JPH10332925A - カラーフィルタ基板とその製造方法、該基板を用いた液晶素子 - Google Patents

カラーフィルタ基板とその製造方法、該基板を用いた液晶素子

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JPH10332925A
JPH10332925A JP14284497A JP14284497A JPH10332925A JP H10332925 A JPH10332925 A JP H10332925A JP 14284497 A JP14284497 A JP 14284497A JP 14284497 A JP14284497 A JP 14284497A JP H10332925 A JPH10332925 A JP H10332925A
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JP
Japan
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color filter
filter substrate
resin layer
ink
coloring
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JP14284497A
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English (en)
Inventor
Shoji Shiba
昭二 芝
Hideaki Takao
英昭 高尾
Ryuichi Yokoyama
隆一 横山
Takeshi Okada
岡田  健
Masaji Sofue
正司 祖父江
Akio Kashiwazaki
昭夫 柏崎
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays

Abstract

(57)【要約】 【課題】 混色や白抜けのないカラーフィルタ基板を安
価に製造する。 【解決手段】 透明基板1上に、露光によりインク受容
能を発現する着色用樹脂層2を形成し、さらにその上に
黒色樹脂層3を形成して、該黒色樹脂層3をパターニン
グしてブラックマトリクス4を形成し、該ブラックマト
リクス4をマスクとして着色用樹脂層2を露光し、露光
部にインクジェット方式により着色インクを付与し、イ
ンク乾燥、熱処理による硬化を行なってカラーフィルタ
10の着色部8を形成し、保護膜11を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、パ
ーソナルコンピュータ、パチンコ遊戯台等に使用されて
いるカラー表示の液晶素子とその製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要が増
加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のため
にはコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の
重いカラーフィルタのコストダウンに対する要求が高ま
っている。
【0003】従来から、カラーフィルタの要求特性を満
足しつつ上記の要求に応えるべく、種々の方法が試みら
れているが、いまだ全ての要求特性を満足する方法は確
立されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。
【0004】第一の方法は顔料分散法である。この方法
は、先ず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。さらにこの工程を3回繰り返すことによりR、
G、Bのカラーフィルタを形成する。
【0005】第二の方法は染色法である。この方法は、
先ず基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料を
形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを3回繰り返
すことによりR、G、Bのカラーフィルタを形成する。
【0006】第三の方法としては電着法がある。この方
法は、先ず基板上に透明電極をパターニングし、顔料、
樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色
を電着する。この工程を3回繰り返してR、G、Bのカ
ラーフィルタを形成し、最後に焼成するものである。
【0007】第四の方法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分
散させ、印刷を3回繰り返すことによりR、G、Bを塗
り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色層を形
成し、カラーフィルタとするものである。
