KR20070072326A - 도포층의 품질 균일화 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법 및 장치로, 그중 이 방법은 아래 과정을 포함하는데, 우선 도포 머리와 기판을 제공하고, 이 도포머리와 기판 사이의 서로 대응되는 운동을 이용해 도포 머리에서 나오는 도포유체가 기판에 발라지게 한다. 다시 통제방식으로 이 기판과 도포 머리 사이에 도포구슬의 압력변화를 조절하여 이 도포구슬의 상류 메니스커스 모양의 길이 혹은 안정도를 통제하여 제작과정이 결함없는 도포창 구역 내에서 이루어지게 한다. 본 발명은 각각 도포 머리의 구조와 조정기판과 도포 머리 사이의 공격각도(angle-of-attack)를 설계하고 나아가 도포구슬의 압력 변화도를 통제하여 제작과정의 양호율을 제고한다. 이밖에 본 발명은 더 나아가 방법을 제공하는데 결함의 빈도를 예측하고 이 결함의 빈도가 위치차의 파형을 가지게 하여 도포구슬의 하류 메니스커스 모양의 진동을 절감시키고 나아가 결함의 발생을 감소시키며 제작과정의 효율제고 목적에 도달한다.

도포층, 기판, 도포 머리, 균일, 파형, 도포구슬

Description

도포층의 품질 균일화 방법 및 장치{Apparatus and Method for Improving the Homogeneity of Coating Layers}

도 1은 도포층 제작과정 개략도.

도 2a는 종래 연구성과를 종합하여 나타낸 도포창 구역(coating window)과 결함구역 개략도.

도 2b와 2c는 구름무늬 결함 개략도.

도 3은 본 발명의 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 과정도.

도 4a는 본 발명의 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제1실시예도.

도 4b는 본 발명의 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제1실시예의 도포창 구역 개략도.

도 5a는 본 발명의 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제2실시예도.

도 5b는 회류 현상 개략도.

도 6은 본 발명인 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제3실시예 및 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 장치의 제1실시예도.

도 7은 본 발명인 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제4실시예 및 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 장치의 제2실시예도.

도 8a는 본 발명인 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법의 제5실시예 과 정도.

도 8b는 본 발명의 제5실시예의 파형 발생기 배치 개략도.

도 8c는 본 발명의 제5실시예의 위치차 개략도.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

1：도포 머리 10：하류 다이

11：상류 다이 12：저압장치

13：파형 발생기 130：파형

2：기판 3：도포구슬

30：상류 메니스커스

32：도포층 33：구름무늬

34：구름무늬 발생빈도 40：도포창 구역

41：경계 익류구역 42：공기 도입구역

43：힘줄과 하천 구역 44：구름무늬 구역

60：도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법

601-602：과정

61：도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법

611-614：과정 50：상류 구역

51：하류 구역 7：도포 머리

70：상류 다이 71：하류 다이

701,711：연속곡면 72：홈구멍(slot)

8：경사각 조정장치 80：평행기구

801：윗판 802：탑재판

81：위치조정체 82：틈간격 조정기구

91：회류 θ：공격각도

u：상대속도 a：도포간격

b：공급재료 간격

미국특허번호 US 4,445,458

미국특허번호 US 5,728,430

본 발명은 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법 및 장치로, 특히 통제압력환경(도료 유체의 외부압력 및 그 내부 압력분포)변화를 이용해 도포구슬(bead) 상류의 메니스커스(meniscus) 길이를 통제하고 나아가 기판에 칠한 재료의 구름무늬(mura or barring) 결함을 제거하여 제작과정 양호율을 제고하는 도포층의 품질 균일화 방법 및 장치를 말한다.

시장에서의 수요와 제작과정의 경제적인 효과에 부합하기 위해 패널공장에서 제조하는 액정패널의 크기 역시 점차 상승하고 있는데 최근 들어 패널의 크기는 이미 제1세대 공장의 300X400㎜ 유리기판은 현재의 제7세대의 1870X2200㎜로 변해왔 으며 점차 커져 가는 추세에 있다.

