JP2004055771A - 半導体薄膜の製造方法及びレーザ照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マーク形成用レーザのレーザ光の光軸を結晶化用レーザと同軸になるようマーク用光学系215を結晶化用レーザ光学系212とは別に配置し、かつ、比較的安価で利用しやすいNd:YAGレーザを用いてレーザ照射装置200を構成した。従って、比較的安価なレーザ照射装置200により半導体薄膜103上に他の領域とは光学定数の異なる高精度のステッパ用目合わせマークを形成することができる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリシリコン(poly−Si)TFTを製造する際の目合わせ用マークの形成方法及びそれを可能にするレーザ照装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ガラス基板上に集積回路を形成する薄膜素子として、ポリシリコン(poly−Si)TFTの開発が盛んに行われている。poly−Si膜の形成法としては現在、一旦a−Si膜を形成した後にエキシマレーザ光を照射することにより、アモルファスシリコン(a−Si)膜を溶融・再結晶化させてpoly−Si膜を得るエキシマレーザ法が一般的である。レーザアニール装置としては、口径が300mm×0.4mm程度の線状レーザ光を短軸方向に数十μmピッチでスキャン照射する装置が市販されている。しかしながらスキャン法においては、例えば、信学技報SDM92−112巻(1992年)、53頁に納田らにより開示されているように、ビーム端部の影響でTFT特性が不均一になるという問題がある。TFT均一性向上策として、例えば特許第3163693号公報に開示されているように、ビーム端部の影響を排除するようレーザ光の照射強度が均一な領域内にTFTを集積し、一括して照射するレーザアニール方法が考案されている。この一括照射法の場合、照射面積はレーザ光源のパルスエネルギーに依存するが、最近は携帯電話用LCDパネルの大きさに相当する40×50mm程度の面積を一括照射できる程度のパルスエネルギーを有するレーザ光源が開発されている。
【0003】
一括照射法においては、レーザ照射位置とTFT位置の位置合わせが重要となる。位置合わせを行うには、例えば特開平8−71780号公報に開示されているように、基板にステッパ用目合わせマークを設け、レーザ照射装置にマーク読み取り用のカメラを設けるのが一般的である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、レーザ照射装置にカメラを備えた場合、レーザ照射装置は複雑化および大型化するという問題がある。特に、LCD用ガラス基板は今や1m角程度の大きさになり、アニールとは別の読み取りチャンバを設けると、レーザ照射装置のフットプリントは著しく悪化する。また、LCD用ガラス基板のレーザに対する位置合わせを行うためには、XYの2軸に加えてθ補正を有し、微調整のための精密動作が可能で複雑なステージが必要となる。従って装置コストは増大し、稼働率が低下する懸念が有る。また、基板マーク読み取りと位置合わせの時間が発生するために、アニール工程のスループットは低下する。更に、基板にマークを形成するにはPR工程とエッチング工程が必要であるため、TFT製造工程において工程数が増えると言う問題も発生する。
【0005】
以上の問題を回避するには、レーザアニール工程で結晶化と同時にマークを形成することが考えられる。a−Si膜とpoly−Si膜とでは光学定数が異なるために、結晶化領域と非結晶化領域とでマークを形成することは可能である。
【0006】
しかしながら、TFT用のビーム口径がcmオーダーなのに対して、ステッパ用目合わせマークはμmオーダーである。従って目合わせマークを精度良く形成するには、cmオーダーのビーム形成に用いる10cmオーダーの寸法を有する比較的大型の光学素子に、μmオーダーのビーム形成に必要な10nmオーダー以下程度の加工精度を持たせなければならず、このとき光学系のコストはcmオーダーのビーム形成に用いる通常の光学系よりも飛躍的に増大する。
【0007】
また、マーク形成用にビーム口径をcmオーダーからμmオーダーへと集光具合を可変する機構を設けることは現実的に不可能なため、マーク形成時にはマスクを用いてμmオーダーのビームを形成する必要があるが、このとき高精細なマスクが必要となり、しかもビームの焦点深度が浅くなり、ステージ高さや基板厚さおよび表面荒さの精度によってはマークが十分に形成されないという問題がある。
【0008】
本発明は上記問題を解決すべくなされたものであり、本発明の目的は、低コスト、高スループットで均一性の良い半導体薄膜の製造方法、およびフットプリントが小さく、安価で稼働率が高く、基板処理能力が高いレーザ照射装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体薄膜の製造方法は、半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜にレーザ未照射領域と第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記レーザ未照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
【0010】
本発明に係る別の半導体薄膜の製造方法は、半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜にレーザ未照射領域と第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする。
【0011】
本発明に係るさらに別の半導体薄膜の製造方法は、半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜に第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする。
