JP6445755B2 - 面形状測定装置または波面収差測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、面形状測定装置または波面収差測定装置に関する。特に、それらの装置において、被測定物を固定する構造および被測定物の位置と配位を調整する構造に関するものである。
面形状測定装置とは、光源と、光を一部反射させ反射波と透過波に分けるビーム・スプリッタと、光源からのビーム・スプリッタで分けられた一方の光を被測定物に照射しその被測定物で反射され反射波を再び上記ビーム・スプリッタに戻す光学系と、光源からのビーム・スプリッタで分けられた他方の光である参照光と上記光学系を経てビーム・スプリッタに戻った光である物体光を重ね合わせる光学系と、上記重ね合わされた光を受光する光電変換素子および信号分析手段を備え、平面、球面、回転楕円面等の基準形状を持つ第１の面原器を有し、第１の面原器を通過した波が被測定物で反射されて再び第１の面原器に戻るときの光路差の異同に基づいて、光を反射する物体、例えば、カメラ用レンズ、半導体露光装置の光学系レンズ、内視鏡光学系、コンパクトディスクの光学系、Ｘ線照射光学系、或いはベアリングのボール等の形状が面原器の基準形状とどの程度一致するか或いは異なるかを測定する装置である。
一方、波面収差測定装置とは、面形状測定装置とほぼ同じ光学的構成を有し、面形状測定装置における被測定物としてレンズ等の透過光学系と第２の面原器反射鏡の組み合わせからなる被測定物ユニットを置いたもので、第１の面原器を通り被測定物ユニットに照射された光がその透過光学系を透過しその第２の面原器反射鏡で反射され再びその透過光学系を経て再び第１の面原器に戻るときの光路差の異同に基づいて、レンズ等の透過光学系の波面収差を測定する装置である。

面形状を正確に測定する方法として、古くからさまざまな干渉計が使われている。特に、フィゾー干渉計は、コンパクトで、安定性があり、広く実用に供されており、基準となる形状を有する透過原器により、平面、球面、円筒面そして非球面でも測定可能である。

最初に、フィゾー干渉計による面形状測定装置の測定原理について説明する。
図５は、球面測定の場合の光学レイアウトを示す。フィゾー干渉計ヘッド１０１の内部には、可干渉性をもつ光源であるレーザ１０２を配置している。レーザ１０２から出る光ビームを発散させる発散レンズ１０３を介し発散光をつくり、その光をビーム・スプリッタ１０４で反射させ、コリメータレンズ１０５で平行な光にする。その平行な光を透過球面原器１０６に入射させる。その透過球面原器１０６は集光点１０７に集光する。透過球面原器１０６の最終面（出射面）はその集光点１０７を曲率中心とする凹面（原器面１０８）に形成してある。光は第１の面原器であるその凹面で一部反射し戻る。この反射光が基準の参照光となる。原器面１０８を透過した光は、集光点１０７に向かう。被測定レンズ１０９の球面の曲率中心が集光点１０７と一致していると、集光点１０７を通過した光はその球面に垂直に光を入射する。従って、そこで反射した光は元の経路を辿って戻る。これを物体光と称する。物体光は参照光と干渉する。その干渉した光は透過球面原器１０６とコリメータレンズ１０５を透過し、ビーム・スプリッタ１０４を透過し、ミラー１１０と結像レンズ１１１を介し、光電変換素子である撮像素子１１２にその干渉した光を結像させる。

原器面１０８の中心と被測定レンズ１０９の球面の中心が一致している時、被測定レンズ１０９の球面が原器面１０８の球面と完全と同一であれば、参照光と物体光の干渉による干渉縞は一様となり、一致していないときにはその不一致度に対応して干渉縞の本数や形が変化するので、干渉縞を測定し、それを電気的に処理することにより、被測定レンズ１０９の球面の面形状の測定ができる。さらに詳しくは、非特許文献１（Optical Shop Testing ,p 25,3rd Edition, D.Malacara,2007, John Wiley & Sons, INC）に説明されている。
波面収差測定の場合も上記面形状測定の場合とほぼ同じである。ただ、被測定物が透過性光学系である点が異なる。この被測定物である透過性光学系の下側に反射鏡が固定され、被測定物である透過性光学系とその反射鏡が一体となって被測定物ユニットを形成する。フィゾー干渉計ヘッド側から集光点を通って入射した光は被測定物である透過性光学系を透過し、その反射鏡で反射され、再び被測定物である透過性光学系を透過し、集光点と原器面１０８を通って物体光となり、参照光と重ねあわされる。種々の方向での集光点と反射鏡を往復する光路の異同から波面収差が測定される。

上記のように、面形状の測定に際しては、原器面１０８の中心と被測定レンズ１０９の球面の中心を一致させることが前提となる。これ故、被測定レンズ１０９の交換ごとに干渉ヘッド１０１と被測定レンズ１０９の相対位置を調整し、原器面１０８の中心と集光点１０７と一致させる必要がある。
波面収差測定の場合も同様に、原器面の中心と、被測定物である透過性光学系の入射側の焦点が完全に一致していることが、波面収差測定の前提条件である。

前述の干渉ヘッド１０１と被測定レンズ１０９の相対位置を調整するために、一般的には被測定レンズ１０９を、直交座標であるＸ，Ｙ，Ｚ軸に平行に移動する。これは透過球面原器１０６の焦点と被測定レンズ１０９の曲率中心点を合致させるためには、単に平行移動で可能であるからである。ただ図５のＺ方向（フォーカス方向）を除き、Ｘ，Ｙ移動の代わりに、Ｘ軸まわりやＹ軸まわりの回転またはあおり機構でも調整可能である。

次に、円筒面（円柱を含む）や平面の測定について説明する。
図６は、円筒面測定の場合の光学レイアウトを示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。図６において図５のフィゾー干渉計ヘッド１０１の中の透過球面原器１０６に替えて、透過円筒原器（もしくは透過平面原器）１１３を配置し、被測定レンズ１０９の円筒面や平面に光を垂直に入射させる。円筒の場合、集光する位置は点でなく線となる。その線を以下、集光線と呼ぶ。

透過円筒原器１１３による光の集光線１１４と、円筒面の曲率中心線が一致している時、被測定レンズ１０９の円筒面に垂直に光を入射させることができ、その面での反射により、光は元の経路を辿って戻る（物体光）。被測定レンズ１０９の円筒面と原器面１１５の円筒面が同一であれば、参照光と物体光の干渉による干渉縞が一様となり、被測定レンズ１０９の円筒面が原器面１１５の円筒面と一致していないときには、その不一致度に対応して干渉縞の本数や形が変化する。球面の場合と同様に、干渉縞を測定し、それを電気的に処理することにより、被測定レンズ１０９の円筒面の面形状の測定ができる。

