JP2005174979A - 素子配列方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 素子形成基板上に密集して形成された素子を、配列基板上に形成されて配列基板表面を分割するセルに対して選択的に転写し、セル領域内で素子を自己整合によって所定の位置に配置する。セル領域内での自己整合は、セル領域内に導入した液体中で素子を移動させて凹部である素子配置孔に素子を嵌合させる方法や、セル領域内に導入した液体中で素子を浮遊させて液体を蒸発させ表面張力により素子配置孔に素子を嵌合させる方法を用いる。
【選択図】図5
Description
[第一の実施の形態]
[第二の実施の形態]
[第三の実施の形態]
[第四の実施の形態]
[第五の実施の形態]
[第六の実施の形態]
[第七の実施の形態]
[第八の実施の形態]
[第九の実施の形態]
11 発光ダイオード素子
12 素子分離溝
20,70,80,90 配列基板
21 基体部
22 セル分割部
23 セル
24 素子配置孔
25,41 電極
26 液体
30 エキシマレーザー発生装置
30a,62 レーザー光
31 マスク
32,64 開口部
33 反射鏡
34,65 レンズ
40 透明導電性インク
42 透明樹脂
50 ノズル
51 ワイパー
52 容器
60 レーザー発生装置
61 回転ミラー
63 マスク
71,91 樹脂層
72 撥水パターン
81 固定用樹脂層
82 固定層
92 膨張パターン
100〜105 画素
110 複合素子
111 微小な基板
112,113,114 素子
Claims (22)
- 第一の基板上に配置された素子を第二の基板上に転写して前記第二の基板上に配置する素子配列方法であって、
前記第二の基板表面を分割し前記素子を配置するセルを前記第二の基板上に形成し、
前記第一の基板上に形成された前記素子を剥離して前記セルに転写し、
前記セル領域内の所定位置に前記素子を自己整合で配置することを特徴とする素子配列方法。 - 前記自己整合による配置は、
前記セル領域内に液体を導入して、前記第二の基板に超音波振動を加えて前記素子を前記液体中で移動させるものであることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。 - 前記自己整合による配置は、
前記セル領域内に液体を導入して、前記液体中に前記素子を浮遊させながら前記液体を蒸発させるものであることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。 - 前記セルは、前記第二の基板上に形成した凸部であるセル分割部によって囲まれた領域であることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記セルは、前記第二の基板上に形成した撥水性のパターンによって囲まれた領域であることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記セルの領域内に、前記素子が嵌合する凹部である素子配置孔を形成することを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記素子配置孔の形状を前記素子の一部の形状と略同一にすることを特徴とする請求項6記載の素子配列方法。
- 前記素子配置孔または前記素子を磁化させて、前記素子が前記素子配置孔に嵌合する際の配向を制御することを特徴とする請求項6記載の素子配列方法。
- 前記素子配置孔または前記素子の表面に、前記セル領域内に導入される液体に対する濡れ性を変化させる処理を施すことを特徴とする請求項6記載の素子配列方法。
- 前記第一の基板から前記素子を剥離して前記セルに転写する際に、前記第一の基板上の前記素子を選択的に転写することを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記第一の基板の任意の位置にレーザー光を照射して、レーザーアブレーションによって前記素子の選択的な転写を行うことを特徴とする請求項10記載の素子配列方法。
- 開口部を形成したマスクを介して前記第一の基板にエキシマレーザーを照射することを特徴とする請求項11記載の素子配列方法。
- YAGレーザーを回転ミラーで反射してマスクを介して前記第一の基板に前記レーザー光を照射することを特徴とする請求項11記載の素子配列方法。
- 前記セル領域内に前記素子を転写する前または後に、前記セル領域内に液体を導入することを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記素子または前記第二の基板を静電除去した後に、前記素子の転写を行うことを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記素子または前記第二の基板を帯電させた後に、前記素子の転写を行うことを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記第二の基板を多層構造で形成し、前記セル領域内の所定位置に前記素子を自己整合で配置した後に、前記第二の基板の前記素子が配置されていない裏面層を剥離して、前記素子を裏面から露出させることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記素子は、発光素子であることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 前記素子は、複数種類の素子が実装された複合素子であることを特徴とする請求項1記載の素子配列方法。
- 第一の基板上に配置された第一の素子および第二の基板上に配置された第二の素子を第三の基板上に転写して前記第三の基板上に配置する素子配列方法であって、前記第三の基板表面を分割し前記第一の素子または前記第二の素子を配置するセルを前記第三の基板上に形成し、前記第一の基板上に形成された前記第一の素子を剥離して前記セルに転写し、前記第二の基板上に形成された前記第二の素子を剥離して前記セルに転写し、前記セル領域内の所定位置に前記第一の素子および前記第二の素子を自己整合で配置することを特徴とする素子配列方法。
- 前記第一の素子と前記第二の素子とが異なる種類の素子であることを特徴とする請求項20記載の素子配列方法。
- 前記第一の素子が転写されるセルと、前記第二の素子が転写されるセルとは、前記第三の基板上の異なる領域に形成されていることを特徴とする請求項20記載の素子配列方法。
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---|---|
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Cited By (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006511969A (ja) * | 2002-12-18 | 2006-04-06 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 液体の小滴でのマイクロメートル寸法の電子物体の操作 |
JP2010123780A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Sony Corp | 実装基板および実装基板の製造方法、並びに表示装置および表示装置の製造方法 |
JP2010529599A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-26 | エンスディグリー テクノロジーズ ワールドワイド インコーポレーテッド | アドレス指定可能で静的な電子ディスプレイ、発電装置または他の電子装置の製造方法 |
WO2010143402A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 株式会社フジクラ | 光学装置、レーザ照射装置およびレーザ治療装置 |
JP2011100832A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Sharp Corp | マイクロ素子の配列方法、マイクロ素子実装体および表示装置 |
WO2011132630A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立化成工業株式会社 | 半導体装置、半導体装置製造装置、半導体装置製造方法及びicタグ |
US8415879B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-04-09 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US8413359B2 (en) | 2008-05-13 | 2013-04-09 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Illuminating display systems |
