JPH03128188A - 光軸補正とレーザ光遮断と加工点表示とを行うレーザ加工機の補助機構およびレーザ光遮断に使用されるビーム吸収器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ加工機の補助機構およびレーザ光遮断に
使用されるビーム吸収器に関し、特に、レーザ光振器の
光軸補正とレーザ加工中のレーザ光′ａ断と加工対象物
への加工点表示とを行うレーザ加工機用の補助機構、お
よび内部に反射吸収部をまた外部に冷却部を形成したビ
ーム吸収器に関する。

（従来の技術） 従来、レーザ加工機の補助機構においては、レーザ光遮
断と加工点表示とを同一な補助機構で行うものが存在し
ていた。

また、レーザ発振器の光軸補１を行う際には、レーザ発
振器に対して光軸補正用の測定機器を別個に設置して光
軸補正を行っていた。

そして、レーザ加工作業の途中でレーザビームを一時的
に遮断する時に、レーザビームの１ネルギーを吸収し発
数させるビーム吸収器としては、光吸収率の良い黒色吸
収面にレーザビームを熱エネルギーとして吸収するとと
もに、強力な冷却系統を付設して熱発散を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来技術にかかわるレーザ加工機用の補助機
構において、レーザ光７！Ｘ断と加工点表示を行うもの
は知られていたが、レーザ発振器の光軸補正まで（よ行
なえなかったために、レーザ発振器の光軸補正を行いた
い時には、レーザ加Ｅ作業を長時間にわたって中断しな
ければならなかったとともに、別個な光軸補正用測定機
器をレーザ発振器に対して取付けなければならなかった
ので、手間と時間とを必要としていた。さらに、光軸補
正用測定機器の操作は専門業者でないと難しかったので
、コスト面での負担も大きがった。

また、従来のレーザ光遮断用に使用されるビーム吸収器
は、黒色吸収面が非常に高温となるためａ温にも耐えら
れる限定された材料でしか成形できず、しかも安全性を
確保する点で強力な冷却系統を必要とするので、材料コ
ストおよびランニングコストの点で不利であった。

本発明は、以上のような課題を解決するためになされた
もので、レーザ加工機の補助機構において、レーザ光遮
断および加工点表示に併せて光軸補正も行うことが出来
るレーザ加工機用の補助機構を提供することを目的とす
る。

また、本発明は、レーザ光速ｒＩｆＴ時に使用されるご
一ム吸収器において、レーザビームを内部で反復して反
射させるＮ４造によりレーザ光エネルギーを平均的に分
散した熱エネルギーとして吸収するとともに、簡単な冷
却構造で１分に熱分散ができるビーム吸収器を提供する
ことを目的としている。

〔課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明のレーザ加工機用の
補助機構においては、レーザ発振器と導光管との間に設
けられる機構であって、光軸補正および加工点表示用に
集束性の良い可視光ＩＶＲを提供する補助光源と、レー
ザ発振器の光軸を補正する補正位置および導光管を介し
て加工対象物の一表面に加工点Ｗを表示する表示位置の
２位置間において位置変換するように形成された第１可
動反射鏡と、レーザ発振器の光軸を補正したい時に補正
イ立曽にある第１可動反射鏡の光路士に移動して補助光
源からの可視光線ＶＲをレーザ発振器の内部へ光軸に沿
って進入させる第２可動反ｆＡ鏡と、閉鎖位置および開
放イ１装置の２位置間において位置変換するように形成
されるとともに、第１反射面ならびに第２反射面を備え
て、レーザビーム［Ｂを遮断して加工対象物の一表面に
加工点Ｗを表示したい時に閉ｇ’１（１７置へ移行して
、第１反射面によりレーザ発振器から照射されているレ
ーザビームＬＢを所定り向へ反射して遮断すると同時に
、第２反射面により補助光源から照射される可視光線Ｖ
Ｒを表示４Ｄ置にある第１可動反躬鏡および導光管を介
して加工対象物の一表面に照射して加°［点Ｗを表示す
る第３可動反射鏡と、閉鎖位置にある第３可動反射鏡が
第１反射面により反射するレーザビームＬＢを吸収して
エネルギー発数させるビーム吸収器とから構成すると効
果的である。

