KR100313600B1 - 액정표시장치의합착키 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막트랜지스터 어레이 기판인 하판과 컬러필터 어레이 기판인 상판을 합착할 때, 두 기판의 합착에 따른 미스 얼라인(mis-align) 정도를 점검하는데 사용되는 액정표시장치의 합착 키에 관한 것으로, 제 1 기판과, 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 형성된 제 1 합착 키와, 상기 제 2 기판 상에 형성되며 길이가 다른 적어도 1개 이상의 요부와 길이가 다른 적어도 1개 이상의 철부를 갖는 제 2 합착 키를 포함하고, 상기 요부 및 철부는 상기 제 2 합착키의 상기 제 1 합착 키와 대응하는 부분에 한정되고, 상기 요부 및 철부는 상기 제 1 합착 키에 대해 상기 제 1 및 제 2 기판 합착시 상기 제 1 및 제 2 기판의 오정렬 정도를 측정하게 하므로써, 액정표시장치의 상·하판 합착시, 별도의 장비를 사용하지 않고도 합착 정도에 따른 미스얼라인을 합착 키가 사용하는 단위까지 정확하게 측정할 수 있어서, 공정조건을 정확하게 수정하는 것이 가능하다.

Description

액정표시장치의 합착 키
본 발명은 액정표시장치의 합착 키(key)에 관한 것으로 특히, 박막트랜지스터 어레이 기판인 하판과 컬러필터 어레이 기판인 상판을 합착할 때, 두 기판의 합착에 따른 미스 얼라인(mis-align) 정도를 점검하는데 사용되는 액정표시장치의 합착 키에 관한 것이다.
통상적인 경우, 액정표시장치의 제작은 박막트랜지터 어레이 기판인 하판을 준비하는 공정, 컬러필터 어레이 기판인 상판을 준비하는 공정, 상판과 하판을 합착하는 공정, 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입하는 공정, 합착된 두 기판의 외면에 편광판을 부착하는 공정, 모듈공정드의 순으로 진행된다.
액정표시장치의 합착 키는 각기 별도로 준비된 상판과 하판을 합착할 때, 두 기판이 미스얼라인 정도를 점검하는데 사용된다.
액정표시장치의 합착 키는 도 1에 보인 바와 같이, 상판(2)과 하판(1)의 에지 부분에 합착 키인 정렬마크(3)(4)를 표시함으로써 형성할 수 있다. 합착된 두 기판에 의하여 나타난 상판 키와 하판 키의 중첩된 형상을 보고, 두 기판의 합착 정도를 파악한다.
통상적인 경우, 하판의 합착 키(4)는 하판(1)에 박막트랜지스터와 화소전극으로 이루어지는 화소 어레이를 형성하는 제조공정 중에 게이트 형성물질이나 소오스/드레인 형성물질로 히판의 에지부분에 소정의 형상으로 형성된다. 그리고, 상판의 합착 키(3)는 상판(2)에 컬러필터 어레이를 형성하는 제조공정 중에 블랙매트릭스 형성물질로 상판의 에지부분에 소정의 형상을로 형성한다.
도 2는 종래 기술에 따른 액정표시장치의 합착 키를 설명하기 위한 도면으로, 상판과 하판을 합착한 경우에 함께 나타난 상판의 합착 키과 하판의 합착 키의 형상을 나타낸 것이다.
하판의 합착 키(21)는 소정의 너비를 가지는 십자 형상을 가지고 있다.
그리고, 상판의 합착 키(22)는 십자 형상이 가르는 네 영역에 십자 형상의 경계와 소정의 간격을 두고 대응할 수 있도록 낫 형상을 가지고 있다.
상판과 하판을 합착 할 경우에 상판의 합착 키(22)와 하판의 합착 키(21)는 십자 형상과 낫 형상이 도면에 보인 바와 같이 소정의 간격을 두고 대응하게 된다. 정확하게 두 기판이 합착이 된다면 상판의 합착 키(22)와 하판의 합착 키(21)는 일정한 간격을 두고 위치하게 된다.
그러나 상기와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 액정표시장치의 합착 키에 의해서는 상판 키와 하판 키의 정렬되어 있는 형상으로 두 기판의 합착 정도를 작업자의 눈짐작으로 판단할 수밖에 없다. 따라서, 상·하판 합착시, 두 기판의 합착에 따른 미스얼라인을 정확하게 판단할 수 없어서, 다음 기판 제작시, 정확한 공정조건을 맞출 수 없는 어려움이 있다.
본 발명은 합착 키의 경계면에 각기 다른 길이를 가지는 요·철부를 형성하여 액정표시장치의 상·하판 합착시, 합착 미스얼라인을 정확하게 측정할 수 있는 액정표시장치의 합착키를 제공하고자 한다.
이를 위한 본 발명은 제 1 기판과, 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 형성된 제 1 합착 키와, 상기 제 2 기판 상에 형성되며 길이가 다른 적어도 1개 이상의 요부와 길이가 다른 적어도 1개 이상의 철부를 갖는 제 2 합착 키를 포함하고, 상기 요부 및 철부는 상기 제 2 합착키의 상기 제 1 합착 키와 대응하는 부분에 한정되고, 상기 요부 및 철부는 상기 제 1 합착 키에 대해 상기 제 1 및 제 2 기판 합착시 상기 제 1 및 제 2 기판의 오정렬 정도를 측정하게 하는 액정표시장치의 합착 키이다.
이 때, 상기 제 2 합착키를 상기 요·철부들이 1㎛ 간격으로 순차적으로 함몰되어서 돌출되는 형상을 가지도록 형성할 경우, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 합착시 합착 미스얼라인을 ㎛단위로 측정할 수 있다.
