JP2005255489A - フェライト焼結体とその製造方法及びそれを用いたフェライトコア並びにフェライトコイル - Google Patents

フェライト焼結体とその製造方法及びそれを用いたフェライトコア並びにフェライトコイル Download PDF

Info

Publication number
JP2005255489A
JP2005255489A JP2004071421A JP2004071421A JP2005255489A JP 2005255489 A JP2005255489 A JP 2005255489A JP 2004071421 A JP2004071421 A JP 2004071421A JP 2004071421 A JP2004071421 A JP 2004071421A JP 2005255489 A JP2005255489 A JP 2005255489A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sintered body
ferrite
mol
ferrite sintered
terms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004071421A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5196704B2 (ja
Inventor
Hidehiro Takenoshita
英博 竹之下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2004071421A priority Critical patent/JP5196704B2/ja
Priority to US11/077,719 priority patent/US7311854B2/en
Priority to CN200510055020.XA priority patent/CN1673176B/zh
Publication of JP2005255489A publication Critical patent/JP2005255489A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5196704B2 publication Critical patent/JP5196704B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/34—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites
    • H01F1/342—Oxides
    • H01F1/344—Ferrites, e.g. having a cubic spinel structure (X2+O)(Y23+O3), e.g. magnetite Fe3O4
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G49/00—Compounds of iron
    • C01G49/0018—Mixed oxides or hydroxides
    • C01G49/0063—Mixed oxides or hydroxides containing zinc
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G49/00—Compounds of iron
    • C01G49/0018—Mixed oxides or hydroxides
    • C01G49/0072—Mixed oxides or hydroxides containing manganese
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/26—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on ferrites
    • C04B35/265—Compositions containing one or more ferrites of the group comprising manganese or zinc and one or more ferrites of the group comprising nickel, copper or cobalt
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/6261—Milling
    • C04B35/6262—Milling of calcined, sintered clinker or ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
    • C04B35/62675—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering characterised by the treatment temperature
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/0206—Manufacturing of magnetic cores by mechanical means
    • H01F41/0246—Manufacturing of magnetic circuits by moulding or by pressing powder
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50—Solid solutions
    • C01P2002/52—Solid solutions containing elements as dopants
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/60—Particles characterised by their size
    • C01P2004/62—Submicrometer sized, i.e. from 0.1-1 micrometer
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/11—Powder tap density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/40—Electric properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3201—Alkali metal oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3241—Chromium oxides, chromates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3258—Tungsten oxides, tungstates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3262—Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3279—Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3281—Copper oxides, cuprates or oxide-forming salts thereof, e.g. CuO or Cu2O
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3284—Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3296—Lead oxides, plumbates or oxide forming salts thereof, e.g. silver plumbate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5409—Particle size related information expressed by specific surface values
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C04B2235/6584—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage below that of air
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C04B2235/6585—Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage above that of air
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6586—Processes characterised by the flow of gas
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6587—Influencing the atmosphere by vaporising a solid material, e.g. by using a burying of sacrificial powder
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
    • C04B2235/727—Phosphorus or phosphorus compound content
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/75—Products with a concentration gradient
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/77—Density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
    • C04B2235/785—Submicron sized grains, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/78—Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
    • C04B2235/786—Micrometer sized grains, i.e. from 1 to 100 micron

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Magnetic Ceramics (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)

Abstract

【課題】電気的抵抗が高く、コア損失が低いフェライト焼結体を提供する。
【解決手段】金属元素として少なくともＦｅ及びＺｎと、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎからなる群から選ばれる少なくとも１種とを含有する酸化物からなるフェライト焼結体であって、ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、該焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２であるフェライト焼結体とする。
【選択図】図２