また、本発明のビーム吸収器においては、内部中空とな
った円すい状で、しかも頂角が９０度以下となるように
成形された反射吸収円すい体と、この反射吸収円すい体
を内包するように固着するとともに、円筒状の内壁面お
よび反射吸収円すい体の円すい状の外装面で反射吸収部
を形成した反射吸収円筒体と、これら反射吸収円すい体
の内部および反射吸収円筒体の外部に対して設けられ少
なくとも１つの冷却部とから構成すると良好な効果をあ
げることができる。

そして、上記反射吸収円すい体と反射吸収円筒体とが、
熱伝導性の良好な材料で成形されるとと６に、前記反射
吸収円筒体の外装面にフィンを突設すると好都合である
。

さらに、上記冷却部が、液体状の冷却媒体を使用すると
ともに、１記反剣阪収円筒体に対する冷却部を前クジ１
−夕、上記反射吸収円すい体に対する冷却部を後ラジェ
ータとして形成すると構造が簡単になり便利である。

（ｈ用） 上記のように構成したレーザ加工商用の補助機構におい
て、第１図と第２図とに示した如く、レーザビームＬＢ
を一時的に遮断して加工対象物８の表面に加工点Ｗを表
示したい時は、第１可動反躬鏡２が表示位置２Ａに定位
しているとともに、第２可動反躬鏡３が補助光源１から
照射される可視光線ＶＲの光路から退出した表示位置３
Ｄにあるので、可視光線ＶＲは第１可動反躬鏡２の反射
面２０と閉＃Ａ装置４Ｅにある第３可動反射鏡４の第２
反射面４１とで反射された後、導光管７を経由して加工
対象物８に照射され加工点Ｗが表示される。この時、レ
ーザ発振器５のレーザ管５ｏがら出力されているレーザ
ビームＬＢは第３可動反射鏡４の第１反射面４０で反射
されてビーム吸収器６に進入するのでレーザビームしＢ
のエネルギーを発散できる。従って、レーザ加工を実行
している途中でレーザビームＬＢを一時的に遮断できる
と同時に加工点Ｗの表示が行なえる。

次に、第１図と第３図とに示す如く、レーザ発振器５の
光軸補正を行いたい時には、第１可動反射鏡２が補正位
置２Ｂに、第２可動反射１１３が補正位置３Ｃに、第３
可動反射鏡４が開放位置４Ｆにそれぞれ定位するので、
補助光線１が出力する可視光線ＶＲをレーザ発振器５の
内部へ光軸に沿って進入させることができる。

また、上記のようなビーム吸収器６の構成において、第
７図に示したように、反射吸収部６５そ形成する反射吸
収円すい体６０および反射吸収円筒体６１が熱伝導性の
良い材料で成形されることで、レーザビームＬＢを繰返
し反射させてほぼ均一に分散させながらエネルギー吸収
できるので、簡単な構造の冷部部を付設するだけでレー
ザビームＬ　Ｂのエネルギーを発散させることが出来る
、。

そして、反射吸収円すい休６０の頂角を９０度以下に成
形することでビーム吸収器６に進入したレーザビームＬ
Ｂが吸収孔６２ｂから漏れ出ることを防止している。

〔実施例〕

以下、本発明にかかわる好適な実施例を図面に基づいて
説明する。

最初に、第１図乃至第６図により本発明の光軸補正と加
工点表示とレーザ光遮断とを行うレーナ加工機の補助機
構を説明し、続いて第７図により本発明のビーム吸収器
を説明する。

Ａ１本発明のレーザ加工機用補助機構 第１図において、本発明のレーザ加工機用補助機構は、
光軸補正および加工点表示用の可視光線Ｖ　Ｒ（Ｖ　１
ｓｉｂｌｃ　　Ｒａｙ）を提供する補助光源１と、第１
可動反１＞１鏡２と、第２可動反射鏡３と、第３可動反
射鏡４と、レーザ加工用にレーザビームＬＢ　（Ｌａｓ
ｅｒ　　Ｂｅａｍ　）を出力ずルレーザ発振器５と、３
可動反射鏡４により反射されたレーザビームＬＢを吸収
するビーム吸収器６とから構成されている。

