CN111940230A - 垫片、喷嘴以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种垫片，使涂布宽度尽可能地接近目标值。实施方式的垫片内置于具有狭缝状的排出口的喷嘴，该垫片具有开口部，朝向所述喷嘴的前端开口，所述开口部在最接近所述喷嘴的前端的部分具有最大宽度，且在远离所述喷嘴的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度。

Description

垫片、喷嘴以及涂布装置

技术领域

本发明涉及垫片、喷嘴以及涂布装置。

背景技术

在构成液晶显示器等显示面板的玻璃基板上形成有布线、电极以及彩色滤光片等的微细图案。例如，这样的图案通过光刻法等方法形成。光刻法包括将抗蚀剂材料涂布于基板的涂布工序、将涂布后由抗蚀剂材料形成的膜(以下称为“抗蚀剂膜”)曝光的曝光工序、以及在曝光工序后使抗蚀剂膜显影的显影工序。

例如，在涂布工序中使用具备排出涂布液的喷嘴的涂布装置。例如，专利文献1中公开了一种夹在对置的一对模块之间的特定形状的垫片。具体而言，在专利文献1中设计为,将位于垫片的开口部的外周部中作为涂布液的流路的狭槽的长度方向部分的长度设为A、垫片的开口部的开口宽度设为B，将狭槽的长度方向部分的一端设为a、垫片的开口部的一端中与a存在于同侧的一端设为b、通过a的狭槽的长度方向部分的法线与包含垫片的开口部的直线的交点设为c时的角bac的角度设为θ时，长度A-B大于0且为10mm以下，角度θ大于0且为10°以下。

此外，专利文献1中公开了长度A-B为0、角度θ为0°的以往的垫片。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-66537号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，若使用上述垫片将涂布液排出至对象物，则涂布宽度容易比目标值宽。因此，要求使涂布宽度尽可能地接近目标值。

鉴于以上这样的情况，本发明的目的在于提供一种能够使涂布宽度尽可能地接近目标值的垫片以及具备该垫片的喷嘴。除此之外，本发明的目的在于提供一种涂布装置，通过具备这样的喷嘴，能够严格地管理涂布宽度，形成高品质的涂布膜。

用于解决上述技术问题的方案

本发明的一方案的垫片内置于具有狭缝状的排出口的喷嘴，其特征在于，具有朝向所述喷嘴的前端开口的开口部，所述开口部在最接近所述喷嘴的前端的部分具有最大宽度，且在远离所述喷嘴的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度。

根据该构成，垫片的开口部在最接近喷嘴的前端的部分具有最大宽度，且在远离喷嘴的前端的部分的至少一部分具有比所述最大宽度窄的宽度，由此在开口部中最接近喷嘴的前端的部分形成最宽的空间。因此，从开口部排出的液体(涂布液)通过表面张力(毛细管现象)被拉向开口部的长度方向两端部。这样一来，从开口部排出的涂布液在开口部的长度方向两端部容易停留在原地。即，从开口部排出的涂布液在开口部的长度方向中央部以规定的单位流量(开口部的长度方向上每单位长度的流量)被排出，另一方面在开口部的长度方向两端部附近以比单位流量减少了停留在原地的流量后的流量被排出。由此，将涂布液排出至对象物时，即使涂布宽度有容易比目标值更宽的倾向，也能够以从单位流量减少的流量对应地抑制涂布宽度的扩展。因此，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值。

在上述垫片中，所述开口部可以在最远离所述喷嘴的前端的部分具有最小宽度，且随着从最远离所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐变宽。

根据该构成，能够使涂布液在从开口部中最远离喷嘴的前端的部分至最接近喷嘴的前端的部分的整个区间顺畅地排出。

在上述垫片中，将所述开口部中最远离所述喷嘴的前端的部分的一端设为K1，所述开口部中最接近所述喷嘴的前端的部分的一端中与所述K1位于同侧的一端设为K2，所述垫片中最接近所述喷嘴的前端的部分的端缘上的点设为K3，连结所述K1与所述K2的线段以及连结所述K2与所述K3的线段所成的角度设为G时，所述角度G可以为91°以上96°以下。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

在上述垫片中，所述开口部可以具有以所述开口部中最接近所述喷嘴的前端的部分为底边的等腰梯形形状。

根据该构成，由于在开口部的长度方向两端部相互等同的涂布液停留在原地，因此将涂布液排出至对象物时能够在开口部的长度方向两端部平衡良好地抑制涂布宽度的扩展。因此，容易使涂布膜的膜厚、膜端的形状(边缘轮廓)均匀。

在上述垫片中，所述开口部可以具有：定宽开口部，在最远离所述喷嘴的前端的部分与靠近所述喷嘴的前端的部分之间具有恒定的宽度；扩宽开口部，与所述定宽开口部相连，具有随着从靠近所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐变宽的宽度。

根据该构成，涂布液在定宽开口部中遍及开口部的长度方向的整个区域以单位流量均匀地通过，另一方面，在扩宽开口部中，在开口部的长度方向两端部附近以比单位流量减少的流量通过。即，能够在从定宽开口部向扩宽开口部移动的时机，减少开口部的长度方向两端部附近的涂布液的通过量。因此，容易与涂布液的种类、垫片的材质等要求规格相对应。

在上述垫片中，所述开口部可以具有倾斜部，该倾斜部以随着从靠近所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐位于外侧的方式倾斜，将与所述垫片的延伸方向以及所述垫片的厚度方向各自正交的方向上的所述倾斜部的高度设为H时，所述倾斜部的高度H为3mm以上50mm以下。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

在上述垫片中，流过所述开口部的涂布液可以具有0.3Pa·s以上20Pa·s以下的粘度。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

