JP2020185527A - シム、ノズルおよび塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布幅を目標値に可及的に近づける。【解決手段】実施形態のシムは、スリット状の吐出口を有するノズルに内蔵されるシムであって、前記ノズルの先端に向けて開口する開口部を有し、前記開口部は、前記ノズルの先端に最も近い部分において最大幅を有し、かつ、前記ノズルの先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有する。【選択図】図９

Description

本発明は、シム、ノズルおよび塗布装置に関する。

液晶ディスプレイ等の表示パネルを構成するガラス基板上には、配線、電極およびカラーフィルタ等の微細なパターンが形成されている。例えばこのようなパターンは、フォトリソグラフィ法等の方法によって形成される。フォトリソグラフィ法は、レジスト材料を基板に塗布する塗布工程、塗布後にレジスト材料で形成された膜（以下「レジスト膜」という。）を露光する露光工程、および露光工程の後にレジスト膜を現像する現像工程を含む。

例えば、塗布工程では、塗布液を吐出するノズルを備えた塗布装置が用いられる。例えば、特許文献１には、対向する一対のダイブロックの間に挟まれた特定形状のシムが開示されている。具体的に、特許文献１では、シムの開口部に位置する外周部のうち、塗布液の流路であるスロットの長手方向部分の長さをＡとし、シムの開口部の開口幅をＢとし、スロットの長手方向部分の一端をａとし、シムの開口部の一端のうち、ａと同じ側に存在する一端をｂとし、ａを通るスロットの長手方向部分の法線と、シムの開口部を含む直線との交点をｃとした際の、角ｂａｃの角度をθとしたとき、長さＡ−Ｂが０より大きく、１０ｍｍ以下であり、角度θが０より大きく、１０°以下となるように設計されている。
また、特許文献１には、長さＡ−Ｂが０であり、角度θが０°である従来のシムが開示されている。

特開２０１５−６６５３７号公報

ところで、上記のシムを用いて塗布液を対象物に吐出すると、塗布幅が目標値よりも広くなりやすい。そのため、塗布幅を目標値に可及的に近づけることが要求されている。

以上のような事情に鑑み、本発明は、塗布幅を目標値に可及的に近づけることが可能なシムおよびこれを備えたノズルを提供することを目的とする。加えて、このようなノズルを備えることで、塗布幅を厳密に管理し、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るシムは、スリット状の吐出口を有するノズルに内蔵されるシムであって、前記ノズルの先端に向けて開口する開口部を有し、前記開口部は、前記ノズルの先端に最も近い部分において最大幅を有し、かつ、前記ノズルの先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有することを特徴とする。

この構成によれば、シムの開口部がノズルの先端に最も近い部分において最大幅を有しかつノズルの先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有することで、開口部においてノズルの先端に最も近い部分には最も広い空間が形成される。そのため、開口部から吐出される液体（塗布液）が表面張力（毛細管現象）によって開口部の長手方向両端部に引っ張られる。すると、開口部から吐出される塗布液は開口部の長手方向両端部ではその場にとどまりやすくなる。すなわち、開口部から吐出される塗布液は、開口部の長手方向中央部では所定の単位流量（開口部の長手方向における単位長さ当たりの流量）で吐出される一方、開口部の長手方向両端部近傍ではその場にとどまる分だけ単位流量よりも減少した流量で吐出される。これにより、塗布液を対象物に吐出する際、塗布幅が目標値よりも広くなりやすい傾向があっても、単位流量からの減少分だけ塗布幅の広がりを抑えることができる。したがって、塗布幅を目標値に可及的に近づけることができる。

上記のシムにおいて、前記開口部は、前記ノズルの先端から最も遠い部分において最小幅を有し、かつ、前記ノズルの先端から最も遠い部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次広くなっていてもよい。
この構成によれば、開口部においてノズルの先端から最も遠い部分からノズルの先端に最も近い部分にわたって塗布液をスムーズに吐出することができる。

上記のシムにおいて、前記開口部において前記ノズルの先端から最も遠い部分の一端をＫ１とし、前記開口部において前記ノズルの先端に最も近い部分の一端のうち、前記Ｋ１と同じ側に位置する一端をＫ２とし、前記シムにおいて前記ノズルの先端に最も近い部分の端縁上の点をＫ３とし、前記Ｋ１と前記Ｋ２とを結ぶ線分と、前記Ｋ２と前記Ｋ３とを結ぶ線分とのなす角度をＧとしたとき、前記角度Ｇは、９１°以上９６°以下であってもよい。
この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

上記のシムにおいて、前記開口部は、前記開口部において前記ノズルの先端に最も近い部分を底辺とする等脚台形形状を有してもよい。
この構成によれば、開口部の長手方向両端部において互いに同等の塗布液がその場にとどまるため、塗布液を対象物に吐出する際に塗布幅の広がりを開口部の長手方向両端部においてバランスよく抑えることができる。したがって、塗布膜の膜厚、膜端の形状（エッジプロファイル）を均一にしやすい。

上記のシムにおいて、前記開口部は、前記ノズルの先端から最も遠い部分と前記ノズルの先端寄りの部分との間にわたって一定の幅を有する定幅開口部と、前記定幅開口部に連なり、前記ノズルの先端寄りの部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次広くなる幅を有する拡幅開口部と、を有してもよい。
この構成によれば、塗布液は、定幅開口部では開口部の長手方向の全域にわたって単位流量で一様に通過する一方、拡幅開口部では開口部の長手方向両端部近傍で単位流量よりも減少した流量で通過する。すなわち、定幅開口部から拡幅開口部に移るタイミングで開口部の長手方向両端部近傍における塗布液の通過量を減少することができる。したがって、塗布液の種類、シムの材質等の要求仕様に対応しやすい。

上記のシムにおいて、前記開口部は、前記ノズルの先端寄りの部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次外側に位置するように傾斜する傾斜部を有し、前記シムの延在方向および前記シムの厚み方向のそれぞれと直交する方向における前記傾斜部の高さをＨとしたとき、前記傾斜部の高さＨは、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。
この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

上記のシムにおいて、前記開口部を流れる塗布液は、０．３Ｐａ・ｓ以上２０Ｐａ・ｓ以下の粘度を有してもよい。
この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