패널 공장은 시장의 경쟁에서 유리한 점을 획득하기 위해 생산능력의 부단한 상승을 꾀하고 있다. 그러나 한편으로는 원가도 고려해야 하기 때문에 제조과정의 속도와 양호율의 개선이 절대적으로 필요하다.

패널의 제작과정에서 진열(array)에 속하는 과정의 빛 차단제(photo resist) 도포는 제작과정의 중요한 관건인데 따라서 큰 공장과 기업에서는 도포의 속도개선과 양호율의 제고에 온 힘을 기울이고 있다.

도 1에서 예시한 것은 작은 홈(slot)을 가진 도포기를 이용하여 습식 도포를 진행하는 것인데, 도포 제작과정에서 도포의 품질에 영향을 미치는 것은 도포구슬(coating bead)(3)의 기하 크기, 도포간격(coating gap)(a)(도포 머리(1)와 기판(2)(substrate)의 거리), 공급재료 간격(feeding gap)(b) 및 도포 머리와 기판 간의 상대속도(u)로 인한 영향이다.

도 2a에서 예시한 것은 종래의 연구성과를 종합하여 나타낸 도포창(coating window) 구역과 결함구역 개략도이다.

소위 도포창 구역(40)은 도포과정에서 도포압력 변화와 도포층(도 1의 32) 두께(h)의 관계도(Diagram of the reciprocal of the thickness)에서 결정된 제작과정의 안정된 구역이며, 도포창 구역(40)의 범위 내에서는 제작과정에서 결함이 발생하지 않는다. 그렇지 않을 경우 각종 다른 불안정 요소로 인해 도포 결함이 쉽게 발생한다.

이어 도 1과 도 2a에서 예시한 것은 도포과정에서 쉽게 발생하는 결함의 종 류를 간단히 소개한 것인데, 주위의 진공도가 지나치게 높고 도포층(32)의 두께가 두꺼울 때 역시 경계익류 구역(swelling area)(41)의 범위 내에서 쉽게 상류 메니스커스(meniscus) (30) 경계의 익류(swelling) 현상이 발생한다. 만약 공기도입 구역(42)일 때 공기도입 결함이 쉽게 발생한다. 이밖에 힘줄과 하천 구역(43)에서는 힘줄(ribbing)과 하천(rivulets)의 결함 현상이 발생한다.

도 2b에서 예시한 것은 소위 구름무늬(33) 결함인데, 일반적으로 진공도가 부족하고 도포층(32)의 두께가 얇아질 때 일어나는 결함 중의 하나이다.

도 2c에서 예시한 것은 구름무늬(33)가 규칙적인 주기성의 하자인데, 도포층(32)이 두께에 주기성의 변화가 발생할 때 일반적으로 도포변수(coating parameter)를 나타낸다. 예를 들어 도포 머리가 이동하는 속도와 관련된다.

2001년 후지필름이 구름무늬 현상은 도포 구슬이 외부간섭을 받았기 때문에 발생한다고 검증하였는데, 하류에 변화가 발생하여 도포층 두께에 주기성의 변화가 발생한 것이다. 이 연구 리포트 중 구름무늬 빈도의 계산공식은 구름무늬 결함으로 인해 발생하는 빈도로 계산한다.

공개된 문헌 중에서 예를 들어 미국특허 US.Pat. No.4445458에서 제시한 일종의 도포 머리는 그 특징이 도포머리(die)의 하류 입술(downstream lip)이 八자형의 설계를 가지고 있어 도포층막 두께의 균일성에 도움이 된다.

또한 미국특허 US. Pat. No. 5728430에서 밝힌 기술은 도포머리(die)의 상/하류 입술(upstream/downstream lip)의 설계로써 도포유(coating flow) 압력 변화도(gradient)를 조절하고 도포의 정밀도와 품질을 개선하는 목적에 도달한 것이다.

