JPH11109199A - 光学系の組立調整装置及び組立調整方法 - Google Patents
光学系の組立調整装置及び組立調整方法Info
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- JPH11109199A JPH11109199A JP26431697A JP26431697A JPH11109199A JP H11109199 A JPH11109199 A JP H11109199A JP 26431697 A JP26431697 A JP 26431697A JP 26431697 A JP26431697 A JP 26431697A JP H11109199 A JPH11109199 A JP H11109199A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、公差等の影響で屈折力に誤差のあ
るレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、光学系を容易に精度良く組立調整することを目的
とするものである。 【解決手段】 レンズ１，２を組み合わせた光学系に光
束を照射するとともに、バックフォーカスの設計ノミナ
ル位置に置かれたＣＣＤ２３により光を受け、ナイフエ
ッジ２１により光束が半分遮光されたときと、全く遮光
されないときとで、光の強度分布の重心位置の変化を検
出することにより、光学系のバックフォーカスを検出
し、バックフォーカスが設計ノミナル値となるようにレ
ンズ１，２の間隔を調整する。
るレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、光学系を容易に精度良く組立調整することを目的
とするものである。 【解決手段】 レンズ１，２を組み合わせた光学系に光
束を照射するとともに、バックフォーカスの設計ノミナ
ル位置に置かれたＣＣＤ２３により光を受け、ナイフエ
ッジ２１により光束が半分遮光されたときと、全く遮光
されないときとで、光の強度分布の重心位置の変化を検
出することにより、光学系のバックフォーカスを検出
し、バックフォーカスが設計ノミナル値となるようにレ
ンズ１，２の間隔を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば写真レン
ズ等、一般の光学系の組立調整装置及び組立調整方法に
関するものである。
ズ等、一般の光学系の組立調整装置及び組立調整方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、高い結像性能を要求する光学
系、例えば写真レンズ等では、厳しい公差が要求され
る。しかし、複数枚の単レンズからなる写真レンズで
は、個々のレンズの形状や屈折率の公差が小さくても、
各レンズの公差の影響が相乗して、焦点距離や光軸上の
レンズ後端と焦点面との距離（以下、バックフォーカス
という。）が大きく変化してしまうことがある。
系、例えば写真レンズ等では、厳しい公差が要求され
る。しかし、複数枚の単レンズからなる写真レンズで
は、個々のレンズの形状や屈折率の公差が小さくても、
各レンズの公差の影響が相乗して、焦点距離や光軸上の
レンズ後端と焦点面との距離（以下、バックフォーカス
という。）が大きく変化してしまうことがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、複数の
レンズを組み合わせて使用する従来の光学系において
は、焦点距離やバックフォーカスがそれらのノミナル値
から外れてしまい、使用条件の許容範囲を超えることが
あった。例えば、焦点距離のノミナル値が３０００ｍｍ
であるにも拘わらず、実際の焦点距離が２５００ｍｍに
なるようなこともあった。
レンズを組み合わせて使用する従来の光学系において
は、焦点距離やバックフォーカスがそれらのノミナル値
から外れてしまい、使用条件の許容範囲を超えることが
あった。例えば、焦点距離のノミナル値が３０００ｍｍ
であるにも拘わらず、実際の焦点距離が２５００ｍｍに
なるようなこともあった。
【０００４】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、光学系を容易に精度良く組立調整することができ
る光学系の組立調整装置及び組立調整方法を得ることを
目的とする。
ることを課題としてなされたものであり、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、光学系を容易に精度良く組立調整することができ
る光学系の組立調整装置及び組立調整方法を得ることを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る光
学系の組立調整装置は、複数のレンズを有する光学系に
光束を照射するための光源と、光源と光学系との間に設
けられ、光学系への光束の照射面積を変化させるための
遮光手段と、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル
位置に設けられ、光学系を通過した光の強度分布の重心
位置を検出することにより光学系のバックフォーカスを
検出する検出手段とを備えたものである。
学系の組立調整装置は、複数のレンズを有する光学系に
光束を照射するための光源と、光源と光学系との間に設
けられ、光学系への光束の照射面積を変化させるための
遮光手段と、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル
位置に設けられ、光学系を通過した光の強度分布の重心
位置を検出することにより光学系のバックフォーカスを
検出する検出手段とを備えたものである。
【０００６】請求項２の発明に係る光学系の組立調整装
置は、光学系を通過した光を受けるＣＣＤと、このＣＣ
Ｄに接続されている演算装置とを有する検出手段を用い
たものである。
置は、光学系を通過した光を受けるＣＣＤと、このＣＣ
Ｄに接続されている演算装置とを有する検出手段を用い
たものである。
【０００７】請求項３の発明に係る光学系の組立調整装
置は、複数のレンズを有する光学系に光束を照射するた
めの光源と、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル
位置に設けられている反射板と、光学系への入射光と反
射板からの反射光との干渉縞から波面収差を演算するこ
とにより光学系のバックフォーカスを検出する検出手段
とを備えたものである。
置は、複数のレンズを有する光学系に光束を照射するた
めの光源と、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル
位置に設けられている反射板と、光学系への入射光と反
射板からの反射光との干渉縞から波面収差を演算するこ
とにより光学系のバックフォーカスを検出する検出手段
とを備えたものである。
【０００８】請求項４の発明に係る光学系の組立調整装
置は、検出手段として、フィゾー型位相測定干渉計を用
いたものである。
置は、検出手段として、フィゾー型位相測定干渉計を用
いたものである。
【０００９】請求項５の発明に係る光学系の組立調整装
置は、複数のレンズを有する光学系に光軸と平行な複数
本の光線を照射するための光源と、光学系のバックフォ
ーカスの設計ノミナル位置に設けられ、光学系を通過し
た光線の輝点の位置を検出することにより光学系のバッ
クフォーカスを検出する検出手段とを備えたものであ
る。
置は、複数のレンズを有する光学系に光軸と平行な複数
本の光線を照射するための光源と、光学系のバックフォ
ーカスの設計ノミナル位置に設けられ、光学系を通過し
た光線の輝点の位置を検出することにより光学系のバッ
クフォーカスを検出する検出手段とを備えたものであ
る。
【００１０】請求項６の発明に係る光学系の組立調整装
置は、複数のレンズを有する光学系に光を照射するため
の光源と、光学系の光軸と平行に往復移動可能に設けら
れ、光学系のＦナンバーを検出する検出手段とを備えた
ものである。
置は、複数のレンズを有する光学系に光を照射するため
の光源と、光学系の光軸と平行に往復移動可能に設けら
れ、光学系のＦナンバーを検出する検出手段とを備えた
ものである。
【００１１】請求項７の発明に係る光学系の組立調整装
置は、複数のレンズを有する光学系の使用時の像空間側
のバックフォーカス位置に配置される点光源と、この点
光源から光学系に入射される光束の径を所定の大きさに
絞る絞り手段と、光学系の使用時の物空間側に配置さ
れ、光学系を通過した光束の径を検出する検出手段とを
備えたものである。
置は、複数のレンズを有する光学系の使用時の像空間側
のバックフォーカス位置に配置される点光源と、この点
光源から光学系に入射される光束の径を所定の大きさに
絞る絞り手段と、光学系の使用時の物空間側に配置さ
れ、光学系を通過した光束の径を検出する検出手段とを
備えたものである。
【００１２】請求項８の発明に係る光学系の組立調整装
置は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して傾
斜した光線を照射するとともに、光学系に入射される光
線を光軸を中心として回転させる光源と、光学系のバッ
クフォーカス位置に配置され、光学系を通過した光線の
軌跡の径から光学系の焦点距離を検出する検出手段とを
備えたものである。
置は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して傾
斜した光線を照射するとともに、光学系に入射される光
線を光軸を中心として回転させる光源と、光学系のバッ
クフォーカス位置に配置され、光学系を通過した光線の
軌跡の径から光学系の焦点距離を検出する検出手段とを
