JP2006079036A - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006079036A JP2006079036A JP2004298535A JP2004298535A JP2006079036A JP 2006079036 A JP2006079036 A JP 2006079036A JP 2004298535 A JP2004298535 A JP 2004298535A JP 2004298535 A JP2004298535 A JP 2004298535A JP 2006079036 A JP2006079036 A JP 2006079036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- pattern
- substrate
- display device
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 68
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 68
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 139
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 19
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 121
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 58
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 17
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 14
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 13
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- 239000001046 green dye Substances 0.000 description 1
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000001044 red dye Substances 0.000 description 1
- 239000001054 red pigment Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1259—Multistep manufacturing methods
- H01L27/1288—Multistep manufacturing methods employing particular masking sequences or specially adapted masks, e.g. half-tone mask
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【課題】 上板及び下板のミスアラインを防止して表示品質を向上させる表示装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 表示パネルは、表示領域及び表示領域を囲む周辺領域で構成され、第1基板及び第1基板に対向する第2基板を有し、アラインキー部は周辺領域に形成され、金属膜パターン及び金属膜パターン上に積層された透明電極膜パターンで構成され、第1基板と第2基板との互いに対する位置合わせを行う。アラインキー部は、第1アラインキー及び第2アラインキーを含む。第1基板の最後レイヤーである画素電極の形成時に第1アラインキーが形成され、第2基板の最後レイヤーである共通電極の形成時に第2アラインキーが形成されるので、第1アラインキー及び第2アラインキーが形成される前に積層されたレイヤーのオーバーレイ捩れの影響を受けないように第1アラインキー及び第2アラインキーが形成され、第1基板と第2基板のミスアラインの発生を防止することができる。
【選択図】 図2
Description
200 カラーフィルター基板
700 第1アラインキー
702 第1金属膜パターン
704 第1透明電極膜パターン
710 第2アラインキー
712 第2金属膜パターン
714 第2透明電極膜パターン
Claims (16)
- 第1基板及び前記第1基板に対向する第2基板を有し、表示領域及び前記表示領域を囲む周辺領域で構成された表示パネルと、
前記周辺領域に形成されているアラインキー部であって、第1パターン及び前記第1パターン上に積層された第2パターンを含み、前記第1基板と前記第2基板との互いに対する位置合わせを行うためのアラインキー部と、
を含む表示装置。 - 前記第1基板は、第1電極、第2電極、及び第3電極を有するスイッチング素子と、前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうちいずれか一つと電気的に連結される透明電極とを含み、
前記第1パターンは、前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうち、いずれか一つの電極を構成する物質を含み、
前記第2パターンは、前記透明電極と同じ物質で構成された
ことを特徴とする請求項1記載の表示装置。 - 前記第1パターンと前記第2パターンは、同じエッチング液によりエッチングされる特性を有することを特徴とする請求項2記載の表示装置。
- 前記第1パターンはクロムを含み、前記第2パターンはITO又はIZOを含むことを特徴とする請求項2記載の表示装置。
- 前記第2基板は、光遮断層、カラーフィルター、及び透明電極を含み、
前記第1パターンは、前記光遮断層を構成する物質を含み、
前記第2パターンは、前記透明電極と同じ物質を含む
ことを特徴とする請求項1記載の表示装置。 - 前記第1パターンは、前記第2パターンと同じエッチング液によりエッチング可能であることを特徴とする請求項5記載の表示装置。
- 前記第1パターンはクロムを含み、前記第2パターンはITO又はIZOを含むことを特徴とする請求項6記載の表示装置。
- 前記アラインキー部は、
前記第1基板上に形成された第1アラインキーと、
前記第2基板上に形成され、前記第1アラインキーに対応する位置に配置される第2アラインキーと、
を含むことを特徴とする請求項1記載の表示装置。 - 前記第2アラインキーは所定の形状を有し、
前記第1アラインキーは、前記第2アラインキーを囲む形状を有することを特徴とする請求項8記載の表示装置。 - 第1パターンを、第1基板上の表示領域を囲む周辺領域に形成する段階と、
前記第1パターン上に第2パターンを形成する段階と、
前記第1パターン及び前記第2パターンを同時にパターニングして、アラインキーを前記第1基板の周辺領域に形成する段階と、
前記アラインキーにより、前記第1基板と前記第1基板に対向する第2基板との互いに対する位置合わせを行う段階と、
を含む表示装置の製造方法。 - 前記アラインキーを前記第1基板の周辺領域に形成する段階は、
前記表示領域に第1電極、第2電極、及び第3電極を有するスイッチング素子を形成し、前記周辺領域に前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうちいずれか一つの電極を構成する物質を含む第1層を形成する段階と、
前記表示領域及び周辺領域上に形成され、前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうち、いずれか一つと電気的に連結される第2層を形成する段階と、
前記周辺領域上の前記第1層及び第2層を同時にエッチングする段階と、
