CN103301994A - 垫片构件、涂敷机以及涂敷膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种垫片构件、涂敷机以及涂敷膜的制造方法。该垫片构件被涂敷机所具有的两个涂敷喷嘴部件挟持，其中，该垫片构件通过基端部和一对延伸部而形成日文コ字状，该基端部以沿着狭缝的长度方向延伸的方式配置，该一对延伸部从上述基端部的长度方向两端部朝向涂敷喷嘴的前端部延伸，并且，该垫片构件构成为第1部分和第2部分之间能够分开，上述第1部分由上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部构成，或由该至少一个延伸部的整个延伸部构成，上述第2部分是由至少包括上述基端部在内的剩余的部分构成。

Description

垫片构件、涂敷机以及涂敷膜的制造方法

技术领域

本发明涉及一种垫片构件、涂敷机（日文：ダイコーター）以及涂敷膜的制造方法。

背景技术

以往，作为一种涂敷装置，公知有通过使涂敷喷嘴（日文：ダイ）具有用于喷射涂敷液的狭缝而构成的涂敷机。该涂敷机通过将供给来的涂敷液从狭缝挤出并使膜等基材靠近该狭缝并相对移动来在该基材上涂敷涂敷液。

在这种涂敷机中，根据用途等，有时以各种不同的涂敷宽度对基材进行涂敷，此时使用涂敷宽度不同的多个涂敷机会产生很多的浪费。

因此，提出了一种涂敷机，其具有两个涂敷喷嘴部件（日文：ダイブロック）和多个垫片构件，通过利用两个涂敷喷嘴部件夹持并固定垫片构件来形成腔室和狭缝（参照专利文献1）。采用该涂敷机，通过将被涂敷喷嘴部件夹持的垫片构件更换为在涂敷宽度上与该垫片构件不同的垫片构件，能够变更涂敷宽度。

专利文献1：日本特开2009－18227号公报

但是，对于该涂敷机，在每次变更涂敷宽度时，都需要拆解涂敷机而从涂敷机拆下垫片构件并再次安装在涂敷宽度上与上述垫片构件不同的垫片构件。因此，涂敷宽度的变更作业有可能变复杂。

发明内容

本发明是考虑到上述问题点而提出的，其目的在于使涂敷机的涂敷宽度的变更变得容易。

本发明提供一种垫片构件，其以在涂敷机所具有的涂敷喷嘴的前端部形成作为涂敷液的喷射口的狭缝的方式，被上述涂敷喷嘴所具有的以相对的方式配置的两个涂敷喷嘴部件挟持且形成为在上述狭缝侧开口那样的日文コ字状，其特征在于，上述日文コ字状由以沿着上述狭缝的长度方向延伸的方式配置的基端部和从上述基端部的长度方向两端部朝向上述涂敷喷嘴的前端部延伸的一对延伸部形成，并且，该垫片构件构成为第1部分和第2部分之间能够分开，上述第1部分由上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部构成，或由该至少一个延伸部的整个延伸部构成，上述第2部分是由至少包括上述基端部在内的剩余的部分构成。

采用该结构，构成为由一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部构成或由该至少一个延伸部的整个延伸部构成的第1部分和由包括基端部在内的剩余的部分构成第2部分之间能够分开。由此，例如，能够使第1部分构成为能够相对于第2部分沿着长度方向相对移动。在该情况下，通过在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下，使第1部分相对移动，能够变更涂敷宽度。

另外，也可以是，具有多个第1部分用的构件，该第1部分用的构件在用作第1部分时的上述长度方向的长度互不相同，通过从该多个第1部分用的构件选择使用一个构件来构成第1部分。在该情况下，能够通过更换第1部分用的构件来变更涂敷宽度。

因此，能够在不拆解涂敷机的情况下将涂敷宽度变更为期望的宽度。因此，能够易于变更涂敷宽度。

另外，优选的是，在上述垫片构件中，上述第1部分构成为能够相对于上述第2部分沿着上述狭缝的长度方向相对移动。

采用该结构，在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下，仅通过使上述第1部分相对于上述第2部分沿着狭缝的长度方向相对移动，就能够在不拆下垫片构件的情况下将涂敷宽度变更为期望的宽度。因此，能够更易于变更涂敷宽度。

另外，优选的是，在上述垫片构件中，上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部，该前端部以沿着上述长度方向地至少向内侧突出的方式延伸。

采用该结构，例如，能够使前端部构成为能够相对移动。在该情况下，仅通过使前端部相对移动就能够变更涂敷宽度。

另外，也可以具有多个前端部用的构件，通过从上述前端部用的构件中选择使用一个构件来构成前端部。在该情况下，仅通过更换前端部用的构件就能够变更涂敷宽度。因此，更易于变更涂敷宽度。

优选上述前端部构成为上述前端部之间的间隔随着朝向上述狭缝的开口侧去而变大的形状。

采用该结构，能够更加可靠地使涂敷在例如基材等上的涂敷膜的厚度在整个宽度方向上均匀。

另外，优选的是，在上述垫片构件中，上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的整个延伸部。

采用该结构，能够进一步简化第1部分和第2部分的形状。

另外，优选的是，在上述垫片构件中，上述第1部分用的构件具有多个，该多个构件在用作上述第1部分时的上述长度方向的长度互不相同，从该多个构件中选择使用一个构件来构成上述第1部分，并且，所使用的构件能够更换，以调整上述日文コ字状的开口的大小。

采用该结构，由于仅靠更换上述构件而构成第1部分就能够变更涂敷宽度，因此能够更易于变更涂敷宽度。

另外，本发明提供一种涂敷机，其特征在于，该涂敷机具有上述垫片构件。

另外，本发明提供一种涂敷膜的制造方法，其用于在基材上制作涂敷膜，其特征在于，该制造方法使用具有上述垫片构件的涂敷机，并具有以下工序：变更工序，通过使上述第1部分相对于上述第2部分沿着上述狭缝的长度方向相对移动来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度；以及制作工序，从上述狭缝喷射上述涂敷液而在上述基材上制作上述涂敷膜。