上記のシムにおいて、前記開口部は、前記シムにおいて前記ノズルの先端に最も近い部分の端縁に沿って間隔をあけて複数設けられていてもよい。
この構成によれば、塗布液を対象物に吐出する際、間隔をあけて複数の塗布膜を対象物に同時に形成することができる。例えば、１つの基板に複数のパネルを作る場合、隣り合う２つのパネル間に隙間を容易に設けることができる。

本発明の一態様に係るノズルは、上記のシムを備えることを特徴とする。

この構成によれば、上記シムを備えることで、塗布幅を目標値に可及的に近づけることが可能なノズルを提供することができる。

本発明の一態様に係る塗布装置は、基板を搬送する基板搬送部と、上記ノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから塗布液を塗布する塗布部と、を含むことを特徴とする。

この構成によれば、上記ノズルを備えることで、塗布幅を厳密に管理し、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。

本発明によれば、塗布幅を目標値に可及的に近づけることが可能なシムおよびこれを備えたノズルを提供することを目的とする。加えて、このようなノズルを備えることで、塗布幅を厳密に管理し、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。

実施形態に係る塗布装置の斜視図。 実施形態に係る塗布装置の正面図。 実施形態に係るノズルの分解斜視図。 実施形態に係るノズルの正面図。 図４のＶ−Ｖ断面を含む図。 実施形態に係るノズルの下面図。 実施形態に係るノズルの作用を説明するための図。 実施形態に係るシムの正面図。 実施形態に係るシムの開口部の正面図。 実施形態に係るシムの開口部の作用を説明するための図。 実施形態の変形例に係るシムの開口部の正面図。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、基板５に塗布液を塗布する装置である。例えば、基板５は、液晶パネルなどに用いられるガラス基板である。基板５は、矩形板状をなしている。塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、塗布液を塗布する塗布部３と、塗布部３を管理する管理部４と、を備える。

＜基板搬送部＞
基板搬送部２は、Ｙ方向に長手を有する。基板搬送部２は、Ｙ方向に基板５を搬送する。Ｙ方向は、塗布装置１における基板搬送方向である。
基板搬送部２は、架台７、ステージ８および搬送機構９を備える。

＜架台＞
架台７は、Ｙ方向に長手を有する。架台７は、ステージ８及び搬送機構９を支持する。例えば、架台７は、床面上に載置されている。
架台７は、Ｘ方向の中央に位置する架台本体７ａと、架台本体７ａの−Ｘ方向側に位置する第一架台側部７ｂと、架台本体７ａの＋Ｘ方向側に位置する第二架台側部７ｃと、を備える。

架台本体７ａは、ステージ８を支持する。
第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃは、搬送機構９を支持する。第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれには、Ｙ方向に延在する一対の溝７ｄ，７ｅ（図２参照）が設けられている。

図２に示すように、一対の溝７ｄ，７ｅは、Ｘ方向に並んで配置されている。以下、一対の溝７ｄ，７ｅのうちＸ方向内側に位置する溝７ｄを「内溝７ｄ」、Ｘ方向外側に位置する溝７ｅを「外溝７ｅ」ともいう。内溝７ｄは、外溝７ｅよりも上方に位置している。内溝７ｄは、外溝７ｅよりもステージ８寄りに位置している。

＜搬送機構＞
搬送機構９は、基板５をＹ方向に搬送する。搬送機構９は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれの上部に一つずつ設けられている。搬送機構９は、ステージ８を挟んで一対設けられている。一対の搬送機構９は、ステージ８のＸ方向中央に対して線対称となっている。

図１に示すように、搬送機構９は、スライダ９ａと、基板５を保持する基板保持部９ｂと、ステージ８の側方でＹ方向に延びるレール９ｃと、を備える。
例えば、スライダ９ａは、リニアモータ（不図示）を内蔵している。スライダ９ａは、リニアモータの駆動によって、レール９ｃに沿って移動するようになっている。

図２に示すように、基板保持部９ｂは、基板５のＸ方向側の側縁部を片持ちで保持する。基板保持部９ｂは、基板５においてステージ８よりもＸ方向外側にはみ出した部分を保持する。
基板保持部９ｂは、スライダ９ａにおけるステージ８側の端部に設けられている。図１に示すように、基板保持部９ｂは、Ｙ方向に並んで複数（例えば本実施形態では４つ）設けられる。例えば、基板保持部９ｂには、基板５を吸着して保持する吸着パッド（不図示）が設けられていてもよい。

レール９ｃは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれにおけるステージ８側の上端部に設けられている。

各搬送機構９は、それぞれ独立して基板５を搬送可能である。そのため、第一架台側部７ｂ側の搬送機構９と、第二架台側部７ｃ側の搬送機構９とによって、異なる基板５を保持することができる。これにより、各搬送機構９によって基板５を交互に搬送することができるため、スループット（例えば、単位時間当たりの基板の搬送速度）を向上することができる。
なお、上記基板５の半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、２つの搬送機構９で基板を１枚ずつ保持することができるため、２つの搬送機構９をＹ方向に並進させることによって、２枚の基板を同時に搬送することができる。

＜塗布部＞
図１に示すように、塗布部３は、門型フレーム１０、ノズル５０、センサ１５、供給部２０および廃液部３０を備える。

＜門型フレーム＞
図２に示すように、門型フレーム１０は、Ｚ方向に延びる柱状をなす一対の支柱部材１０ａと、Ｘ方向に延びて一対の支柱部材１０ａの間をわたす架橋部材１０ｂと、を備える。
各支柱部材１０ａは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃにそれぞれ支持されている。

架橋部材１０ｂのＸ方向両端部は、一対の支柱部材１０ａの上端部にそれぞれ接続されている。これにより、門型フレーム１０は、ステージ８をＸ方向に跨ぐように設けられている。架橋部材１０ｂは、支柱部材１０ａに対してＺ方向に昇降可能（図２中矢印ｕ方向に移動可能）とされている。例えば、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられていてもよい。