を含むことを特徴とする請求項10記載の表示装置の製造方法。 - 前記アラインキーを前記第1基板の周辺領域に形成する段階は、
前記表示領域に光遮断層を形成し、前記周辺領域に前記光遮断層を構成する物質を含む第1層を形成する段階と、
前記光遮断層上にカラーフィルターを形成する段階と、
前記カラーフィルターが形成された表示領域及び前記周辺領域に第2層を形成する段階と、
前記周辺領域上の前記第1層及び第2層を同時にエッチングする段階と、
を含むことを特徴とする請求項10記載の表示装置の製造方法。 - 前記第1パターンは、前記第2パターンと同じエッチング液によりエッチング可能であることを特徴とする請求項10記載の表示装置の製造方法。
- (a)第1表示領域及び第1周辺領域で構成される第1基板であって、前記第1周辺領域に第1金属膜パターン及び前記第1金属膜パターン上に積層された第1透明電極膜パターンを含む第1アラインキーを有する第1基板を製造する段階と、
(b)前記第1基板に対向し、第2表示領域及び第2周辺領域で構成される第2基板であって、前記第2周辺領域に第2金属膜パターン及び前記第2金属膜パターン上に積層された第2透明電極膜パターンを含み、前記第1アラインキーに対応する位置に設けられる第2アラインキーを有する第2基板を製造する段階と、
(c)前記第1アラインキー及び前記第2アラインキーにより前記第1基板と前記第2基板との互いに対する位置合わせを行う段階と、
を含む表示装置の製造方法。 - 前記段階(a)は、
前記第1表示領域に第1電極、第2電極、及び第3電極を有するスイッチング素子を形成し、前記第1周辺領域に前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうちいずれか一つの電極を構成する物質を含む金属膜を形成する段階と、
前記第1表示領域及び前記第1周辺領域上に、前記第1電極、第2電極、及び第3電極のうちいずれか一つと電気的に連結される透明電極を形成する段階と、
前記第1周辺領域上の前記透明電極と前記金属膜とを同時にエッチングして、前記第1金属膜パターン上に前記第1透明電極膜パターンが積層された第1アラインキーを形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項14記載の表示装置の製造方法。 - 前記段階(b)は、
前記第2表示領域に光遮断層を形成し、前記第2周辺領域に前記光遮断層を構成する物質を含む金属膜を形成する段階と、
前記光遮断層上にカラーフィルターを形成する段階と、
前記カラーフィルターが形成された前記第2表示領域及び前記第2周辺領域に透明電極を形成する段階と、
前記第2周辺領域上の前記透明電極と前記金属膜とを同時にエッチングして、前記第2金属膜パターン上に前記第2透明電極膜パターンが積層された第2アラインキーを形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項14記載の表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2004-072304 | 2004-09-09 | ||
KR1020040072304A KR101223098B1 (ko) | 2004-09-09 | 2004-09-09 | 표시장치 및 이의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006079036A true JP2006079036A (ja) | 2006-03-23 |
JP4775836B2 JP4775836B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=36158511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004298535A Expired - Fee Related JP4775836B2 (ja) | 2004-09-09 | 2004-10-13 | 表示装置及びその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7629613B2 (ja) |
JP (1) | JP4775836B2 (ja) |
KR (1) | KR101223098B1 (ja) |
CN (1) | CN100510873C (ja) |
TW (1) | TW200634379A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1980898A3 (en) * | 2007-04-12 | 2009-01-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display substrate, method of manufacturing the same and display device having the same |
WO2010125847A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
WO2010125846A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101223098B1 (ko) * | 2004-09-09 | 2013-01-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 제조방법 |
KR101255508B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-04-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 및 이의 얼라인 키의 제조 방법 |
KR101308751B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2013-09-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시소자의 오버레이키 및 이를 형성하는 방법 |
KR101396759B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2014-05-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 컬러플렉서블 표시장치 및 그 제조방법 |
KR101280505B1 (ko) * | 2008-03-03 | 2013-07-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표준 셀을 이용한 우네리 측정 장비 및 그 측정 방법 |
KR20100073356A (ko) | 2008-12-23 | 2010-07-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 컬러 전기 영동 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
CN101710212B (zh) * | 2009-03-27 | 2012-11-28 | 深超光电(深圳)有限公司 | 加强面板组合对位的结构及其方法 |
US8456586B2 (en) | 2009-06-11 | 2013-06-04 | Apple Inc. | Portable computer display structures |
US8408780B2 (en) * | 2009-11-03 | 2013-04-02 | Apple Inc. | Portable computer housing with integral display |
US8743309B2 (en) | 2009-11-10 | 2014-06-03 | Apple Inc. | Methods for fabricating display structures |