【0012】
上記本発明に係る半導体薄膜の製造方法はいずれも、前記第1レーザ照射領域で薄膜トランジスタの活性層を形成する、前記半導体薄膜がアモルファスシリコンである、前記半導体薄膜がポリシリコンである、前記第1のレーザがエキシマレーザである、という形態を採り得る。
【0013】
本発明に係るレーザ照射装置は、半導体薄膜の所定領域に薄膜トランジスタの活性層を形成する第1のレーザ及びステッパ用読み取りマークを形成する第2のレーザを照射するレーザ照射装置であって、前記第1のレーザと前記第2のレーザとは同軸に設置されることを特徴とする。
【0014】
上記本発明に係るレーザ照射装置は、前記第1のレーザと前記第2のレーザとは互いに異なる口径である、前記第1のレーザがエキシマレーザである、前記第2のレーザに専用の光学素子が可動式である、という形態を採り得る。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。まず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、液晶パネルを構成するTFT基板及び対向基板のうちのTFT基板を形成するためのガラス基板を斜めから眺めた図であり、図1(a)〜(c)は、ガラス基板上にTFT用の半導体薄膜を製造する方法を製造工程順に示したものである。また、図2は、半導体薄膜の製造に使用されるレーザ照射装置の模式図である。
【0016】
図1(a)、(b)に示すように、日本電気硝子製OA−10ガラス基板101上に、PECVD法により下地SiO 2膜102およびa−Si膜103を連続成膜した。それぞれの膜厚は、SiO 2膜102が100nm、a−Si膜103が50nmであった。次に、ガラス基板101に500℃、10分の脱水素化処理を施し、図2に示すレーザ照射装置200に搬入した。
【0017】
結晶化用レーザ光として、ソプラ社製パルス出力15JのXeClエキシマレーザ光源(波長308nm)211を用い、光学系212により口径41×58mmに整形したビームを480mJ/cm 2の照射強度で、同一ヶ所に5回照射する工程を、照射位置を移動し繰り返し行った。この口径は駆動回路付き2.4型LCDパネルを作製するのに必要な大きさであり、基板サイズが550×650mmであればパネルは120面取りとなるため、レーザ照射は120ヶ所となる。なお、ビーム端における強度の傾斜部は約0.3mmの幅を有していた。ガラス基板101上のパネル間の間隔はシール幅、切断マージン等から1.5mmとした。ステージ216の動作精度は0.05mm以下であったため、後の位置合わせ工程が問題なく行われれば、ビーム端は無理なくTFTの無いパネル間領域に位置できる。通常ステッパの位置合わせ精度は0.5μm以下である。
【0018】
次に、マーク形成用レーザとして、Nd:YAGパルスレーザ2倍波光源(波長532nm)214を用いた。レーザ光の光軸は結晶化用レーザと同軸になるようマーク用光学系215を配置してあり、一部の光学素子は可動式にし、マーク用照射時のみ用いることにした。レーザ光の口径は出射時の100μφから基板上では10μφとした。強度プロファイルはガウシアンで、特に整形は行わず、ピーク強度が150mJ/cm 2となる条件で1回照射したドット状の結晶化領域を、XY方向に3列づつ作製してステッパ用目合わせマークを形成した。ここで、結晶化用レーザとマーク用レーザが同軸であるため、各々の位置精度はステージ動作精度内に収まる。同軸でないときはステージ動作に加えてレーザ光軸格差の精度が加わり、位置の誤差が拡大してしまう。
【0019】
なお、マーク形成用レーザはArレーザ、CO 2レーザなど他のレーザを用いても良いが、主たる結晶化用光学系212は308nmに合わせた無反射コートが成されているため、a−Si膜の吸収係数及びレーザ照射装置200の利用効率を考慮した場合、マーク用レーザの波長は308nmに近い方が望ましい。しかしながらエキシマ光源は高額であるので、比較的安価で利用しやすいNd:YAGレーザをここでは用いた。なお、Nd:YAGレーザはcwタイプでも良い。また、2倍波の代りに4倍波(波長266nm)を用いても良いが、4倍波を用いたレーザ照射装置はより低パワーで高コストとなる。
【0020】
マーク用光学系215において、ディフューザーを用いてビーム整形を行い、マスクイメージ法によりステッパ用目合わせマークを形成してもよいが、マスク形成用レーザ光の利用効率が低下するため、ステージ動作精度が十分確保されているのであれば、ビーム整形を行わないスポット照射で目合わせマークを形成したほうが良い。
【0021】
以上のように結晶化用レーザとマーク用レーザを照射されたa−Si膜103には後にTFTとなるpoly−Si領域104とマークpoly−Si領域105が形成された。次に、ガラス基板101表面にレジストを塗布し、ステッパにガラス基板101を搬入し、マークpoly−Si領域105をもとにアイランドパターンを形成した。a−Si領域とpoly−Si領域で光学定数が変化しているため、マーク読み取りには何の支障も無かった。その後、通常の低温poly−SiTFT用プロセスを用い、アイランド形成用ドライエッチング、ゲート絶縁膜成膜、ゲート電極形成、不純物注入、不純物活性化、電極形成等を行い、TFTが完成する。
【0022】
次に、本発明の第2の実施形態について図1、2を参照して説明する。
第1の実施形態と同様にガラス基板101上にa−Si膜103を形成した。次に、a−Si膜103を一旦580℃で15時間アニールすることにより固相成長poly−Si膜を形成した。次に、このpoly−Si膜に第1の実施形態と同様なレーザ照射装置200を用いて再結晶化用レーザとマーク形成用レーザを照射した。ここで再結晶化用レーザは2.1型LCDパネルに相当する36×51mm、照射強度550mJ/cm 2、照射回数3回とした。マーク形成用レーザの照射条件は400mJ/cm 2、照射回数30回とし、poly−Si膜をアブレーション除去する条件とした。ここではpoly−Si膜の有無によりステッパ用マークが形成された。なお、一旦固相成長poly−Siを形成してからレーザ照射すると、大粒径poly−Si膜が得られる。例えば本実施例では粒径は最大5μm程度となったが、第1の実施形態では粒径は0.3μm程度であった。