門型フレーム１０は、フレーム移動機構１１に接続されている。フレーム移動機構１１は、Ｙ方向に延びるレール部材１２と、駆動機構１３と、を備える。
レール部材１２は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの外溝７ｅ内に１つずつ設けられている。
駆動機構１３は、門型フレーム１０に接続されている。塗布部３は、駆動機構１３の駆動によって、レール部材１２に沿ってＹ方向（図１中矢印ｎ方向）に移動可能とされている。

＜ノズル＞
図２に示すように、ノズル５０は、Ｘ方向（図中矢印ｖ方向）に長手を有する長尺状をなしている。ノズル５０は、スリットノズルである。ノズル５０は、門型フレーム１０の架橋部材１０ｂの下端部（−Ｚ方向側の端部）に着脱可能に取り付けられている。

＜センサ＞
架橋部材１０ｂの下端部には、Ｘ方向に沿って複数（例えば本実施形態では３つ）のセンサ１５が設けられている。センサ１５は、ノズル先端５１ａと、ノズル先端５１ａに対向する対向面（例えばノズル５０の下方に配置された基板５の上面）との間の距離（Ｚ方向の間隔）を測定する。

＜供給部＞
図１に示すように、供給部２０は、ノズル５０に塗布液を供給可能なポンプ２１と、ポンプ２１に塗布液を供給可能な供給源２２と、を備える。

供給源２２は、塗布液を貯留する貯留タンク２２ａを備える。貯留タンク２２ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管２４が接続されている。配管２４は、不図示のバルブを介して加圧源２３に接続されている。バルブの開閉制御によって、貯留タンク２２ａ内の圧力が調整される。供給源２２は、貯留タンク２２ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液をポンプ２１に向けて供給する。

例えば、塗布液は、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。本実施形態において、塗布液は、１〜１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液として、ポリイミドを含む液状体以外の液状体を用いてもよい。例えば、塗布液として、フォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。なお、塗布液の粘度は、例えば０.３Ｐａ以上２０Ｐａ・ｓ以下の範囲である。

供給部２０は、塗布液の供給路（流路）を形成する複数の配管２４〜２６を備える。上述の通り、塗布液は、供給源２２からノズル５０に向けて流れる。以下、塗布液が流れる方向において、供給源２２側を「上流側」、ノズル５０側を「下流側」ということがある。供給源２２は、上流側から順に、配管２５、ポンプ２１および供給配管２６を介してノズル５０に接続されている。

＜廃液部＞
廃液部３０は、ノズル５０からの廃液を貯留する第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２を備える。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２は、供給部２０を挟んでノズル５０の長手方向に離反している。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれには、塗布液の廃液路（流路）を形成する第一廃液配管３３および第二廃液配管３４が接続されている。ノズル５０からの廃液は、第一廃液配管３３および第二廃液配管３４のそれぞれを通じて第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれに向けて流れる。

＜管理部＞
管理部４は、基板５に吐出される塗布液の吐出量が一定になるようにノズル５０を管理する。図１に示すように、管理部４は、塗布部３よりも−Ｙ方向側に設けられている。管理部４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２、ノズル洗浄装置４３、収容部４４および保持部材４５を備える。

予備吐出機構４１は、塗布液を予備的に吐出する。例えば、予備吐出機構４１は、塗布部３が塗布処理領域に配置される状態で、ノズル５０に最も近くなる位置に設けられている。
ディップ槽４２の内部には、シンナーなどの溶剤が貯留されている。

ノズル洗浄装置４３は、ノズル５０の吐出口６０（図２参照）近傍をリンス洗浄する。ノズル洗浄装置４３は、Ｘ方向に移動する洗浄機構と、洗浄機構を移動させる移動機構（何れも不図示）と、を備える。

収容部４４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２およびノズル洗浄装置４３を収容している。
図２に示すように、収容部４４のＸ方向の長さは、門型フレーム１０の支柱部材１０ａ間の距離よりも小さい。門型フレーム１０は、収容部４４の上方で、収容部４４を跨いでＹ方向に移動可能とされている。門型フレーム１０を収容部４４の上方に移動した状態で、ノズル５０は、収容部４４内の予備吐出機構４１、ディップ槽４２及びノズル洗浄装置４３（図１参照）に接近可能である。

図２に示すように、保持部材４５は、収容部４４のＸ方向両端部を下方から支持している。
保持部材４５は、管理部移動機構４６に接続されている。管理部移動機構４６は、Ｙ方向に延びるレール部材４７と、駆動機構４８と、を備える。
レール部材４７は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの内溝７ｄ内に１つずつ設けられている。
駆動機構４８は、保持部材４５に接続されている。管理部４は、駆動機構４８の駆動によって、レール部材４７に沿ってＹ方向（図１中矢印ｍ方向）に移動可能とされている。

＜ノズル詳細＞
図４に示すように、ノズル５０は、長尺のノズル本体５１と、ノズル本体５１の上端に設けられた連結部材５２と、ノズル本体５１の長手方向（以下「ノズル長手方向」ともいう。）の両端に設けられた一対のサイドプレート５３，５４と、を備える。図１および図２においては、連結部材５２を簡略化して図示している。

図５の断面視で、ノズル本体５１は、Ｙ方向中央ほど下方に位置するように突出する下方突出部を備える。下方突出部の下端（以下「ノズル先端５１ａ」という。）には、塗布液を吐出する吐出口６０が形成されている。吐出口６０は、ノズル長手方向に延びている。

図５に示すように、ノズル本体５１には、塗布液を吐出する吐出口６０と、吐出口６０に連通する流路６１と、吐出口６０と流路６１とを接続する吐出用接続路６９と、流路６１に連通する脱気路６２（図４参照）と、流路６１に塗布液を供給させる供給路６３と、吐出口６０の幅を調整するための凹溝７２と、が設けられている。

図５に示すように、ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を備える。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６は、シム８０を挟んでＹ方向に対向して配置されている。ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５の面５５ｆ（Ｙ方向内側面）と、第二ノズル本体５６の面５６ｆ（Ｙ方向内側面）と、を対向させ、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６との間にシム８０を挟持した状態で組み立てられている。図３においては、シム８０を簡略化して図示している。