이는 적당한 압력의 분포로 도포층의 분리선을 안정시키고 따라서 이 기술은 도포유가 도포방향에 따라 점차 축소되어 도포의 품질을 제고하는데 도움을 주며, 특히 힘줄(ribbing) 등의 결함이 나타나는 것을 방지한다.

그러나 이 방식은 도포구슬의 유체역학 행위에 영향을 미치게 되는데, 과격하게 축소될 때 도포의 압력 변화가 지나치게 커져 도포의 흐름장(coating flow fiedl)이 상류로 밀리게 되어 상류 누설(upstream leakage) 문제를 발생시킨다.

비록 전술한 기술은 대부분 도포구슬의 안정된 방향으로 도포품질을 개선하였지만 그러나 도포 시 발생하는 구름무늬 등 결함문제에 대해서는 효과적인 개선책이 되지 못하고 있다. 구름무늬 등 결함문제를 해결하는 일반적인 방식은 도포설비의 진동을 누르고 기판과 도포머리 간의 상대적인 속도를 저하시키는 것을 이용한다.

그러나 속도의 저하는 직접 패널의 제조능력을 저하시키게 되고 나아가 생산효율에 영향을 미쳐 시장경쟁력을 저하시킨다.

본 발명의 목적은 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법을 제공하는데 있으며, 도포구슬의 압력환경을 조절하여 도포 유체(coating fluid) 상류 메니스커스 길이를 통제하여 조작과정이 도포창(coating window) 구역 내에서 이루어지게 하여 구름무늬 등 결합이 발생하지 않게 하는데 있다.

본 발명의 다음 목적은 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법을 제공하는 있으며, 도포구슬의 압력환경을 조절하여 그 상류 메니스커스의 길이와 안정도를 통제하며 나아가 제조과정이 도포창 구역 내에서 이루어지게 하여 구름무늬 등 결함 문제를 해결하고 도포 제조과정의 시간을 줄여 생산 효율을 증가시키는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법을 제공하는데, 이는 아래 과정을 포함한다.

먼저 도포 머리와 기판을 제공하고, 도포 머리와 이 기판 사이의 서로 대응되는 운동을 이용해 도포 머리에서 나오는 도포 유체가 기판에 발라지게 한다.

그런 후 통제수단으로 이 기판과 도포 머리 사이에 도포구슬의 압력변화(Pressure gradient)를 통제(control)하여 이 도포 유체의 상류 메니스커스의 길이를 통제하여 제작과정이 도포창 구역 내에서 이루어지게 한다.

가장 바람직하게는 통제수단은 상기 도포 머리의 상류 구역의 진공도를 적당한 범위로 통제하여 상기 도포 유체의 상류 메니스커스 길이를 조정하여 제작과정이 도포창 구역 내에서 이루어지게 한다.

상기 진공도는 고정된 수치와 동역학적으로 변화되는 수치 중의 하나를 선택한다. 혹은 통제수단으로 동시에 하류 구역의 진공도를 통제한다. 상술한 진공도는 상기 도포 머리의 상류 구역에 저압장치(air sucker)를 설치하여 상류 구역의 기압을 저하시키는 것을 통제한다.

가장 바람직하게는 상기 도포 머리가 상류 다이(die)와 하류 다이이며, 이 상류 다이와 하류 다이 사이에는 적어도 하나의 홈구멍이 있고, 상류 다이와 하류 다이와 상기 기판의 상대적인 한 면에는 연속곡면(continuous curved surface)을 가지는 설계로 되어 있어 도포 유체의 압력 변화도를 조절통제하며 도포 유체의 상류 메니스커스 길이를 조정하여 제작과정이 하나의 도포창 구역 내에서 이루어지게 한다.

상기 연속곡면은 적어도 하나의 오목면을 가지고 있어 압력 변화도를 저하하는 것과 하나의 돌출면을 가지고 있어 압력 변화도를 증가시키는 것 중 하나를 선택한다. 혹은 상기 연속곡면이 오목면과 돌출면의 조합으로 도포 유체의 압력 변화도를 조절하여 통제한다.

