DE2421255A1 - Lichtbrechende vorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Description

7677-74 Dr.v.B/E
RGA 67059

US-Ser.No. 356,454
Filed: May 2, 1973

RCA Corporation

New York N,Y. (V.St.A.)

Lichtbrechende Vorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung

Die vorliegende Erfindung betrifft lichtbrechende Vorrichtungen zum Ändern des Verlaufes von sie durchsetzenden Lichtstrahlen, mit mindestens einem Teil,der eine effektive lichtbrechende Fläche hat. Insbesondere betrifft die Erfindung optische Korrekturlinsen, wie sie bei der Herstellung gewisser Kathodenstrahlröhren zur Herstellung von Farbleuchtstoff niederschlagen benötigt werden.

Viele Kathodenstrahlröhren enthalten Mosaikschirme oder Schirmelektroden aus verschiedenen Licht emittierenden oder absorbierenden Materialien. Es sind z.B. Farbfernsehbildröhren bekannt, deren Bildschirm eine Anordnung aus rot, grün und blau emittierenden Leuchtstoffstreifen oder Punkten, eine Elektronenstrahlerzeugungsanordnung zur Erregung des Bildschirms und eine zwischen der Strahlerzeugungsanordnung und dem Bildschirm angeordnete Farbwahlelektrode, wie eine Maske aus einem durchbrochenen Metallblech oder ein Drahtgitter enthalten» Bei einem bekannten Verfahren zur Her-

409846/1 012

steilung der verschiedenen Anordnungen aus Leuchtstoffsteifen oder -punkten auf der Frontplatte einer Lochmaskenröhre wird die Innenseite der Frontplatte mit einer Mischung aus Leuchtstoff teilchen, die Licht einer der drei Farben (z.B. grün) zu emittieren vermögen, und einem photoempfindlichen Bindemittel überzogen. Die Schicht wird dann mittels einer Lichtquelle durch die Lochmaske hindurch belichtet, welche also als Projektions- oder Kopiervorlage dient. Die belichtete Schicht wird anschließend entwickelt, um Leuchtstoffelemente aus dem ersten Leuchtstoff, z.B. grün emittierende Streifen oder Punkte, zu erzeugen. Diese Verfahrensschritte werden unter Verwendung der gleichen Lochmaske für den blau emittierenden Leuchtstoff und den rot emittierenden Leuchtstoff wiederholt, dabei wird jedoch die Lichtquelle bei jeder Belichtung an einer anderen Stelle angeordnet. Weitere Einzelheiten eines solchen Verfahrens können der US-PS 2 625 734 entnommen werden.

Bei der Belichtung des Bildschirms durch die öffnungen der Lochmaske wird die Lichtquelle nacheinander in vorgegebene feste Lagen bezüglich der jeweiligen Ablenkzentren der Elektronenstrahlen gebracht, die später den Lumineszenzschirm erregen. Diese Ablenkzentren liegen jedoch ihrerseits leider nicht fest, sondern ändern ihre Lage während des Betriebes der Röhre. Eine Komponente dieser Lageänderung besteht in einer Verschiebung in Richtung auf den Bildschirm mit zunehmendem Ablenkwinkel. Diese parallel zur Röhrenachse verlaufende Verschiebung des Ablenkzentrums hat einen radialen Registerfehler zwischen dem Auftreffbereich des Elektronenstrahlbündels auf dem Leuchtschirm und dem zugehörigen Leuchtstoff-Fleck, der mit der feststehenden Lichtquelle gehO.det wurde, zur Folge.

Bei der Dreistrahlröhre mit P unkt raster leuchtschirm, die mit dynamischer Konvergenz betrieben wird,tritt

409846/1012

eine weitere Verschiebung der Ablenkzentren auf, die quer zur Röhrenachse gerichtet ist und den sogenannten Degruppierungsfehler verursacht, der dadurch entsteht, daß sich die Größe der Auftreffbereichtripel der Elektronenstrahlen ändert. Diese und andere Arten von Registerfehlern sind z.B. in den üS-PSen 2 885 935 und 3 282 691 beschrieben.