＜第一ノズル本体＞
図３に示すように、第一ノズル本体５５は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第一ノズル本体５５の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第一ノズル本体５５の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

例えば、第一ノズル本体５５は、ステンレス鋼などの金属材料で形成されている。図５に示すように、第一ノズル本体５５において、第二ノズル本体５６と対向する面５５ｆ（Ｙ方向内側面）には、ノズル５０において流路６１を構成する凹部５５ａが設けられている。すなわち、流路６１は、第一ノズル本体５５に設けられている。

図４に示すように、流路６１は、供給路６３に連通し、供給路６３から供給されるを分散させる分散路６４を含む。
分散路６４は、ノズル長手方向に沿って直線状に形成されている。分散路６４は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。

＜第二ノズル本体＞
図３に示すように、第二ノズル本体５６は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第二ノズル本体５６の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第二ノズル本体５６の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

例えば、第二ノズル本体５６は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。第二ノズル本体５６は、第一ノズル本体５５と同じ材料を用いて形成されている。第二ノズル本体５６において、第一ノズル本体５５と対向する面５６ｆ（Ｙ方向内側面）は、平面状となっている。第二ノズル本体５６には、ノズル５０において供給路６３および脱気路６２を構成する複数（例えば本実施形態では３つ）の貫通孔５６ａが設けられている。すなわち、供給路６３および脱気路６２は、第二ノズル本体５６に設けられている。

図５に示すように、供給路６３は、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、供給路６３は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に位置している。供給路６３は、第一ノズル本体５５の分散路６４の長手方向中央部に連通している。

図４に示すように、脱気路６２は、ノズル長手方向に離反して一対設けられている。一対の脱気路６２は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の両端部に位置している。以下、一対の脱気路６２のうちノズル長手方向において第二ノズル本体５６の第一端部に位置する脱気路６２ａを「第一脱気路６２ａ」、第二ノズル本体５６の第二端部に位置する脱気路６２ｂを「第二脱気路６２ｂ」ともいう。

図３に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第一ノズル本体５５の分散路６４の端部に連通している。第一脱気路６２ａは、第一ノズル本体５５の第一端部における分散路６４に接続されている。第二脱気路６２ｂは、第一ノズル本体５５の第二端部における分散路６４に接続されている。第一脱気路６２ａには、第一廃液配管３３（図１参照）が接続されている。第二脱気路６２ｂには、第二廃液配管３４（図１参照）が接続されている。

図３に示すように、第二ノズル本体５６において、供給路６３および脱気路６２の下方には、凹溝７２が設けられている。図５に示すように、凹溝７２は、第二ノズル本体５６のＹ方向外側面からＹ方向内側に向けて窪んでいる。図３に示すように、凹溝７２は、ノズル長手方向に延在する直線状をなしている。

＜ノズル本体の内部構造＞
図５の断面視で、ノズル本体５１においては、第一ノズル本体５５の凹部５５ａと第二ノズル本体５６の面５６ｆとで囲まれた空間が流路６１となる。図５の断面視で、凹部５５ａは、下方に向けて傾斜した長軸を有する楕円形状の一部を含む形状（楕円の円弧状）を有する。図５の断面視で、第一ノズル本体５５の面５５ｆと第二ノズル本体５６の面５６ｆとの間の隙間であって、流路６１と吐出口６０との間に形成される隙間は、吐出用接続路６９となる。

吐出口６０は、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６とシム８０とが組み合わされた状態において流路６１の−Ｚ側端部に形成された開口である。吐出口６０は、ノズル長手方向に沿ってスリット状に形成されている。
例えば、ノズル長手方向における吐出口６０の寸法は、基板５（図２参照）のＸ方向の寸法よりも小さくてもよい。これにより、基板５の周辺領域に塗布液が塗布されることを抑制することができる。

図５に示すように、ノズル本体５１においては、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されている。ノズル本体５１の内部には、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２に鋭角状をなす鋭角部５５ｂが設けられている。鋭角部５５ｂは、流路６１内の塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側へと供給する。

鋭角部５５ｂは、第一ノズル本体５５のうち吐出用接続路６９を構成する面５５ｆと流路６１の内壁面の一部とで構成されている。例えば、鋭角部５５ｂの角度Ａ１は、１５°以上９０°以下の範囲に設定するのが好ましい。これにより、鋭角部５５ｂにおいて塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側に送り込むことが可能となる。塗布液の切り出しを効果的に行う観点からは、鋭角部５５ｂの角度Ａ１は、２０°以上４０°以下の範囲に設定するのがより好ましい。

＜連結部材＞
図５に示すように、連結部材５２は、ノズル本体５１の吐出口６０とは反対側の面（上面）に設けられている。連結部材５２は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結する。図４に示すように、連結部材５２は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。例えば、連結部材５２は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。連結部材５２は、ノズル本体５１と同じ材料を用いて形成されている。

連結部材５２は、ノズル本体５１の上面の外形と同一の外形の矩形板状をなす天板である。図３に示すように、連結部材５２の四隅のそれぞれには、連結部材５２を厚み方向に貫通する貫通孔５２ｈが設けられている。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６のそれぞれの上面の隅部には、各貫通孔５２ｈに対応する位置に雌ネジ部５５ｍ，５６ｍが設けられている。例えば、連結部材５２の各貫通孔５２ｈにボルト（不図示）を挿通して第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６の各雌ネジ部５５ｍ，５６ｍに螺着することによって、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結することができる。連結部材５２の上面には、供給部２０および廃液部３０が設けられている（図２参照）。

＜サイドプレート＞
図４に示すように、一対のサイドプレート５３，５４は、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に位置している。以下、一対のサイドプレート５３，５４のうちノズル長手方向においてノズル本体５１の第一端部に位置するサイドプレート５３を「第一サイドプレート５３」、ノズル本体５１の第二端部に位置するサイドプレート５４を「第二サイドプレート５４」ともいう。

図３に示すように、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ノズル本体５１をＹ方向に見た断面の輪郭形状と同一の形状を有している。例えば、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。

第一サイドプレート５３は、流路６１および凹溝７２の第一端部側を閉じる板部材である。
第二サイドプレート５４は、流路６１および凹溝７２の第二端部側を閉じる板部材である。

