EP1251997A1 - Polierkopf für eine poliermaschine - Google Patents

Polierkopf für eine poliermaschine

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EP1251997A1
EP1251997A1 EP01909601A EP01909601A EP1251997A1 EP 1251997 A1 EP1251997 A1 EP 1251997A1 EP 01909601 A EP01909601 A EP 01909601A EP 01909601 A EP01909601 A EP 01909601A EP 1251997 A1 EP1251997 A1 EP 1251997A1
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EP
European Patent Office
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polishing
polishing head
drive shaft
head according
plate
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EP1251997B2 (de
EP1251997B1 (de
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Christoph KÜBLER
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Carl Zeiss Vision International GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss AG
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Publication date
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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    • B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load

Definitions

  • the invention relates to a polishing head for a polishing machine according to the preamble of patent claim 1.
  • a polishing machine for polishing spherical lens surfaces is known from EP 727 280 B1.
  • This polishing machine has an upper carriage which can be moved in an x direction.
  • a tool spindle which is rotatably mounted about a vertical axis, is connected to this slide.
  • the tool spindle is used to hold a dressing tool.
  • a workpiece spindle connected to a further slide is provided for receiving the workpiece or the lens.
  • the workpiece spindle and the tool spindle with the dressing tool are arranged at a fixed distance from one another. The carriage carrying these two spindles can be moved in the z direction.
  • a polishing machine and a method for polishing optical surfaces are known from WO 97/00155.
  • the polishing machine has a polishing head which is provided with an elastic membrane.
  • the force applied to the surface to be polished is regulated by pressurizing the membrane.
  • a disadvantage of this polishing machine is that the size of the surface of the polishing head or the membrane resting on the surface to be polished depends on the pressurization.
  • the polishing head with the elastic membrane is biased by an associated spring in the direction of the surface to be polished. Hydraulic cylinders are provided to provide the elastic membrane with tiltability about a point on the axis of rotation in the area of the flexible membrane.
  • the application of force to the surface to be polished is detected by assigned sensors, stretch marks and solenoite.
  • the polishing of the optical surface is controlled as a function of the rotational speed of the polishing head and the contact pressure acting on the surface to be polished by applying pressure. It is an object of the invention to provide a polishing head for polishing a free-form surface, by means of which a high-quality optical surface can be polished and the use of which ensures constant polishing removal on the entire optical surface to be polished.
  • the polishing plate As a result of the measure to connect the polishing plate in a rotationally fixed manner to the drive shaft, it is possible for the polishing plate to rest on the surface to be machined, following the surface contour.
  • the articulated connection enables the polishing plate to perform tilting movements so that it lies on the surface to be polished with a maximum polishing surface.
  • a piston assigned to the pressure chamber is operatively connected to the drive shaft so that pressurization of the pressure chamber is transmitted to the polishing plate via the drive shaft.
  • Figure 1 is a schematic sketch of the polishing head in a section containing the central axis
  • FIG. 2 shows a section along the plane FI-II in FIG. 1;
  • FIG. 3 shows a section along the plane III-III in FIG. 1;
  • Figure 4 section along the plane III - III in an alternative embodiment.
  • the polishing head (1) shown in FIG. 1 has a polishing plate (3) with a polishing pad (5).
  • the polishing coating (5) rests on a surface (41) of a workpiece (39) to be polished.
  • the polishing plate 3 is received on the drive shaft (7) via the articulated connection.
  • a spherical socket joint is provided for this non-rotatable articulated connection.
  • the drive shaft (7) is provided on the end facing the polishing plate with a spherical imbus head (19) which engages in a recess (13) formed in the polishing plate (3).
  • a locking element 15
  • a spring element or spring pin on the polishing plate which projects into a recess on the ball socket head, can be provided as the latching element.
  • the drive shaft (7) is translationally displaceable via bearing element (23) and is mounted in a hollow cylinder (49) in a rotationally fixed manner.
  • the hollow cylinder (49) is driven in rotation by a drive (not shown) of the polishing machine, the rotary movement being completely transmitted to the drive shaft (7) for the polishing head due to the rotationally fixed connection by the bearing element (23).
  • a hydraulic or pneumatic system is provided in the hollow cylinder (49) which serves to apply the required polishing pressure to the polishing head. It has a pressure chamber cylinder (31) with a piston (33) which is accommodated in a translationally displaceable manner. To decouple the piston (33) from the rotary movement of the drive shaft (7) and the hollow cylinder, rotary bearings can be arranged between the pressure chamber cylinder (31) and the hollow cylinder (49) and between the connecting rod (32) driven by the piston (33) and the drive shaft (7 ) be provided.
  • the pressure chamber (29) formed in the pressure chamber cylinder (31) is assigned a pressure supply (35) with a pressure control valve (37) and a pressure reservoir (36).
  • a force directed along a central axis (2) of the polishing head (1) is applied to the piston (33). This force results in a translatory movement of the polishing plate or an increase in the effective polishing force if the polishing layer (5) rests on an optical surface (41) of a workpiece (39) to be polished.
  • the rotationally fixed, translationally movable coupling between the hollow cylinder (49) and the drive shaft (7) takes place via a roller bearing (23).
  • the drive shaft (7) has a non-rotationally symmetrical outer profile (43), preferably a polygonal profile.
  • the positive connection between the outer profile (43) of the drive shaft (7) and the inner wall of the hollow cylinder is achieved via rollers or rollers (25) which are accommodated in the bearing element (23) symmetrically to the outer profile of the drive shaft (7) and on the outer profile ( 43) roll off the drive shaft.
  • the axes of rotation of the rollers or rollers are aligned perpendicular to the axis of rotation of the drive shaft (7).
  • a ball bearing as shown in FIG. 4, can also be provided.
  • the balls (53) are mounted in the longitudinal grooves (51) of the hollow cylinder (49) and further longitudinal grooves (55) of the drive shaft (7) for the rotationally fixed translationally movable connection, the longitudinal grooves extending parallel to the axis of rotation of the drive shaft (7).
  • the drive axle has a non-rotationally symmetrical outer profile, in particular a polygonal profile, at least in a region corresponding to the bearing.
  • the polishing head whose diameter is smaller than the diameter of the surface to be polished, is moved in a pivoting movement in the radial direction over the optical surface (41) to be polished. Both the workpiece (39) and the polishing plate are driven at almost the same speed in the same direction.
  • the polishing plate is moved over the optical surface (41) to be polished, it can be provided that the rotational speed of the polishing plate or the speed of the workpiece is changed, in particular as a function of the radial position of the polishing plate. This change in speed has a positive influence on a constant polishing removal.
  • the pressure fluctuations are kept very small, so that the polishing plate rests with constant force on the optical surface to be polished.
  • the pressure control valve also helps to compensate for pressure fluctuations.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Polierkopf für Poliermaschinen, insbesondere zum Polieren von optischen Flächen, mit einem Polierteller, der mit einer rotatorisch antreibbaren Antriebswelle verbunden ist. Erfindungsgemäss ist der Polierteller (3) mit der Antriebswelle (7) gelenkig und drehfest verbunden. Für die gelenkige drehfeste Verbindung kann ein Kugelimbusgelenk vorgesehen sein. Der Polierteller kann durch die gelenkige Verbindung rotierend der Oberfläche (41) des zu bearbeitenden Werkstückes (39) folgen, so dass stets der Polierbelag (5) auf einer maximal großen Fläche auf der Oberfläche (41) aufliegt.

