KR20070081303A - 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

양호한 콘트라스트비를 가지고, 컬러 필터의 색순도 및 색번짐 불량이 개선된 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 표시 장치의 제조 방법은 차광 패턴이 형성되어 있는 투명한 절연 기판 상에 포토레지스트막을 도포하는 단계와, 절연 기판의 배면으로부터 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 차광 패턴 위에 더미 격벽을 형성하는 단계, 및 차광 패턴 및 더미 격벽으로 둘러싸인 개구부에 컬러 필터용 잉크를 충진하는 단계를 포함한다.

콘트라스트비, 잉크젯 헤드, 컬러 필터, 색순도

Description

표시 장치 및 이의 제조 방법{Display device and method for fabricating the same}

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 액정 표시 장치의 분해 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 필터 표시판의 단면도이다.

도 3 내지 도 10은 도 2의 컬러 필터 표시판의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 컬러 필터 표시판의 단면도이다.

도 13 및 도 14는 도 12의 컬러 필터 표시판의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.

도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100: 컬러 필터 표시판 110: 제1 절연 기판

120: 차광 패턴 131: 더미 격벽

142: 컬러 필터 150: 오버코트층

160: 공통 전극 170: 배향막

200: 박막 트랜지스터 어레이 표시판 300: 액정층

400: 잉크젯 헤드 500: 액정 표시 장치

본 발명은 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 양호한 콘트라스트비를 가지고, 컬러 필터의 색순도 및 색번짐 불량이 개선된 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 변화하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 유기 EL 표시 장치(Electro Luminescent Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 등 여러가지 평판 표시 장치(Flat Panel Display)가 개발되어 다양한 분야에서 활용되고 있다.

액정 표시 장치나 유기 EL 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 화질이 우수하고, 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 갖기 때문에 몇몇 영역에서는 이미 브라운관을 대체하고 있다. 액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어진 액정 패널을 포함하며, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절한다. 또한 유기 EL 표시 장치는 형광성 유기 물질을 전기적으로 여기 발광시켜 화상을 표시한다.

이러한 액정 표시 장치와 유기 EL 표시 장치를 제조하기 위해서는 다양한 미 세 패터닝 공정이 수반되는데, 일반적으로 사용되는 패터닝 공정으로는 포토레지스트막을 사용하는 사진 식각 공정을 들 수 있다. 그러나 사진 식각 공정은 공정이 복잡하고, 비용이 많이 소요되기 때문에 이를 대체하기 위한 다양한 방법들이 연구되고 있다. 그 대표적인 예가 사진 공정 등이 전혀 필요치 않은 잉크젯 인쇄법이다.

잉크젯 인쇄법은 액정 표시 장치에서 컬러 필터를 형성하거나, 유기 EL 표시 장치에서 유기 발광층을 형성하는데에 적용될 수 있다.

그러나, 잉크젯 인쇄를 위해서는 잉크를 일정 시간 함유하기 위한 뱅크 형상의 구조물이 요구되는데, 이러한 뱅크 형상의 구조물을 형성하기 위해 추가적인 사진 식각 공정이 필요할 수 있다. 또한, 뱅크 형상의 구조물과 잉크의 상용성에 따라서는 잉크의 주변부의 평탄도가 불량하게 패터닝될 수 있다. 나아가, 액정 표시 장치용 컬러 필터를 형성할 경우, 뱅크 형상의 구조물의 높이가 높게 되면, 배향막의 평탄도에도 영향을 주게 되어, 콘트라스트비 저하 등과 같은 화질 저하를 유발할 수 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 양호한 콘트라스트비를 가지고, 컬러 필터의 색순도 및 색번짐 불량이 개선된 표시 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기한 바와 같은 표시 장치를 용이하게 제조하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으 며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 투명한 절연 기판 상에 격자 모양으로 형성되어 개구부를 정의하는 차광 패턴 및 상기 개구부 및 상기 차광 패턴의 주변부에 걸쳐 형성되어 있는 컬러 필터를 포함하되, 상기 차광 패턴과 오버랩된 영역의 상기 컬러 필터의 표면은 라운드져 있으며, 상기 차광 패턴과 오버랩되지 않은 영역의 상기 컬러 필터의 표면은 평탄하다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 차광 패턴이 형성되어 있는 투명한 절연 기판 상에 포토레지스트막을 도포하는 단계와, 상기 절연 기판의 배면으로부터 상기 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 상기 차광 패턴 위에 더미 격벽을 형성하는 단계, 및 상기 차광 패턴 및 상기 더미 격벽으로 둘러싸인 개구부에 컬러 필터용 잉크를 충진하는 단계를 포함한다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 차광 패턴이 형성되어 있는 투명한 절연 기판 상에 포토레지스트막을 도포하는 단계와, 상기 절연 기판의 배면으로부터 상기 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 상기 차광 패턴 위에 더미 격벽을 형성하는 단계와, 상기 차광 패턴 및 상기 더미 격벽으로 둘러싸인 개구부에 컬러 필터용 잉크를 충진하는 단계, 및 상기 절연 기판의 전면으로부터 상기 더미 격벽을 노광 및 현상하여 상기 더미 격벽을 제거하는 단계를 포함한다.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 따른 컬러 필터의 형성 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다. 이하에서 컬러 필터의 형성 방법은 표시 장치의 제조 방법과 함께 설명되며, 상기 표시 장치로는 액정 표시 장치가 예시될 것이다. 그러나, 이에 제한되는 것은 아니며, 유기 EL 표시 장치, 전계 방출 표시 장치, 플라즈마 표시 패널의 컬러층 형성시에도 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 액정 표시 장치의 분해 사시도이다.

