DE60313396T2 - Klebebogen für das Zerteilen von Glassubstrat und Methode zum Zerteilen von Glassubstrat - Google Patents

Klebebogen für das Zerteilen von Glassubstrat und Methode zum Zerteilen von Glassubstrat Download PDF

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Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats und ein Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats. Diese Erfindung betrifft auch ein zerteiltes Stück eines Glassubstrats, das mit diesem Verfahren erhalten worden ist. Der haftende Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats kann in verschiedenen Gebieten der Industrie verwendet werden und ist z.B. als Glassubstrate fixierender Flächenkörper, der zum Ankleben und Fixieren eines Glassubstrats verwendet wird, das mit Halbleiterschaltkreisen versehen ist, oder als Glassubstrat besonders vorteilhaft, das in der optischen Kommunikation usw. verwendet wird, um das Glassubstrat in kleine Stücke zu zerlegen.
  • Beschreibung des einschlägigen Standes der Technik
  • Halbleiterprodukte oder optische Artikel aus Glas, Quarz, Quarzkristall, Saphir oder Linsen werden hergestellt, indem ein Glassubstrat, das mit verschiedenen Schaltkreisen versehen ist oder einer Oberflächenbehandlung usw. unterzogen worden ist, zerlegt und getrennt (zerteilt) wird, so daß kleine Stücke gebildet werden, die als einzelne Elemente oder Teile dienen. Bei diesem Herstellungsverfahren wird das Glassubstrat, auf dem ein haftender Flächenkörper klebt, einem Schritt zum Zerteilen, einem Schritt zum Waschen, einem Schritt zum Trocknen bzw. einem Schritt zum Aufnehmen und dann einem nachfolgenden Schritt unterzogen.
  • Der bei den Schritten zum Zerteilen bis zum Aufnehmen des Glassubstrats verwendete haftende Flächenkörper soll bei den Schritten zum Zerteilen bis zum Trocknen eine ausreichende Adhäsion an den zerteilten Stücken aufweisen und beim Schritt zum Aufnehmen eine solche Adhäsion zeigen, daß sein Haftmittel nicht an den zerteilten Stücken haftet.
  • Als haftender Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats hat man einen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen verwendet, der bei Halbleiter-Wafern verwendet worden ist. Die Dicke eines solchen haftenden Flächenkörpers zum Zerteilen liegt gewöhnlich im Bereich von etwa 70 μm bis 120 μm.
  • Das Glassubstrat ist dicker als ein Halbleiter-Wafer und wird folglich unter Verwendung einer Klinge mit einer Dicke von etwa 150 μm bis 300 μm zerteilt, so daß ein stabiles Zerteilen erfolgt. Aufgrund der runden Oberseite der Schneidklinge hat jedoch ein zerteiltes Stück von einem herkömmlichen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen in einem unteren Bereich ein größere Breite, so daß es eine unregelmäßige Form, wie ein Trapez, aufweist.
  • Außerdem ist das Glassubstrat sehr spröde und zerbricht leicht. Wenn der haftende Flächenkörper zum Fixieren des Glassubstrats daher durch den Druck von der Schneidklinge deutlich deformiert wird, kann das Glassubstrat die Deformation nicht aushalten und zerbricht folglich, so daß es zum Abplatzen oder Verteilen von Splittern kommt, was zu einem Problem bei der Qualität der zerteilten Stücke führt.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats anzugeben, der zerteilte Stücke mit hervorragender Form ergibt und kaum dazu führt, daß die zerteilten Stücke Abplatzungen oder verteilte Splitter aufweisen. Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats unter Verwendung dieses haftenden Flächenkörpers anzugeben. Eine weitere Aufgabe dieser Erfindung besteht darin, ein zerteiltes Stück eines Glassubstrats anzugeben, das gemäß diesem Verfahren erhalten worden ist.
  • Kurze Beschreibung der Erfindung
  • Als Ergebnis extensiver Untersuchungen zur Lösung des vorstehend beschriebenen Problems haben die hier genannten Erfinder festgestellt, daß diese Aufgaben gelöst werden können, wenn der nachstehend angegebene haftende Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrates verwendet wird.