備えたものである。
【００１３】請求項９の発明に係る光学系の組立調整方
法は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学
系のバックフォーカスを検出するとともに、バックフォ
ーカスが設計ノミナル値となるように、複数のレンズの
間隔を調整するものである。
法は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学
系のバックフォーカスを検出するとともに、バックフォ
ーカスが設計ノミナル値となるように、複数のレンズの
間隔を調整するものである。
【００１４】請求項１０の発明に係る光学系の組立調整
方法は、光学系への光束の照射面積を変化させつつ、光
学系を通過した光の強度分布の重心位置の変化を検出す
ることにより、光学系のバックフォーカスを検出するも
のである。
方法は、光学系への光束の照射面積を変化させつつ、光
学系を通過した光の強度分布の重心位置の変化を検出す
ることにより、光学系のバックフォーカスを検出するも
のである。
【００１５】請求項１１の発明に係る光学系の組立調整
方法は、光学系への入射光と、光学系のバックフォーカ
スの設計ノミナル位置に置かれた反射板からの反射光と
の干渉縞から波面収差を演算することにより光学系のバ
ックフォーカスを検出するものである。
方法は、光学系への入射光と、光学系のバックフォーカ
スの設計ノミナル位置に置かれた反射板からの反射光と
の干渉縞から波面収差を演算することにより光学系のバ
ックフォーカスを検出するものである。
【００１６】請求項１２の発明に係る光学系の組立調整
方法は、干渉縞から演算した球面収差量が設計ノミナル
値となるように複数のレンズの間隔を調整するものであ
る。
方法は、干渉縞から演算した球面収差量が設計ノミナル
値となるように複数のレンズの間隔を調整するものであ
る。
【００１７】請求項１３の発明に係る光学系の組立調整
方法は、光軸に平行な複数の光線を光学系に照射し、透
過光線の輝点の位置を検出することにより、光学系のバ
ックフォーカスを検出するものである。
方法は、光軸に平行な複数の光線を光学系に照射し、透
過光線の輝点の位置を検出することにより、光学系のバ
ックフォーカスを検出するものである。
【００１８】請求項１４の発明に係る光学系の組立調整
方法は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光
学系のＦナンバーを検出するとともに、Ｆナンバーが設
計ノミナル値となるように、複数のレンズの間隔を調整
するものである。
方法は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光
学系のＦナンバーを検出するとともに、Ｆナンバーが設
計ノミナル値となるように、複数のレンズの間隔を調整
するものである。
【００１９】請求項１５の発明に係る光学系の組立調整
方法は、光軸と同軸の光線と光軸に平行な光線とを光学
系に照射し、所定の間隔をおいた２カ所で２本の光線の
間隔を検出することにより、Ｆナンバーを検出するもの
である。
方法は、光軸と同軸の光線と光軸に平行な光線とを光学
系に照射し、所定の間隔をおいた２カ所で２本の光線の
間隔を検出することにより、Ｆナンバーを検出するもの
である。
【００２０】請求項１６の発明に係る光学系の組立調整
方法は、複数のレンズを有する光学系に光軸に平行な光
束を照射し、所定の間隔をおいた２カ所で光束の径を測
定することにより、Ｆナンバーを検出するものである。
方法は、複数のレンズを有する光学系に光軸に平行な光
束を照射し、所定の間隔をおいた２カ所で光束の径を測
定することにより、Ｆナンバーを検出するものである。
【００２１】請求項１７の発明に係る光学系の組立調整
方法は、複数のレンズを有する光学系に、その使用時の
像空間側のバックフォーカス位置に置かれた点光源から
光を照射し、光学系に入射される光束の径を所定の大き
さに絞り、光学系を通過した光束の径が設計ノミナル値
となるように複数のレンズの間隔を調整するものであ
る。
方法は、複数のレンズを有する光学系に、その使用時の
像空間側のバックフォーカス位置に置かれた点光源から
光を照射し、光学系に入射される光束の径を所定の大き
さに絞り、光学系を通過した光束の径が設計ノミナル値
となるように複数のレンズの間隔を調整するものであ
る。
【００２２】請求項１８の発明に係る光学系の組立調整
方法は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して
傾斜した光線を照射するとともに、光学系に入射される
光線を光軸を中心として回転させ、光学系のバックフォ
ーカス位置における光線の軌跡の径から光学系の焦点距
離を検出し、焦点距離が設計ノミナル値となるように複
数のレンズの間隔を調整するものである。
方法は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して
傾斜した光線を照射するとともに、光学系に入射される
光線を光軸を中心として回転させ、光学系のバックフォ
ーカス位置における光線の軌跡の径から光学系の焦点距
離を検出し、焦点距離が設計ノミナル値となるように複
数のレンズの間隔を調整するものである。
【００２３】請求項１９の発明に係る光学系の組立調整
方法は、光学系を大気中で使用するときの焦点距離と真
空中で使用するときの焦点距離との関係を求めておき、
真空中での焦点距離が設計ノミナル値となるように大気
中でレンズ間隔を調整するものである。
方法は、光学系を大気中で使用するときの焦点距離と真
空中で使用するときの焦点距離との関係を求めておき、
真空中での焦点距離が設計ノミナル値となるように大気
中でレンズ間隔を調整するものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による光
学系の組立調整方法を示す説明図である。図において、
１は無限遠の点光源からの光束をその焦点位置に結像す
る屈折力（焦点距離の逆数）φ１のレンズ、２はその光
軸がレンズ１の光軸と一致するようにレンズ１の後側に
間隔ｄをおいて配置されている屈折力φ２のレンズ、３
はレンズ１を光軸からの高さｈ１で透過する周辺光線、
ｈ２はレンズ２における周辺光線３の光軸からの高さで
ある。
について説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による光
学系の組立調整方法を示す説明図である。図において、
１は無限遠の点光源からの光束をその焦点位置に結像す
る屈折力（焦点距離の逆数）φ１のレンズ、２はその光
軸がレンズ１の光軸と一致するようにレンズ１の後側に
間隔ｄをおいて配置されている屈折力φ２のレンズ、３
はレンズ１を光軸からの高さｈ１で透過する周辺光線、
ｈ２はレンズ２における周辺光線３の光軸からの高さで
ある。
【００２５】２１は端面が鋭角に整形された不透明な平
板からなる遮光手段としてのナイフエッジであり、この
ナイフエッジ２１は、レンズ１への入射光束の約半分を
遮光する面積を有している。２２はナイフエッジ２１を
支持する摺動台であり、この摺動台２２は、レンズ１へ
の入射光束の約半分を遮る位置（図１の位置）と、光束
を遮らない位置との間でナイフエッジ２１を往復移動さ
せる。
板からなる遮光手段としてのナイフエッジであり、この
ナイフエッジ２１は、レンズ１への入射光束の約半分を
遮光する面積を有している。２２はナイフエッジ２１を
支持する摺動台であり、この摺動台２２は、レンズ１へ
の入射光束の約半分を遮る位置（図１の位置）と、光束
を遮らない位置との間でナイフエッジ２１を往復移動さ
せる。
【００２６】２３は検出面が光軸と垂直に、かつバック
フォーカスの設計ノミナル位置に配置されているＣＣＤ
（撮像検出器）、２４はＣＣＤ２３の出力に対し数値演
算を行う演算装置であり、この例における検出手段２０
は、ＣＣＤ２３及び演算装置２４を有している。なお、
この例における光源（図示せず）としては、レーザ発振
器とビームエキスパンダとを組み合わせたものが使用さ
れる。
フォーカスの設計ノミナル位置に配置されているＣＣＤ
（撮像検出器）、２４はＣＣＤ２３の出力に対し数値演
算を行う演算装置であり、この例における検出手段２０
は、ＣＣＤ２３及び演算装置２４を有している。なお、
この例における光源（図示せず）としては、レーザ発振
器とビームエキスパンダとを組み合わせたものが使用さ
れる。
【００２７】次に、組立調整方法について説明する。図
１に示すように、光学系の合成焦点距離ｆnetは、レン
ズ２から後ろの周辺光線３を延長した直線（図中破線）
と、レンズ１より前の周辺光線３との交点と、焦点位置
との間の距離と考えることができる。従って、レンズ２
のバックフォーカスｂｆｌと、レンズ２における周辺光
線３の光軸からの高さｈ２とが設計値となるように調整
すれば、焦点距離を直接計測しなくても焦点距離を所望
の値にすることができる。
１に示すように、光学系の合成焦点距離ｆnetは、レン
ズ２から後ろの周辺光線３を延長した直線（図中破線）
と、レンズ１より前の周辺光線３との交点と、焦点位置
との間の距離と考えることができる。従って、レンズ２
のバックフォーカスｂｆｌと、レンズ２における周辺光
線３の光軸からの高さｈ２とが設計値となるように調整
すれば、焦点距離を直接計測しなくても焦点距離を所望
の値にすることができる。
【００２８】即ち、レンズ１とレンズ２との合成焦点距
離ｆnetは、ｆnet＝１／（φ１＋ｈ２・φ２）（式１）
で表される。また、レンズ１，２の屈折力が、加工公差
によりそれぞれΔφ１、Δφ２だけ異なるとき、合成焦
点距離ｆnetの変化Δｆnetは、Δｆnet／ｆnet＝−ｆ
net（Δφ１＋ｈ２Δφ２＋Δｈ２φ２）（式２）で表