Description

本発明はフェライト焼結体に関し、特に、表面抵抗が高く、コア損失が低いフェライト焼結体に関する。また、同時に高い透磁率（μ）、高い飽和磁束密度（Ｂｓ）を有するフェライト焼結体とその製造方法、また、これらのフェライト焼結体を用いたフェライトコアおよびフェライトコイルに関する。
フェライト焼結体は、電源周りに使用されるインダクターに搭載されるフェライトコアなどに用いられ、高透磁率、高飽和磁束密度、高電気抵抗、低コア損失であることが求められている。
特許文献１には、高飽和磁束密度フェライト材料においては、主成分としてＦｅ２Ｏ３を５４〜７５ｍｏｌ％、ＺｎＯを１０〜３０ｍｏｌ％、ＮｉＯを１０〜２５ｍｏｌ％、ＣｕＯを３〜１０ｍｏｌ％含有し、さらにこの主成分１００重量部に対してＢｉ２Ｏ３を０．１〜５重量部、ＭｏＯ３を０．１〜５重量部含有するフェライト焼結体が開示されている。
また、特許文献２には、Ｆｅ２Ｏ３を４８〜５０ｍｏｌ％、ＣｕＯを１〜５ｍｏｌ％、ＭｎＯを０．１〜１ｍｏｌ％を含有し、残部をなすＺｎＯ／ＮｉＯのｍｏｌ比が１〜１．６である主成分１００重量部に対し、さらに副成分としてＭｇＯを０．０１〜０．２重量部、ＳｉＯ２を０．０５〜０．５重量部、Ａｌ２Ｏ３を０．０５〜０．５重量部、Ｃｒ２Ｏ３を０．０１〜０．２重量部含有するフェライト焼結体が開示されている。
また、特許文献３には、Ｆｅを主成分とし、Ｚｎ、ＮｉまたはＣｕのうち少なくとも１種以上を含むスピネル構造の酸化物を主体とし、Ｚｎ、ＮｉまたはＣｕのうち少なくとも１種を主成分とする酸化物の含有量を０．０１体積％未満としたフェライト焼結体が開示されている。
このようなフェライト焼結体を得るため、特許文献１のフェライト焼結体は９５０〜１２５０℃、特許文献２、３のフェライト焼結体は９５０〜１４００℃で各々焼成し作製されている。また、特許文献１〜３には焼成温度以外の焼成条件は開示されていないものの、フェライト焼結体は、一般に成形体を板状の焼成治具上に載置し、成形体の周囲の空気の流れを遮蔽する遮蔽材を成形体の周囲に配置せずに、焼成炉内に空気を流しながら焼成されている。
特開平１０−４５４１５号公報 特開２００１−１５１５６４号公報 特開２００２−１８７７６９号公報
特許文献１のフェライト焼結体は、飽和磁束密度が高いものの、表面抵抗値が低く、コア損失が高いという問題があった。
特許文献２によれば、飽和磁束密度Ｂｓ≧４００ｍＴ、透磁率μ≧５００、体積固有抵抗値≧１００ＭΩ・ｃｍの特性を達成している。しかし、特許文献２のフェライト焼結体は、焼結体表面近傍に存在するＺｎの濃度を制御していないので表面抵抗が低く、コア損失が高いという問題があった。
特許文献３のフェライト焼結体は、飽和磁束密度と透磁率が高いものの、表面抵抗が低く、コア損失が高いという問題があった。
このような特許文献１〜３のフェライト焼結体における問題は、焼結体表面近傍のＺｎの濃度が内部に比べて低すぎたり、高すぎたりするため起こっていた。
これら特許文献１〜３のフェライト焼結体は、焼成の効率を向上させるため、焼成炉内に体積１ｍ３当たり１ｍ３／分を超える空気を大気圧下で焼成炉内に流しており、空気の流速が大きくなる。このため成形体の表面から焼成中に多量のＺｎが蒸発し、得られたフェライト焼結体の表面部のＺｎ濃度が内部よりも非常に低くなり、焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、表面近傍のＺｎ濃度が０．５以下となり、内部と表面とでＺｎ濃度に大きな差が生じていた。
また、この表面におけるＺｎ濃度の低下を回避するためには、成形体をＺｎを多く含む粉の中に埋設しながら焼成することが必要であった。しかし、Ｚｎを多く含む粉に埋設しながら焼成すると、得られるフェライト焼結体表面のＺｎ濃度が内部よりも非常に高くなり、焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、表面近傍のＺｎ濃度が１．５以上となり、内部と表面とでＺｎ濃度に大きな差が生じていた。
そこで本発明は、フェライト焼結体のＺｎ濃度を制御することによって、電気的抵抗が高く、コア損失が低いフェライト焼結体を提供することを目的とする。さらに、高い透磁率、高い飽和磁束密度を有するフェライト焼結体を提供することを目的とする。また、本発明のフェライト焼結体を用いたフェライトコアを提供することを目的とする。
本発明のフェライト焼結体は、金属元素として少なくともＦｅ及びＺｎと、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎからなる群から選ばれる少なくとも１種とを含有する酸化物からなるフェライト焼結体であって、ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、該焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２であることを特徴とする。
また、上記フェライト焼結体が、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎをそれぞれＮｉＯ換算で１０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％以下、ＭｎＯ換算で０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有することを特徴とする。
さらに、ＺｒをＺｒＯ２換算で０．１質量部（０を含まず）以下含有することを特徴とする。
さらにまた、ＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下含有することを特徴とする。
またさらに、平均結晶粒径が１〜３０μｍ、且つ焼結密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上であることを特徴とする。
また、表面抵抗が１０９Ω以上であることを特徴とする。
さらに、体積固有抵抗が１０９Ω・ｃｍ以上であることを特徴とする。
また、本発明のフェライト焼結体の製造方法は、Ｆｅの化合物及びＺｎの化合物からなる粉末と、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種の金属元素の化合物からなる粉末とを混合、粉砕して１次粉砕粉末を得る１次粉砕工程と、１次粉砕粉末を仮焼して仮焼粉を得る仮焼工程と、仮焼粉を粉砕して２次粉砕粉末を得る２次粉砕工程と、２次粉砕粉末を所定の形状に成形して成形体を得る成形工程と、成形体を焼成炉中で焼成して焼結体を得る焼成工程とを含み、上記焼成工程が酸素分圧０．０１ＭＰａ以上の雰囲気下で焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下の気体を焼成炉内に流して焼成する方法、または上記成形体の周囲に融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、成形体の周囲に流れる気体を遮蔽する遮蔽材を配置して焼成する方法を用いたことを特徴とする。
さらに、本発明のフェライトコアは、上記フェライト焼結体を所定形状に形成してなることを特徴とする。
またさらに、本発明のフェライトコイルは、上記フェライトコアに導線を巻回したことを特徴とする。
本発明のフェライト焼結体は、金属元素として少なくともＦｅ及びＺｎと、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種とを含有する酸化物からなり、ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、焼結体の内部のＺｎ濃度を１とした時、表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２であることから、フェライト焼結体の表面抵抗値を高くし、且つコア損失を低くすることができる。
また、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎをそれぞれＮｉＯ換算で１０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％以下、ＭｎＯ換算で０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有することから、フェライト焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度を０．８５〜１．１５に制御することができる。また、フェライト焼結体の表面抵抗値をばらつき高く保持し、１２０℃以上でのコア損失を低く保持したまま、透磁率と飽和磁束密度をさらに向上させることができる。
さらに、ＺｒをＺｒＯ２換算で０．１重量部以下含有させることから、表面抵抗値を高く保持したまま、透磁率と飽和磁束密度を特に向上させることができる。
またさらに、ＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下含有することから、透磁率と飽和磁束密度を特に向上させることができる。
さらにまた、平均結晶粒径が１〜３０μｍ、焼結密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上であることから、表面抵抗値と体積固有抵抗値を高く保持したまま、透磁率、飽和磁束密度を向上させることができる。
また、表面抵抗が１０９Ω以上であることから、フェライト焼結体を用いたフェライトコアに導線を巻回してトランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイルとした場合、導線とフェライトコア間で電流のショートが生じにくいため、コイルの電気的安定性に優れたものとなる。
さらに、体積固有抵抗が１０９Ω・ｃｍ以上であることから、フェライト焼結体を用いたフェライトコアに導線を巻回してトランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイルとした場合、コア損失が低いため、高い電気的効率、低発熱性を有するものとなる。
また、上記フェライト焼結体の製造方法によれば、Ｆｅの化合物及びＺｎの化合物からなる粉末と、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種の金属元素の化合物からなる粉末とを混合、粉砕して１次粉砕粉末を得る１次粉砕工程と、１次粉砕粉末を仮焼して仮焼粉を得る仮焼工程と、仮焼粉を粉砕して２次粉砕粉末を得る２次粉砕工程と、２次粉砕粉末を所定の形状に成形して成形体を得る成形工程と、成形体を焼成炉中で焼成して焼結体を得る焼成工程とを含み、上記焼成工程が酸素分圧０．０１ＭＰａ以上の雰囲気下で焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下の気体を焼成炉内に流して焼成する方法、または上記成形体の周囲に融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、成形体の周囲に流れる気体を遮蔽する遮蔽材を配置して焼成する方法を用いたことから、表面抵抗値が高く、コア損失の小さいフェライト焼結体を製造することができる。その理由は、上記焼成方法により焼成することで焼成雰囲気中のＺｎ濃度が最適な範囲となるので、焼結体内部のＺｎ濃度に対する焼結体表面近傍のＺｎ濃度を０．８〜１．２に制御できるからである。
