JP5157195B2 - レーザー加工方法及びそれを用いたマイクロレンズアレイ型の作成方法 - Google Patents
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し、レジスト膜のレンズ中心に対応する位置にレーザーなどを用い微小スポットの穴を開ける。その後、その穴を利用してエッチングを行い基板上にマイクロレンズのための半球状の凹部を形成することで、リアプロジェクションテレビのスクリーン用のマイクロレンズアレイ型を形成していた(例えば特許文献1参照)。
(実施の形態1)
図1に本発明のレーザー加工方法において用いるレーザー加工機の一例として、樹脂系材料の加工において好適なエキシマレーザー加工機の全体構成の一例を示す。図1のエキシマレーザー加工機は、レーザー発信器1、アッテネータやホモジェナイザー等から構成される照射光学系2、マスク3、マスク用XYθステージ4、投射レンズ5、ワーク6、ワーク用XYステージ7、マスク用ステージ制御部8、ワーク用ステージ制御部9、レーザー発信器制御部10、コントローラ11より構成される。
ー等から構成される照射光学系2を通り、所定の形状とエネルギー密度に整えられたレーザービーム13となる。
マスク3aのパターンD1、D2、D3、D4の各中心を結ぶ中心線L1とワーク6の移動する第1の方向L2が一致するよう前記マスク用XYθステージ4に取り付ける。
式(1)の左辺は、レーザービームを照射したときワーク6上に形成されるマスクパターンのピッチを表し、右辺はレーザー照射間におけるワーク6の第1の方向L2への移動距離を表す。すなわち式(1)はワーク6上のマスクパターンのピッチとレーザーの照射間の移動距離が等しい事を示し、マスクピッチとレーザー照射の同期が取れている状態を表している。
したがって、ここでは、マスクピッチPとレーザー照射間におけるワーク6の第1の方向L2への移動距離が等しい例を示す。
次に、式(2)の状態より、ワークの送り速度をΔF早くした場合について説明する。
左辺のワーク6上のマスクパターンピッチより、右辺のレーザー照射間におけるワーク6の移動距離が大きくなる状態を表している。このときの加工事例を図5(a)〜(d)を用いて説明する。
<基本加工事例>において、マスクの各パターンの中心点を結ぶ直線L1と、ワーク6の移動する第1の方向L2を一致させる加工例を示した。ここでは、マスク3aを回動させマスクの各パターンの中心点を結ぶ直線L1を、ワーク6の移動する第1の方向L2に対して角度を持たせ加工を行う例を示す。なお、マスク3aの回動制御については、装置構成の説明にて示したマスク用XYθステージ4をマスク用ステージ制御部8を通しコントローラ11により制御する。
式(4)を満たす状態での加工事例を図9(a)〜(d)に示す。ここでは投射レンズを省略した形とし、縮小率Mが1の場合を示し、左辺P´・M=Pとし、式(4)は式(5)のように表すことが出来る。
図9(a)〜図9(d)は加工時のワーク6をマスク3a側からみた図を示す。
ートを適宜選択することにより、滑らかな側壁面形状を得ることも可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態においても図2に示すマスク3aを用いる。マスク3aは図中右から左に順次開口径が小さくなる円形形状のパターンD1〜D4を直線上に等ピッチPにて配置したものである。なお、通常実際の加工において用いられるマスク上のパターン数は数百程度のパターンを用いる例が一般的であるが、ここでは説明の便宜上4つのパターンとする。
実施の形態1に示す<基本加工事例>記載の式(2)の状態より、レーザー照射の周波数をΔf低く設定した場合について説明する。
これは、左辺のワーク6上のマスクパターンピッチより、右辺のレーザー照射間におけるワーク6の移動距離が大きくなる状態を表している。すなわち<加工事例1>と同じことをあらわしており、結果として図5に示す加工例と同じ加工結果を得ることができ、図6の加工形状を得ることが可能となる。
本発明の実施の形態1と実施の形態2で説明した加工方法の好適な適用例として、マイクロレンズアレイ型の作成がある。これについて以下、詳細に説明する。
開口部を示し、SnはDnにより形成された底部を示す。図13(b)に示す側壁面16の状態は、マスクパターンを多数用いるため、段差が形成されず滑らかな状態を得ることができる。
2 照射光学系
3 マスク
4 マスク用XYθステージ
5 投射レンズ
6 ワーク
7 ワーク用XYステージ
8 マスク用ステージ制御部
9 ワーク用ステージ制御部
10 レーザー発信器制御部
11 コントローラ
12、13,14 エキシマレーザービーム
15 側壁面
D1、D2、D3、D4、Dn−3、Dn−2、Dn−1、Dn マスクパターン
D11、D21、D31、D41、D22、D33、D44 加工パターン
P マスクピッチ
P´ 第一の方向におけるマスクピッチ
L1 マスクパターンの中心を結ぶ直線
L2 第1の方向
L3 第2の方向
α 第1の方向に対するマスクの傾き
S1 形状パターンの上部開口部形状
Sn 形状パターンの底部形状
A、B、C、D、E 領域
Claims (2)
- レーザービームを、所定の大きさの孔が複数形成された加工マスクを介してワーク表面に略垂直に照射して前記ワークに加工を行うレーザー加工方法において、
前記ワークは、互いに垂直な関係にある第一の方向と第二の方向に自在に動くものとし、
前記第一の方向の加工においては前記ワークの移動速度又は前記レーザー照射の周波数を変化させ、
前記第二の方向の加工においては前記加工マスクの回動の角度を変化させて前記ワークへレーザーを照射するレーザー加工方法。 - 請求項1のレーザー加工方法を用いて、前記加工マスクを交換することなく、偏心量の異なるマイクロレンズが混在するマイクロレンズアレイ型の加工方法。
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JP2007048754A JP5157195B2 (ja) | 2007-02-28 | 2007-02-28 | レーザー加工方法及びそれを用いたマイクロレンズアレイ型の作成方法 |
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