Um die Abweichung zwischen dem Auftreffort eines Elektronenstrahlbündels und dem Ort des zugehörigen Leuchtstoffbereiches zu korrigieren, ist es bekannt, bei der Herstellung der Röhre zwischen der Lichtquelle und dem Bildschirm der Röhre Korrekturlinsen anzuordnen, durch die die Lichtstrahlen so abgelenkt werden, daß die Leuchtstoffbereiche an den vorgesehenen Auftreffbereichen der Elektronenstrahlen auf dem Bildschirm der Röhre gebildet werden. Solche Korrekturlinsen zur Herstellung von Färbfernsehbildröhren sind z.B. in den US-PSen 2 817 276, 2 885 935, 3 279 340 und 3 628 850 beschrieben. Die in den letztgenannten beiden Patentschriften beschriebenen Korrekturlinsen haben diskontinuierliche Oberflächen, die eine exaktere Exposition des Bildschirms ermöglichen. Es wird jedoch immer schwieriger, solche Korrekturlinsen aus Glas herzustellen, je komplizierter die diskontinuierliche Oberfläche wird. Multielementlinsen, wie sie z.B. in der US-PS 3 628 850 beschrieben sind, werden daher vorzugsweise aus Kunststoffen gebildet. Die Verwendung von Kunststofflinsen in Belichtungskammern für die Herstellung von Bildschirmen für Färbfernsehbildröhren und dgl. bringt jedoch meistens verschiedene Nachteile mit sich. Vielleicht der größte Nachteil besteht darin, daß bei allen derzeit verwendeten Kunststofflinsen eine Verringerung der Ultravioletttransmission oder eine Solarisation eintritt, wenn sie Ultraviolettstrahlung im Wellenlängenbereich von 290 bis 400 nm (im folgenden als "nahe UV" bezeichnet) ausgesetzt werden. Wegen dieses Dunkelwerdens oder Solarisierens mußten Kunst-

409846/101 2

stofflinsen bisher in relativ kurzen Intervallen ersetzt werden. Ein anderer Nachteil von Kunststofflinsen besteht darin, daß sie keine ausreichende mechanische Festigkeit aufweisen, wenn sie zu dünn gemacht werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die oben geschilderten Nachteile der bekannten Kunststoff linsen zu vermeiden, insbesondere eine Kunststofflinse anzugeben, die unter dem Einfluß von Strahlung im nahen OV nicht dunkel wird.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 gekennzeichnete Erfindung gelöst.

Durch die vorliegende Erfindung wird eine lichtbrechende Vorrichtung, wie eine Korrekturlinse geschaffen, die billig in der Herstellung ist, unter dem Einfluß von Strahlung im iahen UV nicht nachdunkelt und wesentlich billiger hergestellt werden kann, als eine ganz aus Glas bestehende Linse.

Die Unteransprüche betreffen Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sowie bevorzugte Verfahren zum Herstellen von lichtbrechenden Vorrichtungen gemäß der Erfindung .

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Schnittansicht eines Ausführungsbeispieles der Erfindung in Form einer Korrekturlinse;

409846/1012

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, die ebenfalls als Korrekturlinse verwendet werden kann;

Fig. 3 eine Schnittansicht eines weiteren Ausführungsbeispieles der Erfindung in Form einer Linseneinheit oder -packung, die die Linse gemäß Fig. 2 enthält und

Fig. 4,5 und 6 Querschnittsansichten von weiteren Linsenanordnungen gemäß Ausführungsbeispielen der Erfindung.

In Fig. 1 ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung eine lichtbrechende Vorrichtung oder Korrekturlinse 10 dargestellt, die ein starres, transparentes Substrat 12 enthält. Mit dem Substrat 12 ist eine dünnere, transparente, nicht solarisierende oder nicht nachdunkelnde Polymerschicht 14 gleichförmig verbunden. Die Polymerschicht 14 hat eine dem Substrat 12 entgegengesetzte Oberfläche 16, die die effektive oder brechende Fläche der Korrekturlinse 10 darstellt. Die Fläche 16 hat eine solche Form, daß die oben erwähnten Registerfehler durch entsprechende Änderung der Wege der auf die verschiedenen Bereiche eines Lumineszenzschirmes fallenden Lichtstrahlen vermieden werden.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform besteht das Substrat aus einer etwa 6,3 mm dicken Platte optischen Glases geeigneter Qualität, z.B. Glas des Typs BK7 der Schott Glass, Inc. Die transparente Polymerschicht 14 kann aus irgend einem polymeren Werkstoff bestehen, der eine gute Ultraviolettdurchlässigkeit hat, nachdunkelungs- oder solarisationsbeständig gegen Strahlung im Wellenlängenbereich von 290 bis 400 nm ist und nur wenig schrumpft. Ein Material das diesen Anforderungen genügt und vorzugsweise verwendet wird, ist transparentes Siliconharz. Für die Polymerschicht 14 kann z.B.