さらに、本発明のフェライトコアおよびフェライトコイルによれば、トランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイル等に充分適用することができる。
次いで、本発明の実施形態を詳細に説明する。
本発明のフェライト焼結体は、金属元素として少なくともＦｅ及びＺｎと、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎからなる群から選ばれる少なくとも１種とを含有する酸化物からなるフェライト焼結体であって、ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、該焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２とするものである。
これにより、フェライト焼結体の表面抵抗値を高くし、且つ１２０℃のコア損失を低くすることができる。この理由は次のように考えられる。
上記ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有するのは、これ以外の範囲では、焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２の範囲外となるおそれがあるからである。また、Ｆｅの含有量がＦｅ２Ｏ３換算で４２ｍｏｌ％未満の場合はコア損失が大きくなり、透磁率、飽和磁束密度が低下し、５０ｍｏｌ％を超えると焼結体表面近傍でＦｅ２＋が多く生成して体積固有抵抗などの電気的抵抗が低下する。さらに、ＦｅはＦｅ２Ｏ３換算で４７〜５０ｍｏｌ％含有することがより好ましい。
また、Ｚｎの含有量がＺｎＯ換算で１５ｍｏｌ％未満の場合はコア損失が大きくなり、透磁率が低下し、３５ｍｏｌ％を超えるとコア損失が大きくなり、飽和磁束密度が低下する。
上記表面近傍のＺｎ濃度の下限を０．８とする理由について説明する。上記表面近傍のＺｎ濃度が０．８未満であると、焼結体表面近傍のＦｅ３＋の多くがＦｅ２＋に変化し同時に多量のホールが生成し、その結果、このホールがキャリアとなって上記表面抵抗値が低下するからである。焼結体表面近傍のＦｅ３＋の多くがＦｅ２＋に変化するのは、上記フェライト焼結体を焼成する過程における焼成雰囲気中のＺｎ濃度が低いと、焼結体表面近傍のＺｎ成分が昇華して表面近傍のＺｎ含有割合が低下し、これによってＦｅの焼結体表面近傍での含有割合が内部よりも多くなり、表面近傍に存在するＦｅ３＋と結合している酸素の一部が解離するためである。
次に、焼結体表面のＺｎ濃度の上限を１．２とする理由について説明する。上記表面近傍のＺｎ濃度が１．２よりも大きいと、焼結体内部のＦｅ３＋の多くがＦｅ２＋に変化し同時に多量のホールが生成し、その結果、このホールがキャリアとなって焼結体表面を含む焼結体全体の電気抵抗が低下するからである。焼結体内部のＦｅ３＋の多くがＦｅ２＋に変化するのは、上記フェライト焼結体を焼成する過程における焼成雰囲気中のＺｎ濃度が高いと、焼結体内部のＺｎが表面近傍へ移動して表面近傍のＺｎ濃度が増加し、これによってＦｅの焼結体内部での含有割合が表面よりも多くなり、焼結体内部に存在するＦｅ３＋と結合している酸素の一部が解離するためである。焼結体の電気抵抗が低下すると、焼結体の磁気損失が増加するので、この焼結体を用いたフェライトコアのコア損失が大きくなる。
また、さらに表面抵抗値を高くし、コア損失を低くするためには、焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、上記表面近傍のＺｎ濃度を０．８５〜１．１５とすることがより好ましい。
なお、本発明のフェライト焼結体の内部と表面近傍のＺｎ濃度は以下の通り測定する。例えば、フェライト焼結体を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察しながら、波長分散型Ｘ線マイクロアナライザー（ＷＤＳ）により焼結体内部と焼結体表面近傍のＺｎ元素分布を測定する。この時の測定条件は、加速電圧１５ｋＶ程度、プローブ電流２×１０−７Ａ程度、分析エリア１０３μｍ２〜１０８μｍ２程度とする。また、あらかじめＺｎ濃度の異なる分析用試料を用いて検量線を作成しておき、測定結果と検量線から算出する検量線法を用いて焼結体表面と内部のＺｎ濃度を算出する。さらに、その他の方法としては、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）で観察しながら、エネルギー分散型X線マイクロアナライザー（ＥＤＳ）により測定する方法や、原子間力顕微鏡を用いた測定方法によりＺｎ濃度を測定することができる。また、焼結体表面近傍とは、焼結体表面から内部方向への深さが０．１ｍｍまでの範囲を指し、焼結体内部とは表面から深さ０．１ｍｍを越えた内部の範囲であり、また、焼結体および内部のＺｎ濃度の測定は、内部および表面の各々について少なくとも５箇所以上のＺｎ濃度を測定し、得られたＺｎ濃度を平均して求める。
また、上述のように焼結体の内部と表面近傍でのＺｎ濃度を近似させるためには、後述するように焼成工程における雰囲気を調整することで得ることができる。
また、上記フェライト焼結体は、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎをそれぞれＮｉＯ換算で１０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％以下、ＭｎＯ換算で０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有することが好ましい。
これにより、フェライト焼結体内部のＺｎ濃度を１とした時、表面近傍のＺｎ濃度を０．８５〜１．１５に制御することができる。この理由は、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎをこれらの範囲とすることによって焼成中に結晶構造の規則化が促進され、上記表面のＺｎ濃度のばらつきを抑制することができるからである。
詳細には、ＮｉをＮｉＯ換算で１０〜３０ｍｏｌ％含有することによって透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させることができる。ＮｉがＮｉＯ換算で１０ｍｏｌ％未満の場合は飽和磁束密度を著しく向上させることができず、３０ｍｏｌ％を超えると透磁率を著しく向上させることができない。ＣｕをＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％以下含有すると透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させることができる。透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させるためには、Ｃｕの含有量の下限値をＣｕＯ換算で０．１ｍｏｌ％とすることが好ましい。Ｃｕの含有量がＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％を超えると透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させることができない。ＭｎをＭｎＯ換算で０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有すると、透磁率を高く保持したままは、さらに飽和磁束密度を高くすることができる。Ｍｎ含有量がＭｎＯ換算で０．０１％未満又は、０．５ｍｏｌ％を超える場合は、透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させることができない。
また、ＮｉをＮｉＯ換算で１３〜２５ｍｏｌ％、ＣｕをＣｕＯ換算で２〜６ｍｏｌ％、ＭｎをＭｎＯ換算で０．１〜０．３ｍｏｌ％含有することがより好ましい。これによって、内部のＺｎ濃度に対する表面のＺｎ濃度を０．９〜１．１とすることができる。
さらに、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、ＭｎをそれぞれＦｅ２Ｏ３換算で４９〜５０ｍｏｌ％、ＺｎＯ換算で２０〜３０ｍｏｌ％、ＮｉＯ換算で２０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯ換算で５ｍｏｌ％以下（０を含まず）、ＭｎＯ換算０．０１〜０．２ｍｏｌ％とすることにより、表面抵抗を高くし、コア損失を低くすることができる。
また、ＺｒをＺｒＯ２換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有させることによって、高い透磁率を保持したまま、飽和磁束密度を特に向上させることができる。Ｚｒの含有量がＺｒＯ２換算で０．１質量部を超えると高い透磁率を維持したまま飽和磁束密度を著しく向上させることができない。
さらに、高い飽和磁束密度を実現するためには、Ｚｒの含有量がＺｒＯ２換算で０．００１〜０．０１質量部とすることがより好ましい。
また、ＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有させることによって、高い透磁率を保持したまま、さらに飽和磁束密度を特に向上させることができる。Ｙの含有量がＹ２Ｏ３換算で０．１質量部を超えると高い透磁率を維持したまま飽和磁束密度を著しく向上させることができない。
さらに、高い飽和磁束密度を実現するには、Ｙの含有量をＹ２Ｏ３換算で０．００１〜０．０１質量部とすることがより好ましい。
なお、本発明のフェライト焼結体は、さらにＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ｋ２Ｏ、Ｃｒ２Ｏ３、Ｐ２Ｏ５、ＷＯ３、ＰｂＯの少なくとも１種を０．０５質量部未満含んでもよい。
また、本発明のフェライト焼結体は、平均結晶粒径が１〜３０μｍ、焼結密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上とすることが好ましく、透磁率、飽和磁束密度を向上させることができる。平均結晶粒径が１μｍ未満の場合は透磁率を特に向上させることができず、３０μｍよりも大きいと透磁率と飽和磁束密度を著しく向上させることができない。さらに、より高い透磁率と高い飽和磁束密度を実現するためには、平均結晶粒径を３〜１０μｍ、焼結密度を５．２ｇ／ｃｍ３以上とすることがより好ましい。
なお、上記平均結晶粒径は種々の方法で表面をエッチング加工した焼結体のＳＥＭ写真を撮り、各結晶に接する内接円と外接円の直径の平均値により求める。また、焼結密度はアルキメデス法により測定する。
また、表面抵抗が１０９Ω以上であることが好ましく、このフェライト焼結体を所定形状に成してフェライトコアとすることによって、このフェライトコアに導線を巻回してトランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイルとした場合、導線とフェライト焼結体間で電流のショートが生じにくいため、フェライトコイルの電気的安定性に優れたものとなる。