US8674593B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-03-18 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US8739441B2 (en) | 2008-05-13 | 2014-06-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatuses for providing power for illumination of a display object |
US8809126B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-08-19 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8846457B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-09-30 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8852467B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-10-07 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8877101B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-11-04 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a light emitting, power generating or other electronic apparatus |
US9018833B2 (en) | 2007-05-31 | 2015-04-28 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatus with light emitting or absorbing diodes |
JP2015153931A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置、半導体発光素子、及び、半導体発光装置の製造方法 |
US9236528B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-01-12 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Light emitting, photovoltaic or other electronic apparatus and system |
JP2016025205A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | スタンレー電気株式会社 | 半導体光学装置の製造方法 |
US9343593B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-05-17 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
KR20160087405A (ko) * | 2015-01-12 | 2016-07-22 | 영남대학교 산학협력단 | 탑다운 방식의 그래핀 전사 방법 |
US9419179B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-08-16 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9425357B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-08-23 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc. | Diode for a printable composition |
US9534772B2 (en) | 2007-05-31 | 2017-01-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatus with light emitting diodes |
FR3039700A1 (fr) * | 2015-07-31 | 2017-02-03 | Commissariat Energie Atomique | Procede de collage direct avec auto-alignement par ultrasons |
JP2017537476A (ja) * | 2015-04-01 | 2017-12-14 | ゴルテック.インク | マイクロ発光ダイオードの転写方法、製造方法、装置及び電子機器 |
KR20180030453A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 인쇄된 광 변환 구조를 구비하는 다색 발광 디스플레이 |
KR20180030454A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 발광 표시 장치의 유체 조립 시스템 및 방법 |
KR20180030456A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 광 관리 시스템을 구비하는 발광 디스플레이 |
JP2018515942A (ja) * | 2015-10-20 | 2018-06-14 | ゴルテック インコーポレイテッド | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、装置及び電子機器 |
EP3389091A1 (fr) * | 2017-04-14 | 2018-10-17 | Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives | Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage émissif à led et dispositif d'affichage en résultant |
KR20190009742A (ko) * | 2017-06-12 | 2019-01-29 | 유니카르타, 인크. | 개별 부품들의 기판 상으로의 병렬적 조립 |
TWI655765B (zh) * | 2016-09-26 | 2019-04-01 | 啟端光電股份有限公司 | 微發光二極體顯示面板 |
KR102022303B1 (ko) * | 2018-03-15 | 2019-09-18 | 한국광기술원 | 미세 led 패키지 생산 장치 및 방법 |
JP2020501370A (ja) * | 2016-12-09 | 2020-01-16 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | Ledキャリアアセンブリを製造する方法 |
EP3598487A1 (fr) * | 2018-07-18 | 2020-01-22 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Procédé d'intégration de structures dans un support et dispositif associé |
KR20200014865A (ko) * | 2020-01-22 | 2020-02-11 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자의 자가조립용 기판 척 |
KR20200026683A (ko) * | 2019-06-28 | 2020-03-11 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치의 제조방법 및 디스플레이 장치 제조를 위한 기판 |
JP2020518853A (ja) * | 2017-04-28 | 2020-06-25 | コーニング インコーポレイテッド | フォトマシナブル材料基板層を用いたディスプレイ形成のためのシステム及び方法 |