＜調整機構＞
図６に示すように、第二ノズル本体５６には、吐出口６０の幅を調整可能な調整機構７０が設けられている。図６においては、ノズル本体５１における第二サイドプレート５４の側の端部を示す。図示はしないが、ノズル本体５１における第一サイドプレート５３の側の端部においても、第二サイドプレート５４の側の端部と同一の構成を有するため、説明を省略する。

調整機構７０は、ノズル長手方向に並ぶ複数の調整部材７１を備える。図５に示すように、各調整部材７１は、Ｚ方向で凹溝７２と重なる位置に位置されている。各調整部材７１は、供給路６３および脱気路６２（図４参照）を避けた位置に配置されている。例えば、調整部材７１は、調整ネジである。

例えば、調整部材７１を回動させることより、凹溝７２の側壁面を押圧して吐出口６０の幅を調整することができる。図６に示すように、隣り合う２つの調整部材７１の間隔は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど狭くなっている。すなわち、複数の調整部材７１は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど密になるように配置されている。複数の調整部材７１は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の両端部以外の部分（ノズル長手方向中央寄りの部分）において等間隔に配置されている。

＜塗布動作＞
塗布装置１の塗布動作の一例について説明する。
図１に示すように、まず、塗布装置１の塗布動作においては、基板５をステージ８に搬入する。
次に、搬送機構９を用いて基板５を搬送しつつ塗布液を塗布する。
そして、塗布液を塗布した基板５を搬出する。このような動作を、一対の搬送機構９を用いて交互に行う。

例えば、ステージ８に搬入された基板５を基板保持部９ｂで保持した後、スライダ９ａをレール９ｃに沿ってＹ方向に移動させる。基板５は、スライダ９ａの移動に伴ってＹ方向に移動する。

基板５の搬送方向先端がノズル５０の吐出口６０（図２参照）の位置に到達したとき、ノズル５０の吐出口６０から基板５へ向けて塗布液を吐出する。塗布液の吐出は、ノズル５０の位置を固定させた状態で、スライダ９ａによって基板５を搬送させることで、吐出口６０と基板５の上面との相対位置を変更しながら行う。

＜ノズルの作用＞
図７は、第一実施形態に係るノズル５０の作用を説明するための図である。図７においては、連結部材５２、供給部２０および廃液部３０などの図示を省略する。
図１に示すポンプ２１を用い、ノズル５０に接続された供給配管２６を介して、ノズル５０に塗布液が供給される。図７に示すように、塗布液は、供給配管２６（図１参照）から供給路６３を経て流路６１内に供給される。流路６１内に供給された塗布液は、ノズル長手方向における流路６１の両端端側に素早く充填される。

塗布液は、ポンプ２１（図１参照）により加圧されているため、吐出用接続路６９に向けて押し出される。図７では、吐出用接続路６９に向けて押し出される塗布液を符号ＬＡで示し、脱気路６２に向けて押し出される塗布液を符号ＬＢで示している。

このとき、ノズル５０は、図５の断面視で、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されているため、流路６１内が加圧されないと塗布液が吐出用接続路６９の中に流入し難くなる。そのため、流路６１内に供給された塗布液がすぐに吐出用接続路６９に流入することなく、まず流路６１の全域にわたって充填され、内圧が高まったうえで吐出用接続路６９に流入することとなる。したがって、ノズル長手方向における吐出口６０の全域において塗布液の吐出量に差が出にくく、ムラなく塗布液を塗布することができる。

ところで、本実施形態で用いる塗布液は、チキソトロピー（thixotropy）性を有している。そのため、塗布液に対してずり（ひずみ）をかけると、塗布液の高分子鎖がのびて、からまっていた高分子鎖がほどけることで抵抗（粘性）が低下する。
一般的にずりを大きくすると、高分子鎖が各所で切断（構造破壊）され、粘性がさらに低下してしまう。一度、切断された高分子鎖はなかなか元に戻らないため、ずりを除去しても粘性はしばらく低下したままとなってしまう。特に塗布液として粘度が高い塗布液を用いると、ずりによって塗布量にバラつきが生じるといった問題が発生する。

これに対し、本実施形態のノズル５０は、図５に示したように、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２に鋭角部５５ｂを備える。鋭角部５５ｂは塗布液を切り出しながら吐出用接続路６９側へと送り込む。鋭角部５５ｂにより切り出された塗布液には上述のずりが与えられないため、ずりを塗布液に与えることなく塗布を行うことが可能である。つまり、本実施形態のノズル５０においては、塗布液のチキソトロピー性を考慮する必要がない。

さらに、上述のように、ノズル５０においては、流路６１の内壁における最も低い位置Ｐ１が、吐出用接続路６９と流路６１との接続位置Ｐ２よりも低くなるように形成されており、流路６１内に充填された塗布液の圧力が高まりやすい。高まった圧力は、塗布液を好適に脱気路６２に向けて押し出すため、上述の鋭角部５５ｂによる切り出し効果を得やすくすることができる。また、上述した高まった圧力は、図７に示すように塗布液ＬＢと共に気泡の排出を促すことができる。

塗布液ＬＢは、このように脱気路６２内を流動し、廃液配管３３，３４を介して廃液ボトル３１，３２に排出される（図１参照）。廃液配管３３，３４は、塗布液ＬＢに含まれる気泡を流通させる脱気配管としても機能する。

一方、流路６１内に塗布液を供給するポンプ２１（図１参照）が、流路６１内の塗布液を加圧し、この加圧によって塗布液が吐出用接続路６９に押し出される。吐出用接続路６９に押し出された塗布液ＬＡは、鋭角部５５ｂにより切り出されることで上述のずりが与えられない状態で吐出口６０から吐出される。したがって、本実施形態によれば、塗布液ＬＡのチキソトロピー性を考慮せずに、ムラの発生を抑えた塗布を行うことができる。