도 1을 참조하면, 액정 표시 장치(500)는 컬러 필터 표시판(100), 컬러 필터 표시판(100)에 대향하는 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200) 및 이들 사이에 개재된 액정층(미도시)을 포함한다.

컬러 필터 기판(100)은 제1 절연 기판을 베이스 기판으로 하여 격자 모양으로 형성된 차광 패턴(120) 및 차광 패턴(120)에 의해 둘러싸여 있으며, 매트릭스 모양으로 형성된 컬러 필터(142)을 포함한다. 컬러 필터(142)은 예컨대, 적색 컬러 필터(142R), 녹색 컬러 필터(142G), 청색 컬러 필터(142B)가 교대로 배치되어 있으며, 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)의 화소 전극(182)에 대응하여 화소의 대부분을 덮고 있다. 각각의 컬러 필터(142)은 차광 패턴(120)에 의해 둘러싸여 있다. 차광 패턴(120)은 화소의 경계를 따라 배치되어, 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)의 게이트 라인(222) 및 데이터 라인(262)에 대응하도록 정렬되어 있다.

박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)은 제2 절연 기판(210)을 베이스 기판으로 하여, 제2 절연 기판(210) 상에 어레이된 다수개의 박막 트랜지스터(Q)를 포함한다. 박막 트랜지스터(Q)는 매트릭스 형상으로 배열되어 있는 각 화소별로 하나씩 배치되어 있다. 박막 트랜지스터(Q)의 제어단은 게이트 라인(222)으로부터 돌출되어 있는 게이트 전극(224)에 연결되어 게이트 신호를 제공받는다. 박막 트랜지스터(Q)의 입력단은 데이터 라인(262)으로부터 분지된 소오스 전극(265)에 연결되어 데이터 신호를 제공 받는다. 박막 트랜지스터(Q)의 출력단은 소오스 전극(265)과 이격되어 있는 드레인 전극(266)에 연결되어 있다. 드레인 전극(266)은 화소의 대부 분을 덮고 있는 화소 전극(282)과 연결되어 있으며, 박막 트랜지스터(Q)가 턴온된 경우 소오스 전극(265)으로부터 데이터 신호를 제공받아 화소 전극(282)에 전달한다.

게이트 전극(224)과 연결되어 있는 게이트 라인(222)은 인접하는 화소 전극(282)들 사이에서 제1 방향(행 방향)으로 연장되어 있으며, 소오스 전극(265)과 연결되어 있는 데이터 라인(262)은 게이트 라인(222)과 절연된 상태로, 인접하는 화소 전극(282)들 사이에서 제2 방향(열 방향)으로 연장되어 있다. 게이트 라인(222) 및 데이터 라인(262)은 박막 트랜지스터(Q)가 형성되어 있는 영역에서 서로 교차한다.

컬러 필터 표시판(100)과 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200) 사이에는 액정층이 개재하며, 실링재 등에 의해 접합되어 있다.

이하, 상기한 바와 같은 액정 표시 장치의 일 표시판으로 사용되는 컬러 필터 표시판의 단면 구조에 대해 도 2를 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 컬러 필터 표시판의 단면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 컬러 필터 표시판(101)의 베이스 기판은 투명한 제1 절연 기판(110)이다. 제1 절연 기판(110)으로는 투명한 유리, 투명한 플라스틱 또는 투명한 합성 수지판 등이 사용될 수 있으며, 이에 제한되지 않는다.

제1 절연 기판(110)의 위에는 차광 패턴(120)이 형성되어 있다. 차광 패턴(120)은 백라이트 또는 외부광을 차단하는 역할을 하며, 예컨대, 카본 블랙 또는 티타늄 옥사이드 등을 포함하는 유기 조성물로 이루어질 수 있다. 상기 유기 조성 물은 공정 단순화의 관점에서, 식각 공정이 필요하지 않도록 감광성 물질을 더 포함할 수도 있다. 그러나, 이에 제한되지 않으며, 크롬 등과 같은 불투명한 금속으로 이루어지거나, 불투명한 금속 및 유기물의 이중층으로 이루어질 수도 있다. 이와 같은 차광 패턴(120)은 소정 두께를 가지고 형성되어 컬러 필터가 위치하는 개구부를 제공한다.

차광 패턴(120) 위에는 더미 격벽(131)이 형성되어 있다. 더미 격벽(131)은 포토레지스트(photoresist)로 이루어질 수 있으며, 바람직하기로는 포지티브 타입(positive type)의 포토레지스트로 이루어진다.

더미 격벽(131)의 폭은 하부의 차광 패턴(120)의 폭보다 작을 수 있으며, 이 경우, 차광 패턴(120)은 더미 격벽(131)으로부터 일정 폭만큼 돌출하게 된다.

차광 패턴(120)과, 더미 격벽(131)은 개구부를 정의하게 되며, 개구부에는 컬러 필터(142)가 위치한다. 컬러 필터는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 등을 나타내는 색소 및 수지를 포함할 수 있다. 상기 수지로는 이에 제한되는 것은 아니지만, 카세인, 젤라틴, 폴리비니 알코올, 카복시메틸 아세탈, 폴리이미드 수지, 아크릴 수지, 멜라닌 수지 등이 사용될 수 있다.

한편, 컬러 필터(142)의 대부분의 영역은 제1 절연 기판(110) 위에 직접 위치하지만, 도 2의 점선으로 도시된 바와 같이 컬러 필터(142)의 에지부는 더미 격벽(131)으로부터 돌출되어 있는 차광 패턴(120)의 주변부 위에 위치하며, 컬러 필터(142)의 측부는 더미 격벽(131)에 맞닿아 있다. 여기서, 컬러 필터(142)의 중앙부를 포함하는 대부분의 영역은 표면이 평탄하지만, 더미 격벽(131)에 닿아 있는 주변부의 경우에는 더미 격벽(131)과의 상용성에 따라 표면이 라운드져 있다.