WO2020136764A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | 日立化成株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
US11201077B2 (en) | 2017-06-12 | 2021-12-14 | Kulicke & Soffa Netherlands B.V. | Parallel assembly of discrete components onto a substrate |
CN114335286A (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-12 | Tcl科技集团股份有限公司 | Led芯片的键合方法 |
WO2022145555A1 (ko) * | 2021-01-04 | 2022-07-07 | 엘지전자 주식회사 | 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 기판 조립체 및 그 제조 방법 |
KR20230028241A (ko) | 2020-06-20 | 2023-02-28 | 알디텍 가부시키가이샤 | 반도체 발광 소자 칩 집적 장치 및 그 제조 방법 |
KR20230058007A (ko) | 2020-09-16 | 2023-05-02 | 알디텍 가부시키가이샤 | 반도체 발광소자 칩 집적 장치 및 그 제조 방법 |
CN116312280A (zh) * | 2023-05-24 | 2023-06-23 | 惠科股份有限公司 | 灯板、制作方法和显示装置 |
CN116914062A (zh) * | 2023-09-14 | 2023-10-20 | 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司 | 一种微型发光单元的转移方法 |
US11901208B2 (en) | 2019-09-19 | 2024-02-13 | Lg Electronics Inc. | Substrate chuck for self-assembling semiconductor light emitting diodes |
JP7475735B2 (ja) | 2022-08-31 | 2024-04-30 | 晶呈科技股▲分▼有限公司 | ダイパッケージの接合及び移載方法 |
CN109417065B (zh) * | 2017-06-12 | 2024-05-14 | 库力索法荷兰有限公司 | 分立组件向基板上的并行组装 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653258A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 表示装置の製造方法 |
JPH07235696A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Sharp Corp | チップ部品型led及びその製造方法 |
JPH09120943A (ja) * | 1995-06-07 | 1997-05-06 | Univ California | 基板上に微細構造を組み付ける方法 |
JP2000049388A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2000223752A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Nichia Chem Ind Ltd | 光半導体装置及びその形成方法 |
JP2000236111A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 光源装置 |
JP2001257218A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Sony Corp | 微細チップの実装方法 |
JP2001291583A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Seiko Epson Corp | 有機el素子および有機el素子の製造方法 |
JP2001332383A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-11-30 | Seiko Epson Corp | 有機el表示体の製造方法、半導体素子の配置方法、半導体装置の製造方法 |
JP2002100758A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-04-05 | Seiko Epson Corp | 機能ブロックを含む装置およびその製造方法ならびに光伝送装置 |
JP2002231877A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Sony Corp | 素子配列型装置、素子配列型装置の製造方法、及び画像表示装置 |
JP2003209295A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Sony Corp | 電子部品及びその製造方法、これを用いた画像表示装置 |
JP2003209397A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Sony Corp | 物品の配置方法 |
JP2003216052A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-30 | Sony Corp | 素子の配列方法、表示装置の製造方法、及び表示装置。 |
JP2003272871A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Toshiba Corp | 自己発光表示装置およびその製造方法 |
JP2003347669A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | 面発光レーザの製造方法 |
-
2003
- 2003-12-08 JP JP2003408663A patent/JP4613489B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653258A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-02-25 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 表示装置の製造方法 |
JPH07235696A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Sharp Corp | チップ部品型led及びその製造方法 |
JPH09120943A (ja) * | 1995-06-07 | 1997-05-06 | Univ California | 基板上に微細構造を組み付ける方法 |
JP2000049388A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2000223752A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Nichia Chem Ind Ltd | 光半導体装置及びその形成方法 |
JP2000236111A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 光源装置 |
JP2001257218A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Sony Corp | 微細チップの実装方法 |
JP2001332383A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-11-30 | Seiko Epson Corp | 有機el表示体の製造方法、半導体素子の配置方法、半導体装置の製造方法 |
JP2001291583A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Seiko Epson Corp | 有機el素子および有機el素子の製造方法 |
JP2002100758A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-04-05 | Seiko Epson Corp | 機能ブロックを含む装置およびその製造方法ならびに光伝送装置 |