US9062830B2 (en) * | 2010-03-03 | 2015-06-23 | Cree, Inc. | High efficiency solid state lamp and bulb |
KR101048931B1 (ko) * | 2010-04-01 | 2011-07-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 |
US9143668B2 (en) * | 2010-10-29 | 2015-09-22 | Apple Inc. | Camera lens structures and display structures for electronic devices |
US8467177B2 (en) | 2010-10-29 | 2013-06-18 | Apple Inc. | Displays with polarizer windows and opaque masking layers for electronic devices |
TWI444943B (zh) * | 2011-03-11 | 2014-07-11 | E Ink Holdings Inc | 彩色顯示裝置 |
CN102707486B (zh) * | 2012-05-31 | 2015-07-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光片基板及其制造方法 |
US20140085576A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | Apple Inc. | Light Guide Plates and Optical Films with Mating Alignment Features |
CN105474760B (zh) | 2013-08-28 | 2019-03-08 | 3M创新有限公司 | 具有用于精确配准的基准标记的电子组件 |
US9412873B1 (en) * | 2013-09-16 | 2016-08-09 | Amazon Technologies, Inc. | Alignment features for improved alignment of layered components of a device display |
CN103474438A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 薄膜晶体管阵列基板及液晶面板 |
KR102182881B1 (ko) * | 2013-11-13 | 2020-11-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 얼라인 키를 포함하는 표시패널 및 그 제조방법 |
KR101542965B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2015-08-07 | 현대자동차 주식회사 | 반도체 기판의 접합 방법 |
KR102163358B1 (ko) * | 2014-07-21 | 2020-10-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
CN105845555B (zh) * | 2015-01-14 | 2019-07-02 | 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 | 半导体装置及其制造方法 |
KR102296074B1 (ko) * | 2017-05-19 | 2021-08-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US20190129262A1 (en) * | 2017-10-31 | 2019-05-02 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Liquid crystal display panel and liquid crystal display device |
KR102107384B1 (ko) * | 2017-10-31 | 2020-05-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 프로세스 키를 포함하는 표시장치 |
CN108376678B (zh) * | 2018-01-31 | 2019-11-05 | 昆山国显光电有限公司 | Oled面板以及检测阴极层偏位的方法 |
CN110148606B (zh) * | 2018-04-18 | 2021-03-02 | 友达光电股份有限公司 | 显示面板及其制造方法 |
CN109143669B (zh) * | 2018-09-19 | 2023-11-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 曲面显示面板及其制作方法、显示装置 |
CN109300965B (zh) * | 2018-10-26 | 2021-07-02 | 昆山国显光电有限公司 | 显示面板、显示装置及显示面板的制造方法 |
CN109686248B (zh) * | 2018-11-29 | 2020-05-12 | 武汉华星光电技术有限公司 | 显示面板 |
KR20200117093A (ko) * | 2019-04-02 | 2020-10-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR20210016129A (ko) * | 2019-07-31 | 2021-02-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
KR20210041674A (ko) * | 2019-10-07 | 2021-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 색변환 표시판 및 이를 포함하는 표시 장치 |
US11637919B2 (en) | 2019-12-03 | 2023-04-25 | Apple Inc. | Handheld electronic device |
US11522983B2 (en) | 2019-12-03 | 2022-12-06 | Apple Inc. | Handheld electronic device |
CN112987362A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-18 | 上海仪电显示材料有限公司 | 液晶显示基板及其形成方法、液晶显示面板及其形成方法 |
KR20210157939A (ko) * | 2020-06-22 | 2021-12-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
US12003657B2 (en) | 2021-03-02 | 2024-06-04 | Apple Inc. | Handheld electronic device |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0192721A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
JPH045618A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-09 | Seiko Epson Corp | 液晶表示パネル |
JPH10123549A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-15 | Sharp Corp | 液晶表示素子 |