なお、本発明のレーザ加−［桟用補助機構は、レーザ発
振器５と導光管７との間に介設されるもので、図中、８
は加工対象物を示している。

補助光源１は、本実施例においては、１ｍＷ程度の低出
力なヘリウムネオン（ｆｌｅ−ｎｅ）ガスレーザを光源
として採用している。周知のようにヘリウムネオン・ガ
スレーザは単色性、コヒーレンス性、指向性、集束性に
すぐれた赤色の可視光線ＶＲを出力できるの、で光軸補
正や加工点表示には最適である。補助光Ｒ１の出力側に
は絞り板１０を設けて可視光線ｖＲの光軸を補正できる
ように構成している。

第１可動反ＱＪ１’１２は、光線反射率の良い反射面２
０と、可動ハウジング２１と、移動板２２とから構成さ
れるとともに、可動ハウジング２１が矢印Ａ−Ｂｈ向へ
例えば油空圧手段〈図示せず）等で（↑復移動して、補
助光源１がら最も離れた表示（ｆｆＨ２Ａ（図示の（Ｄ
ｉｆｆ）と補助光源１に最も近づく補正位置２Ｂ（第３
図を参照）との２位置で停止するように形成している。

そして、可動ハウジング２１の内部には反射面２０の反
射角度を調整する自動式または手動式の角度調整手段（
図示ピｆ）が内設されている。なお、角度調整手段とし
て最も簡単な実施態様（よ、図示のように複数の調整ね
じ２３を反射面２０の周辺部位に配設ツることである。

第２可動反ｒｊ４鏡３は、反射率の良い反射面３０と、
受持柱３１と、この支持柱３１の途中に開孔された光線
通過孔３２とから構成されるとともに、反射面３０が矢
印Ｃ−Ｄ方向へ往復回動じて補助光源１から照射される
可視光線ＶＲをレーザ発振器５の光軸方向へ反射したり
、または導光管７の光路および加工対象物８の方向へ通
過させたりするように形成されている。

第３可動反剣鏡４は、レーザ発振器５側に設けられてレ
ーザビームＬＢをビーム吸収器６の方向へ反射する第１
反射面４０と、補助光ｍ１側に設けられて可視光線ＶＲ
を導光管７の光路および加工対象物８の方向へ反射する
第２反射面４１と、これら第１反射面４０および第２反
銅面４１を所定場所に貼設するとともに、矢印Ｅ−Ｆ方
向へ油空圧手段４２によって往復移動する菱形柱体の開
閉ハウジング４３と、この開閉ハウジング４３が滑動す
るレール台４４と、互いに平行となっている第１反射面
４０および第２反射面４１の角度調整を行う角度調整手
段４５と、開閉ハウジング４３を矢印Ｅ−Ｆ方向へｆｆ
復移動させる開閉切替えスイッチ４６とから構成されて
いる。

さて、以上のように構成された本発明にかかわる光軸補
正と加工点表示とレーザ光遮断とを行うレーザ加工機の
補助機構の作動について、〈−〉加工点表示とレーザ光
遮断とを行う場合、および（二〉レーザ発振器の光軸補
正を行う場合に分けて説明する。

（−〉加工点表示とレーザ光遮断を行う場合第１図と第
２図とにおいて、加工対象物８に加工点Ｗを表示したい
時ならびにレーザビームＬＢを一時的に遮断したい時に
は、第１図にその状態を示したように、第１可動反射鏡
２は矢印Ａ寄りの表示位置２Ａに、第２可動反剣鏡３は
矢印り寄りの表示位置３Ｄにそれぞれ定位するとともに
、第３可動反剣鏡４も矢印Ｅ寄りの閉鎖位置４Ｆに定位
する。

従って、第２図に示した状態となって、補助光［１から
照射された可視光線ＶＲは表示位置２Ａにある第１可動
反躬鏡２の反射面２０および第３可動反射１１４の第２
反射面４１により導光管７の内部へと導かれた後、加工
対象物８の一表面に照則されて加工点Ｗを表示する。こ
の際、ヘリウムネオンガスレーザは赤色の可視光線ＶＲ
であるので一般に加工点ｗ　Ｉｃｔ紅明に表示できる。

そして、可視光線ＶＲの光軸が適「であるか否かは、本
実施例においてはセンサ等（図示せｆ）を利用して導光
管７の任意の２点、例えば光軸合せ点７０゜７１を可視
光線ＶＲが通過しているか否かにより判定して、光軸補
正の必藍がある時は、第１可動反剣鏡２に内設された角
度調整手段、例えば調整ねじ２３で反射面２０を角度調
整して光軸を合せる。