Description

Polierkopf für eine Poliermaschine
Die Erfindung betrifft einen Polierkopf für eine Poliermaschine gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der EP 727 280 Bl ist eine Poliermaschine zum Polieren sphärischer Linsenoberflächen bekannt. Diese Poliermaschine weist einen oberen in einer x-Richtung verfahrbaren Schlitten auf. Mit diesem Schlitten ist eine Werkzeugspindel, die um eine vertikale Achse drehbar gelagert ist, verbunden. Die Werkzeugspindel dient dabei zur Aufnahme eines Abrichtwerkzeuges. Zur Aufnahme des Werkstückes bzw. der Linse ist eine mit einem weiteren Schlitten verbundene Werkstückspindel vorgesehen. Die Werkstückspindel und die Werkzeugspindel mit dem Abrichtwerkzeug sind in einem festen Abstand zueinander angeordnet. Der diese beiden Spindeln tragende Schlitten ist in z-Richtung verfahrbar.
Aus der WO 97/00155 ist eine Poliermaschine und ein Verfahren zum Polieren von optischen Flächen bekannt. Die Poliermaschine weist einen Polierkopf auf, der mit einer elastischen Membran versehen ist. Durch Druckbeaufschlagung der Membran wird die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche geregelt. Nachteilig ist bei dieser Polieraiaschine, daß die Größe der auf der zu polierenden Fläche aufliegende Fläche des Polierkopfes bzw. der Membran von der Druckbeaufschlagung abhängt. Der Polierkopf mit der elastischen Membran wird durch eine zugeordnete Feder in Richtung der zu polierenden Fläche vorgespannt. Für die Bereitstellung einer Kippbeweglichkeitder elastischen Membran ,um eine auf der Drehachse im Bereich der flexiblen Membran liegenden Punkt, sind Hydraulikzylinder vorgesehen. Die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche wird durch zugeordnete Sensoren, Dehnstreifen und Solenoit, detektiert.
In dem aus dieser Schrift bekannten Verfahren wird das Polieren der optischen Oberfläche in Abhängigkeit von der Drehzahl des polierenden Kopfes und der auf die zu polierende Oberfläche wirkenden Anpreßkraft durch Druckbeaufschlagung gesteuert. Es ist Aufgabe der Erfindung einen Polierkopf zum Polieren einer Freiformfläche bereitzustellen, durch den eine qualitativ hochwertige optische Oberfläche polierbar ist und durch dessen Einsatz ein konstanter Polierabtrag auf der gesamten zu polierenden optischen Oberfläche gewährleistet werden kann.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch die im Patentanspruch 1 gegebenen Merkmale gelöst.
Durch die Maßnahme den Polierteller drehfest gelenkig mit der Antriebswelle zu verbinden ist es möglich, daß der Polierteller der Oberflächenkontur folgend auf der zu bearbeitenden Oberfläche aufliegt. Durch die gelenkige Verbindung kann der Polierteller Kippbewegungen ausfuhren, so daß er mit einer maximalen Polierfläche auf der zu polierenden Oberfläche aufliegt.
Zur Übertragung der Drehbewegung der Antriebswelle auf den Polierteller hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, den Polierteller mit der Antriebswelle mittels Formschluß zu verbinden, so daß die Drehbewegung der Antriebswelle aufgrund des Formschlusses auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt für die drehfeste gelenkige Verbindung den Polierteller über ein Kugelimbusgelenk mit der Antriebswelle zu verbinden. Durch dieses Kugelimbusgelenk ist es möglich, den Drehpunkt, um den der Polierteller in beliebige Richtungen geschwenkt werden kann, möglichst nah an der zu polierenden Oberfläche des Poliertellers anzuordnen. Die nahe Anordnung der gelenkigen Verbindung zur polierenden Oberfläche des Poliertellers hat den Vorteil, daß der Polierteller den Oberflächenkonturen reaktionsschnell folgen kann.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt der gelenkigen Verbindung ein oder mehrere Rastelement zur Sicherung der Verbindung von Antriebswelle und Polierkopf zuzuordnen. Ist als gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen, so wird mittels des Rastelementes sichergestellt, daß der Kugelimbuskopf aus der zugeordneten Ausnehmung nicht herausrutschen kann. Dadurch kann der Polierteller ohne Probleme von der zu polierenden Fläche entfernt werden. Durch die durch das Rastelement gewährleistete Lösbarkeit der Verbindung können außerdem verschiedene Polierteller leicht gegeneinander ausgetauscht werden.