【0023】
本実施形態においてはpoly−Si領域中のpoly−Si膜の無い領域を目合わせ用マークとすることにより、第1の実施形態と同様に何の支障も無くマーク読み取り作業を行うことができた。
【0024】
なお、本実施形態に見られるようにマーク形成用レーザ照射に於いてpoly−Si膜をアブレーション除去する場合、マーク形成用照射域105を再結晶化用レーザ照射域104内に形成し、レーザ照射poly−Si領域中のpoly−Si膜の無い領域を目合わせマークとしても良い。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の半導体薄膜の製造方法及びレーザ照射装置によれば、マーク形成用レーザのレーザ光の光軸を結晶化用レーザと同軸になるようマーク用光学系を結晶化用レーザ光学系とは別に配置し、かつ、比較的安価で利用しやすいNd:YAGレーザを用いてレーザ照射装置を構成した。従って、レーザ照射装置にステッパ用マーク読み取りカメラやそのための専用チャンバ、およびθ補正を含めた微調整が必要な基板ステージを備える必要が無いため、安価でフットプリントが小さく、稼働率が高く、基板処理能力が高いレーザ照射装置が得られる。また、レーザ照射前に目合わせマークを形成する必要と、レーザ照射時に目合わせマークを読み取る必要が無いため、ビーム継ぎ目の影響の無い高均一のpoly−Si薄膜が低コスト、高スループットで得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1、2の実施形態に係る半導体薄膜の製造方法を製造工程順に示したものである。
【図2】本発明の第1、2の実施形態に係る半導体薄膜の製造方法に使用されるレーザ照射装置の模式図である。
【符号の説明】
101 ガラス基板
102 下地SiO 2膜
103 a−Si膜
104 poly−Si領域
105 マークpoly−Si領域
200 レーザ照射装置
211 XeClエキシマレーザ光源
212 光学系
214 Nd:YAGパルスレーザ2倍波光源
215 マーク用光学系
216 ステージ
Claims (11)
- 半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜にレーザ未照射領域と第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記レーザ未照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
- 半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜にレーザ未照射領域と第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
- 半導体薄膜に第1のレーザ及び前記第1のレーザと同軸の第2のレーザを照射して前記半導体薄膜に第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域をそれぞれ形成し、前記第1レーザ照射領域と第2レーザ照射領域との光学定数差を用いてステッパ用読み取りマークを形成することを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
- 前記第1レーザ照射領域で薄膜トランジスタの活性層を形成する請求項1乃至3のいずれか一項記載の半導体薄膜の製造方法。
- 前記半導体薄膜がアモルファスシリコンである請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体薄膜の製造方法。
- 前記半導体薄膜がポリシリコンである請求項1乃至4いずれか一項に記載の半導体薄膜の製造方法。
- 前記第1のレーザがエキシマレーザである請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体薄膜の製造方法。
- 半導体薄膜の所定領域に薄膜トランジスタの活性層を形成する第1のレーザ及びステッパ用読み取りマークを形成する第2のレーザを照射するレーザ照射装置であって、前記第1のレーザと前記第2のレーザとは同軸に設置されることを特徴とするレーザ照射装置。
- 前記第1のレーザと前記第2のレーザとは互いに異なる口径である請求項8に記載のレーザ照射装置。
- 前記第1のレーザがエキシマレーザである請求項8又は9記載のレーザ照射装置。
- 前記第2のレーザに専用の光学素子が可動式である請求項8乃至10のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7544550B2 (en) | 2004-07-05 | 2009-06-09 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of fabricating semiconductor device and semiconductor fabricated by the same method |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004055771A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Nec Lcd Technologies Ltd | 半導体薄膜の製造方法及びレーザ照射装置 |
KR100519948B1 (ko) * | 2003-05-20 | 2005-10-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 비정질 실리콘의 결정화 공정 및 이를 이용한 스위칭 소자 |