  • Das heißt, die Erfindung betrifft einen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats, der eine Basisschicht und eine auf der Basisschicht angeordnete Haftschicht aufweist,
    wobei die Basisschicht eine Dicke von 130 μm oder mehr und einen Zugfestigkeitsmodul von 1 GPa oder mehr aufweist,
    und wobei die Haftschicht eine Dicke von 9 μm oder weniger hat.
  • Beim vorstehend beschriebenen haftenden Flächenkörper beträgt die Dicke der Basisschicht 130 μm oder mehr, so daß folglich eine unregelmäßige Form der zerteilten Stücke vermieden wird, die durch Zerteilen des Glassubstrats erhalten werden, so daß zerteilte Stücke mit einer hervorragenden Form erhalten werden. Die Dicke der Basisschicht beträgt gewöhnlich 130 μm bis 300 μm. Die Dicke der Basisschicht beträgt vorzugsweise 150 μm bis 300 μm, stärker bevorzugt 150 μm bis 250 μm, noch stärker bevorzugt 150 bis 225 μm.
  • Die Basisschicht verwendet ein starres Material mit einem Zugfestigkeitsmodul von 1 GPa oder mehr. Der Zugfestigkeitsmodul der Basisschicht beträgt vorzugsweise 1 bis 4 GPa, stärker bevorzugt 1,5 bis 4 GPa. Als Basisschicht mit einem solchen Zugfestigkeitsmodul wird vorzugsweise eine Polyesterschicht verwendet. Eine Basisschicht aus einem weichen Material, wie z.B. Polyethylen oder Polyvinylchlorid, ermöglicht eine ausreichende Deformation des haftenden Flächenkörpers, während ein Basisschicht aus einem relativ starren Material mit einer Dicke von 130 μm oder mehr und einem Zugfestigkeitsmodul von 1 GPa oder mehr die Deformation des haftenden Flächenkörpers verhindern kann.
  • Außerdem beträgt die Dicke der Haftschicht 9 μm oder weniger, so daß folglich eine Deformation des haftenden Flächenkörpers durch den Druck von einer Schneidklinge verringert wird und es kaum dazu kommt, daß die zerteilten Stücke abgeplatzt sind oder Splitter verteilt haben. Die Dicke der Haftschicht beträgt vorzugsweise 4 μm bis 9 μm, stärker bevorzugt 4 μm bis 7 μm.
  • Die JP-A 2000-281990 offenbart einen haftenden Flächenkörper zum Zerteilen, der ein Substrat mit einer Dicke von 70 μm bis 300 μm aufweist. Der haftende Flächenkörper wird jedoch als haftender Flächenkörper für ein Verpackungssubstrat mit einer deutlich unregelmäßigen Oberfläche verwendet, so daß eine Haftschicht mit einer Dicke von 10 μm bis 50 μm notwendig ist. Der haftende Flächenkörper mit einer solchen dicken Haftschicht kann nicht verhindern, daß die zerteilten Stücke abplatzen oder Splitter verteilen.
  • Bei dem haftenden Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats ist die Haftschicht vorzugsweise eine unter Strahlung aushärtende Haftschicht. Die unter Strahlung aushärtende Haftschicht zeigt eine ausreichende anfängliche Adhäsion an einem Glassubstrat, um das Substrat beim Schritt zum Zerteilen am haftenden Flächenkörper zu befestigen. Beim Schritt zum Aufnehmen kann die mit UV-Strahlen bestrahlte, unter Strahlung aushärtende Haftschicht die Adhäsion verringern, so daß es einfach wird, die zerteilten Stücke vom haftenden Flächenkörper aufzunehmen. Die unter UV-Strahlung aushärtende Haftschicht wird besonders bevorzugt für ein sprödes und leicht zerbrechendes Glassubstrat verwendet.