가령, 더미 격벽(131)과 컬러 필터(142)와의 상용성이 불량할 경우, 예컨대 더미 격벽(131)은 친수성 물질로 이루어지고 컬러 필터(142)는 소수성 물질로 이루어지는 경우 또는 그 반대의 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이 컬러 필터(142)와 더미 격벽(131)이 접촉하는 부위의 높이가 중앙부에 비해 낮으며, 컬러 필터(142)의 주변부는 볼록하게 라운드지게 된다. 반면, 더미 격벽(131)과 컬러 필터(142)와의 상용성이 우수할 경우, 예컨대 더미 격벽(131)과 컬러 필터(142)가 모두 친수성 물질로 이루어지거나, 모두 소수성 물질로 이루어진 경우에는 컬러 필터(142)와 더미 격벽(131)이 접촉하는 부위의 높이가 중앙부에 비해 높으며, 컬러 필터(142)의 주변부는 오목하게 라운드지게 된다. 이중 컬러 필터(142)의 주변부가 볼록하게 라운드진 구조가 컬러 필터(142) 중앙부의 평탄화 및 제조 공정상 더미 격벽(131)으로부터 잉크가 넘치는 것을 방지하는 차원에서 유리하다. 따라서 바람직하기로는, 컬러 필터(142)와 더미 격벽(131)의 상용성이 컬러 필터(142)와 차광 패턴(120)의 상용성보다 작을 수 있다.

컬러 필터(142)의 색순도나 색번짐 여부, 컬러 필터(142) 상에 위치하는 액정층의 배열 등을 정확하게 조절하기 위해서는 컬러 필터(142) 표면은 평탄한 것이 바람직하며, 이를 위해, 라운드진 컬러 필터(142)의 주변부는 액정 표시 장치의 화상 계조 표현에 기여하지 않는 차광 패턴(120) 상에 위치하는 것이 바람직하다. 상기 관점에서, 더미 격벽(131)으로부터 차광 패턴(120)은 충분한 폭만큼 돌출되는 것이 바람직하다. 하나의 예로서, 상기 돌출 폭(d)은 0.5㎛ 이상일 수 있으며, 더 욱 바람직하기로는 1㎛ 이상일 수 있다.

컬러 필터(142) 및 더미 격벽(131) 위에는 투명한 유기 물질 등으로 이루어진 오버코트층(150)이 형성되어 있다. 오버코트층은 하부 구조물의 단차에 따른 표면 단차를 완화하고 평탄화한다. 따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 오버코트층의 표면은 컬러 필터(142) 및 더미 격벽(131)으로 이루어진 단차에 비해 평탄도가 증가되어 있으며, 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 컬러 필터(142) 영역의 평탄도가 더욱 증가되어 있다.

오버코트층(150) 위에는 도전성 물질로 이루어진 공통 전극(160)이 형성되어 있다. 공통 전극(160) 위에는 폴리이미드 등으로 이루어진 배향막(170)이 형성되어 있다. 본 실시예의 변형예로서 공통 전극이 박막 트랜지스터 어레이 기판에 형성될 수 있으며, 이 경우 배향막은 오버코트층 위에 직접 형성됨은 물론이다.

이하, 상기한 바와 같은 액정 표시 장치의 컬러 필터 표시판의 제조 방법에 대해 설명한다.

도 3 내지 도 10은 도 2의 컬러 필터 표시판의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.

도 3을 참조하면, 유리 등으로 이루어진 투명한 제1 절연 기판(110) 상에 차광 패턴(120)을 형성한다. 여기서, 차광 패턴(120)은 본 기술 분야에 공지된 통상의 방법으로 형성될 수 있다. 즉, 예컨대, 차광 패턴(120)으로서 카본 블랙 또는 티타늄 옥사이드 등을 포함하는 유기 조성물을 사용하는 경우, 제1 절연 기판(110) 상에 이들을 도포한 다음 사진 식각 공정으로 패터닝한다. 유기 조성물이 감광 특 성을 갖는 물질을 포함하는 경우에는 노광 및 현상만으로 패터닝될 수 있음은 물론이다. 차광 패턴(120)으로서 크롬 등의 불투명 금속을 사용할 경우에는 제1 절연 기판(110) 상에 이들을 증착한 다음 사진 식각 공정을 수행하여 패터닝할 수 있다. 다른 방법으로서, 전사 롤러를 이용한 요판 인쇄법이 적용될 수도 있으며, 본 단계가 이상 예시된 방법들에 의해 제한되지 않음은 물론이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 이어서, 도 3의 결과물의 전면에 PAG(Photo Acid Generator)을 포함하는 포지티브 타입(positive type)의 포토레지스트막(130)을 도포한다.

이어서, 제1 절연 기판(110)의 배면으로부터 포토레지스트막(130)에 자외선을 비추어준다. 그러면, 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 포토레지스트막(130)의 영역(EA)은 노광되지만, 차광 패턴(120)과 오버랩된 포토레지스트막(130)의 영역(NEA)은 노광되지 않는다. 이때, 포토레지스트막(130)의 노광 영역(EA)에서는 PAG의 광반응에 의해 수소 이온이 발생하게 된다. 포토레지스트막(130)은 기본적으로 현상액에 용해되지 않지만, 상기 수소 이온에 의해 현상액에 용해가능한 구조로 변형된다. 또한, 노광 영역(EA)에 수소 이온이 더욱 많이 생성되면, 도 4의 확대도에 도시된 바와 같이, 노광 영역(EA)과 비노광 영역(NEA)의 경계면으로부터 비노광 영역(NEA) 방향으로 수소 이온에 의해 구조가 변형된 포토레지스트막(130)의 영역이 더욱 확대된다.