される。但し、Δｈ２は、レンズ２における周辺光線３
の光軸５からの高さの変化分である。式２から、加工公
差のあるレンズを組み合わせたレンズでは、加工公差に
よる焦点距離変化Δｆnetがｆnetに比例して大きくなる
ことが分かる。
離ｆnetは、ｆnet＝１／（φ１＋ｈ２・φ２）（式１）
で表される。また、レンズ１，２の屈折力が、加工公差
によりそれぞれΔφ１、Δφ２だけ異なるとき、合成焦
点距離ｆnetの変化Δｆnetは、Δｆnet／ｆnet＝−ｆ
net（Δφ１＋ｈ２Δφ２＋Δｈ２φ２）（式２）で表
される。但し、Δｈ２は、レンズ２における周辺光線３
の光軸５からの高さの変化分である。式２から、加工公
差のあるレンズを組み合わせたレンズでは、加工公差に
よる焦点距離変化Δｆnetがｆnetに比例して大きくなる
ことが分かる。
【００２９】これに対し、加工公差を厳しくして焦点距
離変化を小さくすることができない場合、焦点距離を測
定しながらレンズ間隔を調整し、焦点距離を目標値とす
ることができる。原理は、レンズ間隔を調整することに
よって、上記の式１の右辺におけるｈ２を任意とし、結
果としてｆnetを任意とするものである。
離変化を小さくすることができない場合、焦点距離を測
定しながらレンズ間隔を調整し、焦点距離を目標値とす
ることができる。原理は、レンズ間隔を調整することに
よって、上記の式１の右辺におけるｈ２を任意とし、結
果としてｆnetを任意とするものである。
【００３０】以下は、レンズ１，２の屈折力φ１，φ２
の公差による変化Δφ１，Δφ２が焦点距離の許容誤差
よりも十分小さい場合について説明する。ここで、レン
ズ２のｂｆｌは、ｂｆｌ＝（ｈ２／ｈ１）ｆnet＝ｈ２
ｆnet（式３）で表される。この式３から、レンズ間隔
ｄを設計ノミナル位置としたときのｂｆｌの公差による
変化量Δｂｆｌは、Δｂｆｌ＝Δｈ２（∂ｂｆｌ／∂ｈ
２）＋Δｆnet（∂ｂｆｌ／∂ｆnet）＝Δｈ２ｆnet＋
Δｆnetｈ２（式４）と表される。
の公差による変化Δφ１，Δφ２が焦点距離の許容誤差
よりも十分小さい場合について説明する。ここで、レン
ズ２のｂｆｌは、ｂｆｌ＝（ｈ２／ｈ１）ｆnet＝ｈ２
ｆnet（式３）で表される。この式３から、レンズ間隔
ｄを設計ノミナル位置としたときのｂｆｌの公差による
変化量Δｂｆｌは、Δｂｆｌ＝Δｈ２（∂ｂｆｌ／∂ｈ
２）＋Δｆnet（∂ｂｆｌ／∂ｆnet）＝Δｈ２ｆnet＋
Δｆnetｈ２（式４）と表される。
【００３１】ここで、Δｂｆｌ＝０となるようにレンズ
群間隔を調整したとすると、Δｆne t／ｆnet＝−Δｈ２
／ｈ２（式５）が成立する。即ち、バックフォーカスｂ
ｆｌが設計ノミナル値となるようにレンズ間隔ｄを調整
することで、焦点距離ｆnetの変動はｈ２の変動程度に
抑えられるということが言える。
群間隔を調整したとすると、Δｆne t／ｆnet＝−Δｈ２
／ｈ２（式５）が成立する。即ち、バックフォーカスｂ
ｆｌが設計ノミナル値となるようにレンズ間隔ｄを調整
することで、焦点距離ｆnetの変動はｈ２の変動程度に
抑えられるということが言える。
【００３２】一方、レンズ１の像点とレンズ１との距離
をｘ１、レンズ２の物点とレンズ２との距離をｘ２とす
ると、ｈ１：ｈ２＝ｘ１：ｘ２（式６）の関係が成立す
る。また、ｘ１＝φ１（式７）からｘ２＝ｈ２（１／φ
１）（式８）が得られる。ここで、レンズ２の結像関係
において、ｂｆｌ、即ち像点を設計ノミナル値に調整し
たことにより、必然的にその共役点である物点もほぼ設
計ノミナル値となっている。従って、ｘ２の変化Δｘ２
は、Δｘ２＝Δｈ２（∂ｘ２／∂ｈ２）＋Δφ１（∂ｘ
２／∂φ２）≒０（式９）のように表される。さらに、
式８及び式９から、Δｈ２／ｈ２≒Δφ１／φ１（式１
０）が得られる。
をｘ１、レンズ２の物点とレンズ２との距離をｘ２とす
ると、ｈ１：ｈ２＝ｘ１：ｘ２（式６）の関係が成立す
る。また、ｘ１＝φ１（式７）からｘ２＝ｈ２（１／φ
１）（式８）が得られる。ここで、レンズ２の結像関係
において、ｂｆｌ、即ち像点を設計ノミナル値に調整し
たことにより、必然的にその共役点である物点もほぼ設
計ノミナル値となっている。従って、ｘ２の変化Δｘ２
は、Δｘ２＝Δｈ２（∂ｘ２／∂ｈ２）＋Δφ１（∂ｘ
２／∂φ２）≒０（式９）のように表される。さらに、
式８及び式９から、Δｈ２／ｈ２≒Δφ１／φ１（式１
０）が得られる。
【００３３】また、式５及び式１０から、Δｆnet／ｆ
net≒−Δφ１／φ１（式１１）が得られる。即ち、バ
ックフォーカスｂｆｌを設計ノミナル値となるように、
レンズ間隔ｄを調整することで、ΔｆｎｅｔをΔφ１程
度とすることができる。
net≒−Δφ１／φ１（式１１）が得られる。即ち、バ
ックフォーカスｂｆｌを設計ノミナル値となるように、
レンズ間隔ｄを調整することで、ΔｆｎｅｔをΔφ１程
度とすることができる。
【００３４】そこで、バックフォーカスｂｆｌを設計ノ
ミナル値とする方法について述べる。設計ノミナルのバ
ックフォーカス位置にＣＣＤ２３を置くことにより、集
光点の光強度分布が得られる。また、ナイフエッジ２１
による光束の遮蔽の有無により、ＣＣＤ２３で検出され
る光強度分布は変化する。ここで、ｂｆｌが設計ノミナ
ル位置からずれているときは、光束の遮蔽の有無によ
り、光強度分布の重心位置が変化するが、ｂｆｌが設計
ノミナル位置にあるときは、光束の遮蔽の有無により、
光強度分布の重心位置は変化しない。
ミナル値とする方法について述べる。設計ノミナルのバ
ックフォーカス位置にＣＣＤ２３を置くことにより、集
光点の光強度分布が得られる。また、ナイフエッジ２１
による光束の遮蔽の有無により、ＣＣＤ２３で検出され
る光強度分布は変化する。ここで、ｂｆｌが設計ノミナ
ル位置からずれているときは、光束の遮蔽の有無によ
り、光強度分布の重心位置が変化するが、ｂｆｌが設計
ノミナル位置にあるときは、光束の遮蔽の有無により、
光強度分布の重心位置は変化しない。
【００３５】従って、レンズ２とＣＣＤ２３との間の間
隔をｂｆｌの設計ノミナル値に保ちつつ、光束の遮蔽の
有無により光強度分布の重心位置が変化しないようなレ
ンズ間隔ｄとすることにより、実際の焦点距離も設計ノ
ミナル値とすることができる。なお、光強度分布の重心
は、ＣＣＤ２３の出力を演算装置２４で処理することに
より計算される。
隔をｂｆｌの設計ノミナル値に保ちつつ、光束の遮蔽の
有無により光強度分布の重心位置が変化しないようなレ
ンズ間隔ｄとすることにより、実際の焦点距離も設計ノ
ミナル値とすることができる。なお、光強度分布の重心
は、ＣＣＤ２３の出力を演算装置２４で処理することに
より計算される。
【００３６】このように、ナイフエッジ２１により光束
を遮蔽・解除しながらＣＣＤ２３及び演算装置２４で光
強度分布を検出して、レンズ間隔を調整することによ
り、焦点距離及びバックフォーカスを容易に設計ノミナ
ル値にすることができ、光学系の組立調整をより正確に
行うことができる。例えば、焦点距離のノミナル値が３
０００ｍｍである場合、従来は実際の焦点距離が２５０
０ｍｍになるようなこともあったが、本発明の調整を行
うことにより、焦点距離のずれは±１ｍｍ程度にまで低
減できた。
を遮蔽・解除しながらＣＣＤ２３及び演算装置２４で光
強度分布を検出して、レンズ間隔を調整することによ
り、焦点距離及びバックフォーカスを容易に設計ノミナ
ル値にすることができ、光学系の組立調整をより正確に
行うことができる。例えば、焦点距離のノミナル値が３
０００ｍｍである場合、従来は実際の焦点距離が２５０
０ｍｍになるようなこともあったが、本発明の調整を行
うことにより、焦点距離のずれは±１ｍｍ程度にまで低
減できた。
【００３７】また、焦点距離を測定する方法としては、
従来、例えば日本工業規格Ｂ７０９４−１９７８「写真
レンズの焦点距離の測定方法」に示されたノーダルスラ
イド方法なども知られているが、この方法では、焦点距
離より全長が大きい装置を使用する必要があり、測定作
業も手間のかかるものであった。これに対し、この発明
の方法によれば、装置を十分に小形化し、作業も容易に
することができる。
従来、例えば日本工業規格Ｂ７０９４−１９７８「写真
レンズの焦点距離の測定方法」に示されたノーダルスラ
イド方法なども知られているが、この方法では、焦点距
離より全長が大きい装置を使用する必要があり、測定作
業も手間のかかるものであった。これに対し、この発明
の方法によれば、装置を十分に小形化し、作業も容易に
することができる。
【００３８】なお、上記の例では、光束を遮らない位置
と１／２遮る位置とでナイフエッジ２１を移動させた
が、光強度分布の重心位置の変化を検出できればよく、
ナイフエッジ２１の移動範囲はこれに限定されるもので
はない。
と１／２遮る位置とでナイフエッジ２１を移動させた
が、光強度分布の重心位置の変化を検出できればよく、
ナイフエッジ２１の移動範囲はこれに限定されるもので
はない。
【００３９】実施の形態２．また、上記実施の形態１で
は光強度分布の重心位置の変化を検出してレンズ１，２
の間隔を調整したが、バックフォーカスを検出できる方
法であれば他の方法であってもよい。例えば、図２に示
すように、設計ノミナルのバックフォーカス位置に反射
板１５を置き、入射光と反射光との干渉縞から波面収差
を演算し、そのデフォーカス成分が最小となるようにレ
ンズ間隔ｄを調整してもよい。また、干渉縞の検出及び
波面収差を求める検出手段としては、例えばフィゾー型
位相測定干渉計１６が使用される。
は光強度分布の重心位置の変化を検出してレンズ１，２
の間隔を調整したが、バックフォーカスを検出できる方
法であれば他の方法であってもよい。例えば、図２に示
すように、設計ノミナルのバックフォーカス位置に反射
板１５を置き、入射光と反射光との干渉縞から波面収差
を演算し、そのデフォーカス成分が最小となるようにレ