このように、この測定では、原器面１１５の集光線１１４と被測定レンズ１０９の円筒面の中心線を一致させることが前提となる。また、波面収差測定においても同様に、原器面の平面に対して、被測定物である透過性光学系の光軸が所定の配位関係（例えば垂直）であることが、波面収差測定の前提条件である。これ故、被測定レンズ１０９の交換ごとに干渉ヘッド１０１と被測定レンズ１０９の相対位置および方向を調整し、原器面１１５の中心と集光線１１４と一致させる必要がある。このために、フィゾー干渉ヘッド１０１に対して被測定レンズ１０９を、直交３軸である、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向に移動可能とし、かつ、原器面１１５の集光線１１４と被測定レンズ１０９の円筒面の中心線の方向を一致させるために、フィゾー干渉計ヘッド１０１と被測定レンズ１０９を相対的に回転可能とする構成が従来から採用されている。
なお、平面測定の場合は、単にあおりまたは回転機構のみで、参照光と物体光を干渉させることができる。

ここで、図５の球面の測定の場合、１回の測定で球面形状を測定できる範囲は、透過球面原器１０６の発散角度範囲内の球面である。発散角度の半分をα、被測定レンズ１０９の球面の曲率半径をＲ、球面の測定範囲の直径をＤとすると、次の関係がある。

Ｄ＝２・Ｒ・ｓｉｎ（α）

従って、被測定レンズ１０９の口径が前述のＤより大きい場合は、一回の測定で被測定レンズの全体を測定できない。前述の干渉ヘッド１０１と被測定レンズ１０９の相対位置を調整するには、一般に被測定レンズ１０９を、直交座標であるＸ，Ｙ，Ｚ軸に平行に移動する。これは透過球面原器１０６の焦点と被測定レンズ１０９の曲率中心点を合致させるためには、単に平行移動で可能であるからである。ただ図５のＺ方向（フォーカス方向）を除き、Ｘ，Ｙ移動の代わりに、Ｘ軸まわりやＹ軸まわりの回転またはあおり機構でも調整可能である。被測定レンズ１０９の口径が前述のＤより大きい場合は、公知例で示したように、平行移動以外に、あおりや回転機構を必要とする。

円筒或いは平面の測定の場合も、大きな（大口径や長い）ものを測定するとなると、回転機構とともに平行移動機構が必要となる。図６で、Ｘ軸まわりの回転とＸ軸方向に移動可能な機構を必要とする。被測定レンズ１０９の口径が前述のＤより大きい場合は、公知例で示したように、平行移動以外に、あおりや回転機構を必要とする。

測定できる面の大きさは、透過原器によりカバーされる領域を超えることはできない。大きな面、特に凸面の場合は、更に大きな透過原器が必要となる。
そこで導入された技術が、測定領域のつなぎ合わせ（スティッチングとかサブアパーチャースティッチングとも言われる）であり、以下の公知例がある。

特許文献１（特開平２−２５９５０９号）に、面形状等測定方法および装置が開示されている。その中の第１図、第２図において、大口径の球面に近い非球面測定の場合について説明している。干渉計の光軸方向をＸ軸とし、紙面内でその光軸と直交方向をＺ軸としている。従って、紙面に垂直をＹ軸としていることになる。そこで、全面を測定するためにＸ，Ｙ，Ｚの並進ステージと干渉計光軸Ｘに直交する方向Ｙ，Ｚ軸をそれぞれ回転中心とし、独立に２方向で回転するあおり機構を設けている。そして、複数の部分領域に分け形状測定を行い、重なり合う部分をつなぎ合わせ全体形状を計測するものである。

特許文献２（特開２００３−５７０１６号）は、高速大口径面形状測定方法を開示している。この方法は、大口径球面の曲率中心付近に球面軸受けを設け、全面測定を高速に測定可能にするものであり、３軸の並進ステージと、球面軸受を用いた２軸の回転機構を持つ。

特許文献３（特表２００７−５１５６４１号）は、多軸計測システムの幾何学配置を較正するための方法を開示している。その中の図１に全体の装置の外観図があり、形状計測のためのゲージ（たとえばフィゾー干渉計）とテスト部品を相対的にＸ，Ｙ，Ｚの３つの平行移動軸とＡ，Ｂ，Ｃの３つの回転軸で構成されている。その回転軸であるスピンドル軸を回転させて、ゲージでの測定値からスピンドル位置を測定する方法である。

なお、一般的に干渉計の干渉縞形成に用いられるレーザは、コンパクトで、安定性があるヘリウムネオンレーザ（波長；６３２．８ｎｍ）や半導体レーザ（波長；８０８ｎｍ、９４０ｎｍなど）が用いられている。しかし、より精密な面形状測定を求めるなら、波長の短い紫外域レーザ（ＡｒＦレーザ；波長１９３ｎｍ若しくはＫｒＦレーザ；波長２４８ｎｍ）を用いることが求められる。
更に紫外域レーザを用いる場合、光学系レンズで用いられる硝材は紫外線の吸収が少なく他の光学硝材と比較して透過率が高く高解像度が得られるフッ化カルシウム（蛍石）が有効に用いられる。フッ化カルシウム（ＣａＦ2）は紫外線から赤外線（２５０ｎｍ〜７μｍ）において低屈折率で９０％以上の高透過率を持つ材料で、潮解性も非常に少なく取扱いが容易な結晶で、光学的には等方な結晶である。そのため、フッ化カルシウムは、紫外域レーザ、例えばエキシマレーザ用の高透過材料として優れている。

特開平２−２５９５０９号公報 特開２００３−５７０１６号公報 特表２００７−５１５６４１号公報

Optical Shop Testing ,p 25,3rd Edition, D.Malacara,2007, John Wiley & Sons, INC

ここで、上記した特許文献１（特開平２−２５９５０９号）では大きな円筒レンズ、特許文献２（特開２００３−５７０１６号）では大きな凸形状レンズ、そして特許文献３（特表２００７−５１５６４１号）では球面、平面がそれぞれの測定対象となる形状である。すなわち、それらの装置・方法は、特定の形状測定に対応している。そのため、上記した公知の装置を用いたのでは、すべての形状、すなわち平面、球面そして円筒の面形状を１つの測定装置では測定できなかった。この場合、それぞれの面形状に対応した測定装置を用意すれば対応可能であるが、高価な干渉計や駆動機構も複数必要で、装置の価格が高くなることと、さらに設置する場所も広く必要となり、設備費や維持管理費用が高くなることから、そのレンズの製造原価も高くなってしまうという欠点があった。