이어서, 도 4 및 도 5를 참조하면, 도 4의 결과물을 현상한다. 그러면, 노광 영역(NE)은 현상액에 용해되어 제거되며, 비노광 영역(NEA) 중에서도, 노광 영역 (EA)과의 경계면으로부터 수소 이온에 의해 구조가 변형된 포토레지스트막(130)의 영역은 함께 제거된다. 이로써, 차광 패턴(120)보다 좁은 폭을 갖는 더미 격벽(131)이 형성된다. 더미 격벽(131)은 차광 패턴(120)과 함께 컬러 필터(142)용 잉크가 충진되는 개구부(OA)를 정의하게 된다.

한편, 비노광 영역(NEA) 중에서 구조가 변형된 포토레지스트막(130)의 영역의 폭은 노광에 의해 생성되는 수소 이온의 농도에 비례하며, 노광에 의해 생성되는 수소 이온의 농도는 포토레지스트막(130)의 특성 및 포토레지스트막(130)의 단위 면적당 조사되는 자외선량에 의해 결정되는 노광 감도에 비례하게 된다. 따라서, 단위 면적당 조사되는 자외선의 양을 조절하게 되면, 수소 이온의 농도를 조절할 수 있으며, 잔류하는 영역인 더미 격벽(131)의 폭을 제어할 수 있다.

상기의 관점에서, 도 2에서 설명한 바와 같이 더미 격벽(131)에 대해 차광 패턴(120)의 돌출 정도를 증가시키기 위해서는 더미 격벽(131)의 폭을 좁게 하여야 하며, 이를 위해서는 노광 감도를 크게 하는 것이 바람직하다. 그러나, 노광 감도는 포토레지스트막(130)의 특성 및 노광 장비의 특성에 따라 한계가 있고, 노광 감도를 크게 하는 것은 공정 비용을 증가시킬 수 있으며, 과도하게 큰 노광 감도는 더미 격벽(131)을 잔류시키지 않을 수 있기 때문에, 이러한 조건들을 감안하여 적절하게 조절하도록 한다.

도 4 및 도 5의 단계로부터 더미 격벽(131)은 배면 노광 및 현상만으로 패터닝되기 때문에, 마스크를 이용하여 패터닝되는 경우에 비해 공정이 단순해지며 비용이 절감될 수 있다.

이어서, 도 5 및 도 6을 참조하면, 도 5의 결과물의 위쪽에 적어도 하나의 잉크젯 노즐(410)을 구비하는 잉크젯 프린트 헤드(400)를 위치시킨다.

이어서, 잉크젯 프린트 헤드(400)를 일정 방향으로 이동하면서, 노즐(410)을 통해 컬러 필터용 잉크(140)를 분사한다. 상기 분사되는 잉크(140)는 색소를 포함하며, 수지 및 용매를 더 포함할 수 있다.

여기서, 분사되는 잉크(140)의 양은 개구부(OA)를 채우되, 더미 격벽(131)을 넘지 않아야 하며, 이를 위해 상기 도 5에서의 더미 격벽(131)의 높이가 조절될 수 있음은 물론이다. 분사되는 잉크(140)의 양은 잉크젯 헤드(400)의 이동 속도, 잉크젯 헤드(400)의 진동 폭 및 진동 프리컨시에 의해 조절되며, 잉크젯 헤드(400)의 진동은 예컨대 잉크젯 헤드(400)에 인가되는 전압에 의해 제어될 수 있다.

상기 잉크(140)는 도 7에 도시된 바와 같이 목적으로 하는 컬러 필터(142)의 패턴에 따라 개구부(OA)에 선택적으로 분사되는데, 이러한 잉크 분사의 프리컨시도 전압의 조절에 의해 동시에 제어될 수 있다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 3개의 개구부(OA)당 하나씩 잉크(140)를 분사하는 경우, 첫번째 개구부(OA)를 지날 때, 잉크젯 헤드(400)를 진동시켜 첫번째 개구부(OA)를 충진한 다음, 2번째 및 3번째의 개구부(OA)를 지나는 동안 진동을 멈추었다가 다시 4번째 개구부(OA)에 이르면 잉크젯 헤드(400)를 진동시켜 4번째 개구부(OA)를 충진한다. 한편, 도 7의 단면도에서는 표시되지 않았지만, 잉크젯 헤드(10)가 다수개의 노즐(410)을 구비하는 경우, 잉크(140)가 다수개의 개구부(OA)에 동시에 분사될 수도 있음은 물론이다.

본 단계의 결과로서 개구부에 예컨대 적색의 컬러 필터용 잉크(141R)가 충진 된다.

마찬가지 방법으로, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 개구부(OA)에 녹색 및 청색의 컬러 필터용 잉크(141G, 141B)를 충진한다. 도 9에서는 적색, 녹색 및 청색의 잉크(141R, 141G, 141B)의 두께가 동일하게 도시되어 있지만, 색순도의 조절을 위해 미세한 범위 내에서 이들의 두께는 서로 다르게 조절될 수도 있다.