  • Als unter UV-Strahlung aushärtende Haftschicht ist z.B. in der JP-A 60-196956 und in der JP-A 60-223139 eine unter UV-Strahlung aushärtende Haftschicht vorgeschlagen worden, die mit einem Haftmittel beschichtet ist, das eine niedermolekulare Verbindung mit mindestens 2 photopolymerisierbaren Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen in ihrem Molekül aufweist, die beim Bestrahlen der Oberfläche eines Basissubstrats mit UV-Strahlen ein dreidimensionales Netzwerk bilden kann.
  • Diese Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats, das die folgenden Schritte aufweist: Kleben des vorstehend genannten haftenden Flächenkörpers auf ein Glassubstrat und Zerteilen des Glassubstrats. Die resultierenden zerteilten Stücke (Elemente usw.) des Glassubstrats weisen eine hervorragende Form auf, und es wird verhindert, daß sie abplatzen und Splitter verteilen. Folglich kann das erfindungsgemäße Verfahren deutlich dazu beitragen, die Produktionsausbeute der Elemente in einer Anlage des Anwenders zu verbessern.
  • Das Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats kann vorzugsweise auch angewendet werden, um ein Glassubstrat zu zerlegen, indem es in Stücke mit einer Größe von 3 mm × 3 mm zerteilt wird. Wenn die Größe der zerteilten Stücke 3 mm × 3 mm oder weniger beträgt, haben die zerteilten Stücke im allgemeinen eine unregelmäßige Form, oder es kommt leicht zum Abplatzen oder Verteilen von Splittern; der erfindungsgemäße haftende Flächenkörper kann jedoch für zerteilte Stücke ohne derartige Probleme sorgen.
  • In Abhängigkeit von der Verwendung kann die Größe der zerteilten Stücke ohne besondere Einschränkungen geeignet festgelegt werden. Da die zerteilten Stücke gewöhnlich quadratisch sind, wird deren Größe wie vorstehend beschrieben ange geben, die Form der zerteilten Stücke kann jedoch auch ohne bestimmte Einschränkungen in Abhängigkeit von der Verwendung geeignet festgelegt werden.
  • Beim Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats wird das Glassubstrat vorzugsweise zerteilt, nachdem es zumindest für 24 Stunden nach dem Aufkleben des haftenden Flächenkörpers darauf belassen worden ist. Wenn die Größe der zerteilten Stücke gering ist, führt das Zerteilen des Glassubstrats unmittelbar nach dem Aufkleben des haftenden Flächenkörpers dazu, daß eine große Menge Splitter verteilt wird; wenn das Glassubstrat jedoch zerteilt wird, nachdem es nach dem Aufkleben des haftenden Flächenkörpers mindestens für 24 Stunden darauf belassen worden ist, bis das Haftmittel eine ausreichende Adhäsion erreicht hat, kann das Verteilen von Splittern selbst dann verhindert werden, wenn das Glassubstrat in Stücke mit einer Größe von 1 mm × 1 mm oder weniger zerlegt wird.
  • Die Zeit, in der das Glassubstrat belassen werden kann, kann in Abhängigkeit von der Größe der zerteilten Stücke ohne besondere Einschränkungen geeignet bestimmt werden. Wenn die Größe der zerteilten Stücke z.B. 3 mm × 3 mm beträgt, wird das Glassubstrat 12 Stunden oder mehr belassen, und wenn die Größe der zerteilten Stücke 5 mm × 5 mm beträgt, wird das Glassubstrat 0,5 Stunden oder mehr belassen, so daß das Verteilen von Splittern verhindern werden kann.
  • Beim Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats wird der haftende Flächenkörper vorzugsweise unter Erwärmen bei einer Temperatur von 40°C oder mehr auf das Glassubstrat geklebt. Wenn die Größe der zerteilten Stücke gering ist, kommt es zu einer deutlichen Verteilung von Splittern, wenn das Glassubstrat jedoch 40°C oder mehr aufweist, während der haftende Flächenkörper darauf geklebt wird, tritt die Adhäsion schnell auf, so daß eine Verteilung von Splittern beim nachfolgenden Schritt des Zerteilens verhindert wird, selbst wenn das Glassubstrat in kleine Stücke mit einer Größe von 1 mm × 1 mm zerlegt wird.