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt dem Polierkopf eine Druckkammer zuzuordnen wobei aus einer Druckbeaufschlagung der Druckkammer eine translatorische Bewegung des Poliertellers entlang einer Mittenachse des Polierkopfes resultiert. Liegt der Polierteller auf einer zu polierenden Oberfläche auf, so resultiert aus einer Druckbeaufschlagung ein erhöhter Polierdruck.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, wenn ein der Druckkammer zugeordneter Kolben mit der Antriebswelle in Wirkverbindung steht, so daß eine Druckbeaufschlagung der Druckkammer über die Antriebswelle auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt die Antriebswelle mittels eines koaxial angeordneten Hohlzylinders, in dem die Antriebswelle drehfest gelagert ist, über diesen Hohlzylinder anzutreiben. Für die Übertragung der Drehbewegung hat sich eine formschlüssige Verbindung als vorteilhaft erwiesen.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Antriebswelle in dem Hohlzylinder mittels Lagerelementen z.B. einer Wälzlagerung oder einer Kugellagerung translatorisch leicht bewegbar zu lagern. Durch diese Lagerung wird gewährleistet, daß bei Druckbeaufschlagung der Druckkammer sich die Antriebswelle in dem Hohlzylinder leichtgängig translatorisch bewegen kann und somit die eingeleitete translatorische Bewegung bzw. Kraftbeaufschlagung nahezu vollständig auf den Polierteller übertragen wird.
Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in weiteren abhängigen Ansprüchen beschrieben.
Anhand eines Ausführungsbeispieles wird die Erfindung im folgenden näher beschrieben.
Es zeigt: Figur 1 eine schematische Skizze des Polierkopfes in einem dessen Mittenachse enthaltenen Schnittes;
Figur 2 einen Schnitt entlang der Ebene FI - II in Figur 1 ;
Figur 3 einen Schnitt entlang der Ebene III - III in Figur 1 ; und
Figur 4 Schnitt entlang der Ebene III - III bei einem alternativen Ausfuhrungsbeispiel.
Der in Figur 1 dargestellte Polierkopf (1) weist einen Polierteller (3) mit einem Polierbelag (5) auf. Der Polierbelag (5) liegt auf einer zu polierenden Oberfläche (41) eines Werkstückes (39) auf.
Der Polierteller 3 ist über die gelenkige Verbindung an einer Antriebswelle (7) aufgenommen. Im dargestellten Ausfuhrungsbeispiel ist für diese drehfeste gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen. Die Antriebswelle (7) ist dazu auf der dem Polierteller zugewandten Seite endseitig mit einem Kugelimbuskopf (19) versehen, der in eine im Polierteller (3) ausgebildete Ausnehmung (13) eingreift.
Zur Sicherung ist die Verbindung zwischen dem Kugelimbuskopf (19) und dem Polierteller (3) mittels eines Rastelementes (15) gesichert ist. Als Rastelement können beispielsweise ein Federelement bzw. Federstift am Polierteller, der in eine Ausnehmung am Kugelimbuskopf hinein ragt, vorgesehen sein.
Es ist auch möglich, den Kugelimbuskopf (19) an dem Polierteller auszubilden; in diesem Fall ist dann in der Antriebswelle (7) eine Ausnehmung zur drehsicheren gelenkigen Aufnahme des Kugelimbuskopfes vorzusehen. Allerdings ist in diesem Fall der Abstand zwischen der Gelenkstelle - also dem Punkt, um den eine Kippung des Poliertellers relativ zur starren Antriebswelle erfolgen kann - und der zu polierenden Fläche (41) größer. Die Antriebswelle (7) ist über Lagerelement (23) translatorisch verschiebbar und drehfest in einem Hohlzylinder (49) gelagert. Der Hohlzylinder (49) wird rotatorisch angetrieben über einen nicht dargestellten Antrieb der Poliermaschine, wobei die Drehbewegung aufgrund der drehfesten Verbindung durch das Lagerelement (23) vollständig auf die Antriebswelle (7) für den Polierkopf übertragen wird.