한편, 더미 격벽(131)을 소수성인 것으로 가정하고, 개구부(OA)에 충진되는 컬러 필터용 잉크(141)를 친수성인 것으로 가정하면, 개구부(OA)에 충진되는 잉크(141)는 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 더미 격벽(131)에 접촉하는 영역인 주변부가 볼록하게 라운드져 있으며, 중앙부는 평탄한 프로파일을 갖는다. 그러나, 더미 격벽(131) 아래의 차광 패턴(120)이 더미 격벽(131)으로부터 돌출되어 있기 때문에, 차광 패턴(120)에 오버랩되지 않은 영역에서의 잉크(141)의 표면은 평탄하거나, 또는 라운드진 영역이 상대적으로 감소되어 있다.

이어서, 도 9 및 도 10을 참조하면, 도 9의 결과물을 건조시킨다. 상기 건조를 위해 본 단계는 열처리 단계를 포함할 수 있다. 그러면, 잉크(141)의 용매가 증발하여 높이가 낮아지게 되며, 그 결과 색소 및 수지를 포함하는 고상의 컬러 필터(142R, 142G, 142B)가 형성된다. 이때, 차광 패턴(120)에 오버랩되지 않은 영역에서의 컬러 필터(142)의 표면을 평탄하게 하기 위해서는 잔류되는 컬러 필터(142)의 두께가 차광 패턴(120)의 두께보다 커서 컬러 필터(142)의 측벽이 더미 격벽(131)에 접촉하는 것이 바람직하다. 컬러 필터(142)의 두께는 분사되는 잉크(140)에 함유된 용매의 함량, 분사되는 잉크(140)의 총량에 의해 제어될 수 있음은 물론이다.

이로써, 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 영역에서의 표면 평탄도가 증가된 컬러 필터(142)가 완성된다. 도 5 내지 도 9의 단계에서는 복잡한 공정이 요구되는 사진 식각 공정 또는 노광 현상 공정을 이용하지 않고, 잉크젯 프린팅에 의해 컬러 필터가 패터닝되기 때문에 공정 효율이 개선될 수 있다.

계속해서, 도 10의 결과물의 전면에 투명한 유기 물질을 도포하고, 도전성 물질을 증착한 다음, 폴리이미드를 도포하여, 오버코트층(150), 공통 전극(160) 및 배향막(170)을 순차적으로 형성한다. 그 결과 도 2에 도시된 바와 같은 컬러 필터 표시판(101)이 완성된다. 도 2에서, 차광 패턴(120)에 오버랩되지 않은 컬러 필터(142) 영역 상의 오버코트층(150), 공통 전극(160) 및 배향막(170)은 평탄도가 증가되어 있음은 상술한 바와 같다.

상기한 바와 같은 방법으로 제조된 컬러 필터 표시판은 액정 표시 장치의 일 표시판으로 사용된다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면 구조에 대해 설명한다. 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 11을 참조하면, 액정 표시 장치(501)는 컬러 필터 표시판(101), 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200) 및 그 사이에 개재된 액정층(300)을 포함한다.

컬러 필터 표시판(101)은 상술한 도 2의 컬러 필터 표시판과 동일하므로, 중복 설명은 생략한다.

박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)은 본 기술 분야에서 공지된 다양한 구조를 가질 수 있다. 그 중 하나의 예를 들어, 단면 구조를 설명하면 도 11에 도시 된 바와 같이 제2 절연 기판(210) 상에 다수개의 게이트 전극(224)이 형성되어 있으며, 이들을 게이트 절연막(230)이 덮고 있다. 게이트 절연막(230) 위에는 게이트 전극(224)과 오버랩되도록 반도체층(240)이 위치하며, 그 위에는 소오스 전극(265) 및 이와 분리되어 있는 드레인 전극(266)이 형성되어 있다. 소오스 전극(265)과 반도체층(240) 사이에는 저항성 접촉층(255)이 형성되어 있고, 드레인 전극(266)과 반도체층(240) 사이에는 저항성 접촉층(256)이 형성되어 있다. 저항성 접촉층(255, 256)은 각각 분리되어 하부의 반도체층(240)을 노출한다. 소오스 전극(265) 및 드레인 전극(266)은 보호막(270)이 덮고 있으며, 보호막(270)에는 드레인 전극(266)을 드러내는 콘택홀(276)이 형성되어 있다. 보호막(270) 위에는 화소 전극(282)이 형성되어 있으며, 콘택홀(276)을 통하여 드레인 전극(266)과 연결되어 있다. 화소 전극(282) 위에는 배향막(290)이 형성되어 있다.

컬러 필터 표시판(101) 및 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)은 서로 대향 배치되어 있으며, 이들 사이에는 액정 분자(310)가 개재되어 액정층(310)을 형성한다.

이와 같은 액정 표시 장치(501)에서는 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 영역에서 컬러 필터(142)의 표면이 평탄하여, 일정한 두께를 가지기 때문에 색순도가 개선될 수 있으며, 색번짐에 의해 시인되는 얼룩 불량 또한 방지될 수 있다.

한편, 액정 표시 장치(501)가 노멀리 블랙 모드이고 배향막(170, 290)이 수직 배향막일 경우, 액정 분자(310)는 배향막(170. 290)의 표면에 수직하게 초기 배향되어 블랙 휘도를 나타내게 된다. 여기서, 배향막의 표면이 평탄하지 않을 경우 액정 분자가 절연 기판(110, 210)을 기준으로 수직하게 초기 배향되지 않기 때문에, 완전한 블랙 휘도를 나타내지 못하여 콘트라스트비(Contrast Ratio; C/R)가 저하될 수 있지만, 도 11의 액정 표시 장치(501)의 경우에는 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 영역에서 오버코트층(150), 공통 전극(160) 및 배향막(170)의 평탄도가 증가되어 있기 때문에, 블랙 휘도를 나타내기에 유리하다. 따라서, 콘트라스트비가 개선될 수 있다.

