KR102353648B1 - 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 장치는, 기판이 제공되는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 스테이지의 길이 방향으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리; 상기 수직 방향 갠트리의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리를 가로질러 회전 방향으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 인쇄재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이; 상기 슬롯 다이를 상기 수평 방향 갠트리의 일측에 연결하도록 제공되며, 상기 슬롯 다이의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제1 이동 부재; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원; 상기 광원을 상기 수평 방향 갠트리의 타측에 연결하도록 제공되며, 상기 광원의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제2 이동 부재; 상기 슬롯 다이의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이 내부의 압력을 조절하는 밸브; 상기 슬롯 다이와 연결되며, 상기 슬롯 다이로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프; 및 상기 펌프와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터를 포함하고, 상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법{Slot die coating device and method for printing substrate}
본 발명은 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 슬롯 다이 코팅 시 기판 모델 분석을 사용하여 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 임의의 형상 코팅 인쇄 및 굴곡 있는 면을 갖는 기판에 대한 코팅 인쇄를 통해 다양한 형상의 디스플레이를 제조 가능한 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법에 관한 것이다.
대형 TV를 비롯한 컴퓨터 모니터, 각종 휴대기기 및 각종 의료기기를 비롯한 전자산업 내의 디스플레이 시장은 나날이 수요가 증대되고 있다. 디스플레이 제조 공정 중의 하나인 자외선 경화형 접착제로 사용되는 광학 수지(OCR: optically clear resin)의 도포 공정은 기판 위에 OCR을 도포하는 공정으로 균일한 코팅두께를 얻는 것이 디스플레이의 품질에 매우 중요하다.
OCR을 코팅하는 공정은 코팅액을 계량하는 방법에 따라서 스핀 코팅(spin coating)과 커튼 코팅(curtain coating), 슬라이드 코팅(slide coating), 슬롯 코팅(slot coating) 등이 존재한다. 이들 코팅 공정 중 슬롯 코팅은 노즐이 기판 위를 직선으로 이동하여 코팅액을 분출하여 막을 형성시키는 방식으로, 스핀 코팅 방식에 비해 코팅액의 사용량이 감소한다는 장점으로 인해 대형 기판의 코팅에 널리 이용된다. 따라서, 디스플레이가 대형화되어 가는 추세에 따라, 상술한 OCR 코팅 공정으로 슬롯 코팅 방식이 가장 많이 활용되고 있다.
한편, 대한민국 등록특허공보 제10-2007653호는 코팅 폭 조절이 가능한 슬롯 다이 장치에 관하여 개시하고 있으나, 여전히 다양한 분야에서 요구되는 다양한 형상의 디스플레이 생산에 대한 기민한 대처는 잘 이루어지지 못하고 있다. 이에 따라, 슬롯 다이(slot die)를 이용하는 슬롯 코팅 방식(이하 “슬롯 다이 코팅 방식”이라 함)에서 코팅 균일도를 일정하게 유지할 수 있으면서도 코팅 폭의 변화 및 코팅 면의 굴곡 변화에 대한 현장의 다양한 요구를 만족시킬 수 있는 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법이 필요한 실정이다.
대한민국 등록특허공보 제10-2007653호 (공고일자 2019.08.07)
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 슬롯 다이 코팅 방식에서 기판 모델 분석을 사용하여 코팅 균일도를 일정하게 유지 가능하면서도 코팅 폭의 변화 및 코팅 면의 굴곡 변화를 갖는 기판에 대한 코팅 인쇄가 가능한 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 특징에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치는, 기판이 제공되는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 스테이지의 길이 방향으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리; 상기 수직 방향 갠트리의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리를 가로질러 회전 방향으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 인쇄재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원; 상기 슬롯 다이의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이 내부의 압력을 조절하는 밸브; 상기 슬롯 다이와 연결되며, 상기 슬롯 다이로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프; 및 상기 펌프와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터를 포함하고, 상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 특징에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치는, 기판이 제공되는 스테이지; 상기 스테이지 상에서 상기 스테이지의 길이 방향으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리; 상기 수직 방향 갠트리의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리를 가로질러 회전 방향으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 인쇄재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이; 상기 슬롯 다이를 상기 수평 방향 갠트리의 일측에 연결하도록 제공되며, 상기 슬롯 다이의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제1 이동 부재; 상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원; 상기 광원을 상기 수평 방향 갠트리의 타측에 연결하도록 제공되며, 상기 광원의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제2 이동 부재; 상기 슬롯 다이의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이 내부의 압력을 조절하는 밸브; 상기 슬롯 다이와 연결되며, 상기 슬롯 다이로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프; 및 상기 펌프와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터를 포함하고, 상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 특징에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 방법은, 인쇄 재료를 충전하는 단계; 슬롯 다이를 사용하여 기판 상에 상기 인쇄 재료를 코팅 인쇄하여 필름을 형성하는 단계; 상기 코팅된 필름에 자외선(UV)을 노광을 하는 단계; 상기 코팅된 필름의 두께를 측정하는 단계; 상기 코팅된 필름을 이용하여 상기 기판과 타 기판을 합착하는 단계; 및 상기 합착된 기판의 상기 코팅된 필름에 대한 검사를 수행하는 단계를 포함하고, 상기 필름을 형성하는 단계는 상기 기판에 대한 모델 분석을 수행하는 단계; 상기 모델 분석에 따라 슬롯 다이 코팅 장치의 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계; 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하는 단계; 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계; 및 상기 코팅 인쇄를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법은 다음과 같은 효과를 제공한다.
