JP2007258570A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1原料ガスを放出する第1原料ガス放出口と、放出された第1原料ガスのプラズマを生成するとともに第1原料ガスを励起して反応活性種を得る、誘電体で表面が覆われた棒状の導体で構成したアンテナ素子が平面状に複数配列されてなるアンテナンアレイを有して構成されているプラズマ生成部と、反応活性種に向けて第2原料ガスを放出して、反応活性種に第2原料ガスを混合させた混合体を生成する第2原料ガス放出手段と、混合体が供給される処理対象基板と、をそれぞれ同一のプラズマ生成室内に設ける。
【選択図】図2
Description
前記処理は、前記基板ステージに載置された前記処理対象基板表面へSiO2膜を成膜する処理であってもよい。
図1は、本発明のプラズマ処理装置の一実施形態であるプラズマCVD装置10の構成を説明する概略断面図である。
12 処理基板
14 反応容器
16 インピーダンス整合器
18 電源・制御ユニット
19 分配器
22 導入口
23 第1原料ガス供給管
24 排気口
26 基板ステージ
28 放射板
30 アンテナアレイ
32 アンテナ素子
33、42 間隙
34 原料ガス配管
35 遮蔽板
36 原料ガス放出口
38 第1原料ガス分散室
39 プラズマ生成室
40 並列配管部分
100 プラズマ反応装置
110 チャンバー
120 高周波コイル
130 ガス導入部
140 拡散部
150 ノズル
160 反応チャンバー
170 ガス導入部
180 基板
Claims (8)
- プラズマ生成室内に配置された処理対象基板に向けて流れる第1原料ガスを励起して反応活性種を生成し、前記反応活性種の流れの途中で前記反応活性種に第2原料ガスを混合させて前記処理対象基板に供給することで、前記処理対象基板に処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記第1原料ガスを放出する第1原料ガス放出口と、
放出された前記第1原料ガスのプラズマを生成するとともに前記第1原料ガスを励起して前記反応活性種を得るプラズマ生成手段と、
前記反応活性種に向けて前記第2原料ガスを放出して、前記反応活性種に前記第2原料ガスを混合させた混合体を生成する第2原料ガス放出手段と、
前記混合体が供給される前記処理対象基板が表面に配置される基板ステージと、が前記プラズマ生成室に備えられており、
前記プラズマ生成手段は、誘電体で表面が覆われた棒状の導体で構成したアンテナ素子が、前記基板ステージの前記表面と対向して平面状に複数配列されてなるアンテナンアレイを有し、
前記第2原料ガス放出手段は、前記アンテナアレイと前記基板ステージとの間に設けられ、前記アンテナアレイと対向して、前記アンテナアレイの配列面と略平行に配置された原料ガス供給配管を備え、
前記原料ガス供給配管には、前記原料ガス供給配管の内部を通る前記第2原料ガスを前記原料ガス配管の外部に放出する第2原料ガス放出口が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第2原料ガス放出口は、前記原料ガス供給配管のうち、前記プラズマ生成室内における前記反応活性種の流れの下流側に対応する部分に設けられていることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記原料ガス供給配管は、前記基板ステージの前記表面と垂直な方向から前記原料ガス供給配管を見たとき、前記基板ステージの前記表面の投影領域全体を覆うように張り巡らされて配置されていることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ処理装置。
- 前記原料ガス供給配管は、前記基板ステージの前記表面と垂直な方向から前記原料ガス供給配管を見たとき、四角形状に配置された枠状配管部分で囲まれた内部領域に、複数の並列配管部分が互いに平行に配置された略梯子形状であることを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。
- 前記原料ガス供給配管は、前記基板ステージの前記表面と垂直な方向から前記原料ガス供給配管を見たとき、四角形状に配置された枠状配管部分で囲まれた内部領域に、内部配管が格子状に張り巡らされた略格子形状であることを特徴とする請求項3記載のプラズマ処理装置。
- 前記原料ガス供給配管は、前記基板ステージの前記表面と垂直な方向から前記原料ガス供給配管を見たとき、四角形状に配置された枠状配管部分を有し、
前記プラズマ生成室内の前記枠状配管部分と前記プラズマ生成室の内壁との間隙部分を、前記アンテナアレイの側と前記処理対象基板の側とに分断する遮蔽板が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ処理装置。 - 前記処理は、前記処理対象基板表面への成膜処理、または前記処理対象基板表面のエッチング処理であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1原料ガスは酸素ガス、前記第2原料ガスはTEOSガスであり、
前記処理は、前記基板ステージに載置された前記処理対象基板表面へSiO2膜を成膜する処理であることを特徴とする請求項7記載のプラズマ処理装置。
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2006
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