JP2005058913A - 塗布ノズル及び塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ノズル部156において、走査方向(X-方向)の後方または反対側を向く面つまり背面160にはノズル長手方向に水平または一直線に延びる段差部162が形成されている。塗布処理中、基板G上に吐出されたレジスト液Rがぬれ現象によりレジストノズル120のノズル部156の背面160に付着して高さ方向に広がり、その頂上位置は段差部162で安定化ないし固定される。こうして、レジストノズル120のノズル部156の背面160をぬらすレジスト液Rの頂上ラインつまりウエットラインWLが段差部162によって一義的に決まる。
【選択図】 図7
Description
28 塗布プロセス部
82 レジスト塗布ユニット(CT)
118 ステージ
120 レジストノズル
122 塗布処理部
132 レジスト液供給部
132 塗布膜検査部
134 走査部
150 ノズル本体
152 吐出口
154 バッファ部
156 ノズル部
160 ノズル部の裏面
164 第1の背面部
166,166' 第2の背面部
168 第3の背面部
170 ノズル部の前面
Claims (14)
- ほぼ水平に配置される被処理基板に対して所望の微小なギャップを隔てて所定の走査方向に相対的に水平移動して前記基板上に塗布液を塗布するための塗布ノズルであって、
前記塗布液を吐出するための吐出口が形成された下端面と、前記吐出口の走査方向の後方側で前記下端面から上方に延び、塗布処理中に前記吐出口より前記基板上に吐出された塗布液で部分的にぬれる背面とを有する長尺状のノズル本体を具備し、
塗布処理中に前記ノズル本体の背面をぬらす前記塗布液の定常的な頂上位置を所望のウエットラインに揃えるための物理的な境界部を前記ノズル本体の背面に設けている塗布ノズル。 - 前記ノズル本体の背面における境界部が、一定の高さ位置で前記ノズル本体の長手方向に直線状に延在している請求項1に記載の塗布ノズル。
- 前記ノズル本体の背面における境界部が段差部によって形成される請求項1または請求項2に記載の塗布ノズル。
- 前記ノズル本体の背面における段差部が、前記ノズル本体の下端面の一端から一定の高さ位置まで実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第1の背面部と、前記第1の背面部の上端から実質的に下方を向いて走査方向の後方に延びる第2の背面部と、前記第2の背面部の突出端から実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第3の背面部とで形成され、前記第2の背面部で前記ウエットラインを規定する請求項3記載の塗布ノズル。
- 前記第3の背面部の下端が、前記第1の背面部の上端とほぼ同じ高さの位置か、またはそれよりも低い位置に設定される請求項4に記載の塗布ノズル。
- 前記ノズル本体の背面における段差部が、前記ノズル本体の下端面の一端から一定の高さ位置まで実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第1の背面部と、前記第1の背面部の上端から実質的に上方を向いて走査方向の前方に延びる第2の背面部と、前記第2の背面部の走査方向前方側の端から実質的に走査方向の後方を向いて上方に延びる第3の背面部とで形成され、前記第1の背面部と前記第2の背面部との間に形成される角部で前記ウエットラインを規定する請求項3に記載の塗布ノズル。
- 前記第3の背面部の下端が、前記第1の背面部の上端とほぼ同じ高さの位置か、またはそれよりも低い位置に設定される請求項6に記載の塗布ノズル。
- 前記第1の背面部が平坦な面に形成される請求項4〜7のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
- 前記第1の背面部が、前記ノズル本体の下端面の一端から水平面に対して鋭角で上方に延びる請求項4〜8のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
- 前記ノズル本体の背面における境界部が、表面状態の違いにより上下に2分割される上部背面部と下部背面部との境界によって形成される請求項1または請求項2に記載の塗布ノズル。
- 前記下部背面部が前記塗布液に対して親水性の表面を有し、前記上部背面部が前記塗布液に対して疎水性の表面を有する請求項10に記載の塗布ノズル。
- 前記下部背面部がざらざらした表面を有し、前記上部背面部がすべすべした表面を有する請求項10に記載の塗布ノズル。
- 前記下部背面部が前記ノズル本体の下端面の一端から第1の高さ位置まで斜め上方に延び、前記上部背面部が前記第1の高さ位置から第2の高さ位置まで斜め上方に延びる請求項10〜12のいずれか一項に記載の塗布ノズル。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の塗布ノズルと、
前記塗布ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と
被処理基板をほぼ水平に支持する基板支持部と、
前記基板支持部に支持される前記基板に対して所望の微小なギャップを隔てて前記塗布ノズルを支持するノズル支持部と、
前記塗布ノズルが前記ギャップを維持したまま前記基板上を所定の走査方向に相対的に水平移動するように前記基板支持部と前記ノズル支持部との間で相対的な水平移動を行わせる走査部と
を有する塗布装置。
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