1. 인쇄 대상 기판의 모델 분석을 기반으로 한 구동 축 지정 및 지정된 구동 축의 이동에 대한 파라미터 값을 산출하고, 이를 기반으로 코팅 인쇄 경로를 결정하므로 슬롯 다이 코팅 장치의 정밀한 제어가 가능하여 코팅 인쇄의 정확도를 높일 수 있다.
2. 코팅 폭의 변화 및 코팅 면의 굴곡 변화를 반영한 코팅 인쇄를 통해 폭 넓은 분야에서의 다양한 형상을 갖는 디스플레이 제조가 가능하게 된다. 그에 따라, OCR 코팅 공정의 응용분야가 확대되고, 기존의 OCA 대신 OCR을 사용할 수 있게 되어 디스플레이 제조 원가가 절감될 수 있다.
3. 인쇄 패턴 폭 변경 시 토출량과 코팅량을 매칭하기 위한 제어가 포함됨으로써 코팅 균일도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
4. 인쇄 대상 기판의 모델 분석을 기반으로 한 구동 축 지정 및 지정된 구동 축의 이동에 대한 파라미터 값을 산출하고, 이를 기반으로 자외선(UV) 노광을 수행하므로 인쇄 대상 기판의 굴곡 가공성이 우수하여 노광 공정에서의 불량률을 낮출 수 있다.
5. 상술한 인쇄 대상 기판의 모델 분석 기반 코팅 인쇄 경로 결정 방법을 통해 디스플레이 제조 시 코팅 폭의 변화 및 코팅 면의 굴곡 변화에 대한 신속한 대응이 가능하며, 상기 기판 모델 분석에 따라 생성된 파라미터 값을 사용자가 입력을 통해 직접 변경하는 것이 가능하여 공정 시간이 단축되고 공정 편의가 증대될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 방법의 플로우차트이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판에 필름을 형성하는 구체적인 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 입력을 통해 구동 축에 대한 파라미터 값을 변경하는 과정을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판에 필름 형성 시 코팅 인쇄 형상 및 기판 굴곡과 관련된 차원에 따라서 지정되는 구동 축들을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅 인쇄 형상 및 기판 굴곡과 관련된 차원에 따른 기판의 예시적인 모습들을 각각 도시한 도면이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 입력을 통한 파라미터 값 변경이 인쇄 경로 변경에 반영되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 인터페이스에서 도 7a의 인쇄 경로 변경을 위해 파라미터 값을 변경하는 모습을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅된 필름에 자외선 노광을 하는 구체적인 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅된 필름에 자외선 노광 시 기판 굴곡과 관련된 차원에 따라서 지정되는 구동 축들을 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 대해서 실시예 및 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 그러나, 이하의 설명은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 장치(100)는, 기판(미도시)이 제공되는 스테이지(10); 상기 스테이지(10) 상에서 상기 스테이지(10)의 길이 방향(X축 방향)(2)으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리(51); 상기 수직 방향 갠트리(51)의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리(51)를 가로질러 회전 방향(θ축 방향)(8)으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리(52); 상기 수평 방향 갠트리(52)에 제공되며, 인쇄 재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이(110); 상기 슬롯 다이(110)를 상기 수평 방향 갠트리(52)의 일측에 연결하도록 제공되며, 상기 슬롯 다이(110)의 수평 방향(Y축 방향)(4) 및 수직 방향(Z축 방향)(6)의 이동을 제어하는 제1 이동부재(53); 상기 수평 방향 갠트리(52)에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원(120); 상기 광원(120)을 상기 수평 방향 갠트리(52)의 타측에 연결하도록 제공되며, 상기 광원(120)의 수평 방향(Y축 방향(4) 및 수직 방향(Z축 방향)(6)의 이동을 제어하는 제2 이동부재(54); 상기 슬롯 다이(110)의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이(110) 내부의 압력을 조절하는 밸브(140); 상기 슬롯 다이(110)와 연결되며, 상기 슬롯 다이(110)로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프(130); 및 상기 펌프(130)와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터(150)를 포함하고, 상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이(110)의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 스테이지(10)의 길이 방향은 X축 방향(2)으로, 수평 방향(즉, 스테이지(10)의 너비 방향)은 Y축 방향(4)으로, 수직 방향(즉, 스테이지(10)의 높이 방향)은 Z축 방향(6)으로, 수평 방향, 즉, Y축 방향(4)을 중심축으로 한 회전 방향은 θ축 방향(8)으로 기재한다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치(100)는 Y축 방향(4)으로 스테이지(10)와 일정 간격 이격되어 스테이지(10)의 양측에 Z축 방향(6)으로 각각 수직하게 연장되어 제공되는 수직 방향 갠트리(51)와, 상기 수직 방향 갠트리(51)의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리(51)를 가로질러 회전 방향(θ축 방향)(8)으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리(52)를 포함한다. 이러한 수직 방향 갠트리(51) 및 수평 방향 갠트리(52)는 일반적인 슬롯 다이 코팅 장치에 사용되는 갠트리(gantry) 구조와 실질적으로 동일하거나 유사한 형태로 구성될 수 있다.