在上述垫片中，所述开口部可以沿着所述垫片中最接近所述喷嘴的前端的部分的端缘隔开间隔地设置有多个。

根据该构成，将涂布液排出至对象物时，能够隔开间隔地使多个涂布膜同时形成于对象物。例如，在1个基板上制作多个面板的情况下，能够容易地在相邻的2个面板间设置间隙。

本发明的一方案的喷嘴的特征在于具备上述垫片。

根据该构成，能够提供一种喷嘴，通过具备上述垫片，可使涂布宽度尽可能地接近目标值。

本发明的一方案的涂布装置的特征在于，包括：基板输送部，输送基板；涂布部，具备上述喷嘴，从所述喷嘴将涂布液涂布至输送来的所述基板。

根据该构成，能够提供一种涂布装置，通过具备上述喷嘴，能够严格地管理涂布宽度，形成高品质的涂布膜。

发明效果

根据本发明，目的在于提供一种可使涂布宽度尽可能地接近目标值的垫片以及具备该垫片的喷嘴。除此之外，能够提供一种涂布装置，通过具备这样的喷嘴，能够严格地管理涂布宽度，形成高品质的涂布膜。

附图说明

图1是实施方式的涂布装置的立体图。

图2是实施方式的涂布装置的主视图。

图3是实施方式的喷嘴的分解立体图。

图4是实施方式的喷嘴的主视图。

图5是包括图4的V-V截面的图。

图6是实施方式的喷嘴的仰视图。

图7是用于说明实施方式的喷嘴的作用的图。

图8是实施方式的垫片的主视图。

图9是实施方式的垫片的开口部的主视图。

图10是用于说明实施方式的垫片的开口部的作用的图。

图11是实施方式的变形例的垫片的开口部的主视图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系并对各部件的位置关系进行说明。将水平面内的规定方向设为X方向，水平面内与X方向正交的方向设为Y方向，与X方向以及Y方向各自正交的方向(即竖直方向)设为Z方向。

<涂布装置>

如图1所示，涂布装置1是将涂布液涂布于基板5的装置。例如，基板5是用于液晶面板等的玻璃基板。基板5呈矩形板状。涂布装置1具备：基板输送部2，输送基板5；涂布部3，涂布涂布液；管理部4，管理涂布部3。

<基板输送部>

基板输送部2在Y方向上具有长边。基板输送部2在Y方向上输送基板5。Y方向是涂布装置1中的基板输送方向。

基板输送部2具备台架7、台8以及输送机构9。

<台架>

台架7在Y方向上具有长边。台架7支承台8以及输送机构9。例如，台架7载置于地面上。

台架7具备：台架主体7a，位于X方向的中央；第一台架侧部7b，位于台架主体7a的-X方向侧；第二台架侧部7c，位于台架主体7a的+X方向侧。

台架主体7a支承台8。

第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c支承输送机构9。在第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c各自设置有沿Y方向延伸的一对槽7d、7e(参照图2)。

如图2所示，一对槽7d、7e沿X方向排列配置。以下也将一对槽7d、7e中位于X方向内侧的槽7d称为“内槽7d”，位于X方向外侧的槽7e称为“外槽7e”。内槽7d位于外槽7e的上方。内槽7d位于比外槽7e更靠近台8。

<输送机构>

输送机构9在Y方向上输送基板5。输送机构9在第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c各自的上部各设置有一个。设置有一对输送机构9夹着台8。一对输送机构9相对于台8的X方向中央呈线对称。

如图1所示，输送机构9具备：滑块9a；基板保持部9b，保持基板5；轨道9c，在台8的侧方沿Y方向延伸。

例如，滑块9a内置有线性电机(未图示)。滑块9a通过线性电机的驱动沿轨道9c移动。

如图2所示，基板保持部9b以悬臂方式保持基板5的X方向侧的侧缘部。基板保持部9b保持基板5中向台8的X方向外侧突出的部分。

基板保持部9b设置在滑块9a中台8侧的端部。如图1所示，基板保持部9b沿Y方向排列而设置有多个(例如本实施方式中为4个)。例如，在基板保持部9b可以设置吸附基板5进行保持的吸附垫(未图示)。

轨道9c设置在第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c各自的台8侧的上端部。

各输送机构9可分别独立地输送基板5。因此，能够利用第一台架侧部7b侧的输送机构9与第二台架侧部7c侧的输送机构9而保持不同的基板5。由此，由于能够通过各输送机构9交替地输送基板5，因此能够提高吞吐量(例如，每单位时间的基板的输送速度)。

另外，在输送具有上述基板5的一半左右的面积的基板的情况下，由于能够用2个输送机构9各保持一块基板，因此通过使2个输送机构9沿Y方向并进，能够同时输送2块基板。

<涂布部>

如图1所示，涂布部3具备门型框架10、喷嘴50、传感器15、供给部20以及废液部30。

<门型框架>

如图2所示，门型框架10具备：一对支柱部件10a，形成沿Z方向延伸的柱状；联接部件10b，沿X方向延伸而架设在一对支柱部件10a之间。

各支柱部件10a分别由第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c支承。

联接部件10b的X方向两端部分别与一对支柱部件10a的上端部连接。由此，门型框架10以在X方向横跨台8的方式设置。联接部件10b设为可相对于支柱部件10a沿Z方向升降(可沿图2中的箭头u方向移动)。例如，在联接部件10b可以设置有使联接部件10b可相对于一对支柱部件10a上下移动的滑块。

门型框架10与框架移动机构11连接。框架移动机构11具备沿Y方向延伸的轨道部件12与驱动机构13。

轨道部件12在第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c的外槽7e内各设置有1个。

驱动机构13与门型框架10连接。涂布部3通过驱动机构13的驱动可沿轨道部件12在Y方向(图1中的箭头n方向)上移动。

<喷嘴>

如图2所示，喷嘴50形成为在X方向(图中的箭头v方向)具有长边的长条状。喷嘴50为狭缝喷嘴。喷嘴50可装卸地安装于门型框架10的联接部件10b的下端部(-Z方向侧的端部)。