另外，本发明提供一种涂敷膜的制造方法，其用于在基材上制作涂敷膜，其特征在于，该制造方法使用具有上述垫片构件的涂敷机，并具有以下工序：变更工序，通过将从上述多个构件中选择使用的构件更换为其他构件来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度；以及制作工序，从上述狭缝喷射上述涂敷液而在上述基材上制作上述涂敷膜。

另外，优选的是，在上述涂敷膜的制造方法中，通过进一步使更换后的上述构件沿着上述长度方向相对移动来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度。

如上所述，采用本发明，能够易于变更涂敷机的涂敷宽度。

附图说明

图1是表示具有本发明的第1实施方式的垫片构件的涂敷机的概略结构图。

图2是涂敷喷嘴的概略立体图。

图3A是图2的涂敷喷嘴的概略侧视图。

图3B是图2的涂敷喷嘴的概略俯视图。

图4A是图3的涂敷喷嘴的概略分解侧视图。

图4B是图4A的第1涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图4C是图4A的垫片构件的概略俯视图。

图4D是图4A的第2涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图5A是表示利用垫片构件将涂敷宽度设置得较小的状态的概略俯视图。

图5B是表示利用垫片构件将涂敷宽度设置得较大的状态的概略俯视图。

图6A是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图6B是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图6C是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图6D是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图6E是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图7是表示涂敷喷嘴的一实施方式的概略侧视图。

图8A是表示第1涂敷喷嘴部件的一实施方式的概略俯视图。

图8B是表示第1涂敷喷嘴部件的一实施方式的概略俯视图。

图9A是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图9B是表示第1部分的一实施方式的概略俯视图。

图10A是表示长度方向的长度较小的第1部分用的构件的概略俯视图。

图10B是表示长度方向的长度较大的第1部分用的构件的概略俯视图。

图11A是表示在本实施方式的垫片构件中选择使用了长度方向的长度较小的第1部分用的构件的状态的概略俯视图。

图11B是表示选择使用了长度方向的长度较大的第1部分用的构件的状态的概略俯视图。

图12A是具有本实施方式的垫片构件的涂敷机中的涂敷喷嘴的概略分解侧视图。

图12B是图12A的第1涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图12C是图12A的垫片构件的概略俯视图。

图12D是图12A的第2涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图13A是表示固定了第1部分的状态的概略侧视图。

图13B是表示解除了第1部分的固定的状态的概略侧视图。

图14A是具有本实施方式的垫片构件的涂敷机中的涂敷喷嘴的概略分解侧视图。

图14B是图14A的第1涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图14C是图14A的垫片构件的概略俯视图。

图14D是图14A的第2涂敷喷嘴部件的概略俯视图。

图15A是表示在本实施方式的垫片构件中选择使用了长度方向的长度较小的第1部分用的构件的状态的概略俯视图。

图15B是表示选择使用了长度方向的长度较大的第1部分用的构件的状态的概略俯视图。

图16A是表示固定了第1部分的状态的概略侧视图。

图16B是表示解除了第1部分的固定的状态的概略侧视图。

图17A是表示本发明的第2实施方式的垫片构件的概略俯视图，其是表示将涂敷宽度设置得较小的状态的图。

图17B是表示本发明的第2实施方式的垫片构件的概略俯视图，其是表示将涂敷宽度设置得较大的状态的图。

图18是表示本发明的第3实施方式的垫片构件的概略俯视图。

图19是表示在参考例中使用的一实施方式的垫片构件的概略俯视图。

图20是表示涂敷膜的宽度方向位置和厚度之间的关系的图表。

具体实施方式

以下，参照附图说明具有本发明的实施方式的垫片构件的涂敷机。

首先，说明具有本发明的第1实施方式的垫片构件的涂敷机。

如图1～图4所示，本实施方式的涂敷机1包括：涂敷喷嘴2，其具有第1涂敷喷嘴部件（日文：ダイブロック）2a和第2涂敷喷嘴部件2b（这两个涂敷喷嘴部件）；以及垫片构件30，其被两个涂敷喷嘴部件挟持，形成为在上述狭缝10侧开口那样的日文コ字状。该涂敷机1通过向由例如辊构件53支持地进行移动的基材51上喷射涂敷液5来在该基材51上形成涂敷膜55。

涂敷喷嘴2具有以在其前端部形成狭缝10的方式彼此相对地配置的第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b。在第1涂敷喷嘴部件2a中，沿着其长度方向形成有凹部，通过用第2涂敷喷嘴部件2b封堵该凹部来形成用于供给涂敷液5的腔室22。腔室22与狭缝10相连通，自腔室22向狭缝10供给涂敷液5。另外，在第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b中分别形成有供螺栓47旋入的螺纹孔41、43。

此外，如图7所示，也可以是，在第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b中分别形成凹部，通过以第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b相对的方式配置该第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b来形成由上述凹部合成的腔室22。

腔室22的长度方向上的一端部22a与供液端口25相连通，该供液端口25为了供给涂敷液5而形成于第1涂敷喷嘴部件2a，经由该供液端口25将涂敷液5供给到腔室22。另外，供给到腔室22的涂敷液5从上述一端部22a朝向另一端部22b移动并供给到狭缝10。

此外，供液端口25既可以如图8A所示那样设于腔室22的长度方向中央部，也可以如图8B所示那样在腔室22的长度方向两端部各设一个供液端口25。

如图3和图4所示，垫片构件30被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b（以下，有时称为两个涂敷喷嘴部件）挟持而形成用于从开口10a喷射涂敷液5的狭缝10。

该垫片构件30由基端部31和一对延伸部33形成为日文コ字状，该基端部31以沿着狭缝10的长度方向延伸的方式配置，一对延伸部33从该基端部31的长度方向两端部朝向开口10a侧（即，朝向涂敷喷嘴2的前端部）延伸。

基端部31以沿着上述第1涂敷喷嘴部件2a的凹部的上述长度方向的端缘（图3B的左右方向）的方式配置，两个延伸部33以沿着该凹部的短边方向（图3B的上下方向）的端缘的方式配置，上述基端部31和延伸部33被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b夹持而构成腔室22的壁面的一部分。

