JPS60246096A - ダイナミツク型ram - Google Patents

ダイナミツク型ram

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Publication number
JPS60246096A
JPS60246096A JP59100489A JP10048984A JPS60246096A JP S60246096 A JPS60246096 A JP S60246096A JP 59100489 A JP59100489 A JP 59100489A JP 10048984 A JP10048984 A JP 10048984A JP S60246096 A JPS60246096 A JP S60246096A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
sense amplifier
signal
timing
refresh
Prior art date
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Pending
Application number
JP59100489A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuya Ito
和弥 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS60246096A publication Critical patent/JPS60246096A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、ダイナミック型RAM(ランダム・アクセ
ス・メモリ)に関するもので、例えば、自動リフレッシ
ュ回路を内蔵するものに利用して有効な技術に関するも
のである。
〔背景技術〕
ダイナミック型メモリセルは、情報を電荷の形態で記憶
する記憶用キャパシタとアドレス選択用のMOSFET
とによって構成される。半導体基板上において形成され
たメモリセルにおいては、上記キャパシタに蓄積された
電荷が、リーク電流等によって時間とともに減少してし
まう。このため、常にメモリセルに正確な情報を記憶さ
せてお(ためには、メモリセルに記憶されている情報を
、その情報が失われる前に読み出して、これを増幅して
再び同じメモリセルに書込む動作、いわゆるリフレッシ
ュ動作を行う必要がある。例えば、64にビットのダイ
ナミック型RAMにおけるメモリセルの自動リフレッシ
ュ方式として、「電子技術1誌のVo123、No 3
のpp30〜33に示されている自動リフレッシュ回路
が公知である。すなわち、ダイナミック型RAMに、リ
フレッシュ制御用の外部端子を設けて、この外部端子に
所定のレベルのリフレッシュ制御信号RESHを印加す
ることにより、グイナミソク型RAM内の複数のメモリ
セルが自動的にリフレッシュされるオートリフレッシュ
機能と、上記リフレッシュ信号RESHを所定のレベル
にしつづけることにより内蔵のタイマー回路を作動させ
て、一定周期毎に上記リフレッシュ動作を行うセルフリ
フレッシュ機能とが設けられている。
このような自動リフレッシュ回路においては、通常の読
み出し動作等と同じタイミングでセンスアンプが動作す
るようにされている。本R8明者は、リフレッシュ動作
にあっては、その記憶情報が失われる前にメモリセルの
再書込みを行えばよく、時間的な余裕があることに着目
して、自動リフレッシュ動作における低消費電力化を図
ることを名えた。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、低消費電力化を図ったダイナミック
型RAMを提供することにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、自動リフレッシュ動作の時にばセンスアンプ
の動作タイミングを遅らせるか又はその制御パルスの立
ち上がりを緩やかにして、メモリセルの記憶情報をデー
タ線に十分取り出してセンスアンプの増幅動作を行わせ
ることによって、その貫通電流又はハイレベルのデータ