ンズ間隔ｄを調整してもよい。また、干渉縞の検出及び
波面収差を求める検出手段としては、例えばフィゾー型
位相測定干渉計１６が使用される。
【００４０】実施の形態３．さらに、デフォーカス成分
ではなく、他の収差量を用いてレンズ間隔ｄを調整する
こともできる。例えば、干渉縞から計算した波面収差の
うち、３次、又はより高次の球面収差量が設計ノミナル
値となるようにレンズ間隔ｄを調整してもよい。特に、
レンズが３枚以上あるときは、調整できるレンズ間隔は
２カ所以上あるので、焦点距離だけ調整しても収差がず
れてしまう可能性がある。これに対し、ｂｆｌと波面球
面収差とを用いてレンズ間隔ｄの調整を行うことによ
り、焦点距離だけではなく、収差量も小さくすることが
できる。
ではなく、他の収差量を用いてレンズ間隔ｄを調整する
こともできる。例えば、干渉縞から計算した波面収差の
うち、３次、又はより高次の球面収差量が設計ノミナル
値となるようにレンズ間隔ｄを調整してもよい。特に、
レンズが３枚以上あるときは、調整できるレンズ間隔は
２カ所以上あるので、焦点距離だけ調整しても収差がず
れてしまう可能性がある。これに対し、ｂｆｌと波面球
面収差とを用いてレンズ間隔ｄの調整を行うことによ
り、焦点距離だけではなく、収差量も小さくすることが
できる。
【００４１】実施の形態４．次に、図３はこの発明の実
施の形態４による光学系の組立調整方法を示す説明図で
ある。図において、２５は光軸と同軸なレーザ光を発振
する光源であるレーザ発振器、２６は光軸と平行で、レ
ンズ１における入射高さｈ１のレーザ光を発振する光源
であるレーザ発振器、２７はＣＣＤ２３を光軸と平行な
方向へ自由に移動させる摺動台である。
施の形態４による光学系の組立調整方法を示す説明図で
ある。図において、２５は光軸と同軸なレーザ光を発振
する光源であるレーザ発振器、２６は光軸と平行で、レ
ンズ１における入射高さｈ１のレーザ光を発振する光源
であるレーザ発振器、２７はＣＣＤ２３を光軸と平行な
方向へ自由に移動させる摺動台である。
【００４２】次に、動作について説明する。バックフォ
ーカスが設計ノミナル値と異なるときには、ＣＣＤ２３
の出力には２つの輝点が存在する。これに対し、バック
フォーカスが設計ノミナル値と一致しているときには、
２本のレーザ光がＣＣＤ２３上で交叉するため、輝点が
一つになる。従って、輝点が一つになるようにレンズ間
隔ｄを調整することで、ｂｆｌを容易に設計ノミナル値
とすることができ、装置が大形化することなく、容易に
精度良く組立調整を行うことができる。
ーカスが設計ノミナル値と異なるときには、ＣＣＤ２３
の出力には２つの輝点が存在する。これに対し、バック
フォーカスが設計ノミナル値と一致しているときには、
２本のレーザ光がＣＣＤ２３上で交叉するため、輝点が
一つになる。従って、輝点が一つになるようにレンズ間
隔ｄを調整することで、ｂｆｌを容易に設計ノミナル値
とすることができ、装置が大形化することなく、容易に
精度良く組立調整を行うことができる。
【００４３】具体的には、レーザ発振器２５，２６から
交互にレーザを出射し、透過光の強度分布の重心位置を
検出手段２０により検出し、重心位置が重なるようにレ
ンズ間隔ｄを調整する方法が容易である。また、レーザ
発振器２５，２６からのレーザの色を異なる色として、
ＣＣＤ２３で受けた光を画像処理し、モニタで輝点の位
置を見る方法も可能である。
交互にレーザを出射し、透過光の強度分布の重心位置を
検出手段２０により検出し、重心位置が重なるようにレ
ンズ間隔ｄを調整する方法が容易である。また、レーザ
発振器２５，２６からのレーザの色を異なる色として、
ＣＣＤ２３で受けた光を画像処理し、モニタで輝点の位
置を見る方法も可能である。
【００４４】なお、上記の例では、レーザ発振器２５か
らのレーザを光軸と同軸としたが、必ずしも光軸に重ね
る必要はなく、光軸と平行に複数のレーザ光を入射させ
ることができればよい。
らのレーザを光軸と同軸としたが、必ずしも光軸に重ね
る必要はなく、光軸と平行に複数のレーザ光を入射させ
ることができればよい。
【００４５】実施の形態５．上記の各例では、レンズ
１，２の屈折力φ１，φ２の公差による変化分Δφ１，
Δφ２が焦点距離の許容誤差よりも十分小さい場合につ
いて述べたため、ｂｆｌを設計ノミナル値に調整するこ
とで、ｈ２も設計ノミナル値に近づき、焦点距離をほぼ
所望値とすることができた。しかし、レンズ１，２の屈
折力の誤差が大きい場合には、ｈ２とｂｆｌに相当する
量をそれぞれ計測する必要がある。
１，２の屈折力φ１，φ２の公差による変化分Δφ１，
Δφ２が焦点距離の許容誤差よりも十分小さい場合につ
いて述べたため、ｂｆｌを設計ノミナル値に調整するこ
とで、ｈ２も設計ノミナル値に近づき、焦点距離をほぼ
所望値とすることができた。しかし、レンズ１，２の屈
折力の誤差が大きい場合には、ｈ２とｂｆｌに相当する
量をそれぞれ計測する必要がある。
【００４６】このような場合、まず、図３の装置により
実施の形態４と同様の方法でｂｆｌを検出する。その
後、摺動台をΔｚだけ移動した位置での２つの輝点の間
隔Δｈｉを計測する。このとき、ｈ２：ｂｆｌ＝Δｈ
ｉ：Δｚ（式１２）の関係があるので、Δｈｉ／Δｚが
設計ノミナル値のｈ２／ｂｆｌとなるように、即ちＦナ
ンバー（この例では具体的にはＦナンバーの１／２）が
設計ノミナル値となるようにレンズ間隔ｄを調整するこ
とで、焦点距離を所望の長さに調整することができる。
実施の形態４と同様の方法でｂｆｌを検出する。その
後、摺動台をΔｚだけ移動した位置での２つの輝点の間
隔Δｈｉを計測する。このとき、ｈ２：ｂｆｌ＝Δｈ
ｉ：Δｚ（式１２）の関係があるので、Δｈｉ／Δｚが
設計ノミナル値のｈ２／ｂｆｌとなるように、即ちＦナ
ンバー（この例では具体的にはＦナンバーの１／２）が
設計ノミナル値となるようにレンズ間隔ｄを調整するこ
とで、焦点距離を所望の長さに調整することができる。
【００４７】具体的には、実際のバックフォーカス位
置、即ち２つの輝点が重なる位置にＣＣＤ２３を置き、
そこからΔＺだけＣＣＤ２３を移動させ、Δｈｉを測定
するという作業を、レンズ間隔ｄを調整しながら繰り返
し、Δｈｉ／Δｚを設計ノミナル値のｈ２／ｂｆｌと同
一にする。
置、即ち２つの輝点が重なる位置にＣＣＤ２３を置き、
そこからΔＺだけＣＣＤ２３を移動させ、Δｈｉを測定
するという作業を、レンズ間隔ｄを調整しながら繰り返
し、Δｈｉ／Δｚを設計ノミナル値のｈ２／ｂｆｌと同
一にする。
【００４８】実施の形態６．なお、上記の例ではレーザ
発振器２５，２６を用いたが、レーザ光の代わりに他の
光源を使ってもよい。例えば、半径ｈ１のコリメート光
をレンズ１に入射し、ＣＣＤ２３でΔｚだけ離れた２カ
所での光束径を計測し、ｈ２／ｂｆｌに換算して実施の
形態５と同様な調整をすることもできる。
発振器２５，２６を用いたが、レーザ光の代わりに他の
光源を使ってもよい。例えば、半径ｈ１のコリメート光
をレンズ１に入射し、ＣＣＤ２３でΔｚだけ離れた２カ
所での光束径を計測し、ｈ２／ｂｆｌに換算して実施の
形態５と同様な調整をすることもできる。
【００４９】実施の形態７．また、実施の形態１〜６で
は、使用時の物空間側から光を入射しているが、使用時
の像空間側に光源をおいても同様な効果が得られる。例
えば、図４に示すように、ｂｆｌの位置に点光源３１を
置き、孔３２ａを有する遮蔽板（絞り手段）３２により
レンズ２での光束径をｈ２に絞ったときの使用時の物空
間側での光束径を測定し、その光束径が設計ノミナル値
となるようにレンズ間隔ｄを調整しても、焦点距離を所
望値とすることができ、光源を簡単に構成することがで
きる。また、光束径の測定は、例えばＣＣＤ３３及び演
算装置３４を有する検出手段３５により行えばよい。
は、使用時の物空間側から光を入射しているが、使用時
の像空間側に光源をおいても同様な効果が得られる。例
えば、図４に示すように、ｂｆｌの位置に点光源３１を
置き、孔３２ａを有する遮蔽板（絞り手段）３２により
レンズ２での光束径をｈ２に絞ったときの使用時の物空
間側での光束径を測定し、その光束径が設計ノミナル値
となるようにレンズ間隔ｄを調整しても、焦点距離を所
望値とすることができ、光源を簡単に構成することがで
きる。また、光束径の測定は、例えばＣＣＤ３３及び演
算装置３４を有する検出手段３５により行えばよい。
【００５０】実施の形態８．図５はこの発明の実施の形
態８による光学系の組立調整方法を示す説明図である。
図において、４１は光学系の光軸と同軸のレーザ光線４
３を出射するレーザ発振器、４２はレーザ発振器４１か
ら出射されたレーザ光線４３を子午的平面（光軸を含む
平面）上で任意の角度θだけ屈折させるプリズムであ
り、角度θは調整可能になっている。４４はレーザ発振
器４１とプリズム４２とを有する光源、４５は光学系を
通過したレーザ光線４３を受けるＣＣＤ、４６はＣＣＤ
４５に接続されている演算装置、４７はＣＣＤ４５及び
演算装置４６を有する検出手段である。
態８による光学系の組立調整方法を示す説明図である。
図において、４１は光学系の光軸と同軸のレーザ光線４
３を出射するレーザ発振器、４２はレーザ発振器４１か
ら出射されたレーザ光線４３を子午的平面（光軸を含む
平面）上で任意の角度θだけ屈折させるプリズムであ
り、角度θは調整可能になっている。４４はレーザ発振
器４１とプリズム４２とを有する光源、４５は光学系を
通過したレーザ光線４３を受けるＣＣＤ、４６はＣＣＤ
４５に接続されている演算装置、４７はＣＣＤ４５及び
演算装置４６を有する検出手段である。
【００５１】次に、動作について説明する。まず、レン
ズ１，２からなる光学系の実際のバックフォーカスを測
定しておき、そこにＣＣＤ４５を配置する。その状態
で、レーザ発振器４１からレーザ光線４３を出射し、光