JP2002231877A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Sony Corp | 素子配列型装置、素子配列型装置の製造方法、及び画像表示装置 |
JP2003209295A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Sony Corp | 電子部品及びその製造方法、これを用いた画像表示装置 |
JP2003209397A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Sony Corp | 物品の配置方法 |
JP2003216052A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-30 | Sony Corp | 素子の配列方法、表示装置の製造方法、及び表示装置。 |
JP2003272871A (ja) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Toshiba Corp | 自己発光表示装置およびその製造方法 |
JP2003347669A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-05 | Kyocera Corp | 面発光レーザの製造方法 |
Cited By (86)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006511969A (ja) * | 2002-12-18 | 2006-04-06 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 液体の小滴でのマイクロメートル寸法の電子物体の操作 |
US9349928B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-05-24 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US9419179B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-08-16 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9534772B2 (en) | 2007-05-31 | 2017-01-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatus with light emitting diodes |
US9425357B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-08-23 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc. | Diode for a printable composition |
US9105812B2 (en) | 2007-05-31 | 2015-08-11 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9410684B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-08-09 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Bidirectional lighting apparatus with light emitting diodes |
US9018833B2 (en) | 2007-05-31 | 2015-04-28 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatus with light emitting or absorbing diodes |
US8415879B2 (en) | 2007-05-31 | 2013-04-09 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9400086B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-07-26 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatus with light emitting or absorbing diodes |
US9362348B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-06-07 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a light emitting, power generating or other electronic apparatus |
US8674593B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-03-18 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US8723408B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-05-13 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9777914B2 (en) | 2007-05-31 | 2017-10-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc. | Light emitting apparatus having at least one reverse-biased light emitting diode |
US9343593B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-05-17 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8809126B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-08-19 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8846457B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-09-30 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US8852467B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-10-07 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a printable composition of a liquid or gel suspension of diodes |
US9316362B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-04-19 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | LED lighting apparatus formed by a printable composition of a liquid or gel suspension of diodes and methods of using same |
US9236527B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-01-12 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Light emitting, photovoltaic or other electronic apparatus and system |
JP2010529599A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-26 | エンスディグリー テクノロジーズ ワールドワイド インコーポレーテッド | アドレス指定可能で静的な電子ディスプレイ、発電装置または他の電子装置の製造方法 |
US8877101B2 (en) | 2007-05-31 | 2014-11-04 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Method of manufacturing a light emitting, power generating or other electronic apparatus |