Auf der vom Polierkopf abgewandten Seite der Antriebswelle (7) ist in dem Hohlzylinder (49) ein Hydraulik- oder Pneumatiksystem, das zur Beaufschlagung des Polierkopfes mit dem erforderlichen Polierdruck dient, vorgesehen. Dieses weist einen Druckkammerzylinder (31) mit einem darin translatorisch verschiebar aufgenommenen Kolben (33) auf. Zur Entkoppelung des Kolbens (33) von der Drehbewegung der Antriebswelle (7) und des Hohlzylinders können Drehlager zwischen dem Druckkammerzylinder (31) und dem Hohlzylinder (49) sowie zwischen dem vom Kolben (33) angetriebenen Pleul (32) und der Antriebswelle (7) vorgesehen sein. Zur Druckbeaufschlagung des Kolbens (33) ist der im Druckkammerzylinder (31) gebildeten Druckkammer (29) eine Druckversorgung (35) mit einem Druckregel ventil (37) und einem Druckreservoir (36) zugeordnet. Durch Druckbeaufschlagung der Druckkammer (29) wird eine entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes (1) gerichteten Kraft auf den Kolben (33) eingeleitet. Aus dieser Kraft resultiert eine translatorische Bewegung des Poliertellers bzw. eine Erhöhung der wirkenden Polierkraft, sofern der Polierbelag (5)auf einer zu polierenden optischen Fläche (41) eines Werkstückes (39) aufliegt.
Die drehfeste translatorisch bewegbare Kopplung zwischen dem Hohlzylinder (49) und der Antriebswelle (7) erfolgt über ein Wälzlager (23). Die Antriebswelle (7) weist dazu ein nicht rotationssymmetrisches Außenprofil (43), vorzugsweise ein Mehrkantprofil auf. Der Formschluß zwischen dem Außenprofil (43) der Antriebswelle (7) und der Innenwand des Hohlzylinders wird über Rollen oder Walzen (25) erreicht, die in dem Lagerelement (23) symmetrisch zum Außenprofil der Antriebswelle (7) aufgenommen sind und an dem Außenprofϊl (43) der Antriebswelle abrollen. Die Drehachsen der Rollen oder Walzen sind dabei senkrecht zur Rotationachse der Antriebswelle (7) ausgerichtet. Anstelle der Wälzlagerung der Antriebswelle (7) in dem Hohlzylinder (49) kann auch eine Kugellagerung, wie in Figur 4 dargestellt, vorgesehen sein. Zur drehfesten translatorisch verschiebbaren Verbindung sind die Kugeln (53) in Längsnuten (51) des Hohlzylinders (49) und weiteren Längsnuten (55) der Antriebswelle (7) gelagert, wobei sich die Längsnuten parallel zur Rotationsachse der Antriebswelle (7) erstrecken. Auch in diesem Fall weist die Antriebsachse wenigstens in einem der Lagerung entsprechenden Bereich ein nicht- rotationssysmmetrisches Außenprofil, insbesondere ein Mehrkantprofil auf.
Im folgenden wird das Polierverfahren näher beschrieben. Zum Polieren wird der Polierkopf, dessen Durchmesser kleiner ist als der Durchmesser der zu polierenden Fläche, in einer Schwenkbewegung in radialer Richtung über die zu polierende optische Fläche (41) bewegt. Sowohl das Werkstück (39) als auch der Polierteller werden dabei mit nahezu gleicher Drehzahl in identischer Richtung angetrieben. Bei Bewegung des Poliertellers über die zu polierende optische Fläche (41) kann vorgesehen sein, daß die Drehzahlen des Poliertellers oder die Drehzahl des Werkstückes, insbesondere in Abhängigkeit von der radialen Position des Poliertellers, zu verändern. Diese Drehzahländerung hat einen positiven Einfluß auf einen konstanten Polierabtrag.
Durch die Wahl eines sehr großen Speichervolumens (36) im Verhältnis zum sich verändernden Volumen des Kolbens (31), werden die Druckschwankungen sehr klein gehalten, so daß der Polierteller mit konstanter Kraft auf der zu polierenden optischen Fläche aufliegt. Das Druckregelventil trägt auch noch zum Ausgleich von Druckschwankungen bei.
Durch die beschriebene Anordnung in Verbindung mit einer Poliermaschine nach dem Stand der Technik sind insbesondere nicht rotationssymmetrische optische Oberflächen (41) polierbar, wobei der Polierabtrag über die gesamte optische Fläche konstant ist. Für den gleichmäßigen Polierabtrag ist es erforderlich, daß der Polierbelag des Poliertellers (3) möglichst großflächig auf der zu polierenden optischen Fläche (41) aufliegt. Dies wird insbesondere dadurch gewährleistet, daß durch die drehfeste gelenkige Verbindung zwischen dem Polierteller und der Antriebswelle (7) der Polierteller um einen auf der Mittenachse (2) des Polierkopfes liegenden Punkt in beliebige Richtungen gekippt werden kann und die Ausrichtung des Poliertellers dadurch der Oberflächenkontur der zu polierenden Fläche (41) folgen kann.
Bezugszeichenliste :
1 Polierkopf
2 Mittenachse
3 Polierteller
5 Polierbelag (~ Belag)
7 Antriebswelle
9 gelenkige Verbindung
13 Ausnehmung im Polierteller
15 Rastelement
19 Kugelimbuskopf
20 Ausnehmung
23 Lagerelemente
25 Walzen oder Rollen
29 Druckkammer
31 Druckkarnmerzylinder
32 Pleuel
33 Kolben
35 Druckversorgung
36 Reservoir
37 Druckregelventil
39 Werkstück
41 Optische Fläche
43 Außenprofil
49 Hohlzylinder
51 Längsnuten
53 Kugeln
55 Längsnut in Antriebswelle