가장 바람직하게는 이 통제수단은 도포과정에서 하나의 조정방식으로 도포머리와 기판 간의 한 공격각도(Angle-of-attack)의 과정을 변화시킨다.

상기 조정 공격각도의 방식은 두 가지인데, 첫 번째 방식은 기판이 수평방향을 유지하게 한 후 다시 도포과정에서 이 도포 머리를 이동하여 동역학적으로 공격각도를 변화시키는 것이고, 두 번째 방식은 이 도포 머리가 중력방향을 유지하게 하고 그런 후 도포과정에서 이 기판을 이동하여 동역학적으로 이 공격각도를 변화시킨다.

상기 기판은 경사진 조정장치에 설치되며, 이 경사진 조정장치는 평행기구(parallel mechanism)를 가지고 있어 이 기판을 탑재하며, 이 평행기구는 중력방향을 따라 왕복운동을 진행하는 위치조정체(positioning adjuster)에 연결되어 이 공격각도를 조정한다. 이 공격각도는 4도에서 0도 사이이다.

이밖에 상기 경사조정장치의 또 다른 실시예 방식은 탑재판을 가지고 있어 상기 기판을 탑재하며 이 탑재판의 일측에는 중력방향을 따라 왕복운동을 진행하는 위치조정체에 연결되어 이 공격각도를 조정한다.

가장 바람직하게는 통제수단은 아래 과정을 포함하는데, 구름무늬를 형성하는 빈도를 제공하고 이어 파형 발생기로써 이 형성빈도와 위치차(이)를 가지는 파형을 발생한다. 마지막으로 이 파형이 기판과 도포 머리 사이의 한 도포구슬의 하류 메니스커스의 경계에서 진동하게 한다.

가장 바람직하게는 상기 위치차가 180도이다.

가장 바람직하게는 상기 위치차가 165도에서 195도이다.

가장 바람직하게는 상기 파형 발생기가 소리파 발생기이다.

본 발명의 특징, 목적 및 기능에 대해 진일보한 이해를 위해 아래에서 자세히 설명하기로 한다.

도 3에서 예시한 것은 본 발명의 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법(60)인데, 이는 아래 과정을 포함한다.

우선 과정(601)에서 예시한 것은 하나의 도포 머리와 하나의 기판을 제공하고, 이 도포 머리와 기판 사이의 상대적인 운동을 이용해 이 도포 머리가 적어도 한 층의 도포 유체를 이 기판에 바르게 하는 것이다.

그런 후 과정(602)에서 예시한 바와 같이, 통제방식으로 상기 기판과 도포 머리 사이의 도포구슬의 압력환경을 조절하여 이 도포구슬의 상류 메니스커스 길이와 안정도를 통제하여 제작과정이 무결함의 도포창 구역 내에서 이루어지게 한다.

이어 이 조정방식에 대해 하나하나 소개하기로 한다.

도 4a에서 예시한 것은, 본 실시예 중에서 도포장치(coater)가 동시적으로 도포구슬(3)의 상류 구역(50)의 저압장치(12)에 설치된 것을 이용해 도포구슬의 상류 구역(50) 진공도를 제고하고, 상류 구역(50)과 하류 구역(51)에 압력차를 발생하게 하여 상류 메니스커스(30) 길이 혹은 안정도를 통제한다.

도 4b에서 예시한 것은, 이 방식을 이용해 도포조건을 도포창 구역(40) 내에 진입시켜 도포품질을 재선하고 구름무늬 결함문제를 개선한다. 도포구슬(3)이 더욱 안정되게 하기 위해 처음의 진공도는 비교적 높고 제작시간이 지날수록 점차 낮아져 예정된 설정치까지 저하되며 진공도의 변화 곡선과 도포속도는 실제의 수요에 따라 정해진다. 한편 도포과정에서 처음의 진공도를 유지할 수도 있다.