線を放電させたりする無効電流の削減を図るものである
〔実施例〕
第1図には、この発明に係る半導体記憶装置の一実施例
の回路図が示されている。同図の各回路素子は、公知の
CMO3(相補型MO5)集摂回路の製造技術によって
、1個の単結晶シリコンのような半導体基板上において
形成される。以下の説明において、特に説明しない場合
、M OS F F。
T(絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)はNチャンネ
ルMO3FETである。なお、MO3FETQ7のよう
なMOSFETはPチャンネル型であり、その回路記号
はソース・ドレイン間に直線が付加されていることによ
ってNチャンネル型MO3FETのそれと異なった記号
とされている。
メモリアレイM−ARYは、その一対の行が代表−とじ
て示されており、一対の平行に配置された相補データ線
り、Dに、アドレス選択用MO3FETQmと情報記憶
用キャパシタCsとで構成された複数のメモリセルのそ
れぞれの入出力ノードが同図に示すように所定の規則性
をもつ°C配分されて結合されている。
プリチャージ回路Pctは、代表として示されたMO3
FETQ5のように、相補データ線り。
5間に設けられたスイッチMO3FETQI 4により
構成される。
センスアンプSAは、代表としてその1つの構成を具体
的に示したようにPチャンネルMO3FETQ7.Q9
と、NチャンネルMO5FETQ6、Q8とからなるC
MOSランチ回路で構成され、その一対の入出力ノード
が上記相補データ線り、Dに結合されている。また、上
記ラッチ回路には、特に制限されないが、並列形態のP
チャンネルパワースイッチMO3FETQI 2.Ql
 3を通して電源電圧Vccが供給され、並列形態のN
チャンネルパワースイッチMO3FBTO,IQ。
Qllを通して回路の接地電圧Vssが供給される。
これらのパワースイッチM OS F F、 T Q 
10 、Qll及びMOSFI己TQ12.Q23は、
侍に制限されないが、他の同様な行に設けられたセンス
アンプSAに対して共通に用いられる。
上記MO3PR’rQ10.Ql 217)ゲートには
、動作サイクルではセンスアンプ、5 Aを活性化させ
る相補タイミングパルスφpal 、$pal が印加
され、MO5FETQ、11.Ql 3のゲートには、
上記タイミングパルスφpal 、φpalより遅れた
、相補タイミングパルスφpa2 、φpa2が印加さ
れる。これにより、先ず一対のデータ線のレベル差が実
質的に乱され状態においてこのレベル差が増幅される。
上記センスアンプSAでの増幅動作によって相補データ
線電位の差が大きくされた後、相補タイミングパルスφ
pa2 + φpa2によって比較的大きなコンダクタ
ンス特性のMO3FETQ11、Q13がオン状態にさ
れ、その増幅動作が速くされる。このように2段階に分
けて、センスアンプSAの増幅動作を行わせることによ
って、相補データ線のレヘル関係を乱すことなく、高速
読み出しを行うことができる。
ロウデコーダR−DCRは、2分割されたロウデコーダ
R−DCRI、R−DCR2によって構成される。同図
には、第2のロウデコーダR−DCR2の1回路分(ワ
ード線4本分)が代表として示されており、例えば、ア
ドレス信号a2〜a6を受番プるNチャンネルMO3F
ETQ32〜Q36及びPチャンネルMO3FETQ3
7〜Q41で構成されたCMO3回路によるNAND 
(ナンド)回路で上記4本分のワード線選択信号が形成
される。このNAND回路の出力は、CMOSインバー
タIVIで反転され、カットMO3FETQ28〜Q3
1を通して、スイッチ回路としての伝送ゲートMO3F
ETQ24〜Q27のゲートに伝えられる。
また、第1のロウデコーダR−DCR1は、2ビツトの
相補アドレス信号aO,aO及びairal(図示せず
)で形成されたデコード信号によって選択される上記同
様な伝送ゲー)MOSFETとカットMOS F ET
とからなるスイッチ回路を通してワード線選択タイミン
グ信号φXから4通りのワード線選択タイミング信号φ
x00ないしφxllを形成する。これらのワード線選