<传感器>

在联接部件10b的下端部设置有沿X方向的多个(例如本实施方式中为3个)传感器15。传感器15测量喷嘴前端51a与和喷嘴前端51a对置的对置面(例如配置在喷嘴50的下方的基板5的上表面)之间的距离(Z方向的间隔)。

<供给部>

如图1所示，供给部20具备：泵21，可将涂布液供给至喷嘴50；供给源22，可将涂布液供给至泵21。

供给源22具备贮存涂布液的贮存罐22a。在贮存罐22a中连接有可导入氮气等惰性气体的管路24。管路24经由未图示的阀与加压源23连接。通过阀的开闭控制来调整贮存罐22a内的压力。供给源22通过贮存罐22a内的压力调整将规定量的涂布液向泵21供给。

例如，涂布液使用用于形成树脂基板以及层间绝缘膜等的液状体。在本实施方式中，涂布液使用包含具有1～10Pa·s左右的粘度的聚酰亚胺的液状体。通常来说，用于形成用在液晶显示装置的TFT以及液晶层等的液状体具有0.01Pa·s以下的粘度。因此，包含聚酰亚胺的液状体与用于形成TFT以及液晶层等的液状体相比具有较高的粘度。另外，可以使用除包含聚酰亚胺的液状体以外的液状体作为涂布液。例如，可以使用光致抗蚀剂等药液(液体)作为涂布液。另外，涂布液的粘度例如为0.3Pa·s以上20Pa·s以下的范围。

供给部20具备形成涂布液的供给通路(流路)的多个管路24～26。如上所述，涂布液从供给源22流向喷嘴50。以下，在涂布液流动的方向上，有时将供给源22侧称为“上游侧”，喷嘴50侧称为“下游侧”。供给源22从上游侧依次经由管路25、泵21以及供给管路26而与喷嘴50连接。

<废液部>

废液部30具备贮存来自喷嘴50的废液的第一废液瓶31以及第二废液瓶32。第一废液瓶31以及第二废液瓶32夹着供给部20在喷嘴50的长度方向上分离。在第一废液瓶31以及第二废液瓶32各自连接有形成涂布液的废液路(流路)的第一废液管路33以及第二废液管路34。来自喷嘴50的废液分别通过第一废液管路33以及第二废液管路34各自流向第一废液瓶31以及第二废液瓶32。

<管理部>

管理部4以使排出至基板5的涂布液的排出量恒定的方式管理喷嘴50。如图1所示,管理部4设置在比涂布部3更靠-Y方向侧。管理部4具备预备排出机构41、浸渍槽42、喷嘴清洗装置43、收容部44以及保持部件45。

预备排出机构41预备地排出涂布液。例如，在涂布部3配置于涂布处理区域的状态下，预备排出机构41设置在最接近喷嘴50的位置。

在浸渍槽42的内部贮存有稀释剂等溶剂。

喷嘴清洗装置43冲洗喷嘴50的排出口60(参照图2)附近。喷嘴清洗装置43具备在X方向上移动的清洗机构与使清洗机构移动的移动机构(均未图示)。

收容部44收容有预备排出机构41、浸渍槽42以及喷嘴清洗装置43。

如图2所示，收容部44的X方向的长度小于门型框架10的支柱部件10a间的距离。门型框架10设为可在收容部44的上方横跨收容部44沿Y方向移动。在使门型框架10在收容部44的上方移动的状态下，喷嘴50可接近收容部44内的预备排出机构41、浸渍槽42以及喷嘴清洗装置43(参照图1)。

如图2所示，保持部件45从下方支承收容部44的X方向两端部。

保持部件45与管理部移动机构46连接。管理部移动机构46具备沿Y方向延伸的轨道部件47与驱动机构48。

轨道部件47在第一台架侧部7b以及第二台架侧部7c的内槽7d内各设置有1个。

驱动机构48与保持部件45连接。管理部4设为可通过驱动机构48的驱动沿轨道部件47在Y方向(图1中的箭头m方向)上移动。

<喷嘴详细内容>

如图4所示，喷嘴50具备：长条的喷嘴主体51；连结部件52，设置在喷嘴主体51的上端；一对侧板53、54，设置在喷嘴主体51的长度方向(以下也称为“喷嘴长度方向”)的两端。在图1以及图2中，简化地图示了连结部件52。

在图5的剖视状态下，喷嘴主体51具备以位于大致Y方向中央的下方的方式突出的下方突出部。在下方突出部的下端(以下称为“喷嘴前端51a”)形成有排出涂布液的排出口60。排出口60沿喷嘴长度方向延伸。

如图5所示，在喷嘴主体51设置有：排出口60，排出涂布液；流路61，与排出口60连通；排出用连接通路69，连接排出口60与流路61；排气通路62(参照图4)，与流路61连通；供给通路63，将涂布液供给至流路61；凹槽72，用于调整排出口60的宽度。

如图5所示，喷嘴主体51具备第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56。第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56夹着垫片80在Y方向上对置配置。喷嘴主体51以使第一喷嘴主体55的面55f(Y方向内侧面)与第二喷嘴主体56的面56f(Y方向内侧面)对置，且在第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56之间夹持有垫片80的状态组装。在图3中，简化地图示了垫片80。

<第一喷嘴主体>

如图3所示，第一喷嘴主体55为沿喷嘴长度方向延伸的长条的部件。第一喷嘴主体55的长度方向与喷嘴长度方向一致。以下也将第一喷嘴主体55的长度方向称为“喷嘴长度方向”。