수직 방향 갠트리(51)는 X축 방향(2)으로 이동 가능하고, 수평 방향 갠트리(52)는 θ축 방향(8)의 회전 이동이 가능하다. 또한, 수평 방향 갠트리(52)는 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동이 가능한 임의의 소정 섹션(예를 들어, 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54))을 포함할 수 있다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 도 2를 참조하면, 수평 방향 갠트리(52)는 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동이 개별적으로 또는 동시에 이루어질 수 있는 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)는 X축 방향(2)을 기준으로 하였을 때 수평 방향 갠트리(52)의 일측과 타측에 각각 제공될 수 있다. 이러한 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)는 각각, 예를 들어 공지의 리니어 모션 가이드 등 통상의 구동축 부품으로 구현될 수 있다.
슬롯 다이(110)는 하부에 슬롯 노즐을 구비하여 인쇄 재료를 가압하여 균일하게 토출하여 기판 상에 필름을 코팅하여 형성할 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 인쇄 재료는 자외선 경화형 접착제로 사용되는 광학 수지(OCR: optically clear resin)일 수 있으며, 이외에도 다른 접착제나 필름 원액과 같은 점성이 높은 액체 또는 유동체일 수 있다는 점이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이다.
광원(120)은 자외선을 방출할 수 있는 임의의 광원일 수 있다. 예를 들어, 광원(120)으로 저압 수은 증기 램프, 중압 수은 증기 램프, 고압 수은 증기 램프, 초고압 수은 증기 램프, 카본 아크 램프, 금속 할리드 램프, 제논 램프 등이 사용될 수 있다. 또한, 광원(120)으로 ArF 엑시머 레이저, KrF 엑시머 레이저, 엑시머 램프, 싱크로트론선 등이 사용될 수 있다.
펌프(130)는 슬롯 다이(110)의 인쇄 재료 토출량을 제어하는 기능을 하며, 밸브(140)는 슬롯 다이(110)의 내부 압력을 조절하는 기능을 수행한다. 캐니스터(150)는 인쇄 재료를 충전하는 기능을 수행하며, 추가적으로 인쇄 재료의 교반, 탈포 및 에이징하는 기능도 함께 수행할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 슬롯 다이(110) 및 광원(120)은 수평 방향 갠트리(52)에 제공될 수 있으며, 보다 상세하게는 수평 방향 갠트리(52)에서 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동이 가능한 임의의 소정 섹션(예를 들어, 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54))에 의해 수평 방향 갠트리(52)와 연결되도록 제공될 수 있다.
이 경우, 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)는 동시에 제어되거나 개별적으로 제어될 수 있으며, 그에 따라 슬롯 다이(110) 및 광원(120)의 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동은 동시에 또는 독립적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 펌프(130) 및 밸브(140)는 각각 슬롯 다이(110)와 연결되도록 제공되며, 캐니스터(150)는 상기 펌프(130)와 연결되도록 제공된다. 캐니스터(150)에서 펌프(130)로의 인쇄 재료 공급은 튜브를 통해서 이루어지는 것이 일반적이지만, 이에 제한되지는 않으며 인쇄 재료의 공급 기능을 수행할 수 있는 수단이라면 어느 것이든 가능하다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 도 2에 도시된 문자들(즉, X, Y, Z, 및 θ)은 상술한 슬롯 다이 코팅 장치의 구성요소들을 제어하는 구동 축을 나타낸다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, Y1축은 슬롯 다이(110)의 제1 다이(110a)의 Y축 방향(4)의 이동과 관련된 구동 축이고, Y2축은 슬롯 다이(110)의 제2 다이(110b)의 Y축 방향(4)의 이동과 관련된 구동 축에 해당한다. 상기 Y1, Y2 구동 축의 제어를 통해 상기 제1 및 제2 다이(110a,110b)를 Y축 방향(4)으로 이동시켜 슬롯 다이(110) 노즐의 토출 슬롯의 토출 폭을 확장 또는 축소할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 상기 Y1축 및 Y2축을 모두 포함하여 슬롯 다이 축(S축)이라 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, X축은 수직 방향 갠트리(51)의 X축 방향(2)의 이동과 관련된 구동 축이고, θ축은 수평 방향 갠트리(52)의 θ축 방향(8)의 회전 이동과 관련된 구동 축에 해당한다. 수평 방향 갠트리(52)는 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동이 개별적으로 이루어질 수 있는 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)를 포함할 수 있으며, Y3축 및 Z1축은 각각 슬롯 다이(110)를 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)으로 이동시키기 위한 제1 이동 부재(53)의 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동과 관련된 구동 축이고, Y4축 및 Z2축은 각각 광원(120)을 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)으로 이동시키기 위한 제2 이동 부재(54)의 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동과 관련된 구동 축에 해당한다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 도 2에 도시된 P축은 펌프(130)의 유량을 조절하므로, 상기 P축과 함께 슬롯 다이(110)의 내부 압력을 조절하는 밸브(140)를 추가적으로 제어하여 인쇄 재료의 토출량을 조절하는 것이 가능하다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 