同時に、第３可動反躬鏡４が矢印Ｅ方向へ移行して閉鎖
位置４Ｅに定位すると、レーザ発振器５から加工対象物
８へ照射されていたレーザビームＬＢは第１反射 ６に吸収される。つまり、レーザ加■を実行している最
中に加工点Ｗが適性かどうかをチエツクしたい場合は、
開放位置４Ｆにあった第３可動反射１４を開閉切替えス
イッチ４６により閉鎖位置４Ｅへ移行させるだけで、即
座に加工対象物８に加工点Ｗを表示できるように構成さ
れている。

（二）レーザ発振器の光軸補正を行う場合第１図と第３
図とにおいて、レーザ発振器５の光幅補正を１１いたい
時には、第１可動反射鏡２を矢印Ｂ方向へ移動させて補
正位置２Ｂに定位させるとともに、第２可動反射鏡３を
矢印Ｃプノ向へ回動させて補正位置３Ｃに定位させる。

そして、第３　’＋ｉＪ　８反射鏡４は矢印「方向へ移
動して聞ｈｔ装置４「となる。

こうして第３図に図示の状態となるので、補助光源１か
ら照射された可視光線Ｖ　Ｒ　１．Ｌ第１可動反ｑ４鏡
２の反射面２０および第２可動反躬鏡３の反射面３０に
よってレーザ発振器５のレーリ゛管５０の内部へ光軸に
沿うように進入することになる。

次に、第４図から第６図に丞ずように、レーザ管５０の
両端から出力反射鏡５１と反的鏡５２とを取りはずして
〈第４図の状ｇ〉、補助光源１から進入してくる可視光
線ＶＲ（第３図参照）が、出力反射鏡５１の台座５３の
中央に開設されている照準孔５５および反射鏡５２の台
座５４の中央に配設されている照準点５６と一致してい
るか否かを、照準孔５５ならびに照準点５６がそれぞれ
設けられている各センサ５７，５８によりチエツクする
。このチエツクには公知技術の照準率表示計（図示せず
）が利用できる。この時、可視光線ＶＲの光路が、レー
ザビームＬ　Ｂの光軸すなわち照準孔５５と照準点５６
とに一致していない場合、第１可動反躬鏡２の反射面２
０を角度調整手段により自動式または手動式に角度調整
してレーザビームＬＢの光軸と可視光線ＶＲの光路とを
一致させる。

そして、第５図において、レーザ管５０の図中左端面に
反射鏡５２を台座５４により固着して、可視光線ＶＲを
白抜き矢印の方向へ反射させ照準孔５５を通過するうに
反射鏡５２の角度を微調整する。

さらに、第６図において、出力反射鏡５１をレーザ管５
０の図中右端面に固着して、反射されて照準孔５５を出
た可視光線ＶＲが光路を白抜き矢印の方向へ逆戻りして
補助光源１の絞り板１０に開設された絞り孔１１と一致
する〈第３図を参照）ように出力反射鏡５１の角度を微
調整して、レーザ発振器５のレーザビームＬ　Ｂ光軸と
補助光源１の可視光線ＶＲ光路とを完全に一致させてお
くことが出来る。従って、前もってレーザどームＬ　Ｂ
光軸と可視光線ＶＲ光路とを完全に一致させておくと、
その後はレーザ発振器５から反射して戻った可視光線Ｖ
Ｒが絞り孔１１と一致しているか否か（よ確認するだけ
で、レーザ発振器５の光軸が適性か否かを判断できるよ
うになる。そして、万一光軸が不適性となった時は、第
６図の出力反１１鏡５１の微調整、第５図の反射鏡５２
の微調整・・・と逆に調整を行い、光軸が適圧となった
段階で補正を完了することができる。

Ｂ８本発明のビーム吸収器 本充用にかかわるビーム吸収器を第７図に基づいて説明
する。

第７図において、本発明のビーム吸収器６は、反射１汲
収円すい体６０と、反射吸収円筒体６１と、冷却部であ
る前ラジェータ６２および後ラジェータ６３とから構成
される装置 反射吸収円すい休６０は、熱伝導性が良好な金属材料、
例えば銅やアルミニウム等により内部が中空で、しかも
頂角が９０度以下となるように成形されている。また、
図中上端部分にはフランジ６０ａが延設されている。