계속해서, 도 11을 참조하면서, 상기한 바와 같은 액정 표시 장치의 제조 방법에 대해 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 컬러 필터 표시판을 제공하는 단계, 박막 트랜지스터 어레이 표시판을 제공하는 단계 및 액정층을 형성하는 단계를 포함한다.

컬러 필터 표시판(101)을 제공하는 단계는 도 2 및 도 3 내지 도 10의 단계와 동일하므로, 그 설명은 생략한다.

박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)은 본 기술 분야에서 공지된 다양한 방법으로 제공될 수 있다. 그 중 하나를 예시하면, 먼저, 투명한 제2 절연 기판(210) 상에 도전성 물질을 증착하고, 패터닝하여 게이트 전극(224)을 형성한다. 본 단계에서 게이트 라인도 함께 형성된다. 이어서, 질화 규소를 증착하여 게이트 절연막(230)을 형성한다. 이어서, 비정질 규소 및 도핑된 비정질 규소를 증착하고 패터닝하여, 반도체층(240) 및 도핑된 비정질 규소 패턴을 형성한다. 이어서, 도전성 물질을 증착하고 패터닝하여 소오스 전극(265) 및 이와 분리되어 있는 드레인 전극 (266)을 형성한다. 본 단계에서 데이터 라인도 함께 형성된다. 이어서, 소오스 전극(265)과 드레인 전극(266) 사이에 노출된 도핑된 비정질 규소 패턴을 식각하여 분리시켜 저항성 접촉층(255, 256)을 형성한다. 이어서, 질화 규소를 증착하여 보호막(270)을 형성하고, 이를 패터닝하여 드레인 전극(266)을 드러내는 콘택홀(276)을 형성한다. 이어서, 투명한 도전성 산화물을 증착하고 패터닝하여 화소 전극(282)을 형성한다. 이어서, 폴리이미드를 도포하여 배향막(270)을 형성한다. 이로써, 도 11에 도시된 바와 같은 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)이 완성된다.

본 실시예의 변형예로서, 다른 구조를 갖는 박막 트랜지스터 어레이 표시판이 제공될 수도 있음은 물론이다. 그에 대한 구체적인 구조 및 제조 방법에 대해서는 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 회피하기 위하여 설명을 생략하기로 한다.

이어서, 액정층(300)을 형성한다. 구체적으로 컬러 필터 표시판(101)과 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)을 대향 배치하고, 실런트 등을 이용하여 합착한 다음, 그 사이에 액정 분자(310)를 주입하고 밀봉함으로써 액정층(300)을 형성한다. 다른 방법으로서, 컬러 필터 표시판(101) 또는 박막 트랜지스터 어레이 표시판(200)에 액정 분자(310)을 적하한 다음 대향하는 표시판을 합착하고 밀봉함으로써 액정층(300)을 형성할 수도 있다. 이로써, 도 11에 도시된 바와 같은 액정 표시 장치(501)가 완성된다.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 컬러 필터 표시판의 단면 구조에 대해 설명한다. 본 실시예에서 도 2의 컬러 필터 표시판과 동일한 구조를 갖는 구성에 대해서는 그 설명을 생략하거나 간략화한다. 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따라 제조된 컬러 필터 표시판의 단면도이다.

도 12에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 컬러 필터 표시판(102)은 차광 패턴(120) 상에 더미 격벽이 형성되어 있지 않는 점이 도 2의 실시예에 따른 컬러 필터 표시판과 다르다. 아울러, 차광 패턴(120)과 컬러 필터(142)로 이어지는 오버코트층(150)의 하층 단차가 작기 때문에, 오버코트층(150)의 표면이 평탄도가 증가되어 있다. 따라서, 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 컬러 필터(142) 영역에서의 오버코트층(150)의 평탄도는 더욱 증가되어 있음을 알 수 있다.

계속해서 상기한 바와 같은 컬러 필터 표시판의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 13 및 도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 컬러 필터 표시판의 제조 방법의 공정 단계별 단면도들이다.

본 실시예에 따른 컬러 필터 표시판의 제조 방법에서, 컬러 필터를 완성하는 단계까지는 도 3 내지 도 9의 단계와 동일하다. 이어서, 도 13를 참조하면, 컬러 필터(142)가 형성된 기판(110)의 전면에 자외선을 비추어준다. 그러면, 포지티브 포토레지스트막으로 이루어진 더미 격벽(131)이 노광되어 PAG의 광반응에 의해 수소 이온이 발생하며, 더미 격벽(131)이 현상액에 용해 가능한 구조로 변형된다.

이어서, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 결과물을 현상하면 노광되었던 더미 격벽(131)이 제거된다.

본 실시예의 변형예로서 도 9의 단계 후에 자외선을 비추지 않고, 도 8의 단계 후에 자외선을 비추어줄 수도 있다. 즉, 컬러 필터용 잉크의 건조 단계 이전에 자외선을 비추어줌으로써, 더미 격벽을 제거할 수도 있다. 이때, 자외선의 조사에 따라 잉크가 건조될 수 있기 있으며, 이 경우 추가적인 건조 공정이 생략될 수 있다. 아울러, 컬러 필터용 잉크로서 네가티브 타입(negative type)의 수지 조성물을 사용함으로써, 노광 및 현상에 의해 포지티브 타입의 더미 격벽은 제거하고, 네가티브 타입의 컬러 필터용 잉크는 잔류하도록 할 수도 있다.