도 2a에서 알 수 있듯이, 구름무늬 결함은 도포창 구역(40)의 하부인데, 따라서 구름무늬 현상이 저 진공압력의 상황 하에서 발생된다. 현행의 빛차단제(photo resist)의 도포는 대부분 고압 환경 하에서 진행되는데 따라서 도포구슬의 상류 메니스커스 길이가 확실히 구름무늬를 형성하는 요소임을 추정할 수 있다.

따라서 상류 구역 도포에 저압구역을 건립하면 구름무늬 현상을 개선할 수 있고 도포조건을 도포창 구역(40)에 진입시킨다. 따라서 본 실시예의 방식을 통해 저압장치(12)로 상류 구역(50)의 진공도를 조정하여 효과적으로 구름무늬 결함문제를 통제할 수 있다.

도 5a에서 예시한 것은 본 실시예 중에서 동역학적으로 도포머리(1)와 기판(2) 사이의 공격각도(θ)을 이동하여 나아가 도포유(coating flow)의 압력분포를 변화시킨 것이다.

소위 동역학적으로 도포 머리(1)를 이동한다는 것은 도포 제작과정에서 점차 적으로 도포 머리의 공격각도(θ)을 변화시키는 것이다. 도포 머리(1)의 동역학적인 이동을 따라 도포구슬(3)의 상류 메니스커스(30)의 길이 혹은 안정도를 변화시킨다.

본 실시예 중의 이 공격각도(θ)은 4도에서 점차 0도로 변화되는데 그러나 이에 국한되는 것은 아니다.

도 5b는 공격각도(θ)를 조정할 때 각도가 너무 커서 부담이 발생하여 도포유 내부에 회류(circulating flow)(91)가 발생하는 것을 방지한 것이다, 소위 회류(91)는 도포유가 먼저 상류를 향해 넘쳐난 후, 다시 하류로 유동하는 것이다. 이밖에 만약 압력의 변화도가 너무 낮다면 도포류가 안정적이지 못하는 현상이 발생하게 되는데 이에 대해서도 주의해야 한다. 따라서 적당한 각도의 변화로써 적당한 압력분포를 발생시키고 상류 메니스커스의 길이를 통제한다.

도 6을 참고하면, 본 실시예는 기판(2)과 도포 머리(1) 사이의 협각을 변화시키는 것인데, 상술한 실시예와 다른 점은 본 실시예에서 기판을 이동하여 도포 머리의 공격각도를 변화시키는 것이다.

기판(2)을 이동할 때 도포 머리(1)는 여전히 중력방향으로 향하게 한다. 도면에서와 같이 이 기판(2)을 이동하는 방식은 하나의 경사각 조정장치(8)로 기판(2)과 도포 머리(1)의 각도를 조정한다. 이 경사각 조정장치(8)는 기판(2)을 탑재하는 평행기구(80)를 포함하며, 이 평행기구(80)는 윗 판(801)과 탑재판(802)을 가지며 윗 판(801)과 탑재판(802) 사이에는 틈간격 조정기구(gap adjuster)(82)가 있어 이 윗 판(801)과 탑재판(802) 사이의 거리를 조정한다. 이 평행기구(80)의 일 측은 위치조정체(81)가 연결되고 이 위치조정체(81)는 중력방향의 왕복운동을 진행하여 기판(2)과 도포 머리(1)사이의 협각을 변화시킨다.

도 7에서 예시한 것은 본 실시예 중에서 도포 머리(7)의 기하 외형설계를 변화시키는 것을 이용해 도포구슬 내의 압력분포를 바꾸어 순조롭고 안정되며 회류가 발생하지 않게 한다. 도포 머리(7)의 외형설계를 통해 적당한 압력분포가 발생하는데, 이로써 상,하류 메니스커스 도포액 면을 통제하여 도포창 구역을 확충시키는 목적에 도달한다.

이 도포 머리(7)는 상류 다이(70)와 하류 다이(71)를 포함하며, 이 상류 다이(70)와 하류 다이(71) 사이에는 적어도 하나의 홈구멍(72)이 있어 적어도 한 층의 도포유체가 이 홈구멍(72)을 통해 기판(2)에 발라지게 된다.

