KR20080003086A - 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 액정표시장치는, 어레이기판과 컬러필터기판; 상기 어레이기판상에 형성된 박막트랜지스터부; 상기 박막트랜지스터부와 연결된 화소전극; 상기 컬러필터기판내에 형성된 트렌치부; 상기 트렌치부내에 형성되고 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스; 상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 형성된 컬러필터층; 및 상기 어레이기판과 컬러필터기판사이에 형성된 액정층;을 포함하여 구성된다.
블랙매트릭스, 트렌치부, 화이트 화소, 블랙(black) 휘도
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치의 단면도.
도 2a 내지 도 2d는 종래기술에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판을 제조하는 과정을 도시한 공정 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 단면도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판을 제조하는 과정을 도시한 공정 단면도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
101 : 어레이기판 103 : 게이트전극
105 : 게이트절연막 107 : 액티브층
109 : 오믹콘택층 111 : 소스전극
113 : 드레인전극 115 : 보호막
119 : 화소전극 131 : 컬러필터기판
133 : 트렌치부 135 : 블랙매트릭스
137a, 137b, 137c : R, G, B 화소부 137d : W 화소부
139 : 배향막 151 : 액정층
151a : 불량액정
본 발명은 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 컬러화소와 화이트화소(white pixel)의 안료에 의한 높이차를 줄여 평탄화시키고, 러빙균일도를 향상시켜 블랙(black) 휘도를 감소시킬 수 있는 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 정보화사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 이중 액정표시장치가 해상도, 컬러표시, 화질등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치는 일측에 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을, 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고, 두 기판사이에 액정물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
이러한 일반적인 액정표시장치의 구조에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정표시장치는 하부 어레이기판(11)과 상부 컬러필터기판(31), 그리고 두 기판(11, 31)사이에 삽입되어 있는 액정층(51)으로 이루어진다.
여기서, 어레이기판(11)위에 금속과 같은 도전물질로 이루어진 게이트전극(13)이 형성되어 있고, 그 위에 실리콘질화막(SiNx)이나 실리콘산화막으로 이루어진 게이트절연막(15)이 게이트전극(13)을 덮고 있다.
게이트전극(13)상부의 게이트절연막(15)위에는 비정질실리콘으로 이루어진 액티브층(17)이 형성되어 있으며, 그 위에 불순물이 도핑된 비정질실리콘으로 이루어진 오믹콘택층(19)이 형성되어 있다.
또한, 상기 오믹콘택층(15)상부에는 금속과 같은 도전물질로 이루어진 소스 및 드레인전극(21)(23)이 형성되어 있는데, 소스 및 드레인전극(21)(23)은 게이트전극(13)과 함께 박막트랜지스터를 구성한다.
그리고, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 게이트전극(13)은 게이트배선과 연결되어 있고, 소스전극(21)은 데이터배선과 연결되어 있으며, 상기 게이트배선과 데이터배선은 서로 직교하여 화소영역을 정의한다.
또한, 상기 소스 및 드레인전극(21, 23)위에는 실리콘질화막이나 실리콘산화막 또는 유기절연막으로 이루어진 보호층(25)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(25)은 드레인전극(21)을 드러내는 콘택홀(미도시)을 가진다.
그리고, 상기 보호층(25)상부의 화소영역에는 투명도전물질로 이루어진 화소전극(27)이 형성되어 있고, 상기 화소전극(27)은 콘택홀을 통해 드레인전극(23)과 연결되어 있다.
한편, 컬러필터기판(31)은 상기 하부어레이기판(11)과 일정간격을 가지고 이격되어 있으며, 이 컬러필터기판(31)의 안쪽면에는 블랙매트릭스(33)가 박막트랜지스터와 대응하는 위치에 형성되어 있다, 따라서, 상기 블랙매트릭스(33)는 화소전극(27) 이외의 부분에서 액정분자가 틸트됨으로써 발생하는 빛샘 현상을 막으며, 또한, 박막트랜지스터의 채널부로 빛이 입사되는 것을 차단하여, 광누설전류가 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다.
또한, 블랙매트릭스(33)하부에는 컬러필터(35a)가 형성되어 있는데, 컬러필터(35a)는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 반복되어 있으며, 하나의 색이 하나의 화소전극(27)과 대응한다. 그리고, 상기 컬러필터(35a) 하부에는 평탄화를 위해 오버코트층(37)이 형성되어 있다.