そこで、本発明の課題は、１つの測定装置で、これら平面、球面そして円筒の面形状或いは波面収差を測定可能にする面形状測定装置または波面収差測定装置を提供すること、および、被測定物に広範囲の方向から光を照射して測定できるように、被測定物を広範囲に回転できる面形状測定装置または波面収差測定装置を提供すること、更には、より測定性能の向上を図った面形状測定装置または波面収差測定装置を提供することである。

上記課題は、請求項１に記載の発明によって解決された。
具体的には、光源、光を一部反射させ反射波と透過波に分けるビーム・スプリッタ、光源からのビーム・スプリッタで分けられた一方の光を被測定物に照射しその被測定物側で反射された反射波を再び上記ビーム・スプリッタに戻して物体光とする光学系、光を受光する光電変換素子および信号分析手段を用いて、面形状を測定する面形状測定手段または波面収差を測定する波面収差測定手段と、被測定物を固定する被測定物固定手段とを備える面形状測定装置または波面収差測定装置において、
直交するＸ軸とＹ軸を規定する基準面を持つ架台を備え、
上記面形状測定手段または波面収差測定手段が、上記架台に相対的にＹ軸方向、および、Ｘ軸とＹ軸に垂直なＺ軸方向に移動可能であることと、
上記被測定物固定手段が、上記架台に対してＸ軸方向に移動可能なＸ方向移動部と、上記Ｘ方向移動部に固定された第１の回転軸のまわりで回転可能な第１の回転部と、上記第１の回転部に固定された第２の回転軸のまわりで回転可能な第２の回転部とを備えることと、上記第２の回転部に結合可能である第１の被測定物固定部を備えることと、上記Ｘ方向移動部がＹ軸方向に移動可能なＹ方向移動部を備えることと、第１の球軸受けと第２の球軸受けとを備えることと、一端が上記第１の球軸受けを介して上記第２の回転部に結合可能であり他端が上記第２の球軸受けを介して上記Ｙ方向移動部に結合可能である第２の被測定物固定部を備えることと、
上記第１の回転部の回転軸が上記Ｙ軸に略平行であることと、上記第２の回転部の回転軸が上記第１の回転部の回転軸に略垂直であることと、上記第１の回転部が略９０度回転可能であり、その回転により上記第２の回転部の軸の方向が上記Ｚ軸方向に略平行な方向からＸ軸に略平行な方向まで変えられることと、
球面の被測定物について測定する際は、上記第１の被測定物固定部を上記第２の回転部に結合させた構成とし、平面または円筒面の被測定物について測定する際は、上記第２の被測定物固定部の一端を上記第１の球軸受けを介して上記第２の回転部に結合させ他端を上記第２の球軸受けを介して上記Ｙ方向移動部に結合させた構成とすることを特徴とする、
面形状測定装置または波面収差測定装置によって解決された。

面形状測定装置を実現するための、第１の被測定物固定部および第２の被測定物固定部、および面形状測定手段の一つの実施形態を請求項２に示した。
波面収差測定装置を実現するための、第１の被測定物固定部および第２の被測定物固定部、および波面収差測定手段の一つの実施形態を請求項３に示した。

面形状測定手段または波面収差測定手段を干渉計で実現する幾つかの実施形態を請求項４に示した。
面形状測定手段または波面収差測定手段をハルトマン・シャック装置で実現する一つの実施形態を請求項５に示した。

球面の被測定物について測定する場合の被測定物の取り付けと、平面または円筒面の被測定物について測定する場合の被測定物の取り付けについての、請求項１に記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法を請求項６に示した。

平面または円筒面の被測定物について測定する際の、被測定物の微調整についての、請求項１に記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法を請求項７に示した。
球面の被測定物について測定する際と、平面または円筒面の被測定物について測定する際に、測定されるべき部分を移動することについての、請求項１に記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法を請求項８に示した。

（１）１つの測定装置で、平面、球面、回転面例えば、円筒面、回転楕円面の面形状の測定または透過光学系の波面収差の測定を容易にかつ精度よく行うことが可能となった。
（２）被測定物に広範囲の方向から光を照射して、被測定物を広範囲で測定することが容易になった。

フィゾー干渉計ヘッドを用いた、球面測定の際の本発明による面形状測定装置の概念的配置図である。 フィゾー干渉計ヘッドを用いた、本発明による円筒面（円柱、平面を含む）測定の際の本発明による面形状測定装置の概念的配置図である。 本発明に係る面形状測定装置を用いて面形状を測定するフロー図である。 ハルトマン・シャック光学系の概念図である。 フィゾー干渉計ヘッドを用いた、従来技術による球面測定装置の概念図である。 フィゾー干渉計ヘッドを用いた、従来技術による円筒面測定装置の概念図であって、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその側面図である。 透過結像レンズ測定の場合の本発明による波面収差測定装置の概念的配置図である。 透過アフォーカルレンズ測定の場合の本発明による波面収差測定装置の概念的配置図である。

以下、本発明に係る面形状測定装置または波面収差測定装置の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は、本発明に係る面形状測定装置による球面測定の概念的配置図である。この実施形態では、面形状測定手段としてフィゾー干渉計を使用している。しかし、使用可能な面形状測定手段はこれに限られない。干渉計から出射する光を被測定物の表面で反射させ、反射した物体光を再び干渉計に戻し、干渉計内で参照光と物体光を干渉させる方式の干渉計であれば、本発明を適用することができる。フィゾー干渉計以外に、トワイマン・グリーン干渉計、シアリング干渉計、位相シフト干渉法、垂直走査白色干渉法等、およびそれらの種々の変形種がある。また、他の光学的な面形状測定装置であるハルトマン・シャック装置や、接触式の３次元測定装置でも適用可能である。
但し、出射する光は波長の短い紫外域レーザ光、好ましくはＡｒＦレーザ（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦレーザ（波長２４８ｎｍ）などのエキシマレーザ光とし、該紫外域レーザ光を投射しかつ反射する光を基準光と干渉させ生ずる干渉縞を計測する光学干渉計とし、干渉縞形成までに用いられる光学系レンズの材料をフッ化カルシウムとしたものとすることが好ましい。他方、被測定物を実際に使用する際の波長の光を光源として用いることが好ましい場合もある。

以下、フィゾー干渉計ヘッドを用いた実施形態を説明する。この実施形態では、背景技術の項で説明した図５のフィゾー干渉計ヘッド１０１と同じ構造のものを使う。これ故、フィゾー干渉計ヘッド１についての説明は省略する。