さらに、体積固有抵抗が１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、このフェライト焼結体を所定形状に成してフェライトコアとすることによって、このフェライトコアに導線を巻回してトランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイルとした場合、コア損失が低いため、高い電気的効率、低発熱性を有するものとなる。
また、炭素含有量を１００ｐｐｍとすることにより、表面抵抗および体積固有抵抗をさらに大きくできるので好ましい。さらに、上記フェライト焼結体の気孔率を１％以下とすることが、表面抵抗および体積固有抵抗を特に大きくすることができる。
ここで、上述のようなフェライト焼結体の製造方法について説明する。
先ず、１次粉砕粉末工程として、Ｆｅの化合物及びＺｎの化合物からなる粉末と、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種の金属元素の化合物からなる出発原料粉末とを混合、粉砕して１次粉砕粉末を得る。
上記１次粉砕工程としては、例えば、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＮｉＯ及びＣｕＯの粉体の比表面積が２ｍ２／ｇを超える原料粉体を所定量調合し、振動ミル、ボールミル、ビーズミル、ジェットミル等で混合粉砕を行うことで１次粉砕粉末を得る。この時、混合粉砕後の粉体の比表面積は２ｍ２／ｇを超える粉体とする。
ここで、上記出発原料粉末の組成は、ＦｅおよびＺｎをそれぞれＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、さらにＮｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種を含有する酸化物からなる粉末とする。そして、得られるフェライト焼結体がＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有する組成とする。
また、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｎの含有量がこれらの範囲となるようＮｉＯ、ＣｕＯ、ＭｎＯ２の各粉末を上記出発原料粉末として用いる。
次いで、得られた１次粉砕粉末を仮焼して仮焼粉を得る仮焼工程、得られた仮焼粉を粉砕して２次粉砕粉末を得る２次粉砕工程を経る。
上記仮焼工程としては、例えば、得られた１次粉砕粉末を昇温速度２０００℃／時間以下で昇温し、７５０〜９５０℃で０．１〜５時間で保持、降温速度２０００℃／時間以下で降温する。そして、２次粉砕工程として得られた仮焼粉にＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３を加え、振動ミル、ボールミル、ビーズミル、ジェットミル等で粉砕、造粒する。
また、ＺｒをＺｒＯ２換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有するフェライト焼結体とするためには、上記出発原料粉末としてＺｒをＺｒＯ２換算で０．１質量部以下（０を含まず）となるようＺｒＯ２粉末を用いるか、または仮焼工程の前にＺｒＯ２粉末を添加する。なお、フェライト焼結体中に不純物としてＺｒが混入することもあるが、最終的に得られるフェライト焼結体中のＺｒ量が０．１質量部以下であればよい。
また、ＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有するフェライト焼結体とするためには、上記出発原料粉末としてＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下（０を含まず）となるようＹ２Ｏ３粉末を用いるか、または仮焼工程の前にＹ２Ｏ３粉末を添加する。なお、フェライト焼結体中に不純物としてＹが混入することもあるが、最終的に得られるフェライト焼結体中のＹ量が０．１質量部以下であればよい。
そして、得られた２次粉砕粉末をプレス成形等によって所定の形状に成形して成形体を得る成形工程を経る。
しかる後、成形体を焼成炉中で焼成して焼結体を得る焼成工程とからなり、例えば、焼成温度９５０〜１４００℃で０．１時間〜５時間保持することで焼結体を得る。
なお、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３は仮焼後に加えることを拘束するのではなく、仮焼前に添加しても本発明のフェライト焼結体の特性に何ら影響しない。
ここで、本発明のフェライト焼結体を得るためには、上記焼成工程が下記の第１、第２の何れかの焼成方法を含むことが重要である。これによって得られるフェライト焼結体の内部と表面近傍でのＺｎ濃度比を０．８〜１．２とすることができ、表面抵抗値が高く、コア損失の小さいフェライト焼結体を製造することができる。
第１に、焼成雰囲気を酸素分圧０．０１ＭＰａ以上とし、焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下の気体を流して焼成する方法とする。
焼成雰囲気中の酸素分圧を０．０１ＭＰａ以上とすることで、成形体の表面からのＺｎの蒸発を抑制し、焼結体内部と表面とのＺｎ濃度の差を小さく制御できるからである。さらに、焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下（０を含まない）の気体、例えば酸素のみからなるガス、空気等の酸素と窒素の混合ガス、酸素とアルゴンの混合ガスのいずれかを流すことで、焼結体表面近傍のＺｎ濃度が平衡状態となり、焼結体内部のＺｎの濃度に対する表面のＺｎ濃度を０．８〜１．２に制御できる。これは、焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分を超える気流量中で成形体を焼成すると雰囲気中のＺｎ濃度が低くなり、成形体表面近傍のＺｎ成分の蒸発が促進され、焼結体内部のＺｎ濃度に対する焼結体表面近傍のＺｎ濃度が０．８未満となって、得られる焼結体の表面抵抗値が低下するおそれがある。
また、より高い表面抵抗値と低いコア損失を同時に実現するためには、焼成炉内を流れる気体の流量を体積１ｍ３当たり１０−５〜１０−１ｍ３／分とすることがより好ましい。また、製造コストを低くするためには焼成雰囲気を非加圧雰囲気（略大気圧）とすることが好ましい。
なお、上記焼成炉内を流れる気体の流量は、熱式流量計、超音波流量計等により測定する。
第２に、上記成形体の周囲に、融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、成形体の周囲に流れる気体を遮蔽する遮蔽材を配置して焼成する方法とする。
この遮蔽材としては、図１（ａ）に斜視図、図１（ｂ）に図１（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図を示すように、例えば、平板状の焼成用治具１２の主面上に複数の成形体１１を載置し、２枚の焼成用治具１２の２枚の主面同士を成形体１１の厚さ以上の間隔を空けて対向させ、さらにこの２枚の焼成用治具１２の間の周縁部の面積の少なくとも３０％以上を焼成用治具１３で覆うことにより、成形体１１周囲を流れる気体の流れを抑制する作用を有する焼成用治具１２、１３を第１の遮蔽材１４とすることができる。
また、上記第１の遮蔽材１４は、アルミナ等の融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、フェライト焼結体の焼成温度よりも融点が充分高いため、得られるフェライト焼結体の焼結を阻害するガスが第１の遮蔽材１４から焼成雰囲気中に放出されない。このため、これらのガスが発生した場合に起こる、焼結体表面からのＺｎ濃度の蒸発、および焼結体内部からのＺｎの多量の拡散を抑制することができる。
さらに、この第１の遮蔽材１４を成形体の周囲に配置することにより、焼成炉内を流れる気体の流量の値に関係なく、成形体１１の周囲の雰囲気中のＺｎを含む気体の濃度を略一定に保つことができるので、焼結体内部のＺｎ濃度対する焼結体表面近傍のＺｎ濃度を０．８〜１．２に制御することができる。その結果表面抵抗が高く、コア損失が低いフェライト焼結体を製造することができる。
また、上記第１の遮蔽材１４の他の例として、図２（ａ）に斜視図、図２（ｂ）に図１（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図を示すように、上記１次粉砕粉末に含有するいずれかの金属元素からなる酸化物を主成分とし、ＺｎをＺｎＯ換算で５〜５０ｍｏｌ％含有する粉末（Ｐ）からなる第２の遮蔽材１５の両方を成形体１１の周囲に配置することによって、得られるフェライト焼結体内部のＺｎ濃度に対する焼結体表面近傍のＺｎ濃度の比を０．８５〜１．１５の範囲で制御することが可能となり、その結果、特に表面抵抗が高く、コア損失が低いフェライト焼結体を製造することができる。この理由は、焼成中に第２の遮蔽材１５からＺｎを含む気体が蒸発して、焼成雰囲気中に存在するＺｎを含む気体の濃度が変動しにくくなるからと考えられる。
ただし、上記第２の粉末（Ｐ）中のＺｎ含有量が５０ｍｏｌ％を超えると、粉末（Ｐ）から多量のＺｎが焼結体へ拡散、浸透して、得られる焼結体表面のＺｎ濃度が高くなりすぎ、内部のＺｎ濃度に対する表面のＺｎ濃度が１．２を超え、表面抵抗が低下したり、コア損失が大きくなったりする。
また、上記粉末Ｐを成形体１１へ接触させる配置とすることによって、焼結体内部のＺｎ濃度に対する表面の濃度を１〜１．２に制御することもできる。この理由は、焼結体表面からのＺｎの蒸発が抑制されるためと考えられる。
また、フェライト焼結体のＺｎ濃度に対する表面のＺｎ濃度を焼結体表面全体にわたってばらつきなくするためには、成形体１１全体を上記粉末Ｐからなる第２の遮蔽材１５に埋設することが好ましい。これによって、表面抵抗が特に大きなフェライト焼結体を得ることができる。
なお、フェライト焼結体の平均結晶粒径が１〜３０μｍ、焼結密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上とするには、上記１次粉砕粉末の比表面積が２ｍ２／ｇよりも大きくし、２次粉砕粉末の平均粒径を０．４〜１．５μmとする製造方法とする。この製造方法によって、得られるフェライト焼結体の致密化が促進されると共に、平均結晶粒径を上記範囲とすることができる。
また、表面抵抗を１０９Ω以上とするためには、上記仮焼工程における温度を８００℃以上とする。この範囲とする理由は、仮焼温度を８００℃以上とすることによって、仮焼工程での合成が充分行われるため、焼成中のＺｎの蒸発をさらに抑制することができるからである。
さらに、体積固有抵抗を１０９Ω・ｃｍ以上とするには、上記成形体の相対密度を少なくとも４０％以上とし、仮焼温度を８５０℃以上とする製造方法とする。この製造方法によって、上記仮焼工程での合成が充分行われるため、焼成中のＺｎの蒸発を特に抑制できるからである。
このようにして得られたフェライト焼結体は、フェライトコアおよびフェライトコアに導線を巻回してなるフェライトコイルとして好適に用いることができる。