이하, 하기 실시예와 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 합착 키를 설명하기 위한 도면으로, 상판의 합착 키과 하판의 합착 키의 형상을 한 평면에 나타낸 것이다.
하판의 합착 키(31)는 종래 기술에 따른 하판의 합착 키와 같이, 소정의 너비를 가지는 십자 형상을 가지고 있다. 하판의 합착 키(31)는 하판(도면미표시)에 박막트랜지스터와 화소전극으로 이루어지는 화소 어레이를 형성하는 제조공정 중에, 게이트 형성물질이나 소오스/드레인 형성물질 예를 들어, Al, Cr, Mo등과 같은 불투명 물질로 하판의 에지부분에 형성할 수 있다.
상판의 합착 키(32)는 십자 형상이 가르는 네 영역에 십자 형상의 경계와 소정의 간격을 두고 대응할 수 있도록 낫 형상을 가지고 있다. 이 때, 상판의 합착 키는 각기 다른 함몰길이를 가지는 요부와 각기 다른 돌출길이를 가지는 철부가 경계면에 형성되어 있다. 도면이 보여주는 상판의 합착 키(32)는 각각의 요·철부들이 1㎛ 간격으로 순차적으로 함몰되어서 돌출되는 형상을 가지고 있다. 상판의 합착 키(32)는 상판(도면미표시)에 컬러필터 어레이를 형성하는 제조공정 중에 블랙매트릭스 형성물질 예를 들어, Cr등과 같은 불투명 물질로 상판의 에지부분에 형성할 수 있다.
상기 실시예에서는 요철부를 상판의 합착 키(32)에만 형성한 경우를 예로 하였지만, 상기 요철부를 하판의 합착 키(31)를 형성하고, 상판에 그에 대응하는 상판의 합착 키(32)를 형성할 수 있다.
도 4는 도 3에 보인 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 키를 실제 상·하판 합착시에 적용한 경우를 예로하여 나타낸 것이다.
상·하판 합착시, 상판의 합착 키(32)의 3㎛ 철부(32a)에 하판의 합착 키(31)가 닿는다고 가정할 경우, 상판의 합착 키(32)와 하판의 합착 키(31)는 3㎛의 간격을 두고 있다고 할 수 있다. 따라서 합착마진을 3㎛ 이상까지 허용할 경우에는 상·하판 합착 정도가 양호하다고 판단할 수 있을 것이다, 그러나, 합착마진을 3㎛ 미만으로 허용할 경우에는 상·하판의 합착 정도는 불량하다고 판단할 수 있다. 예를 들어, 합착마진을 2㎛로 할 경우에는 도면에 보인 바와 같은 결과에서는 1㎛정도의 미스얼라인이 발생하였다는 것을 판단할 수 있다. 이 경우, 공정조건을 미스얼라인이 발생하지 않게 수정하여 다음 패널의 생산시에 대응할 수 있다,
본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 키에 적용되는 길이측정단위와 허용수치는 소정의 목적에 따라 다양한 방식으로 적용하여 사용할 수 있다.
또한, 본 발명은 하펀에 요철부가 있는 합착 키를 형성하고, 상판에는 그에 대응하는 합착 키를 형성하는 방식의 다른 실시예로 적용할 수 있다.
본 발명은 제시된 실시예 뿐만이 아니라, 첨부된 특허청구범위 및 언급한 상술부분을 통하여 다양한 실시예로 구현될 수 있으며, 동업자에 의하여 다양한 방식으로 적용될 수 있다.
본 발명은 경계면에 각기 다른 길이를 가지는 요·철부가 형성된 액정표시장치의 합착 키를 제공함으로써, 액정표시장치의 상·하판 합착시, 별도의 장비를 사용하지 않고도 합착 정도에 따른 미스얼라인을 합착 키가 사용하는 단위까지 정확하게 측정할 수 있어서, 공정조건을 정확하게 수정하는 것이 가능하다.
도 1은 액정표시장치의 상·하판을 합착한 경우의 합착키의 위치를 설명하기 위한 도면
도 2는 종래 기술에 따른 액정표시장치의 합착 키를 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 합착 키를 설명하기 위한 도면
도 4는 도 3에 보인 합착키를 적용한 예

Claims (3)

  1. 제 1 기판과,
    제 2 기판과,
    상기 제 1 기판 상에 형성된 제 1 합착 키와,
    상기 제 2 기판 상에 형성되며 길이가 다른 적어도 1개 이상의 요부와 길이가 다른 적어도 1개 이상의 철부를 갖는 제 2 합착 키를 포함하고,
    상기 요부 및 철부는 상기 제 2 합착 키의 상기 제 1 합착 키와 대응하는 부분에 한정되고, 상기 요부 및 철부는 상기 제 1 합착 키에 대해 상기 제 1 및 제 2 기판 합착시 상기 제 1 및 제 2 기판의 오정렬 정도를 측정하게 하는 액정표시장치의 합착 키.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 합착 키는 십자형상이고, 상기 제 2 합착키는 십자형상에 삽입되는 낫형상인 액정표시장치의 합착 키.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 2 합착키는 상기 요부 및 철부들이 1㎛ 간격으로 순차적으로 함몰 및 돌출되는 형상을 가지는 액정표시장치의 합착 키.
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