Claims

Patentansprüche :
1. Polierkopf, insbesondere zum Polieren von optischen Flächen, mit einem Polierteller, der mit einer rotatorisch antreibbaren Antriebswelle verbunden ist, gekennzeichnet dadurch, daß der Polierteller (3) mit der Antriebswelle (7) gelenkig und drehfest verbunden ist.
2. Polierkopf nach Anspruch 1, ist dadurch gekennzeichnet, daß eine Drehbewegung der Antriebswelle (7) mittels Formschluß auf den Polierteller (3) übertragen wird.
3. Polierkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Polierteller (3) um einen auf der Mittenachse (2) liegenden Punkt kippbar an der Antriebswelle (7) gelagert ist.
4. Polierkopf nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Formschluß zur Übertragung der Drehbewegung der Antriebswelle (7) auf den Polierteller (3) in der gelenkigen Verbindung hergestellt ist.
5. Polierkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als gelenkige Verbindung ein Kugelinbusgelenk vorgesehen ist.
6. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rastelement (15) zur Sicherung der gelenkigen Verbindung von Polierteller (3) und Antriebswelle (7) vorgesehen ist.
7. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Druckkammer (29) vorgesehen ist, wobei aus einer Druckbeaufschlagung der Druckkammer (29) eine translatorische Bewegung des Poliertellers (3) entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes resultiert.
8. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckkammer (29) einen Druckkarnmerzylinder (31 ) umfaßt, in dem ein Kolben (33) translatorisch bewegbar angeordnet ist.
9. Polierkopf nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Kolben (33) mit der Antriebswelle (7) in Wirkverbindung steht.
10. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (7) drehfest und translatorisch entlang der Mittenachse (2) des Polierkopfes verschiebbar in einem angetriebenen Hohlzylinder (49) gelagert ist.
11. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (7) drehfest und translatorisch entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes verschiebbar gelagert ist und mit einem rotatorisch angetriebenen Kolben drehfest verbunden ist.
12. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (7) mindestens in einem Teilbereich ein nicht- rotationssymmetrisches Außenprofil (43) aufweist.
13. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenprofil (43) in Form eines Mehrkantprofils ausgebildet ist.
14. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenprofil (43) über eine Wälzlagerung (23, 25) drehfest mit dem Hohlzylinder in Verbindung steht.
15. Polierkopf nach mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenprofil (43) Längsnuten (51) aufweist, in denen Kugeln (53) angeordnet sind, über die die Antriebswelle (7) mit dem Hohlzylinder (49), der innenseitig mit gegensinnig ausgebildeten Längsnuten (51) versehen ist, verbunden ist.
16. Poliermaschine mit einem Polierkopf gemäß mindestens einem der vorangegangenen Ansprüche.
16. Verfahren zum Polieren einer punktunsymmetrischen Freiformfläche, mit einem
Polierteller (3), der in gleicher Drehrichtung rotatorisch angetrieben wird, wie die zu polierende optische Fläche.
17. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der zu bearbeitende Körper
(3) mit annähernd gleicher Drehfrequenz angetrieben wird wie der Polierteller (3).
18. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehteller (3) eine radiale
Bewegung relativ zum zu bearbeitenden Körper (39) ausführt.
19. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß in Abhängigkeit von der radialen Position des Drehtellers (3) die Drehfrequenz des Drehtellers (3) oder der zu polierenden Fläche (41) verändert wird.
20. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 16 - 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Druck in der Kammer (29) in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche (41) geregelt wird, so daß der auf der optischen Oberfläche (41) aufliegende Drehteller auf dieselbe einen vorbestimmten konstanten Polierdruck ausübt.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 - 20, wobei ein Polierkopf nach einem der
Ansprüche 1 - 14 eingesetzt wird.
EP01909601A 2000-02-03 2001-01-11 Polierkopf für eine poliermaschine Expired - Lifetime EP1251997B2 (de)

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EP03025546A EP1386694B2 (de) 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine

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WO (1) WO2001056740A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7588480B2 (en) 2000-02-03 2009-09-15 Carl Zeiss Vision Gmbh Polishing head for a polishing machine

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10250856A1 (de) * 2002-10-25 2004-05-13 Carl Zeiss Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern
DE10319945A1 (de) * 2003-05-02 2005-01-27 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen
DE102004003131A1 (de) † 2004-01-15 2005-08-11 Carl Zeiss Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer optischen Fläche, optisches Bauelement, sowie Verfahren zum Herstellen eines Polierwerkzeugs
DE102004062319B3 (de) * 2004-12-20 2006-03-02 Schneider Gmbh + Co. Kg Polierwerkzeug
DE102005052314A1 (de) 2005-11-01 2007-05-03 Satisloh Gmbh Fast-Tool-Anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
DE202008016454U1 (de) * 2008-06-17 2009-03-05 Satisloh Gmbh Werkzeug zum Polieren und Feinschleifen von optisch wirksamen Flächen in der Feinoptik
JP4709257B2 (ja) * 2008-08-08 2011-06-22 株式会社トプコン レンズ研磨装置
GB2477557A (en) * 2010-02-08 2011-08-10 Qioptiq Ltd Aspheric optical surface polishing tool with individually movable polishing pads
DE102010019491B4 (de) 2010-04-30 2015-07-09 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug zur Bearbeitung von optischen Flächen, insbesondere Freiformflächen
DE102011014230A1 (de) 2011-03-17 2012-09-20 Satisloh Ag Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an insbesondere Brillengläsern
FR2972672B1 (fr) 2011-03-18 2013-03-15 Coriolis Composites Attn Olivier Bouroullec Machine d'application de fibres avec systeme de securite
CN102490104A (zh) * 2011-12-09 2012-06-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 非球面反射镜自动加工装置
DE102012014399A1 (de) 2012-07-20 2014-05-15 Carl Zeiss Vision International Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln und Ausgeben eines für einen Brillenträger geeigneten Brillenlinsentyp
DE102012216724B4 (de) 2012-09-19 2025-05-08 Carl Zeiss Vision International Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Polierbearbeitung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung sowie entsprechendes Verfahren zur Herstellung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung
US9352509B1 (en) * 2013-05-08 2016-05-31 The Boeing Company Tools and methods for use in removing a coating
ITBS20130066A1 (it) * 2013-05-16 2014-11-17 Cms Spa Unita' portautensile di macchine lucidatrici di lastre in pietra o affini
CN103302585A (zh) * 2013-06-25 2013-09-18 濮阳市亚利机械制造有限公司 一种用于研磨空气炮炮口的研磨机
DE102014206424A1 (de) 2014-04-03 2015-10-08 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug sowie Vorrichtung und Verfahren zur formfehleroptimierten Polierbearbeitung von Brillenlinsenoberflächen und Gießformschalen zur Brillenlinsenherstellung
DE102016004328A1 (de) * 2016-04-13 2017-10-19 Satisloh Ag Werkzeugspindel für eine Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an Werkstücken
DE102016006741A1 (de) * 2016-06-06 2017-12-07 Schneider Gmbh & Co. Kg Werkzeug, Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
CN106002521A (zh) * 2016-07-19 2016-10-12 苏州誉衡昌精密机械有限公司 一种自动抛光轮机构
DE102017102094B4 (de) 2017-02-02 2019-07-11 Steffen Nitschke Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung
CN107186572B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种非球面光学元件抛光装置
CN107322411B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大口径非球面光学元件抛光装置
JP2019000957A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 株式会社春近精密 レンズ研磨装置およびレンズ研磨方法
CN109514384A (zh) * 2018-11-07 2019-03-26 西安工业大学 非球面光学元件的抛光方法和装置
CN109202709A (zh) * 2018-11-21 2019-01-15 中国科学院光电技术研究所 一种气压控制恒定压力自适应抛光磨头
EP3663039B1 (de) 2018-12-03 2025-02-05 Carl Zeiss Vision International GmbH Poliermaschine zur bearbeitung einer optischen fläche eines brillenglases, verfahren zur polierbearbeitung von optischen flächen von brillengläsern und verfahren zum herstellen eines brillenglases
JP7354879B2 (ja) * 2020-03-05 2023-10-03 トヨタ自動車株式会社 自動水研装置
CN111906672B (zh) * 2020-07-21 2021-05-07 温州大学 一种基于气压砂轮的自动化抛光装置
CN113618542A (zh) * 2021-07-13 2021-11-09 中国兵器科学研究院宁波分院 一种抛光设备
CN115401602A (zh) * 2022-08-23 2022-11-29 东莞市泊尔斯科技有限公司 一种用于中心加压研磨机的定位锁紧结构及研磨机
CN118123685B (zh) * 2024-04-30 2024-10-01 扬州利凯机械制造有限公司 一种轴承制造用轴承抛光机
CN121061710A (zh) * 2025-09-28 2025-12-05 厦门毫末智能制造有限公司 一种可调压的伸缩摆动式沥青头装置及使用方法