図３（ａ）に示すようなリング状のトロイダルコア１、図３（ｂ）に示すようなボビン状コア２等の所定形状に形成することでフェライトコアを得ることができ、それぞれ巻き線部１ａ、２ａに導線を巻回すことによってフェライトコイルとすることができる。このフェライトコアに導線を巻回してトランスコイル、チョークコイル、チップインダクター、ＲＦＩＤ用コイル等のフェライトコイルとした場合、導線とフェライトコア間で電流のショートが生じにくいため、フェライトコイルの電気的安定性に優れたものとなる。
本発明のフェライトコアは、透磁率が高く、飽和磁束密度が高く、表面抵抗が高く、１２０℃でのコア損失が低い。また、表面実装が可能となり、高効率で大電流が使用でき、インダクタンスを高くすることが可能となる。従って、このフェライトコアを高効率で大電流用途のインダクターとして用いることにより、さらに各種電子機器の小型化に貢献することができる。
そして、このフェライトコアに導線を巻き回したフェライトコイルは、導線とフェライトコア間で電流がショートせず、巻線数を少なくでき、高電流を流せ、しかも発熱しにくいため、電源周りに使用されるインダクター全般、特に５００ｍＡ以上の高電流が流れる回路を使用するインダクターに好適に用いることができる。
ここで本発明のフェライト焼結体の実施例について説明する。
Ｆｅ２Ｏ３を４９．０ｍｏｌ％、ＺｎＯを２４ｍｏｌ％、ＮｉＯを２４ｍｏｌ％、ＣｕＯを２．７ｍｏｌ％、ＭｎＯを０．３ｍｏｌ％となるよう秤量し、振動ミルで混合粉砕を行って１次粉砕粉末を得た。
得られた１次粉砕粉末を昇温速度２０００℃／時間で昇温、７５０〜９５０℃で０．１〜５時間保持、降温速度２０００℃／時間で降温して仮焼した。
次いで、仮焼粉をボールミル等で粉砕、造粒し２次粉砕粉末を得た。
そして、この２次粉砕粉末を金型を用いて圧縮成形して図３に示すようトロイダルコア１の形状に成形した。
しかる後、得られた成形体を、表１に示す気体および酸素分圧下で、炉内の体積１ｍ３当たりに炉内へ流す気体の流量を調整しながら以下のような焼成方法により焼成した。
（第１の遮蔽材を用いた焼成方法）：図１に示すように、成形体１１を載置可能な板状のアルミナ製焼成用治具１２の２枚の主面同士を成形体１１の厚さ以上の間隔を空けて対向させ、さらにこの２枚の焼成用治具１２の間の周縁部の面積の５０％をアルミナからなるブロック製焼成用治具１３で覆った。
（第２の遮蔽材を用いた焼成方法）：図２に示すように、成形体１１の周囲にＺｎをＺｎＯ換算で２０ｍｏｌ％（試料Ｎｏ．１）または３０ｍｏｌ％（試料Ｎｏ．２）を含むＮｉＯ−ＺｎＯ混合粉末（第２の遮蔽材１５）を成形体１１の周囲に載置した。
（埋設焼成方法）：成形体１１をＺｎＯとＮｉＯの混合粉末中に埋設して焼成した。
そして、得られたフェライト焼結体の表面及び内部のＺｎ濃度を次のように測定した。
各フェライト焼結体を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察しながら、波長分散型Ｘ線マイクロアナライザー（ＷＤＳ）により焼結体内部と焼結体表面近傍のＺｎ元素分布を測定する。この時の測定条件は、加速電圧１５ｋＶ程度、プローブ電流２×１０−７Ａ程度、分析エリア１０３〜１０８μｍ２程度とした。また、あらかじめＺｎ濃度の異なる分析用試料を用いて検量線を作成しておき、測定結果と検量線から算出する検量線法を用いて焼結体表面と内部のＺｎ濃度を算出した。
また、得られたフェライト焼結体をトロイダルコア１とし、トロイダルコア１に、図４に示すように線径０．２ｍｍの被膜銅線を用いて一次側巻き線３を１０ターン、二次側巻き線４を１０ターン巻き付けて、一次側巻き線３に電源５を、二次側巻き線４に磁束計６をそれぞれ接続し、５０ｋＨｚ、１５０ｍＴの条件でコア損失を測定した。また、表面抵抗値はＪＩＳ C２１４１の規格に準拠して測定した。
結果を表１に示す。
Figure 2005255489
表１に示すように、フェライト焼結体内部に対する表面近傍のＺｎ濃度比が０．８〜１．２である本発明の試料（Ｎｏ．１〜８）は、表面抵抗値が１０９Ω以上、かつ１２０℃でのコア損失が３００ｋＷ／ｍ３以下と優れた特性が得られた。なお、本発明の試料の平均結晶粒径は０．５μｍ以上、焼結密度は４．５ｇ／ｃｍ３以上であった。
また、Ｚｎ濃度比が０．８〜１．２のフェライト焼結体は、焼成工程が酸素分圧０．０１ＭＰａ以上の雰囲気下で焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下の気体を焼成炉内に流して焼成する方法、成形体の周囲に融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、成形体の周囲に流れる気体を遮蔽する遮蔽材を配置して焼成する方法によってその濃度比を０．８〜１．２にできることが判った。
これに対し、フェライト焼結体の内部に対する表面近傍のＺｎ濃度比が０．８未満または、１．２を超えていた試料（Ｎｏ．９〜１１）は、１０９Ω以上の表面抵抗値と３００ｋＷ／ｍ３以下の１２０℃でのコア損失３００ｋＷ／ｍ３以下を両立するものは無かった。
なお、表１には示さないが、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＮｉＯ及びＣｕＯを４７．０ｍｏｌ％のＦｅ２Ｏ３、２６ｍｏｌ％のＺｎＯｍｏｌ％、２４ｍｏｌ％のＮｉＯ、２．７ｍｏｌ％のＣｕＯ及び０．３ｍｏｌ％のＭｎＯの比率とし、表１の条件で作製した本発明の範囲内の試料においても、表面抵抗値が１０９Ω以上、かつ１２０℃でのコア損失が３００ｋＷ／ｍ３以下と優れた特性が得られた。また、試料（Ｎｏ．１〜８）の炭素量を分析したところ、全ての試料の炭素量が６０ｐｐｍ以下であった。さらに、試料（Ｎｏ．９〜１１）の気孔率は、全ての試料において０．５％以下であった。
Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＮｉＯ及びＣｕＯの原料粉体を用い、表２に示す様に幾通りも組成を変え実施例１と同様に試料を作製した。
焼結体内部に対して表面近傍のＺｎ濃度比は、表２に示した値に調整した。得られた焼結体の体積固有抵抗値をＪＩＳ−２１４１の規格に準拠して測定した。
また、得られた焼結体の表面抵抗値と１２０℃のコア損失値を実施例１と同様にして測定した。その結果、何れも表面抵抗は１０９Ω以上、１２０℃でのコア損失は３００ｋＷ／ｍ３以下であった。
次に、得られた焼結体をトロイダルコア１とし、これに線径０．２ｍｍの被膜銅線を７ターン巻き付けて１００ｋＨｚの条件でＬＣＲメータを用い、透磁率を測定した。
また、トロイダルコア１に、図４に示すように線径０．２ｍｍの被膜銅線を用いて一次側巻き線３を１００ターン、二次側巻き線４を３０ターン巻き付けて、一次側巻き線３に電源５を、二次側巻き線４に磁束計６をそれぞれ接続し、１００Ｈｚ、１００エルステッドの条件で飽和磁束密度を測定した。
結果を表２に示す。
Figure 2005255489
表２のように、Ｆｅ２Ｏ３を４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎＯを５〜３５ｍｏｌ％、ＮｉＯを１０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯを８ｍｏｌ％以下、ＭｎＯを０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有する試料（Ｎｏ．１２〜３０）は、透磁率４００以上、飽和磁束密度４００Ｔ以上と体積固有抵抗１０９Ω・ｃｍ以上と特に優れた特性が得られた。
これに対し、Ｆｅ、Ｚｎの含有量が本発明の範囲外の試料（Ｎｏ．３１〜３４）は、コア損失が大きくなったり、体積固有抵抗が小さくなったりした。
なお、本発明の範囲内の試料の平均結晶粒径は、０．５μｍ以上で焼結密度は、４．５ｇ／ｃｍ３以上であった。
Ｆｅ２Ｏ３を４８．５ｍｏｌ％、ＺｎＯを２５ｍｏｌ％、ＮｉＯを２５ｍｏｌ％、ＣｕＯを１．２ｍｏｌ％、ＭｎＯを０．３ｍｏｌ％含有する組成とし、表３に示すようにＺｒＯ２とＹ２Ｏ３添加量を幾通りも変化させ、実施例１の試料Ｎｏ．３の焼成条件で焼成してフェライト焼結体を作製した。
次に、実施例２と同様にして表面抵抗値、１２０℃でのコア損失値、透磁率、飽和磁束密度、体積固有抵抗値を測定した。
結果を表３に示す。
Figure 2005255489
表３のように、ＺｒＯ２を０．１質量部以下、またはＹ２Ｏ３を０．１質量部以下で含有する試料（Ｎｏ．３５〜３７、３９〜４１、４３〜４５）は、透磁率５００以上、飽和磁束密度４４０Ｔ以上と体積固有抵抗１０００ＭΩ・ｃｍ以上とさらに優れた特性が得られた。また、この試料は、平均結晶粒径が０．５μｍ以上、焼結密度が４．５ｇ／ｃｍ３以上であり、表面抵抗１０９Ω以上、１２０℃のコア損失３００ｋＷ／ｍ３以下であった。
これに対し、ＺｒＯ２またはＹ２Ｏ３を０．１質量部を越えて含有する試料（Ｎｏ．３８、４２）は、透磁率５００未満または、飽和磁束密度４４０Ｔ未満または、体積固有抵抗１０９Ω・ｃｍ未満であった。
Ｆｅ２Ｏ３を４９ｍｏｌ％、ＺｎＯを２４ｍｏｌ％、ＮｉＯを２４ｍｏｌ％、ＣｕＯを２．７ｍｏｌ％、ＭｎＯを０．３ｍｏｌ％含有し、さらにＺｒをＺｒＯ２換算で０．０１質量部、ＹをＹ２Ｏ３換算で０．０１質量部含有させ、表４に示すように、１次粉砕後の粉体の比表面積、仮焼温度、２次粉砕後の粉体の平均粒径、焼成温度を変更することによって、結晶粒径の大きさと焼結密度を幾通りも変化させたフェライト焼結体を作製した。
得られたフェライト焼結体の平均結晶粒径は、種々の方法で表面をエッチング加工した焼結体のＳＥＭ写真を撮り、各結晶に接する内接円と外接円の直径の平均値により求めた。また、焼結密度はアルキメデス法により測定した。
次に、実施例２と同様に表面抵抗値、１２０℃のコア損失値、透磁率、飽和磁束密度、体積固有抵抗値を測定した。
結果を表４に示す。
Figure 2005255489
表４のように、平均結晶粒径が１〜３０μｍ、焼結体密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上である試料（Ｎｏ．４８〜５１、５３〜５５）は、透磁率５５０以上、飽和磁束密度４５０Ｔ以上と体積固有抵抗１０９Ω・ｃｍ以上となり、さらに優れた特性が得られた。何れの試料も表面抵抗は１０９Ω以上、１２０℃のコア損失は３００ｋＷ／ｍ３以下であった。
これに対し、フェライト焼結体の平均結晶粒径が１μｍ未満または３０μｍを越え、焼結体密度が５．０ｇ／ｃｍ３未満または越える試料（Ｎｏ．４６、４７、５２）は、透磁率５５０未満、飽和磁束密度４５０Ｔ未満、体積固有抵抗１０９Ω・ｃｍ未満であった。
（ａ）は本発明のフェライト焼結体の製造方法の一例を示す斜視図、（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。 （ａ）は本発明の他のフェライト焼結体の製造方法の一例を示す斜視図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。 （ａ）、（ｂ）は本発明のフェライトコアを示す図である。 本発明のフェライトコアの特性を測定する方法を示す図である。
符号の説明
１：トロイダルコア
１ａ：巻線部
２：ボビンコア
２ａ：巻線部
３：一次側巻線
４：二次側巻線
５：電源
６：磁束計
１１：成形体
１２、１３：焼成用治具
１４：第１の遮蔽材
１５：第２の遮蔽材