另外，垫片构件30构成为第1部分和第2部分之间能够分开，该第1部分由一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34构成或由该至少一个延伸部33的整个延伸部构成（在本实施方式中，如后述，为前端部34），该第2部分由至少包括基端部31在内的剩余的部分构成（在本实施方式中，如后述，为基端部31和剩余部35）。更具体而言，在垫片构件30中，上述第1部分和上述第2部分以能够沿着基端部31的长度方向分开的方式构成。另外，在上述第1部分和上述第2部分配置为日文コ字状的垫片构件30时，互相抵接的面以沿着基端部31的长度方向延伸的方式构成。

在本实施方式中，两个延伸部33的前端部34构成第1部分。更具体而言，一对延伸部33形成为分别具有前端部34，该前端部34以沿着上述长度方向且与基端部31平行并且至少向内侧突出的方式延伸，上述一对延伸部33的两个前端部34构成第1部分。

另外，更具体而言，一对延伸部33中的至少一个延伸部具有以沿着上述长度方向地向内侧和外侧突出的方式延伸的前端部34而形成T字状，该前端部34为第1部分（参照图3B）。这样，通过使前端部34的一部分比涂敷喷嘴部件向外侧突出，能够用手指抓住该突出的部分。

此外，一对延伸部33中的至少一个延伸部也可以具有以向内侧突出的方式延伸的前端部34而形成为L字状。

另外，延伸部33中的靠基端部31侧的剩余部35与基端部31成为不可分开的一体结构，该一体结构为第2部分。此外，作为形成上述第1部分和上述第2部分的方法，能够列举出通过使用例如刀具等公知的切断方法来切断一张垫片构件30以形成上述第1部分和上述第2部分。另外，还能够列举出由一张板状的材料通过冲裁来分别形成上述第1部分和上述第2部分的方法等。

两个前端部34（第1部分）以隔开规定的间隔的方式配置，上述两个前端部34被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b夹持而形成狭缝10，该两个前端部34之间的间隔决定涂敷宽度W。

在本实施方式中，例如，能够使第1部分构成为能够相对于第2部分沿着狭缝10的长度方向相对移动。说明该结构的一个例子。即，上述前端部34分别与延伸部33的剩余部35的开口侧前端部35a接触，并能够相对于开口侧前端部35a沿着狭缝10的长度方向相对移动（即，能够相对于第2部分沿着狭缝10的长度方向相对移动）。由此，通过使两个前端部34中的至少一个前端部相对于上述一体结构相对移动，能够变更涂敷宽度W。

例如，如图5A所示，在使两个前端部34以互相靠近的方式朝向一对延伸部33的内侧移动时，能够将涂敷宽度W设置得较小。另一方面，如图5B所示，在使两个前端部34以互相远离的方式朝向一对延伸部33的外侧移动时，能够将涂敷宽度W设置得较大。此外，也可以仅使上述两个前端部34中的一个前端部移动。

此外，优选的是，前端部34形成为如图6A所示那样大致矩形且角部被倒角后的形状，或者形成为如图6B所示那样大致矩形且角部呈圆角状（日文：R状）弯曲那样的形状，或者形成为如图6C～图6E所示那样的形状。即，如图6A～图6E所示，优选前端部34构成为涂敷宽度随着朝向开口10a（参照图3和图4）侧去而变大那样的形状、即前端部34构成为前端部34之间的间隔随着朝向开口10a（参照图3和图4）侧去而变大那样的形状。通过如此形成前端部34a，能够更加可靠地使涂敷膜55的厚度在狭缝10的整个长度方向上均匀。

即，通常，在基材21上涂敷涂敷液5时，因涂敷液5的表面张力而使涂敷液5的宽度方向两端部变圆。因此，该两端部成为比中央侧凸起那样的状态。

对于这点，通过使前端部34构成为前端部34之间的间隔随着朝向开口10a侧去而变大那样的形状，从而使从腔室22流入到狭缝10的涂敷液5在狭缝10的开口10a侧向宽度方向外侧扩展。这样，会使两端部的凸起与该扩展相对应地降低。由此，能够使涂敷在基材21上的涂敷液5的宽度方向两端部的厚度与中央侧的厚度接近。因此，能够更加可靠地使涂敷膜55的厚度在整个宽度方向上均匀（参照图20）。

另外，如图4所示，在基端部31中形成有通孔45，该通孔45用于在紧固第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b时供螺栓47贯穿。并且，通过在垫片构件30被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b夹持的状态下利用螺栓47紧固上述垫片构件30、第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b，从而将垫片构件30以被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b夹持的状态固定。另外，通过如此固定垫片构件30，从而不会使涂敷液5从上述剩余部35与前端部34之间或者从垫片构件30与第1涂敷喷嘴部件2a之间及垫片构件30与第2涂敷喷嘴部件2b之间泄漏。

作为上述垫片构件30的材料，能够列举出聚对苯二甲酸乙酯（PET）等塑料膜、不锈钢（SUS）、黄铜等金属箔。另外，优选垫片构件30以从1张板切下的方式形成。通过如上述那样以从1张板切下的方式形成垫片构件30，从而使构成垫片构件30的第1部分和第2部分具有相同材质和相同厚度。由此，能够进一步防止涂敷液5的泄漏。

能够适当设定前端部34的上述长度方向的长度。另外，在本实施方式中，前端部34的短边方向的长度设定为狭缝10的短边方向的长度。此外，该前端部34的短边方向的长度既可以例如如图9A所示那样小于狭缝10的短边方向的长度，也可以为如图9B所示那样大于狭缝10的短边方向的长度。

另外，延伸部33中的剩余部35的短边方向的长度既可以如图9A所示那样与上述那样的前端部34的短边方向的长度相匹配，大于腔室22的短边方向的长度，也可以如图9B所示那样小于腔室22的短边方向的长度。

此外，例如，在将垫片30安装于涂敷喷嘴2中时，能够将第1部分中的靠开口10a侧的端缘（此处为两个前端部34的端缘）配置为与第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b中的靠开口10a侧的两端缘（两前端缘）齐平。另外，例如，上述第1部分中的靠开口10a侧的端缘也可以以比上述第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b中的靠开口10a侧的两端缘向外侧突出的方式配置。另外，例如，上述第1部分中的靠开口10a侧的端缘也可以以比上述第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b中的靠开口10a侧的两端缘靠内侧的方式配置。

另外，通过在上述垫片构件30被夹持在第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b之间的状态下利用螺栓47进行紧固，从而以使两个前端部34不能移动的方式固定垫片构件30而将涂敷宽度W维持恒定。并且，在该状态下，从狭缝10喷射涂敷液5。