US9236528B2 (en) | 2007-05-31 | 2016-01-12 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Light emitting, photovoltaic or other electronic apparatus and system |
US9130124B2 (en) | 2007-05-31 | 2015-09-08 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Diode for a printable composition |
US9200758B2 (en) | 2007-05-31 | 2015-12-01 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | LED lighting apparatus formed by a printable composition of a liquid or gel suspension of diodes and methods of using same |
US9526148B2 (en) | 2008-05-13 | 2016-12-20 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Illuminating display systems |
US8413359B2 (en) | 2008-05-13 | 2013-04-09 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Illuminating display systems |
US8739441B2 (en) | 2008-05-13 | 2014-06-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Apparatuses for providing power for illumination of a display object |
US8739440B2 (en) | 2008-05-13 | 2014-06-03 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc. | Illuminating display systems |
US9119244B2 (en) | 2008-05-13 | 2015-08-25 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc | Illuminating display systems |
JP2010123780A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Sony Corp | 実装基板および実装基板の製造方法、並びに表示装置および表示装置の製造方法 |
US8384116B2 (en) | 2008-11-20 | 2013-02-26 | Sony Corporation | Substrate with chips mounted thereon, method of manufacturing substrate with chips mounted thereon, display, and method of manufacturing display |
WO2010143402A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 株式会社フジクラ | 光学装置、レーザ照射装置およびレーザ治療装置 |
JP5184700B2 (ja) * | 2009-06-09 | 2013-04-17 | 株式会社フジクラ | 光学装置、レーザ照射装置およびレーザ治療装置 |
JP2011100832A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Sharp Corp | マイクロ素子の配列方法、マイクロ素子実装体および表示装置 |
JP2011227814A (ja) * | 2010-04-22 | 2011-11-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置、半導体装置製造装置、半導体装置製造方法及びicタグ |
WO2011132630A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立化成工業株式会社 | 半導体装置、半導体装置製造装置、半導体装置製造方法及びicタグ |
JP2015153931A (ja) * | 2014-02-17 | 2015-08-24 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置、半導体発光素子、及び、半導体発光装置の製造方法 |
JP2016025205A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | スタンレー電気株式会社 | 半導体光学装置の製造方法 |
KR101653478B1 (ko) * | 2015-01-12 | 2016-09-01 | 영남대학교 산학협력단 | 탑다운 방식의 그래핀 전사 방법 |
KR20160087405A (ko) * | 2015-01-12 | 2016-07-22 | 영남대학교 산학협력단 | 탑다운 방식의 그래핀 전사 방법 |
JP2017537476A (ja) * | 2015-04-01 | 2017-12-14 | ゴルテック.インク | マイクロ発光ダイオードの転写方法、製造方法、装置及び電子機器 |
FR3039700A1 (fr) * | 2015-07-31 | 2017-02-03 | Commissariat Energie Atomique | Procede de collage direct avec auto-alignement par ultrasons |
US10438921B2 (en) | 2015-07-31 | 2019-10-08 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method for direct bonding with self-alignment using ultrasound |
WO2017021231A1 (fr) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de collage direct avec auto-alignement par ultrasons |
JP2018515942A (ja) * | 2015-10-20 | 2018-06-14 | ゴルテック インコーポレイテッド | マイクロ発光ダイオードの搬送方法、製造方法、装置及び電子機器 |
KR102019251B1 (ko) | 2016-09-15 | 2019-11-04 | 일룩스 아이엔씨. | 인쇄된 광 변환 구조를 구비하는 다색 발광 디스플레이 |
KR20180030454A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 발광 표시 장치의 유체 조립 시스템 및 방법 |
KR20180030456A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 광 관리 시스템을 구비하는 발광 디스플레이 |
KR102019252B1 (ko) * | 2016-09-15 | 2019-11-14 | 일룩스 아이엔씨. | 광 관리 시스템을 구비하는 발광 디스플레이 |
KR102037226B1 (ko) * | 2016-09-15 | 2019-10-28 | 일룩스 아이엔씨. | 발광 표시 장치의 유체 조립 시스템 및 방법 |
KR20180030453A (ko) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 일룩스 아이엔씨. | 인쇄된 광 변환 구조를 구비하는 다색 발광 디스플레이 |
TWI655765B (zh) * | 2016-09-26 | 2019-04-01 | 啟端光電股份有限公司 | 微發光二極體顯示面板 |
JP2020501370A (ja) * | 2016-12-09 | 2020-01-16 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | Ledキャリアアセンブリを製造する方法 |