Claims (10)

  1. 金属元素として少なくともＦｅ及びＺｎと、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種とを含有する酸化物からなるフェライト焼結体であって、ＦｅをＦｅ２Ｏ３換算で４２〜５０ｍｏｌ％、ＺｎをＺｎＯ換算で１５〜３５ｍｏｌ％含有し、焼結体の内部のＺｎ濃度を１とした時、表面近傍のＺｎ濃度が０．８〜１．２であることを特徴とするフェライト焼結体。
  2. Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎをそれぞれＮｉＯ換算で１０〜３０ｍｏｌ％、ＣｕＯ換算で８ｍｏｌ％以下、ＭｎＯ換算で０．０１〜０．５ｍｏｌ％含有することを特徴とする請求項１に記載のフェライト焼結体。
  3. ＺｒをＺｒＯ２換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有することを特徴とする請求項１または２に記載のフェライト焼結体。
  4. ＹをＹ２Ｏ３換算で０．１質量部以下（０を含まず）含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフェライト焼結体。
  5. 平均結晶粒径が１〜３０μｍ、焼結密度が５．０ｇ／ｃｍ３以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフェライト焼結体。
  6. 表面抵抗が１０９Ω以上であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のフェライト焼結体。
  7. 体積固有抵抗が１０９Ω・ｃｍ以上であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のフェライト焼結体。
  8. 請求項１〜７のいずれかに記載のフェライト焼結体の製造方法であって、Ｆｅの化合物及びＺｎの化合物からなる粉末と、Ｎｉ、Ｃｕ及びＭｎのうち少なくとも１種の金属元素の化合物からなる粉末とを混合、粉砕して１次粉砕粉末を得る１次粉砕工程と、１次粉砕粉末を仮焼して仮焼粉を得る仮焼工程と、仮焼粉を粉砕して２次粉砕粉末を得る２次粉砕工程と、２次粉砕粉末を所定の形状に成形して成形体を得る成形工程と、成形体を焼成炉中で焼成して焼結体を得る焼成工程とを含み、上記焼成工程が酸素分圧０．０１ＭＰａ以上の雰囲気下で焼成炉内の体積１ｍ３当たり１ｍ３／分以下の気体を焼成炉内に流して焼成する方法、または上記成形体の周囲に融点が１６００℃以上の金属元素酸化物からなり、成形体の周囲に流れる気体を遮蔽する遮蔽材を配置して焼成する方法を用いたことを特徴とするフェライト焼結体の製造方法。
  9. 請求項１〜７のいずれかに記載のフェライト焼結体を所定形状に形成してなることを特徴とするフェライトコア。
  10. 請求項９に記載のフェライトコアに導線を巻回したことを特徴とするフェライトコイル。
JP2004071421A 2004-03-12 2004-03-12 フェライト焼結体の製造方法 Expired - Lifetime JP5196704B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004071421A JP5196704B2 (ja) 2004-03-12 2004-03-12 フェライト焼結体の製造方法
US11/077,719 US7311854B2 (en) 2004-03-12 2005-03-11 Ferrite sintered body, manufacturing method thereof, ferrite core using same, and ferrite coil
CN200510055020.XA CN1673176B (zh) 2004-03-12 2005-03-14 铁氧体烧结体及其制造方法、铁氧体磁心及铁氧体线圈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004071421A JP5196704B2 (ja) 2004-03-12 2004-03-12 フェライト焼結体の製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012136817A Division JP5721667B2 (ja) 2012-06-18 2012-06-18 フェライト焼結体およびそれを用いたフェライトコアならびにフェライトコイル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005255489A true JP2005255489A (ja) 2005-09-22
JP5196704B2 JP5196704B2 (ja) 2013-05-15