在要变更涂敷宽度W时，拧松螺栓47而解除对两个前端部34的固定。接着，在使上述前端部34中的至少任意一个前端部移动而将涂敷宽度W变更为期望的宽度后，再次拧紧螺栓47。由此，能够变更涂敷宽度W。这样，能够在不拆下垫片构件30的情况下变更涂敷宽度W。

另外，在本实施方式中，也可以是，不使第1部分如上述那样构成为相对于第2部分相对移动，而例如具有多个上述第1部分用的构件，该多个构件在用作上述第1部分时的长度方向的长度互不相同，从该多个构件中选择使用一个构件来构成上述第1部分，并且，所使用的构件能够更换。

说明该结构的一个例子。即，垫片构件30具有多个第1部分用的构件（此处为前端部34用的前端部用构件70）（参照图10）。该多个前端部用构件70在用作第1构件（此处为前端部34）时的在狭缝10的长度方向上的长度互不相同。并且，从该多个前端部用构件70中选择使用一个前端部用构件70而构成上述第1部分（此处为前端部34）（参照图11A或图11B），并且，所使用的前端部用构件70构成为能够更换。

各多个前端部用构件70例如由如图11A所示那样的上述长度方向的长度为较小的L1的前端部用构件70和如图11B所示那样的上述长度方向的长度为较大L2的前端部用构件70构成。

另外，与上述同样地，使用螺栓47（参照图4）将基端部31和前端部用构件70固定。

并且，例如，选择使用具有上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70（参照图11A），并以被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态固定而构成前端部34。另外，通过在该固定状态下拧松螺栓47，从而与上述同样地解除上述前端部用构件70的固定。在该解除状态下，能够从涂敷喷嘴2的侧方（涂敷喷嘴2的在基端部31的长度方向上的一侧的外侧或两侧的外侧）拆下被两个涂敷喷嘴部件夹持状态下的上述前端部用构件70。

另外，替代拆下后的上述前端部用构件70，例如，选择上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70，将该前端部用构件70从涂敷喷嘴2的侧方插入到两个涂敷喷嘴部件之间并使其与延伸部33的剩余部35的开口侧前端部35a接触（参照图11B）。通过在该状态下拧紧螺栓47，能够与上述同样地安装并固定该前端部用构件70。由此，构成前端部34。这样一来，能够将上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70更换为上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70。另外，通过该更换，能够缩小涂敷宽度W（参照图11B）。而且，也可以与上述同样地将上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70更换为上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70。由此，能够增大涂敷宽度W（参照图11A）。如上所述，通过更换前端部用构件70，能够变更涂敷宽度W。

另外，通过使更换后的第1部分用的构件（此处为具有上述长度L1或长度L2的前端部用构件70）进一步在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下沿着上述长度方向相对移动，能够变更狭缝10的长度方向的涂敷宽度W（参照图11A或图11B的虚线箭头）。

以上，示出了使用螺栓47对垫片构件30进行固定和解除固定的结构。但是，也可以采用其他结构、例如使用紧固螺栓49（参照图12～图16）对垫片构件30进行固定和解除固定那样的结构。

作为上述结构，具体而言，例如，如图12、图13所示那样利用上述螺栓47来固定基端部31和前端部34，并且，还具有紧固螺栓49，其能够通过从第2涂敷喷嘴部件2b侧按压第1涂敷喷嘴部件2a来调整第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b间的间隔，通过该紧固螺栓49的按压力来控制能够相对移动的前端部34的固定状态和固定解除状态。

即，在第2涂敷喷嘴部件2b中形成有供紧固螺栓49旋入的螺纹孔48。另外，供紧固螺栓49贯穿的长孔状的通孔50沿着前端部34的长度方向形成于前端部34中，在该通孔50内贯穿有紧固螺栓49的状态下，前端部34能够沿着上述长度方向移动。

通过将紧固螺栓49拧入第2涂敷喷嘴部件2b的螺纹孔48来使紧固螺栓49贯穿前端部34的通孔50，并使紧固螺栓49的前端49a与第1涂敷喷嘴部件2a相抵接。另外，在紧固螺栓49对第1涂敷喷嘴部件2a产生的按压力较小的情况下，在螺栓47产生的紧固力的作用下前端部34以被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态被固定（参照图13A）。

通过在该状态下拧紧紧固螺栓49，能够使前端49a按压第1涂敷喷嘴部件2a，由于相对于该按压力的反作用而使第2涂敷喷嘴部件2b的靠开口10a侧的部位被克服上述螺栓47产生的紧固力地向上方顶起（参照图13B）。由此，第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b之间的间隔在开口10a侧变大而解除前端部34的固定，能够使该前端部34沿着上述长度方向相对移动。另外，此时，由于基端部31被螺栓47固定，因此仅能够解除前端部34的固定。

另一方面，通过拧松紧固螺栓49，会使其前端49a对第1涂敷喷嘴部件2a产生的按压力变小，因此能够通过螺栓47产生的紧固力来将前端部34以被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态固定。

这样，通过构成为利用紧固螺栓49对垫片构件30进行固定和解除固定，能够仅靠拧紧或拧松紧固螺栓49就能够仅解除第1部分的固定。由此，能够更易于变更涂敷宽度W。

另外，作为垫片构件30的使用紧固螺栓49进行固定和固定解除那样的结构，除了上述图12、图13所示那样的结构之外，例如，也可以采用如图14～图16所示那样的结构。

即，如图14、图15所示，利用螺栓47来固定基端部31和前端部34（或前端部用构件70）。另一方面，没有在前端部34（或前端部用构件70）中形成上述那样的通孔50。另外，与上述同样地，具有紧固螺栓49，其能够通过从第2涂敷喷嘴部件2b侧按压第1涂敷喷嘴部件2a来调整第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b间的间隔，通过该紧固螺栓49的按压力来控制能够相对移动的前端部34（或能够选择使用的前端部用构件70）的固定状态和固定解除状态。在延伸部33的剩余部35中形成供紧固螺栓49贯穿的通孔73，紧固螺栓49贯穿第2涂敷喷嘴部件2b的螺纹孔48，并贯穿剩余部35的通孔73，紧固螺栓49的前端49a与第1涂敷喷嘴部件2a相抵接。