上述のように塗布液に含まれる気泡は、脱気路６２を介して外部に排出されるため、吐出口６０からは、好適に気泡が除かれた塗布液ＬＡが吐出される。

ノズル５０においては、供給路６３および脱気路６２がそれぞれ直線状に形成されているため、以上のような塗布液ＬＡ，ＬＢの流動が滞りなく円滑に行われる。

図１に示すように、ノズル５０から吐出される塗布液は、基板５の移動に伴い、基板５上に塗布される。すなわち、基板５が塗布を吐出する吐出口６０（図２参照）の下を通過することにより、基板５の所定の領域に塗布膜が形成される。

＜シム＞
図８に示すように、シム８０は、Ｘ方向（ノズル長手方向）に長手を有している。シム８０は、ノズル長手方向および上下方向（Ｚ方向）の全域にわたって一様の厚みを有する（図５参照）。シム８０は、シム８０の延在方向におけるシム８０の中心位置（Ｘ方向中心位置）を基準として、シム８０の延在方向において対称な形状を有する。シム８０は、ノズル長手方向に延在する板状のシム本体８１と、シム本体８１においてノズル５０の先端に向けて開口する開口部８２と、を有する。

開口部８２は、シム８０においてノズル５０の先端に最も近い部分の端縁に沿って間隔をあけて複数設けられている。図８の例では、９つの開口部８２が配置されている。９つの開口部８２は、シム８０の延在方向の中央位置に配置された１つの開口部８２Ａ（以下「中央開口部８２Ａ」ともいう。）と、中央開口部８２Ａを挟んでシム８０の延在方向両側に４つずつ配置された開口部８２Ｂ（以下「側部開口部８２Ｂ」ともいう。）と、である。側部開口部８２Ｂは、中央開口部８２Ａよりも大きい開口幅を有する。８つの側部開口部８２Ｂは、互いに実質的に同じ開口幅を有する。

＜開口部＞
以下、開口部８２の詳細について側部開口部８２Ｂを挙げて説明する。中央開口部８２Ａは、開口幅の大きさ以外は側部開口部８２Ｂと同様の構成を有するため詳細説明は省略する。
図９に示すように、側部開口部８２Ｂ（以下単に「開口部８２」ともいう。）は、ノズル５０の先端（図７参照）に最も近い部分（すなわち下端）において最大幅を有する。例えば、開口部８２の開口幅Ｗ（最大幅）は、９０ｍｍ程度に設定されている。

開口部８２は、ノズル５０の先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有する。具体的に、開口部８２は、ノズル５０の先端から最も遠い部分（すなわち上端）において最小幅を有する。開口部８２は、ノズル５０の先端から最も遠い部分からノズル５０の先端に近くなるに従って漸次広くなっている。図９の正面視で、開口部８２は、開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分を底辺とする等脚台形形状を有する。開口部８２は、ノズル５０の先端から最も遠い部分である上辺８３と、一対の脚（開口部８２の長手方向両端部）である第一側辺８４および第二側辺８５とによって画定されている。

ここで、開口部８２においてノズル５０の先端から最も遠い部分の一端（上辺８３の一端）をＫ１とする。開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分の一端（開口部８２の開口側の角部頂点）のうち、Ｋ１と同じ側に位置する一端をＫ２とする。シム８０においてノズル５０の先端に最も近い部分の端縁上の点をＫ３とする。Ｋ１とＫ２とを結ぶ線分と、Ｐ２とＰ３とを結ぶ線分とのなす角度をＧとする。本実施形態において、角度Ｇは、９１°以上９６°以下である。塗布幅を目標値に近づける観点からは、角度Ｇは、９１°以上９２°以下の範囲に設定するのがより好ましい。

＜シムの開口部の作用＞
図１０は、実施形態に係るシム８０の開口部８２の作用を説明するための図である。
塗布液がシム８０の開口部８２に流出すると、塗布液は開口部８２の第一側辺８４および第二側辺８５に案内されて上辺８３から下端開口に向かう。本実施形態では、シム８０の開口部８２がノズル５０の先端に最も近い部分において最大幅を有することで、開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分には最も広い空間が形成される。そのため、開口部８２から吐出される塗布液が表面張力（毛細管現象）によって第一側辺８４および第二側辺８５に引っ張られる。すると、開口部８２から吐出される塗布液は開口部８２の第一側辺８４および第二側辺８５ではその場にとどまりやすくなる。これにより、塗布液は、開口部８２の長手方向中央部（開口幅中央部）において下方に凸をなすように湾曲して膨出する。

すなわち、開口部８２から吐出される塗布液は、開口部８２の長手方向中央部では所定の単位流量（開口部８２の長手方向における単位長さ当たりの流量）で吐出される。一方、開口部８２から吐出される塗布液は、開口部８２の第一側辺８４および第二側辺８５の近傍ではその場にとどまる分だけ単位流量よりも減少した流量で吐出される。これにより、塗布液を対象物に吐出する際、単位流量からの減少分だけ塗布幅の広がりを抑えることができる。図中符号Ｄは、第一側辺８４および第二側辺８５の近傍において減少する塗布幅を示す。

以上のように、本実施形態のシム８０は、スリット状の吐出口６０を有するノズル５０に内蔵されるシム８０であって、ノズル５０の先端に向けて開口する開口部８２を有し、開口部８２は、ノズル５０の先端に最も近い部分において最大幅を有し、かつ、ノズル５０の先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有する。

この構成によれば、シム８０の開口部８２がノズル５０の先端に最も近い部分において最大幅を有しかつノズル５０の先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有することで、開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分には最も広い空間が形成される。そのため、開口部８２から吐出される液体（塗布液）が表面張力（毛細管現象）によって開口部８２の長手方向両端部に引っ張られる。すると、開口部８２から吐出される塗布液は開口部８２の長手方向両端部ではその場にとどまりやすくなる。すなわち、開口部８２から吐出される塗布液は、開口部８２の長手方向中央部では所定の単位流量（開口部８２の長手方向における単位長さ当たりの流量）で吐出される一方、開口部８２の長手方向両端部近傍ではその場にとどまる分だけ単位流量よりも減少した流量で吐出される。これにより、塗布液を対象物に吐出する際、塗布幅が目標値よりも広くなりやすい傾向があっても、単位流量からの減少分だけ塗布幅の広がりを抑えることができる。したがって、塗布幅を目標値に可及的に近づけることができる。