JPH1195231A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 液晶表示装置 |
JPH11231336A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Seiko Epson Corp | 液晶パネル、それを利用した液晶表示装置、電子機器、および液晶パネルの製造方法 |
JP2000275663A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
JP2001290117A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法及び製造装置 |
JP2002303859A (ja) * | 2001-12-25 | 2002-10-18 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2003156735A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 |
JP2003229455A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネル、電気光学装置、電子機器、および、電気光学パネルの製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3284432B2 (ja) | 1994-11-16 | 2002-05-20 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置及びその製造方法 |
JPH08146371A (ja) | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Sony Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH11239952A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Nippon Seiko Kk | アライメント検出装置 |
JPH11260701A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Tokyo Inst Of Technol | 電子ビーム露光の位置合わせマーク |
KR100313600B1 (ko) * | 1998-12-21 | 2006-09-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의합착키 |
JP2001075119A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Canon Inc | 位置合わせ用認識マーク構造及び液晶素子 |
JP4768147B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2011-09-07 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 液晶表示装置の製造装置 |
KR100808466B1 (ko) * | 2001-07-30 | 2008-03-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 |
JP2003161948A (ja) * | 2001-11-26 | 2003-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置 |
JP2003215527A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-30 | Nec Kagoshima Ltd | 表示パネル組立時のアライメント方法 |
KR100496139B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2005-06-16 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 광학용 마스크, 이를 이용한 비정질 실리콘막의 결정화방법 및 어레이 기판의 제조 방법 |
KR101223098B1 (ko) * | 2004-09-09 | 2013-01-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 제조방법 |
-
2004
- 2004-09-09 KR KR1020040072304A patent/KR101223098B1/ko active IP Right Grant
- 2004-10-13 JP JP2004298535A patent/JP4775836B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-08-31 TW TW094129871A patent/TW200634379A/zh unknown
- 2005-09-07 CN CNB2005100991857A patent/CN100510873C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-09 US US11/223,338 patent/US7629613B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-10-21 US US12/582,867 patent/US8049222B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0192721A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
JPH045618A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-09 | Seiko Epson Corp | 液晶表示パネル |
JPH10123549A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-15 | Sharp Corp | 液晶表示素子 |
JPH1195231A (ja) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 液晶表示装置 |
JPH11231336A (ja) * | 1998-02-18 | 1999-08-27 | Seiko Epson Corp | 液晶パネル、それを利用した液晶表示装置、電子機器、および液晶パネルの製造方法 |
JP2000275663A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
JP2001290117A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-19 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法及び製造装置 |
JP2003156735A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型液晶表示装置用カラーフィルター基板 |