并且，例如，在如上述那样使前端部34以能够相对移动的方式构成的情况下，如图16A所示，在前端部34被两个涂敷喷嘴部件夹持而固定的状态下，拧入紧固螺栓49。由此，与上述同样地，如图16B所示，使第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b间的间隔在开口10a侧变大而解除前端部34的固定。并且，在该状态下，能够使前端部34相对移动（参照图14C的虚线箭头）。另一方面，通过拧松紧固螺栓49，从而与上述同样地，如图16A所示，能够将前端部34以被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态固定。

另外，在如上述那样具有多个前端部用构件70并从上述多个前端部用构件70中择使用一个前端部用构件70而构成第1部分的情况下，能够如以下那样对垫片构件30进行固定和解除固定。即，例如，如图16A所示，选择使用上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70（参照图15A），并将该前端部用构件70以被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态固定而构成前端部34。通过在该状态下拧入紧固螺栓49，从而与上述同样地，如图16B所示，解除上述前端部用构件70的固定。另外，在该状态下，如上所述，能够从涂敷喷嘴2的侧方拆下被两个涂敷喷嘴部件夹持状态下的上述前端部用构件70。

并且，替代拆下后的上述前端部用构件70，例如，选择上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70，并如上述那样从涂敷喷嘴2的侧方将该前端部用构件70插入到两个涂敷喷嘴部件之间并使其与延伸部33的剩余部35的开口侧前端部35a相接触（参照图15B），在该状态下拧松紧固螺栓49。由此，与上述同样地，如图16A所示，能够安装并固定该前端部用构件70。由此，构成前端部34。这样一来，能够将上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70更换为上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70。另外，与上述同样地，在更换前端部用构件70时，能够以使该前端部用构件70从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入的方式来更换该前端部用构件70。并且，也可以与上述同样地将上述长度方向的长度为L2的前端部用构件70更换为上述长度方向的长度为L1的前端部用构件70。

另外，通过使更换后的第1部分用的构件（此处为具有上述长度L1或长度L2的前端部用构件70）进一步在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下沿着上述长度方向相对移动，能够变更狭缝10的长度方向的涂敷宽度W（参照图15A或图15B的虚线箭头）。

接下来，说明使用了上述涂敷机1的涂敷膜的制造方法。

本实施方式的涂敷膜的制造方法例如用于在基材51上制作涂敷膜55，其使用具有垫片构件30的涂敷机1，该垫片构件30以使第1部分（此处为前端部34）能够相对于第2部分（此处为基端部31和剩余部35）沿着狭缝10的长度方向相对移动的方式构成（参照图1），该制造方法具有以下工序：变更工序，其通过使前端部34相对于基端部31和剩余部35沿着狭缝10的长度方向相对移动来变更狭缝10的长度方向的涂敷宽度；以及制作工序，其从狭缝10喷射涂敷液5而在基材51上制作涂敷膜55。

例如，在要缩小狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，使由一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34构成或由该至少一个延伸部33的整个延伸部构成的第1部分（此处前端部34）朝向一对延伸部33的内侧地沿着上述长度方向相对移动，在要增大狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，使前端部34朝向一对延伸部33的外侧地沿着上述长度方向相对移动。

即，在要缩小狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，如图5A所示，使两个前端部34中的至少任意一个前端部朝向一对延伸部33彼此靠近的一侧、即朝向一对延伸部33的内侧（图5A的箭头方向）地沿着上述长度方向相对移动。另一方面，在要增大狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，如图5B所示，使两个前端部34中的至少任意一个前端部朝向一对延伸部33彼此分开的一侧、即朝向一对延伸部33的外侧（图5B的箭头方向）地沿着上述长度方向相对移动。

另外，本实施方式的涂敷膜的制造方法例如用于在基材51上制作涂敷膜55，使用具有垫片构件30的涂敷机1（参照图1），该垫片构件30具有多个第1部分（此处为前端部34）用的构件（此处为前端部用构件70），该多个前端部用构件70在用作前端部34时的上述长度方向的长度互不相同，从该多个前端部用构件70中选择使用一个前端部用构件70以构成前端部34，并且，所使用的构件能够更换，该制造方法具有以下工序：变更工序，其通过将从上述多个前端部用构件70中选择使用的前端部用构件70更换为其他前端部用构件70来变更狭缝10的长度方向的涂敷宽度W；以及制作工序，其从狭缝10喷射涂敷液5而在基材51上制作涂敷膜55。

例如，在要缩小狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，将从由一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34构成或由该至少一个延伸部33的整个延伸部构成的第1部分（此处为前端部34）用的多个构件（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70和上述长度为L2的前端部用构件70）中选择使用的一个构件（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70）更换为上述长度方向长度大于该一个构件的长度方向长度的其他构件（此处为具有上述长度L2的前端部用构件70）。另一方面，例如，在要增大狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，将从多个构件选择使用的一个构件（此处为具有上述长度L2的前端部用构件70）更换为上述长度方向长度小于该一个构件的长度方向长度的其他构件（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70）。另外，在如上述那样更换前端部用构件70时，能够以使该前端部用构件70从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入的方式来更换该前端部用构件70。

即，在要缩小狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，如图11A或图15A所示，两个前端部34中的至少任意一个前端部具有多个前端部用构件70（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70和具有上述长度L2的前端部用构件70），将从多个前端部用构件70选择使用的一个前端部用构件70（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70）更换为上述长度方向长度大于该前端部用构件70的长度方向长度的其他的前端部用构件70（此处为具有上述长度L2的前端部用构件70）。另一方面，例如，在要增大狭缝10的长度方向的涂敷宽度W时，将如图11B或图15B所示那样的从上述多个前端部用构件70中选择使用的一个或一对前端部用构件70（此处为具有上述长度L2的前端部用构件70）更换为如图11A或图15A所示那样的上述长度方向长度小于该前端部用构件70的长度方向长度的其他的前端部用构件70（此处为具有上述长度L1的前端部用构件70）。

另外，在该制造方法中，通过使更换后的第1部分用的构件（此处为具有上述长度L1或长度L2的前端部用构件70）进一步沿着上述长度方向相对移动，能够变更狭缝10的长度方向的涂敷宽度W（参照图11A、图11B、图15A、图15B的虚线箭头）。