択タイミング信号φx00〜φxllは、上記伝送ゲー
ト上記MO3FETQ24〜Q27を介して各ワード線
に伝えられる。ロウデコーダR−DCR1とR−DCR
2のようにロウデコーダを2分割することによって、ロ
ウデコーダR−DCR2のピンチ(間隔)とワード線の
ピッチとを合わせることができるので、無駄な空間が生
じない。
なお、各ワード線と接地電位との間にば、MO3FET
Q20〜Q23が設けられ、そのゲートに上記NAND
回路の出力が印加されることによって、非選択時のワー
ド線を接地電位に固定させるものである。また、上記ワ
ード線には、リセット用のMO3FETCIないしQ4
が設けられており、リセットパルスφpwを受けてこれ
らのMO3FETQI−Q4がオン状態となることによ
って、選択されたワ・−P線が接地レベルにリセットさ
れる。
′ カラムスイッチC−S Wは、代表として示されて
いるMO3FETQ42.Q43のように、相を選択的
に結合させる。これらのMO3FETQ42、Q43の
ゲートには、カラムデコーダC−DCRからの選択信号
が供給される。
上記共通相袖デーク線CD、C’D間には、上記同様な
フ゛リチャージ回路PC2;茫構成するプリチャージM
 OS F E T Q 44が設りられている。この
共通相補データ線CD、CDには、上記センスアンプS
Aと同様な回路構成のメ・fンアンプMAの一対の入出
カッ−1−が結合されている。
そして、読み出し動作ならば、データ出力バッファDO
Bがそのタイミング(β号φr−によって動作状態にな
り、上記メインアンプMAの出力信号を増幅して外部端
子I10から送出する。なお、書込み動作なら、上記タ
イミング信号φrwによってその出力がハイインピーダ
ンス状態される。
また、書込み動作ならば、データ入カバソファDIRが
そのタイミング信号φrsによって動作状態になり、外
部端子I10から供給された書込み信号に従った相補書
込み信号を上記共通相補データ線CD、CDに伝えるこ
とにより、選択されたメモリセルへの書込みを行う。な
お、読み出し動作なら、上記タイミング信号φrwによ
ってその出力がハイインピーダンス状態にされる。
自動リフレッシュ回路REFは、特に制限されないが、
リフレッシュアドレス信号を形成するアドレスカウンタ
と、タイマー回路とを含んでいる。
このタイマー回路は、外部端子からのリフレッシュ制御
信号RESHをロウレベルにすることにより起動される
。すなわち、チップ選択信号C8がハイレベルのときに
リフレッシュ制御信号RESHをロウレベルにすると、
マルチプレクサMPXの切り替え信号φrefを出力し
て、マルチプレクサMPXを上記アドレスカウンタ側に
切り替えて、このアドレスカウンタで形成された相補ア
ドレス信号lO〜a8(ここで、外部から供給されるア
ドレス信号に対して同相のアドレス信号aQと逆相のア
ドレス信号ioとを合わせて相補アドレス信号aQのよ
うに表す。このことは、他の相補アドレス信号について
も同様である。)をアドレスデコーダR−DCHに伝え
て一本のワード線選択動作によるリフレッシュ動作(オ
ートリフレッシュ)を行う。このリフレッシュ制御信号
RESHの入力毎にアドレスカウンタの歩進動作が行わ
れるので、ワード線数だけ上記動作を繰り返すことによ
り、全メモリセルをリフレッシュさせることができる。
また、上記リフレッシュ制御信号RESHをロウレベル
にしつづけると、タイマー回路が作動して、一定時間毎
にパルスを発生するので、アドレスカウンタが歩進させ
られて、この間連続的なリフレッシュ動作をおこなう。
なお、この自動リフレッシュ動作における低消費電力化
を図るため、後述するようにその制御信号φref ’
によって上記センスアンプSAのタイミング発生回路φ
p8−0を制御して、タイミングパルスφpalが遅延
させられるととも、特に制限されないが、タイミングパ
ルスφpa20発生が停止させられる。
上記のようにアドレス選択用M OS F IE T 
Q mと情報記憶用キャパシタCsとからなるダイナミ
ック型メモリセルへの書込み動作において、情報記憶用
キャパシタCsにフルライトを行うため、言い換えるな
らば、アドレス選択用MOS F ETQm等のしきい