フィゾー干渉計ヘッド１は図示しない架台に対して移動可能に固定されている。上記架台は、直交するＸ軸とＹ軸を規定する基準面を持つ。その基準面のＸ軸とＹ軸が規定する平面に対して垂直な軸をＺ軸と定義する（参照：図１）。
フィゾー干渉計ヘッド１は、その図示しない架台に対してＺ方向とＹ方向に移動可能であり、その移動した箇所に固定することができる。Ｙ軸方向の移動にはＹ軸移動機構１ａが使われ、Ｚ軸方向の移動にはＺ軸移動機構１ｂが使われる。Ｙ軸移動機構１ａおよびＺ軸移動機構１ｂは、それぞれ、移動駆動手段、レーザ光測距装置やマグネスケール測長装置および制御装置を備え、所定の位置にフィゾー干渉計ヘッド１を導き、そこでロック（位置固定）できる。

Ｘ方向移動部２が上記図示しない架台に対して上記Ｘ方向に移動可能に設けられている。Ｘ方向移動部２も移動駆動手段、レーザ光測距装置やマグネスケール測長装置および制御装置を備え、所定の位置にＸ方向移動部２を導き、そこで図示しない架台にロック（位置固定）できる。

Ｘ方向移動部２に２段式回転機構３が設けられている。２段式回転機構３は、下層として第１の回転部４が設けられている。第１の回転部４は、Ｘ方向移動部２の移動方向であるＸ軸に対して直角な上記Ｙ軸と平行な第１の回転軸５のまわりで、Ｘ方向移動部２に対して回転可能である（ＲＹ）。その回転方向は上記Ｚ軸にほぼ平行な方向から上記Ｘ軸に平行な方向までの略９０度を少なくともカバーする。

第１の回転部４に第２の回転部６が上層として設けられている。第２の回転部６は、第１の回転軸５の方向であるＹ軸に直角な第２の回転軸７（Ｚ’方向）のまわりで、第１の回転部４に対して回転可能（ＲＺ’）である。その第２の回転部６の回転方向は３６０度以上をカバーする。すなわち、Ｚ’軸（Ｙ軸がβ回転したときの軸をＺ’軸とした。Ｙ軸が回転０、即ちβ＝０のときはＺ’＝Ｚ）まわりに回転できるもうひとつの軸、すなわちＺ’軸まわりの回転機構をもつ。

ベアリング用のボールなどの球面であれば、更に大きなβを使うことになるが、現実には被測定物８の取り付け具を考えると、球の全面測定は難しい。また研磨などで加工する場合、どうしても半球を超えるものは加工上も難しいので、測定の必要性も乏しい。単に測定だけを考えれば、Ｙ軸まわりの第１の回転部４の回転可能範囲を９０度以上とした場合、半球以上も測定可能である。

第２の回転部６の先端には被測定物８を固定するための第１の被測定物固定部９ａが設けられている。図１は、第２の回転部６の第２の回転軸７の方向（Ｚ’方向）がＺ軸とＸ軸を含む面内でＺ軸から約２０度傾斜した状態で、第２の回転部６の第１の被測定物固定部９ａに被測定物８である球面レンズが固定されている状態を概念的に示している。

集光点１０に集光するように、紫外域レーザ光はフィゾー干渉計ヘッド１から出射される。集光点１０は図５における集光点１０７に対応する。図示しない架台に対してフィゾー干渉計ヘッド１はＹ軸方向とＺ軸方向に移動可能であり、Ｘ方向移動部２がＸ軸方向に移動可能であるので、Ｘ方向移動部２と一緒に移動する被測定物８である球面レンズの中心を集光点１０に一致させることができる。この時、フィゾー干渉計ヘッド１からの紫外域レーザ光は球面レンズの中心に向かい、その球面に直角に入射し、そこで反射されフィゾー干渉計ヘッド１に戻る。そして、図５によって説明したように、従来技術であるフィゾー干渉計の技術で球面の形状が測定される。

第１の回転軸５のまわりの第１の回転部４の回転と、第２の回転軸７のまわりの第２の回転部６の回転を組み合わせて、球面の測定されるべき表面部分を掃引することにより、球面のほぼ全領域を測定することができる。この効果は、第１の回転部４と第２の回転部６が従来技術のように独立に回転可能なのではなく、第２の回転部６が第１の回転部４に対して回転するという２段式の構造を持つことによりもたらされる効果である。

球面が凸レンズの場合は凸面が集光点よりフィゾー干渉計ヘッド側になるように配置し、凹レンズの場合は集光点が凹面よりフィゾー干渉計ヘッド側になるように配置される。

図２は、本発明による円筒面（円柱、平面を含む）測定の概念的配置図である。この実施形態でも、図１の場合と同様に、干渉式表面形状測定手段としてフィゾー干渉計を使用している。使用可能な光学式干渉計としては、また同様に、フィゾー干渉計以外に、位相シフト干渉法、垂直走査白色干渉法等、種々の変形種がある。また、他の光学的な面形状測定装置であるハルトマン・シャック装置や、接触式の３次元測定装置でも適用可能である。
但し、出射する光は波長の短い紫外域レーザ光、好ましくはＡｒＦレーザ（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦレーザ（波長２４８ｎｍ）などのエキシマレーザ光とし、該紫外域レーザ光を投射しかつ反射する光を基準光と干渉させ生ずる干渉縞を計測する光学干渉計とし、干渉縞形成までに用いられる光学系レンズの材料をフッ化カルシウムとしたものとすることが好ましい。他方、被測定物を実際に使用する際の波長の光を光源として用いることが好ましい場合もある。

円筒面（円柱、平面を含む）測定の場合は、図２に示したようにＹ軸方向に移動可能なＹ方向移動部１１を使う。そして、第１の被測定物固定部９ａに代えて第２の被測定物固定部９ｂを使う。第２の被測定物固定部９ｂの一端は上記第２の回転部６の先端に、第１の球面軸受１２ａを介して結合されている。他方、第２の被測定物固定部９ｂの他端は、第２の球面軸受１２ｂの一端に結合されている。そして、第２の球面軸受１２ｂの他端は、上記Ｙ方向移動部１１に結合されている。被測定物８は第２の被測定物固定部９ｂに固定される。

平面測定の場合は、単にあおりまたは回転機構のみで、参照光と物体光を干渉させることができる。しかし、円筒も平面も、大きな（大口径や長い）ものを測定するとなると、回転機構とともに平行移動機構が必要となる。図２のＸ軸まわりの回転とＸ軸方向に移動可能な機構を必要とする。