409846/1012

Siliconharz des Typs R63-489 der Firma Dow-Corning, Inc. verwendet werden. Die Siliconharzschicht kann irgend eine vernünftige Dicke haben, solange diese ausreicht, um dem Verlauf der brechenden Fläche 16 Rechnung zu tragen. Für die Korrekturlinse 10 gemäß Fig. 1 hat sich eine Dicke von 2,5 mm (11 mils) als zweckmäßig erwiesen.

Die Korrekturlinse 10 kann durch irgend ein geeignetes Verfahren hergestellt werden. Bei dem bevorzugten Verfahren wird zuerst ein Vorbereitungsmittel (Primer) wie ein von der Firma Dow-Corning unter dem Handelsnamen "Sylgard" vertriebenes Material auf das aus Glas bestehende Substrat 12 aufgebracht. Dann wird flüssiges Siliconharz, wie R63-489, mit einem Härter, wie er von der Firma Dow-Corning für dieses Siliconharz geliefert wird, gemischt und in einen Formhohlraum gespritzt, der durch das Glassubstrat und ein Formteil begrenzt wird, das eine der brechenden Fläche 16 komplementäre Fläche hat. Das Siliconharz haftet nach dem Härten mit der einen Seite an dem vorbehandelten Glassubstrat, während die andere Seite die Form der effektiven brechenden Fläche hat. Eine ausreichende Haftung zwischen dem Siliconharz und dem Substrat kann unter Umständen auch ohne die Verwendung der oben beschriebenen Vorbehandlung erreicht werden.

Fig. 2 zeigt einen Teil einer anderen Korrekturlinse 18, die wieder ein starres, transparentes Substrat 20 und eine dünne transparente Polymerschicht 22 enthält. Die wirksame Oberfläche 24 dieser Korrekturlinse 18 ist in eine Vielzahl von Abschnitten 26 unterteilt, die jeweils eine individuelle optische Korrektion für entsprechende Teile eines Röhrenbildschirms bewirken, während dieser durch ein bekanntes Photodruckverfahren hergestellt wird. Die bevorzugten Materialien und Abmessungen für die Korrekturlinse 18 sind die gleichen wie sie oben für die Korrekturlinse 10 beschrie-

409846/1012

ben wurden, mit der Ausnahme, daß hier eine Dicke von etwa 0,75 bis 1,0 mm (30 bis 40 mils) für die Polymerschicht 22 ausreicht, da die Abweichungen von einem mittleren Oberflächenniveau größer als 250 pm (10 mils) sind.

Zwischen den Abschnitten 26 der Korrekturlinse 18 befinden sich atufenartige Verbindungsflächen 28. Diese können unter umständen das die Korrekturlinse 18 durchsetzende Licht reflektieren und streuen. Es ist daher zweckmäßig, diese ünstetigkeits- oder Verbindungsflächen 28 zu maskieren. Vier Möglichkeiten der Maskierung sind in den Fig. 3, 4,5 und 6 dargestellt. Fig. 3 zeigt eine Linsenpackung 30 mit der Korrekturlinse 18, welche durch ein zweites mechanisch starres, transparentes Substrat 32 abgedeckt ist, das ein opakes Muster 34 aufweist, welches den Verbindungsflächen 28 entspricht. Das zweite Substrat 32 ist durch einen Luftspalt 36 von der wirksamen Oberfläche der Korrekturlinse getrennt.

Bei der in Fig. 4 dargestellten Anordnung oder Linsenpackung 38 ist die wirksame Fläche der Korrekturlinse 18 am Ort der Ünstetigkeits- oder Verbindungsflächen 28 direkt mit einem Opaken Material 40 überzogen.

Fig. 5 zeigt eine dritte Linsenanordnung 42, die eine Maske in Form eines in das Material der Polymerschicht 22 eingebetteten Gitters oder Rostes 44 hat.

Fig. 6 zeigt eine vierte Linsenanordnung 46, bei der ein opakes Muster vor dem Aufbringen der Polymerschicht direkt auf dem Substrat 20 gebildet worden ist.