EP1577048A1 (de) * | 2004-03-18 | 2005-09-21 | Trotec Produktions- und Vertriebs GMBH | Bearbeitungsvorrichtung mit zwei unterschiedlichen Bearbeitungswerkzeugen und Verfahren zum Steuern derselben |
JP4763983B2 (ja) * | 2004-08-09 | 2011-08-31 | シャープ株式会社 | 光変調素子、結晶化装置、結晶化方法、薄膜半導体基板の製造装置、薄膜半導体基板の製造方法、薄膜半導体装置、薄膜半導体装置の製造方法、表示装置及び位相シフタ |
TW200616232A (en) * | 2004-08-09 | 2006-05-16 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Semiconductor device including semiconductor thin film, which is subjected to heat treatment to have alignment mark, crystallizing method for the semiconductor thin film, and crystallizing apparatus for the semiconductor thin film |
GB0509727D0 (en) * | 2005-05-13 | 2005-06-22 | Renishaw Plc | Method and apparatus for scale manufacture |
US20070272666A1 (en) * | 2006-05-25 | 2007-11-29 | O'brien James N | Infrared laser wafer scribing using short pulses |
KR100740124B1 (ko) * | 2006-10-13 | 2007-07-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
GB2458475B (en) * | 2008-03-18 | 2011-10-26 | Xsil Technology Ltd | Processing of multilayer semiconductor wafers |
JP5193677B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-05-08 | 株式会社ミツトヨ | レーザ加工装置 |
WO2011018989A1 (ja) | 2009-08-11 | 2011-02-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
CN101994100B (zh) * | 2009-08-20 | 2012-08-22 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 化学气相沉积设备的安装方法及化学气相沉积设备 |
US10239160B2 (en) * | 2011-09-21 | 2019-03-26 | Coherent, Inc. | Systems and processes that singulate materials |
GB201116530D0 (en) * | 2011-09-26 | 2011-11-09 | Champion Technologies Ltd | Method |
CN102489876B (zh) * | 2011-11-11 | 2014-06-25 | 北京中科思远光电科技有限公司 | 一种采用激光辅助加热的激光退火方法及装置 |
DE102012201194A1 (de) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | Rofin-Baasel Lasertech Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Laserbearbeiten eines Werkstückes |
JP5896459B2 (ja) * | 2012-03-06 | 2016-03-30 | 東レエンジニアリング株式会社 | マーキング装置及び方法 |
KR101412809B1 (ko) * | 2012-04-16 | 2014-06-27 | 주식회사 에프에스티 | 웨이퍼의 적층구조의 상하부 레이어의 정렬과 투과도를 개선하는 장치 및 방법 |
US9413137B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-08-09 | Nlight, Inc. | Pulsed line beam device processing systems using laser diodes |
US10226837B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-03-12 | Nlight, Inc. | Thermal processing with line beams |
CN103236399A (zh) * | 2013-04-12 | 2013-08-07 | 上海和辉光电有限公司 | 改善多晶硅结晶率的方法及装置 |
KR102288381B1 (ko) * | 2014-08-20 | 2021-08-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
US10466494B2 (en) | 2015-12-18 | 2019-11-05 | Nlight, Inc. | Reverse interleaving for laser line generators |