例如，第一喷嘴主体55由不锈钢等金属材料形成。如图5所示，在第一喷嘴主体55中与第二喷嘴主体56对置的面55f(Y方向内侧面)设置有在喷嘴50中构成流路61的凹部55a。即，流路61设置于第一喷嘴主体55。

如图4所示，流路61与供给通路63连通，包含将由供给通路63供给的涂布液分散的分散通路64。

分散通路64沿喷嘴长度方向形成为直线状。分散通路64以喷嘴长度方向上的第一喷嘴主体55的中心位置为基准在喷嘴长度方向上具有对称的形状。

<第二喷嘴主体>

如图3所示，第二喷嘴主体56为沿喷嘴长度方向延伸的长条的部件。第二喷嘴主体56的长度方向与喷嘴长度方向一致。以下也将第二喷嘴主体56的长度方向称为“喷嘴长度方向”。

例如，第二喷嘴主体56使用不锈钢等金属材料形成。第二喷嘴主体56使用与第一喷嘴主体55相同的材料形成。第二喷嘴主体56中与第一喷嘴主体55对置的面56f(Y方向内侧面)呈平面状。在第二喷嘴主体56设置有在喷嘴50中构成供给通路63以及排气通路62的多个(例如本实施方式中为3个)贯通孔56a。即，供给通路63以及排气通路62设置于第二喷嘴主体56。

如图5所示，供给通路63呈沿第二喷嘴主体56的厚度方向(Y方向)延伸的直线状。如图4所示，供给通路63位于喷嘴长度方向上的第一喷嘴主体55的中央部。供给通路63与第一喷嘴主体55的分散通路64的长度方向中央部连通。

如图4所示，排气通路62在喷嘴长度方向上分离地设置有一对。一对排气通路62位于喷嘴长度方向上第一喷嘴主体55的两端部。以下，也将一对排气通路62中位于喷嘴长度方向上第二喷嘴主体56的第一端部的排气通路62a称为“第一排气通路62a”，位于第二喷嘴主体56的第二端部的排气通路62b称为“第二排气通路62b”。

如图3所示，第一排气通路62a以及第二排气通路62b各自呈沿第二喷嘴主体56的厚度方向(Y方向)延伸的直线状。如图4所示，第一排气通路62a以及第二排气通路62b各自与第一喷嘴主体55的分散通路64的端部连通。第一排气通路62a与第一喷嘴主体55的第一端部处的分散通路64连接。第二排气通路62b与第一喷嘴主体55的第二端部处的分散通路64连接。在第一排气通路62a连接有第一废液管路33(参照图1)。在第二排气通路62b连接有第二废液管路34(参照图1)。

如图3所示，第二喷嘴主体56中，在供给通路63以及排气通路62的下方设置有凹槽72。如图5所示，凹槽72从第二喷嘴主体56的Y方向外侧面朝向Y方向内侧凹陷。如图3所示，凹槽72呈沿喷嘴长度方向延伸的直线状。

<喷嘴主体的内部结构>

在图5的剖视状态下，在喷嘴主体51中由第一喷嘴主体55的凹部55a与第二喷嘴主体56的面56f包围的空间成为流路61。在图5的剖视状态下，凹部55a具有包含椭圆形状的一部分的形状(椭圆的圆弧状),该椭圆形状具有朝向下方倾斜的长轴。在图5的剖视状态下，第一喷嘴主体55的面55f与第二喷嘴主体56的面56f之间的间隙，且形成于流路61与排出口60之间的间隙成为排出用连接通路69。

排出口60是在组合第一喷嘴主体55、第二喷嘴主体56与垫片80的状态下形成于流路61的-Z侧端部的开口。排出口60沿喷嘴长度方向形成为狭缝状。

例如，喷嘴长度方向上排出口60的尺寸可以小于基板5(参照图2)的X方向的尺寸。由此，能够抑制涂布液涂布于基板5的周围区域。

如图5所示，在喷嘴主体51中形成为使得流路61的内壁中最低的位置P1低于排出用连接通路69与流路61的连接位置P2。在喷嘴主体51的内部，在排出用连接通路69与流路61的连接位置P2设置有呈锐角状的锐角部55b。锐角部55b将流路61内的涂布液切出同时向排出用连接通路69侧供给。

锐角部55b由第一喷嘴主体55中构成排出用连接通路69的面55f与流路61的内壁面的一部分构成。例如，优选为锐角部55b的角度A1设定为15°以上90°以下的范围。由此，能够在锐角部55b处将涂布液切出并同时送入排出用连接通路69侧。从有效地进行涂布液的切出的观点出发，更优选为锐角部55b的角度A1设定为20°以上40°以下的范围。

<连结部件>

如图5所示，连结部件52设置在喷嘴主体51的与排出口60相反的一侧的面(上表面)。连结部件52连结第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56。如图4所示，连结部件52为沿喷嘴长度方向延伸的长条的部件。例如，连结部件52使用不锈钢等金属材料形成。连结部件52使用与喷嘴主体51相同的材料形成。

连接部件52是呈与喷嘴主体51的上表面的外形相同的外形的矩形板状的顶板。如图3所示，在连结部件52的四角各自设置有在厚度方向上贯通连结部件52的贯通孔52h。在第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56各自的上表面的角部，在与各贯通孔52h相对应的位置设置有内螺纹部55m、56m。例如，通过将螺栓(未图示)插通至连结部件52的各贯通孔52h并拧入第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56的各内螺纹部55m、56m，能够连结第一喷嘴主体55以及第二喷嘴主体56。在连结部件52的上表面设置有供给部20以及废液部30(参照图2)。

<侧板>

如图4所示，一对侧板53、54位于喷嘴长度方向上喷嘴主体51的两端部。以下，也将一对侧板53、54中位于喷嘴长度方向上喷嘴主体51的第一端部的侧板53称为“第一侧板53”，位于喷嘴主体51的第二端部的侧板54称为“第二侧板54”。