이러한 구성으로 이루어지는 일반적인 액정표시장치는 박막트랜지스터아 화소전극을 형성하는 어레이기판 제조공정과, 컬러필터와 공통전극(미도시)을 형성하는 컬러필터 기판 제조공정, 그리고, 제조된 두 기판의 배치와 액정물질의 주입 및 봉지 그리고 편광판 부착으로 이루어진 액정셀 공정에 의해 형성된다.
이러한 관점에서, 종래기술에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 대해 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2a 내지 도 2d는 종래기술에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판을 제조하는 과정을 도시한 공정 단면도이다.
도 2a에 도시된 바와같이, 유리와 같은 투명한 절연기판(31)상에 개구 부(33a)를 가지는 블랙매트릭스(33)을 형성한다. 이때, 상기 블랙매트릭스(33)은 금속을 상기 절연기판(31)안쪽면에 증착하여 패터닝하므로써 형성할 수 있으며, 또는 흑색 수지(black resin)를 도포후 패터닝하므로써 형성할 수도 있다.
그다음, 도 2b에 도시된 바와같이, 기판전체에 적색 감광성 수지를 도포한후 이를 노광 및 현상하여 블랙매트릭스(33)의 개구부상에 적색 컬러필터(35a)를 형성한다.
이어서, 상기 적색 컬러필터(35a)와 마찬가지 방법으로, 감광성 수지(미도시)을 도포한후 노광 및 현상하는 공정을 반복하므로써 블랙매트릭스(33)의 개구보(33a)상에 녹색컬러필터(35b) 및 청색 컬러필터(35c)를 각각 형성한다. 이때, 상기 블랙매트릭스(33)사이에 화이트화소(35d)도 마련되어 있으며, 이 화이트화소(35d)에는 컬러필터가 형성되지 않는다.
그다음, 도 2c 및 도 2d에 도시된 바와같이, 기판전체에 평탄화를 시키기 위해 오버코트층(37)을 형성한 후 상기 오버코트층(37)에 배향막(39)을 형성하여 컬러필터기판 제조공정을 완료한다.
그런데, 상기 종래기술에 의하면, 횡전계모드(IPS)는 전극부 단차에 의한 러빙불균일성으로 블랙휘도 저하의 한계가 있다. IPS 셀, 특히 화이트 화소가 추가된 (RGBW) 픽셀구조의 IPS셀에서 화이트 추가화소와 R, G, B 화소에서 컬러 안료 높이차 (즉, 안료형성부와 비형성부)로 인한 단차(H)와 이로 인해 러빙불균일성 및 블랙휘도가 증가하게 된다.
특히, 도 2c에서와 같이, 화이트화소부(35d)에 위치하는 오버코트층(37)부분 이 단차가 존재하게 되고, 이러한 단차로 인해, 컬러필터기판 제작후 셀공정시에 러빙 불균일에 의해 IPS 블랙휘도가 증가하게 되고, 콘트라스트비가 감소하게 된다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 유기절연막을 사용하지 않고 전극부를 평탄화시키므로써 IPS의 러빙 균일도를 향상시켜 블랙휘도를 감소시킬 수 있는 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판은, 컬러필터기판; 상기 컬러필터기판내에 형성된 트렌치부; 상기 트렌치부내에 형성되고 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스; 및 상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 형성된 컬러필터층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치는, 어레이기판과 컬러필터기판; 상기 어레이기판상에 형성된 박막트랜지스터부; 상기 박막트랜지스터부와 연결된 화소전극; 상기 컬러필터기판내에 형성된 트렌치부; 상기 트렌치부내에 형성되고 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스; 상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 형성된 컬러필터층; 및 상기 어레이기판과 컬러필터기판사이에 형성된 액정층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 제 조방법은, 컬러필터기판을 제공하는 단계; 상기 컬러필터기판내에 트렌치부를 형성하는 단계; 상기 트렌치부내에 서로 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스을 형성하는 단계; 및 상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 컬러필터층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치 제조방법은, 어레이기판과 컬러필터기판을 제공하는 단계; 상기 어레이기판상에 박막트랜지스터부를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터부을 포함한 어레이기판상에 상기 박막트랜지스터부를 노출시키는 콘택홀을 구비한 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막상에 상기 박막트랜지스터부와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계; 상기 컬러필터기판내에 트렌치부를 형성하는 단계; 상기 트렌치부내에 서로 일정간격만큼 이격되는 복수개의 블랙매트릭스를 형성하는 단계; 상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 컬러필터층을 형성하는 단계; 및 상기 어레이기판과 컬러필터기판사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로한다.