슬롯 다이 코팅 방법의 플로우차트이고, 도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판에 필름을 형성하는 구체적인 방법을 설명하기 위한 플로우차트이며, 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 입력을 통해 구동 축에 대한 파라미터 값을 변경하는 과정을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 3 및 도 4a를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 방법(300)은, 인쇄 재료를 충전하는 단계(310); 슬롯 다이를 사용하여 기판 상에 상기 인쇄 재료를 코팅 인쇄하여 필름을 형성하는 단계(320); 상기 코팅된 필름에 자외선(UV)을 노광을 하는 단계(330); 상기 코팅된 필름의 두께를 측정하는 단계(340); 상기 코팅된 필름을 이용하여 상기 기판과 타 기판을 합착하는 단계(350); 및 상기 합착된 기판의 상기 코팅된 필름에 대한 검사를 수행하는 단계(360)를 포함하고, 상기 필름을 형성하는 단계(320)는 상기 기판에 대한 모델 분석을 수행하는 단계(410); 상기 모델 분석에 따라 슬롯 다이 코팅 장치(100)의 슬롯 다이(110)의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계(420); 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하는 단계(430); 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계(440); 및 상기 코팅 인쇄를 수행하는 단계(450)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 방법(300)의 인쇄 재료를 충전하는 단계(310)는 상기 인쇄 재료의 교반, 탈포 및 에이징하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 슬롯 다이 코팅 방법(300)의 단계(430)에서 생성된 파라미터 값은 사용자가 입력을 통해 해당 값을 직접 변경 가능할 수 있다. 보다 상세하게는, 도 4b를 참조하면, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계(440)는, 상기 생성된 파라미터 값에 대한 확정 상태 여부를 판단하는 단계(440a); 및 확정된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계(440c)를 포함하고, 상기 생성된 파라미터 값이 미확정 상태인 경우 상기 생성된 파라미터 값을 사용자가 입력을 통해 직접 변경하는 단계(440b)를 추가적으로 포함할 수 있다.
코팅 인쇄의 경로는 인쇄 대상 기판의 모델에 대한 분석에 기반하므로, 기 생성된 파라미터 및/또는 기 코팅 인쇄 경로를 수정해야 하는 경우, 인쇄 대상 기판의 모델을 다시 분석하는 과정이 필요하나, 본 발명의 일 실시 예에 의한 슬롯 다이 코팅 방법(300)에서는 해석된 코팅 경로의 좌표 값을 추출하여 사용자가 임의적으로 수정하여 적용하는 것이 가능하다. 이를 통해 슬롯 다이 코팅 장치(100)의 정밀한 제어가 가능하고, 공정 시간의 단축 및 공정 편의성의 증대가 이루어질 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판에 필름 형성 시 코팅 인쇄 형상 및 기판 굴곡과 관련된 차원에 따라서 지정되는 구동 축들을 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅 인쇄 형상 및 기판 굴곡과 관련된 차원에 따른 기판의 예시적인 모습들을 각각 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판에 대한 모델 분석은 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 형상 및 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원(D: dimension)에 따라서 구분하여 이루어질 수 있다. 좀 더 구체적으로, 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 형상의 구분은 직사각형 및 폴리곤형(polygon type)/곡선형(curve type)이 될 수 있으며, 기판 굴곡 변화에 기반한 차원은 후술하는 2D 및 2.5D가 될 수 있다. 상술한 바와 같은 구체적인 형상 및 차원뿐만 아니라 다른 형상 및 차원들도 본 발명의 다양한 실시 예에 포함될 수 있다는 점이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 의한 상술한 기판 모델의 다양한 형상 및 차원의 예시적인 모습을 도 6에 도시하였다. 도 6의 (a)는 직사각형, 폴리곤형 및 곡선형을 포함하는 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 형상들을 위에서 바라본 개략적인 평면도를, 도 6의 (b)는 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원들을 측면에서 바라본 개략적인 측면도를 나타낸다.
다시 도 4a와 함께 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 모델 분석에 따라 슬롯 다이 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계(420)에 있어서, 상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 직사각형의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축 및 펌프 축(즉, X축 및 P축), (b) 폴리곤형 및 곡선형의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 슬롯 다이 축, 수직 방향 축 및 펌프 축(즉, X축, S축, Z축, P축), (c) 2D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축 및 수직 방향 축(즉, X축, Z축), (d) 2.5D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 수직 방향 축 및 상기 회전 방향의 축(즉, X축, Z축, θ축)에 해당하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, (b) 폴리곤형 및 곡선형의 경우는 코팅 인쇄 시 상술한 바와 같은 지정된 구동 축의 제어에 더해 밸브(140)를 제어하는 단계를 추가적으로 포함할 수 있다.