平面の測定の場合は、フィゾー干渉計ヘッド１からでる紫外域レーザ光の波面に対して平行に被測定物８の表面を配置することにより干渉縞が見え、一様にすることができる。この状態は、第１の回転部４を９０度回転して、第２の回転部６の第２の回転軸７をＸ軸と平行にすることにより実現することができる。その状態で、第１と第２の球面軸受１２ａ，１２ｂを介して第２の被測定物固定部９ｂを保持し、被測定物８を第２の被測定物固定部９ｂに固定されている。これで、被測定物８の表面がフィゾー干渉計ヘッド１からの紫外域レーザ光の波面に平行となる。しかしＸ軸まわりで僅かにずれることがある。この場合、第１の球面軸受１２ａをロックした状態で、第２の球面軸受１２ｂを自由な状態とし、第２の回転軸７のまわりで第２の回転部６で僅かに回転することにより、Ｘ軸のまわりの回転角を微調整できる。これによりフィゾー干渉計ヘッド１からでる紫外域レーザ光の波面に対して平行に被測定物８の表面を配置できる。

円筒面測定の場合は、図６を用いて説明したように、フィゾー干渉計ヘッドからの光の集光線と、被測定物の円筒面の中心線を一致させる必要がある。まず、第１の回転部４を９０度回転して、第２の回転部６の第２の回転軸７をＸ軸と平行にする。そしてその状態で、第１と第２の球面軸受１２ａ、１２ｂを介して被測定物固定部９ｂを保持する。これで、被測定物８の円筒面の中心線がフィゾー干渉計ヘッド１からの紫外域レーザ光の集光線にほぼ平行とできる。さらに、フィゾー干渉計ヘッド１をＹ軸方向とＺ軸方向にＹ軸移動機構１ａ、Ｚ軸移動機構１ｂにより移動することにより、被測定物８の円筒面の中心線をフィゾー干渉計ヘッドからの紫外域レーザ光の集光線にほぼ一致させることができる（集光線はほぼＸ軸に平行とする）。もう１つの回転軸はＺ’軸まわりの回転機構（Ｙ軸に対する角度β＝９０度のため、Ｚ’＝Ｘとなっている）は、ほぼＸ軸まわりにほぼ３６０度回転するようになっている。

ただ所定の干渉縞を出現させるための調整には、特に被測定物８のＹ軸まわりとＺ軸まわりの回転の微調整が必要となる。そこで、Ｙ軸とＺ軸のまわりに回転可能な球面軸受１２ａ（その回転中心をＰ点とする）を設け、またＸ軸まわり、Ｙ軸まわり及びＺ軸まわりに回転可能な球面軸受１２ｂ（その回転中心をＱ点とする）を設ける。それら球面軸受１２ａ，１２ｂの間に被測定物８を取り付ける被測定物固定部９ｂを設ける。従ってこの被測定物固定部９ｂを微調整できれば、被測定物８を微調整できることになる。

Ｙ軸まわりの回転機構４を回転することで、Ｑ点を中心に回転でき、Ｙ軸まわりの回転の微調整ができる。また図２の左に設けたＹ方向移動部１１を球面軸受１２ｂと連結させることで、このＹ方向移動部１１のＹ軸移動で、球面軸受１２ａのＰ点を中心にＺ軸まわりの回転の微調整ができることになる。Ｚ軸まわりの回転の微調整においては、若干のＸ軸移動ができるようにする。

上述したように、球面の測定の場合は集光点と球の中心を一致させた後に、平面の測定の場合には波面と平面を平行にさせた後、円筒面の測定の場合は集光線と円筒の中心線を一致させた後、フィゾー干渉計ヘッドを用いる従来技術による形状測定方法に従って、形状を測定する。

その際、干渉縞の計測から干渉計とレンズの相対関係の誤差を計算し、干渉縞を少なくするためにその誤差に応じて機構を動かすことで、精度の高い計測を可能にする。すなわち、上記Ｘ方向移動部、上記Ｙ方向移動部、上記Ｚ軸移動機構、第２の回転軸の回転角を予め決められた所定の位置に動かし、上記干渉計で形状誤差を計測し、前記干渉計と前記面の相対位置の誤差を算出し、その誤差に応じて干渉式表面形状測定手段と被測定物の相対位置を変化させて、相対位置の誤差の少ない状態として、前記測定面形状を精密に測定することができる。

被測定物が大きい平面であるときは、Ｘ方向とＹ方向に測定領域を移動して測定を繰り返す。大きい円筒面（集光線がＸ方向の場合）であるときは、Ｘ方向の移動と第２の回転部の回転を組み合わせて測定領域を移動して測定を繰り返す。すなわち、干渉計による１回の測定範囲を超える大きなレンズにおいて、つなぎ合わせ方法により、そのレンズ全面を測定する。

本発明は、以上述べたように、さまざまな形状のレンズに対して１台の装置で容易に測定可能で、少量多品種生産に大いに有効な装置を提供できる。また、円筒面と同様に線上に対称な面、例えば、回転楕円ミラーも同様に測定可能である。回転楕円ミラーは焦点が２つあり、その２つの焦点を結ぶ線に対称となるため、大口径回転楕円ミラーを測定する場合は、その線を中心に回転させて測定すれば、全面を測定できる。透過球面原器で、その１つの焦点に入射させ、反射した光はもう１つの焦点に結ぶので、その焦点を曲率中心とする球面で反射させれば光は元に戻り、参照光と干渉させることができる。

図３は、本発明に係る面形状測定装置を用いて面形状を測定するフロー図である。本発明に係る面形状測定装置を用いて次の手順で被測定物の面形状測定を行う。

〔ＳＴＥＰ１（条件設定）〕
先ず、測定の条件を決める。具体的には測定対象となるレンズ、すなわち被測定レンズの形状、移動機構の初期位置の変更、透過原器の条件、測定位置などを設定し、その条件に合うように工具（取り付け具、透過原器など）をセットし、各種移動機構、回転機構の初期位置や測定位置を予め設定する。
〔ＳＴＥＰ２（レンズ取り付け）〕
被測定レンズを取り付け具に取り付ける。このとき被測定レンズに変形がなく、移動などで動かないようにしっかり固定する必要がある。
〔ＳＴＥＰ３（移動）〕
Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向にフィゾー干渉計ヘッドと被測定レンズの相対的位置を移動させて、集光点と球面の中心を一致させたり、集光線と円筒面の中心線を一致させる。
〔ＳＴＥＰ４（光学調整）〕
被測定レンズと干渉計の光学調整を行い、集光線と円筒面の中心線を一致させたり、測定面の測定領域を選択したりする。操作者が干渉縞を見ながら手動で調整するか、干渉縞の計測データから光学調整誤差、例えばフォーカス誤差やそのフォーカスと直交方向の誤差さらには回転誤差を計算してその誤差量に応じた量に従い移動機構又は回転機構を所定の位置に自動で動かすこともできる。
〔ＳＴＥＰ５（干渉縞計測）〕
干渉縞の計測を行い、その測定範囲内の面形状を求める。つなぎ合わせで大口径全面を測定するときは、更に測定位置を動かして、同様に繰り返し干渉縞計測をする。つなぎ合わせ合わせの技術は従来技術に属するので説明は省略する。
〔ＳＴＥＰ６（形状計算）〕
つなぎ合わせの計算などして、被測定レンズの全面の形状をもとめ、全面形状の３次元表示、ある所定の断面形状表示、全面での数値の極大と極小の差Ｐ−Ｖ（ピークと谷の差）などの数値結果、更には被測定レンズの規格値との差異から合否判定までを表示または記録をする。

