DE68919718T2 - Pseudo-statischer Direktzugriffspeicher. - Google Patents

Pseudo-statischer Direktzugriffspeicher.

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DE68919718T2
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Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Die Erfindung betrifft eine Halbleiter-Speichervorrichtung und insbesondere eine integrierte Halbleiterschaltung eines pseudostatischen Speichers mit freiem Zugriff.
  • Der pseudostatische Speicher mit freiem Zugriff (Random Access Memories RAM) umfaßt ein dynamisches Speicherzellenfeld mit freiem Zugriff, das im Bereitschaftszustand eine Auffrischoperation erfordert, eine Peripherieschaltung zur Durchführung des Zugriffs auf eine bezeichnete Speicherzelle in dem Speicherzellenfeld und zum Ausgeben oder zum Eingeben von Daten aus bzw. in die bezeichnete Zelle, und eine interne Auffrischschaltung. Es existiert der Vorteil der geringen Kosten eines dynamischen Speichers mit freiem Zugriff mit hoher Speicherkapazität. Seine eingebaute interne Auffrischschaltung erreicht die Auffrischoperation für den dynamischen Speicher mit freiem Zugriff im Bereitschaftsstatus automatisch (Selbstauffrischungsmodus), was den Nachteil eines dynamischen Freizugriffsspeichers vermeidet, daß er eine komplizierte aufwendige Steuerung für die Auffrischung erfordert.
  • Der Lese- oder Schreibvorgang für die dynamische Freizugriffs-Speichermatrix sollte so schnell wie möglich erfolgen, und dementsprechend ist der Speicherzyklus kurz gestaltet. Aus diesem Grund ist die Zeitspanne von der Aktivierung oder vom Treiben einer augewählten Wortleitung bis zur Aktivierung oder zum Freigeben eines Leseverstärkers in einem solchen Maß reduziert, daß der Leseverstärker freigegeben wird, bevor 100% des Anteils der Information (d.h. des Betrags elektrischer Ladungen), die in einer bezeichneten Speicherzelle gespeichert ist, die mit einer betriebenen Wortleitung verbunden ist, auf eine Bitleitung übertragen wird, die mit der bezeichneten Speicherzelle verbunden ist, und an den Leseverstärker, für den Fall, daß die Speicherzelle die Information "1" speichert oder daß die Speicherzelle, die die Information "0" speichert, vollständig geladen ist. Dies vermindert die Datenhaltezeit der Speicherzellen, und aufgrunddessen kann die Auffrischspanne im Selbstauffrischmodus nicht lang ausgebildet sein. Es ist hinsichtlich der Unterdrückung des Leistungsverbrauchs im Bereitschaftszustand wünschenswert, die Auffrischdauer im Selbstauffrischmodus 5 bis 10 mal länger als beim normalen Betrieb zu gestalten. Da die Auffrischspanne nicht so lang gestaltet werden kann, ist der Leistungsverbrauch im Selbstauffrischmodus bei dem bekannten pseudostatischen RAM erhöht.
  • Die US-A-4716551 beschreibt einen Halbleiterspeicher gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wobei eine interne Auffrischschaltung ein Auffrisch-Anforderungssignal in einem kürzeren Zyklus bei hoher Temperatur und einem längeren Zyklus bei geringerer Temperatur erzeugt.
  • Die US-A-4687951 zeigt eine Speicherschaltung, bei der Betriebsparameter, insbesondere die Zugriffssteuerungen, durch Schmelzverbindungen eingestellt werden.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung eine pseudostatische RAM- Vorrichtung zu schaffen, die im Lese- oder Schreibmodus schnell arbeitet und eine lange Auffrischspanne im Selbstauffrischmodus ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Halbleiterspeicher geschaffen, der in Anspruch 1 definiert ist. Die abhängigen Ansprüche betreffen Weiterentwicklungen der Erfindung.