보다 상세하게는, (a) 직사각형의 경우(지정된 구동 축: X축 및 P축), 인쇄 대상 기판 모델은 코팅 진행 방향(X축 방향)을 기준으로 패턴의 폭 변화가 없는 직사각형 인쇄 패턴 유형에 해당한다. X축 방향과 관련하여, 슬롯 다이 코팅 장치(100)의 수직 방향 갠트리(51)는 등속으로 동작하고 P축 방향과 관련하여, 펌프(130)도 또한 등속으로 동작하여 일정한 유량의 인쇄 재료를 슬롯 다이(110)에 공급하도록 설정된다. 여기서, X축은 2개의 수직 방향 갠트리(51) 각각과 관련되어 별개로 구동되는 구동 축일 수 있다는 점(예를 들어, XL축 및 XR축)이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이며, 이러한 점은 이하의 설명에서도 마찬가지로 적용된다.
(b) 폴리곤형 및 곡선형의 경우(지정된 구동 축: X축, S축, Z축 및 P축), 인쇄 대상 기판 모델은 코팅 진행 방향(X축 방향)을 기준으로 패턴의 폭이 변화하는 임의 형상의 인쇄 패턴 유형에 해당한다. 코팅 진행 방향을 기준으로 코팅량의 변화를 통해 인쇄 폭을 변화시키며, 인쇄 대상 기판 모델 분석 시, X축, S축(즉, Y1축 및 Y2축), Z축 및 P축의 동작 속도가 제어되고, 밸브(140)의 개폐 또한 능동적으로 제어된다. 이 경우, 상술한 바와 같이 설정된 파라미터(혹은 인쇄 조건)나 코팅 인쇄의 경로는 사용자가 입력을 통해 임의로 수정 가능하다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 예시적인 일 실시 예에 따른 코팅 진행 방향(X축 방향)을 기준으로 코팅 폭이 좁아지는 경우 및 코팅 폭이 늘어나는 경우의 각각에 대해 지정된 구동 축 및 밸브의 제어에 관해 설명한다.
코팅 폭이 좁아지는 경우는, S축(즉, Y1축 및 Y2축)과 관련하여, 슬롯 다이(110)의 노즐의 토출 폭을 축소한다. X축과 관련하여, 토출 폭이 축소되면서 슬롯 다이(110)의 내부 부피의 축소에 의한 토출 압력이 증가하고, 이러한 압력 증가를 보상하기 위하여 수직 방향 갠트리(51)의 X축 방향의 동작 속도를 가속시키고, 필요한 경우 추가적으로 밸브(140)를 열린 상태로 제어하여 슬롯 다이(110)의 노즐 내부의 압력을 감소시킨다. 또한, Z축과 관련하여, 슬롯 다이(110)가 기판에서 멀어지는 방향으로 이동(즉, 슬롯 다이(110)와 기판의 간격이 증가)하여 늘어난 토출량으로 인해 슬롯 다이(110)의 노즐 부분이 젖음상태(wetting)가 되지 않도록 한다. 참고로, 노즐 젖음 현상이 발생하여 노즐이 젖어 있거나 노즐에 용액이 맺히게 되면 토출 액적(droplet)의 직진성에 영향을 주거나 미토출되는 등 정상적인 코팅이 어려울 수 있다. 또한 P축과 관련하여, 인쇄 재료의 유량이 감소되도록 유량을 제어하는 펌프(140)의 P축의 동작 속도를 감소시킨다.
코팅 폭이 늘어나는 경우는, S축(즉, Y1축 및 Y2축)과 관련하여, 슬롯 다이(110)의 노즐의 토출 폭을 확장한다. X축과 관련하여, 토출 폭이 확장되면서 슬롯 다이(110)의 내부 부피의 팽창에 의한 토출 압력이 감소하고 기포가 발생하며, 이를 보상하기 위하여 수직 방향 갠트리(51)의 X축 방향의 동작 속도를 감소시키고, 필요한 경우 추가적으로 밸브(140)를 닫힌 상태로 제어하여 슬롯 다이(110)의 노즐 내부의 압력을 증가시킨다. 또한, Z축과 관련하여, 슬롯 다이(110)가 기판에 가까워지는 방향으로 이동(즉, 슬롯 다이(110)와 기판의 간격이 감소)하여 줄어든 토출량으로 인해 슬롯 다이(110)의 노즐 부분이 메니스커스 파괴(meniscus break)가 일어나지 않도록 한다. 참고로, 메니스커스는 슬롯 다이 노즐과 기판 사이에 맺히는 인쇄 재료의 형상으로서, 일반적으로 인쇄 재료의 공급되는 유량, 노즐의 이동 속도, 노즐과 기판의 간격에 영향을 받으며, 코팅 품질은 메니스커스에 따라 영향 받게 된다. 또한 P축과 관련하여, 인쇄 재료의 유량이 증가되도록 유량을 제어하는 펌프(140)의 P축의 동작 속도를 증가시킨다.