以上、フィゾー干渉計ヘッドを用いる実施形態を説明したが、本発明はフィゾー干渉計ヘッドに代えて、ハルトマン・シャック光学系を用いても実施することができる。ハルトマン・シャック光学系は公知の技術であるが、以下に簡単に説明する。

図４は、ハルトマン・シャック光学系の概念図である。光源２２６から発した紫外域レーザ光を結像レンズ２２７でピンホール板２２８の面に結像させ、光源像を作る。ピンホール板２２８は、中央に小さな穴を開けたものであり、点光源を作る。その点光源から出た紫外域レーザ光は、ビーム・スプリッタ２２９で一部反射させ、集光レンズ２３０で被測定レンズ２０９の曲率中心２０７に集光させ、そして被測定レンズ２０９（球面）に入射させる。

被測定レンズ２０９で反射した紫外域レーザ光は元に戻り、ビーム・スプリッタ２２９を通過し、ミラー２３１、コリメータレンズ２３２でほぼ平行な紫外域レーザ光となる。さらに、その紫外域レーザ光を、小さなレンズを２次元に集合させたマイクロレンズアレイ２３３に入射させ、その個々のマイクロレンズの焦点位置に設けた撮像素子２３４に入射させる。
ここで、被測定レンズ２０９の面形状の誤差に応じて、個々のマイクロレンズによる集光位置が変化する。即ち、被測定レンズ２０９面の微小範囲での光の傾き変化に応じて、集光位置は変化する。これは１種の微分であり、積分することで面の形状に換算できる。従って、ハルトマン・シャック光学系により面形状測定ができることになる。なお、結像レンズ２２７、集光レンズ２３０、コリメータレンズ２３２などの光学系レンズは、紫外線の吸収が少なく他の光学硝材と比較して透過率が高く高解像度が得られるフッ化カルシウム（蛍石）が用いられる。

ハルトマン・シャック光学系も、上記したように面形状測定ができるので、本発明においてもフィゾー干渉計ヘッドに代えて使うことができる。ハルトマン・シャック法以外でも、面形状測定ができる３次元測定手段も使用可能である。

以上の面形状測定において、面形状測定の精度を高めることを目的として、光源としては波長の短い紫外域レーザ光を使用する例を説明してきた。しかし、所定の反射率を達成するためや表面保護のために、被測定面に膜がコートされている場合がある。そのような場合、膜の効果で、波長により仮想反射面（反射光の反射面の同位相面）が異なることがある。特に多層膜をコートしたときに、よく生ずる現象である。そしてそれが問題となる場合、その面形状測定の対象物が使用される光の波長と、面形状測定装置の光源の波長を一致またほぼ一致させることにより、正確な測定ができるようになりその問題が回避できる場合がある。

これまでの実施形態においては、測定レンズの面形状測定に限定して説明したが、原理的に同様な透過光学系、反射光学系そして透過反射光学系（この段落において、光学系と略する）の波面収差の測定も可能である。測定したい光学系と、測定のための光がそれら光学系を通り元に戻るようにする高精度な反射系を設けることにより、容易にその光学系の波面収差を測定することができる。これまで実施形態は光学干渉計による測定レンズの反射タイプ計測について主として記述したが、本発明に係る面形状測定装置は、光学干渉計による測定レンズの透過タイプの高精度計測についても可能にするものである。

以下に、面形状測定装置における被測定物を透過光学系と反射鏡の組み合わせたものである被測定物ユニットに置き換えた、該被測定物ユニットの波面収差を測定する波面収差測定装置の実施形態を説明する。

図７は、透過結像レンズ測定の場合の本発明に係る波面収差測定装置の概念的配置図である。
図７の波面収差測定装置は、図１の面形状測定装置と同様に、フィゾー干渉計ヘッドを備え、被測定物をフィゾー干渉計ヘッドに対して相対的に移動可能かつ回転可能とする構造を有する。その移動および回転のための部材および構造は、図１のものと共通であるので、共通の部材に対しては同一の参照番号を付し、それらの部材の構造および動きについての説明は省略する。以下、主として、図１の面形状測定装置と異なる点を説明する。なお、フィゾー干渉計ヘッドは図５の従来技術のものと基本的には同じである。ただし、面形状測定と波面収差測定は測定目的が異なるので、得られたデータの分析過程は異なる。それぞれのデータ分析の手法は公知であり、設計選択の領域に属するので、説明は省略する。

フィゾー干渉計ヘッド１には、球面測定のときと同じ透過球面原器１０６を取り付ける。その透過球面原器１０６の最終面（出口面）は、その集光点１０を曲率中心とする凹面であり、原器として機能する。

図１の面形状測定装置の場合と異なり、波面収差測定装置では透過光をフィゾー干渉計ヘッド１に光を戻すため、新たに反射鏡を追加する。ここにおいて、図７に示すように、測定されるべき透過結像レンズ、すなわち被測定透過結像レンズ２０の物点までの物体距離を「ａ」、像点までの結像距離を「ｂ」とする。凹面原器反射鏡２１（曲率半径がＲ）をそれの曲率中心が被測定透過結像レンズ２０から結像距離ｂの像点と一致するように配置する。なお凹面原器反射鏡２１の上面（入射側）が鏡面となっている。これら被測定透過結像レンズ２０と凹面原器反射鏡２１を一体としたものを被測定物ユニット２２とし、第１の被測定物固定部９ａに固定する。