値電圧により情報記憶用キャパシタC3への書込みハイ
レベルのレベル損失が生じないようにするため、ワード
線選択タイミング信号φXによって起動されるワード線
ブートストラップ回路(図示ゼず)が設けられる。この
ワード線ブートストラップ回路は、上記ワード線選択タ
イミング1口号φXとその遅延信号を用いて、ワード線
選択タイミング信号φXのハイレベルを[源電圧Vcc
以上の高レベルとする。
また、アドレス信変化検出回路ATDと、タイミング発
生回路TGは、その動作とともに後に詳述するものであ
る。
第2FI!Jには、上記センスアンプSAのタイミング
発生回路φpa−Gの一実施例のブロック図が示されて
いる。ワード線選択タイミング発生Ii′!1FIRφ
x−Gにより形成されたワード線選択タイミング信号φ
Xは、遅延回路DLIを介して一方においてアンド(A
 N D)ゲート回路G1に供給されるつまた、上記遅
延回路DJ、Iの出力信号は、他方において遅延回路D
L2の入力に供給される。この遅延回路DI、2の出力
信号は、オア(OR>ゲート回路G2に供給される。こ
のオアゲート回路G2には、上記リフレッシュ制御信号
φrqf ’が供給され、その出力信号が上記アンドゲ
ート回路G1の制御信号として用いられる。
このアンドゲート回路G1の出力信号は、駆動回路φp
al−DVに供給され、ここで上記センスアンプSAを
活性化させるタイミングパルスφpalが形成される。
このタイミングパルスφpalは、特に制限されないが
、上記リフレッシュ#御信号φref’により制御され
るアンドゲート回路G3を通して遅延回路DL3に供給
される。そして、この遅延回路DLの出力信号は、駆動
回路φpa2−DVに供給され、ここで上記センスアン
プSAを活性化させるタイミングパルスφpa2が形成
される。
なお、上記ワード線選択タイミング信号φXは、上述の
ようなフルライトを行うため、ブートストラップ回路φ
x−Bにより昇圧される。
次に、第3図に示したタイミング図を参照して、読み出
し動作とリフレッシュ動作を説明する。
チップ選択信号C8がロウレベルになると、図示しない
アドレスバフ21回路が動作状態になり外部端子からの
アドレス信号を受け取る。外部端子から供給されるいず
れかのアドレス信号Atが変化すると、アドレス信号変
化検出回路ATDによりアドレス信号変化検出検出パル
スφが形成される。タイミング発生回路TGは、このア
ドレス信号変化検出パルスφに同期して、メモリアレイ
M−ARYの選択向路を一旦リセットする。すなわち、
このタイミング発生回路TGは、上記エツジ検出パルス
φにより、タイミングパルスφPal+φpa2 ヲロ
ウレベル(タイミングパルス$pa1.#pa2 ヲハ
イレベル)にしてセンスアンプSAのパワースイッチM
O3FETQI O〜Q13をオフ状態にし、相補デー
タ線り、 Dを以前の動作に従ったハイレベル(Vcc
レベル)、ロウレベル(Vssレベル)をフローティン
グ状態で保持させる。
また、ワード線選択タイミング信号φXをロウレベルに
すること、又図示しない上記タイミング信号φ凹を一旦
ハイレベルにすることによって、選択されていたワード
線Wをロウレベルの非選択状態にする。
次に、プリチャージパルスφprHをハイレベルにして
、プリチャージMO3FETQ5をオン′状態にするこ
とにより、相補データ線り、Dを短絡してVcc/2レ
ベルにプリチャージする。上記相補データ線り、 Dが
共にVcc/2のプリチャージレベルになる時間を待っ
て上記プリチャージパルスφpcNはロウレベルにされ
る。そして、次にワード線選択タイミング信号φXをハ
イレベルに立ち上げる。このワード線選択タイミング信
号φXの立ち上がりに同期してマルチプレクサMPXを
通して供給される相補アドレス信号aO−a8によっ°
C決まる1つのワード線wがハイレベルに立ち上がり選
択状態にされる。これにより、選択されたワード線に結
合された複数のメモリセルが選択され、この各メモリセ
ルの情報記憶用キャパシタCgがアト1/ス選択用M 
OS F E T Q mを介してデータ線D(又はD
)に結合される。すなわち、各相補データ線り、Dの1
つのメモリセルの入出力ノードカ伸方のデータ線D(又
