JP2004128495A - ウェーハ乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 遠心力及びイソプロピルアルコールなどの有機溶剤を用いてウェーハを乾燥させる装置である。前記装置はウェーハの自然乾燥を防止するために脱イオン水を供給する脱イオン水供給部と、ウェーハの乾燥効率を向上させるための有機溶剤を供給する有機溶剤供給部とを含む。脱イオン水供給部はウェーハの中心部から端部に向かって延伸されたパイプ形状を持ち、多数の脱イオン水供給ノズルを有する。脱イオン水供給部はウェーハの中心部から端部に向かって移動し、脱イオン水を供給して、有機溶剤供給部は脱イオン水供給部の移動通路に沿って移動しながら、有機溶剤を供給する。従って、ウェーハの乾燥効率が向上でき、水斑点の形成が抑制される。
【選択図】 図2
Description
一方、第4実施例によるウェーハ乾燥装置において、ウェーハの乾燥工程は第1脱イオン水供給部(520)、第1有機溶剤供給部(540)及び第3有機溶剤供給部(560)だけで実施することもできる。即ち、第2脱イオン水供給部(530)と第2有機溶剤供給部(550)を除いても、ウェーハの乾燥工程を実施することができる。
20 未乾燥領域
100 ウェーハ乾燥装置
110 回転チャック
112 回転軸
116 カバー
200 ウェーハ乾燥装置
202 工程チャンバ
210 回転チャック
212 回転軸
214 第1駆動部
220 脱イオン水供給部
230 第1有機溶剤供給部
232 第2流量調節部
240 第2有機溶剤供給部
242 第3流量調節部
250 カバー
252 排出管
254 駆動軸
256 第2駆動部
260 乾燥ガス供給部
300 ウェーハ乾燥装置
302 工程チャンバ
310 回転チャック
312 回転軸
314 第1駆動部
320 脱イオン水供給部
322 脱イオン水供給ノズル
324 中心軸
330 第1有機溶剤供給部
340 第2有機溶剤供給部
350 カバー
352 排出管
354 駆動軸
356 第2駆動部
360 ガス供給部
400 ウェーハ乾燥装置
402 工程チャンバ
410 回転チャック
412 回転軸
414 第1駆動部
420 脱イオン水供給部
430 第1有機溶剤供給部
432 有機溶剤供給ノズル
440 第2有機溶剤供給部
460 乾燥ガス供給部
510 回転チャック
520 脱イオン水供給部
530 脱イオン水供給部
540 第1有機溶剤供給部
550 第2有機溶剤供給部
560 第3有機溶剤供給部
Claims (21)
- ウェーハを回転させるための回転チャックと、
前記ウェーハと隣接して移動できるように配置し、前記ウェーハの中心部と端部の間で半径方向に向かって移動し、前記ウェーハ上に脱イオン水を供給するための脱イオン水供給部と、
前記ウェーハと隣接して配置され、前記ウェーハ上へ供給された脱イオン水を除去するため前記ウェーハ上へ有機溶剤を供給するための有機溶剤供給部を含み、
前記有機溶剤供給部は、前記ウェーハの中心部と端部の間で半径方向に向かって移動できるように配置される少なくとも一つの有機溶剤供給ノズルを有する第1有機溶剤供給部と、前記ウェーハの中心部と隣接する固定された位置に配置された少なくとも一つの有機溶剤供給ノズルを有する第2有機溶剤供給部を含むことを特徴とするウェーハ乾燥装置。 - 前記脱イオン水供給部と前記第1有機溶剤供給部は同時に移動してなることを特徴とする請求項1記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記有機溶剤はアルコールを含むことを特徴とする請求項1記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1有機溶剤供給部及び前記第2有機溶剤供給部は蒸気状態の有機溶剤を供給してなることを特徴とする請求項3記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1有機溶剤供給部及び前記第2有機溶剤供給部はキャリアーガスにより運ばれるミスト状態の有機溶剤を供給してなることを特徴とする請求項3記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記ウェーハを最終的に乾燥させるため前記ウェーハ上に乾燥ガスを供給するための乾燥ガス供給部をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記脱イオン水供給部はウェーハ中心部から半径方向に向かって延伸されたパイプ形状を持ち、多数の脱イオン水供給ノズルが形成されてなることを特徴とする請求項1記載のウェーハ乾燥装置