凹面原器反射鏡２１の被測定透過結像レンズ２０による像点（レンズ２０から物体距離「ａ」の点）と集光点１０が一致していると、集光点１０（すなわち被測定透過結像レンズ２０の物点）を通った光は被測定透過結像レンズ２０の像点（すなわち凹面原器反射鏡２１の曲率中心）に像を結び、凹面原器反射鏡２１で反射され、同じ経路を辿って戻る。すなわち、この実施形態で波面収差を測定するためには、凹面原器反射鏡２１の被測定透過結像レンズ２０による像点（レンズ２０から物体距離「ａ」の点）と集光点１０が一致していることが前提となる。これ故、フィゾー干渉計ヘッド１および透過球面原器１０６の光束の集光点１０と、被測定物ユニット２２の被測定透過結像レンズ２０の物体距離「ａ」と一致させるとともに、被測定透過結像レンズ２０の測定領域に上記光束が入射するように、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸と第１回転軸および第２回転軸を移動させる。そのための操作については、図１の面形状測定装置と同じである。これ故、その説明は省略する。

以上により、所定の測定領域で、被測定物ユニット２２の波面収差が測定できる。この波面収差は、被測定透過結像レンズ２０と凹面原器反射鏡２１の波面収差の合成されたものとなる。凹面原器反射鏡２１の波面収差を予め測定しておくことで、簡単に差分により、被測定透過結像レンズ２０の波面収差を算出できる。フィゾー干渉計ヘッド１に含まれている撮像素子で得られた信号から波面収差を測定する信号処理過程は、当然、面形状測定装置の場合とは異なるが、それは公知であり当業者にとって設計選択の領域に属するので、その説明はここでは省略する。面形状測定で説明したように、測定領域のつなぎ合わせ測定も可能である。

被測定透過結像レンズ２０の波面収差は光波長に依存する。その結果、干渉計の使用波長が異なると、その色収差分を考慮した波面収差を計算する必要がある。しかし、波長差が小さければ、その誤差は少なくなる。２つの波長を同じにすることで、色収差のない、正確な測定が可能となる。この目的のため、フィゾー干渉ヘッドの中の光源の波長を、被測定透過結像レンズ２０を実際に使用する光の波長と一致或いはほぼ一致させることが好ましい。たとえば、ＡｒＦレーザー（波長１９３ｎｍ）で使用する透過光学系の検査には、ＡｒＦレーザまたは同じ波長の光源を使用した干渉計で測定することにより、正確な測定ができる。

図８は、透過アフォーカルレンズ測定の場合の本発明に係る波面収差測定装置の概念的配置図である。図８の波面収差測定装置は、図２の面形状測定装置と同様に、フィゾー干渉計ヘッドを備え、被測定物をフィゾー干渉計ヘッドに対して相対的に移動可能かつ回転可能とする構造を有する。その移動および回転のための部材および構造は図２のものと共通であるので、共通の部材に対しては同一の参照番号を付し、それらの部材の構造および動きについての説明は省略する。以下、主として、図２の面形状測定装置と異なる点を説明する。なお、フィゾー干渉計ヘッドは図５、図６の従来技術のものと基本的には同じである。図７の場合と同様に、面形状測定と波面収差測定は測定目的が異なるので、得られたデータの分析過程は異なる。しかし、それぞれのデータ分析の手法は公知であり設計選択の範囲に属するので、説明は省略する。

フィゾー干渉計ヘッド１には、面形状測定における平面測定のときと同じように透過平面原器１１３を取り付ける。この透過平面原器１１３の最終面は平面であり、原器として機能する。図８において、透過平面原器１１３の平面である原器面が、収差を少なくするため、出口側に配置される。そして被測定レンズに平行光を入射させる。

以下において、アフォーカルレンズ３２を、焦点距離（ｆ１）の長い第１のレンズ３０と焦点距離（ｆ２）の短い第２レンズ３１を組み合わせであり、第１のレンズ３０の後側焦点位置と第２レンズ３１の前側焦点位置を一致させたものであるとして説明する。この被測定アフォーカルレンズ３２は、平行光束の幅を縮小するものである。光束の倍率は、α＝ｆ２／ｆ１となる。たとえば、ｆ１＝１００ｍｍ，ｆ２＝２５ｍｍであれば、α＝１／４となり、入射光束は縮小され、出射光束は１／４となる。もちろん、平行光束の幅を拡大するアフォーカルレンズでも同様に測定できる。

第２レンズ３１の下側に光束を元に戻すように反射させる平面原器３３を配置する。なお平面原器３３の上面（入射側）が鏡面になっている。被測定アフォーカルレンズ３２と平面原器３３を一体化したユニットを被測定物ユニット３４とする。このユニット３４を被測定物として被測定物固定部９ｂに取り付ける。被測定物ユニット３４の光軸を透過平面原器１１３の原器面に対して所定の配置（例えば垂直）にすることが波面収差測定の前提である。フィゾー干渉計ヘッド１に対して相対的に、被測定物ユニット３４の位置と配置を調整して、被測定物ユニット３４を所定の位置で所定の配置にし、かつ、所定の領域の波面収差測定できるようにする。すなわち、被測定物ユニット３４をＸ，Ｙ，Ｚ軸に動かし、そして第１の回転部４や第２の回転部６を回転させる。第１の回転部４、第２の回転部６、被測定物固定部９ｂ、および被測定物の動きは、図２に関連して説明されているものと同じである。これ故、これらの部材の構造および機能の説明は省略する。

この状態で測定した波面収差は、ユニット３４全体のものである。予め平面原器３３の波面収差を予め測定しておくことで、簡単に差分により、被測定アフォーカルレンズ３２だけの波面収差を算出できる。図７の場合と同様に、フィゾー干渉計ヘッド１に含まれている撮像素子で得られた信号から波面収差測定する過程は、当然、面形状測定装置の場合とは異なるが、それは当業者にとって設計選択の範囲に属するので、その説明は省略する。面形状測定で説明したように、測定領域のつなぎ合わせ測定も可能である。

図７の場合と同様に、被測定アフォーカルレンズ３２の波面収差は光波長に依存する。その結果、干渉計の使用波長が異なると、その色収差分を考慮した波面収差を計算する必要がある。波長差が小さければ、その誤差は少なくなる。２つの波長を同じにすることで、色収差のない、正確な測定が可能となる。２つの波長を同じにすることで、色収差のない、正確な測定が可能となる。この目的のため、フィゾー干渉ヘッドの中の光源の波長を、被測定透過結像レンズ２０を実際に使用する光の波長と一致或いはほぼ一致させることが好ましい。たとえば、ＡｒＦレーザー（波長１９３ｎｍ）で使用する透過光学系の検査には、ＡｒＦレーザまたは同じ波長の光源を使用した干渉計で測定することにより、正確な測定ができる。