【0008】上記いずれの方法においても、カラーフィ
ルタ上に保護膜を形成するのが一般的である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記の方法に共通して
いる点は、R、G、Bの3色を着色するために同一の工
程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることであ
る。また、工程が多いほど歩留が低下するという問題も
有している。さらに、電着法においては、形成可能なパ
ターン形状が限定されるため、現状の技術ではTFT用
には適用困難である。また、印刷法は、解像性が悪いた
めファインピッチのパターンの形成には不向きである。
【0010】これらの欠点を補うべく、インクジェット
方式によるカラーフィルタの製造方法として、特開昭5
9−75205号公報、特開昭63−235901号公
報、特開平1−217320号公報等の提案があるが、
いまだ不十分である。
【0011】特にインクジェット方式でカラーフィルタ
を作製する際には、 (1)隣接する異なる色の画素間における混色 (2)着色部とブラックマトリクスとの境界部における
白抜けや、着色画素内における着色濃度の分布に起因す
る色ムラが問題となる。そこで、カラーフィルタの画素
間における混色を防止する方法が特開平4−12300
5号公報に提案されている。この方法は、ブラックマト
リクス上に撥水、撥油性の大きなシリコーンゴムのパタ
ーンを形成し、インクジェット法或いは印刷法における
混色を防止する方法である。しかしながら、シリコーン
ゴムのパターンを形成する方法としては、感光性樹脂層
上にシリコーンゴム層を形成した後にフォトリソグラフ
ィによってシリコーンゴム層或いはシリコーンゴム層と
感光性樹脂層を除去するため、2回の塗布工程が必要で
あり、製造工程的に不利である。
【0012】そこで、より簡便な方法で表面が撥水、撥
油性を有するブラックマトリクスを得る方法として、特
開平7−35916号公報に記載された提案がある。こ
の方法はブラックマトリクス形成用の部材上に、シリコ
ーン微粒子を含有する光透過性の感光性樹脂層を形成
し、該感光性樹脂層をフォトリソグラフィによりパター
ニングした後、パターニングされた該感光性樹脂層をマ
スクとしてブラックマトリクス形成用部材を加工する方
法である。
【0013】しかしながら、該提案は、感光性樹脂中に
微粒子状態でシリコーンを含有するため、 (1)シリコーン微粒子が現像残渣となり、これがブラ
ックマトリクス形成用部材に転写されてブラックマトリ
クスに欠陥が発生する。 (2)シリコーン微粒子の添加量を多くすると解像性が
低下するため、微細パターンの形成には不向きである。 等の問題がある。
【0014】また、感光性シリコーンを用いて画素のに
じみを防止する方法として、特開昭63−66501号
公報に感光性樹脂でマトリクスを形成し、その上部に印
刷により黒色部を設けてブラックマトリクスとした後、
感光性シリコーンを用いてブラックマトリクス上に保護
膜を形成する方法の記載がある。この方法は、ブラック
マトリクスの開口部に設ける画素部との境界を明確に
し、画素のにじみを防止してコントラストの高いカラー
フィルタを作製することを目的としたものであるが、感
光性樹脂で形成したブラックマトリクスのエッジ部まで
感光性シリコーンで被覆するため、着色部とブラックマ
トリクスの境界部において白抜けが発生するという問題
がある。
【0015】本発明の目的は、耐熱性、耐溶剤性、解像
性等の必要特性を満足し、工程の短縮された安価なカラ
ーフィルタ基板の製造方法、及び、該方法により製造さ
れた信頼性の高いカラーフィルタ基板を提供するもので
ある。特に、インクジェット方式によりカラーフィルタ
を形成する際に、インクジェット適性を満足し、インク
を付与する際の混色、色ムラを防止した良好なカラーフ
ィルタ基板を提供し、該カラーフィルタ基板を用いて、
カラー表示特性に優れ安価な液晶素子を提供することに
ある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の第一は、透明基
板上にカラーフィルタと遮光層を有するカラーフィルタ
基板の製造方法であって、透明基板上に光照射によって
インク受容能を発現する着色用樹脂層を形成する工程
と、上記着色用樹脂層上に黒色樹脂組成物からなる所定
のパターンの遮光層を形成する工程と、該遮光層をマス
クとして上記着色用樹脂層を露光する工程と、該着色用
樹脂層の露光部に着色インクを付与してカラーフィルタ
を形成する工程とを有することを特徴とする。
【0017】本発明の特徴は、着色してカラーフィルタ
とする樹脂層にインク受容部と非受容部を形成し、イン
ク受容部のみに着色インクを吸収させることにより混色
を防止するものであり、露光によりインク受容能を発現
する樹脂組成物を用い、該樹脂層の上に遮光層を形成し
て該遮光層をマスクとして該樹脂層を露光することによ