軸を中心としてプリズム４２を１回転させると、ＣＣＤ
４５上でのレーザ光線４３の軌跡は円となるので、その
半径ｈｉを演算装置４６で計測する。
ズ１，２からなる光学系の実際のバックフォーカスを測
定しておき、そこにＣＣＤ４５を配置する。その状態
で、レーザ発振器４１からレーザ光線４３を出射し、光
軸を中心としてプリズム４２を１回転させると、ＣＣＤ
４５上でのレーザ光線４３の軌跡は円となるので、その
半径ｈｉを演算装置４６で計測する。
【００５２】このとき、焦点距離ｆnetとｈｉとの関係
は、ｆnet＝ｈｉ・ｔａｎθで表されるので、ｈｉを計
測することでｆnetを計測することができる。従って、
ｈｉからｆnetを求め、そのｆnetが設計ノミナル値とな
るように、レンズ間隔ｄを調整すればよい。
は、ｆnet＝ｈｉ・ｔａｎθで表されるので、ｈｉを計
測することでｆnetを計測することができる。従って、
ｈｉからｆnetを求め、そのｆnetが設計ノミナル値とな
るように、レンズ間隔ｄを調整すればよい。
【００５３】なお、レーザ光線４３の角度を変化させる
手段はプリズム４２に限定されるものではなく、例えば
レーザ発振器４１自体の角度を光軸に対しθだけオフセ
ットしてもよく、またミラーを使って反射させてもよ
い。
手段はプリズム４２に限定されるものではなく、例えば
レーザ発振器４１自体の角度を光軸に対しθだけオフセ
ットしてもよく、またミラーを使って反射させてもよ
い。
【００５４】実施の形態９．上記の例では、レンズ１，
２の公差による光学系の焦点距離の変化を調整する方法
について説明したが、光学系の焦点距離は、レンズ１，
２の公差だけではなく、温度や気圧による媒質やレンズ
材料の屈折率の変化にも影響される。従って、上記のよ
うな調整作業は、使用環境と同じ条件下で行う必要があ
る。しかし、例えば真空中で使用する光学系の場合、調
整作業を真空中で行うのは非常に困難である。従って、
調整作業を常温常圧下で行い、しかも真空中に置いたと
きの焦点距離を設計ノミナル値とすることができればメ
リットは大きい。
２の公差による光学系の焦点距離の変化を調整する方法
について説明したが、光学系の焦点距離は、レンズ１，
２の公差だけではなく、温度や気圧による媒質やレンズ
材料の屈折率の変化にも影響される。従って、上記のよ
うな調整作業は、使用環境と同じ条件下で行う必要があ
る。しかし、例えば真空中で使用する光学系の場合、調
整作業を真空中で行うのは非常に困難である。従って、
調整作業を常温常圧下で行い、しかも真空中に置いたと
きの焦点距離を設計ノミナル値とすることができればメ
リットは大きい。
【００５５】大気中と真空中との焦点距離変化は、公差
による変化と同様に、式２で表すことができる。以下Δ
φ１とΔφ２の公差依存性について見積もる。レンズ１
を薄肉平凸レンズと考え、面曲率を１／Ｒとすると、屈
折力φは、φ１＝（ｎ−１）１／Ｒ（式１４）で表され
る。また、屈折率ｎの気圧変化による変化分をΔｎとす
ると、Δφ１＝Δｎ・１／Ｒ＝｛Δｎ／（ｎ−１）｝φ
１（式１５）と表せる。この式１５より、大気中から真
空中への屈折率変化による屈折力変化は、φ１に比例す
ることがわかる。
による変化と同様に、式２で表すことができる。以下Δ
φ１とΔφ２の公差依存性について見積もる。レンズ１
を薄肉平凸レンズと考え、面曲率を１／Ｒとすると、屈
折力φは、φ１＝（ｎ−１）１／Ｒ（式１４）で表され
る。また、屈折率ｎの気圧変化による変化分をΔｎとす
ると、Δφ１＝Δｎ・１／Ｒ＝｛Δｎ／（ｎ−１）｝φ
１（式１５）と表せる。この式１５より、大気中から真
空中への屈折率変化による屈折力変化は、φ１に比例す
ることがわかる。
【００５６】ここで、φ１に公差による誤差があるとす
ると、Δφ１の公差依存性のオーダーは、式１５より、
屈折力φ１の誤差にΔｎを乗じた程度であり、しかもΔ
ｎは１０-3オーダーなので、公差によるφ１の誤差の１
／１０００程度である。従って、Δφ１の公差依存性
は、殆ど無視できると言える。これは、レンズ２の屈折
力φ２についても同様である。
ると、Δφ１の公差依存性のオーダーは、式１５より、
屈折力φ１の誤差にΔｎを乗じた程度であり、しかもΔ
ｎは１０-3オーダーなので、公差によるφ１の誤差の１
／１０００程度である。従って、Δφ１の公差依存性
は、殆ど無視できると言える。これは、レンズ２の屈折
力φ２についても同様である。
【００５７】次に、レンズ１とレンズ２とを組み合わせ
た光学系についても、大気中と真空中との屈折率変化に
よる焦点距離変化Δｆnetは、公差依存性と同様式２の
ように表せる。ここで、ｆnetは大気中の焦点距離であ
る。前記したように、Δφ１及びΔφ２の公差依存性が
無視でき、Δｈ２の公差依存性もΔφ１に起因するので
同様に無視できると考えられるので、Δｆnetはｆnetに
支配される。従って、ｆnetが一定の条件であれば、Δ
ｆnetもほぼ一定と考えられる。
た光学系についても、大気中と真空中との屈折率変化に
よる焦点距離変化Δｆnetは、公差依存性と同様式２の
ように表せる。ここで、ｆnetは大気中の焦点距離であ
る。前記したように、Δφ１及びΔφ２の公差依存性が
無視でき、Δｈ２の公差依存性もΔφ１に起因するので
同様に無視できると考えられるので、Δｆnetはｆnetに
支配される。従って、ｆnetが一定の条件であれば、Δ
ｆnetもほぼ一定と考えられる。
【００５８】以上のことから、光学系の構成に応じたシ
ミュレーションにより、大気中での焦点距離ｆnetに対
する真空中での焦点距離ｆnet＋Δｆnetとの関係を求め
ておき、大気中で実施の形態１〜９の方法で焦点距離ｆ
netを調整することにより、真空中での焦点距離ｆnet＋
Δｆnetを設計ノミナル値とすることができる。また、
Δｆnetは、光学系の構成により異なり、大気中と真空
中とでｆnetが変化しない場合もあり得るので、上記の
シミュレーションを光学系毎に行う必要がある。さら
に、シミュレーションの方法としては、例えば媒質の屈
折率を真空と大気とで変化させて光線追跡を行えばよ
い。
ミュレーションにより、大気中での焦点距離ｆnetに対
する真空中での焦点距離ｆnet＋Δｆnetとの関係を求め
ておき、大気中で実施の形態１〜９の方法で焦点距離ｆ
netを調整することにより、真空中での焦点距離ｆnet＋
Δｆnetを設計ノミナル値とすることができる。また、
Δｆnetは、光学系の構成により異なり、大気中と真空
中とでｆnetが変化しない場合もあり得るので、上記の
シミュレーションを光学系毎に行う必要がある。さら
に、シミュレーションの方法としては、例えば媒質の屈
折率を真空と大気とで変化させて光線追跡を行えばよ
い。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
光学系の組立調整装置は、光学系への光束の照射面積を
遮光手段により変化させつつ、光学系のバックフォーカ
スの設計ノミナル位置に置いた検出手段により光学系を
通過した光の強度分布の重心位置を検出するようにした
ので、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォーカス
を設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響で屈
折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズで
も、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのず
れが小さくなるように、容易に精度良く組立調整するこ
とができ、しかも装置を小形に構成することができる。
光学系の組立調整装置は、光学系への光束の照射面積を
遮光手段により変化させつつ、光学系のバックフォーカ
スの設計ノミナル位置に置いた検出手段により光学系を
通過した光の強度分布の重心位置を検出するようにした
ので、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォーカス
を設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響で屈
折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズで
も、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのず
れが小さくなるように、容易に精度良く組立調整するこ
とができ、しかも装置を小形に構成することができる。
【００６０】請求項２の発明の光学系の組立調整装置
は、光学系を通過した光を受けるＣＣＤと、このＣＣＤ
に接続されている演算装置とを有する検出手段を用いた
ので、装置構成を簡単にすることができる。
は、光学系を通過した光を受けるＣＣＤと、このＣＣＤ
に接続されている演算装置とを有する検出手段を用いた
ので、装置構成を簡単にすることができる。
【００６１】請求項３の発明の光学系の組立調整装置
は、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル位置に反
射板を置き、光学系への入射光と反射板からの反射光と
の干渉縞から波面収差を演算することにより検出手段に
より光学系のバックフォーカスを検出するようにしたの
で、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォーカスを
設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響で屈折
力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、
焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが
小さくなるように、容易に精度良く組立調整することが
でき、しかも装置を小形に構成することができる。
は、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル位置に反
射板を置き、光学系への入射光と反射板からの反射光と
の干渉縞から波面収差を演算することにより検出手段に
より光学系のバックフォーカスを検出するようにしたの
で、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォーカスを
設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響で屈折
力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、
焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが
小さくなるように、容易に精度良く組立調整することが
でき、しかも装置を小形に構成することができる。
【００６２】請求項４の発明の光学系の組立調整装置
は、検出手段として、フィゾー型位相測定干渉計を用い
たので、装置構成を簡単にすることができる。
は、検出手段として、フィゾー型位相測定干渉計を用い
たので、装置構成を簡単にすることができる。
【００６３】請求項５の発明の光学系の組立調整装置
は、平行な２本の光線を光学系に照射し、光学系のバッ
クフォーカスの設計ノミナル位置に置いた検出手段によ
り光学系を通過した光線の輝点の位置を検出するように
したので、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォー
カスを設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響
で屈折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズ
でも、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からの
ずれが小さくなるように、容易に精度良く組立調整する
ことができ、しかも装置を小形に構成することができ
る。
は、平行な２本の光線を光学系に照射し、光学系のバッ
クフォーカスの設計ノミナル位置に置いた検出手段によ
り光学系を通過した光線の輝点の位置を検出するように
したので、レンズ間隔を調整して光学系のバックフォー
カスを設計ノミナル値にすることができ、公差等の影響
で屈折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズ
でも、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からの
ずれが小さくなるように、容易に精度良く組立調整する
ことができ、しかも装置を小形に構成することができ
る。
【００６４】請求項６の発明の光学系の組立調整装置
は、光学系のＦナンバーを検出する検出手段を、光学系
の光軸と平行に往復移動可能に設けたので、レンズ間隔
を調整して光学系のＦナンバーを設計ノミナル値にする
ことができ、公差等の影響で屈折力に大きな誤差のある
レンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバッ
クフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよう
に、容易に精度良く組立調整することができ、しかも装
置を小形に構成することができる。
は、光学系のＦナンバーを検出する検出手段を、光学系
の光軸と平行に往復移動可能に設けたので、レンズ間隔
を調整して光学系のＦナンバーを設計ノミナル値にする
ことができ、公差等の影響で屈折力に大きな誤差のある
レンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバッ
クフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよう
に、容易に精度良く組立調整することができ、しかも装
置を小形に構成することができる。
【００６５】請求項７の発明の光学系の組立調整装置
は、光学系の使用時の像空間側のバックフォーカス位置
に点光源を配置し、この点光源から光学系に入射される
光束の径を絞り手段により所定の大きさに絞り、光学系
の使用時の物空間側に配置した検出手段により光学系を
通過した光束の径を検出するようにしたので、レンズ間
隔を調整して光学系のバックフォーカスを設計ノミナル
値にすることができ、公差等の影響で屈折力に誤差のあ
るレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、容易に精度良く組立調整することができ、しかも
装置を小形に構成することができる。
は、光学系の使用時の像空間側のバックフォーカス位置
に点光源を配置し、この点光源から光学系に入射される
光束の径を絞り手段により所定の大きさに絞り、光学系
の使用時の物空間側に配置した検出手段により光学系を
通過した光束の径を検出するようにしたので、レンズ間
隔を調整して光学系のバックフォーカスを設計ノミナル
値にすることができ、公差等の影響で屈折力に誤差のあ
るレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバ
ックフォーカスのノミナル値からのずれが小さくなるよ
うに、容易に精度良く組立調整することができ、しかも
装置を小形に構成することができる。
【００６６】請求項８の発明の光学系の組立調整装置
は、光軸に対して傾斜した光線を光学系に照射するとと
もに、光学系に入射される光線を光軸を中心として回転
させ、光学系のバックフォーカス位置に配置した検出手
段により光学系を通過した光線の軌跡の径から光学系の
焦点距離を検出するようにしたので、レンズ間隔を調整
して光学系のバックフォーカスを設計ノミナル値にする
ことができ、公差等の影響で屈折力に誤差のあるレンズ
を組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバックフォ
ーカスのノミナル値からのずれが小さくなるように、容
易に精度良く組立調整することができ、しかも装置を小
形に構成することができる。
は、光軸に対して傾斜した光線を光学系に照射するとと
もに、光学系に入射される光線を光軸を中心として回転
させ、光学系のバックフォーカス位置に配置した検出手
段により光学系を通過した光線の軌跡の径から光学系の
焦点距離を検出するようにしたので、レンズ間隔を調整
して光学系のバックフォーカスを設計ノミナル値にする
ことができ、公差等の影響で屈折力に誤差のあるレンズ
を組み合わせた被験レンズでも、焦点距離やバックフォ
ーカスのノミナル値からのずれが小さくなるように、容
易に精度良く組立調整することができ、しかも装置を小
形に構成することができる。
【００６７】請求項９の発明の光学系の組立調整方法
は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学系
のバックフォーカスを検出するとともに、バックフォー
カスが設計ノミナル値となるように、複数のレンズの間
隔を調整するようにしたので、公差等の影響で屈折力に
誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点
距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが小さ
くなるように、容易に精度良く組立調整することができ
る。
は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学系
のバックフォーカスを検出するとともに、バックフォー
カスが設計ノミナル値となるように、複数のレンズの間
隔を調整するようにしたので、公差等の影響で屈折力に
誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点
距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが小さ
くなるように、容易に精度良く組立調整することができ
る。
【００６８】請求項１０の発明の光学系の組立調整方法
は、光学系への光束の照射面積を変化させつつ、光学系
を通過した光の強度分布の重心位置の変化を検出するこ
とにより、光学系のバックフォーカスをより簡単にかつ
正確に検出することができる。
は、光学系への光束の照射面積を変化させつつ、光学系
を通過した光の強度分布の重心位置の変化を検出するこ
とにより、光学系のバックフォーカスをより簡単にかつ
正確に検出することができる。
【００６９】請求項１１の発明の光学系の組立調整方法
は、光学系への入射光と、光学系のバックフォーカスの
設計ノミナル位置に置かれた反射板からの反射光との干
渉縞から波面収差を演算することにより、光学系のバッ
クフォーカスをより簡単にかつ正確に検出することがで
きる。
は、光学系への入射光と、光学系のバックフォーカスの
設計ノミナル位置に置かれた反射板からの反射光との干
渉縞から波面収差を演算することにより、光学系のバッ
クフォーカスをより簡単にかつ正確に検出することがで
きる。
【００７０】請求項１２の発明の光学系の組立調整方法
は、干渉縞から演算した球面収差量が設計ノミナル値と
なるように複数のレンズの間隔を調整するようにしたの
で、焦点距離だけではなく、収差量も小さくすることが
できる。
は、干渉縞から演算した球面収差量が設計ノミナル値と
なるように複数のレンズの間隔を調整するようにしたの
で、焦点距離だけではなく、収差量も小さくすることが