反射吸収円筒体６１も、良好な熱伝導性材料で成形され
るもので、反射吸収円すい体６０をそのフランジ６０ａ
を除いて内包するとともに、図中上端部分に前記フラン
ジ６０ａと対応するフランジ６１ａを、外周面に熱発散
用のツイン６１ｂをそれぞれ延設している。そして、反
射吸収円すい休６０と反射吸収円筒体６１とは各７ラン
ジ６０ａ、６１ａにおいて、締着手段、例えば図示のボ
ルト６４等により互いに固着される。

冷却部は、本実施例においては反射吸収円筒体６１に対
する前ラジェータ６２と反射吸収円すい体６０に対する
後ラジェータ６３とに分割されている。

前ラジェータ６２は、反射吸収円筒体６１を内包するも
ので、上端のフランジ６２ａで反射吸収円筒１４６１の
フランジ６１ａに固着されるとともに、底面にレーザビ
ームＬＢを通過させる吸収孔６２ｂを、そして、側面の
適当な位置に冷却液（例えば、水）が流入する流入口６
２ｃと冷却液が流出する流出口６２ｄを開口している。

後ラジェータ６３は、反射吸収円づ゛い体６ｏの中空内
部を密閉する平板状のもので、フランジ６０ａに対して
固着されるとともに、冷７Ｊ１液が流入する流入１］　
６３　ａと冷却液が流出する流出口６３ｂとを間口して
いる。

そこで、このビーム吸収器６の竹動を説明すると、反射
吸収円すい体６０の外壁面６０ｂと反ａ＝＋吸収円筒体
６１の内壁面６１ｃとで断面形状がほぼ三角形の反射吸
収部６５を形成しているので、第１図を見ると分りやす
いように、第３可動反割鏡４が矢印Ｅ方向へ移行して閉
鎖位１ｆｆ４Ｅに定位すると、レーザ発振器５のレーザ
管５０から出力されていたレーザビームＬＢが第１反射
面４０で反射されて前記吸収孔６２ｂからビーム吸収器
６の内部に進入する。反射吸収円すい体６０の外壁面６
０ｂは頂角が９０度以下の円すい形反射面となっている
ので、レーザビームＬＢはビーム吸収器６に進入すると
同時に反射吸収円筒体６１の内壁面６１Ｇへ帯状に３６
０度方向へ分散されて照射され、レーザビームＬＢのエ
ネルギーの一部が熱エネルギーに変換されて反射吸収円
すい体６０と反射吸収円筒体６１との両方に吸収される
。しかも反射吸収円すい体６０の頂角が９０度以下なの
でレーザビームＬＢが吸収孔６２ｂから漏れ出ることが
ない。このようにビーム吸収器６に吸収されたレーザビ
ームＬＢは反射吸収部６５において反射と熱吸収とが繰
り返えされ、その熱エネルギーを前後ラジェータ６２．
６３の冷却液と熱交換させて、反射吸収部６５全体にお
いて、はぼ均一に熱発散させることが出来るので、冷却
液として水を使用することができるように形成されてい
る。

〔発明の効果〕

本発明は以上に説明したように構成されているので少な
くとも下記の効果を奏する。

請求項１のレーザ加工機用補助機構においては、従来は
レーザ光遮断お−よび加工点表示しか出来なかったもの
が、本発明ではレーザ発振器の光軸補正り同一補助機構
で行なえるようになるので、レーザ発振器の光軸補正が
簡単かつ迅速に実行できる。