이어서 도 14의 결과물의 전면에 투명한 유기 물질을 도포하고, 도전성 물질을 증착한 다음, 폴리이미드를 도포하여, 오버코트층(150), 공통 전극(160) 및 배향막(170)을 순차적으로 형성한다. 그 결과 도 12에 도시된 바와 같은 컬러 필터 표시판(102)이 완성된다. 본 실시예에서는 기판을 전면 노광하는 것만으로 더미 격벽을 제거하여 평탄도를 더욱 증가시킬 수 있다.

도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다. 본 실시예에서 도 11의 액정 표시 장치와 동일한 구조에 대해서는 그 설명을 생략하거나 간략화한다.

도 15를 참조하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치(502)에서는 도 12의 컬러 필터 표시판(102)을 구비하는 점을 제외하고는 도 11의 액정 표시 장치와 동일한 구조를 갖는다. 즉, 차광 패턴(120) 상에 더미 격벽이 형성되어 있지 않으며, 차광 패턴(120)과 컬러 필터(142)로 이어지는 오버코트층(150)의 하층 단차가 작기 때문에, 오버코트층(150)의 표면이 평탄도가 증가되어 있다. 따라서, 도 15의 액정 표시 장치에서도 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 영역에서 컬러 필터의 표면이 평탄하여, 일정한 두께를 가지기 때문에 색순도가 개선될 수 있으며, 색번짐에 의해 시인되는 얼룩 불량 또한 방지될 수 있다. 또한, 차광 패턴(120)과 오버랩되지 않은 영역에서 오버코트층(150), 공통 전극(160) 및 배향막(170)의 평탄도가 더욱 증가되어 있기 때문에, 더욱 양호한 콘트라스트비를 가질 수 있다.

이와 같은 액정 표시 장치(502)의 제조 방법은 도 12 내지 도 14 및 도 11을 통해 용이하게 유추할 수 있을 것이므로 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명에 관한 보다 상세한 내용은 다음의 구체적인 실험예를 통하여 설명하며, 여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 설명을 생략한다.

<실험예>

가로×세로가 730㎜×920㎜이고 두께가 0.7㎜인 투명한 유리 기판(코닝사제, 제품명: 1737)에 수지 BM 물질(제일모직사제)을 도포한 다음, 노광 및 현상하여 15.0" XGA 패턴에 해당하는 차광 패턴을 형성하였다. 이때 형성되는 차광 패턴의 두께는 1.5㎛ 정도가 되도록 조절하였다.

이어서, 상기 유리 기판 상에 포지티브 포토레지스트막(클라리언트사제, 제품명: HKT601)을 3.0㎛ 두께로 도포한 다음, 건조하였다.

이어서, 유효파장이 254㎚인 저압수은등을 포함하는 자외선 조사장치(크린텍사제, 제품명: CT-2000PPM)를 이용하여 유리 기판에 자외선을 배면 조사하였다. 이때, 유리 기판의 단위 면적당 조사되는 UV 조사량이 500mJ이 되도록 조절하였다.

이어서, KOH 0.67% 수용액을 이용하여 상기 포토레지스트막을 현상하여 차광 패턴 상에 더미 격벽을 형성하였다.

이어서, 잉크젯 분사 장치(AKT사제)를 이용하여, 상기 차광 패턴 및 더미 격 벽으로 둘러싸인 개구부에 R/G/B 컬러 필터용 잉크(동진 쎄미켐사제)를 분사하여 R/G/B 착색층을 차례로 형성하였다. 이때, 상기 착색층의 두께는 각각 1.9~2.0um 정도가 되도록 조절하였다.

이어서, 유효파장이 254㎚인 저압수은등을 포함하는 자외선 조사장치(크린텍사제, 제품명: CT-2000PPM)를 이용하여 상기 결과물에 자외선을 전면 조사하였다. 이어서, 다시 KOH 수용액을 이용하여, 상기 더미 격벽을 제거하였다.

이어서, 상기 결과물을 230℃에서 30분간 베이킹하였다.

이어서, 상기 결과물에 투명오버코트제(JSR사제)를 막두께가 1.5㎛가 되도록 전면 도포하였다.

이어서, 상기 결과물을 230℃에서 30분간 다시 베이킹하였다. 　　

이어서, 상기 결과물에 스퍼터 장치(울박사제)를 이용하여 100℃에서 ITO를 전면 진공 증착하였다. 이때, 증착되는 ITO층은 두께가 1300Å이 되도록 조절하였다.

이어서, 상기 결과물에 폴리이미드를 전면 도포하였다. 그 결과 컬러 필터 표시판이 완성되었다.

이어서, 공지의 방법으로 제조된 박막 트랜지스터 어레이 기판을 준비하고, 상기 컬러 필터 표시판과 합착하였다.

이어서, 상기 컬러 필터 표시판 및 박막 트랜지스터 어레이 표시판 사이에 액정 분자를 주입한 다음 밀봉하여 15.0"XGA 액정 표시 장치를 제조하였다.

<비교실험예>

두께가 2.5㎛인 차광 패턴을 형성한 다음, 더미 격벽을 형성하지 않고, 곧바로 착색층을 형성하였으며, 착색층 형성 후에 자외선의 전면 조사를 수행하지 않은 것을 제외하고는 상기 실험예와 동일한 방법으로 액정 표시 장치를 제조하였다.

상기 실험예 및 비교 실험예에 의해 제조된 액정 표시 장치의 블랙 휘도 및 화이트 휘도를 측정하여 콘트라스트비를 조사하였다. 또한, 상기 액정 표시 장치의 컬러 필터를 현미경으로 관찰하여 색번짐 유무를 확인하였다. 또한, 컬러 필터를 육안으로 관찰하여 얼룩 유무를 확인하였다. 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.