여기서, Z축은 수평 방향 갠트리(52)에 제공되는 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)와 관련된 각각의 구동 축일 수도 있다는 점(예를 들어, Z1축 및 Z2축)이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이고, 또한, 상술한 X축과 마찬가지로 2개의 수직 방향 갠트리(51) 각각과 관련되어 별개로 구동되는 구동 축일 수도 있다는 점(예를 들어, ZL축 및 ZR축, 이러한 경우, 슬롯 다이(110)는 수평 상태가 아닌 기울어진 상태가 됨)이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이며, 이러한 점은 이하의 설명에서도 마찬가지로 적용된다.
(c) 2D의 경우(지정된 구동 축: X축, Z축), 인쇄 대상 기판 모델은 평판 기판에 인쇄하는 유형에 해당하며, 코팅 인쇄 시작 시 슬롯 다이(110)의 노즐에서 토출되는 인쇄 재료의 비드(bead) 형성을 위해 기판에 접근하는 동작과 코팅 인쇄 후 스퀴즈(squeeze)를 위해 슬롯 다이(110)의 노즐이 복귀하는 동작(즉, 노즐이 기판에서 이격되는 동작)에서는 Z축의 구동이 필요하고, 코팅 인쇄 동작이 진행되는 중에는 노즐과 기판은 등간격을 유지할 수 있도록 Z축의 구동이 필요하지 않다.
(d) 2.5D의 경우(지정된 구동 축: X축, Z축, θ축), 인쇄 대상 기판 모델은 굴곡 또는 곡률 반경을 갖는 기판(즉, curved substrate)에 인쇄하는 유형에 해당한다. 코팅 인쇄 시 슬롯 다이(110)의 노즐은 기판에 대한 접촉점 또는 접촉선 기준으로 노즐이 기판과 직교 상태를 유지할 수 있도록 θ축 각도를 변화시킨다. 이 경우, θ축의 각도 변화로 인해 설정된 인쇄 속도가 영향을 받지 않도록 X축 구동은 θ축 구동과 동기 방식으로 구동되며, Z축 구동도 또한 θ축 회전 각도가 변화하더라도 슬롯 다이(110)의 노즐과 기판 간의 간격 설정치가 유지되도록 θ축 구동과 동기 방식으로 구동된다. 좀 더 구체적으로, θ축이 슬롯 다이(110)가 인쇄 진행 방향으로 회전하는 경우, X축 및 Z축의 동작 속도는 θ축과 동기 방식으로 감소되고, 인쇄 진행 방향과 반대 방향으로 회전하는 경우, X축 및 Z축의 동작 속도는 θ축과 동기 방식으로 증가된다.
도 7a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 입력을 통한 파라미터 값 변경이 인쇄 경로 변경에 반영되는 모습을 설명하기 위한 도면이고, 도 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 사용자 인터페이스에서 도 7a의 인쇄 경로 변경을 위해 파라미터 값을 변경하는 모습을 나타낸 도면이다.
도 7a 및 도 7b를 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 도 7b 표에 도시된 수치는 도 7a에 참조된 문자(K1~K6)로 표시된 지점에서의 X축, S축(Y1, Y2), P축의 구동과 관련된 예시적인 파라미터에 해당한다.
도 7a의 상단에 도시된 기판에 대한 K2 내지 K5 지점을 살펴보면, 본 발명의 예시적인 일 실시 예에 있어서, K2 지점에서는 슬롯 다이(110)의 제1 다이 및 제2 다이와 관련된 구동 축 Y1축, Y2축의 위치가 0mm이고, K3 지점으로 슬롯 다이(110)가 이동하면서(즉, 인쇄가 진행되면서) 슬롯 다이(110)의 제2 다이와 관련된 구동 축인 Y2축의 위치가 30mm로 변화된다. 상술한 바와 같이 코팅 폭 감소로 인한 토출 압력 증가의 보상을 위해 X축 속도는 증가시키는 것을 확인할 수 있다. K4 지점에서 K5 지점으로의 코팅 인쇄 진행은 Y2축의 위치가 30mm에서 0mm로 변화하고 상술한 바와 같이 코팅 폭 증가로 인한 토출 압력 감소의 보상을 위해 X축 속도는 감소시킨다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 사용자는 생성된 파라미터 값을 입력을 통해 임의로 직접 변경할 수 있으며, 도 7b와 같이 K3 및 K4 지점의 Y2축의 위치를 30mm에서 60mm로 변경하는 경우, 도 7a의 하단에 도시된 형상과 같이 코팅 인쇄가 가능하다.