如图3所示，第一侧板53以及第二侧板54各自具有与在Y方向观察到的喷嘴主体51的截面的轮廓形状相同的形状。例如，第一侧板53以及第二侧板54各自使用不锈钢等金属材料形成。

第一侧板53是关闭流路61以及凹槽72的第一端部侧的板部件。

第二侧板54是关闭流路61以及凹槽72的第二端部侧的板部件。

<调整机构>

如图6所示，在第二喷嘴主体56设置有能够调整排出口60的宽度的调整机构70。在图6中示出喷嘴主体51中第二侧板54侧的端部。虽未图示，但由于在喷嘴主体51中第一侧板53侧的端部处也具有与第二侧板54侧的端部相同的构成，因此省略说明。

调整机构70具备沿喷嘴长度方向排列的多个调整部件71。如图5所示，各调整部件71位于在Z方向上与凹槽72重叠的位置。各调整部件71配置于避开供给通路63以及排气通路62(参照图4)的位置。例如，各调整部件71为调整螺丝。

例如，通过转动调整部件71，能够按压凹槽72的侧壁面来调整排出口60的宽度。如图6所示，相邻的2个调整部件71的间隔大致在喷嘴长度方向上第二喷嘴主体56的端部侧变窄。即，多个调整部件71被配置为大致在喷嘴长度方向上第二喷嘴主体56的端部侧变得密集。多个调整部件71在喷嘴长度方向上第二喷嘴主体56的两端部以外的部分(喷嘴长度方向靠近中央的部分)等间隔地配置。

<涂布动作>

对涂布装置1的涂布动作的一例进行说明。

如图1所示，首先在涂布装置1的涂布动作中，将基板5搬入台8。

接着，使用输送机构9输送基板5并涂布涂布液。

然后，将涂布有涂布液的基板5搬出。使用一对输送机构9交替地进行这样的动作。

例如，通过基板保持部9b保持搬入台8的基板5后，使滑块9a沿轨道9c在Y方向上移动。基板5随着滑块9a的移动而在Y方向上移动。

基板5的输送方向前端到达喷嘴50的排出口60(参照图2)的位置时，从喷嘴50的排出口60将涂布液向基板5排出。在使喷嘴50的位置固定的状态下，通过滑块9a输送基板5，由此变更排出口60与基板5的上表面的相对位置同时进行涂布液的排出。

<喷嘴的作用>

图7是用于说明第一实施方式的喷嘴50的作用的图。在图7中，省略连结部件52、供给部20以及废液部30等的图示。

使用图1所示的泵21，经由与喷嘴50连接的供给管路26将涂布液供给至喷嘴50。如图7所示，涂布液从供给管路26(参照图1)经过供给通路63被供给至流路61内。供给至流路61内的涂布液被快速填充至喷嘴长度方向上的流路61的两端侧。

由于涂布液通过泵21(参照图1)被加压，因此被朝向排出用连接通路69推出。在图7中，将朝向排出用连接通路69被推出的涂布液以附图标记LA表示，将朝向排气通路62被推出的涂布液以附图标记LB表示。

此时，由于喷嘴50在图5的剖视状态下形成为流路61的内壁中最低的位置P1低于排出用连接通路69与流路61的连接位置P2，因此若流路61内未被加压则涂布液难以流入排出用连接通路69中。因此，供给至流路61内的涂布液不会立即流入排出用连接通路69，而是首先填充至流路61的整个区域，并在内压升高后流入排出用连接通路69。因此，在喷嘴长度方向上排出口60的整个区域中，涂布液的排出量几乎没有差异，能够均匀地涂布涂布液。

然而，在本实施方式使用的涂布液具有触变(thixotropy)性。因此，若相对于涂布液施加剪切力(应变)，则涂布液的高分子链伸长，缠结的高分子链松弛，由此阻力(粘性)降低。

通常若增加剪切力，则高分子链在各处被切断(破坏结构)，粘性进一步降低。由于一旦被切断的高分子链难以复原，因此即使去除剪切力，粘性也会暂时保持降低的状态。特别地，若使用粘度较高的涂布液作为涂布液，则会发生由于剪切力使涂布量产生偏差这样的问题。

与此相对，如图5所示，本实施方式的喷嘴50在排出用连接通路69与流路61的连接位置P2具备锐角部55b。锐角部55b将涂布液切出同时送入排出用连接通路69侧。由于无法对由锐角部55b切出的涂布液施加上述剪切力，因此能够不对涂布液施加剪切力而进行涂布。即，在本实施方式的喷嘴50中，不需要考虑涂布液的触变性。

进而，如上所述，在喷嘴50中形成为流路61的内壁中最低的位置P1低于排出用连接通路69与流路61的连接位置P2，填充至流路61内的涂布液的压力容易升高。由于升高的压力适宜于将涂布液朝向排气通路62推出，因此能够容易地得到上述锐角部55b的切出效果。此外，如图7所示，上述升高的压力能够促进气泡与涂布液LB一起排出。

涂布液LB像这样地在排气通路62内流动，经由废液管路33、34排出至废液瓶31、32(参照图1)。废液管路33、34也作为使涂布液LB中所包含的气泡流通的排气管路发挥功能。

另一方面，将涂布液供给至流路61内的泵21(参照图1)对流路61内的涂布液加压，通过该加压将涂布液推出至排出用连接通路69。被推出至排出用连接通路69的涂布液LA通过被锐角部55b切出，从而在上述的未被施加剪切力的状态下从排出口60排出。因此，根据本实施方式，能够不考虑涂布液LA的触变性而进行抑制了不均产生的涂布。