이하, 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 단면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판을 제조하는 과정을 도시한 공정 단면도이다.
도 3을 참조하면, 일반적인 액정표시장치는 하부 어레이기판(101)과 상부 컬러필터기판(131), 그리고 두 기판(101, 131)사이에 삽입되어 있는 액정층(151)으로 이루어진다.
여기서, 상기 어레이기판(101)위에 금속과 같은 도전물질로 이루어진 게이트전극(103)이 형성되어 있고, 그 위에 실리콘질화막(SiNx)이나 실리콘산화막으로 이루어진 게이트절연막(105)이 게이트전극(103)을 덮고 있다.
상기 게이트전극(103)상부의 게이트절연막(105)위에는 비정질실리콘으로 이루어진 액티브층(107)이 형성되어 있으며, 그 위에 불순물이 도핑된 비정질실리콘으로 이루어진 오믹콘택층(109)이 형성되어 있다.
또한, 상기 오믹콘택층(109)상부에는 금속과 같은 도전물질로 이루어진 소스 및 드레인전극(111)(113)이 형성되어 있는데, 소스 및 드레인전극(111)(113)은 게이트전극(103)과 함께 박막트랜지스터를 구성한다.
그리고, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 게이트전극(103)은 게이트배선과 연결되어 있고, 소스전극(111)은 데이터배선과 연결되어 있으며, 상기 게이트배선과 데이터배선은 서로 직교하여 화소영역을 정의한다.
또한, 상기 소스 및 드레인전극(111, 113)위에는 실리콘질화막이나 실리콘산화막 또는 유기절연막으로 이루어진 보호층(115)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(115)은 드레인전극(113)을 드러내는 콘택홀(미도시)을 가진다.
그리고, 상기 보호층(115)상부의 화소영역에는 투명도전물질로 이루어진 화소전극(117)이 형성되어 있고, 상기 화소전극(117)은 콘택홀을 통해 드레인전 극(113)과 연결되어 있다.
한편, 상기 컬러필터기판(131)은 상기 하부어레이기판(101)과 일정간격을 가지고 이격되어 있으며, 이 컬러필터기판(131)의 안쪽내면에 형성된 트렌치부(미도시; 도 4a의 133)에는 일정간격을 두고 다수개의 블랙매트릭스(135)가 박막트랜지스터와 대응하는 위치에 형성되어 있다, 따라서, 상기 다수개의 블랙매트릭스(135)는 화소전극(117) 이외의 부분에서 액정분자가 틸트됨으로써 발생하는 빛샘 현상을 막으며, 또한, 박막트랜지스터의 채널부로 빛이 입사되는 것을 차단하여, 광누설전류가 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다.
또한, 상기 인접하는 블랙매트릭스(137)사이에 위치하는 컬러필터기판(131)의 트렌치부(133)에는 컬러필터(137a, 137b, 137c)가 형성되어 있는데, 상기 컬러필터(137a, 137b, 137c)는 적, 녹, 청의 색이 순차적으로 반복되어 있으며, 하나의 색이 하나의 화소전극(117)과 대응한다. 그리고, 상기 컬러필터(137a, 137b, 137c)을 포함한 블랙매트릭스(135) 하부에는 배향막(139)이 형성되어 있다. 이때, 상기 블랙매트릭스(135)와 배향막(139)사이에는 필요에 따라 평탄화를 위해 오버코트층(미도시)이 형성될 수도 있다.
이러한 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 액정표시장치는 박막트랜지스터와 화소전극을 형성하는 어레이기판 제조공정과, 컬러필터와 공통전극(미도시)을 형성하는 컬러필터 기판 제조공정, 그리고, 제조된 두 기판의 배치와 액정물질의 주입 및 봉지 그리고 편광판 부착으로 이루어진 액정셀 공정에 의해 형성된다.
이러한 관점에서, 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조 방법에 대해 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판을 제조하는 과정을 도시한 공정 단면도이다.
도 4a에 도시된 바와같이, 유리와 같은 투명한 절연기판(101)상에 감광막(미도시)을 도포한후 노광마스크(미도시)를 이용한 포토리쏘그라피 공정기술을 적용한 노광 및 현상공정을 진행하여 상기 감광막을 선택적으로 패터닝하여 감광막패턴(미도시)을 형성한다.
그다음, 상기 감광막패턴을 마스크로 상기 컬러필터기판(131)을 선택적으로 제거하여 상기 컬러필터기판(131)내에 일정깊이의 트렌치부(133)를 형성한다. 이때, 상기 트렌치부(133)는 화이트 화소부(미도시; 도 4c의 137d)가 위치하는 컬러필터기판(131)부분에는 형성되지 않는다. 이때, 상기 트렌치부(133)는 약 2 μm 정도의 깊이를 갖는다.
이어서, 도 4b에 도시된 바와같이, 상기 감광막패턴을 제거한후 상기 트렌치부(133)를 포함한 컬러필터기판(131)상에 금속층을 증착하고, 이어 상기 금속층상에 감광막(미도시)을 도포한다.
그다음, 상기 감광막을 선택적으로 패터닝한후 이를 마스크로 상기 금속층을 선택적으로 패터닝하여 상기 트렌치부(133)내에 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스(135)을 형성한다. 이때, 상기 블랙매트릭스(135)은 금속을 상기 절연기판(31)안쪽면에 증착하여 패터닝하므로써 형성할 수 있으며, 또는 흑색 수지(black resin)를 도포후 패터닝하므로써 형성할 수도 있다.
이어서, 도 4c에 도시된 바와같이, 블랙매트릭스(135)를 포함한 컬러필터기판(131) 전체에 적색 감광성 수지를 도포한후 이를 노광 및 현상하여 블랙매트릭스(135)사이의 트렌치부(133)내에만 적색 컬러필터(137a)를 형성한다. 이때, 상기 적색 컬러필터(137a)의 높이는 상기 트렌치부(133)의 깊이, 즉 약 2 μm 정도의 범위를 갖는다. 또한, 상기 컬러필터(137a)의 높이는 트렌치부(133)의 깊이에 따라 선택적으로 달라질 수 있다.
이어서, 상기 적색 컬러필터(137a)와 마찬가지 방법으로, 감광성 수지(미도시)을 도포한후 노광 및 현상하는 공정을 반복하므로써 상기 블랙매트릭스(135)사이의 트렌치부(133)내에 녹색컬러필터(137b) 및 청색 컬러필터(137c)를 각각 형성한다. 이때, 상기 블랙매트릭스(135)사이에 화이트화소(137d)도 마련되어 있으며, 이 화이트화소(137d)에는 컬러필터가 형성되지 않는다. 이렇게 하여, 상기 블랙매트릭스(135)와 컬러필터(137a, 137b, 137c)사이에는 단차가 거의 존재하지 않게 된다.
그다음, 도 4d에 도시된 바와같이, 컬러필터기판(131) 전체에 필요에 따라 평탄화시키기 위해 오버코트층(미도시)을 형성하거나 배향막(139)을 형성하여 컬러필터기판 제조공정을 완료한다.
이렇게 컬러필터기판의 평탄화가 이루어지므로 인해, 컬러필터기판 제작후에 진행하는 셀공정시에 러빙 불균일성이 많이 해소되어 블랙(black) 휘도 감소를 억제하고 콘트라스트비를 향상시킬 수 있다.
상기에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터기판 및 그 제조방법에 의하면, 컬러필터기판내에 트렌치부를 형성하여 이 트렌치부내에 컬러필터가 형성되도록 하므로써 컬러필터기판의 평탄화가 이루어지게 되어, 컬러필터기판 제작후에 진행하는 셀공정시에 러빙 불균일성이 많이 해소되어 블랙(black) 휘도 감소를 억제하고 콘트라스트비를 향상시킬 수 있다.
특히, 횡전계모드(IPS)는 전극부 단차에 위한 러빙불균일성으로 블랙 휘도 저하의 한계가 있는데, 횡전계모드(IPS)셀 특히 화이트화소가 결합된 RGBW 픽셀 구조의 IPS셀에서 화이트화소와 R, G, B 화소에서 컬러 안료의 높이차 (즉, 안료형성부와 비형성부의 높이차)로 인한 단차와 이로 인해 발생하는 러빙 불균일 및 블랙 휘도 증가를 막기 위해 컬러 안료가 형성될 부분을 안료 높이만큼 유리기판을 식각하여 화이트화소부와의 높이차를 제거하여 셀내의 균일도를 향상시키므로써 블랙 휘도를 감소시킬 수 있다.