  • Die Erfindung zeichnet sich aus durch die Erzeugung eines Aktivierungssignals zum Freigeben des Leseverstärkers mit einer variablen Verzögerungszeit von einem Zeitpunkt, zu dem eine ausgewählte Wortleitung betrieben wird. Die Verzögerungszeit wird so geschaltet, daß sie lang ist, in Abhängigkeit von einem Steuersignal, das den Selbstauffrischmodus angibt, daß sie ausreicht, 100 % des Anteils der Information von der ausgewählten, betriebenen Speicherzelle auf die mit ihr verbundene Bitleitung oder umgekehrt zu übertragen, und sie wird kurzgehalten, wenn das Steuersignal, das den Selbstauffrichmodus angibt, nicht vorhanden ist.
  • Erfindungsgemäß hat der pseudostatische RAM eine lange Auffrischspanne init einer längeren Spanne zwischen dem Zeitpunkt, bei dem eine ausgewählte Wortleitung betrieben wird, und dem Zeitpunkt, wenn die Leseverstärker im Selbstauffrischmodus freigegeben werden, und hat einen kurzen Speicherzyklus mit einer Spanne zwischen den genannten Zeitpunkten, die kürzer ist als in anderen Modi. In dem Fall, daß ein Leseverstärker mit zweistufiger Verstärkung als Leseverstärker verwendet wird, kann ein Aktivierungssignal für die zweitstufige Verstärkung erzeugt werden, mit einer Verzögerungszeit von der Erzeugung eines Aktivierungssignals für die erststufige Verstärkung, in Abhängigkeit von dem Steuersignal, das den Selbstauffrischmodus angibt, wobei die Verzögerungszeit ausreichend ist, um eine volle Empfindlichkeit des Leseverstärkers sicherzustellen. Wenn das genannte Steuersignal nicht vorhanden ist, ist die Verzögerungszeit zwischen den beiden Aktivierungssignalen geringer, um einen schnellen Betrieb auf Kosten der Empfindlichkeit der Leseverstärker zu gewährleisten.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der-Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen deutlich. Es zeigen:
  • Fig. 1 ein Blockdiagramm eines pseudostatischen RAM gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,
  • Fig. 2 ein Schaltdiagramm verschiedener Blöcke der Fig. 1,
  • Fig. 3 ist ein Signalverlaufsdiagramm zur Erläuterung des Lese- und Auffrischvorganges gemäß Fig. 1,
  • Fig. 4 ist ein Signalverlaufsdiagramm zur Erläuterung des Selbstauffrischvorganges gemäß Fig. 1,
  • Fig. 5 ist ein Schaltdiagramm zur Erläuterung eines Beispiel einer Verzögerungsschaltung mit variabler Verzögerung gemäß Fig. 1,
  • Fig. 6 ist ein Graph zur Erläuterung wie die geänderten Verzögerungszeitsteuerungen gemäß Fig. 1 bestimmt werden,
  • Fig. 7A, 7B und 7C sind Schaltdiagramme zur Erläuterung eines weiteren Beispiels einer Verzögerungsschaltung mit variabler Verzögerungszeit gemäß Fig. 1,
  • Fig. 8A und 8B sind Schaltdiagramme eines weiteren Beispiels eines Zeilendekoders gemäß Fig. 1, und
  • Fig. 9 ist ein Schaltdiagramm eines Leseverstärkers mit zweistufiger Verstärkung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung.