  • Die Temperatur des Glassubstrats liegt beim Ankleben des haftenden Flächenkörpers vorzugsweise im Bereich von 40°C bis 80°C, stärker bevorzugt von 40°C bis 60°C. Wenn der haftende Flächenkörper, der bei der vorstehend genannten Temperatur auf das Glassubstrat geklebt worden ist, belassen wird, so wird der haftende Flächenkörper gewöhnlich bei üblichen Temperaturen belassen.
  • Die Erfindung betrifft ferner ein zerteiltes Stück eines Glassubstrats, das gemäß dem Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats erhalten worden ist.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungsfiguren
  • Es zeigen:
  • 1 ein Beispiel einer Schnittansicht eines haftenden Flächenkörpers zum Zerteilen eines Glassubstrats;
  • 2 ein Beispiel, daß das Abplatzen auf der Rückseite zeigt;
  • 3 ein Beispiel, daß die unregelmäßige Form des Querschnitts eines zerteilten Stücks verdeutlicht.
  • Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Der erfindungsgemäße haftende Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats wird hier nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungsfiguren ausführlicher erläutert. 1 zeigt einen Querschnitt des haftenden Flächenkörpers zum Zerteilen eines Glassubstrats, der eine Haftschicht 2 aufweist, die auf einer Basisschicht 1 angeordnet ist. Die Haftschicht 2 kann mit einem Trennelement versehen sein.
  • Die Basisschicht verwendet ein Material mit einem Zugfestigkeitsmodul von 1 GPa oder mehr. Die Basisschicht, die aus einem solchen Material hergestellt ist, weist z.B. eine Polyesterschicht, eine Polyphenylensulfidschicht usw. auf. Zu dem Polyester gehören Polyethylenterephthalat, Polybutylenterephthalat, Polyethylennaphthalat usw. Unter diesen Polyestern ist Polyethylenterephthalat bevorzugt. Diese Basisschichten können ungereckt sein oder können, falls erforderlich, einem uniaxialen oder biaxialen Recken unterzogen werden.
  • Die Oberfläche der Basisschicht kann, falls erforderlich, einer üblichen physikalischen oder chemischen Behandlung, wie der Behandlung mit einem Trennmittel, einer Mattierungsbehandlung, einer Coronaentladungsbehandlung, einer Primerbehandlung und einer Vernetzungsbehandlung, unterzogen werden. Die Dicke der Basisschicht beträgt wie vorstehend beschrieben 130 μm oder mehr.
  • Das Haftmittel, das für die Herstellung der Haftschicht verwendet werden kann, kann z.B. ein im allgemeinen verwendetes Haftklebemittel sein, und es können geeignete Haftmittel, wie etwa ein Acrylhaftmittel, ein auf einem gesättigten Polyester basierendes Haftmittel und ein auf Kautschuk basierendes Haftmittel, verwendet werden. Insbesondere wird aufgrund seiner Adhäsion an der Basisschicht und seiner unkomplizierten Molekülgestaltung vorzugsweise das Acrylhaftmittel verwendet, das auf einem Acrylpolymer basiert.
  • Zum dem Acrylpolymer gehören Acrylpolymere, die aus einem oder mehreren Alkyl(meth)acrylaten (z.B. C1-30-Alkyl, insbesondere linearen oder verzweigten C4-18-Alkylestern, wie etwa Methylester, Ethylester, Propylester, Isopropylester, Butylester, Isobutylester, s-Butylester, t-Butylester, Pentylester, Isopentylester, Hexylester, Heptylester, Octylester, 2-Ethylhexylester, Isooctylester, Nonylester, Decylester, Isodecylester, Undecylester, Dodecylester, Tridecylester, Tetradecylester, Hexadecylester, Octadecylester und Eicosylester) und Cycloalkyl(meth)acrylaten (z.B. Cyclopentylester, Cyclohexylester usw.) als Monomerkomponenten hergestellt sind.