본 실시예에서 도포 머리(7)의 상,하류 다이(70,71)와 기판(2)이 대응되는 면은 하나의 연속곡면(701,711) 구조이다. 상기 연속곡면(701,711)의 틈을 이용해 적어도 하나의 돌출면과 적어도 하나의 오목면이 구성된다. 본 실시예에서 돌출면은 현장의 증가하는 압력을 가지며, 그 압력 변화도는 dp/dx>0이고 오목면은 현장의 입력을 강하시키는데 그 압력은 dp/dx<0이다.

더욱 자세히 상,하류 다이(70,71)의 표면설계를 이해하기 위해 이하 설계방식을 밝힌다, dp/dx>0의 압력 변화도 조건에 도달하려고 할 때 먼저 다섯 단계의 방정식을 설계하여 상,하 다이(70,71)의 연속곡면(701,711) 구조를 다음 식(1)과 같이 표시한다.

y = ax5 +bx4 +cx3 +dx2 +ex +f.......................(1)

동시에 하나의 반곡점이 x방향의 2/3길이 점에 위치하는 것으로 설정한다.

기타 필요한 경계조건은 다음과 같다.

y(0) =H .................(2)

y(L) =3H.................(3)

dy(0)/dx=0...............(4)

dy(L)/dx=0...............(5)

d2y/dx2=0.................(6)

그중 H는 도포높이를 표시하며 L은 홈구멍(72)의 중심에서 상,하류 다이(70,71)의 연속곡면(701,711)의 구조 단면에 이르는 거리를 말하는데 이는 도면 7에서와 같다.

그런 후 상술한 (2)에서 (6)을 경계조건으로 하여 식(1)의 답을 구해내는데 H=100μm, L=100μm을 예로 하면, 아래를 얻을 수 있다.

a=-4.6×10-19

b=-9.24×10-15

c=3.39×10-10

d=0

e=0

f=100

만약 dp/dx<0의 조건에 도달하려면 y(L)=H/3의 경계조건으로 고치면 된다.

상술한 실시예는 본 발명의 구체적인 실시예이며 상술한 원칙을 가지면 압력 환경의 상,하류 다이(70,71)의 연속곡면(701,711) 구조에 도달할 수 있다.

도 8a에서 예시한 대로 구름무늬 현상은 주기성의 도포층 두께변화로 인한 것인데, 구름무늬의 출현하는 빈도와 도포 체류시간 사이에는 매우 밀접한 관계가 있다.

따라서 본 발명에서 도포층의 품질을 균일하게 개선하는 방법(61)을 제공하는데 이는 아래 과정을 포함한다.

먼저 과정(611)에서 예시한 것은 도포 머리와 기판을 제공하고, 상기 도포 머리와 기판 사이의 상대적인 운동을 이용해 상기 도포 머리가 적어도 한 층의 도포 유체를 이 기판에 바르게 하는 것이다.

그런 후 과정(612)에서 예시한 바와 같이 구름무늬 형성빈도(forming frequency)를 예측한다.

이 예측 방식은 사전에 구름무늬 발생빈도(occurring frequency)의 데이터 자료를 건립하고, 그런 후 이런 상황에서 구름무늬 발생의 빈도를 결정한다.

이어 과정(613)을 진행하는데 파형 발생기로써 상기 형상빈도와 위치차를 가진 파형을 발생시킨다.

마지막으로 과정(614)를 진행하여 상기 파형이 기판과 도포머리 사이 도포구슬의 하류 메니스커스 경계에 발생하는 진동(33)을 제거시킨다.

도 8b에서 예시한 것은 본 실시예에서 상기 파형 발생기(13)는 소리파 발생기로서, 상기 파형(130)은 소리파이다.

도 8c는 상기 파형(130)과 도포층(32) 표면의 구름무늬 발생빈도(34)(즉 도 포구슬 하류 메니스커스 경계의 진동빈도)는 180도의 위치차를 가지며 나아가 도포층 두께가 균일화하는 목표에 도달하게 된다. 이밖에 이 위치차는 165도에서 195도이다.