Family

ID=34918582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004071421A Expired - Lifetime JP5196704B2 (ja) 2004-03-12 2004-03-12 フェライト焼結体の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7311854B2 (ja)
JP (1) JP5196704B2 (ja)
CN (1) CN1673176B (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010534390A (ja) * 2007-07-20 2010-11-04 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド プラズマ処理装置内のｒｆ駆動型電極へのガス配送用のｒｆチョーク
JP2011096977A (ja) * 2009-11-02 2011-05-12 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP2012099662A (ja) * 2010-11-02 2012-05-24 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP2012124216A (ja) * 2010-12-06 2012-06-28 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP2014019594A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Tdk Corp フェライト基板及びその製造方法
JP5556880B2 (ja) * 2010-03-05 2014-07-23 株式会社村田製作所 セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法
JP2017014036A (ja) * 2015-06-29 2017-01-19 Tdk株式会社 フェライト焼結体、及びフェライトコア
JP2017014047A (ja) * 2015-06-30 2017-01-19 Tdk株式会社 フェライト焼結体、及びフェライトコア
KR20200094112A (ko) * 2019-01-29 2020-08-06 티디케이가부시기가이샤 페라이트 조성물 및 적층 전자 부품

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8277678B2 (en) * 2008-02-28 2012-10-02 The Hong Kong Polytechnic University Polymer-bonded magnetic materials
US8726410B2 (en) * 2010-07-30 2014-05-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Atomic force microscopy system and method for nanoscale measurement
US8889029B2 (en) 2010-08-03 2014-11-18 Kyocera Corporation Ferrite sintered body and noise filter including the same
JP6081051B2 (ja) 2011-01-20 2017-02-15 太陽誘電株式会社 コイル部品
JP4906972B1 (ja) 2011-04-27 2012-03-28 太陽誘電株式会社 磁性材料およびそれを用いたコイル部品
JP2012238841A (ja) 2011-04-27 2012-12-06 Taiyo Yuden Co Ltd 磁性材料及びコイル部品
JP5991494B2 (ja) 2011-06-15 2016-09-14 株式会社村田製作所 積層コイル部品
CN103608876B (zh) 2011-06-15 2017-08-15 株式会社村田制作所 层叠线圈部件及该层叠线圈部件的制造方法
JP5032711B1 (ja) * 2011-07-05 2012-09-26 太陽誘電株式会社 磁性材料およびそれを用いたコイル部品
JP5082002B1 (ja) 2011-08-26 2012-11-28 太陽誘電株式会社 磁性材料およびコイル部品
JP5761609B2 (ja) 2011-09-02 2015-08-12 株式会社村田製作所 セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法
CN102982965B (zh) 2011-09-02 2015-08-19 株式会社村田制作所 共模扼流线圈及其制造方法
CN103077807B (zh) * 2011-10-26 2016-05-18 Tdk株式会社 铁氧体铁芯和变压器
KR101435429B1 (ko) * 2012-02-10 2014-08-29 티디케이가부시기가이샤 페라이트 코어 및 트랜스
JP5915846B2 (ja) * 2012-02-13 2016-05-11 戸田工業株式会社 Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト粉末、該Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト粉末を含有するグリーンシート及びＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト焼結体
KR101431954B1 (ko) * 2013-01-04 2014-08-19 삼성전기주식회사 코일 부품 및 이의 제조방법
CN103617873A (zh) * 2013-11-28 2014-03-05 宝电电子(张家港)有限公司 变压器磁芯及变压器
TWI675020B (zh) * 2014-05-22 2019-10-21 日商戶田工業股份有限公司 肥粒鐵燒結板及肥粒鐵燒結薄片
CN106830912A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 杭州安费诺飞凤通信部品有限公司 一种镍锌软磁铁氧体磁片及其制备方法
CN106830914A (zh) * 2017-02-16 2017-06-13 珠海乾牌环保科技有限公司 一种高Bs高强度软磁铁氧体材料及其制备方法
JP6540977B1 (ja) * 2018-01-17 2019-07-10 Tdk株式会社 フェライト焼結体およびそれを用いた電子部品
TWI709020B (zh) * 2018-03-30 2020-11-01 日商京瓷股份有限公司 電感用芯、電子筆用芯體部、電子筆及輸入裝置
CN108766716A (zh) * 2018-06-01 2018-11-06 福州瑞品电子科技有限公司 一种耦合磁环
CN108774056B (zh) * 2018-06-14 2021-04-20 横店集团东磁股份有限公司 一种NiZn铁氧体磁片及其制备方法和用途
CN109650868A (zh) * 2018-12-10 2019-04-19 安徽精磁电子有限公司 一种宽温低功耗磁芯及其制备方法
CN111484323B (zh) * 2019-01-29 2022-09-09 Tdk株式会社 铁氧体组合物和层叠电子部件
JP7259822B2 (ja) * 2020-09-29 2023-04-18 株式会社村田製作所 フェライト焼結体およびコイル部品
CN112456994A (zh) * 2020-11-27 2021-03-09 天通控股股份有限公司 一种低温烧结高频低损耗MnZn软磁铁氧体及其制备方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0341708A (ja) * 1989-07-07 1991-02-22 Hitachi Ferrite Ltd 高透磁率フェライト磁心の製造方法
JPH0521222A (ja) * 1991-07-10 1993-01-29 Fuji Elelctrochem Co Ltd ニツケル−亜鉛系フエライトの製造方法
JPH06290926A (ja) * 1993-03-31 1994-10-18 Nippon Steel Corp Ｍｎ−Ｚｎフェライト磁性材料
JPH06295810A (ja) * 1993-04-09 1994-10-21 Kawasaki Steel Corp ＮｉＺｎ系ソフトフェライト
JPH0769718A (ja) * 1993-08-30 1995-03-14 Tokin Corp 感温フェライトの製造方法
JPH08325067A (ja) * 1995-05-29 1996-12-10 Taiyo Yuden Co Ltd セラミック焼成用箱鉢とセラミック焼成方法
JPH09115719A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Tokin Corp 高透磁率酸化物磁性材料及びその製造方法
JPH11273929A (ja) * 1998-02-18 1999-10-08 Yon Ho Han Ｍｎ−Ｚｎ系のフェライトコアの製造方法
JP2001093718A (ja) * 1999-09-20 2001-04-06 Tdk Corp 磁性フェライト組成物およびその製造方法
JP2001176717A (ja) * 1999-12-20 2001-06-29 Kyocera Corp 低損失フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP2003267777A (ja) * 2002-03-15 2003-09-25 Kyocera Corp フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3028337A (en) * 1957-10-15 1962-04-03 Ibm Method of preparing ferrite cores
KR960013030B1 (ko) * 1991-06-18 1996-09-25 니뽄 스틸 코포레이션 저전력 손실 산화물 자성재료 및 그 제조방법
KR960012995B1 (ko) * 1993-03-31 1996-09-25 엘지전자 주식회사 단결정 페라이트
JP3464100B2 (ja) 1996-07-31 2003-11-05 京セラ株式会社 高飽和磁束密度フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
TW364125B (en) * 1997-03-13 1999-07-11 Tdk Corp Mn-Zn ferric salt
JP3322228B2 (ja) * 1998-12-25 2002-09-09 エフ・ディ−・ケイ株式会社 焼成用道具材
JP2001068326A (ja) * 1999-08-30 2001-03-16 Tdk Corp ＭｎＺｎ系フェライト
JP3389170B2 (ja) * 1999-10-12 2003-03-24 ティーディーケイ株式会社 ＮｉＭｎＺｎ系フェライト
JP5137275B2 (ja) 1999-11-26 2013-02-06 京セラ株式会社 高飽和磁束密度フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
WO2002016268A1 (fr) * 2000-08-21 2002-02-28 Tdk Corporation Materiau en ferrite
JP4683718B2 (ja) 2000-12-20 2011-05-18 京セラ株式会社 フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
CN1222487C (zh) * 2002-07-05 2005-10-12 邓廷成 镍锌高导铁氧体及其制备方法
CN1400192A (zh) * 2002-08-23 2003-03-05 无锡晶石磁性电子器件有限公司 一种锰锌系铁氧体