り、遮光層で遮光されていない領域のみにインク受容能
を発現させるものである。
【0018】また、本発明の第二は、上記製造方法によ
り製造されたことを特徴とするカラーフィルタ基板であ
り、さらに、本発明の第三は、該カラーフィルタ基板を
用いたことを特徴とする液晶素子である。
【0019】
【発明の実施の形態】図1に本発明の製造方法の一実施
形態を示す。図1は工程の断面模式図であり、図中、1
は透明基板、2は着色用樹脂層、3は黒色樹脂層、4は
ブラックマトリクス、6は非着色部、7はインクジェッ
ト記録装置、8は着色部、10はカラーフィルタ、11
は保護膜である。尚、図中の(a)〜(e)は下記工程
−a〜工程−eに対応する断面図である。
【0020】工程−a 先ず、透明基板1上に着色用樹脂層2と黒色樹脂層3を
形成する。
【0021】本発明において透明基板1としては、一般
にガラス基板が用いられるが、カラーフィルタ基板とし
ての透明性、機械的強度等の必要特性を有するものであ
ればガラス基板に限定されるものではない。
【0022】着色用樹層2としては、後述する工程−d
において付与された着色インクを吸収し且つ隣接するフ
ィルタ間での混色を防止するために、そのままではイン
ク受容能がないが、後述する露光によりインク受容能を
発現する樹脂組成物で形成する。このような樹脂として
は、分子中にジシラン構造を有するシリコーン樹脂が好
適に用いられる。具体的には、ポリ(フェニルメチル)
シラン等の溶剤可溶性オルガノポリシラン、ジシラン構
造を有するビスシリルアミン類とビスフェノール類との
反応物、ジシラン構造を有するジアミンとカルボン酸二
無水物との反応物、1,4−ビス(クロルシリル)ベン
ゼン等の縮合反応によって得られる(ジシラニレン)フ
ェニレンポリマー等が好適に用いられる。
【0023】また、上記着色用樹脂組成物には、後述の
露光の際の光感度向上を目的として、フタルイミドトリ
フレート等の電子移動添加剤を添加しても良い。また、
着色用樹脂層2の形成には、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の
塗布方法を用いることができ、特に限定されるものでは
ない。
【0024】黒色樹脂層3は、着色用樹脂層2上にパタ
ーニングしてブラックマトリクス4を形成するものであ
り、その形成方法としては、 (1)ネガ型の黒色レジストを用いて直接パターニング
を行う。 (2)ポジ型のレジストをパターニングした後、レジス
トパターン上に黒色樹脂層を形成して、リフトオフを行
う。 (3)黒色樹脂組成物をパターン状に印刷する。 等の方法がある。
【0025】いずれの形成方法においても、黒色樹脂組
成物は、着色用樹脂層2と相溶しない組成物で形成す
る。従って、着色用樹脂層2が上記したジシラン構造を
有するシリコーン樹脂で形成されている場合には、溶剤
としては、これを溶解しない溶剤を用いることが好まし
い。例えば、着色用樹脂層2にオルガノポリシラン類を
用いる場合には、アルコール類、グリコール類、エチル
セロソルブ、N−メチル−2−ピロリドン、γ−ブチロ
ラクトン、水等の極性溶剤が好適に用いられる。また、
溶剤以外の成分としては、ブラックマトリクス4の形成
方法にもよるが、 (1)ネガ型の黒色レジストを用いて直接パターニング
する場合、高分子バインダー、光重合性モノマー、重合
開始剤、着色剤、シランカップリング剤等の成分を含有
する黒色樹脂組成物を用いるが、これらの各成分も着色
用樹脂層2を溶解しないことが好ましい。また、同様に
(2)リフトオフによりブラックマトリクス4を形成す
る場合、高分子バインダー、着色剤、シランカップリン
グ剤等の成分を含有する黒色樹脂組成物を用いるが、こ
れらの各成分も着色用樹脂層2を溶解しないことが好ま
しい。さらに、リフトオフに用いるレジスト、現像液、
剥離液等の各材料も着色用樹脂層2を溶解しないことが
好ましい。また、(3)印刷によりブラックマトリクス
4を形成する場合、高分子バインダー、着色剤、分散
剤、シランカップリング剤等の成分を含有する黒色樹脂
組成物を用いるが、同様にこれらの各成分が着色用樹脂
層2を溶解しないことが好ましい。
【0026】また、黒色樹脂層3の形成には、スピンコ
ート、ロールコート、バーコート、スプレーコート、デ
ィップコート等の塗布方法を用いることができ、特に限
定されるものではない。また、膜厚はブラックマトリク
スとして充分な遮光性が得られる範囲で任意に設定する
ことができる。
【0027】工程−b 黒色樹脂層3をパターニングしてブラックマトリクス4
を形成する。パターニングの方法としては、黒色樹脂組
成物がレジストである場合にはマスクを用いて露光、現
像すれば良く、工程が簡素で好ましい。また、別途レジ
ストを形成してエッチング等によりパターニングしても
良い。尚、本実施形態においては、黒色樹脂層3を形成
してからパターニングしてブラックマトリクス4を形成
する工程を示したが、リフトオフによりブラックマトリ
クス4を形成しても良い。また、着色用樹脂層2上に黒
色樹脂組成物を印刷により所定のパターンに印刷してブ
ラックマトリクス4を形成しても良い。いずれにして
も、下層の着色用樹脂組成物とは相溶性がなく、該組成
物層に影響を及ぼさないものが用いられる。また、本発
明においてブラックマトリクス4は画素毎に開口部を有
するブラックマトリクスでも、複数の画素に共通の開口
部を有するブラックストライプでも構わない。
【0028】工程−c ブラックマトリクス4をマスクとして着色用樹脂層2を
露光し、露光された領域にインク受容能を発現させる。
ブラックマトリクス4でマスクされた領域はインク受容
能を発現しないため、非着色部6となり、次の工程にお
いて、露光領域に付与されたインクが隣接する露光領域
へ浸透するのを防ぎ、異なる色の画素間での混色を防止
することができる。また、ブラックマトリクス4がマス
クとなるため、ブラックマトリクス4の開口部がそのま
まカラーフィルタの着色部となるため、ブラックマトリ
クスとカラーフィルタとの位置合わせが不要となり、カ
ラーフィルタの白抜けも防止される。
【0029】工程−d インクジェット記録装置7より着色用樹脂層2の各露光
部に着色インクを付与して該露光部を着色し、必要に応
じてインク乾燥、熱処理等による硬化を行ない、着色部
8を形成する。この時、着色用樹脂層2上に形成された
ブラックマトリクス4が露光部を取り囲む壁となってお
り、付与されたインクが隣接する露光部へ侵入するのを
防ぐことができ、混色が防止される。
【0030】本発明において用いる着色インクとして
は、染料系、顔料系共に用いることが可能であるが、そ
の溶媒組成は、着色用樹脂層2の露光部に対して充分な
浸透性を有する必要がある。また、後工程のプロセス耐
性、信頼性等を考慮した場合、熱処理により硬化し、イ
ンク中に含まれる染料或いは顔料等着色剤を固定化する
ことが好ましい。着色剤を固定化する方法としては、着
色用樹脂層2の露光部を3次元架橋させ、高分子のマト
リクス中に着色剤を取り込むことが有効である。例え
ば、ポリ(フェニルメチル)シランは、側鎖にフェニル
基とメチル基を有する直鎖状の2次元ポリマーであり、
露光によってジシラン結合が切断されてシラノールが生
成することにより、インク受容能を発現する。その後、
露光部に対してインクを付与した後熱処理を行なうこと
により、シラノールが脱水縮合反応を生じてシロキサン
ポリマーを生成する。しかしながら、生成したシロキサ
ンポリマーも直鎖状の2次元ポリマーであるため、後工
程におけるプロセス耐性、特に耐溶剤性に問題が残る。
そこで、耐溶剤性を向上するためには、上記したように
3次元構造のシロキサンポリマーを形成することが有効
である。3次元構造のシロキサン結合を形成する方法と
しては以下の2通りが好ましく用いられる。
【0031】(1)着色インク中にシラノールの3次元
架橋を形成する成分、例えば3個又は4個のアルコキシ
基又は水酸基を有するシリコン化合物を含有させてお
く。 (2)ポリ(フェニルメチル)シランの一部に、3個又
は4個のシリコン原子と結合したシリコン原子を導入し
ておく。
【0032】さらに、本発明において着色インクを露光
部に付与する手段は特に限定されないが、複数色を1工
程で着色できる本実施形態のインクジェット方式が好ま
しい。インクジェット方式としては、エネルギー発生素
子として電機熱変換体を用いたバブルジェットタイプ、
或いは、圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使
用可能であり、着色面積及び着色パターンは任意に設定
することができる。
【0033】工程−e 必要に応じて、保護膜11を形成する。保護膜として
は、光硬化タイプ、熱硬化タイプ、或いは光熱併用タイ
プの樹脂材料、蒸着又はスパッタ等によって形成される
無機膜等を用いることができるが、カラーフィルタ基板
としての透明性を有し、その後のプロセス、液晶素子を
構成する場合には、ITO形成プロセス、配向膜形成プ
ロセス等に耐え得るものであれば使用可能である。
【0034】次に、図2に上記工程で作製されたカラー
フィルタ基板を用いて構成した液晶素子の一実施形態の
断面模式図を示す。図中、12は共通電極、13は配向
膜、15は対向基板、16は画素電極、17は配向膜、
18は液晶化合物である。
【0035】本実施形態はTFTを用いたアクティブマ
トリクス型のカラー液晶素子であり、カラーフィルタ1
0を形成した基板と対向基板15とを合わせこみ、該基
板の間隙(2〜5μm程度)に液晶化合物18を封入す
ることにより形成される。対向基板15にはTFT(図
示しない)と画素電極16がマトリクス状に形成され、
他方の基板1には画素電極16に対向する位置にカラー
フィルタ10の着色部8が形成され、その上に透明な共
通電極12が形成されている。さらに、両基板の面内に
は配向膜13、17がそれぞれ形成されており、これを
ラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列
させることができる。
【0036】本実施形態の液晶素子の両基板の外側には
偏光板が接着され、蛍光灯と散乱板を組み合わせたバッ
クライトからの光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能させることにより表示を行なう。
【0037】本発明において、前記実施形態において説
明した部材以外の部材については、従来の素材及び形成
方法をそのまま適用することができる。
【0038】
【実施例】
[実施例1]ガラス基板上に、ポリ(フェニルメチル)
シランを膜厚1.2μmとなるようにスピンコートし、
90℃で20分間のプリベークを行なった。次にブラッ
クマトリクス用レジスト(商品名:V−259,新日鉄
化学社製)を膜厚1.5μmとなるように形成し、所定
の露光、現像、加熱処理を行なってポリ(フェニルメチ
ル)シラン層上に所定のパターン形状を有するブラック
マトリクスを形成した。
【0039】次に、ブラックマトリクス側から3J/c
2 の露光量で全面露光を行なった後、露光部に対して
インクジェット記録装置を用いて、 R(赤)インク: 水 58重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 R染料 4重量部 メチルトリメトキシシラン 3重量部 G(緑)インク: 水 57重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 G染料 5重量部 メチルトリメトキシシラン 3重量部 B(青)インク: 水 58重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 B染料 4重量部 メチルトリメトキシシラン 3重量部 からなる着色インクによりR、G、Bのマトリクスパタ
ーンを着色し、90℃で5分間、引き続き230℃で3
0分間の熱処理を行なった。さらに、保護膜として二液
型の熱硬化性樹脂(商品名:SS−6500,JSR
製)を膜厚1μmとなるようにスピンコートし、230
℃で1時間の熱処理を行なって硬化させた。
【0040】このようにして作製されたカラーフィルタ
基板を光学顕微鏡により観察したところ、混色や白抜
け、画素内の色ムラ等は観察されなかった。
【0041】[実施例2]着色用樹脂組成物として、
1,4−ビス(クロルシリル)ベンゼンの縮合反応物を
用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタ基板
を作製し、光学顕微鏡により観察したところ、混色や白
抜け、画素内の色ムラ等は観察されなかった。
【0042】[実施例3]着色用樹脂組成物として、フ
ェニルメチルジクロロシラン及びメチルトリクロロシラ
ンから合成したポリシランを用い、さらに着色インクと
して下記組成のものを用いた以外は実施例1と同様にし
てカラーフィルタ基板を作製した。
【0043】R(赤)インク: 水 61重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 R染料 4重量部 G(緑)インク: 水 60重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 G染料 5重量部 B(青)インク: 水 61重量部 ジエチレングリコール 25重量部 メチルアルコール 10重量部 B染料 4重量部
【0044】本実施例のカラーフィルタ基板を光学顕微
鏡により観察したところ、混色や白抜け、画素内の色ム
ラ等は観察されなかった。
【0045】[実施例4]ブラックマトリクスの形成
を、黒色樹脂材料(日立粉末冶金社製)を用い、ポジ型
レジスト(東京応化社製)を用いてリフトオフ法により
形成した以外は実施例1と同様にして作製したカラーフ
ィルタ基板を光学顕微鏡により観察したところ、混色や
白抜け、画素内の色ムラ等は観察されなかった。
【0046】[実施例5]ブラックマトリクスの形成
を、黒色樹脂材料(日産化学社製)を用い、ポジ型レジ
スト(東京応化社製)を用いてエッチングにより形成し
た以外は実施例1と同様にして作製したカラーフィルタ
基板を光学顕微鏡により観察したところ、混色や白抜
け、画素内の色ムラ等は観察されなかった。
【0047】[実施例6]着色インクとして、 水 40〜42重量部 ジエチレングリコール 30重量部 メチルアルコール 10重量部 顔料 8〜10重量部 メチルトリメトキシシラン 3重量部 水溶性アクリル樹脂 7重量部 からなるR、G、Bのインクを用いた以外は実施例1と
同様にしてカラーフィルタ基板を作製し、光学顕微鏡に
より観察したところ、混色や白抜け、画素内の色ムラ等
は観察されなかった。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
