、
31…排気管(ガス排気手段)、
32…真空ポンプ。
Claims (4)
- 真空容器と、この真空容器内にガスを導入する導入手段と、前記真空容器内を排気する排気手段と、前記真空容器内に配置され、基板を支持する基板加熱用ヒータと、前記真空容器内に前記基板と対向するように配置された放電用電極と、この放電用電極に接続された高周波電源とを具備したプラズマCVD薄膜製造装置において、
前記放電用電極は複数のスリットが形成された電極であることを特徴とするプラズマCVD薄膜製造装置。 - 前記放電用電極は、平面形状が長方形で、かつ複数のスリットが該長方形の短辺方向に沿って等間隔で形成されている電極であることを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD薄膜製造装置。
- 前記放電用電極は、平面形状が四角形で、かつ複数のスリットが該四角形の斜め方向に沿って等間隔で形成されている電極であることを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD薄膜製造装置。
- 前記放電用電極のスリットの開口率は、30%以上80%以下であることを特徴とする請求項1乃至3いずれか1項記載のプラズマCVD薄膜製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002223882A JP2004064019A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | プラズマcvd薄膜製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002223882A JP2004064019A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | プラズマcvd薄膜製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004064019A true JP2004064019A (ja) | 2004-02-26 |
Family
ID=31943525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002223882A Pending JP2004064019A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | プラズマcvd薄膜製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004064019A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009144205A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空処理装置 |
KR101253785B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2013-04-12 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 표면처리장치 |
JP2016106359A (ja) * | 2010-07-15 | 2016-06-16 | 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 | プラズマ発生方法及びそのための装置 |
-
2002
- 2002-07-31 JP JP2002223882A patent/JP2004064019A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101253785B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2013-04-12 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 표면처리장치 |
JP2009144205A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空処理装置 |
JP2016106359A (ja) * | 2010-07-15 | 2016-06-16 | 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 | プラズマ発生方法及びそのための装置 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
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Effective date: 20040907 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A02 | Decision of refusal |
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