図７と図８で、干渉計からの波面として、それぞれ球面系、平面系の場合について説明したが、本発明の技術的範囲はそれには限られない。例えば、透過球面原器１０６の最終面は、その集光点１０を曲率中心とする凹面の場合を説明したが円筒面或いは回転楕円面等とすることもできる。なお、完全な透過光学系だけでなく、一部反射系を含んだ透過光学系も対象になることは言うまでもない。また図８では、円筒レンズを含む光学系や楕円鏡のような、焦点が１点でない光学系の測定にも適用可能であることは言うまでもない。

以上、本発明に係る面形状測定装置および波面収差測定装置を詳しく説明してきたが、本発明の適用対象は図面に例示されたものに限られず、同じ技術思想で他の形態の装置および方法として実施することも可能であることは言うまでもない。

１ フィゾー干渉計ヘッド
１ａ Ｙ軸移動機構
１ｂ Ｚ軸移動機構
２ Ｘ方向移動部
３ ２段式回転機構
４ 第１の回転部
５ 第１の回転軸
６ 第２の回転部
７ 第２の回転軸
８ 被測定物
９ａ 第１の被測定物固定部
９ｂ 第２の被測定物固定部
１０ 集光点
１１ Ｙ方向移動部
１２ａ 第１の球面軸受
１２ｂ 第２の球面軸受
２０ 被測定透過結像レンズ
２１ 凹面原器反射鏡
２２ 被測定物ユニット
３０ 第１のレンズ
３１ 第２レンズ
３２ 被測定アフォーカルレンズ
３３ 平面原器
３４ 被測定物ユニット

Claims (8)

1. 光源、光を一部反射させ反射波と透過波に分けるビーム・スプリッタ、光源からのビーム・スプリッタで分けられた一方の光を被測定物に照射しその被測定物側で反射された反射波を再び上記ビーム・スプリッタに戻して物体光とする光学系、光を受光する光電変換素子および信号分析手段を用いて、面形状を測定する面形状測定手段または波面収差を測定する波面収差測定手段と、被測定物を固定する被測定物固定手段とを備える面形状測定装置または波面収差測定装置において、
   直交するＸ軸とＹ軸を規定する基準面を持つ架台を備え、
   上記面形状測定手段または波面収差測定手段が、上記架台に相対的にＹ軸方向、および、Ｘ軸とＹ軸に垂直なＺ軸方向に移動可能であることと、
   上記被測定物固定手段が、上記架台に対してＸ軸方向に移動可能なＸ方向移動部と、上記Ｘ方向移動部に固定された第１の回転軸のまわりで回転可能な第１の回転部と、上記第１の回転部に固定された第２の回転軸のまわりで回転可能な第２の回転部とを備えることと、上記第２の回転部に結合可能である第１の被測定物固定部を備えることと、上記Ｘ方向移動部がＹ軸方向に移動可能なＹ方向移動部を備えることと、第１の球軸受けと第２の球軸受けとを備えることと、一端が上記第１の球軸受けを介して上記第２の回転部に結合可能であり他端が上記第２の球軸受けを介して上記Ｙ方向移動部に結合可能である第２の被測定物固定部を備えることと、
   上記第１の回転部の回転軸が上記Ｙ軸に略平行であることと、上記第２の回転部の回転軸が上記第１の回転部の回転軸に略垂直であることと、上記第１の回転部が略９０度回転可能であり、その回転により上記第２の回転部の軸の方向が上記Ｚ軸方向に略平行な方向からＸ軸に略平行な方向まで変えられることと、
   球面の被測定物について測定する際は、上記第１の被測定物固定部を上記第２の回転部に結合させた構成とし、平面または円筒面の被測定物について測定する際は、上記第２の被測定物固定部の一端を上記第１の球軸受けを介して上記第２の回転部に結合させ他端を上記第２の球軸受けを介して上記Ｙ方向移動部に結合させた構成とすることを特徴とする、
   面形状測定装置または波面収差測定装置。
   
2. 上記第１の被測定物固定部および上記第２の被測定物固定部が、光を反射する被測定物のためのものであることと、上記面形状測定手段が被測定物の外形の球面、平面、円筒面と基準の球面、平面、円筒面とを比較する面形状測定手段であることを特徴とする、請求項１に記載の面形状測定装置。
3. 上記第１の被測定物固定部および上記第２の被測定物固定部が、被測定物を透過した光を反射しその光を入射時と同じ経路を辿って戻らせる反射鏡である凹面原器または平面原器または円筒面原器を備え、上記波面収差測定手段が上記被測定物を透過し上記凹面原器または平面原器または円筒面原器で反射されビーム・スプリッタに戻った光である物体光の波面収差を測定する波面収差測定手段であることを特徴とする、請求項１に記載の波面収差測定装置。
   
4. 上記面形状測定手段または波面収差測定手段が、フィゾー干渉計、またはシアリング干渉計、または位相シフト干渉計、または垂直走査白色干渉計であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の面形状測定装置または波面収差測定装置。
5. 上記面形状測定手段または波面収差測定手段が、ハルトマン・シャック装置であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の面形状測定装置または波面収差測定装置。
6. 球面の被測定物について測定する際、上記第２の回転部に上記第１の被測定物固定部を取り付け、上記第１の被測定物固定部に被測定物を固定して、被測定物について測定し、
   平面または円筒面の被測定物について測定する際、上記第１の回転部を回転して上記第２の回転軸の軸方向をＸ軸に略平行な方向に変え、第２の被測定物固定部の一端が第１の球面軸受けを介して上記第２の回転部に取り付けられ、他端が第２の球面軸受けを介して上記Ｙ方向移動部に取り付けられ、上記第２の被測定物固定部に被測定物を固定して、被測定物について測定することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法。
7. 平面または円筒面の被測定物について測定する際、被測定物のＹ軸まわりの方向を上記第１の回転部のＹ軸まわりの回転により微調整し、そしてＸ軸まわりの方向は上記第２の回転部のＸ軸まわりの回転により微調整し、Ｚ軸まわりの方向を上記Ｙ方向移動部のＹ軸方向移動で微調整することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法。
8. 球面の被測定物について測定する際、上記第１の回転軸のまわりの第１の回転部の回転と、上記第２の回転軸のまわりの第２の回転部の回転を組み合わせて球面の測定されるべき部分を測定し、
   平面の被測定物について測定する際、上記Ｘ方向移動部によりＸ方向に移動させ、上記Ｙ方向移動部によりＹ方向に移動させて被測定物の測定されるべき部分を測定し、
   円筒面の被測定物について測定する際、上記Ｘ方向移動部によりＸ方向に移動させること、上記第２の回転部を回転させることを組み合わせて被測定物の測定されるべき部分を測定することを特徴とする、請求項１〜５に記載の面形状測定装置または波面収差測定装置の使用方法。

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