Family Cites Families (70)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE318561C (de) *
US2836939A (en) * 1955-03-24 1958-06-03 White Arthur Howard Machine for producing spherical surfaces
US2821813A (en) * 1956-06-28 1958-02-04 Siemens Ag Albis Machine for the production of a paraboloidal body
US2916857A (en) * 1958-02-14 1959-12-15 American Optical Corp Lens surfacing machines
US2994164A (en) * 1960-07-08 1961-08-01 American Optical Corp Method and apparatus for simultaneously grinding lenses
CH450205A (de) † 1961-09-28 1968-01-15 Philips Nv Einrichtung zum Schleifen und Polieren insbesondere gekrümmter Oberflächen von Glasgegenständen
US3226887A (en) * 1962-03-07 1966-01-04 Univis Inc Method and apparatus for processing of ophthalmic lens
US3330075A (en) * 1964-07-01 1967-07-11 Coburn Mfg Company Inc Sphere polisher
DE1239211B (de) * 1964-10-14 1967-04-20 Wilhelm Lot K G Optikmaschinen Kardanisch gelagertes Optik-Schleif- oder Polierwerkzeug
US3589078A (en) * 1968-07-26 1971-06-29 Itek Corp Surface generating apparatus
US3624969A (en) * 1970-07-15 1971-12-07 American Optical Corp Lens generating apparatus
US3968598A (en) † 1972-01-20 1976-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Workpiece lapping device
JPS5321159B2 (de) * 1972-07-17 1978-06-30
DE2252503C3 (de) 1972-10-26 1975-12-18 Wilhelm Loh Kg Optikmaschinenfabrik, 6330 Wetzlar Futter für optische Linsen zur Verwendung in Linsenschleif- oder Poliermaschinen
US3900971A (en) * 1972-10-26 1975-08-26 Loh Kg Optik W Machine for producing surfaces of optical lenses, for example toric surfaces
CH556719A (de) 1973-06-29 1974-12-13 Studer Rudolf Motorisch, insbesondere elektromotorisch, angetriebener schlagbohrhammer.
US3874123A (en) 1973-10-11 1975-04-01 Mwa Company Metal conditioning planetary grinder
US3897703A (en) 1974-02-08 1975-08-05 Olin G Phipps Universal socket
US4068413A (en) * 1975-10-02 1978-01-17 Suddarth Jack M Adjustable lens grinding apparatus
DE2734650C2 (de) * 1976-08-03 1983-05-26 Kabushiki Kaisha Seikosha, Tokyo Maschine zum Polieren von Schwingquarzen
US4128968A (en) * 1976-09-22 1978-12-12 The Perkin-Elmer Corporation Optical surface polisher
FR2366912A1 (fr) * 1976-10-06 1978-05-05 Essilor Int Tete de travail pour machine a surfacer les lentilles, notamment les lentilles ophtalmiques en matiere organique, et machine comportant une telle tete de travail
IT1098048B (it) * 1977-08-13 1985-08-31 Dollond Aitchison Service Apparecchio e procedimento per levigare o lucidare superfici curve,in particolare lenti
US4166342A (en) * 1977-11-21 1979-09-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Toroidal polisher
US4201018A (en) * 1978-10-23 1980-05-06 Clarence Pool Cabbing device for gemstones
JPS55115745U (de) * 1979-02-10 1980-08-15
DE2937977C2 (de) * 1979-09-20 1984-06-14 Prontor-Werk Alfred Gauthier Gmbh, 7547 Wildbad Maschine zum Schleifen oder Fräsen von konvexen und/oder konkaven sphärischen Flächen
JPS5884845U (ja) * 1981-12-03 1983-06-08 有限会社佐野光学 レンズ研磨装置
JPS6299065A (ja) 1985-10-22 1987-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 球面研削装置
US4956944A (en) * 1987-03-19 1990-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
US4974368A (en) * 1987-03-19 1990-12-04 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
JPS63232948A (ja) † 1987-03-19 1988-09-28 Canon Inc 加圧回転装置
FR2629746B1 (fr) † 1988-04-06 1991-01-25 Bertin & Cie Procede et dispositif de polissage d'un composant optique
US5076683A (en) † 1988-09-14 1991-12-31 Allergan, Inc. Spuncast compound contact lens
US5069081A (en) 1990-01-16 1991-12-03 Nippon Thompson Co., Ltd. Multi-mode splined ball screw assembly
JP2894766B2 (ja) * 1990-01-30 1999-05-24 日東光学株式会社 球面レンズ研磨機
JPH0761606B2 (ja) * 1990-03-01 1995-07-05 株式会社春近精密 光学レンズ・ミラー等球面加工装置
JPH04201054A (ja) * 1990-11-29 1992-07-22 Nippon Electric Glass Co Ltd ブラウン管用パネルの表面研磨方法及び装置
JP2938593B2 (ja) * 1991-01-31 1999-08-23 キヤノン株式会社 研磨工具保持装置および該研磨工具保持装置を備えた研磨ヘッド
US5579509A (en) 1991-02-08 1996-11-26 International Business Machines Corporation Apparatus and method for verifying compatibility of system components
JP3078093B2 (ja) * 1992-03-18 2000-08-21 宇部気密ハウジング株式会社 排気フード