請求項２・〜４のビーム吸収器においては、良好な熱伝
導性を有する材料で反射吸収部を形成してレーザビーム
のエネルギーを均一に分散させながら吸収するので、簡
単な冷却部で４分に熱発散できる。また、反射吸収円す
い体の頂角を９０度以下とすることで、吸収されたレー
ザビームが再び漏れ出ることを防止できる３、従って、
製造」ス１〜の低下と安全性の向上が実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明にかかわるレーザ加工機用補助ｎ構を
示す斜視図、 第２図は、そのレーザ光遮断および加工点表示を説明す
る光学系統図、 第３図は、そのレーザ発振器の光軸補「を説明する光学
系統図、 第４図から第６図は、そのレーザ管における光軸合せを
説明する概略図、 第７図は、本発明にかかわるビーム吸収器を示す要部断
面表示の正面図である。 １・・・補助光源、２・・・第１可動反射鏡、２Ａ、３
Ｄ・・・表示位置、２８．３Ｃ・・・補正位置、３・・
・第２可動反射鏡、４・・・第３可動反射鏡、４Ｅ・・
・閉鎖位置、４Ｆ・・・開放位置、５・・・レーデ発振
器、６・・・ビーム吸収器、７・・・導光管、８・・・
加工対象物、１０・・・絞り板、１１・・・絞り孔、２
０．３０・・・反射面、２１・・・可動ハウジング、２
２・・・移動板、２３・・・調整ねじ、３１・・・支持
杆、３２・・・光線通過孔、４０・・・第１反射面、４
１・・・第２反射面、４２・・・油空圧手段、４３・・
・開閉ハウジング、４４・・・レール台、４５・・・角
度調整手段、４６・・・開閉切替えスイッチ、６０・・
・反射吸収円すい体、６０ａ、６１ａ。 ６２ａ・・・フランジ、６０ｃ・・・外壁面、６１・・
・反射吸収円筒体、６１ｂ・・・フィン、６１ｃ・・・
内壁面、６２・・・前ラジェータ、６２ｂ・・・吸収孔
、６２Ｃ９６３ａ　・・・流入口、６２ｄ、６３ｂ・・
・流出口、６３・・・後ラジェータ、６４・・・ボルト
、６５・・・反射吸収部、７０．７１・・・光軸合せ点
、ＶＲ・・・可視光線、Ｌ［３・・・レーザビーム、Ｗ
・・・加工点。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ発振器と導光管との間に設けられるレーザ
   加工機用の補助機構であつて、 光軸補正および加工点表示用に集束性の良い可視光線Ｖ
   Ｒを提供する補助光源と、 レーザ発振器の光軸を補正する補正位置、および導光管
   を介して加工対象物の一表面に加工点Ｗを表示する表示
   位置の２位置間において位置変換するように形成された
   第１可動反射鏡と、レーザ発振器の光軸を補正したい時
   に補正位置にある第１可動反射鏡の光路上に移動して補
   助光源からの可視光線ＶＲをレーザ発振器の内部へ光軸
   に沿つて進入させる第２可動反射鏡と、閉鎖位置および
   開放位置の２位置間において位置変換するように形成さ
   れるとともに、第１反射面及び第２反射面を備えて、レ
   ーザビームＬＢを遮断して加工対象物の一表面に加工点
   Ｗを表示したい時に閉鎖位置へ移行して、第１反射面に
   よりレーザ発振器から照射されているレーザビームＬＢ
   を所定方向へ反射して遮断すると同時に、第２反射面に
   より補助光源から照射される可視光線ＶＲを表示位置に
   ある第１可動反射鏡および導光管を介して加工対象物の
   一表面に照射して加工点Ｗを表示する第３可動反射鏡と
   、 閉鎖位置にある第３可動反射鏡が第１反射面により反射
   するレーザビームＬＢを吸収してエネルギー発散させる
   ビーム吸収器と、 から構成した光軸補正と加工点表示とレーザ光遮断とを
   行うレーザ加工機の補助機構。
2. （２）内部中空の円すい状で、しかも頂角が９０度以下
   となるように成形された反射吸収円すい体と、 この反射吸収円すい体を内包するように固着するととも
   に、円筒状の内壁面および反射吸収円すい体の円すい状
   の外壁面で反射吸収部を形成した反射吸収円筒体と、 これら反射吸収円すい体の内部および反射吸収円筒体の
   外部に対して設けられた少なくとも１つの冷却部と、 から構成されたレーザ光遮断に使用されるビーム吸収器
   。
3. （３）上記反射吸収円すい体と反射吸収円筒体とが、熱
   伝導性の良好な材料で成形されるとともに、前記反射吸
   収円筒体の外壁面にフィンを突設した請求項２記載のビ
   ーム吸収器。
4. （４）上記冷却部が、液体状の冷却媒体を使用するとと
   もに、上記反射吸収円筒体に対する冷却部を前ラジエー
   タ、上記反射吸収円すい体に対する冷却部を後ラジエー
   タとして形成した請求項２または３記載のビーム吸収器
   。