- 前記第1有機溶剤供給部は湾曲したパイプ形状を持ち、前記第1有機溶剤供給部の湾曲中心は前記ウェーハの中心に向かって配置され、多数の有機溶剤供給ノズルが形成されてなることを特徴とする請求項7記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1有機溶剤供給部は湾曲したパイプ形状と多数の有機溶剤供給ノズルを持ち、前記第1有機溶剤供給部の湾曲中心は前記ウェーハの中心に向かって配置されてなることを特徴とする請求項1記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記脱イオン水供給部は湾曲したパイプ形状と多数の脱イオン水供給ノズルを持ち、前記脱イオン水供給部の湾曲中心は前記ウェーハの中心に向かって配置され、前記第1有機溶剤供給部は前記脱イオン水供給部と前記ウェーハの中心の間に配置されてなることを特徴とする請求項9記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記脱イオン水供給部は多数の脱イオン水供給ノズルを各々有する第1脱イオン水供給部と第2脱イオン水供給部を含み、前記第2脱イオン水供給部は前記回転チャックの中心軸を中心に前記第1脱イオン水供給部と向かい合うように配置され、前記第1脱イオン水供給部と第2脱イオン水供給部は反対に向かって移動してなることを特徴とする請求項10記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1有機溶剤供給部は多数の有機溶剤供給ノズルを各々有する第3有機溶剤供給部と第4有機溶剤供給部を含み、前記第4有機溶剤供給部は前記回転チャックの中心軸を中心に前記第3有機溶剤供給部と向かい合うように配置され、前記第3有機溶剤供給部と第4有機溶剤供給部はお互い反対方向に向かって移動してなることを特徴とする請求項11記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1脱イオン水供給部と前記第2脱イオン水供給部は前記ウェーハの乾燥工程初期に実質的に円形で配置され、前記第3有機溶剤供給部と前記第4有機溶剤供給部は前記ウェーハの乾燥工程初期に実質的に円形で配置されてなることを特徴とする請求項12記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第1有機溶剤供給部は多数の有機溶剤供給ノズルを各々有する第3有機溶剤供給部と第4有機溶剤供給部を含み、前記第4有機溶剤供給部は前記回転チャックの中心軸を中心に前記第3有機溶剤供給部と向かい合うように配置され、前記第3有機溶剤供給部は第4有機溶剤供給部とお互い反対の方向に向かって移動してなることを特徴とする請求項第9記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記第3有機溶剤供給部と前記第4有機溶剤供給部は前記ウェーハの乾燥工程初期に実質的に円形で配置されてなることを特徴とする請求項14記載のウェーハ乾燥装置。
- ウェーハを水平方向に把持するための回転チャックと、
前記回転チャックにより回転するウェーハの上部に配置され、前記ウェーハを乾燥させるための有機溶剤を前記ウェーハ上に供給するための多数の有機溶剤供給ノズルを有する有機溶剤供給部を含み、
前記有機溶剤供給部は前記ウェーハの中心部より端部に向かって延伸したパイプ形状をもち、前記多数の有機溶剤供給ノズルは前記有機溶剤供給部が延伸した半径方向に向かって配置されてなることを特徴とするウェーハ乾燥装置。 - 前記有機溶剤供給部の長さは前記ウェーハの半径と同一であることを特徴とする請求項16記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記有機溶剤供給部の長さは前記ウェーハの直径と同一であることを特徴とする請求項16記載のウェーハ乾燥装置。
- 前記ウェーハと隣接して配置し、前記ウェーハ上に乾燥ガスを供給するための乾燥ガス供給部をさらに含むことを特徴とする請求項16記載のウェーハ乾燥装置。
- ウェーハを水平方向に把持するための回転チャックと、
前記回転チャックにより回転するウェーハの上部に配置され、前記ウェーハを乾燥させるための有機溶剤を前記ウェーハ上に供給するための多数の有機溶剤供給ノズルを有する有機溶剤供給部を含み、
前記有機溶剤供給部は前記ウェーハと実質的に同一なディスク形状を持ち、前記多数の有機溶剤供給ノズルは前記ウェーハ上へ前記有機溶剤を均一に供給するために放射状に配置されてなることを特徴とするウェーハ乾燥装置。 - 前記有機溶剤供給部の内部供給には前記有機溶剤を受容するための空間が形成されており、前記多数の有機溶剤ノズルは前記空間と連結されてなることを特徴とする請求項20記載のウェーハ乾燥装置。
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