できる。
【００７１】請求項１３の発明の光学系の組立調整方法
は、光軸に平行な複数の光線を光学系に照射し、透過光
線の輝点の位置を検出することにより、光学系のバック
フォーカスをより簡単にかつ正確に検出することができ
る。
は、光軸に平行な複数の光線を光学系に照射し、透過光
線の輝点の位置を検出することにより、光学系のバック
フォーカスをより簡単にかつ正確に検出することができ
る。
【００７２】請求項１４の発明の光学系の組立調整方法
は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学系
のＦナンバーを検出するとともに、Ｆナンバーが設計ノ
ミナル値となるように、複数のレンズの間隔を調整する
ので、公差等の影響による屈折力の誤差が大きい場合に
も、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのず
れが小さくなるように、容易に精度良く組立調整するこ
とができ、しかも装置を小形に構成することができる。
は、複数のレンズを有する光学系に光を照射し、光学系
のＦナンバーを検出するとともに、Ｆナンバーが設計ノ
ミナル値となるように、複数のレンズの間隔を調整する
ので、公差等の影響による屈折力の誤差が大きい場合に
も、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値からのず
れが小さくなるように、容易に精度良く組立調整するこ
とができ、しかも装置を小形に構成することができる。
【００７３】請求項１５の発明の光学系の組立調整方法
は、光軸と同軸の光線と光軸に平行な光線とを光学系に
照射し、所定の間隔をおいた２カ所で２本の光線の間隔
を検出することにより、Ｆナンバーを容易に検出するこ
とができる。
は、光軸と同軸の光線と光軸に平行な光線とを光学系に
照射し、所定の間隔をおいた２カ所で２本の光線の間隔
を検出することにより、Ｆナンバーを容易に検出するこ
とができる。
【００７４】請求項１６の発明の光学系の組立調整方法
は、複数のレンズを有する光学系に光軸に平行な光束を
照射し、所定の間隔をおいた２カ所で光束の径を測定す
ることにより、Ｆナンバーを容易に検出することができ
る。
は、複数のレンズを有する光学系に光軸に平行な光束を
照射し、所定の間隔をおいた２カ所で光束の径を測定す
ることにより、Ｆナンバーを容易に検出することができ
る。
【００７５】請求項１７の発明の光学系の組立調整方法
は、複数のレンズを有する光学系に、その使用時の像空
間側のバックフォーカス位置に置かれた点光源から光を
照射し、光学系に入射される光束の径を所定の大きさに
絞り、光学系を通過した光束の径が設計ノミナル値とな
るように複数のレンズの間隔を調整するので、公差等の
影響で屈折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レ
ンズでも、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値か
らのずれが小さくなるように、容易に精度良く組立調整
することができる。
は、複数のレンズを有する光学系に、その使用時の像空
間側のバックフォーカス位置に置かれた点光源から光を
照射し、光学系に入射される光束の径を所定の大きさに
絞り、光学系を通過した光束の径が設計ノミナル値とな
るように複数のレンズの間隔を調整するので、公差等の
影響で屈折力に誤差のあるレンズを組み合わせた被験レ
ンズでも、焦点距離やバックフォーカスのノミナル値か
らのずれが小さくなるように、容易に精度良く組立調整
することができる。
【００７６】請求項１８の発明の光学系の組立調整方法
は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して傾斜
した光線を照射するとともに、光学系に入射される光線
を光軸を中心として回転させ、光学系のバックフォーカ
ス位置における光線の軌跡の径から光学系の焦点距離を
検出し、焦点距離が設計ノミナル値となるように複数の
レンズの間隔を調整するので、公差等の影響で屈折力に
誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点
距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが小さ
くなるように、容易に精度良く組立調整することができ
る。
は、複数のレンズを有する光学系に、光軸に対して傾斜
した光線を照射するとともに、光学系に入射される光線
を光軸を中心として回転させ、光学系のバックフォーカ
ス位置における光線の軌跡の径から光学系の焦点距離を
検出し、焦点距離が設計ノミナル値となるように複数の
レンズの間隔を調整するので、公差等の影響で屈折力に
誤差のあるレンズを組み合わせた被験レンズでも、焦点
距離やバックフォーカスのノミナル値からのずれが小さ
くなるように、容易に精度良く組立調整することができ
る。
【００７７】請求項１９の発明の光学系の組立調整方法
は、光学系を大気中で使用するときの焦点距離と真空中
で使用するときの焦点距離との関係を求めておき、真空
中での焦点距離が設計ノミナル値となるように大気中で
レンズ間隔を調整するので、光学系を真空中で使用する
場合にも、公差による焦点距離のずれを小さくすること
ができる。
は、光学系を大気中で使用するときの焦点距離と真空中
で使用するときの焦点距離との関係を求めておき、真空
中での焦点距離が設計ノミナル値となるように大気中で
レンズ間隔を調整するので、光学系を真空中で使用する
場合にも、公差による焦点距離のずれを小さくすること
ができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による光学系の組立
調整方法を示す説明図である。
調整方法を示す説明図である。
【図２】 この発明の実施の形態２による光学系の組立
調整方法を示す説明図である。
調整方法を示す説明図である。
【図３】 この発明の実施の形態４による光学系の組立
調整方法を示す説明図である。
調整方法を示す説明図である。
【図４】 この発明の実施の形態７による光学系の組立
調整方法を示す説明図である。
調整方法を示す説明図である。
【図５】 この発明の実施の形態８による光学系の組立
調整方法を示す説明図である。
調整方法を示す説明図である。
１，２ レンズ、１５ 反射板、１６ フィゾー型位相
測定干渉計（検出手段）、２０，３５，４７ 検出手
段、２１ ナイフエッジ（遮光手段）、２３ ＣＣＤ，
２４ 演算装置、２５，２６ レーザ発振器（光源）、
３１ 点光源、３２ 遮蔽板（絞り手段）、４４ 光
源。
測定干渉計（検出手段）、２０，３５，４７ 検出手
段、２１ ナイフエッジ（遮光手段）、２３ ＣＣＤ，
２４ 演算装置、２５，２６ レーザ発振器（光源）、
３１ 点光源、３２ 遮蔽板（絞り手段）、４４ 光
源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 玉川 恭久 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (19)
- 【請求項１】 複数のレンズを有する光学系に光束を照
射するための光源と、上記光源と上記光学系との間に設
けられ、上記光学系への上記光束の照射面積を変化させ
るための遮光手段と、上記光学系のバックフォーカスの
設計ノミナル位置に設けられ、上記光学系を通過した光
の強度分布の重心位置を検出することにより上記光学系
のバックフォーカスを検出する検出手段とを備えている
ことを特徴とする光学系の組立調整装置。 - 【請求項２】 検出手段は、光学系を通過した光を受け
るＣＣＤと、このＣＣＤに接続されている演算装置とを
有していることを特徴とする請求項１記載の光学系の組
立調整装置。 - 【請求項３】 複数のレンズを有する光学系に光束を照
射するための光源と、上記光学系のバックフォーカスの
設計ノミナル位置に設けられている反射板と、光学系へ
の入射光と上記反射板からの反射光との干渉縞から波面
収差を演算することにより上記光学系のバックフォーカ
スを検出する検出手段とを備えていることを特徴とする
光学系の組立調整装置。 - 【請求項４】 検出手段は、フィゾー型位相測定干渉計
であることを特徴とする請求項３記載の光学系の組立調
整装置。 - 【請求項５】 複数のレンズを有する光学系に光軸と平
行な複数本の光線を照射するための光源と、上記光学系
のバックフォーカスの設計ノミナル位置に設けられ、上
記光学系を通過した光線の輝点の位置を検出することに
より上記光学系のバックフォーカスを検出する検出手段
とを備えていることを特徴とする光学系の組立調整装
置。 - 【請求項６】 複数のレンズを有する光学系に光を照射
するための光源と、上記光学系の光軸と平行に往復移動
可能に設けられ、上記光学系のＦナンバーを検出する検
出手段とを備えていることを特徴とする光学系の組立調
整装置。 - 【請求項７】 複数のレンズを有する光学系の使用時の
像空間側のバックフォーカス位置に配置される点光源
と、この点光源から上記光学系に入射される光束の径を
所定の大きさに絞る絞り手段と、上記光学系の使用時の
物空間側に配置され、上記光学系を通過した光束の径を
検出する検出手段とを備えていることを特徴とする光学
系の組立調整装置。 - 【請求項８】 複数のレンズを有する光学系に、光軸に
対して傾斜した光線を照射するとともに、上記光学系に
入射される光線を光軸を中心として回転させる光源と、
上記光学系のバックフォーカス位置に配置され、上記光
学系を通過した光線の軌跡の径から上記光学系の焦点距
離を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする
光学系の組立調整装置。 - 【請求項９】 複数のレンズを有する光学系に光を照射
し、上記光学系のバックフォーカスを検出するととも
に、上記バックフォーカスが設計ノミナル値となるよう
に、上記複数のレンズの間隔を調整することを特徴とす
る光学系の組立調整方法。 - 【請求項１０】 光学系への光束の照射面積を変化させ
つつ、上記光学系を通過した光の強度分布の重心位置の
変化を検出することにより、上記光学系のバックフォー
カスを検出することを特徴とする請求項９記載の光学系
の組立調整方法。 - 【請求項１１】 光学系への入射光と、上記光学系のバ
ックフォーカスの設計ノミナル位置に置かれた反射板か
らの反射光との干渉縞から波面収差を演算することによ
り上記光学系のバックフォーカスを検出することを特徴
とする請求項９記載の光学系の組立調整方法。 - 【請求項１２】 干渉縞から演算した球面収差量が設計
ノミナル値となるように複数のレンズの間隔を調整する
ことを特徴とする請求項１１記載の光学系の組立調整方
法。 - 【請求項１３】 光軸に平行な複数の光線を光学系に照
射し、透過光線の輝点の位置を検出することにより、上
記光学系のバックフォーカスを検出することを特徴とす
る請求項９記載の光学系の組立調整方法。 - 【請求項１４】 複数のレンズを有する光学系に光を照
射し、上記光学系のＦナンバーを検出するとともに、上
記Ｆナンバーが設計ノミナル値となるように、上記複数
のレンズの間隔を調整することを特徴とする光学系の組
立調整方法。 - 【請求項１５】 光軸と同軸の光線と上記光軸に平行な
光線とを光学系に照射し、所定の間隔をおいた２カ所で
上記２本の光線の間隔を検出することにより、Ｆナンバ
ーを検出することを特徴とする請求項１４記載の光学系
の組立調整方法。 - 【請求項１６】 複数のレンズを有する光学系に光軸に
平行な光束を照射し、所定の間隔をおいた２カ所で上記
光束の径を測定することにより、Ｆナンバーを検出する
ことを特徴とする請求項１４記載の光学系の組立調整方
法。 - 【請求項１７】 複数のレンズを有する光学系に、その
使用時の像空間側のバックフォーカス位置に置かれた点
光源から光を照射し、上記光学系に入射される光束の径
を所定の大きさに絞り、上記光学系を通過した光束の径
が設計ノミナル値となるように上記複数のレンズの間隔
を調整することを特徴とする光学系の組立調整方法。 - 【請求項１８】 複数のレンズを有する光学系に、光軸
に対して傾斜した光線を照射するとともに、上記光学系
に入射される光線を光軸を中心として回転させ、上記光
学系のバックフォーカス位置における上記光線の軌跡の
径から上記光学系の焦点距離を検出し、上記焦点距離が
設計ノミナル値となるように上記複数のレンズの間隔を
調整することを特徴とする光学系の組立調整方法。 - 【請求項１９】 光学系を大気中で使用するときの焦点
距離と真空中で使用するときの焦点距離との関係を求め
ておき、真空中での焦点距離が設計ノミナル値となるよ
うに大気中でレンズ間隔を調整することを特徴とする請
求項９ないし請求項１８のいずれかに記載の光学系の組
立調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26431697A JP3590508B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 光学系の組立調整装置及び組立調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26431697A JP3590508B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 光学系の組立調整装置及び組立調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109199A true JPH11109199A (ja) | 1999-04-23 |
| JP3590508B2 JP3590508B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=17401496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26431697A Expired - Fee Related JP3590508B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 光学系の組立調整装置及び組立調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3590508B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002303802A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Nikon Corp | 被検光学系の焦点位置調整装置、光学系の焦点位置の測定方法、及び望遠鏡光学系 |
| JP2002310611A (ja) * | 2001-04-09 | 2002-10-23 | Canon Inc | 干渉計 |
| KR20150126119A (ko) * | 2014-05-02 | 2015-11-11 | 한국표준과학연구원 | 고해상도 광학계의 각 시야간 성능차이를 최소화하는 광학계 정렬 방법 |
| CN108375453A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-08-07 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种x射线聚焦镜垂直装调系统及方法 |
| JP2019114726A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
| JP2022505506A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-01-14 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 調節可能スペーサ（ｔｕｎａｂｌｅ ｓｐａｃｅｒ）によりリソグラフィ装置の第１素子をリソグラフィ装置の第２素子に向けて調整する方法 |
| CN115079429A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-09-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 潜望式纹影准直光源光学系统及其装调系统与装调方法 |
| CN116202425A (zh) * | 2022-06-15 | 2023-06-02 | 武汉鑫岳光电科技有限公司 | 一种激光测距装置 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP26431697A patent/JP3590508B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4613340B2 (ja) * | 2001-04-04 | 2011-01-19 | 株式会社ニコン | 被検光学系の焦点位置の測定方法 |
| JP2002310611A (ja) * | 2001-04-09 | 2002-10-23 | Canon Inc | 干渉計 |
| KR20150126119A (ko) * | 2014-05-02 | 2015-11-11 | 한국표준과학연구원 | 고해상도 광학계의 각 시야간 성능차이를 최소화하는 광학계 정렬 방법 |
| JP2019114726A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
| CN108375453A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-08-07 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种x射线聚焦镜垂直装调系统及方法 |
| CN108375453B (zh) * | 2018-04-27 | 2024-04-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种x射线聚焦镜垂直装调系统及方法 |
| JP2022505506A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-01-14 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 調節可能スペーサ（ｔｕｎａｂｌｅ ｓｐａｃｅｒ）によりリソグラフィ装置の第１素子をリソグラフィ装置の第２素子に向けて調整する方法 |
| CN115079429A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-09-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 潜望式纹影准直光源光学系统及其装调系统与装调方法 |
| CN116202425A (zh) * | 2022-06-15 | 2023-06-02 | 武汉鑫岳光电科技有限公司 | 一种激光测距装置 |
| CN116202425B (zh) * | 2022-06-15 | 2023-09-12 | 武汉鑫岳光电科技有限公司 | 一种激光测距装置 |
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