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0341708A (ja) * 1989-07-07 1991-02-22 Hitachi Ferrite Ltd 高透磁率フェライト磁心の製造方法
JPH0521222A (ja) * 1991-07-10 1993-01-29 Fuji Elelctrochem Co Ltd ニツケル−亜鉛系フエライトの製造方法
JPH06290926A (ja) * 1993-03-31 1994-10-18 Nippon Steel Corp Ｍｎ−Ｚｎフェライト磁性材料
JPH06295810A (ja) * 1993-04-09 1994-10-21 Kawasaki Steel Corp ＮｉＺｎ系ソフトフェライト
JPH0769718A (ja) * 1993-08-30 1995-03-14 Tokin Corp 感温フェライトの製造方法
JPH08325067A (ja) * 1995-05-29 1996-12-10 Taiyo Yuden Co Ltd セラミック焼成用箱鉢とセラミック焼成方法
JPH09115719A (ja) * 1995-10-18 1997-05-02 Tokin Corp 高透磁率酸化物磁性材料及びその製造方法
JPH11273929A (ja) * 1998-02-18 1999-10-08 Yon Ho Han Ｍｎ−Ｚｎ系のフェライトコアの製造方法
JP2001093718A (ja) * 1999-09-20 2001-04-06 Tdk Corp 磁性フェライト組成物およびその製造方法
JP2001176717A (ja) * 1999-12-20 2001-06-29 Kyocera Corp 低損失フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP2003267777A (ja) * 2002-03-15 2003-09-25 Kyocera Corp フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JPN6012068931; ＣＯＮＤＵＲＡＣＨＥ，Ｄ． ｅｔ ａｌ．: 'Ｏｎ ｔｈｅ Ｋｉｎｅｔｉｃｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｐｏｒｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｚｎ Ｉｏｎｓ ｉｎ ｔｈｅ Ｓｉｎｔｅｒｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ Ｆｅｒｒｉｔｅｓ' Ａｄｖａｎｃｅｓ ｉｎ Ｃｅｒａｍｉｃｓ ｐｐ．１５７-１６１, 1985, Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｓｏｃｉｅｔｙ *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9761365B2 (en) 2007-07-20 2017-09-12 Applied Materials, Inc. RF choke for gas delivery to an RF driven electrode in a plasma processing apparatus
US10304607B2 (en) 2007-07-20 2019-05-28 Applied Materials, Inc. RF choke for gas delivery to an RF driven electrode in a plasma processing apparatus
US11532418B2 (en) 2007-07-20 2022-12-20 Applied Materials, Inc. RF choke for gas delivery to an RF driven electrode in a plasma processing apparatus
US10886053B2 (en) 2007-07-20 2021-01-05 Applied Materials, Inc. RF choke for gas delivery to an RF driven electrode in a plasma processing apparatus
JP2014194937A (ja) * 2007-07-20 2014-10-09 Applied Materials Inc プラズマ処理装置内のｒｆ駆動型電極へのガス配送用のｒｆチョーク
JP2010534390A (ja) * 2007-07-20 2010-11-04 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド プラズマ処理装置内のｒｆ駆動型電極へのガス配送用のｒｆチョーク
JP2011096977A (ja) * 2009-11-02 2011-05-12 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP5556880B2 (ja) * 2010-03-05 2014-07-23 株式会社村田製作所 セラミック電子部品、及びセラミック電子部品の製造方法
JP2012099662A (ja) * 2010-11-02 2012-05-24 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP2012124216A (ja) * 2010-12-06 2012-06-28 Tdk Corp フェライト組成物、フェライトコアおよび電子部品
JP2014019594A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Tdk Corp フェライト基板及びその製造方法
JP2017014036A (ja) * 2015-06-29 2017-01-19 Tdk株式会社 フェライト焼結体、及びフェライトコア
JP2017014047A (ja) * 2015-06-30 2017-01-19 Tdk株式会社 フェライト焼結体、及びフェライトコア
KR20200094112A (ko) * 2019-01-29 2020-08-06 티디케이가부시기가이샤 페라이트 조성물 및 적층 전자 부품
KR102362501B1 (ko) * 2019-01-29 2022-02-14 티디케이가부시기가이샤 페라이트 조성물 및 적층 전자 부품

Also Published As

Publication number Publication date
US7311854B2 (en) 2007-12-25
JP5196704B2 (ja) 2013-05-15
CN1673176B (zh) 2010-10-06
US20050199852A1 (en) 2005-09-15
CN1673176A (zh) 2005-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5196704B2 (ja) フェライト焼結体の製造方法
JP4265358B2 (ja) 複合焼結磁性材の製造方法
EP1816111A1 (en) LOW-LOSS Mn-Zn FERRITE AND UTILIZING THE SAME, ELECTRONIC PART AND SWITCHING POWER SUPPLY
JP6569834B1 (ja) フェライト組成物および積層電子部品
JP5900501B2 (ja) 積層コイル部品およびその製造方法
JP2006202796A (ja) 高飽和磁束密度Ｍｎ−Ｚｎ−Ｎｉ系フェライト
JP5721667B2 (ja) フェライト焼結体およびそれを用いたフェライトコアならびにフェライトコイル
JP2005243794A (ja) 複合焼結磁性材料の製造方法
JP4436509B2 (ja) 低損失フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP2008081339A (ja) 低損失フェライト材料及びその製造方法
JP6558505B2 (ja) Ｎｉ系フェライト焼結体、コイル部品、及びＮｉ系フェライト焼結体の製造方法
US9434622B2 (en) Sintered ferrite material, wire wound component, and producing method of sintered ferrite material
JP2008273809A (ja) フェライト焼結体およびコイル部品並びにフェライト焼結体の製造方法
JP4303443B2 (ja) フェライト材料の製造方法
JP2011246343A (ja) フェライト焼結体およびこれを備えるノイズフィルタ
JP4683718B2 (ja) フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP6967418B2 (ja) 磁性材料、および積層チップ部品
JP5882811B2 (ja) フェライト焼結体およびこれを備えるパルストランス用コア
JP4587541B2 (ja) フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP2004107103A (ja) フェライト材料及びこれを用いたフェライトコア
JP3544615B2 (ja) 高飽和磁束密度フェライト材料およびこれを用いたフェライトコア
JP4799808B2 (ja) フェライト組成物、磁心及び電子部品
JP4766339B2 (ja) 焼結フェライト及びその製造方法
JP2010195626A (ja) フェライト焼結体およびコイル部品並びにフェライト焼結体の製造方法
JP2006273610A (ja) フェライト焼結体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100629

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100830

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110524

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110722

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120417

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120618

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130108

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130205

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5196704

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150