이상의 설명에서 본 발명은 특정의 실시예와 관련하여 도시 및 설명을 하였지만, 상기한 명세서는 본 발명의 권리를 한정하지 않으며, 본 발명에 따른 권리범위는 후술될 특허청구범위에 의해 결정되어져야 할 것이다.
Claims (26)
- 컬러필터기판;상기 컬러필터기판내에 형성된 트렌치부;상기 트렌치부내에 형성되고 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스; 및상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 형성된 컬러필터층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 제 1 항에 있어서, 상기 컬러필터기판은 화이트 화소부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 제 2 항에 있어서, 상기 트렌치부는 상기 화이트 화소부를 제외한 컬러필터기판에 형성된 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 제 1 항에 있어서, 상기 트렌치부의 깊이는 컬러필터층 두께와 적어도 동일한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 제 1 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판상에 배향막이 더 포함된 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 제 5 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판과 배향막사이에 오버코트층이 더 포함된 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판.
- 어레이기판과 컬러필터기판;상기 어레이기판상에 형성된 박막트랜지스터부;상기 박막트랜지스터부와 연결된 화소전극;상기 컬러필터기판내에 형성된 트렌치부;상기 트렌치부내에 형성되고 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스;상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 형성된 컬러필터층; 및상기 어레이기판과 컬러필터기판사이에 형성된 액정층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 컬러필터기판은 화이트 화소부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 트렌치부는 상기 화이트 화소부를 제외한 컬러필터기판에 형성된 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 트렌치부의 깊이는 컬러필터층 두께와 적어도 동일한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판상에 배향막이 더 포함된 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판과 배향막사이에 오버코트층이 더 포함된 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 박막트랜지스터부는 상기 어레이기판에 형성된 게이트전극과 액티브층 및 상기 액티브층상에 형성된 소스전극과 드레인전극으로 구성된 것을 특징으로하는 액정표시장치.
- 컬러필터기판을 제공하는 단계;상기 컬러필터기판내에 트렌치부를 형성하는 단계;상기 트렌치부내에 서로 일정간격만큼 이격된 복수개의 블랙매트릭스을 형성하는 단계; 및상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 컬러필터층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 컬러필터기판은 화이트 화소부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 트렌치부는 상기 화이트 화소부를 제외한 컬러필터기판에 형성하는 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 트렌치부의 깊이는 컬러필터층 두께와 적어도 동일한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판과 배향막사이에 오버코트층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시장치의 컬러필터기판 제조방법.
- 어레이기판과 컬러필터기판을 제공하는 단계;상기 어레이기판상에 박막트랜지스터부를 형성하는 단계;상기 박막트랜지스터부을 포함한 어레이기판상에 상기 박막트랜지스터부를 노출시키는 콘택홀을 구비한 절연막을 형성하는 단계;상기 절연막상에 상기 박막트랜지스터부와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계;상기 컬러필터기판내에 트렌치부를 형성하는 단계;상기 트렌치부내에 서로 일정간격만큼 이격되는 복수개의 블랙매트릭스를 형성하는 단계;상기 인접된 블랙매트릭스사이에 위치하는 트렌치부내에 컬러필터층을 형성하는 단계; 및상기 어레이기판과 컬러필터기판사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 컬러필터기판은 화이트 화소부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 트렌치부는 상기 화이트 화소부를 제외한 컬러필터기판에 형성하는 것을 특징으로하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 트렌치부의 깊이는 컬러필터층 두께와 적어도 동일 한 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 24 항에 있어서, 상기 컬러필터층과 블랙매트릭스을 포함한 컬러필터기판과 배향막사이에 오버코트층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로하는 액정표시장치 제조방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 박막트랜지스터부는 상기 어레이기판에 게이트전극을 형성하는 단계와, 액티브층을 형성하는 단계 및 상기 액티브층상에 소스전극과 드레인전극을 형성하는 단계를 통해 형성되는 것을 특징으로하는 액정표시장치 제조방법.
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