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Bezugnehmend auf Fig. 1 hat ein integrierter Schaltungschip 10 eines pseudostatischen RAM gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung Zeilenadress-Eingangsanschlüsse 11-0, 11-1...11-i, die Zeilenadressignale Ax0, Ax1...Axi empfangen, Spaltenadress-Eingangsanschlüsse 12-0, 12-1...12-j, die Spaltenadressignale Ay0, Ay1...Ayj erhalten, einen Auffrischsignal-Eingangsanschluß 13, der ein Auffrischsignal erhält, einen Chipfreigabesignal-Eingangsanschluß 14, der ein Chipfreigabesignal erhält, ein Chipauswahlsignal-Eingangsanschluß 15, der ein Chipauswahlsignal erhält, einen Datenausgangsanschluß 16, von dem ausgelesene Daten DOUT ausgebeben werden, einen Dateneingangsanschluß 17, in den Daten DIN, die zu schreiben sind, eingegeben werden, und Speisequellenanschlüsse 18 und 19, denen Versorgungsspannungen VCC bzw. VSS zugeführt werden. Die Zeilenadress-Signale Ax0, Ax1...Axi, die den Zeilenadress-Eingangsanschlüssen 11-0, 11-1...11-i eingegeben werden, werden über einen Zeilenadresspuffer/Multiplexer 21 an einen Zeilendekoder 23 gegeben, um eine bezeichnete Wortleitung in einer Speicherzellenmatrix 20 auszuwählen. Der Zeilendekoder 23 wird durch ein Zeitsteuersignal Φ&sub1; freigegeben, das seinerseits in einem Zeitsteuersignalgenerator 34 in Abhängigkeit von einem Chipfreigabesignal erzeugt wird, das dem Chipfreigabesignaleingangsanschluß 14 angelegt wird. Anschließend werden Leseverstärker 24 durch ein Zeitsteuersignal Φ&sub2; aktiviert, das seinerseits in den Zeitsteuersignalgenerator 34 mit einer Verzögerung nach Erzeugung des Zeitsteuersignals Φ&sub1; erzeugt wird, um Signale zu verstärken, die auf den Bitleitungen aller Speicherzellen, die mit der ausgewählten Wortleitung in der Zellenmatrix 20 verbunden ist, zu verstärken und sie in diesselben Speicherzellen erneut einzuschreiben. Die Spaltenadressignale Ay0, Ay1...Ayj an den Spaltenadress- Eingangsanschlüssen 12-0, 12-1...12-j werden über einen Spaltenadresspuffer 22 an einen Spaltendekoder 25 gegeben, um eine Bitleitung aus den Bitleitungen mit den verstärkten Datensignalen darauf auszuwählen. Im Lesemodus wird das Datensignal auf der ausgewählten Bitleitung über einen Datenausgangspuffer 26 von einem Datenausgangsanschluß 16 ausgelesen. Im Schreibmodus wird ein Datensignal DIN von einem Dateneingangsanschluß 17 über einen Dateneingangspuffer an die ausgewählte Bitleitung gegeben, um in die ausgewählte Speicherzelle eingeschrieben zu werden. Zeitsteuersignale Φx, Φy, Φz, die den Spaltendekoder 25, den Datenausgangspuffer 26 bzw. den Dateneingangspuffer 27 aktivieren, werden in einem Zeitsteuersignalgenerator 35 in Abhängigkeit von einem Chipauswahlsignal erzeugt, wenn es dem Chipauswahlsignal-Eingangsanschluß 15 zugeführt wird.
  • Bezugnehmend auf Fig. 4 werden ein internes Auffrisch-Steuersignal R&sub1; und ein internes Adresszähler-Inkrementsignal 2 in einer Auffrisch-Treiberschaltung 31 jedesmal dann erzeugt, wenn das Auffrischsignal am Auffrischsignal-Eingangsanschluß 13 auf den niedrigen Pegel fällt. Das interne Auffrisch-Steuersignal R&sub1; wird dem Zeilenadressmultiplexer 21 zugeführt, der dadurch die internen Adressignale von einem internen Adresszähler 30 dem Zeilendekoder 23 als eine Zeilenadresse zuführt, anstatt des Eingangszeilenadressignals von den Zeilenadress-Eingangsanschlüssen 11-0 bis 11-i. Das Signal R&sub1; wird ferner dem Zeitsteuersignalgenerator 34 zugeführt, der dadurch die Signale Φ&sub1; und Φ&sub2; erzeugt. Der Zeilendekoder 23 wählt eine der Wortleitungen der Zellmatrix 20 aus, die durch das interne Adressignal bezeichnet ist, und die Datensignale der Speicherzellen, die mit der ausgewählten Wortleitung verbunden sind, werden durch die Leseverstärker 24 verstärkt, und, wie oben beschrieben, erneut gespeichert. Auf diese Weise wird der Auffrischvorgang für die Speicherzellen in einer Zeile ausgeführt, und der Inhalt des interenen Adresszählers 30 wird durch das interne Adresszähler-Inkrementsignal R2 um 1 erhöht.
  • Falls die Pegel der -Signale extern periodisch geändert werden, werden die Signale R1 und R2 entsprechend periodisch erzeugt, und der Auffrischvorgang wird für die folgenden Zeilen nacheinander durchgeführt.
  • Für den Fall, daß der niedrige Pegel des -Signals sich über eine vorgegebene Zeitspanne erstreckt, erfaßt dies eine Selbstauffrischmodus-Erfassungsschaltung 32 und bestinunt, daß der Selbstauffrischmodus intern zu starten ist. Als Ergebnis erzeugt die Schaltung 32 ein Steuersignal ΦS, das den Selbstauffrischmodus angibt, und sendet es an den Zeitsteuersignalgenerator 34 und zu der Selbstauffrischschaltung 33, die dadurch periodisch Auffrischanforderungssignale R&sub3; mit einer relativ langen Intervallzeitspanne erzeugt. In Abhängigkeit von dem Auffrisch-Anforderungssignal R&sub3; erzeugt die Auffrischtreiberschaltung 31 ferner die Signale R&sub1; und R&sub2;, so daß der Auffrischvorgang (Selbstauffrischvorgang) für die folgenden Zeilen nacheinander mit einem relativ langen Zeitintervall durchgeführt wird.
  • Bezugnehmend auf Fig. 2 umfaßt ein Beispiel eines Zeilendekoders 23 eine Anzahl von zwei Eingangs-UND-Toren 48, deren eine Eingänge mit verschiedenen Adressleitungen und deren andere Eingänge gemeinsam mit einer Quelle eines Zeitsteuersignals Φ&sub1; verbunden sind. Die Leseverstärker 24 (nur einer ist dargestellt) haben jeweils ein Flip-Flop aus zwei P-Kanal-MOS-Transitoren (MOSPT) 42 und 43 und zwei N-Kanal- MOS-Transistoren 44 und 45 und ein Paar großdimensionierte P- und N-Kanal-Transistoren 41 und 46, die zwischen das Flip-Flop und die Spannungsquellen VCC bzw. VSS als Freigabetore geschaltet sind. Die Speicherzellenmatrix 20 umfaßt eine Anzahl von Speicherzellen 201 (nur zwei Zellen sind dargestellt) eine Eitleitungs-Ausgleichsschaltung 202 aus drei N-Kanal-Transistoren 130, 131 und 132 für jedes Paar Bitleitungen BL und und eine Zwischenpotential- Erzeugungsschaltung 203 mit zwei Widerständen 140 und 141, die zwischen den VCC- und den VSS-Anschluß geschaltet sind. Beispielsweise betragen VCC 5 Volt und VSS Null Volt, und das Zwischenpotential VR beträgt etwa 2 Volt. Bezugnehmend auf Fig. 3 werden vor dem Beginn des Lese- oder des Auffrischvorgangs die Potentiale der Bitleitungen BL und auf das Potential VR über N-Kanal-MOS-Transistoren (im Folgenden als "MOSNT" bezeichnet) 131 und 132 vorgeladen und durch den MOSNT 130 ausgeglichen. Nachdem ein Bitleitungs-Vorladesignal Φp zurückgestellt wurde, wird eine Wortleitungs-Treibersignal Φ&sub1; aktiviert, und eine durch den Zeilendekoder 23 ausgewählte Wortleitung WL1 wird aktiviert. Falls angenommen wird, daß eine Speicherzelle aus einem MOSNT 110 und einem Kondensator 120 besteht und auf dem "1"-Pegel gehalten wird (d.h. der Zustand, in dem ein Sourcepotential des MOSNT 110 größer ist als das Potential VR an der BL), wird der MOSNT 110 als Ergebnis der Aktivierung von WL1 leitend, und der Pegel der Bitleitung BL erhöht sich um das Potential
  • was durch das Verhältnis der Speicherzellkapazität CS und der Bitleitungskapazität CD bestimmt ist und beispielsweise 200 mV beträgt. Hier bezeichnet Vx das Anfangspotential der Speicherzelle. Nach einer bestimmten Verzögerungszeit T von dem Signal Φ&sub1;, die durch die Verzögerungsschaltung 40 in dem Zeitsteuergenerator 34 bestimmt ist, wird ein Leseverstärker-Aktivierungssignal Φ&sub2; aktiviert, um die Anfangspotentialdifferenz AV zwischen den Bitleitungen zu verstärken und die Bitleitung BL auf das Spannungsquellenpotential VCC und die Bitleitung auf das Massepotential VSS zu bringen. Als Ergebnis wird der "1"-Pegel der Speicherzelle gelesen und aufgefrischt. In der bekannten Vorrichtung liefert die Verzögerungsschaltung 40 eine feste Verzögerungszeit T vom Zeitpunkt der Wortleitungsaktivierung zur Aktivierung des Leseverstärkers, die verkürzt wird, um die Lese-/Schreibzeit und den Speicherzyklus schnell auszugestalten. Fig. 6 ist ein Graph, dessen Abszisse die Verzögerungszeit T und dessen Ordinate die Betragsänderung des Potentials der Bitleitungen angibt. Es ist ersichtlich, daß die Verstärkung begonnen wird, durch Verkürzung der Verzögerungszeit T von D2 (beispielsweise 20 Nanosekunden) auf D1 (beispielsweise 10 Nanosekunden) zum Zweck des schnellen Betriebs, im Zustand (ΔV1 beispielsweise 160 mV), wobei die Übertragung der gespeicherten Information (die gespeicherten Ladungen) von den Speicherzellen auf die Bitleitung noch nicht 100 -% beträgt. Die Verzögerungszeit von D&sub2; ist erforderlich, um die gesamten Ladungen auf die Bitleitung zu übertragen und die Potentialänderung ΔV&sub2; von 200 mV zu erzielen. Die Auffrischdauer im Selbstauffrischmodus wird normalerweise auf etwa 5 bis 10 mal der Auffrischdauer beim Normalbetrieb eingestellt, um den Stromverbrauch im Bereitschaftszustand zu reduzieren. Als Ergebnis wird die Daten- Haltezeit der Speicherzellen im Selbstauffrischmodus bei der bekannten pseudostatischen Halbleiterspeichervorrichtung, in der der Anteil der Zellinformation nicht zu 100 % genutzt wird sehr wichtig, und die Datenhaltezeit der Speicherzelle ist kürzer als in dem Fall, daß die Zelleninformation zu 100% genutzt wird, und die Auffrischdauer im Selbstauffrischmodus ist nicht lang genug, um den Stromverbrauch im Selbstauffrischvorgang zu unterdrücken.
  • Erfindungsgemäß wird die Verzögerungezeit T von der Wortleitungsaktivierung zur Leseverstärkeraktivierung auf D&sub2; (beispielsweise 20 Nanosekunden) in Fig. 6 im Selbstauffrischmodus eingestellt, um 100% der Zellinformation zu nutzen, und sie wird auf D&sub1; (beispielsweise 10 Nanosekunden) in anderen Modi eingestellt, um Hochgeschwindigkeitszugriff zu erreichen. Bezugnehmend auf Fig. 4 umfaßt die Verzögerungsschaltung 40, die das Signal Φ&sub2; aus dem Signal Φ&sub1; erzeugt, eine Reihenschaltung eines Verzögerungselementes 50 mit einer kurzen Verzögerungszeit D&sub1; und ein Übertragungstor aus einem Paar parallel geschalteter MOSPT 52 und MOSNT 53 mit einem Inverter 54 und eine weitere Reihenschaltung eines Verzögerungselementes 51 mit einer längeren Verzögerungszeit D&sub2; und einem Übertragungtor aus parallel geschalteten MOSPT 55 mit einem Inverter 57 und einem MOSNT 56. Die zwei Reihenschaltungen sind parallel geschaltet. Die Übertragungstore werden unter Steuerung des Steuersignals ΦS, das den Selbstauffrischmodus angibt, geschaltet. Wenn das Signal ΦS abwesend oder auf niedrigem Pegel ist, wird das Übertragungstor (52 und 53) eingeschaltet und das Leseverstärker-Aktivierungssignal wird durch das Verzögerungselement 50 für eine kurze Zeitspanne D1 verzögert. Wenn das Signal ΦS vorhanden oder auf hohem Pegel ist, wird das Übertragungstor (55, 56) eingeschaltet, und das Leseverstärker-Aktivierungssignal Φ&sub2; wird durch das Verzögerungselement 51 für eine längere Zeitspanne D&sub2; verzögert. Aufgrund des Signals ΦS, das seinen hohen Pegel nur im Selbstauffrischmodus einnimmt, kann somit die Zeitdauer T von der Wortleitungsaktivierung zur Leseverstärkeraktivierung auf D2 im Selbstauffrischungsmodus und auf D1 in anderen Modi geschaltet werden.
  • Fig. 7 und 8 zeigen weitere Beispiele der Verzögerungsschaltung 40 und des Zeilendekoders 23. Bezugnehmend auf Fig. 7A umfaßt die Verzögerungsschaltung 40 zehn Inverter I&sub1;-I&sub1;&sub0; und zwei NAND-Tore NA&sub1; und NA&sub2;. Fig. 7B zeigt die Schaltung für jeden der Inverter, der ein Paar aus einem MOSPT und einem MOSNT aufweist, und Fig. 7c ist eine Schaltung jedes NAND-Tores mit zwei MOSPT und zwei MOSNT. Das Signal Φ&sub2; wird über sechs Stufen Inverter I&sub1;&sub1; bis I&sub1;&sub6; aus einem Signal Φ&sub0; erzeugt, das ebenso durch oder R&sub1; erzeugt wird. Das Signal Φ&sub2; wird zunächst durch die ersten beiden Inverter I&sub1; und I&sub2; verzögert und dann, falls das Steuersignal auf niedrigem Pegel ist, d.h., falls der Betriebsmodus ein anderer als der Selbstauffrischmodus ist, durch das zweite NAND und die letzten drei Inverter I&sub8; bis I&sub1;&sub0; verzögert, um das Signal Φ zu erzeugen. Die Verzögerungszeit wird durch die sechsstufigen Tore bestimmt und ist kurz (D&sub1; = 10 Nanosekunden, beispielsweise). Falls das Steuersignal Φs auf hohem Pegel ist, d.h. im Selbstauffrischmodus, wird das Signal Φ&sub2; nicht direkt übertragen, sondern durch zusätzliche sechs Tore I&sub3; bis I&sub7; und NA&sub1; (denen das Steuersignal Φs zugeführt wird) vom zweiten Inverter I&sub2; zum zweiten NAND-Tor NA&sub2;. Aufgrunddessen wird die Verzögerungszeit von 10 Nanosekunden durch die zusätzlichen sechs Tore dem Signal Φ&sub2; addiert. Die Verzögerungszeit in diesem Fall ist länger (D&sub2; = 20 Nanosekunden).
  • In einem Beispiel eines pseudostatischen RAM mit einem Megabit beträgt die Anzahl der Zeilenadressignale neun und die der Spaltenadressignale ist acht. Von den neun Zeilenadressignalen Ax0 - Ax8 werden die ersten beiden Ax0 und Ax1 in einem Erststufen-Zeilendekoder 23-1, der in der Fig. 8A dargestellt ist, verwendet. Vier verschiedene Kombinationen von Waren und komplementären Adressignalen Ax0, Ax1, und werden vier Dreieingang-NAND- Tore zugeführt, um eines der vier Wortleitungs-Aktivierungssignale Φ&sub1;&sub1;, Φ&sub1;&sub2;, Φ&sub1;&sub3; und Φ&sub1;&sub4; auszuwählen. Da das Signal Φ&sub0; durch die sechs Tore verzögert wird, um die Wortleitungs-Aktivierungssignale Φ&sub1;&sub1; bis Φ&sub1;&sub4; zu erzeugen, haben die letzteren Signale im wesentlichen diesselben Zeitsteuerungen wie das Signal Φ&sub1; in Fig. 7a. Die dritten bis siebten Zeilenadressignale Ax2 bis Ax6 werden in dem Zweitstufen-Zeilendekoder 23-2, der in Fig. 8b dargestellt ist, verwendet, der der Dekoder für die Kombination der vier Warensignale Ax3 bis Ax6 ist. Es sind weitere 15 Zweitstufen- Zeilendekoder für andere Kombinationen vorhanden. Die letzten beiden Zeilenadressen Ax7 und Ax8 werden zur Auswahl einer der vier Speicherzellenblöcke verwendet. Wie in Fig. 8b dargestellt ist, wird eins der Signale Φ&sub1;&sub1; bis Φ&sub1;&sub4;, das heißt ein dem Signal Φ&sub1; äquivalentes Signal, zur Aktivierung oder zum Treiben einer ausgewählten Wortleitung (eine der WL0 bis WL7) verwendet.
  • Der in Fig. 2 dargestellte Leseverstärker 24 hat Freigabetransistoren 41 und 46, die groß dimensioniert sind und Probleme der Fehlfunktion und der langsamen Betriebsweise zeigen, wenn sie betrieben werden. Um diese Probleme zu vermeiden wird ein zweistufiger Leseverstärker 24', der in Fig. 9 dargestellt ist, verwendet, der ein Paar kleindimensionierter Freigabetransistoren MOSPT 121 und MOSNT 126 und ein Paar größerer Freigabetransistoren MOSPT 128 und MOSNT 129 zusätzlich zu dem Flip-Flop aus den Transistoren 22-44 aufweist. Die Erststufenverstärkung wird in Abhängigkeit von einem ersten Aktivierungssignal Φ&sub2; erreicht, und die Zweitstufenverstärkung wird in Abhängigkeit von einem zweiten Aktivierungssignal Φ&sub3; erreicht, das nach einer festen Verzögerungszeit Φ&sub3;, ausgehend vom ersten Aktivierungssignal, mittels einer Verzögerungsschaltung 91 erzeugt wird. Die Verzögerungszeit D&sub3; zwischen den Aktivierungssignalen Φ&sub2; und Φ&sub3; wird häufig kurz gestaltet, um den Speicherzyklus auf Kosten der Empfindlichkeit der Verstärker zu erhöhen. Durch Verwenden der Verzögerungsschaltung 40 mit variabler Verzögerung, die in Fig. 5 oder Fig. 7a dargestellt ist, anstatt der Verzögerungsschaltung 91 gemäß Fig. 9, ist es möglich, von der Hochgeschwindigkeitsverstärkung im normalen Speicherzyklus mit kurzer Verzögerungszeit D&sub1; auf eine Geringgeschwindigkeitsverstärkung im Selbstauftrischmodus mit einer langen Verzögerung D&sub2; umzuschalten, so daß die Empfindlichkeit des Leseverstärkers auf ein Maximum ausgedehnt werden kann.
  • Es wurde hier beschrieben, daß die Erfindung dahingehend vorteilhaft ist, daß die Datenhaltezeit der Speicherzellen und/oder die Empfindlichkeit der Leseverstärker im Selbstauffrischmodus gegenüber dem Normalbetrieb ohne Verschlechtung der Hochgeschwindigkeit des Normalbetriebs erhöht werden kannl durch Anderung der Aktivierungszeitsteuerung des Leseverstärker-Aktivierungssignals durch Schalten einer Anzahl von Verzögerungselementen für verschiedene Modi. Ein weiterer Vorteil ist, daß der Betriebsbereich im Selbstauffrischmodus durch Nutzen der Information der Speicherzelle zu 100% ausgedehnt werden kann.

Claims (3)

1. Halbleiterspeicher mit einer Anzahl dynamischer Speicherzellen, die in einer Matrix (20) angeordnet sind, einer Anzahl Adressanschlüssen (11-o bis 11-i), die Zeilenadress-Signale (Axo-Axi) erhalten, einem Zeilendekoder (23) zur Auswahl einer Zeile der Speicherzellen in der Matrix, die durch die Zeilenadress-Signale bezeichnet ist, einer Anzahl von Leseverstärkern (24), die mit den Speicherzellen verbunden sind, einem Auffrischsignal-Anschluß (13), der ein Auffrischsignal (RESH) erhält, Mitteln (30-33) zum Selbstauffrischen von Zeilen der Speicherzellen in der Matrix in einem Selbstauffrisch-Modus, wobei die Selbstauffrisch-Mittel Mittel (30) aufweisen zum internen Erzeugen von Zeilenadressignalen zur Bezeichnung von Zeilen, die der Selbstauffrischung ausgesetzt werden sollen, wobei die Selbstauffrischmittel ferner Mittel (32) aufweisen, die mit dem Auffrischsignal-Anschluß verbunden sind, zur Erzeugung eines Steuersignales (∅s), das den Selbstauffrischmodus angibt, und einem Zeitsteuer-Signalgenerator (34), der ein erstes Zeitsteuersignal (∅&sub1;) erzeugt, um die bezeichnete Zeile zu aktivieren, und ein zweites Zeitsteuersignal (∅&sub2;) zur Aktivierung der Leseverstärker, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeitsteuer- Generator (34) das zweite Zeitsteuersignal (∅2) nach einer ersten Verzögerungszeit nach der Erzeugung des ersten Zeitsteuersignals (∅&sub1;) erzeugt, wenn das Steuersignal (∅s) vorhanden ist, und nach einer zweiten Verzögerungszeit, die kürzer ist als die erste Verzögerungszeit, nach der Erzeugung des ersten Zeitsteuersignals, wenn das Steuersignal nicht anwesend ist.
2. Speicher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeitsteuer- Signalgenerator eine Anzahl Verzögerungsschaltungen (50, 51, I&sub1;, I&sub1;&sub0;) und Mittel (52-57; NA1) aufweist, die auf das Steuersignal ansprechen, um die Verbindungen der Verzögerungsschaltungen zu ändern.
3. Speicher nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Leseverstärker von der Zweistufen-Verstärkungsbauart ist, wobei eine erste Verstärkungsstufe (42, 43, 121, 126) durch das zweite Zeitsteuersignal aktiviert wird und eine zweite Verstärkungsstufe (43, 45, 129, 129) durch ein drittes Zeitsteuersignal (∅&sub3;) aktiviert wird, das durch den Zeitsteuer- Signalgenerator nach der Erzeugung des zweiten Zeitsteuersignals erzeugt wird.
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