상술한 것을 종합하면 본 발명에서 제공하는 장치와 방법은 구름무늬 등 결함을 개선하는 장점을 가지고 있어 업계에서 필요로 하는 기술이며 산업적 경쟁력도 제고할 수 있어 특허법의 출원요건에 부합된다고 여겨져 신청을 제출하는 바이다.

상술한 것은 본 발명의 비교적 구체적인 실시예로 이로써 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 범위에 따른 어떠한 변화와 수식도 본 발명의 권리범위에 드는 것임을 밝혀둔다.

Claims (14)

1. 도포 머리와 기판을 제공하고, 상기 도포 머리와 기판 사이의 서로 대응되는 운동을 이용해 도포 머리에서 나오는 도포 유체가 기판에 발라지게 하며, 통제수단으로 상기 기판과 도포머리 사이에 도포구슬의 압력변화를 조절하여 상기 도포구슬의 상류 메니스커스 모양의 길이 또는 안정도를 통제하여 제작과정이 결함없는 도포창 구역 내에서 이루어지게 하는 과정을 포함하는 도포층의 품질 균일화 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 통제수단은 도포 머리의 상류 구역 진공도를 통제하여 상기 도포 유체의 상류 메니스커스의 길이를 조정해서 제조과정이 도포창 구역 내에서 이루어지게 하며, 상기 진공도는 고정된 수치 또는 동역학적으로 변화되는 수치 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 통제수단은 동시에 하류 구역의 진공도를 통제하는 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
4. 제2항에 있어서, 상기 도포 머리의 상류 구역에 저압장치를 설치하여 상류 구역의 기압을 저하시켜 진공도를 조정하는 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 도포 머리는 상류 다이와 하류 다이이며, 상기 상류 다이와 하류 다이 사이에는 적어도 하나의 홈구멍을 가지며, 상류 다이와 하류 다이와 상기 기판의 대응되는 한 면에는 연속곡면을 가지고 있어, 도포 유체의 압력 변화도를 통제하여 상기 도포 유체의 상류 메니스커스 길이를 조정하여 제작과정이 도포창 구역 내에서 이루어지게 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 연속곡면은 적어도 하나의 오목면으로 압력 변화도를 저하하거나 또는 적어도 하나의 돌출면으로 압력 변화도를 증가하는 것 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 통제수단은 도포 과정에서 조정방식으로 도포 머리와 기판 사이의 공격각도를 변화시키는 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 조정방식은 기판이 수평방향을 유지하게 하고, 도포과정에서 도포층을 이동하여 움직이는 공격각도를 변화시키는 과정을 포함하는 도포층의 품질 균일화 방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 조정방식은 도포 머리가 중력방향을 유지하게 하고, 도포과정에서 기판을 이동하여 움직이는 공격각도를 변화시키는 과정을 포함하는 도포층의 품질 균일화 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 기판은 경사조정장치에 설치되는 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 경사조정장치는 탑재판을 가지고 있어 기판을 탑재하며, 상기 탑재판의 일측에는 중력방향을 따라 왕복운동하는 위치조정체에 연결되어 상기 공격각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
12. 제10항에 있어서, 상기 경사조정장치에는 평행기구가 있어 기판을 탑재하고,상기 평행기구의 일측에는 중력방향을 따라 왕복이동하는 위치조정체에 연결되어 상기 공격각도를 조정하는 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.
13. 제1항에 있어서, 상기 통제수단은 구름무늬 빈도를 형성하고, 파형 발생기로써 구름무늬 빈도와 위치차를 가지는 파형을 발생하여 이 파형이 기판과 도포 머리 사이의 도포구슬의 하류 메니스커스 경계에 발생하는 진동을 제거하게 과정을 포함하는 도포층의 품질 균일화 방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 파형 발생기는 소리파 빌생기인 것을 특징으로 하는 도포층의 품질 균일화 방법.

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