JP2002303859A (ja) * | 2001-12-25 | 2002-10-18 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2003229455A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Seiko Epson Corp | 電気光学パネル、電気光学装置、電子機器、および、電気光学パネルの製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1980898A3 (en) * | 2007-04-12 | 2009-01-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Display substrate, method of manufacturing the same and display device having the same |
US7948594B2 (en) | 2007-04-12 | 2011-05-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing display apparatus comprising forming an opaque material layer having first and second thicknesses on a transparent conductive layer |
KR101329779B1 (ko) * | 2007-04-12 | 2013-11-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 갖는 표시 장치 |
WO2010125847A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
WO2010125846A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
JP5242776B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-07-24 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
JP5242777B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2013-07-24 | シャープ株式会社 | 液晶パネルの製造方法、液晶パネル用ガラス基板およびこれを備えた液晶パネル |
US8582073B2 (en) | 2009-04-30 | 2013-11-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid crystal panel, glass substrate for liquid crystal panel, and liquid crystal panel including the same |
US8749747B2 (en) | 2009-04-30 | 2014-06-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid crystal panel, glass substrate for liquid crystal panel, and liquid crystal panel including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200634379A (en) | 2006-10-01 |
KR101223098B1 (ko) | 2013-01-17 |
CN100510873C (zh) | 2009-07-08 |
US20100038650A1 (en) | 2010-02-18 |
JP4775836B2 (ja) | 2011-09-21 |
US7629613B2 (en) | 2009-12-08 |
KR20060023454A (ko) | 2006-03-14 |
US20060049408A1 (en) | 2006-03-09 |
CN1746735A (zh) | 2006-03-15 |
US8049222B2 (en) | 2011-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4775836B2 (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP3498020B2 (ja) | アクティブマトリックス基板及びその製造方法 | |
KR101048927B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR101243824B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
JP2006093656A (ja) | 低分子有機半導体物質を利用する液晶表示装置及びその製造方法 | |
KR20070068918A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
JP2006189769A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
KR20070082090A (ko) | 표시 기판 및 이의 제조 방법 | |
US7696027B2 (en) | Method of fabricating display substrate and method of fabricating display panel using the same | |
KR20070072183A (ko) | 액정표시소자 및 제조방법 | |
KR20000066397A (ko) | 티에프티 엘시디 판넬의 제작방법 | |
KR20080092566A (ko) | 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 갖는 표시 장치 | |
US20070154845A1 (en) | Method for fabricating liquid crystal display device | |
KR101227408B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR20070075159A (ko) | 표시장치 및 그 제조방법 | |
KR100621608B1 (ko) | 티에프티 엘시디 판넬 제조방법 | |
KR101186514B1 (ko) | 액정표시소자 및 그 제조방법 | |
KR20080057034A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20060008002A (ko) | 액정표시패널 및 그 제조방법 | |
KR101183377B1 (ko) | 액정표시소자 제조방법 | |
KR20060128078A (ko) | 표시장치용 기판 및 이의 제조방법 | |
KR20070048049A (ko) | 4 마스크를 이용한 액정표시소자 제조방법 | |
KR20070072277A (ko) | 액정표시소자 제조방법 | |
KR20070068921A (ko) | 액정표시장치의 제조방법 | |
KR20100089923A (ko) | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20051207 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070906 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100825 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4775836 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |