DE69432824T2 - Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters und eines Flüssigkristall-Schirms - Google Patents

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters, der für eine Flüssigkristallanzeige geeignet ist, der in einem Farbfernsehgerät, einem PC oder dergleichen verwendet werden kann, und ein Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristalltafel bzw. eines -Schirms, die bzw. der mit diesem Farbfilter ausgestattet ist. Insbesondere betrifft sie derartige Verfahren unter Anwendung eines Tintenstrahlaufzeichnungsverfahrens.
  • Einschlägiger Stand der Technik
  • Mit der Entwicklung von PCs, insbesondere tragbaren PCs, zeigte der Bedarf nach Flüssigkristallanzeigen, insbesondere Farb-Flüssigkristallanzeigen, in den letzten Jahren eine steigende Tendenz. Damit die Verbreitung von Flüssigkristallanzeigen weiter zunimmt, müssen jedoch deren Kosten verringert werden; und insbesondere in Hinblick auf den Farbfilter, der weitestgehend die Kosten jeder Anzeige ausmacht, wird diese Forderung nach einer Kostenverringerung immer dringender. Um die geforderten Merkmale eines Farbfilters zu erfüllen und den vorstehend genannten Bedarf zu befriedigen, wurden bisher verschiedene Versuche unternommen, bis jetzt wurde jedoch noch kein Verfahren entwickelt, das alle geforderten Merkmale erfüllen kann. Einige Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters werden nachstehend beschrieben.
  • Ein erstes Verfahren, das am häufigsten verwendet worden ist, ist ein Färbeverfahren. Bei diesem Färbeverfahren wird ein Glassubstrat mit einem wäßrigen Polymermaterial, das ein zu färbendes Material darstellt, beschichtet, das Material wird durch ein Photolithographieverfahren mit einem Muster in der gewünschten Form versehen, und anschließend wird das erhaltene Muster in ein Färbebad getaucht, wodurch ein gefärbtes Muster erhalten wird. Dieses Verfahren wird dreimal wiederholt, wodurch die gefärbten Schichten Rot (R), Grün (G) und Blau (B) erzeugt wurden.
  • Die offengelegte japanische Patentanmeldung Nr. 5-288913 beschreibt ein anderes Beispiel dieses Färbeverfahrens, das das Erzeugen einer lichtempfindlichen Schicht, das Belichten durch ein Muster, das Färben der unbelichteten Abschnitte und das anschließende Wiederholen dieses Prozesses umfaßt, wodurch ein Farbfilter mit den drei Farben R, G und B hergestellt wird.
  • Ein zweites Verfahren ist ein Pigmentdispersionsverfahren, das nun durch das vorstehend genannte Färbeverfahren abgelöst worden ist. Bei diesem Pigmentdispersionsverfahren wird zuerst eine lichtempfindliche Harzschicht, in der ein Pigment dispergiert ist, auf einem Substrat ausgebildet und danach wird diese Harzschicht mit einem Muster versehen, wodurch ein einfarbiges Muster geschaffen wird. Danach wird dieses Verfahren dreimal wiederholt, wodurch gefärbte Schichten mit den drei Farben R, G und B erzeugt werden.
  • Ein drittes Verfahren ist ein Elektroplattierverfahren. Dieses Verfahren umfaßt zuerst das Ausbilden von transparenten Elektroden als Muster auf einem Substrat und danach dessen Eintauchen in eine Lösung für das Beschichten durch Elektroplattieren, die ein Pigment, ein Harz, einen Elektrolyt und dergleichen enthält, wodurch eine erste Farbe elektrolytisch abgeschieden wird. Dieses Verfahren wird dreimal wiederholt, wodurch die in R, G und B gefärbten Schichten erzeugt werden, und im letzten Schritt werden diese Schichten gebrannt.
  • Ein viertes Verfahren ist ein Druckverfahren. Dieses Verfahren umfaßt das Dispergieren eines Pigments in einem wärmehärtenden Harz, das dreimalige Wiederholen eines Druckverfahrens, wodurch mit den Farben R, G und B beschichtet wird, und danach das Wärmehärten der gefärbten Harzschichten, wodurch gefärbte Schichten erzeugt werden. Bei jedem dieser Verfahren wird auf den gefärbten Schichten gewöhnlich eine Schutzschicht erzeugt.
  • Ein Punkt, der diesen Verfahren gemeinsam ist, besteht darin, daß ein ähnliches Verfahren dreimal wiederholt werden muß, um die drei Farben R, G und B zu erhalten, wodurch die Kosten steigen. Außerdem führen diese Verfahren, die viele Schritte beinhalten, zu einer Beeinträchtigung der Ausbeute. Außerdem sind die Muster, die beim Elektroplattierverfahren erzeugt werden können, begrenzt, so daß es schwierig ist, dieses Verfahren mit der vorhandenen Technik bei einem TFT anzuwenden. Das Druckverfahren hat den Nachteil, daß die Auflösungseigenschaften und die Glätteeigenschaften schlecht sind und es somit für die Erzeugung eines Musters mit einem sehr geringen Abstand ungeeignet ist.
  • Um diese Nachteile zu beseitigen, wurden Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters durch die Verwendung eines Tintenstrahlsystems entwickelt, und diese Verfahren sind in den offengelegten japanischen Patentanmeldungen Nr. 59-75205, 63-235901 und 1-217320 beschrieben. Es wurde jedoch noch kein ausreichend zufriedenstellendes Verfahren erzielt.
  • JP-A-63294503 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters durch das Erzeugen einer zu färbenden färbbaren Schicht auf einem einen Filter erzeugenden Trägermaterial und selektives Ankleben von Farben durch ein Tintenstrahlverfahren an den gewünschten Stellen auf der Oberfläche dieser zu färbenden Schicht.
  • Danach diffundieren diese Farben in die zu färbenden Schichten.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Unter diesen Umständen besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines Farbfilters bei geringen Kosten, bei dem die erforderlichen Eigenschaften, wie Wärmebeständigkeit, Lösungsmittelbeständigkeit und Auflösungseigenschaften, die durch ein herkömmliches Verfahren verliehen werden, erhalten bleiben, die Eignung für einen Tintenstrahl erreicht wird, und das Verfahren zu dessen Herstellung verkürzt ist; und eines Verfahrens zur Herstellung einer Flüssigkristalltafel, die mit dem vorstehend genannten Farbfilter ausgestattet ist. Insbesondere besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines sehr exakten und zuverlässigen Farbfilters für Flüssigkristalle, das das Mischen der Farben und das Auslassen von Farben verhindern kann, wenn Tintentropfen unter Verwendung eines Tintenstrahlsystems ausgestoßen werden, um die Anordnung der Färbemittel vorzunehmen.
  • Die vorstehend aufgeführten Aufgaben der Erfindung werden durch die Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 7 gelöst. Die Unteransprüche beziehen sich auf bevorzugte Ausführungsformen. Der im Anspruch 1 genannte Schritt des Härtens der Harzschicht durch Bestrahlen mit Licht oder Erwärmen kann auch durch eine Kombination aus Bestrahlen mit Licht und Erwärmen vorgenommen werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1A bis 1E zeigen ein Fließschema eines Verfahrens zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Farbfilters;
  • 2A bis 2E zeigen ein Fließschema eines Verfahrens zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Farbfilters;
  • 3 zeigt eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Flüssigkristalltafel;
  • 4 zeigt eine Schnittansicht einer weiteren erfindungsgemäßen Flüssigkristalltafel.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • 3 und 4 zeigen Schnittansichten von Farb-Flüssigkristalltafeln mit einem TFT, die den erfindungsgemäßen Farbfilter enthalten. Diese Ausführungsformen sind nicht einschränkend.
  • Die Farb-Flüssigkristalltafel kann gewöhnlich hergestellt werden, indem ein Farbfiltersubstrat 1 mit einem Glassubstrat 14 kombiniert wird und danach zwischen diesen eine Flüssigkristallverbindung 12 eingeschlossen wird. Auf der Innenseite des einen Substrats 14 der Flüssigkristalltafel sind ein TFT (nicht gezeigt) und transparente Bildelement-Elektroden 13 als Matrizen ausgebildet. Auf der Innenseite des Glassubstrats 1 ist ein Farbfilter 9 so angeordnet, daß die Farbmaterialien von R, G und B in eine zu den Bildelement-Elektroden entgegengesetzte Position gebracht werden, und über dem gesamten Farbfilter 9 ist eine transparente gemeinsame Elektrode 10 ausgebildet. Auf der Seite des Farbfiltersubstrats sind Schwarz-Matrizen ausgebildet (3), im Falle einer Flüssigkristalltafel vom Typ BM on-array werden sie jedoch auf der zum TFT zeigenden Seite des Substrats ausgebildet (4). Auf den Oberflächen beider Substrate werden außerdem Orientierungsschichten 11 ausgebildet und dann einer reibenden Behandlung unterzogen, damit sich die Flüssigkristallmoleküle in einer bestimmten Richtung anordnen. Außerdem haften polarisierende Platten 15 an den Außenseiten der entsprechenden Glassubstrate 1 und 14, und die Flüssigkristallverbindung 12 wird in den Zwischenraum (etwa 2 bis 5 um) zwischen diesen Glassubstraten eingefüllt. Als von hinten einfallendes Licht 16 wird gewöhnlich eine Kombination aus Fluoreszenzlampen (nicht gezeigt) und einer Streuplatte (nicht gezeigt) verwendet, und die Anzeige erfolgt unter Verwendung der Flüssigkristallverbindung als Lichtschalter, um die Durchlässigkeit für das von hinten einfallende Licht zu verändern. Die Bezugsziffer 2 ist eine Schwarz-Matrix, 3 ist eine Tintenempfangsschicht, 6 ist eine Schutzschicht, 7 sind gefärbte Abschnitte und 8 sind ungefärbte Abschnitte.
  • Beispiele der halogenierten Triazinverbindungen schließen Verbindungen ein, die mit der Formel (II) angegeben werden:
    Figure 00060001
    worin Z ein Halogenatom ist, Y CZ3 (Z ist ein Halogenatom), eine Phenylgruppe, eine halogenierte Phenylgruppe,
    Figure 00070001
    ist, worin R7 eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen ist, und wenn eine Gruppe zwei Reste R7 aufweist, können diese voneinander verschieden sein.
  • Die bevorzugten Beispiele der halogenierten Triazinverbindungen wirken als Photoinitiator, und sie sind vorzugsweise Verbindungen, bei denen eine Trichlormethylgruppe in den Triazinring eingeführt worden ist, wie bei den mit der vorstehend genannten Formel (II) angegebenen Verbindungen. Zu typischen Beispielen der halogenierten Triazinverbindungen gehören 2-(p-Methoxyphenyl)-4,6-bis(trichlormethyl)-s-triazin, 2-Styryl-4,6-bis(trichlormethyl)-2-triazin, 2-(p-Methylstyryl)-4,6-bis(trichlormethyl)-s-triazin und 2-Phenyl-4,6-bis(trichlormethyl)-s-triazin.
  • Zu den Diphenyliodoniumsalzderivaten gehören Verbindungen, die mit der Formel (III) angegeben werden:
    Figure 00080001
    worin R4 und R5 jeweils Wasserstoff, eine Alkoxygruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen oder eine t-Butylgruppe sind und X– BF4 –, PF4 –, SbF6 – oder CF3SO3 ist.
  • Die bevorzugten Beispiele der Diphenyliodoniumsalzderivate wirken als Photoinitiator, und zu typischen Beispielen dafür gehören Diphenyliodoniumhexafluorantimonat, Diphenyliodoniumtetrafluorborat, Diphenyliodoniumhexafluorphosphat, Diphenyliodoniumtriflat und deren Derivate. Es muß nicht erwähnt werden, daß diese nicht einschränkend sind.
  • Zu den Triphenylsulfoniumsalzderivaten gehören Verbindungen, die mit der Formel (IV) angegeben werden:
    Figure 00080002
    worin R6 Wasserstoff, eine Alkylgruppe oder eine Alkoxygruppe mit jeweils 1 bis 5 Kohlenstoffatomen,
    Figure 00090001
    oder Fluor ist und X wie vorstehend definiert ist.
  • Die bevorzugten Beispiele der Triphenylsulfoniumsalzderivate wirken als Photoinitiator, und zu typischen Beispielen dafür gehören Triphenylsulfoniumhexafluorantimonat, Triphenylsulfoniumtetrafluorborat, Triphenylsulfoniumhexafluorphosphat, Triphenylsulfoniumtriflat und deren Derivate. Es muß nicht erwähnt werden, daß diese nicht einschränkend sind.
  • 1A zeigt ein Glassubstrat, auf dem Schwarz-Matrizen vorliegen, die Schattierungsabschnitte 2 darstellen. Zuerst wird das mit den Schwarz-Matrizen versehene Substrat mit einer Zusammensetzung beschichtet, bei der die Tintenaufnahmefähigkeit der mit Licht bestrahlten Abschnitte durch das Bestrahlen mit Licht oder eine Kombination aus Bestrahlen mit Licht und Wärmebehandlung verbessert werden kann, und falls erforderlich wird dann das Vortrocknen vorgenommen, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wird (1B).
  • Bei der Erzeugung der Schicht aus dieser Zusammensetzung kann ein Beschichtungsverfahren, wie das Schleuderbeschichten, das Walzenbeschichten, das Rakelbeschichten, das Sprühbeschichten oder das Tauchbeschichten, angewendet werden, und diese Beschichtungsmaßnahme ist nicht besonders begrenzt. In diesem Fall kann der Schicht aus der Zusammensetzung eine Verbindung, wie Perylen, Anthracen oder Phenothiazin, als Sensibilisierungsmittel zugesetzt werden.
  • Danach wird von der Unterseite des Substrats mit Licht bestrahlt, und die Schicht aus der Zusammensetzung wird zu diesem Zeitpunkt durch die Schwarz-Matrizen als Maske in einem Muster belichtet, wodurch die Tintenaufnahmefähigkeit der belichteten Abschnitte der Schicht aus dieser Zusammensetzung verbessert wird (1C). Danach werden die Öffnungen, die die bestrahlten Abschnitte darstellen, unter Verwendung eines Tintenstrahlkopfes 5 mit den Farben R, G und B gefärbt (1D), und die Tinten werden dann falls erforderlich getrocknet.
  • Um das Auslassen von Farben des Farbfilters zu verhindern, werden die Abschnitte der Schicht aus der Zusammensetzung, die eine größere Fläche als die Öffnungen der Schwarz-Matrizen aufweisen, vorzugsweise gefärbt, und für dieses Färben müssen die Abschnitte der Schicht aus der Zusammensetzung, die eine größere Fläche als die Schwarz-Matrizen als Maske haben, an der Reaktion beteiligt sein. Für die Einleitung dieser Reaktion sind einige Maßnahmen wirksam, und es kann zum Beispiel beim Belichten Streulicht zum Bestrahlen verwendet werden, es kann mit einem hohen Energieüberschuß bestrahlt werden oder nach dem Belichten kann für lange Zeit eine Wärmbehandlung durchgeführt werden, damit sich die Reaktion ausbreitet. In dieser Ausführungsform ist das Beispiel beschrieben worden, bei dem das Belichten in einem Muster unter Verwendung von Schwarz-Matrizen als Maske durchgeführt wird, das Belichten in einem Muster kann jedoch unter Verwendung einer anderen Photomaske von der Oberseite der Schicht aus der Harzzusammensetzung erfolgen.
  • Die 2A bis 2E zeigen ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters für die Verwendung in einer Flüssigkristalltafel, bei der die Schwarz-Matrizen auf einem entgegengesetzten Substrat ausgebildet sind.
  • Das Verfahren, bei dem die Schwarz-Matrizen auf den gegenüberliegenden Substraten statt auf der Seite des Farbfilters vorgesehen sind, ist als ein Verfahren effektiv, um das Öffnungsverhältnis zu verbessern.
  • Das Glassubstrat 1, das in 2A gezeigt ist, wird mit einer Zusammensetzung beschichtet, bei der die Tintenaufnahmefähigkeit der Abschnitte, die mit Licht bestrahlt werden, durch das Bestrahlen mit Licht oder eine Kombination aus Bestrahlen mit Licht und Wärmebehandlung verbessert werden kann, und danach wird falls erforderlich das Vortrocknen durchgeführt, wodurch die Schicht 3 aus der Zusammensetzung erzeugt wird (2B).
  • Danach wird durch eine Photomaske 4 in einem Muster belichtet, um die Tintenaufnahmefähigkeit der belichteten Abschnitte der Schicht 3 aus der Zusammensetzung zu verbessern (2C), und diese belichteten Abschnitte der Schicht werden unter Verwendung eines Tintenstrahlkopfes 5 in den Farben R, G und B gefärbt (2D), danach wird falls erforderlich getrocknet. Um das Auslassen von Farben zu verhindern, ist es wichtig, daß die Breite der ungefärbten Gebiete 8 kleiner als die der Schwarz-Matrizen (nicht gezeigt) ist, die auf dem gegenüberliegenden Substrat vorgesehen sind.
  • Die Harzzusammensetzung für die Verwendung in der vorliegenden Erfindung, die tintenaufnahmefähig gemacht werden kann, hat selbst eine geringe Tintenaufnahmefähigkeit, kann jedoch durch Bestrahlen mit Licht und/oder eine Kombination aus Bestrahlen mit Licht und Wärmebehandlung unter bestimmten Bedingungen tintenaufnahmefähig gemacht werden. Es kann irgendein Harz verwendet werden, solange es unter bestimmten Bedingungen härten kann, und zu Beispielen des Harzes gehören ein Novolakharz, wie Cresol-Novolak, Polyparahydroxystyrol und dessen Derivate, bei denen eine Hydroxylgruppe mit einer Trimethylsilylgruppe blockiert ist, Cellulosederivate, wie Hydroxypropylcellulose, Hydroxyethylcellulose, Methylcellulose und Carboxymethylcellulose, bei denen eine Hydroxylgruppe mit einer Acetylgruppe verestert oder blockiert ist.
  • Zu geeigneten verwendbaren Beispielen des Photoinitiators, der die Reaktion mit Hilfe von Licht oder einer Kombination aus Licht und Wärme beschleunigen kann, gehören ein Oniumsalz, wie Triphenylsulfoniumhexafluorantimonat, eine halogenierte organische Verbindung, wie Trichlormethyltriazin, Naphthochinondiazid und deren Derivate.
  • Eine besonders bevorzugte Harzzusammensetzung, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, umfaßt mindestens (a) ein Acrylharz mit einer Struktureinheit, die mit der folgenden Formel (V) angegeben wird, und (b) eine Verbindung als Photoinitiator, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus halogenierten Triazinverbindungen, Diphenyliodoniumsalzderivaten und Triphenylsulfoniumsalzderivaten besteht:
    Figure 00120001
    worin R1 Wasserstoff oder eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen ist, R2 eine Alkylengruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen oder eine Phenylengruppe ist, R3 eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen, eine alkylsubstituierte Silylgruppe, eine Phenylgruppe oder ein substituierte aromatische Gruppe ist.
  • Das Acrylharz (a) mit einer mit der vorstehend genannten Formel (V) angegebenen Struktureinheit führt vorzugsweise zur Hydrolyse der Etherbindung durch die Kationen, die durch das Bestrahlen mit Licht vom Photoinitiator erzeugt werden, wodurch eine Hydroxylgruppe erzeugt wird. Typische Beispiele des Acrylharzes sind wie folgt:
    Figure 00130001
    Figure 00140001
    Figure 00150001
  • Das Molekulargewicht dieser Harze liegt vorzugsweise im Bereich von 102 bis 107. Die Verwendung dieser Harzart führt zu einem eindeutigen Unterschied der Tintenaufnahmefähigkeit zwischen einem bestrahlten Abschnitt und einem nicht bestrahlten Abschnitt, wodurch eine Farbvermischung der Tinten verhindert werden kann.
  • In bezug auf die Verbindung (b) vorteilhafte Beispiele von halogenierten Triazinverbindungen, von Diphenyliodoniumsalzderivaten und Triphenylsulfoniumsalzderivaten sind wie vorstehend definiert.
  • In Hinblick auf das Verhältnis zwischen den Verbindungen (a) und (b) liegt die Menge der Verbindung (b) im Bereich von 0,01 bis 10 Gew.-Teilen, vorzugsweise von 0,01 bis 5 Gew.-Teilen, bezogen auf 100 Gew.-Teile des Acrylharzes, das die Verbindung (a) darstellt.
  • In den belichteten Bereichen der Harzschicht, die diese Komponenten umfaßt, nimmt die Menge der Hydroxylgruppen im Verlauf der Reaktion zu, so daß diese Abschnitte Tinten leicht absorbieren. Wenn die Harzschicht gefärbt wird, kann folglich eine Farbvermischung der Tinten verhindert werden.
  • Um die Tintenaufnahmefähigkeit des Harzes zu verbessern, beträgt die Umwandlung in die hydrophile Gruppe bei diesem Harz vorzugsweise 30% oder mehr. Als Verfahren zur quantitativen Analyse dieser hydrophilen Gruppe ist die Spektralanalyse unter Anwendung von IR, NMR oder dergleichen wirksam.
  • Die Harzschicht, die diese Komponenten umfaßt, ist gegenüber Wärme, Wasser und dergleichen sehr beständig und kann einer hohen Temperatur und dem Waschen in den nachfolgenden Schritten ausreichend widerstehen.
  • Danach wird falls erforderlich eine Schutzschicht 6 erzeugt (1E und 2E), wodurch ein Farbfilter erhalten wird. Als Schutzschicht kann ein Harzmaterial vom photohärtenden Typ, vom wärmehärtenden Typ oder vom photo/wärmehärtenden Typ oder eine anorganische Schicht, die durch Bedampfen oder Zerstäuben erzeugt worden ist, verwendet werden. Als Schutzschicht kann folglich irgendein Material verwendet werden, sofern es die Transparenz des erhaltenen Farbfilters nicht beeinträchtigt und den nachfolgenden Schritten, wie dem Schritt der ITO-Erzeugung und dem Schritt der Erzeugung einer orientierten Schicht, ausreichend widerstehen kann.
  • Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand von Beispielen ausführlicher beschrieben. Der Begriff "%" steht für "Gew.-%", wenn es nicht anders angegeben ist.
  • Beispiel 1
  • 5 g Polyparahydroxystyrol mit einer mit einer Trimethylsilylgruppe geschützten Hydroxylgruppe und 0,5 g eines kationischen Photoinitiators (SP-170, von Adeca Co., Ltd. hergestellt) wurden in 250 g Ethylcellosolveacetat gelöst, wodurch eine Harzzusammensetzung hergestellt wurde, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann.
  • Ein Glassubstrat 1 wurde durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 1 μm mit der vorstehend genannten Harzzusammensetzung beschichtet, und danach wurde 15 Minuten bei 100°C vorgetrocknet. Anschließend wurde eine Gesamtbelichtung bei einer Belichtung mit 1,5 J/cm2 vorgenommen, und danach wurde das Infrarot-Absorptionsspektrum gemäß der Reflexionsmethode unter Verwendung von Fourier-Infrarot (FT-IR) (Micro FTIR-100, von Nippon Bunko Kogyo Co., Ltd. hergestellt) gemessen. Das so gemessene Infrarot-Absorptionsspektrum wurde mit dem Spektium vor dem Belichten verglichen, um die restlichen Hydroxylgruppen festzustellen. Dadurch wurde bestätigt, daß die restlichen Hydroxylgruppen im Vergleich zu den der Hydroxylgruppen vor dem Belichten auf 700% zugenommen hatten.
  • Danach wurde ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 2 μm mit der vorstehend genannten Harzzusammensetzung beschichtet, und danach wurde 15 Minuten bei 100°C vorgetrocknet.
  • Anschließend wurden Abschnitte der entstandenen Harzschicht auf den lichtdurchlässigen Abschnitten (die teilweise das Harz auf den Schwarz-Matrizen enthielten) bei einer Belichtung mit 1,5 J/cm2 durch eine Photomaske in einem Muster belichtet, die mit Öffnungen versehen war, deren Durchmesser größer als die Breite der lichtdurchlässigen Abschnitte war, wodurch die Harzschicht tintenaufnahmefähig wurde.
  • Außerdem wurden die tintenaufnahmefähigen Abschnitte der Harzschicht mit Farbtinten mit pH = 9 gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurden die Tinten 5 Minuten bei 90°C getrocknet. Anschließend wurde für 60 Minuten bei 200°C wärmebehandelt, wodurch die Harzschicht 3 gehärtet wurde.
  • Danach wurde die Harzschicht 3 durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 1 μm mit einem wärmehärtenden Zweikomponentenharz SS-7625 (von JSR hergestellt) als Schutzschicht 6 beschichtet, und es wurde eine 1-stündige Wärmebehandlung bei 230°C durchgeführt, um die Schutzschicht 6 zu härten.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Mit diesem Farbfilter wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 2
  • Ein Siliciumsubstrat wurde durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 1 μm mit einer wie in Beispiel 1 hergestellten Harzzusammensetzung beschichtet, und danach wurde 15 Minuten bei 100°C vorgetrocknet. Danach wurden eine Gesamtbelichtung bei einer Belichtung mit 1,5 J/cm2 und im Anschluß daran eine 1-minütige Wärmebehandlung auf einer Heizplatte bei 150°C vorgenommen. Anschließend wurden die restlichen Hydroxylgruppen vor und nach dem Belichten in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 verglichen, und als Ergebnis wurde bestätigt, daß die restlichen Hydroxylgruppen im Vergleich mit den Hydroxylgruppen vor dem Belichten auf 500% zugenommen hatten.
  • Danach wurde ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 2 μm mit der vorstehend genannten Harzzusammensetzung beschichtet, und anschließend wurde 15 Minuten bei 100°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wurde.
  • Im Anschluß daran wurden die Abschnitte der entstandenen Harzschicht auf den lichtdurchlässigen Abschnitten (die auf den Schwarz-Matrizen teilweise das Harz enthielten) bei einer Belichtung mit 1,5 J/cm2 durch eine Photomaske in einem Muster belichtet, die mit Öffnungen versehen war, deren Durchmesser größer als die Breite der lichtdurchlässigen Abschnitte war, dem folgte eine 1-minütige Wärmebehandlung auf einer Heizplatte bei 150°C, wodurch die Harzschicht tintenaufnahmefähig wurde.
  • Außerdem wurden die tintenaufnahmefähigen Abschnitte der Harzschicht mit Farbtinten mit pH = 9,5 gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurden die Tinten 5 Minuten bei 90°C getrocknet. Im Anschluß daran wurde für 1 Stunde eine Wärmebehandlung bei 200°C durchgeführt, um die Harzschicht 3 zu härten, und außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 auf der Harzschicht 3 eine Schutzschicht 6 erzeugt.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben oder das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war der Kontrast hoch, und es war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 3
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 durchgeführt, außer daß das Belichten von der Seite des Substrats 1 erfolgte, wobei die Schwarz-Matrizen als Photomaske ausgenutzt wurden, wie es in den 1A bis 1E gezeigt ist, wodurch ein Farbfilter hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 4
  • 5 g Cellulosetriacetat und 0,7 g 1-Naphthyl-bis-trichlormethyl-s-triazin wurden in 250 g Chloroform hergestellt, wodurch eine Harzzusammensetzung hergestellt wurde, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann.
  • Anschließend wurden die restlichen Hydroxylgruppen vor und nach dem Belichten in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 verglichen, und als Ergebnis wurde bestätigt, daß die restlichen Hydroxylgruppen nach dem Belichten im Vergleich mit den Hydroxylgruppen vor dem Belichten auf 500% zugenommen hatten.
  • Danach wurde ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, durch Walzenbeschichtung mit einer Schichtdicke von 2 μm mit der vorstehend genannten Harzzusammensetzung beschichtet, und anschließend wurde 20 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wurde.
  • Danach wurden die Abschnitte der entstandenen Harzschicht auf den lichtdurchlässigen Abschnitten (die auf den Schwarz-Matrizen teilweise das Harz enthielten) bei einer Belichtung mit 1 J/cm2 durch eine Photomaske in einem Muster belichtet, die mit Öffnungen versehen war, deren Durchmesser größer als die Breite der lichtdurchlässigen Abschnitte war, danach wurde die Harzschicht tintenaufnahmefähig gemacht.
  • Außerdem wurden die tintenaufnahmefähigen Abschnitte der Harzschicht mit Farbtinten mit pH = 8,5 gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurden die Tinten 5 Minuten bei 90°C getrocknet. Daraufhin wurde für 60 Minuten eine Wärmebehandlung bei 200°C durchgeführt, um die Harzschicht 3 zu härten.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 auf der Harzschicht 3 eine Schutzschicht 6 ausgebildet.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben oder das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 5
  • Bei der in Beispiel 4 hergestellten Harzzusammensetzung wurde die Menge der Hydroxylgruppen vor und nach dem Belichten in der gleichen Weise wie in Beispiel 2 verglichen, und als Ergebnis wurde bestätigt, daß die Menge der Hydroxylgruppen nach dem Belichten im Vergleich mit den Hydroxylgruppen vor dem Belichten auf 600% zugenommen hatte.
  • Danach wurde ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, durch Walzenbeschichtung mit einer Schichtdicke von 2 μm mit der vorstehend genannten Harzzusammensetzung beschichtet, und anschließend wurde 20 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erhalten wurde.
  • Im Anschluß daran wurden die Abschnitte der entstehenden Harzschicht auf den lichtdurchlässigen Abschnitten (die auf den Schwarz-Matrizen teilweise das Harz enthielten) bei einer Belichtung mit 1 J/cm2 durch eine Photomaske in einem Muster belichtet, die mit Öffnungen versehen war, deren Durchmesser größer als die Breite der lichtdurchlässigen Abschnitte war, danach wurde 1 Minute bei 150°C auf einer Heizplatte vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht tintenaufnahmefähig wurde.
  • Außerdem wurden die tintenaufnahmefähigen Abschnitte der Harzschicht mit Farbtinten mit pH = 9,3 gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurden die Tinten 5 Minuten bei 90°C getrocknet. Im Anschluß daran wurde eine Gesamtbelichtung vorgenommen, und danach wurde für 60 Minuten bei 200°C wärmebehandelt, um die Harzschicht 3 zu härten.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 2 auf der Harzschicht 3 eine Schutzschicht 6 erzeugt.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 6
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 5 durchgeführt, außer daß das Belichten von der Seite des Substrats 1 erfolgte, wobei die Schwarz-Matrizen als Photomaske ausgenutzt wurden, wie es in den 1A bis 1E gezeigt ist, wodurch ein Farbfilter hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Beispiel 7
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 5 durchgeführt, außer daß eine Pigmenttinte mit pH = 9,1 als Tinte verwendet wurde, wodurch ein Farbfilter hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen der Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 8
  • Ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, wurde durch Schleuderbeschichtung mit einer Schichtdicke von 2 μm mit einer Harzzusammensetzung beschichtet, die (a) 10 Gew.-Teile Polyphenoxyethylmethacrylat (Molekulargewicht = 12000) und (b) 0,5 Gew.-Teil einer halogenierten Triazinverbindung (Handelsbezeichnung TAZ-110 von Midori Chemical Co., Ltd. hergestellt) mit der Struktur
    Figure 00240001
    umfaßt, wie es in 1 gezeigt ist, und danach wurde 20 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wurde.
  • Im Anschluß daran wurde eine Gesamtbelichtung in einem Muster von der Seite des Substrats 1 vorgenommen, so daß die Abschnitte der Harzzusammensetzung auf den Schwarz-Matrizen 2 ebenfalls mit Licht bestrahlt werden konnten, und danach wurde für 60 Sekunden bei 110°C wärmebehandelt. Anschließend wurden die Öffnungen der Schicht 3 aus der Harzzusammensetzung mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurde für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C.
  • Dann wurde die Harzschicht 3 durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 1 μm mit einem wärmehärtenden Zweikomponentenharz (Handelsbezeichnung Optomer SS-6688, von Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. hergestellt) als Schutzschicht 6 beschichtet, und danach wurde 30 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch eine zweite Harzschicht erhalten wurde, darauf folgte eine Wärmebehandlung für 30 Minuten bei 230°C, um die zweite Harzschicht zu härten, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiele 9 bis 11
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 8 durchgeführt, außer daß jeweils die in Tabelle 1 gezeigte Zusammensetzung verwendet wurde, wodurch ein Farbfilter hergestellt wurde. Als Ergebnis konnte der gleiche Effekt wie in Beispiel 8 bestätigt werden.
  • Tabelle 1
    Figure 00260001
  • Beispiel 12
  • Ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, wurde durch Schleuderbeschichten mit einer Schichtdicke von 2 μm mit einer Harzzusammensetzung beschichtet, die (a) 10 Gew.-Teile Polyphenoxyethylmethacrylat (Molekulargewicht = 12000) und (b) 0,2 Gew.-Teil eines Diphenyliodoniumsalzes (Handelsbezeichnung DPI-105, von Midori Chemical Co., Ltd. hergestellt) mit der Formel
    Figure 00270001
    umfaßt, wie es in 1 gezeigt ist, und danach wurde 20 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wurde.
  • Danach wurde von der Seite des Substrats 1 eine Gesamtbelichtung in einem Muster vorgenommen, so daß die Abschnitte der Harzzusammensetzung auf den Schwarz-Matrizen 2 ebenfalls mit Licht bestrahlt werden konnten, und anschließend wurde für 60 Sekunden bei 110°C wärmebehandelt. Danach wurden die Öffnungen der Schicht aus der Harzzusammensetzung mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, dann wurde für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C wärmebehandelt.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 eine Schutzschicht 6 erzeugt, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt. Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiele 13 bis 15
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 12 durchgeführt, außer daß jede in Tabelle 2 gezeigte Zusammensetzung verwendet wurde, wodurch ein Farbfilter hergestellt wurde. Als Ergebnis konnte der gleiche Effekt wie in Beispiel 12 bestätigt werden.
  • Tabelle 2
    Figure 00280001
  • Beispiel 16
  • Ein Glassubstrat 1, auf dem Schwarz-Matrizen 2 ausgebildet worden waren, wurde durch Schleuderbeschichtung mit einer Schichtdicke von 2 μm mit einer Harzzusammensetzung beschichtet, die (a) 10 Gew.-Teile Polyphenoxyethylmethacrylat (Molekulargewicht = 12000) und (b) 0,2 Gew.-Teil eines Triphenylsulfoniumsalzes (Handelsbezeichnung TPS-105, von Midori Chemical Co., Ltd. hergestellt) mit der Formel
    Figure 00290001
    umfaßt, wie es in 1 gezeigt ist, und danach wurde 20 Minuten bei 90°C vorgetrocknet, wodurch die Harzschicht 3 erzeugt wurde.
  • Danach wurde von der Seite des Substrats 1 eine Gesamtbelichtung in einem Muster vorgenommen, so daß die Abschnitte der Harzzusammensetzung auf den Schwarz-Matrizen 2 ebenfalls mit Licht bestrahlt werden konnten, und anschließend wurde für 60 Sekunden bei 110°C wärmebehandelt. Danach wurden die Öffnungen in der Schicht aus der Harzzusammensetzung mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach folgte eine Wärmebehandlung für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 eine Schutzschicht 6 erzeugt, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 3 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiele 17 bis 19
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 16 durchgeführt, außer daß jede in Tabelle 3 gezeigte Zusammensetzung verwendet wurde, um einen Farbfilter herzustellen. Als Ergebnis konnte der gleiche Effekt wie in Beispiel 16 bestätigt werden.
  • Tabelle 3
    Figure 00300001
  • Figure 00310001
  • Beispiel 20
  • Ein Glassubstrat 1 wurde wie in 2 gezeigt mit einer Zusammensetzung wie in Beispiel 8 beschichtet, wodurch eine Schicht 3 aus der Harzzusammensetzung erzeugt wurde. Danach wurde von der Seite der Harzschicht 3 durch eine Photomaske 4 in einem Muster belichtet, um die Tintenaufnahmefähigkeit der belichteten Abschnitte des Harzes zu verbessern. Danach wurden die belichteten Abschnitte mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster aus R, G und B erhalten wurde, danach wurde für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C wärmebehandelt.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 eine Schutzschicht 6 erzeugt, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 4 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 21
  • Ein Glassubstrat 1 wurde wie in 2 gezeigt mit einer Zusammensetzung wie in Beispiel 12 beschichtet, wodurch eine Schicht 3 aus der Harzzusammensetzung erzeugt wurde. Danach wurde von der Seite der Harzschicht 3 durch eine Photomaske 4 in einem Muster belichtet, um die Tintenaufnahmefähigkeit der belichteten Abschnitte des Harzes zu verbessern. Danach wurden die belichteten Abschnitte mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, dann wurde für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C wärmebehandelt.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 eine Schutzschicht 6 erzeugt, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 4 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Beispiel 22
  • Ein Glassubstrat 1 wurde wie in 2 gezeigt mit einer Zusammensetzung wie in Beispiel 16 beschichtet, wodurch eine Schicht 3 aus der Harzzusammensetzung erzeugt wurde. Danach wurde von der Seite der Harzschicht 3 durch eine Photomaske 4 in einem Muster belichtet, um die Tintenaufnahmefähigkeit der belichteten Abschnitte des Harzes zu verbessern. Danach wurden die belichteten Abschnitte mit Farbtinten gefärbt, wobei ein Tintenstrahlkopf 5 verwendet wurde, wodurch ein Matrixmuster von R, G und B erhalten wurde, danach wurde für 5 Minuten bei 90°C und 30 Minuten bei 200°C wärmebehandelt.
  • Außerdem wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 8 eine Schutzschicht 6 erzeugt, wodurch ein Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige hergestellt wurde.
  • Der so hergestellte Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige wurde durch ein Lichtmikroskop beobachtet, und als Ergebnis wurden keine Mängel, wie das Mischen von Farben, ungleichmäßige Farben und das Auslassen von Farben, festgestellt.
  • Unter Verwendung dieses Farbfilters wurde die in 4 gezeigte Flüssigkristalltafel hergestellt, und wenn eine Vorrichtung unter Verwendung dieser Tafel arbeitete, war eine sehr genaue Farbanzeige möglich.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung können ein sehr zuverlässiger Farbfilter für eine Flüssigkristallanzeige, der frei von Mängeln, wie dem Mischen von Farben, ungleichmäßigen Farben und dem Auslassen von Farben, ist und eine Flüssigkristalltafel bereitgestellt werden, die eine sehr genaue Farbanzeige ermöglicht.

Claims (8)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Farbfilters, bei dem in einem ersten Schritt eine durch Tintenstrahldrucken zu färbende Harzschicht (3) auf einem Substrat (1) ausgebildet wird, wobei das Verfahren durch die weiteren Schritte gekennzeichnet ist: – Verbessern der Tintenaufnahmefähigkeit der Abschnitte (7) der Harzschicht (3) zwischen benachbarten Gebieten (8) der Harzschicht (3), indem diese Gebiete (7) einer Lichtbestrahlung oder der Kombination einer Lichtbestrahlung und einer Wärmebehandlung ausgesetzt werden; – Aufbringen einer Vielzahl von Färbemitteln mit unterschiedlichen Farben auf die in dem Beleuchtungsschritt beleuchteten Flächen (7) unter Verwendung eines Tintenstrahldrucksystems, um ein Muster aus einer Vielzahl von Farben zu bilden; und – Härten der Harzschicht (3) durch Lichtbestrahlung oder Wärmebehandlung.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Schutzschicht (6) auf der Harzschicht (3) ausgebildet ist.
  3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei das Substrat (1) mit Schattenabschnitten (2) versehen ist, und die Gebiete (8) der Harzschicht (3) auf den Schattenabschnitten (2) angeordnet sind.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Breite der Gebiete (8) der Harzschicht (3) auf den Schattenabschnitten (2) kleiner als diejenige der Schattenabschnitte (2) ist.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Harzschicht (3) des ersten Schrittes zumindest aufweist (a) ein Acrylharz mit einer durch die folgende Formel (V) dargestellten strukturellen Einheit; und (b) eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt ist, die besteht aus halogenierten Triazinverbindungen, Diphenyliodsalzderivaten und Triphenylsulfoniumsalzderivaten besteht:
    Figure 00350001
    wobei R1 ein Wasserstoff oder eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen ist; R2 eine Alkylengruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen oder eine Phenylgruppe ist; und R3 eine Alkylgruppe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen, eine alkylsubstituierte Silylgruppe, eine Phenylgruppe oder eine substituierte aromatische Gruppe ist.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei die Verbindung (b) in einem Anteil im Bereich von 0,01 bis 10 Gewichtsanteilen pro 100 Gewichtsanteilen des Copolymers (a) vorhanden ist.
  7. Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristalltafel, aufweisend die Schritte: – Anordnen eines gemäß dem Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche hergestellten Farbfilters; – Anordnen eines zweiten Substrates in einer Position gegenüber dem Farbfilter; und – Einschließen einer Flüssigkristallzusammensetzung zwischen dem Farbfilter und dem zweiten Substrat.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei das zweite Substrat die Schattenabschnitte aufweist.
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Families Citing this family (87)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6686104B1 (en) * 1993-11-24 2004-02-03 Canon Kabushiki Kaisha Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel
DE69523351T2 (de) 1994-01-28 2002-05-02 Canon Kk Farbfilter, Verfahren zu seiner Herstellung, und Flüssigkristalltafel
TW426806B (en) * 1994-05-18 2001-03-21 Toshiba Corp Fabricating method of liquid crystal display apparatus
JP3014923B2 (ja) * 1994-06-24 2000-02-28 キヤノン株式会社 カラーフィルターおよびその製造方法ならびにそのフィルターを用いた液晶表示装置
JPH08227011A (ja) * 1994-09-30 1996-09-03 Canon Inc カラーフィルタ、その製造方法、液晶パネル、及びこれを備えた情報処理装置
US5736278A (en) * 1995-06-20 1998-04-07 Canon Kabushiki Kaisha Color filter having light screening resin layer and filter resin layer
JP3133949B2 (ja) 1995-08-25 2001-02-13 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JPH09171953A (ja) * 1995-12-20 1997-06-30 Sony Corp 基板加熱装置、基板加熱方法および半導体集積回路装置、フォトマスクならびに液晶表示装置
CN1529350A (zh) * 1996-05-15 2004-09-15 精工爱普生株式会社 薄膜场效应晶体管的制造方法
US20020075422A1 (en) * 1996-09-19 2002-06-20 Seiko Epson Corporation Matrix type display device and manufacturing method thereof
CN100485904C (zh) * 1996-09-19 2009-05-06 精工爱普生株式会社 矩阵式显示元件及其制造方法
US5956487A (en) * 1996-10-25 1999-09-21 Hewlett-Packard Company Embedding web access mechanism in an appliance for user interface functions including a web server and web browser
CN1124501C (zh) * 1996-10-30 2003-10-15 精工爱普生株式会社 滤色片及其制造方法
JP3899566B2 (ja) * 1996-11-25 2007-03-28 セイコーエプソン株式会社 有機ｅｌ表示装置の製造方法
JP3106110B2 (ja) * 1997-03-17 2000-11-06 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び表示装置の製造方法
JP3302296B2 (ja) * 1997-05-30 2002-07-15 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法
US5948577A (en) * 1997-06-02 1999-09-07 Canon Kabushiki Kaisha Color filter substrate, liquid crystal display device using the same and method of manufacturing color filter substrate
JPH10332925A (ja) * 1997-06-02 1998-12-18 Canon Inc カラーフィルタ基板とその製造方法、該基板を用いた液晶素子
JPH112716A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Canon Inc カラーフィルタ、これを用いた液晶素子及びこれらの製造方法、並びに該製造方法に用いられるインクジェット用インク
EP1376229B1 (de) 1997-08-08 2010-10-13 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Lithographieplatte und Verfahren zu derer Herstellung
JP3332822B2 (ja) * 1997-09-05 2002-10-07 キヤノン株式会社 カラーフィルタ基板の製造方法
JP3559697B2 (ja) * 1997-12-01 2004-09-02 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP2000009916A (ja) 1998-06-18 2000-01-14 Canon Inc カラーフィルタ、液晶パネル、コンピュータ及びカラーフィルタの製造方法
GB9824818D0 (en) * 1998-11-12 1999-01-06 Zeneca Ltd Composition,process and use
KR100504253B1 (ko) * 1998-12-21 2005-07-27 세이코 엡슨 가부시키가이샤 컬러필터 및 그 제조방법
US6630274B1 (en) * 1998-12-21 2003-10-07 Seiko Epson Corporation Color filter and manufacturing method therefor
US6309783B1 (en) 1998-12-22 2001-10-30 Canon Kabushiki Kaisha Color filter and method of manufacturing the same
JP2000189880A (ja) 1998-12-28 2000-07-11 Canon Inc 塗布方法および装置ならびにカラ―フィルタの製造方法
JP4377984B2 (ja) 1999-03-10 2009-12-02 キヤノン株式会社 カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
US6221543B1 (en) 1999-05-14 2001-04-24 3M Innovatives Properties Process for making active substrates for color displays
US6501527B1 (en) 1999-07-29 2002-12-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal elemental device, production process thereof and spacer-bearing substrate
US6245469B1 (en) 1999-09-09 2001-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Manufacturing method for color filter and liquid crystal element using color filter manufactured thereby
US6677243B2 (en) 2000-06-02 2004-01-13 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing optical element
JP2002169291A (ja) 2000-12-04 2002-06-14 Canon Inc 感光性樹脂組成物、レジスト組成物、パターン形成方法およびデバイス
WO2002099477A1 (en) * 2001-06-01 2002-12-12 Seiko Epson Corporation Color filter and electro-optical device
EP1271243A3 (de) * 2001-06-19 2003-10-15 Fuji Photo Film Co., Ltd. Bilderzeugungsmaterial, Farbfilteroriginalschablone und Farbfilter
DE60309762T2 (de) * 2002-02-19 2007-09-13 Canon K.K. Herstellungsverfahren für einen Verlaufsgraufilter, Blende mit Verlaufsgraufilter und photographischer Apparat mit dieser Blende
JP2003288030A (ja) * 2002-03-27 2003-10-10 Seiko Epson Corp 電気光学装置とその製造方法及びデバイス並びに電子機器
JP2004212814A (ja) * 2003-01-07 2004-07-29 Sharp Corp カラーフィルタ製造方法、カラーフィルタ、及び表示装置
US7514149B2 (en) * 2003-04-04 2009-04-07 Corning Incorporated High-strength laminated sheet for optical applications
KR100585094B1 (ko) * 2003-06-26 2006-05-30 삼성전자주식회사 멀티미디어 시스템에서의 효율적인 데이터 저장/재생 방법및 장치
JP2005118769A (ja) * 2003-10-15 2005-05-12 Rohm & Haas Electronic Materials Llc パターン形成
US20050164122A1 (en) * 2004-01-26 2005-07-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Chemically amplified resist and pattern formation method
US7011529B2 (en) * 2004-03-01 2006-03-14 Anritsu Company Hermetic glass bead assembly having high frequency compensation
US20050253917A1 (en) * 2004-05-13 2005-11-17 Quanyuan Shang Method for forming color filters in flat panel displays by inkjetting
US20050255253A1 (en) * 2004-05-13 2005-11-17 White John M Apparatus and methods for curing ink on a substrate using an electron beam
JP4480141B2 (ja) * 2004-06-28 2010-06-16 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
US20070042113A1 (en) * 2004-11-04 2007-02-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays using pattern data
US20060109296A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Bassam Shamoun Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays
US7556334B2 (en) * 2004-11-04 2009-07-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for aligning print heads
US20060092218A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing
US20060093751A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-04 Applied Materials, Inc. System and methods for inkjet printing for flat panel displays
US7413272B2 (en) * 2004-11-04 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for precision control of print head assemblies
TWI294529B (en) * 2004-12-22 2008-03-11 Ind Tech Res Inst Method of forming micro pattern
US20060159843A1 (en) * 2005-01-18 2006-07-20 Applied Materials, Inc. Method of substrate treatment for manufacturing of color filters by inkjet printing systems
US20060185587A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-24 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for reducing ink conglomerates during inkjet printing for flat panel display manufacturing
TWI292069B (en) * 2005-05-27 2008-01-01 Au Optronics Corp Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
US20070015847A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-18 Applied Materials, Inc. Red printing ink for color filter applications
US7544723B2 (en) * 2005-07-15 2009-06-09 Applied Materials, Inc. Blue printing ink for color filter applications
US7460267B2 (en) * 2005-07-15 2008-12-02 Applied Materials, Inc. Green printing ink for color filter applications
TWI318685B (en) * 2005-07-28 2009-12-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for concurrent inkjet printing and defect inspection
US20070065571A1 (en) * 2005-09-19 2007-03-22 Applied Materials. Inc. Method and apparatus for manufacturing a pixel matrix of a color filter for a flat panel display
US20070070132A1 (en) * 2005-09-27 2007-03-29 Fan-Cheung Sze Inkjet delivery module
US20070076040A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration
US20070068560A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Quanyuan Shang Methods and apparatus for inkjet print head cleaning
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
US20080018677A1 (en) * 2005-09-29 2008-01-24 White John M Methods and apparatus for inkjet print head cleaning using an inflatable bladder
US7611217B2 (en) * 2005-09-29 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and systems for inkjet drop positioning
TWI338189B (en) * 2006-01-13 2011-03-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Substrate structure and method of manufacturing thin film pattern layer using the same
JP2007298950A (ja) 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc カラーフィルタのムラ不整を低減するための方法及び装置
KR20070081303A (ko) * 2006-02-10 2007-08-16 삼성전자주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
JPWO2007125917A1 (ja) * 2006-04-24 2009-09-10 東洋インキ製造株式会社 非水性インクジェットインキ、インクジェット記録用インク組成物、及びカラーフィルター基板
US20070256709A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-08 Quanyuan Shang Methods and apparatus for operating an inkjet printing system
US20070263026A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-15 Quanyuan Shang Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures
US20070252863A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-01 Lizhong Sun Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures with spray mechanisms
US20080024532A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Si-Kyoung Kim Methods and apparatus for inkjet printing system maintenance
WO2008013902A2 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for improved manufacturing of color filters
US20080204501A1 (en) * 2006-12-01 2008-08-28 Shinichi Kurita Inkjet print head pressure regulator
JP2010519599A (ja) 2007-02-27 2010-06-03 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 耐亀裂性が改良されたナノコンポジット構造を備えた輝度向上フィルム
US7857413B2 (en) 2007-03-01 2010-12-28 Applied Materials, Inc. Systems and methods for controlling and testing jetting stability in inkjet print heads
US20080221291A1 (en) * 2007-03-07 2008-09-11 3M Innovative Properties Company Microstructured optical films comprising biphenyl difunctional monomers
JP2010520938A (ja) * 2007-03-09 2010-06-17 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー ビフェニル二官能性モノマーを含む微細構造化光学フィルム
KR101494026B1 (ko) 2007-03-09 2015-02-16 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 미세구조화 광학 필름에 적합한 트라이페닐 단량체
US7637587B2 (en) * 2007-08-29 2009-12-29 Applied Materials, Inc. System and method for reliability testing and troubleshooting inkjet printers
US20090141218A1 (en) * 2007-10-26 2009-06-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for curing pixel matrix filter materials
US20090284698A1 (en) * 2008-05-16 2009-11-19 Mi-Kyoung Kim Ink composition, color filter manufactured by using the same, and display device comprising the same
CN102707352A (zh) * 2011-04-19 2012-10-03 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤光片和彩色滤光片的制造方法

Family Cites Families (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3649268A (en) * 1969-02-05 1972-03-14 Du Pont Process for forming images by photohardening and applying a colorant
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5936879B2 (ja) * 1977-10-14 1984-09-06 キヤノン株式会社 熱転写記録用媒体
US4330787A (en) * 1978-10-31 1982-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4345262A (en) * 1979-02-19 1982-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method
US4463359A (en) * 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4313124A (en) * 1979-05-18 1982-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording process and liquid jet recording head
US4418284A (en) * 1980-03-17 1983-11-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solid-state color-image sensor and process for fabricating the same
US4558333A (en) * 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
NL8105071A (nl) * 1981-11-10 1983-06-01 Philips Nv Kleurenbeeldopneeminrichting.
JPS5975205A (ja) * 1982-10-25 1984-04-27 Seiko Epson Corp カラ−フイルタの製造方法
JPS59123670A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc インクジエツトヘツド
JPS59138461A (ja) * 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
US4698113A (en) * 1983-08-11 1987-10-06 Matsushita Electric Method of curing photocurable and heat-curable compositions and a method of adhering members to each other by using them
JPS6071260A (ja) * 1983-09-28 1985-04-23 Erumu:Kk 記録装置
JPS6177014A (ja) * 1984-09-25 1986-04-19 Seikosha Co Ltd カラ−フイルタの製造方法
US4808501A (en) * 1985-10-15 1989-02-28 Polaroid Corporation, Patent Dept. Method for manufacturing an optical filter
JPS62124976A (ja) * 1985-11-26 1987-06-06 Canon Inc 被記録材
US4864324A (en) * 1986-08-13 1989-09-05 Canon Kabushiki Kaisha Color image forming method and ink used therefor
DE3752080T2 (de) * 1986-12-17 1998-01-22 Canon Kk Einrichtung, Verfahren und Gerät zur optischen Modulation
JP2739315B2 (ja) * 1987-01-23 1998-04-15 キヤノン株式会社 カラーフィルターおよびカラー液晶素子
JPS63235901A (ja) * 1987-03-24 1988-09-30 Fujitsu Ltd カラ−フイルタの形成方法
JPH0721562B2 (ja) * 1987-05-14 1995-03-08 凸版印刷株式会社 カラ−フイルタ
JPS63294503A (ja) * 1987-05-27 1988-12-01 Fujitsu Ltd カラ−フィルタの製造方法
JP2637469B2 (ja) * 1987-06-04 1997-08-06 キヤノン株式会社 高分子液晶素子
US4981614A (en) * 1987-09-21 1991-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Solid solution
JP2692833B2 (ja) * 1988-02-25 1997-12-17 株式会社東芝 液晶セルの製造方法
JPH01235903A (ja) * 1988-03-16 1989-09-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフイルターの製造方法
US5011623A (en) * 1988-07-20 1991-04-30 Canon Kabushiki Kaisha Nonlinear optical material and nonlinear optical device
JPH02158737A (ja) * 1988-10-31 1990-06-19 Internatl Business Mach Corp <Ibm> レリーフパターンの作成およびその用途
DE68916173T2 (de) * 1988-11-02 1994-11-10 Canon Kk Tintenstrahl-Aufzeichnungssystem und Aufzeichnungsverfahren unter Verwendung desselben.
DE68920702T2 (de) * 1988-11-10 1995-06-14 Toshiba Kawasaki Kk Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung, Farbfilter hierfür und Verfahren zur Herstellung des Farbfilters.
JPH02173703A (ja) * 1988-12-27 1990-07-05 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法
EP0380223A1 (de) * 1989-01-17 1990-08-01 Konica Corporation Farbfilter und sein Erzeugungsverfahren
JPH02228605A (ja) * 1989-02-28 1990-09-11 Fujitsu Ltd カラーフィルタの製造方法
GB8912486D0 (en) * 1989-05-31 1989-07-19 Kodak Ltd Method of making grid lines for thermally-transferred colour filter array element
JP2513902B2 (ja) * 1989-06-02 1996-07-10 東レ株式会社 表面多孔質フィルム
JPH0310220A (ja) * 1989-06-07 1991-01-17 Fujitsu Ltd 液晶表示装置
EP0571625B1 (de) * 1990-06-20 2001-06-06 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Farbfilter und dessen herstellungsverfahren
JP3172167B2 (ja) * 1990-07-12 2001-06-04 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置および電気光学装置の製造方法
EP0499642A4 (en) * 1990-08-31 1993-03-10 Idemitsu Kosan Limited Color filter, method of producing the same, color liquid crystal panel and method of driving the same
US5079214A (en) * 1990-10-11 1992-01-07 Eastman Kodak Company Patterned receiver for color filter array
JPH04317007A (ja) * 1991-04-16 1992-11-09 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
JPH04349401A (ja) * 1991-05-28 1992-12-03 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
JP2975173B2 (ja) * 1991-06-06 1999-11-10 日本化薬株式会社 カラーフイルターの保護膜用材料及びその硬化物
JP3084824B2 (ja) * 1991-09-19 2000-09-04 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ用電子写真感光体組成物およびそれを用いたカラーフィルタ用基板
US5250121A (en) * 1991-09-26 1993-10-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet textile printing ink and ink-jet textile printing process
US5418094A (en) * 1991-12-17 1995-05-23 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method for forming a light shielding pattern
JPH05173010A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Toray Ind Inc カラ−フィルタ
CA2087110A1 (en) * 1992-01-14 1993-07-15 Hiroshi Tsushima Method of forming color pattern
US5482803A (en) * 1992-02-07 1996-01-09 Canon Kabushiki Kaisha Process for preparing filter
JPH05232310A (ja) * 1992-02-21 1993-09-10 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法
JPH05288913A (ja) * 1992-04-10 1993-11-05 Konica Corp カラーフィルターの製造方法
WO1993024240A1 (en) * 1992-06-01 1993-12-09 Advanced Technology Incubator, Inc. Light influencing element for high resolution optical systems and method of making same
JP2803515B2 (ja) * 1993-02-04 1998-09-24 信越化学工業株式会社 染色ポリシランフィルムの製造方法
US5650251A (en) 1993-07-07 1997-07-22 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing color filter comprising an ultrasonic wave projected perpendicularly to the substrate
US5570120A (en) 1993-07-16 1996-10-29 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet recording method and color image forming method
US5340619A (en) * 1993-10-18 1994-08-23 Brewer Science, Inc. Method of manufacturing a color filter array
US5614007A (en) 1994-03-29 1997-03-25 Canon Kabushiki Kaisha Ink set, and method and apparatus for image formation employing the same
TW426806B (en) 1994-05-18 2001-03-21 Toshiba Corp Fabricating method of liquid crystal display apparatus
JP3376169B2 (ja) 1994-06-17 2003-02-10 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ

Also Published As

Publication number Publication date
ATE242889T1 (de) 2003-06-15
EP0942326B1 (de) 2003-06-11
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DE69435160D1 (de) 2008-12-11
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US6180294B1 (en) 2001-01-30
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EP0655647B1 (de) 2002-02-27
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KR0173149B1 (ko) 1999-03-20
TW417034B (en) 2001-01-01
EP0942326A1 (de) 1999-09-15
DE69432824D1 (de) 2003-07-17
EP0942327B1 (de) 2008-10-29
DE69429969T2 (de) 2002-08-29
DE69429969D1 (de) 2002-04-04

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