遮光層の開口部にカラーフィルタの着色部を形成できる
ため、カラーフィルタの白抜けがなく、また、遮光層に
覆われた領域が非着色部となり且つ遮光層が着色部を取
り囲んで混色防止壁となるため、隣接する着色部のイン
ク同士が混じることがなく、混色が防止される。また、
遮光層をマスクとして用いるため、着色部形成用に別途
マスクを設ける必要がなく、また、遮光層とカラーフィ
ルタとの位置合わせが不要であるため工程が簡略化され
る。特に、インクジェット方式によりインクを付与する
ことにより、インクの付与が1工程で済むため、より工
程が短縮される。よって、本発明によれば、信頼性の高
いカラーフィルタ基板を歩留及び効率良く提供すること
ができ、よりカラー表示特性に優れた液晶素子を安価に
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のカラーフィルタ基板の製造方法の一実
施形態の工程を示す断面模式図である。
【図2】本発明の液晶素子の一実施形態を示す断面模式
図である。
【符号の説明】
1 透明基板 2 着色用樹脂層 3 黒色樹脂層 4 ブラックマトリクス 6 非着色部 7 インクジェット記録装置 8 着色部 10 カラーフィルタ 11 保護膜 12 共通電極 13 配向膜 15 対向基板 16 画素電極 17 配向膜 18 液晶化合物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 健 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 祖父江 正司 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 柏崎 昭夫 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板上にカラーフィルタと遮光層を
    有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、透明基
    板上に光照射によってインク受容能を発現する着色用樹
    脂層を形成する工程と、上記着色用樹脂層上に黒色樹脂
    組成物からなる所定のパターンの遮光層を形成する工程
    と、該遮光層をマスクとして上記着色用樹脂層を露光す
    る工程と、該着色用樹脂層の露光部に着色インクを付与
    してカラーフィルタを形成する工程とを有することを特
    徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
  2. 【請求項2】 上記着色用樹脂層を構成する組成物が、
    ジシラン構造を有するシリコーン樹脂を含む請求項1記
    載のカラーフィルタ基板の製造方法。
  3. 【請求項3】 上記ジシラン構造を有するシリコーン樹
    脂が3個又は4個のシリコン原子と結合したシリコン原
    子を有する請求項2記載のカラーフィルタ基板の製造方
    法。
  4. 【請求項4】 上記遮光層が、黒色樹脂組成物を用いて
    フォトリソグラフィにより形成される請求項1記載のカ
    ラーフィルタ基板の製造方法。
  5. 【請求項5】 上記遮光層が、黒色樹脂組成物を用いて
    リフトオフにより形成される請求項1記載のカラーフィ
    ルタ基板の製造方法。
  6. 【請求項6】 上記遮光層が、黒色樹脂組成物を用いて
    印刷により形成される請求項1記載のカラーフィルタ基
    板の製造方法。
  7. 【請求項7】 上記黒色樹脂組成物が上記着色用樹脂を
    構成する組成物と相溶しない請求項4〜6いずれかに記
    載のカラーフィルタ基板の製造方法。
  8. 【請求項8】 上記着色インクが、3個又は4個のアル
    コキシ基又は水酸基を有するシリコン化合物を含有する
    請求項2記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
  9. 【請求項9】 上記着色用樹脂層の露光部に着色インク
    を付与する手段が、インクジェット方式である請求項1
    〜8いずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
  10. 【請求項10】 請求項1〜9いずれかに記載の製造方
    法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ基
    板。
  11. 【請求項11】 カラーフィルタ上に保護膜を有する請
    求項10記載のカラーフィルタ基板。
  12. 【請求項12】 一対の基板間に液晶を挟持してなる液
    晶素子であって、一方の基板が、請求項10又は11記
    載のカラーフィルタ基板を用いてなることを特徴とする
    液晶素子。
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