JP2006013507A - 基板を乾燥させる装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明はマランゴニ効果を利用して基板を乾燥させる装置に係わり、該装置は基板が置かれ、回転可能な支持部100を有し、支持部100上には脱イオン水を供給する第1ノズル220とイソプロピルアルコール蒸気を供給する第2ノズル320が提供される。初めに、基板の中心にイソプロピルアルコール蒸気が供給されるとき、基板に到達されるアルコールの量を漸進的に増加させるように調節部500によって調節される。
【選択図】 図1
Description
200 第1供給部
220 第1ノズル
300 第2供給部
320 第2ノズル
340 蒸気発生部
382 蒸気供給管
384 ガス供給管
400 水平移動部
500、500'、500” 調節部
522、542 流量調節器
524、544、566 制御器
562 垂直移動部
Claims (16)
- 基板を乾燥させる装置において、
基板が置かれる回転可能な支持部と、
前記支持部上に置かれた基板に第1流体を噴射する第1ノズルを有する第1供給部と、
前記支持部上に置かれた基板に前記第1流体より表面張力が低い第2流体を噴射する第2ノズルを有する第2供給部と、
前記支持部上に置かれた基板の中心部に前記第2流体が漸進的に増加しながら到達されるように前記第2供給部を調節する調節部と、を具備することを特徴とする乾燥装置。 - 前記装置は前記第1ノズルと前記第2ノズルとを前記支持部に置かれた基板の中心から周辺方向に同時にまたは別々に移動させる水平移動部をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。
- 前記第2ノズルは工程進行時、前記第1ノズルより前記支持部に置かれた基板の中心側に前記第1ノズルに隣接するように配置されることを特徴とする請求項2に記載の乾燥装置。
- 前記水平移動部は、
前記第1ノズルと前記第2ノズルが結合するノズル支持台と、
前記ノズル支持台を水平移動させる駆動部とを含むことを特徴とする請求項3に記載の乾燥装置。 - 前記第2流体はアルコール蒸気を含み、
前記第2供給部は、
前記アルコール蒸気を発生させる蒸気発生部と、
前記蒸気発生部から発生されたアルコール蒸気を前記第2ノズルに運ぶキャリアガスが前記蒸気発生部に供給される通路であるガス供給管と、
前記蒸気発生部から発生されたアルコール蒸気が前記第2ノズルに供給される通路である蒸気供給管とをさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。 - 前記調節部は、
前記蒸気供給管に設けられて、その内部を流れる流量を調節する流量調節器と、
工程が進行される時点に従って、前記流量調節器を制御する制御器とを含むことを特徴とする請求項5に記載の乾燥装置。 - 前記調節部は、
前記ガス供給管に設けられて、その内部を流れる流量を調節する流量調節器と、
工程が進行される時点に従って、前記流量調節器を制御する制御器とを含むことを特徴とする請求項5に記載の乾燥装置。 - 前記調節部は、
前記第2ノズルに第2流体が供給される蒸気供給管に設けられる流量調節器と、
前記流量調節器を制御する制御器とを含むことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。 - 前記調節部は、
前記第2ノズルを上下に移動させる垂直移動部と、
工程が進行される時点に従って、前記支持部に置かれた基板から前記第2ノズルまでの高さが調節されるように前記垂直移動部を制御する制御器とを含むことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。 - 前記第1流体は脱イオン水を含み、
前記第2流体はイソプロピルアルコールを含むことを特徴とする請求項1に記載の乾燥装置。 - 基板を乾燥させる方法において、
基板が支持部上に置かれる段階と、
前記支持部が回転され、第1ノズルから前記基板上に第1流体が噴射される段階と、
前記第1ノズルより前記基板の中心側に前記第1ノズルに隣接して配置される第2ノズルから前記基板の中心に前記第1流体に比べて表面張力が低い第2流体が噴射される段階と、
前記第1流体と前記第2流体が前記基板の中心からエッジ側に漸進的に供給されるように前記第1ノズルと前記第2ノズルが移動される段階とを含み、
初期に前記基板の中心部に到達される前記第2流体の量を漸進的に増加させることを特徴とする乾燥方法。 - 前記第2流体の量の調節は前記第2ノズルに前記第2流体が供給される通路である蒸気供給管に設けられた流量調節器を制御することによって行われることを特徴とする請求項11に記載の乾燥方法。
- 前記第2流体はアルコール蒸気を含み、
前記第2流体の量の調節は蒸気発生部で発生されたアルコール蒸気を前記第2ノズルに運ぶために前記蒸気発生部にキャリアガスを供給するガス供給管に設けられる流量調節器を制御することによって行われることを特徴とする請求項11に記載の乾燥方法。 - 前記第2流体の量の調節は前記基板から前記第2ノズルまでの距離が漸進的に近くなるように前記第2ノズルを下降することによって行われることを特徴とする請求項11に記載の乾燥方法。
- 前記第2ノズルが前記基板の中心部からエッジ部に向けて移動する時、前記基板に到達される第2流体の量は一定に維持されることを特徴とする請求項11に記載の乾燥方法。
- 前記第1流体は脱イオン水を含み、
前記第2流体はイソプロピルアルコールを含むことを特徴とする請求項11に記載の乾燥方法。
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