Ein bevorzugtes opakes Material für die Linsenanordnungen 30, 38 und 46 ist Graphit.

409846/1012

AlIe oben beschriebenen Ausführungsbeispiele enthalten ein mechanisch festes Substrat und eine Polymerschicht. Eine solche Konstruktion hat den Vorteil, daß preiswerte Materialien, die dimensionsstabil sind und leicht mit den gewünschten optischen Eigenschaften hergestellt und bearbeitet werden können, wie Gläser, zur Unterstützung dünner Schichten aus einem verhältnismäßig teuren, nicht solaisierenden, d.h. nicht nachdunkelnden Polymeren-Material verwendet werden können. Die Gesamtkosten einer so aufgebauten Linse können daher wesentlich geringer sein als die einer Linse, die ganz aus einem nicht solarisierenden Linsenmaterial hergestellt sind.

Es sei hier bemerkt, daß man bisher noch keine Linse aus Kunststoff- oder Polymermaterial zum Belichten von Bildschirmen für Farbfernsehbildröhren herstellen konnte, die unter dem Einfluß von UV-Strahlung im Wellenlängenbereich von 290 bis 400 nm praktisch keine Solarisation zeigten. Durch die vorliegende Erfindung wird nun eine zumindest in den wesentlichen Teilen nicht aus Glas bestehende Linse geschaffen, die zumindest in einem solchen Maße, daß eine häufige Auswechslung nicht mehr erforderlich wird, frei von Solarisation ist. Durch die vorliegende Erfindung können also die Kosten bei der Herstellung von Farbfernsehbildröhren nennenswert gesenkt werden.

Bei der Diskussion des Standes der Technik und der Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung wurde der Ausdruck "Linse" verwendet, wie es seit langem bei der Technik der Bildschirmherstellung für die Bezeichnung von lichtbrechenden Vorrichtungen, wie Korrekturscheiben und dgl., erforderlich ist, die die Wege von Lichtstrahlen ändern oder korrigieren, ohne dabei eine Fokussierung zu bewirken. Es sei ferner betont, daß die Korrektur des Verlaufes der Lichtstrahlen in bekannter Weise nicht soweit zu gehen braucht, daß diese genau dem Weg der auf den BiId-

409846/1012

schirm auftreffenden Elektronenstrahlen entsprechen. Man kann z.B. zur Kompensation der durch die Erwärmung bewirkten Wölbung der Maske einen Kompromiß eingehen und einen geringen Registerfehler vorsehen. Eine Korrekturlinse oder -platte kann also die Wege der auf gewisse Teile des Bildschirms fallenden Lichtstrahlen so korrigieren, daß sie zwar im wesentlichen, jedoch nicht genau dem Verlauf der entsprechenden Elektronenstrahlen entsprechen.

Die Ausführungsformen gemäß Fig. 4, 5 und 6 können auf ähnliche Weise hergestellt werden, wie es oben für die Linse gemäß Fig. 1 und 2 beschrieben wurde. Die in Fig.4 dargestellte maskierte Linse kann gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung dadurch hergestellt werden, daß man die Maske direkt auf der Rückseite der Gieß- oder Preßform bildet. Die Rückseite der Form hat ja Diskontinuitäten bildende Zwischenflächen entsprechend den Zwischenflächen 28 des aus der Polymerschicht 22 bestehenden Teiles der endgültigen Linse. Das Maskenmuster 40 kann also auf diesen Verbindungsflächen der Rükseite der Form gebildet werden, z.B. durch Bestreichen der Zwischenflächen der Formoberfläche mit einer Mischung von Kohlenstoff- oder Graphitteilchen in einem selektiv haftenden Material, wie dem oben erwähnten Primermaterial für das Siliconharz. Man kann die Maske auch durch photographisches Verfahren unter Verwendung eines Photolackes und einer kohlenstoffhaltigen Beschichtungsmxschung auf die Formoberfläche aufbringen. Man arbeitet so, daß das opake Material 40, das. die Maske bildet, an der Polymerschicht haftet, wie es in Fig. 4 dargestellt ist.

Bei der Herstellung der in Fig. 5 dargestellten Linse wird das Gitter 44 im Zwischenraum zwischen der tragenden Oberfläche des Substrats 20 und der Rückseite der Form, die sich in einem nahen Abstand vom Substrat befindet, gehaltert. Das Gitter wird dabei fluchtend mit den Diskon-

409846/1012

tinuitäten bildenden Zwischenflächen der Rückseite der Form angeordnet. Beim Füllen des Zwischenraumes mit flüssigem Polymermaterial wird dann das Gitter 44 fest in die gebildete Polymerschicht 22 eingebettet.