開口部８２は、ノズル５０の先端から最も遠い部分において最小幅を有し、かつ、ノズル５０の先端から最も遠い部分から前記ノズル５０の先端に近くなるに従って漸次広くなっている。
この構成によれば、開口部８２においてノズル５０の先端から最も遠い部分からノズル５０の先端に最も近い部分にわたって塗布液をスムーズに吐出することができる。

開口部８２においてノズル５０の先端から最も遠い部分の一端をＫ１とし、開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分の一端のうち、Ｋ１と同じ側に位置する一端をＫ２とし、シム８０においてノズル５０の先端に最も近い部分の端縁上の点をＫ３とし、Ｋ１とＫ２とを結ぶ線分と、Ｋ２とＫ３とを結ぶ線分とのなす角度をＧとしたとき、角度Ｇは、９１°以上９６°以下である。
この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

開口部８２は、開口部８２においてノズル５０の先端に最も近い部分を底辺とする等脚台形形状を有している。
この構成によれば、開口部８２の長手方向両端部において互いに同等の塗布液がその場にとどまるため、塗布液を対象物に吐出する際に塗布幅の広がりを開口部８２の長手方向両端部においてバランスよく抑えることができる。したがって、塗布膜の膜厚、膜端の形状（エッジプロファイル）を均一にしやすい。

開口部８２を流れる塗布液は、０．３Ｐａ・ｓ以上２０Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する。
この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

開口部８２は、シム８０においてノズル５０の先端に最も近い部分の端縁に沿って間隔をあけて複数設けられている。
この構成によれば、塗布液を対象物に吐出する際、間隔をあけて複数の塗布膜を対象物に同時に形成することができる。例えば、１つの基板に複数のパネルを作る場合、隣り合う２つのパネル間に隙間を容易に設けることができる。

本実施形態のノズル５０は、上記のシム８０を備える。

この構成によれば、上記シム８０を備えることで、塗布幅を目標値に可及的に近づけることが可能なノズル５０を提供することができる。

本実施形態の塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、上記ノズル５０を備え、搬送される基板５にノズル５０から塗布液を塗布する塗布部３と、を含む。

この構成によれば、上記ノズル５０を備えることで、塗布幅を厳密に管理し、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置１を提供することができる。

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、搬送機構９が基板５をＹ方向に搬送する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、駆動機構１３は、ノズル５０を門型フレーム１０と共にＹ方向に移動してもよい。例えば、基板５を定位置に配置し、ノズル５０のみをＹ方向に移動してもよい。すなわち、基板５とノズル５０とは、Ｙ方向に相対的に移動可能であってもよい。

上記実施形態においては、供給路６３をノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に配置した例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、供給路６３をノズル長手方向における第一ノズル本体５５の端部に配置してもよい。

上記実施形態においては、分散路６４がノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、第一ノズル本体５５の長手方向において対称な形状を有している例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、分散路６４がノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、第一ノズル本体５５の長手方向において非対称な形状を有していてもよい。

上記実施形態においては、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられていなくてもよい。例えば、ノズル本体５１の上面を供給部２０および廃液部３０の設置スペースとして活用してもよい。

上記実施形態においては、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に一対のサイドプレート５３，５４が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部にサイドプレートが設けられていなくてもよい。

上記実施形態においては、第二ノズル本体５６に吐出口６０の幅を調整可能な調整機構７０を設けた例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二ノズル本体５６に調整機構７０が設けられていなくてもよい。例えば、調整機構７０は、第一ノズル本体５５に設けられていてもよい。例えば、厚みの異なる複数のシムを用意しておき、シムを取り替えることで、吐出口６０の幅を調整してもよい。

上記実施形態においては、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ステージ８には、基板５を昇降可能な昇降ピンが設けられていていてもよい。

上記実施形態においては、開口部８２は、開口部８２においてノズルの先端に最も近い部分を底辺とする等脚台形形状を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１１に示すように、開口部１８２は、ノズルの先端から最も遠い部分とノズルの先端寄りの部分との間にわたって一定の幅を有する定幅開口部１８２ａと、定幅開口部１８２ａに連なり、ノズルの先端寄りの部分からノズルの先端に近くなるに従って漸次広くなる幅を有する拡幅開口部１８２ｂと、を有してもよい。

この構成によれば、塗布液は、定幅開口部１８２ａでは開口部１８２の長手方向の全域にわたって単位流量で一様に通過する一方、拡幅開口部１８２ｂでは開口部１８２の長手方向両端部近傍で単位流量よりも減少した流量で通過する。すなわち、定幅開口部１８２ａから拡幅開口部１８２ｂに移るタイミングで開口部１８２の長手方向両端部近傍における塗布液の通過量を減少することができる。したがって、塗布液の種類、シムの材質等の要求仕様に対応しやすい。

開口部１８２は、ノズルの先端寄りの部分からノズルの先端に近くなるに従って漸次外側に位置するように傾斜する傾斜部１８６を有する。ここで、シムの延在方向およびシムの厚み方向のそれぞれと直交する方向における傾斜部１８６の高さをＨとする。すなわち、傾斜部１８６の高さＨは、傾斜部１８６のＺ方向成分の長さである。このとき、傾斜部１８６の高さＨは、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下であってもよい。

この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる。

ここで、シムの延在方向における傾斜部１８６の幅をＩとする。すなわち、傾斜部１８６の幅ＩはＸ方向の長さである。このとき、傾斜部１８６の幅Ｉは、Ｈ／１０からＨ／２の範囲であってもよく、Ｈ／６からＨ／３の範囲であってもよい。例えば、傾斜部１８６の高さＨが４ｍｍのとき、傾斜部１８６の幅Ｉは１ｍｍに設定される。

この構成によれば、塗布幅を目標値により一層近づけることができる（表１参照）。

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

本発明者は、シムの開口部を所定の形状にすることによって塗布幅を目標値に可及的に近づけることができることを以下の評価により確認した。

（評価内容）
塗布液が流出するシムの開口部として以下の比較例１〜３および実施例１〜３に係る開口部を有するシムを用い、塗布幅が目標値にどれほど近づいたかを示す塗布幅の「目標値との差」、対象物に塗布された塗布液（塗布膜）の端縁形状の評価を示す「エッジ波打ち」の有無、目標厚みに対する塗布膜の厚みの評価を示す塗布膜の「プロファイル」をそれぞれ評価した。開口部に供給する塗布液の粘度は、５Ｐａ・ｓとした。開口部の開口幅は、９０ｍｍとした。