JP7224285B2 (ja) | 2016-12-09 | 2023-02-17 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | Ledキャリアアセンブリを製造する方法 |
FR3065321A1 (fr) * | 2017-04-14 | 2018-10-19 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de fabrication d'un dispositif d'affichage emissif a led |
EP3389091A1 (fr) * | 2017-04-14 | 2018-10-17 | Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives | Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage émissif à led et dispositif d'affichage en résultant |
JP2020518853A (ja) * | 2017-04-28 | 2020-06-25 | コーニング インコーポレイテッド | フォトマシナブル材料基板層を用いたディスプレイ形成のためのシステム及び方法 |
JP2019527465A (ja) * | 2017-06-12 | 2019-09-26 | ユニカルタ・インコーポレイテッド | 基板上に個別部品を並列に組み立てる方法 |
CN109417065A (zh) * | 2017-06-12 | 2019-03-01 | 尤尼卡尔塔股份有限公司 | 分立组件向基板上的并行组装 |
KR20190009742A (ko) * | 2017-06-12 | 2019-01-29 | 유니카르타, 인크. | 개별 부품들의 기판 상으로의 병렬적 조립 |
KR102160225B1 (ko) | 2017-06-12 | 2020-09-28 | 유니카르타, 인크. | 개별 부품들의 기판 상으로의 병렬적 조립 |
CN109417065B (zh) * | 2017-06-12 | 2024-05-14 | 库力索法荷兰有限公司 | 分立组件向基板上的并行组装 |
US11804397B2 (en) | 2017-06-12 | 2023-10-31 | Kulicke & Soffa Netherlands B.V. | Parallel assembly of discrete components onto a substrate |
US11201077B2 (en) | 2017-06-12 | 2021-12-14 | Kulicke & Soffa Netherlands B.V. | Parallel assembly of discrete components onto a substrate |
KR102022303B1 (ko) * | 2018-03-15 | 2019-09-18 | 한국광기술원 | 미세 led 패키지 생산 장치 및 방법 |
FR3084204A1 (fr) * | 2018-07-18 | 2020-01-24 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede d'integration de structures dans un support et dispositif associe |
US11179727B2 (en) | 2018-07-18 | 2021-11-23 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method for integrating structures in a support and associated device |
EP3598487A1 (fr) * | 2018-07-18 | 2020-01-22 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Procédé d'intégration de structures dans un support et dispositif associé |
JPWO2020136764A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2021-09-09 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
WO2020136764A1 (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-02 | 日立化成株式会社 | 電子部品パッケージの製造方法 |
KR102173350B1 (ko) | 2019-06-28 | 2020-11-03 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치의 제조방법 및 디스플레이 장치 제조를 위한 기판 |
KR20200026683A (ko) * | 2019-06-28 | 2020-03-11 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치의 제조방법 및 디스플레이 장치 제조를 위한 기판 |
US11901208B2 (en) | 2019-09-19 | 2024-02-13 | Lg Electronics Inc. | Substrate chuck for self-assembling semiconductor light emitting diodes |
KR102302475B1 (ko) | 2020-01-22 | 2021-09-16 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자의 자가조립용 기판 척 |
KR20200014865A (ko) * | 2020-01-22 | 2020-02-11 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자의 자가조립용 기판 척 |
KR20230028241A (ko) | 2020-06-20 | 2023-02-28 | 알디텍 가부시키가이샤 | 반도체 발광 소자 칩 집적 장치 및 그 제조 방법 |
KR20230058007A (ko) | 2020-09-16 | 2023-05-02 | 알디텍 가부시키가이샤 | 반도체 발광소자 칩 집적 장치 및 그 제조 방법 |
CN114335286B (zh) * | 2020-09-30 | 2024-01-23 | Tcl科技集团股份有限公司 | Led芯片的键合方法 |
CN114335286A (zh) * | 2020-09-30 | 2022-04-12 | Tcl科技集团股份有限公司 | Led芯片的键合方法 |
WO2022145555A1 (ko) * | 2021-01-04 | 2022-07-07 | 엘지전자 주식회사 | 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치의 기판 조립체 및 그 제조 방법 |
JP7475735B2 (ja) | 2022-08-31 | 2024-04-30 | 晶呈科技股▲分▼有限公司 | ダイパッケージの接合及び移載方法 |
CN116312280B (zh) * | 2023-05-24 | 2023-08-25 | 惠科股份有限公司 | 灯板、灯板的制作方法和显示装置 |
CN116312280A (zh) * | 2023-05-24 | 2023-06-23 | 惠科股份有限公司 | 灯板、制作方法和显示装置 |
CN116914062A (zh) * | 2023-09-14 | 2023-10-20 | 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司 | 一种微型发光单元的转移方法 |
CN116914062B (zh) * | 2023-09-14 | 2023-11-21 | 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司 | 一种微型发光单元的转移方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4613489B2 (ja) | 2011-01-19 |
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