Bei der Herstellung der in Fig. 6 dargestellten Ausfuhrungsform wird das opake Muster 48, das die Maske bildet, vor dem Einspritzen des flüssigen Polymers in die Form auf der später die Kunststoffschicht tragenden Oberfläche des Substrats 20 gebildet. Das Muster kann durch Aufmalen, direktes Aufdrucken oder photographisches Drucken unter Verwendung von Mischungen von Kohlenstoff und Trägerflüssigkeiten erfolgen. Man kann die verschiedensten Pigmentdispersionen, Farben und Photolacke verwenden . Das gebildete Muster deckt sich wieder mit den Zwischenflächen der Rückseite der Form, so daß das Maskenmuster 48 in der fertigen Linse mit den entsprechenden, Diskontinuitäten bildenden Zwischenflächen 28 in dem aus der polymeren Schicht 22, bestehenden Teil der Linse fluchtet. Die Maske 48 kann auch durch Drähte und ein anderes opakes Netz, das auf der Oberfläche des Substrats liegt, gebildet werden.

Bei der Herstellung des die Maske 48 bildenden Musters der Ausführungsform gemäß Fig. 6 durch Photodruck wird die Oberfläche des z.B. aus Glas bestehenden Substrats 20 mit einem Photolack überzogen und durch eine unmaskierte Linse hindurch belichtet. Die die Diskontinuitäten bildenden Zwischenflächen der unmaskierten Linse erzeugen ein den Diskontinuitäten entsprechendes Muster auf der Photolackschicht, das weniger belichtet wird als die übrigen Teile. Die weniger oder nicht belichteten Teile der Photolackschicht werden beim Entwickeln weggewaschen, so daß ein entsprechendes Muster aus freiliegenden Oberflächenbereichen der Substratoberfläche

409846/1 012

2A21255

entsteht. Die Oberfläche des Substrats wird dann mit einer KOhleschicht überzogen. Die verbliebenen belichteten Teile des Photolacks sowie die auf diesen befindlichen Teile der Kohleschicht werden dann entfernt und es verbleibt ein Kohleschichtmuster auf den freigelegten Teilen der Oberfläche des Substrats 20. Weitere Einzelheiten eines solchen Verfahrens können aus der US-OS 3 338 310 entnommen werden.

Die diskontinuierlichen Zwischenflächen der Linse, die für die Belichtung der Photolackschicht verwendet worden, entsprechen direkt den Zwischenflächen der rückwärtigen (inneren) Oberfläche der Form, so daß das die Maske 48 bildende Kohleschichtmuster mit den Zwischenflächen der Formoberfläche fluchtet, wenn die maskierte Linse 46 hergestellt wird. Bei der Linse, die für das photographische Aufdrucken des die Maske 48 bildenden Musters verwendet wird, kann es sich um eine Linse handeln, die früher mit der gleichen Form hergestellt worden ist, um zu gewährleisten, daß das die Maske 48 bildende Muster mit den diskontinuierlichen Zwischenflächen der Rückseite der Form genau flucht^et.

Die in denFig. 1 bis 6 beschriebenen lichtbrechenden Vorrichtungen bestanden aus einem Teil 14 bzw. 22 aus einem Polymerenwerkstoff, der mit einem aus Glas oder dgl. bestehenden Substrat 12 bzw. 20 verbunden ist. In den Rahmen der Erfindung fallen jedoch auch lichtbrechende Vorrichtungen, die ganz aus polymerem Material hergestellt sind. Man kann dann ein Substrat 12 oder 20 aus irgend einem geeigneten Material wie Glas oder Metall als Teil der Form verwenden, wenn die Linse gegossen oder durch Spritzguß hergestellt wird und nach Erhärten des flüssigen Polymers kann dann die Linse vom Substrat getrennt und als selbsttragende Struktur verwendet oder für die Verwendung an einer anderen geeigneten Trägerstruktur befestigt werden.