如上所述，由于涂布液中所包含的气泡经由排气通路62排出至外部，因此将适当去除了气泡的涂布液LA从排出口60排出。

由于在喷嘴50中供给通路63以及排气通路62分别形成为直线状，因此以上这样的涂布液LA、LB的流动能够无停滞地顺畅进行。

如图1所示，从喷嘴50排出的涂布液随着基板5的移动而涂布于基板5上。即，基板5通过排出涂布液的排出口60(参照图2)下，由此在基板5的规定区域形成涂布膜。

<垫片>

如图8所示，垫片80在X方向(喷嘴长度方向)具有长边。垫片80在喷嘴长度方向以及上下方向(Z方向)的整个区域具有均匀的厚度(参照图5)。垫片80以垫片80的延伸方向上垫片80的中心位置(X方向中心位置)为基准，在垫片80的延伸方向上具有对称的形状。垫片80具有：板状的垫片主体81，沿喷嘴长度方向延伸；开口部82，在垫片主体81中朝向喷嘴50的前端开口。

开口部82沿垫片80中最接近喷嘴50的前端的部分的端缘隔开间隔地设置有多个。在图8的例子中，配置有9个开口部82。9个开口部82为配置在垫片80的延伸方向的中央位置的1个开口部82A(以下也称为“中央开口部82A”)、与夹着中央开口部82A在垫片80的延伸方向两侧各配置4个的开口部82B(以下也称为“侧部开口部82B”)。侧部开口部82B具有大于中央开口部82A的开口宽度。8个侧部开口部82B具有实质上相互等同的开口宽度。

<开口部>

以下，对于开口部82的详细内容，例举侧部开口部82B进行说明。由于中央开口部82A除开口宽度的大小以外与侧部开口部82B具有同样的构成，因此省略详细说明。

如图9所示，侧部开口部82B(以下仅称为“开口部82”)在最接近喷嘴50的前端(参照图7)的部分(即下端)具有最大宽度。例如，开口部82的开口宽度W(最大宽度)被设定为90mm左右。

开口部82在远离喷嘴50的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度。具体地，开口部82在最远离喷嘴50的前端的部分(即上端)具有最小宽度。开口部82随着从最远离喷嘴50的前端的部分接近喷嘴50的前端而逐渐变宽。在图9的主视状态下，开口部82具有以开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分为底边的等腰梯形形状。开口部82由最远离喷嘴50的前端的部分即上边83与作为一对腰(开口部82的长度方向两端部)的第一侧边84以及第二侧边85来划定。

在此，将开口部82中最远离喷嘴50的前端的部分的一端(上边83的一端)设为K1。将在开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分的一端(开口部82的开口侧的角部顶点)中与K1位于同侧的一端设为K2。将垫片80中最接近喷嘴50的前端的部分的端缘上的点设为K3。将连结K1与K2的线段以及连结K2与K3的线段所成的角度设为G。在本实施方式中，角度G为91°以上96°以下。从使涂布宽度接近目标值的观点出发，更优选为将角度G设定为91°以上92°以下的范围。

<垫片的开口部的作用>

图10是用于说明实施方式的垫片80的开口部82的作用的图。

若涂布液流出至垫片80的开口部82，则涂布液被引导至开口部82的第一侧边84以及第二侧边85而从上边83流向下端开口。在本实施方式中，垫片80的开口部82在最接近喷嘴50的前端的部分具有最大宽度，由此在开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分形成最宽的空间。因此，从开口部82排出的涂布液通过表面张力(毛细管现象)被拉向第一侧边84以及第二侧边85。这样一来，从开口部82排出的涂布液在开口部82的第一侧边84以及第二侧边85容易停留在原地。由此，涂布液以在开口部82的长度方向中央部(开口宽度中央部)向下方形成凸起的方式弯曲并膨出。

即，从开口部82排出的涂布液在开口部82的长度方向中央部以规定的单位流量(开口部82的长度方向上每单位长度的流量)被排出。另一方面，从开口部82排出的涂布液在开口部82的第一侧边84以及第二侧边85的附近以比单位流量减少了停留在原地的流量后的流量被排出。由此，将涂布液排出至对象物时，能够以从单位流量减少的流量对应地抑制涂布宽度的扩展。图中的附图标记D表示在第一侧边84以及第二侧边85的附近减少的涂布宽度。

如上所述，本实施方式的垫片80是内置于具有狭缝状的排出口60的喷嘴50的垫片80，具有朝向喷嘴50的前端开口的开口部82，开口部82在最接近喷嘴50的前端的部分具有最大宽度，且在远离喷嘴50的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度。

根据该构成，垫片80的开口部82在最接近喷嘴50的前端的部分具有最大宽度，且在远离喷嘴50的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度，由此在开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分形成最宽的空间。因此，从开口部82排出的液体(涂布液)通过表面张力(毛细管现象)被拉向开口部82的长度方向两端部。这样一来，从开口部82排出的涂布液在开口部82的长度方向两端部容易停留在原地。即，从开口部82排出的涂布液在开口部82的长度方向中央部以规定的单位流量(开口部82的长度方向上每单位长度的流量)被排出，另一方面在开口部82的长度方向两端部附近以比单位流量减少了停留在原地的流量后的流量被排出。由此，将涂布液排出至对象物时，即使涂布宽度有容易比目标值更宽的倾向，也能够以从单位流量减少的流量对应地抑制涂布宽度的扩展。因此，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值。

开口部82在最远离喷嘴50的前端的部分具有最小宽度，且随着从最远离喷嘴50的前端的部分接近所述喷嘴50的前端而逐渐变宽。

根据该构成，能够将涂布液从开口部82中最远离喷嘴50的前端的部分顺畅地排出至最接近喷嘴50的前端的部分。

将开口部82中最远离喷嘴50的前端的部分的一端设为K1，开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分的一端中与K1位于同侧的一端设为K2，垫片80中最接近喷嘴50的前端的部分的端缘上的点设为K3，连结K1与K2的线段以及连结K2与K3的线段所成的角度设为G时，角度G为91°以上96°以下。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