如上所述，本实施方式的垫片构件30以在涂敷机1所具有的涂敷喷嘴2的前端部形成作为涂敷液5的喷射口的狭缝10的方式，被涂敷喷嘴2所具有的以相对的方式配置的两个涂敷喷嘴部件挟持，形成为在狭缝10侧开口那样的日文コ字状，其中，上述日文コ字状由以沿着狭缝10的长度方向延伸的方式配置的基端部31和从基端部31的长度方向两端部朝向涂敷喷嘴2的前端部延伸的一对延伸部33形成，并且，构成为第1部分（前端部34）和第2部分（基端部31和剩余部35）之间能够分开，该第1部分由一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34构成或由该至少一个延伸部33的整个延伸部构成，该第2部分至少包括基端部31。即，上述第1部分和上述第2部分以能够沿着基端部31的长度方向分开的方式构成。

采用该结构，由一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34构成或由该至少一个延伸部33的整个延伸部构成的第1部分和由包括基端部31在内的剩余的部分构成的第2部分之间能够分开。由此，例如，能够使第1部分构成为能够相对于第2部分沿着长度方向相对移动。在该情况下，在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下，通过使第1部分相对移动，能够变更涂敷宽度W。

另外，也可以是，具有多个第1部分用的构件，其在用作第1部分时的上述长度方向的长度互不相同，通过更换该第1部分用的构件来构成第1部分。在该情况下，能够通过更换第1部分用的构件来变更涂敷宽度W。

因此，能够在不拆解涂敷机1的情况下将涂敷宽度W变更为期望的宽度。因此，能够易于变更涂敷宽度W。

另外，在如上述那样通过更换上述第1部分用的构件来构成第1部分的情况下，能够将上述第1部分用的构件从涂敷喷嘴2的侧方插入到两个涂敷喷嘴部件之间，并能够从涂敷喷嘴2的侧方取出配置于该两个涂敷喷嘴部件之间的上述第1部分用的构件。即，能够使上述第1部分用的构件从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入。

这里，由于涂敷喷嘴2的靠开口10a侧的前端部分最影响向基材51上涂敷涂敷液5的作业（自狭缝10喷射涂敷液5的作业），因此对于该前端部分，在涂敷喷嘴2内要求最高的加工精度。但是，在使上述第1部分用的构件从涂敷喷嘴2的前方（从狭缝10侧）在两个涂敷喷嘴部件之间出入时，有可能会使上述前端部分产生损伤。在产生了这样的损伤的情况下，难以在狭缝10的宽度方向上形成均匀的涂敷膜55。

对于这点，如上所述，能够使第1部分用的构件从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入，由此能够避免使上述那样的前端部分产生损伤。

另外，在本实施方式中，优选上述第1部分构成为能够相对于上述第2部分沿着狭缝10的长度方向相对移动。

采用该结构，在被两个涂敷喷嘴部件夹持的状态下仅通过使上述第1部分相对于上述第2部分沿着狭缝10的长度方向相对移动，就能够在不拆下垫片构件30的情况下将涂敷宽度W变更为期望的宽度。因此，能够更易于变更涂敷宽度W。

另外，在本实施方式中，优选的是，上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部，该前端部以沿着上述长度方向地至少向内侧突出的方式延伸。第1部分优选为一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34。

采用该结构，例如，能够使前端部34构成为能够相对移动。在该情况下，仅通过使前端部34相对移动就能够变更涂敷宽度。另外，也可以具有多个前端部用的构件（前端部用构件70），通过从上述前端部用的构件中选择使用一个该前端部用构件70来构成前端部34。在该情况下，仅通过更换前端部用构件70就能够变更涂敷宽度。

因此，更易于变更涂敷宽度W。

另外，在本实施方式中，优选的是，一对延伸部33中的至少一个延伸部具有以沿着上述长度方向地向内侧和外侧突出的方式延伸的前端部34而形成为T字状，第1部分为前端部34。即，优选的是，上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部，该前端部以沿着上述长度方向地向内侧和外侧突出的方式延伸。通过使前端部34的一部分如上述那样比涂敷喷嘴部件向外侧突出，能够用手指抓住该突出的部分。由此，例如，在使前端部34如上述那样构成为能够相对移动的情况下，易于使前端部34相对移动。另外，例如，在如上述那样具有多个前端部用构件70并从上述多个前端部用构件70中选择使用一个前端部用构件70来构成了前端部34的情况下，易于更换前端部用构件70。

另外，优选将两个前端部34都设为上述第1部分，利用该结构，能够易于使涂敷喷嘴2的长度方向的中心和涂敷宽度W的中心相一致。其结果，能够在不进行复杂调整的情况下容易地将涂敷液5涂敷于基材51的中心。

另外，在本实施方式中，优选的是，具有多个上述第1部分用的构件，该多个构件在用作上述第1部分时的上述长度方向的长度互不相同，从该多个构件中选择使用一个构件来构成上述第1部分，并且，所使用的构件能够更换。

采用该结构，由于仅靠更换上述构件而构成第1部分就能够变更涂敷宽度W，因此能够更易于变更涂敷宽度W。另外，还能够较大地变更涂敷宽度W。

另外，由于能够使上述构件从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入，因此，能够避免像上述那样使涂敷喷嘴2的靠开口10a侧的前端部分产生损伤。

这里，例如，如上所述，在使第1部分（此处为前端部34）的一部分比涂敷喷嘴部件向外侧突出的情况下，能够以用手指抓住该突出的部分的方式使该第1部分相对移动。

但是，在采用了这样的结构的情况下，若为了增大涂敷宽度W而使前端部34过度地向外侧移动，则会使上述突出的部分过度地向外侧突出，从而有可能使该上述突出的部分与配置于该部分的周围的装置、作业者等之间产生不慎的碰撞。另外，若为了缩小涂敷宽度W而使前端部34过度地向内侧移动，则会使上述突出的部分过度地缩进内侧，从而有可能不能再用手指抓住该部分。