はD)に結合される。したがって、メモリセルの蓄積電
荷とそのデータ線りのプリチャージ電荷との電荷分散に
より、そのデータ線D(又はB>に読み出しレベルが現
れる。なお、他方のデータ縁石(又はD)は、メモリセ
ルが結合されないので、上記プリチャージレベルのまま
である。
次に、通常の動作サイクル、言い換えるならば、後述す
る自動リフレッシュ動作以外の動作では、リフレッシュ
制御信号φref’がハイレベル(論理11″)なって
いるので、アンドゲート回路G1が開いているので、遅
延回路DLIによって設定され、上記相補データ線り、
Dのレベル差が約100mVになる比較的早いタイミン
グでタイミングパルスφpalをハイレベルにし、タイ
ミングパルスφpa1 (図示せず)をロウレベルにし
てセンスアンプSAを動作させる。これにより、上記相
補データ線り、Dは、上記情報記憶用キャパシタCsの
記憶電荷に従ったロウレベル、ハイレベルに増幅される
。そし°C1上記リフレッシュ制御信号φref’のハ
イレベル(論理゛1”)より開いているアンドゲート回
路G3を通して遅延回路DL3に上記タイミングパルス
φpalが供給されるので、上記増幅動作により相補デ
ータ線り、Dのレベル差が比較的大きくなった後、夕・
f\ングパルスφph2 (φPa2 )がハ・イレベ
ル(ロウレベル)になって、高速増幅動作を行うもので
ある。
このようなセンスアンプSAの動作による増幅信号が上
記メモリセルに伝えられるので上記失われかかった記憶
情報の再書込みがなされる。この時、ワード線は上記ブ
ートストラップ回路φx −Bの動作によって昇圧され
ているので、上記増幅されたハイレベルがそのままレベ
ル損失なく情報記憶用キャパシタCsに伝えられる。
なお、これ以降の書込み又は読み出し動作は、図示しな
いが上記ワード線選択タイミング信号φXより遅れて形
成されるカラムスイッチ選択タイミング信号φyにより
カラムスイッチC−5Wが選択され、タイミングパルス
φ*al+φ+wal 及びφma2.φ−a2 + 
φrwにより、読み出しの時には、メインアンプMA、
データ出力バッファDOBが動作し、書込みの時には、
データ入カバソファDIBが動作することにより行われ
る(図示せず)うこれに対して、自動リフレッシュ動作
にあっては、上記リフレッシュ制御信号φref’がロ
ウレベル(論理10”)にされる。したがって、自動リ
フレッシュ回路REFにより形成されたアドレス信号に
よって上記同様にメモリアレイM −A R’y’が一
旦リセットされ、プリチャージが行われる。
そして、ワード線選択動作までは上記通常の動作と同様
であるが、上記リフレッシュ制御信号φref”のロウ
レベルによってアンドゲート回路G1とG3とが閉じら
れいるので、タイミングパルスφpalは、遅延回路D
L2により設定された遅延時間だけ遅らされるとともに
、タイミングパルスφpa2の発生が停止させられる。
これにより、相補データ線り、Dには、メモリセルの情
報記憶用キャパシタCsの全電荷が読み出されることに
よって、その17ペル差を約200mVと大きくできる
ものである。これによって、比較的小さなコンダクタン
ス特性にされたパワースイッチM OS F ETQI
O,G12によりセンスアンプSAが動作した時、セン
スアンプSAの安定な動作を図るとともに、発生する貫
通電流を小さくすることができる。リフレッシヱ動作は
、情報記憶キャパシタCsの電荷がリーク電流等によっ
て失われる前に行えばよく、通常の動作サイクル(約1
50〜200nr+)に比べて約lOμsと長いサイク
ルとしても何等問題生じない。
〔効 果〕 (11リフレッシュ動作におけるセンスアンプの動作タ
イミングを通常の動作サイクルに比べて遅らせることに
よって、相補データ線に読み出されるレベル差を大きく
できる。これによって、CMOSラッチ回路を用いたセ
ンスアンプにあっては、NチャンネルM OS F E
 TとPチャンネルMO3FETとを通して流れる比較
的大きな貫通電流を大幅に削減できるから、大幅な低消
費電力化を図ることができるという効果が得られる。
(2)上記(1)により、リフレッシュ制御信号RES
Hをロウレベルにし続けることにより行われるセルフリ