409846/1012

Claims (16)

1. -12-P atentansprttch e

   ^l^ Lichtbrechende Vorrichtung zum Ändern des Verlaufes von sie durchsetzenden Lichtstrahlen, mit mindestens einem Teil, der eine effektive lichtbrechende Fläche hat, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil (14, 22) der lichtbrechenden Vorrichtung aus einem Polymer gebildet ist, das im wesentlichen keine Solarisation erleidet, wenn es Ultraviolettstrahlung im Wellenlängenbereich zwischen 290 und 400 mn ausgesetzt wird.
2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymer ein transparentes Siliconharz ist.
3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil (14, 22) an einem starren, transparenten Substrat (12, 20) angebracht ist.
4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch; gekennzeichnet, daß die effektive Fläche eine Fläche mit kontinuierlichem Verlauf ist.
5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, d a durch gekennzeichnet, daß die effektive Fläche (24) mindestens eine Diskontinuität (28) aufweist.
6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in den erwähnten Teil (22) eine mit der Diskontinuität fluchtende opake Maske (44, 48) eingebettet ist.
7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Sub-

   409846/1012

   strat (20) eine mit der Diskontinuität (28) fluchtende opake Maske (48) angeordnet ist.
8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erwähnte Teil (22) an einer Oberfläche eines starren transparenten Substrats (20) angebracht ist; daß die effektive Fläche (24) in mehrere Abschnitte (26) unterteilt ist, welche durch Diskontinuitäten bildende Zwischenflächen (28) getrennt sind, und daß eine opake Maske (34, 40, 44, 48) fluchtend mit diesen Zwischenflächen angeordnet ist.
9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske (44, 48) in den polymeren Teil eingebettet ist.
10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Maske (48) auf der Oberfläche des Substrats gebildet ist.
11. 11. Verfahren zum Herstellen einer lichtbrechenden Vorrichtung gemäß Fig. 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine hohe Form mit einer Oberfläche, die eine der effektiven lichtbrechenden Fläche (16, 24) entgegengesetzte Kontur hat, in nahem Abstand gegenüber einer Oberfläche eines transparenten Substrats (12, 20) angeordnet wird; daß der Zwischenraum zwischen der konturierten Oberfläche der Form und der Oberfläche des Substrats mit einem härtbaren, flüssigen Polymer gefüllt wird, daß die Hohlform vom Substrat entfernt wird und daß das gehärtete Polymer als lichtbrechender Teil (14, 22) verwendet wird.)

    409846/1012
12. 12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückseite der Form in eine Anzahl von Abschnitten unterteilt ist, welche durch Diskontinuitäten bildende Zwischenflächeη getrennt sind; daß eine opake Maske (4O, 44, 48) fluchtend mit den Zwischenflächen der Form im Raum zwischen der Rückseite der Form und der ihr gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats angeordnet wird, bevor der Formhohlraum mit dem flüssigen Polymer gefüllt wird.
13. 13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die opake Maske zwischen der Rückseite der Form und der Oberfläche des Substrats so angeordnet wird, daß die Maske in den gehärteten polymeren Teil eingebettet wird.
14. 14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die opake Maske (48) auf der Oberfläche des Substrats angeordnet wird.
15. 15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die opake Maske (48) durch überziehen der Substrat—oberfläche mit einem Photolack, Exponieren der Photolackschicht durch eine Linse hindurch, die Diskontinuitäten bildende Zwischenflächa^ entsprechend den Zwischenflächen auf der Rückseite der Form aufweist, Entwickeln der belichteten Photolackschicht zur Entfernung der wenig oder nicht belichteten Teile der Photolackschicht von der Substratoberfläche, überziehen der beschichteten und unbeschichteten Substratoberfläche mit einem lichtundurchfösigen Material und Entfernen der exponierten Teile des Photolacks und des auf diesen befindlichen lichtundurchlässigen Materials unter Zurücklassung eines opaken Musters aus dem Material auf der Substratoberfläche photographisch gebildet wird.

    409846/1012
16. 16.) Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Polymer eine Organopolysiloxanverbindung verwendet wird, die an Silicium gebundene Wasserstoff-, Methyl- und Vinylgruppen enthält und bei Raumtemperatur in Gegenwart eines Platin-Katalysators durch Reaktion der Wasserstoff- und Vinylgruppen härtet, insbesondere eine Verbindung, wie sie unter dem Handelsnamen R63-489 von der Firma Dow-Corning erhältlich ist.

    A 0 9 8 4 6/1012

    ft

    Leerseite