이와 같은 방법을 통해 사용자는 보다 간편하게 더 깊은 notch zone을 갖는 폴리곤 형상에 대한 코팅 인쇄가 가능해진다. 상기 도 7a 및 도 7b에서는 사용자의 임의의 파라미터 값 변경을 통해 폴리곤 형상의 코팅 인쇄 경로가 변경되는 예시적인 일 실시 예를 도시하였으나, 이 외에도 사용자의 임의의 파라미터 값 입력을 통해 다양한 형상 혹은 차원의 기판에 대한 코팅 인쇄 경로도 변경 가능하다는 점이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅된 필름에 자외선 노광을 하는 구체적인 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
도 8을 도 3과 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 방법(300)은, 인쇄 재료를 충전하는 단계(310); 슬롯 다이를 사용하여 기판 상에 상기 인쇄 재료를 코팅 인쇄하여 필름을 형성하는 단계(320); 상기 코팅된 필름에 자외선(UV)을 노광을 하는 단계(330); 상기 코팅된 필름의 두께를 측정하는 단계(340); 상기 코팅된 필름을 이용하여 상기 기판과 타 기판을 합착하는 단계(350); 및 상기 합착된 기판의 상기 코팅된 필름에 대한 검사를 수행하는 단계(360)를 포함하고, 상기 코팅된 필름에 자외선(UV) 노광을 하는 단계(330)는 상기 기판에 대한 모델 분석을 수행하는 단계(810); 상기 모델 분석에 따라 슬롯 다이 코팅 장치(100)의 광원(120)의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계(820); 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하는 단계(830); 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 노광의 경로를 설정하는 단계(840); 및 상기 노광을 수행하는 단계(850)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코팅된 필름에 자외선 노광 시 기판 굴곡과 관련된 차원에 따라서 지정되는 구동 축들을 도시한 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 있어서, 노광 공정을 위한 기판에 대한 모델 분석은 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원에 따라서 구분하여 이루어질 수 있다. 좀 더 구체적으로, 기판 굴곡 변화에 기반한 차원은 2D 및 2.5D가 될 수 있다. 상술한 바와 같은 구체적인 차원 외의 다른 가능한 차원들도 본 발명의 다양한 실시 예에 포함될 수 있다는 점이 본 발명 분야의 기술자들에게 충분히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 기판 모델 분석에 따라 슬롯 다이 움직임과 관련된 구동 축을 지정함(820)에 있어서, 상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 2D의 경우, 수평 방향 축 및 수직 방향 축(즉, X축, Z축)에 해당할 수 있고, (b) 2.5D의 경우, 수평 방향 축, 수직 방향 축 및 상기 회전 방향의 축(즉, X축, Z축, θ축)에 해당할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서 상술한 바와 같이, 수평 방향 갠트리(52)가 Y축 방향(4) 및 Z축 방향(6)의 이동이 개별적으로 이루어질 수 있는 제1 이동 부재(53) 및 제2 이동 부재(54)를 포함하는 경우, 광원(120)은 제2 이동 부재(54)에 제공될 수 있으며 이 경우에 상기 Z축은 Z2축에 해당한다.
지금까지 살펴본 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이 코팅 장치 및 방법은 인쇄 대상 기판의 모델 분석을 기반으로 한 구동 축 지정 및 지정된 구동 축의 이동에 대한 파라미터 값을 산출하여 이를 기반으로 코팅 인쇄 경로를 결정하므로 슬롯 다이 코팅 장치의 정밀한 제어가 가능하여 코팅 인쇄의 정확도를 높일 수 있으며, 디스플레이 제조 시 코팅 폭의 변화 및 코팅 면의 굴곡 변화에 대한 신속한 대응이 가능하며, 상기 기판 모델 분석에 따라 생성된 파라미터 값을 사용자가 입력을 통해 직접 변경하는 것이 가능하여 공정 시간이 단축되고 공정 편의가 증대될 수 있는 효과를 제공한다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구 범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
2: X축 4: Y축
6: Z축 8: θ축
10: 스테이지 51: 수직 방향 갠트리
52: 수평 방향 갠트리 53: 제1 이동 부재
54: 제2 이동 부재 110: 슬롯 다이
120: 광원 130: 펌프
140: 밸브 150: 캐니스터

Claims (20)

  1. 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 장치에 있어서,
    기판이 제공되는 스테이지;
    상기 스테이지 상에서 상기 스테이지의 길이 방향으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리;
    상기 수직 방향 갠트리의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리를 가로질러 회전 방향으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리;
    상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 인쇄재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이;
    상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원;
    상기 슬롯 다이의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이 내부의 압력을 조절하는 밸브;
    상기 슬롯 다이와 연결되며, 상기 슬롯 다이로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프; 및
    상기 펌프와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터
    를 포함하고,
    상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하며,
    상기 코팅된 필름에 대한 자외선(UV) 조사는 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 광원의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하여 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 노광 경로를 설정하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  2. 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 장치에 있어서,
    기판이 제공되는 스테이지;
    상기 스테이지 상에서 상기 스테이지의 길이 방향으로 이동 가능하게 제공되는 수직 방향 갠트리;
    상기 수직 방향 갠트리의 상부에서 상기 수직 방향 갠트리를 가로질러 회전 방향으로 회전 가능하게 제공되는 수평 방향 갠트리;
    상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 인쇄재료를 토출하여 상기 기판 상에 필름을 코팅하는 슬롯 다이;
    상기 슬롯 다이를 상기 수평 방향 갠트리의 일측에 연결하도록 제공되며, 상기 슬롯 다이의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제1 이동 부재;
    상기 수평 방향 갠트리에 제공되며, 상기 코팅된 필름 상에 자외선(UV)을 조사하는 광원;
    상기 광원을 상기 수평 방향 갠트리의 타측에 연결하도록 제공되며, 상기 광원의 수평 방향 및 수직 방향의 이동을 제어하는 제2 이동 부재;