JP6334078B1 (ja) * | 2017-10-26 | 2018-05-30 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | フレキシブルoledデバイスの製造方法および製造装置 |
US10607513B2 (en) * | 2017-11-17 | 2020-03-31 | Sakai Display Products Corporation | Method and apparatus for producing flexible OLED device |
EP3736110A1 (en) * | 2019-05-09 | 2020-11-11 | LayerWise NV | System for aligning laser system to a carrier plate |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5745921A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-16 | Fujitsu Ltd | Forming method for semiconductor single crystal layer formed with laser irradiation |
JPS63123589A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
JPS63273582A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Toshiba Corp | レ−ザ加工機 |
JPH0871780A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-19 | Tdk Corp | レーザ位置決め加工方法及び装置 |
JPH08186268A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JPH09320961A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Nec Corp | 半導体製造装置及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP3163693B2 (ja) * | 1991-11-29 | 2001-05-08 | 日本電気株式会社 | 集積回路の製造方法 |
JP2001142094A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Nec Corp | 膜体部改質装置及び膜体部改質方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4486884A (en) * | 1982-05-10 | 1984-12-04 | At&T Bell Laboratories | Tunable anti-Stokes Raman laser |
JPH03128188A (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-31 | Ind Technol Res Inst | 光軸補正とレーザ光遮断と加工点表示とを行うレーザ加工機の補助機構およびレーザ光遮断に使用されるビーム吸収器 |
JP3186745B2 (ja) * | 1990-08-09 | 2001-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置 |
US5426010A (en) * | 1993-02-26 | 1995-06-20 | Oxford Computer, Inc. | Ultra high resolution printing method |
US5731046A (en) * | 1994-01-18 | 1998-03-24 | Qqc, Inc. | Fabrication of diamond and diamond-like carbon coatings |
US5554415A (en) * | 1994-01-18 | 1996-09-10 | Qqc, Inc. | Substrate coating techniques, including fabricating materials on a surface of a substrate |
US5611946A (en) * | 1994-02-18 | 1997-03-18 | New Wave Research | Multi-wavelength laser system, probe station and laser cutter system using the same |
US6034378A (en) * | 1995-02-01 | 2000-03-07 | Nikon Corporation | Method of detecting position of mark on substrate, position detection apparatus using this method, and exposure apparatus using this position detection apparatus |
JPH08206868A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-13 | Amada Co Ltd | プレイバックロボットを用いたyagレーザー加工装置 |
JPH09223648A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-26 | Toshiba Corp | 半導体ウェ−ハのマ−キング方法及びマ−キング装置 |
JP3984683B2 (ja) * | 1997-05-29 | 2007-10-03 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置および加工対象物の位置測定方法 |