DE4214266A1 (de) 1992-05-01 1993-11-04 Loh Engineering Ag Oensingen Vorrichtung zur fuehrung eines werkstuecks oder werkzeugs bei der bearbeitung torischer oder sphaerischer flaechen optischer linsen auf schleif- oder poliermaschinen
JPH0588859U (ja) * 1992-05-13 1993-12-03 株式会社春近精密 レンズ・鏡等研磨装置
JP3304168B2 (ja) * 1993-06-11 2002-07-22 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨方法
JPH077846U (ja) * 1993-07-09 1995-02-03 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨機上軸機構
US5577950A (en) 1993-11-29 1996-11-26 Coburn Optical Industries, Inc. Conformal tool operating apparatus and process for an ophthalmic lens finer/polisher
DE4442181C1 (de) † 1994-11-26 1995-10-26 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung optischer Flächen
DE59500684D1 (de) 1995-02-14 1997-10-23 Opto Tech Gmbh Vorrichtung zum Polieren sphärischer Linsenoberfläche
US5759457A (en) * 1995-02-24 1998-06-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing an optical element
GB9512262D0 (en) † 1995-06-16 1995-08-16 Bingham Richard G Tool for computer-controlled machine for optical polishing and figuring
DE29521396U1 (de) † 1995-09-08 1997-02-27 Maier, Dieter, Prof. Dr.-Ing., 91207 Lauf Schleifkopf zum Bearbeiten von Glasscheiben
DE29517615U1 (de) 1995-11-07 1995-12-21 Festo Kg, 73734 Esslingen Fluidbetätigter Arbeitszylinder
JPH10545A (ja) * 1996-06-12 1998-01-06 Nikon Corp 研磨ヘッド
JPH1019058A (ja) 1996-07-01 1998-01-20 Kayseven Co Ltd クラッチ及びそれを用いた変速装置
JPH1029149A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Nagata Seisakusho:Kk 研磨装置
DE19633855A1 (de) * 1996-08-16 1998-02-19 Mannesmann Ag Verfahren und Vorrichtung zum Nachschleifen der in Warmbandwalzgerüsten eingebauten Walzen
JPH10175148A (ja) 1996-10-14 1998-06-30 Nikon Corp プラスチックレンズ用基材及びその製造装置及び製造方法
DE19701312A1 (de) 1997-01-16 1998-07-23 Zeiss Carl Fa Brillenglas mit sphärischer Vorderseite und multifokaler Rückseite, sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US6099763A (en) * 1997-02-20 2000-08-08 Technology Resources International Corporation Method and apparatus for filling a lens-forming device with a curable fluid
DE19756960B4 (de) 1997-12-20 2011-06-09 Asphericon Gmbh Verfahren zum Bearbeiten von rotationssymmetrischen Funktionsflächen
DE29803158U1 (de) † 1998-02-23 1998-08-06 Schneider GmbH + Co. KG, 35239 Steffenberg Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen
US6165057A (en) * 1998-05-15 2000-12-26 Gill, Jr.; Gerald L. Apparatus for localized planarization of semiconductor wafer surface
AU1399600A (en) 1998-12-01 2000-06-19 Optical Generics Limited A polishing machine and method
EP1251997B2 (de) 2000-02-03 2011-06-08 Carl Zeiss Vision GmbH Polierkopf für eine poliermaschine
DE10164628A1 (de) 2001-02-09 2002-09-05 Optotech Optikmasch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
JP2002346895A (ja) 2001-05-29 2002-12-04 Olympus Optical Co Ltd レンズ研磨機の上軸機構
JP4019058B2 (ja) 2001-07-17 2007-12-05 株式会社日立国際電気 電子装置用冷却装置及び冷却装置付電子装置
JP4244372B2 (ja) 2002-01-11 2009-03-25 日本精機株式会社 半導体センサ装置
JP3990205B2 (ja) 2002-06-21 2007-10-10 オリンパス株式会社 研磨装置
JP4201054B2 (ja) 2007-02-16 2008-12-24 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ及びその製造方法及び液晶表示装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO0156740A1 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7588480B2 (en) 2000-02-03 2009-09-15 Carl Zeiss Vision Gmbh Polishing head for a polishing machine
US8011996B2 (en) 2000-02-03 2011-09-06 Carl Zeiss Vision Gmbh Polishing head for a polishing machine

Also Published As

Publication number Publication date
US8011996B2 (en) 2011-09-06
US20030045211A1 (en) 2003-03-06
TW558477B (en) 2003-10-21
WO2001056740A1 (de) 2001-08-09
JP4945771B2 (ja) 2012-06-06
EP1386694A1 (de) 2004-02-04
US20080020691A1 (en) 2008-01-24
JP2003525756A (ja) 2003-09-02
EP1251997B2 (de) 2011-06-08
DE50101982D1 (de) 2004-05-19
DE50114907D1 (de) 2009-07-02
EP1386694B1 (de) 2009-05-20
US7588480B2 (en) 2009-09-15
EP1386694B2 (de) 2013-01-09
DE10100860A1 (de) 2001-08-23
AU2001237285A1 (en) 2001-08-14
US20050037695A1 (en) 2005-02-17
EP1251997B1 (de) 2004-04-14

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