开口部82具有以开口部82中最接近喷嘴50的前端的部分为底边的等腰梯形形状。

根据该构成，由于在开口部82的长度方向两端部有相互等同的涂布液停留在原地，因此将涂布液排出至对象物时能够在开口部82的长度方向两端部平衡良好地抑制涂布宽度的扩展。因此，容易使涂布膜的膜厚、膜端的形状(边缘轮廓)均匀。

在开口部82中流动的涂布液具有0.3Pa·s以上20Pa·s以下的粘度。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

开口部82沿垫片80中最接近喷嘴50的前端的部分的端缘隔开间隔地设置有多个。

根据该构成，将涂布液排出至对象物时，能够隔开间隔地使多个涂布膜同时形成于对象物。例如，在1个基板上制作多个面板的情况下，能够容易地在相邻的2个面板间设置间隙。

本实施方式的喷嘴50具备上述垫片80。

根据该构成，能够提供喷嘴50，通过具备上述垫片80，可使涂布宽度尽可能地接近目标值。

本实施方式的涂布装置1包括：基板输送部2，输送基板5；涂布部3，具备上述喷嘴50，从喷嘴50将涂布液涂布至所输送的基板5。

根据该构成，能够提供涂布装置1，通过具备上述喷嘴50，能够严格地管理涂布宽度，形成高品质的涂布膜。

另外，在上述例子中示出的各构成部件的各种形状或组合等为一例，能够根据设计要求等进行各种变更。

例如，在上述实施方式中，例举输送机构9在Y方向上输送基板5的例子进行了说明，但不限于此。例如，驱动机构13也可以使喷嘴50与门型框架10一起在Y方向上移动。例如，也可以将基板5配置在固定位置，在Y方向上仅移动喷嘴50。即，基板5与喷嘴50可以在Y方向上相对地移动。

在上述实施方式中，例举将供给通路63配置于喷嘴长度方向上的第一喷嘴主体55的中央部的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以将供给通路63配置于喷嘴长度方向上第一喷嘴主体55的端部。

在上述实施方式中，例举分散通路64以喷嘴长度方向上第一喷嘴主体55的中心位置为基准，在第一喷嘴主体55的长度方向上具有对称的形状的例子进行了说明，但不限于此。例如，分散通路64也可以以喷嘴长度方向上第一喷嘴主体55的中心位置为基准，在第一喷嘴主体55的长度方向上具有非对称的形状。

在上述实施方式中，例举在喷嘴主体51的上表面设置有连结部件52的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以在喷嘴主体51的上表面不设置连结部件52。例如，也可以将喷嘴主体51的上表面作为供给部20以及废液部30的设置空间来活用。

在上述实施方式中，例举在喷嘴长度方向上喷嘴主体51的两端部设置有一对侧板53、54的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以在喷嘴长度方向上喷嘴主体51的两端部不设置侧板。

在上述实施方式中，例举在第二喷嘴主体56设置能够调整排出口60的宽度的调整机构70的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以在第二喷嘴主体56不设置调整机构70。例如，调整机构70也可以设置于第一喷嘴主体55。例如，也可以预先准备厚度不同的多个垫片，通过替换垫片来调整排出口60的宽度。

在上述实施方式中，例举在联接部件10b设置有使联接部件10b可相对于一对支柱部件10a上下移动的滑块的例子进行了说明，但不限于此。例如，也可以在台8设置有能够使基板5升降的升降销。

在上述实施方式中，例举开口部82具有以开口部82中最接近喷嘴的前端的部分为底边的等腰梯形形状的例子进行了说明，但不限于此。例如，如图11所示，开口部182也可以具有：定宽开口部182a，在最远离喷嘴的前端的部分与靠近喷嘴的前端的部分之间具有恒定的宽度；扩宽开口部182b，与定宽开口部182a相连，具有随着从靠近喷嘴的前端的部分接近喷嘴的前端而逐渐变宽的宽度。

根据该构成，涂布液在定宽开口部182a中遍及开口部182的长度方向的整个区域以单位流量均匀地通过，另一方面，在扩宽开口部182b中，在开口部182的长度方向两端部附近以比单位流量减少的流量通过。即，在从定宽开口部182a向扩宽开口部182b移动的时机，能够减少开口部182的长度方向两端部附近的涂布液的通过量。因此，容易与涂布液的种类、垫片的材质等要求规格相对应。

开口部182具有倾斜部186，该倾斜部186以随着从靠近喷嘴的前端的部分接近喷嘴的前端而逐渐位于外侧的方式倾斜。在此，将与垫片的延伸方向以及垫片的厚度方向各自正交的方向上的倾斜部186的高度设为H。即，倾斜部186的高度H为倾斜部186的Z方向分量的长度。此时，倾斜部186的高度H可以为3mm以上50mm以下。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值。

在此，将垫片的延伸方向上倾斜部186的宽度设为I。即，倾斜部186的宽度I为X方向的长度。此时，倾斜部186的宽度I可以为从H/10到H/2的范围，也可以为从H/6到H/3的范围。例如，倾斜部186的高度H为4mm时，倾斜部186的宽度I被设定为1mm。

根据该构成，能够使涂布宽度更接近目标值(参照表1)。

另外，在上述内容中作为实施方式或者其变形例记载的各构成要件在不脱离本发明的主旨的范围内能够适当地组合，此外，所组合的多个构成要件中，也能够适当地不使用一部分的构成要件。

【实施例】

以下，通过实施例更具体地说明本发明，但本发明不限定于以下的实施例。

本发明人通过以下的评价确认了通过将垫片的开口部设为规定的形状，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值。