JPH11114690A (ja) * | 1997-10-08 | 1999-04-27 | Canon Inc | レーザ加工方法 |
JPH11307424A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法および製造装置、ならびにそれにより製造された半導体デバイス |
JP3422290B2 (ja) | 1999-07-22 | 2003-06-30 | 日本電気株式会社 | 半導体薄膜の製造方法 |
JP2001087304A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-03 | Nidek Co Ltd | レーザ治療装置 |
JP2001148480A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-29 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造装置、および薄膜トランジスタその製造方法 |
JP4836333B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2011-12-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR100862542B1 (ko) * | 2000-09-05 | 2008-10-09 | 소니 가부시끼 가이샤 | 반도체 박막, 반도체 박막의 제조 방법, 및 단결정 반도체박막의 제조 장치, 및 단결정 박막의 제조 방법, 단결정박막 기판, 반도체 장치 |
US7109435B2 (en) * | 2001-12-07 | 2006-09-19 | Sony Corporation | Beam irradiator and laser anneal device |
JP3967935B2 (ja) * | 2002-02-25 | 2007-08-29 | 株式会社日立製作所 | 合わせ精度計測装置及びその方法 |
JP2004055771A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Nec Lcd Technologies Ltd | 半導体薄膜の製造方法及びレーザ照射装置 |
-
2002
- 2002-07-18 JP JP2002210202A patent/JP2004055771A/ja active Pending
-
2003
- 2003-07-08 US US10/615,670 patent/US7078649B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-07-16 CN CNB031784704A patent/CN1309030C/zh not_active Expired - Fee Related
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5745921A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-16 | Fujitsu Ltd | Forming method for semiconductor single crystal layer formed with laser irradiation |
JPS63123589A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
JPS63273582A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Toshiba Corp | レ−ザ加工機 |
JP3163693B2 (ja) * | 1991-11-29 | 2001-05-08 | 日本電気株式会社 | 集積回路の製造方法 |
JPH0871780A (ja) * | 1994-09-05 | 1996-03-19 | Tdk Corp | レーザ位置決め加工方法及び装置 |
JPH08186268A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JPH09320961A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Nec Corp | 半導体製造装置及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP2001142094A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Nec Corp | 膜体部改質装置及び膜体部改質方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7544550B2 (en) | 2004-07-05 | 2009-06-09 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of fabricating semiconductor device and semiconductor fabricated by the same method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20040011772A1 (en) | 2004-01-22 |
US7078649B2 (en) | 2006-07-18 |
CN1476062A (zh) | 2004-02-18 |
KR20040010249A (ko) | 2004-01-31 |
TWI231604B (en) | 2005-04-21 |
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