在如上述那样使第1部分以能够相对移动的方式构成的情况下，有可能不能增大涂敷宽度的变更程度而使涂敷宽度W的变更程度受到限制。

与此相对，在如上述那样具有多个第1部分用的构件（此处为前端部用构件70）并从上述多个第1部分用的构件中选择使用一个构件来构成第1部分（此处为前端部34）的情况下，能够将涂敷宽度W的变更程度设置得较大。由此，在更换第1部分用的构件并将更换后的构件作为第1部分时，能够使上述突出的部分的突出程度适当并将涂敷宽度W变更为期望的宽度。

另外，易于使上述构件从涂敷喷嘴2的侧方在两个涂敷喷嘴部件之间出入。

另外，优选的是，不仅如上述那样具有多个第1部分用的构件并从上述多个第1部分用的构件中选择使用一个构件来构成第1部分，而且还能使更换后的上述构件沿着上述长度方向相对移动。

由此，由于还能够使更换后的上述构件沿着上述长度方向相对移动，因此能够更精细地变更涂敷宽度W。例如，能够通过以下方法来变更涂敷宽度W，即，通过更换上述构件来较大程度地变更涂敷宽度W，通过使更换后的上述构件（第1部分）相对于第2部分相对移动，从而较小程度地变更涂敷宽度W。

此外，在本实施方式中，例示出了以下结构，即，第1部分为一对延伸部33中的两个延伸部33的前端部34，但是，只要第1部分为一对延伸部33中的至少一个延伸部33的前端部34或者为该至少一个延伸部33的整个延伸部，则第1部分并不特别限定。

下面，说明具有本发明的第2实施方式的垫片构件的涂敷机。此外，对于与上述第1实施方式共用的部分标注共用的附图标记而省略说明。

如图17所示，在本实施方式中，一对延伸部33形成为具有以沿着上述长度方向地至少向内侧突出的方式延伸的前端部34，上述一对延伸部33的一个延伸部33的前端部34为上述第1部分。更具体而言，一对延伸部33中的一个延伸部33（图17的右侧的延伸部33）具有以向内侧和外侧突出的方式延伸的前端部34而形成为T字状。另一方面，另一个延伸部33（图17的左侧的延伸部33）具有以向内侧突出的方式延伸的前端部34而形成为L字状。并且，一对延伸部33中的靠上述右侧的延伸部33的前端部34为上述第1部分。

即，在垫片构件30的一个延伸部33，上述第1部分和上述第2部分这两个部分能够沿着基端部31的长度方向分开，上述第1部分是相对于第2部分独立的前端部34，上述第2部分构成为一体结构，该一体结构由基端部31、延伸部33的能够与前端部34分开的剩余部35、以及不能够与前端部34分开的延伸部33不可分地一体化而形成。另外，对于该不可分的一体结构，与上述同样地利用螺栓47将其连同第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b一起紧固并固定，由此固定垫片构件30。另一方面，通过拧松螺栓47来解除垫片构件30的固定。

并且，例如，通过使上述相对于第2部分独立的前端部34如图17A所示那样朝向一对延伸部33的内侧（图17A的箭头方向）地沿着上述长度方向移动，能够将涂敷宽度W设置得较小。另一方面，通过使上述相对于第2部分独立的前端部34如图17B所示那样朝向一对延伸部33的外侧（图17B的箭头方向）地沿着上述长度方向移动，能够将涂敷宽度W设置得较大。

在本实施方式中，也可以是，与上述第1实施方式同样具有多个第1部分用的构件并从上述多个第1部分用的构件中选择使用一个构件来构成第1部分，或者使用紧固螺栓49进行第1部分的固定和解除固定。包括上述情况在内，其他结构与第1实施方式相同，因此不进行重复说明。

在本实施方式中，通过使垫片构件30以上述方式构成，例如，能够使一个第1部分（此处为前端部34）构成为能够相对移动，或者通过具有多个第1部分用的构件（此处为前端部用构件70）并从上述多个第1部分用的构件中选择使用一个构件来构成一个第1部分（此处为前端部34）。由此，易于制作垫片构件30，并且，更易于变更涂敷宽度。

下面，说明具有本发明的第3实施方式的垫片构件的涂敷机。此外，对于与上述第1实施方式共用的部分标注共用的附图标记而省略说明。

如图18所示，在本实施方式中，垫片构件30的第1部分为一对延伸部33中的至少一个延伸部的整个延伸部。更具体而言，在本实施方式中，第1部分为一对延伸部33的两个延伸部的整个延伸部。例如，在垫片构件30中，具有一对矩形状的延伸部33，由该延伸部33的整个两个延伸部构成的上述第1部分和由基端部31构成的第2部分以能够沿着基端部31的长度方向分开的方式构成。另外，以延伸部33的一部分比涂敷喷嘴部件向外侧突出的方式配置延伸部33，由此，能够用手指抓住突出的部分。

在本实施方式中，也可以是，与上述第1实施方式同样，具有多个第1部分用的构件并从上述多个第1部分用的构件中选择使用一个构件来构成第1部分，或者使用螺栓47进行第1部分的固定和解除固定，或者使用紧固螺栓49进行第1部分的固定和解除固定。包括上述情况在内，其他结构与第1实施方式相同，因此不进行重复说明。

在本实施方式中，通过使第1部分为一对延伸部33中的至少一个延伸部的整个延伸部，能够进一步简化第1部分和第2部分的形状。并且，通过使延伸部33形成为矩形状，从而更易于形成垫片构件30。

另外，本发明并不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种变更。例如，对于在垫片构件30被第1涂敷喷嘴部件2a和第2涂敷喷嘴部件2b夹持的状态下进行垫片构件30的固定和解除固定的结构，也可以采用除了使用上述那样的螺栓47、紧固螺栓49进行固定和解除固定的结构以外的结构。另外，如上所述，能够采用了第1部分（例如前端部34、延伸部33）具有比涂敷喷嘴部件向外侧突出的部分那样的结构，在采用了该结构的情况下，该突出的部分的形状并不特别限定。另外，既可以以使该突出的部分不存在的方式来形成第1部分，也可以将第1部分配置于两个涂敷喷嘴部件之间。

实施例

参考例1

使用了包括如图4C所示那样具有矩形状的前端部34的垫片构件的图1所示的涂敷机1。

作为涂敷液，使用了将丙烯酸系粘合剂溶解于甲苯和乙酸乙酯的混合液而构成的液体。作为基材，使用了聚对苯二甲酸乙酯（PET）膜（MRF38，厚度：38μm，宽度：1300mm，日本三菱树脂公司制造）。