フレッシュ動作は、主としてバッテリーバックアップ動
作に使用されるものであるから、そのスタンバイ電流の
大幅な低減によってバッテリー寿命を長くできるという
効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、センスアンプ
SAの動作タイミングパルスφpalは、自動リフレッ
シュ動作においてその立ち上がりを緩やかにして、その
コンダクタンス特性をより徐々に大きくするものであっ
てもよい。また、上記実施例のように2段階に分けてセ
ンスアンプSAの動作を行わせる場合、遅れて発生させ
るタイミングパルスφpa2は、自動リフレッシュ動作
においても上記タイミングパルスφpalより遅らせて
発生させるものであってもよい。さらに、このように自
動リフレソシ工動作の時に、センスアンプSAの動作タ
イミング信号を選択的に遅らせたり1、その立ち上がり
を緩やかにする回路は、種々の実施形態を採ることがで
きるものである。
また、データ線のプリチャージレベルは、電源電圧VC
C又はVcc−VLhレベルにするものであってもよい
。この場合には、読み出し基準電圧はダミーセルを用い
′C形成するものとすればよい。
また、その周辺回路がダ・fナミソク型回路により構成
され、アドレスストローブ信’1t4LAs、δう1S
により多重化されて外部アドレス信号が供給されるよう
なダイナミック型RAMに対しても同様に適用すること
ができる。
〔利用分野〕
この発明は、自動リフレッシュ回路を内蔵するダイナミ
ック型RAMに広く利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に係るダイナミック型RAMの一実
施例を示す回路図、 第2plは、そのセンスアンプの動作タイミング信号を
形成するタイミング発生回路の一実施例を示すブロック
図、 第3図は、その動作の一例を説明するためのタイミング
図である。 M−ARY・・メモリアレイ、Pc1・・プリチャージ
回路、SA・・センスアンプ、C−5W・・カラムスイ
ッチ、R−DCR・・ロウアドレスデコーダ、C−DC
R・・カラムアドレスデコ−ダ、PO2・・プリチャー
ジ回路、MA・・メインアンプ、ATD・・アドレス信
号変化検出回路、TG・・タイミング発生回路、REF
・・自動リフレンシュ回路、DOB・・データ出カバソ
ファ、DTB・・データ人カバソファ、MPX・・マル
チプレクサ、φx−B・・ワード線ブートストラップ回
路、φx−G・・ワード線選択タイミング発生回路、φ
ρa−Q・・センスアンプ動作タイミング発生回路、φ
pal−DV、φpa2−DV・・駆動回路、DLI〜
DL3・・遅延回路、Gl。 G3・・アンドゲート回路、G2・・オアゲート回路

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■、内蔵の自動リフレッシュ回路による自動リフレッシ
    ュ動作において、センスアンプの動作ターfミングを通
    常の動作サイクルに比べて遅らせこと、又はその動作タ
    イミングパルスの立ちLがりを緩やかにすることを特徴
    とするダ・イニトミ、り型RA0 2、上記センスアンプは、CMO3回路により構成され
    たラッチ回路と、センスアンプ動作タイミング信号によ
    って電源電圧と回路の接地電位とを供給する一対のパワ
    ースイッチM OS F E ’T’とを含むものであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のダイナ
    ミック型1?AM。
JP59100489A 1984-05-21 1984-05-21 ダイナミツク型ram Pending JPS60246096A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01194194A (ja) * 1988-01-29 1989-08-04 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 半導体メモリ装置
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