표 1.

	실험예	비교실험예
콘트라스트비(C/R)	820 : 1	270 : 1
색번짐 유무	없음	있음
얼룩 유무	없음	있음

상기 표 1로부터 상기 실험예에 따른 액정 표시 장치는 콘트라스트비가 우수하고, 색번짐이나 얼룩 등의 불량이 시인되지 않음을 알 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들을 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치에 의하면, 차광 패턴과 오버랩되지 않은 영역에서 컬러 필터의 표면이 평탄하여, 일정한 두께를 가지 기 때문에 색순도가 개선될 수 있으며, 색번짐에 의해 시인되는 얼룩 불량 또한 방지될 뿐만 아니라 콘트라스트비가 개선될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 포지티브 포토레지스트막을 도포하고 배면 노광하는 것만으로 상기한 바와 같은 액정 표시 장치를 용이하게 제조할 수 있다.

Claims (19)

1. 투명한 절연 기판 상에 격자 모양으로 형성되어 개구부를 정의하는 차광 패턴; 및

   상기 개구부 및 상기 차광 패턴의 주변부에 걸쳐 형성되어 있는 컬러 필터를 포함하되,

   상기 차광 패턴과 오버랩된 영역의 상기 컬러 필터의 표면은 라운드져 있으며,

   상기 차광 패턴과 오버랩되지 않은 영역의 상기 컬러 필터의 표면은 평탄한 표시 장치.
2. 제1 항에 있어서,

   상기 차광 패턴 상에 형성된 더미 격벽을 더 포함하며,

   상기 컬러 필터의 측벽은 상기 더미 격벽의 측벽에 접하는 표시 장치.
3. 제2 항에 있어서,

   상기 차광 패턴은 상기 더미 격벽으로부터 적어도 0.5㎛ 돌출되어 있는 표시 장치.
4. 제2 항 또는 제3 항에 있어서,

   상기 컬러 필터와 상기 차광 패턴의 상용성은 상기 컬러 필터와 상기 더미 격벽의 상용성보다 큰 표시 장치.
5. 차광 패턴이 형성되어 있는 투명한 절연 기판 상에 포토레지스트막을 도포하는 단계;

   상기 절연 기판의 배면으로부터 상기 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 상기 차광 패턴 위에 더미 격벽을 형성하는 단계; 및

   상기 차광 패턴 및 상기 더미 격벽으로 둘러싸인 개구부에 컬러 필터용 잉크를 충진하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
6. 제5 항에 있어서,

   상기 포토레지스트막은 포지티브 타입의 포토레지스트막인 표시 장치의 제조 방법.
7. 제5 항에 있어서,

   상기 더미 격벽을 형성하는 단계는 노광 감도를 조절하여 상기 더미 격벽이 상기 차광 패턴보다 작은 폭으로 형성되는 단계인 표시 장치의 제조 방법.
8. 제7 항에 있어서,

   상기 더미 격벽은 상기 차광 패턴이 상기 더미 격벽으로부터 적어도 0.5㎛ 돌출되도록 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
9. 제5 항에 있어서,

   상기 컬러 필터용 잉크와 상기 차광 패턴의 상용성은 상기 컬러 필터용 잉크와 상기 더미 격벽의 상용성보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
10. 제5 항에 있어서,

    상기 잉크를 충진하는 단계는 잉크젯 헤드를 이용하여 상기 개구부에 상기 컬러 필터용 잉크를 분사하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
11. 제5 항에 있어서,

    상기 잉크를 충진하는 단계 후에,

    상기 결과물의 전면에 오버코트층을 도포하는 단계; 및

    상기 오버코트층 상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
12. 차광 패턴이 형성되어 있는 투명한 절연 기판 상에 포토레지스트막을 도포하는 단계;

    상기 절연 기판의 배면으로부터 상기 포토레지스트막을 노광 및 현상하여 상기 차광 패턴 위에 더미 격벽을 형성하는 단계;

    상기 차광 패턴 및 상기 더미 격벽으로 둘러싸인 개구부에 컬러 필터용 잉크를 충진하는 단계; 및

    상기 절연 기판의 전면으로부터 상기 더미 격벽을 노광 및 현상하여 상기 더미 격벽을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
13. 제12 항에 있어서,

    상기 포토레지스트막은 포지티브 타입의 포토레지스트막인 표시 장치의 제조 방법.
14. 제12 항에 있어서,

    상기 컬러 필터용 잉크는 네가티브 타입의 감광성 수지 조성물을 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
15. 제12 항에 있어서,

    상기 더미 격벽을 형성하는 단계는 노광 감도를 조절하여 상기 더미 격벽이 상기 차광 패턴보다 작은 폭으로 형성되는 단계인 표시 장치의 제조 방법.
16. 제15 항에 있어서,

    상기 더미 격벽은 상기 차광 패턴이 상기 더미 격벽으로부터 적어도 0.5㎛ 돌출되도록 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
17. 제12 항에 있어서,

    상기 컬러 필터용 잉크와 상기 차광 패턴의 상용성은 상기 컬러 필터용 잉크와 상기 더미 격벽의 상용성보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
18. 제12 항에 있어서,

    상기 잉크를 충진하는 단계는 잉크젯 헤드를 이용하여 상기 개구부에 상기 컬러 필터용 잉크를 분사하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
19. 제12 항에 있어서,

    상기 잉크를 충진하는 단계 후에,

    상기 결과물의 전면에 오버코트층을 도포하는 단계; 및

    상기 오버코트층 상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.

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