（比較例１）
比較例１のシムは、矩形形状の開口部を有するものを用いた。すなわち、比較例１においては、開口部の開口側の角部の角度（開口部の角度Ｇに相当）は９０°である。

（実施例１）
実施例１のシムは、等脚台形形状の開口部を有し、開口部の角度Ｇが９１°であるものを用いた。

（実施例２）
実施例２のシムは、等脚台形形状の開口部を有し、開口部の角度Ｇが９２°であるものを用いた。

（実施例３）
実施例３のシムは、矩形形状の開口部を有するシムの開口部の開口側の角部を１ｍｍ×４ｍｍで面取りしたものを用いた。すなわち、実施例３においては、図１１に示す変形例の傾斜部の幅Ｉを１ｍｍ、傾斜部の高さＨを４ｍｍとしたもの（開口部の開口側の角部をＸ方向１ｍｍ、Ｚ方向４ｍｍだけ面取りしたもの）を用いた。

（評価結果）
塗布幅の「目標値との差」の評価結果については、比較例１を基準とした場合、実施例１〜３が良好な結果となった。ここで、塗布幅をｘ１とし、目標値をｘ２としたとき、目標値との差ｄｘは、以下の式（１）により算出した。
ｄｘ＝ｘ２−ｘ１ ・・・（１）
式（１）より、塗布幅ｘ１が目標値ｘ２よりも広いときは、目標値との差ｄｘはプラスとなる。一方、塗布幅ｘ１が目標値ｘ２よりも狭いときは、目標値との差ｄｘはマイナスとなる。
塗布膜の「エッジ波打ち」の評価結果については、実施例１〜２が良好な結果となった。表１においては、エッジ波打ちが生じていれば「有」、エッジ波打ちが抑制されていれば「無」とした。
塗布膜の「プロファイル」の評価結果については、実施例２が良好な結果となった。ここで、塗布膜の厚みをｚ１とし、目標厚みをｚ２としたとき、塗布膜のプロファイルｄｚは、以下の式（２）より算出した。
ｄｚ＝（ｚ１／ｚ２）×１００ ・・・（２）
式（２）より、プロファイルｄｚが１００％に近づくほど良好な結果となる。

以上により、開口部の角度Ｇが９１°以上９６°以下であるシム（実施例１〜３）を用いることによって、塗布幅を目標値に可及的に近づけることができることが分かった。
また、等脚台形形状の開口部を有し、開口部の角度Ｇが９１°または９２°であるシム（実施例１、実施例２）を用いることによって、塗布幅を目標値に可及的に近づけるとともに塗布膜のエッジ波打ちを抑制することができることが分かった。
また、開口部の角度Ｇが９２°であるシム（実施例２）を用いることによって、塗布幅を目標値に可及的に近づけるとともに塗布膜のエッジ波打ちを抑制しかつ塗布膜の良好なプロファイルを得られることが分かった。

１…塗布装置 ２…基板搬送部 ３…塗布部 ５…基板 ５０…ノズル ６０…吐出口 ８０…シム ８２…開口部 １８２…開口部 １８２ａ…定幅開口部 １８２ｂ…拡幅開口部 １８６…傾斜部

Claims (10)

1. スリット状の吐出口を有するノズルに内蔵されるシムであって、
   前記ノズルの先端に向けて開口する開口部を有し、
   前記開口部は、前記ノズルの先端に最も近い部分において最大幅を有し、かつ、前記ノズルの先端から離れた部分の少なくとも一部において前記最大幅よりも狭い幅を有する
   シム。
2. 前記開口部は、前記ノズルの先端から最も遠い部分において最小幅を有し、かつ、前記ノズルの先端から最も遠い部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次広くなっている
   請求項１に記載のシム。
3. 前記開口部において前記ノズルの先端から最も遠い部分の一端をＫ１とし、
   前記開口部において前記ノズルの先端に最も近い部分の一端のうち、前記Ｋ１と同じ側に位置する一端をＫ２とし、
   前記シムにおいて前記ノズルの先端に最も近い部分の端縁上の点をＫ３とし、
   前記Ｋ１と前記Ｋ２とを結ぶ線分と、前記Ｋ２と前記Ｋ３とを結ぶ線分とのなす角度をＧとしたとき、
   前記角度Ｇは、９１°以上９６°以下である
   請求項２に記載のシム。
4. 前記開口部は、前記開口部において前記ノズルの先端に最も近い部分を底辺とする等脚台形形状を有する
   請求項２または３に記載のシム。
5. 前記開口部は、
   前記ノズルの先端から最も遠い部分と前記ノズルの先端寄りの部分との間にわたって一定の幅を有する定幅開口部と、
   前記定幅開口部に連なり、前記ノズルの先端寄りの部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次広くなる幅を有する拡幅開口部と、を有する
   請求項１に記載のシム。
6. 前記開口部は、前記ノズルの先端寄りの部分から前記ノズルの先端に近くなるに従って漸次外側に位置するように傾斜する傾斜部を有し、
   前記シムの延在方向および前記シムの厚み方向のそれぞれと直交する方向における前記傾斜部の高さをＨとしたとき、
   前記傾斜部の高さＨは、３ｍｍ以上５０ｍｍ以下である
   請求項１から５のいずれか一項に記載のシム。
7. 前記開口部を流れる塗布液は、０．３Ｐａ・ｓ以上２０Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する
   請求項１から６のいずれか一項に記載のシム。
8. 前記開口部は、前記シムにおいて前記ノズルの先端に最も近い部分の端縁に沿って間隔をあけて複数設けられている
   請求項１から７のいずれか一項に記載のシム。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載のシムを備える
   ノズル。
10. 基板を搬送する基板搬送部と、
    請求項９に記載のノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから塗布液を塗布する塗布部と、を含む
    塗布装置。

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