并且，将基材在长度方向上的移动速度设为28m/分钟，将涂敷宽度W设为1280mm。使用上述涂敷机1在基材上涂敷涂敷液，之后，使该涂敷液干燥，从而在基材上形成了涂敷膜。使用光学干涉式厚度仪（MCPD系列，日本大冢（大塚）电子株式会社制造）在涂敷膜的整个宽度方向上测定了形成后的涂敷膜的厚度。图20表示获得的结果。此外，由于在涂敷膜的宽度方向两端侧获得了同样的结果，因此，在图20中，示出了涂敷膜的宽度方向一端侧的结果。另外，在图20中，X轴表示距一端缘的距离。另外，在参考例1中使用的前端部的后述的倒角量相当于0mm。

参考例2

如图6C和图19所示，使用以对前端部34的靠开口10a侧的内侧（各图的上侧）进行了倒角的方式形成的前端部34、即以前端部34之间的间隔随着朝向开口10a侧去而变大的方式形成的前端部34。另外，如图19所示，将前端部34的内侧端缘34a（图19的上下方向）与倒角部分形成的倾斜角度θ设为30°，自前端部34的宽度方向上的内侧端缘34a处理掉的倒角部分的长度（倒角量、即一个前端部34的靠开口10a侧的端缘与另一个前端部34的靠开口10a侧的端缘间的间隔所变大的量）L设为5mm，将涂敷宽度（前端部34中的靠开口10a侧端缘之间的距离）W设为1280mm。

除了使用如此形成的前端部34以外，与参考例1同样地，在基材上涂敷涂敷液并在整个宽度方向上对形成于基材上的涂敷膜的厚度进行了测定。将获得的结果表示在图20中。

参考例3

除了将自宽度方向上的内侧端缘34a处理掉的倒角部分的长度L（倒角量）设为10mm之外，与参考例2同样地，在基材上涂敷涂敷液并在整个宽度方向上对形成于基材上的涂敷膜的厚度进行了测定。将获得的结果表示在图20中。

如图20所示，在设置了倒角部分的情况下（5mm、10mm），与没有设置倒角部分的情况（0mm）相比，能够抑制涂敷膜中的宽度方向两端部的凸起。由此，发现能够更加可靠地使涂敷膜的厚度在整个宽度方向上均匀。

另外，在本参考例中，在倒角量为10mm的情况下，与倒角量为5mm的情况相比，能够抑制上述两端部的凸起，但相反地，与5mm的情况相比，具有在两端部产生厚度薄于中央侧的部分的倾向。

由上述可知，通过如上述那样在前端部设置倒角部分，能够抑制涂敷膜的宽度方向两端部的凸起。由此，能够更加可靠地使涂敷膜的厚度在整个宽度方向上均匀。并且，通过以使该倒角量不过度地变大的方式进行调整，能够抑制该两端部的厚度的降低。由此，能够进一步可靠地使涂敷膜的厚度在整个宽度方向上均匀。

附图标记说明

1：涂敷机、2：涂敷喷嘴、2a、2b：涂敷喷嘴部件、10：狭缝、22：腔室、25：供液端口、30：垫片构件、31：基端部、33：延伸部、34：前端部、47：螺栓、49：紧固螺栓、70：前端部用构件

Claims (10)

1.一种垫片构件，其以在涂敷机所具有的涂敷喷嘴的前端部能形成作为涂敷液的喷射口的狭缝的方式，被上述涂敷喷嘴所具有的以相对的方式配置的两个涂敷喷嘴部件挟持且形成为在上述狭缝侧开口那样的日文コ字状，其特征在于，

上述日文コ字状由以沿着上述狭缝的长度方向延伸的方式配置的基端部和从上述基端部的长度方向两端部朝向上述涂敷喷嘴的前端部延伸的一对延伸部形成，

并且，该垫片构件构成为第1部分和第2部分之间能够分开，上述第1部分由上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部构成，或由该至少一个延伸部的整个延伸部构成，上述第2部分是由至少包括上述基端部在内的剩余的部分构成。

2.根据权利要求1所述的垫片构件，其特征在于，

上述第1部分构成为能够相对于上述第2部分沿着上述狭缝的长度方向相对移动。

3.根据权利要求1所述的垫片构件，其特征在于，

上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的前端部，

该前端部以沿着上述长度方向地至少向内侧突出的方式延伸。

4.根据权利要求3所述的垫片构件，其特征在于，

上述前端部构成为上述前端部之间的间隔随着朝向上述狭缝的开口侧去而变大的形状。

5.根据权利要求1所述的垫片构件，其特征在于，

上述第1部分为上述一对延伸部中的至少一个延伸部的整个延伸部。

6.根据权利要求1所述的垫片构件，其特征在于，

上述第1部分用的构件具有多个，

该多个构件在用作上述第1部分时的上述长度方向的长度互不相同，

从该多个构件中选择使用一个构件来构成上述第1部分，

并且，所使用的构件能够更换，以调整上述日文コ字状的开口的大小。

7.一种涂敷机，其特征在于，

该涂敷机具有权利要求1所述的垫片构件。

8.一种涂敷膜的制造方法，其用于在基材上制作涂敷膜，其特征在于，

该制造方法使用具有权利要求2所述的垫片构件的涂敷机，并具有以下工序：

变更工序，通过使上述第1部分相对于上述第2部分沿着上述狭缝的长度方向相对移动来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度；以及

制作工序，从上述狭缝喷射上述涂敷液而在上述基材上制作上述涂敷膜。

9.一种涂敷膜的制造方法，其用于在基材上制作涂敷膜，其特征在于，

该制造方法使用具有权利要求6所述的垫片构件的涂敷机，并具有以下工序：

变更工序，通过将从上述多个构件中选择使用的构件更换为其他构件来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度；以及

制作工序，从上述狭缝喷射上述涂敷液而在上述基材上制作上述涂敷膜。

10.根据权利要求9所述的涂敷膜的制造方法，其特征在于，

通过进一步使更换后的上述构件沿着上述长度方向相对移动来变更上述狭缝的长度方向的涂敷宽度。

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