    상기 슬롯 다이의 상부에 제공되며, 상기 슬롯 다이 내부의 압력을 조절하는 밸브;
    상기 슬롯 다이와 연결되며, 상기 슬롯 다이로부터 토출되는 상기 인쇄 재료의 토출량을 제어하는 펌프; 및
    상기 펌프와 연결되어 제공되며 상기 인쇄 재료를 충전하는 캐니스터
    를 포함하고,
    상기 필름의 코팅은 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고, 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하며, 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅의 인쇄 경로를 설정하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판에 대한 모델은 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 형상 및 상기 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원에 따라서 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 형상은 직사각형, 폴리곤형 및 곡선형으로 구분되고, 상기 차원은 2D 및 2.5D로 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 직사각형의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축 및 펌프 축, (b) 폴리곤형 및 곡선형의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 슬롯 다이 축, 수직 방향 축 및 펌프 축, (c) 2D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축 및 수직 방향 축, (d) 2.5D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 수직 방향 축 및 상기 회전 방향의 축에 해당하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 폴리곤형 및 곡선형의 경우, 코팅 인쇄 시 추가적으로 상기 밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 생성된 파라미터 값은 사용자가 입력을 통해 직접 변경 가능한 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 코팅된 필름에 대한 자외선(UV) 조사는 상기 기판에 대한 모델 분석을 통해 상기 광원의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하고 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하여 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 노광 경로를 설정하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  9. 제1항 또는 제8항에 있어서,
    상기 기판에 대한 모델은 상기 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원에 따라서 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 차원은 2D 및 2.5D로 구분되고,
    상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 2D의 경우, 수평 방향 축 및 수직 방향 축, (b) 2.5D의 경우, 수평 방향 축, 수직 방향 축 및 상기 회전 방향의 축에 해당하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 장치.
  11. 기판 인쇄를 위한 슬롯 다이(slot die) 코팅 방법에 있어서,
    인쇄 재료를 충전하는 단계;
    슬롯 다이를 사용하여 기판 상에 상기 인쇄 재료를 코팅 인쇄하여 필름을 형성하는 단계;
    상기 코팅된 필름에 자외선(UV)을 노광을 하는 단계;
    상기 코팅된 필름의 두께를 측정하는 단계;
    상기 코팅된 필름을 이용하여 상기 기판과 타 기판을 합착하는 단계; 및
    상기 합착된 기판의 상기 코팅된 필름에 대한 검사를 수행하는 단계
    를 포함하고,
    상기 필름을 형성하는 단계는 상기 기판에 대한 모델 분석을 수행하는 단계; 상기 모델 분석에 따라 슬롯 다이 코팅 장치의 슬롯 다이의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계; 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하는 단계; 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계; 및 상기 코팅 인쇄를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판에 대한 모델은 코팅 인쇄 패턴의 폭 변화에 기반한 형상 및 상기 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원에 따라서 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 형상은 직사각형, 폴리곤형 및 곡선형으로 구분되고, 상기 차원은 2D 및 2.5D로 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 직사각형의 경우, 상기 기판이 제공되는 스테이지의 길이 방향 축 및 펌프 축, (b) 폴리곤형 및 곡선형의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 슬롯 다이 축, 수직 방향 축 및 펌프 축, (c) 2D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축 및 수직 방향 축, (d) 2.5D의 경우, 상기 스테이지의 길이 방향 축, 수직 방향 축 및 회전 방향의 축에 해당하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 폴리곤형 및 곡선형의 경우, 코팅 인쇄 시 슬롯 다이 코팅 장치의 밸브를 제어하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계는
    상기 생성된 파라미터 값에 대한 확정 상태 여부를 판단하는 단계; 및 확정된 파라미터 값을 기반으로 코팅 인쇄의 경로를 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 생성된 파라미터 값이 미확정 상태인 경우 상기 생성된 파라미터 값을 사용자가 입력을 통해 직접 변경하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 인쇄 재료를 충전하는 단계는 상기 인쇄 재료의 교반, 탈포 및 에이징하는 단계를 추가적으로 포함하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 코팅된 필름에 자외선(UV) 노광을 하는 단계는 상기 기판에 대한 모델 분석을 수행하는 단계; 상기 모델 분석에 따라 슬롯 다이 코팅 장치의 광원의 움직임과 관련된 구동 축을 지정하는 단계; 상기 지정된 구동 축에 대한 파라미터 값을 생성하는 단계; 상기 생성된 파라미터 값을 기반으로 상기 노광의 경로를 설정하는 단계; 및 상기 노광을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 기판에 대한 모델은 상기 기판의 굴곡 변화에 기반한 차원에 따라서 구분되는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 차원은 2D 및 2.5D로 구분되고,
    상기 지정된 구동 축은 상기 기판에 대한 모델의 구분에 따라, (a) 2D의 경우, 수평 방향 축 및 수직 방향 축, (b) 2.5D의 경우, 수평 방향 축, 수직 방향 축 및 회전 방향의 축에 해당하는 것을 특징으로 하는 슬롯 다이 코팅 방법.
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