(评价内容)

作为使涂布液流出的垫片的开口部，使用具有以下的比较例1～3以及实施例1～3的开口部的垫片，分别评价了示出涂层宽度与目标值的接近程度的涂布宽度的“与目标值的差”，示出涂布于对象物的涂布液(涂布膜)的端缘形状的评价的有无“边缘起伏”，示出涂布膜的厚度相对于目标厚度的评价的涂布膜的“轮廓”。供给至开口部的涂布液的粘度设为5Pa·s。开口部的开口宽度设为90mm。

(比较例1)

比较例1的垫片使用具有矩形形状的开口部的垫片。即，在比较例1中，开口部的开口侧的角部的角度(相当于开口部的角度G)为90°。

(实施例1)

实施例1的垫片使用具有等腰梯形形状的开口部且开口部的角度G为91°的垫片。

(实施例2)

实施例2的垫片使用具有等腰梯形形状的开口部且开口部的角度G为92°的垫片。

(实施例3)

实施例3的垫片使用将具有矩形形状的开口部的垫片的开口部的开口侧的角部以1mm×4mm倒角后的垫片。即，在实施例3中，使用将图11所示的变形例的倾斜部的宽度I设为1mm、倾斜部的高度H设为4mm的垫片(将开口部的开口侧的角部以X方向1mm、Z方向4mm倒角后的垫片)。

(评价结果)

对于涂布宽度的“与目标值的差”的评价结果，在以比较例1为基准的情况下，实施例1～3呈现良好的结果。在此，将涂布宽度设为x1、目标值设为x2时，与目标值的差dx通过以下算式(1)计算。

dx＝x2－x1…(1)

根据算式(1)，在涂布宽度x1比目标值x2宽时，与目标值的差dx为正。另一方面，在涂布宽度x1比目标值x2窄时，与目标值的差dx为负。

对于涂布膜的“边缘起伏”的评价结果，实施例1～2呈现良好的结果。在表1中，如果产生边缘起伏则为“有”，如果边缘起伏得以抑制则为“无”。

对于涂布膜的“轮廓”的评价结果，实施例2呈现良好的结果。在此，将涂布膜的厚度设为z1、目标厚度设为z2时，涂布膜的轮廓dz通过以下算式(2)计算。

dz＝(z1/z2)×100…(2)

根据算式(2)，轮廓dz越接近100％，越呈现良好的结果。

【表1】

根据以上内容，可知通过使用开口部的角度G为91°以上96°以下的垫片(实施例1～3)，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值。

此外，可知通过使用具有等腰梯形形状的开口部，且开口部的角度G为91°或92°的垫片(实施例1、实施例2)，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值，并抑制涂布膜的边缘起伏。

此外，可知通过使用开口部的角度G为92°的垫片(实施例2)，能够使涂布宽度尽可能地接近目标值，并抑制涂布膜的边缘起伏，且得到涂布膜的良好的轮廓。

附图标记说明

1 涂布装置

2 基板输送部

3 涂布部

5 基板

50 喷嘴

60 排出口

80 垫片

82 开口部

182 开口部

182a 定宽开口部

182b 扩宽开口部

186 倾斜部。

Claims (10)

1.一种垫片，内置于具有狭缝状的排出口的喷嘴，其特征在于，

具有朝向所述喷嘴的前端开口的开口部，

所述开口部在最接近所述喷嘴的前端的部分具有最大宽度，且在远离所述喷嘴的前端的部分的至少一部分处具有比所述最大宽度窄的宽度。

2.如权利要求1所述的垫片，其特征在于，

所述开口部在最远离所述喷嘴的前端的部分具有最小宽度，且随着从最远离所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐变宽。

3.如权利要求2所述的垫片，其特征在于，

将所述开口部中最远离所述喷嘴的前端的部分的一端设为K1，

所述开口部中最接近所述喷嘴的前端的部分的一端中与所述K1位于同侧的一端设为K2，

所述垫片中最接近所述喷嘴的前端的部分的端缘上的点设为K3，

连结所述K1与所述K2的线段以及连结所述K2与所述K3的线段所成的角度设为G时，

所述角度G为91°以上96°以下。

4.如权利要求2或者3所述的垫片，其特征在于，

所述开口部具有以所述开口部中最接近所述喷嘴的前端的部分为底边的等腰梯形形状。

5.如权利要求1所述的垫片，其特征在于，

所述开口部具有：

定宽开口部，在最远离所述喷嘴的前端的部分与靠近所述喷嘴的前端的部分之间具有恒定的宽度；

扩宽开口部，与所述定宽开口部相连，具有随着从靠近所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐变宽的宽度。

6.如权利要求1～5的任一项所述的垫片，其特征在于，

所述开口部具有倾斜部，该倾斜部以随着从靠近所述喷嘴的前端的部分接近所述喷嘴的前端而逐渐位于外侧的方式倾斜，

将与所述垫片的延伸方向以及所述垫片的厚度方向各自正交的方向上所述倾斜部的高度设为H时，

所述倾斜部的高度H为3mm以上50mm以下。

7.如权利要求1～6的任一项所述的垫片，其特征在于，

流过所述开口部的涂布液具有0.3Pa·s以上20Pa·s以下的粘度。

8.如权利要求1～7的任一项所述的垫片，其特征在于，

所述开口部沿着所述垫片中最接近所述喷嘴的前端的部分的端缘隔开间隔地设置有多个。

9.一种喷嘴，其特征在于，具备如权利要求1～8的任一项所述的垫片。

10.一种涂布装置，其特征在于，包括：

基板输送部，输送基板；

涂布部，具备如权利要求9所述的喷嘴，从所述喷嘴将涂布液涂布至输送来的所述基板。

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