  • Als hauptsächliche Monomere werden gewöhnlich Alkylacrylate verwendet, die Homopolymere mit einem Glasübergangspunkt von –50°C oder weniger ergeben. (Meth)acrylate stehen für Acrylate und/oder Methacrylate, und in dieser Erfindung wird der Begriff "(meth)" in diesem Sinne verwendet.
  • Um die Kohäsionskraft, die Wärmebeständigkeit usw. zu verbessern, kann das Acrylpolymer falls erforderlich Monomere enthalten, die anderen Monomerkomponenten entsprechen, die mit den Alkyl(meth)acrylaten oder Cycloalkylestern copolymerisieren können. Zu solchen Monomerkomponenten gehören z.B. Carboxylgruppen enthaltende Monomere, wie Acrylsäure, Methacrylsäure, Carboxyethyl(meth)acrylat, Carboxypentyl(meth)acrylat, Itaconsäure, Maleinsäure, Fumarsäure und Crotonsäure; Monomere aus einem Säureanhydrid, wie Maleinsäureanhydrid und Itaconsäureanhydrid; Hydroxylgruppen enthaltende Monomere, wie 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat, 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat, 4-Hydroxybutyl(meth)acrylat, 6-Hydroxyhexyl(meth)acrylat, 8-Hydroxyoctyl(meth)acrylat, 10-Hydroxydecyl(meth)acrylat, 12-Hydroxylauryl(meth)acrylat und (4-Hydroxymethylcyclohexyl)methyl(meth)acrylat; Sulfonatgruppen enthaltende Monomere, wie Styrolsulfonsäure, Allylsulfonsäure, 2-(Meth)acrylamid-2-methylpropansulfonsäure, (Meth)acrylamidpropansulfonsäure, Sulfopropyl(meth)acrylat und (Meth)acryloyloxynaphthalinsulfonsäure, Phosphatgruppen enthaltende Monomere, wie 2-Hydroxyethylacryloylphosphat; und Glycidyl(meth)acrylat, (Meth)acrylamid, N-Hydroxymethylamid(meth)acrylat, Alkylaminoalkyl(meth)acrylate, wie Dimethylaminoethylmethacrylat und t-Butylaminoethylmethacrylat, Vinylacetat, Styrol und Acrylnitril.
  • Diese Komponenten in Form copolymerisierbarer Monomere können allein oder in Kombination verwendet werden. Die verwendete Menge dieser copolymerisierbaren Monomere beträgt vorzugsweise 40 Gew.-% oder weniger, und zwar auf die gesamten Monomerkomponenten bezogen.
  • Für die Vernetzung kann das Acrylpolymer, falls erforderlich, Komponenten in Form copolymerisierbarer Monomere, wie etwa multifunktionelle Monomere, enthalten. Zu den multifunktionellen Monomeren gehören z.B. Hexandioldi(meth)acrylat, (Poly)ethylenglycoldi(meth)acrylat, (Poly)propylenglycoldi(meth)acrylat, Neopentylglycoldi(meth)acrylat, Pentaerythritoldi(meth)acrylat, Trimethylolpropantri(meth)acrylat, Pentaerythritoltri(meth)acrylat, Dipentaerythritolhexa(meth)acrylat, Epoxy(meth)acrylat, Polyester(meth)acrylat, Urethan(meth)acrylat usw.
  • Diese multifunktionellen Monomere können auch allein oder in Kombination davon verwendet werden. Angesichts der Adhäsionseigenschaften usw. beträgt die verwendete Menge der multifunktionellen Monomere vorzugsweise 30 Gew.-% oder weniger, und zwar auf die gesamten Monomerkomponenten bezogen.
  • Das Acrylpolymer wird durch Polymerisieren eines einzigen Monomers oder eines Gemischs von zwei oder mehr Monomeren erhalten. Die Polymerisation kann in irgendwelchen Systemen, wie z.B. als Lösungspolymerisation, Emulsionspolymerisation, Blockpolymerisation und Suspensionspolymerisation, durchgeführt werden. In Hinblick auf eine Verhinderung des Verschmutzens der Halbleiter-Wafer usw. ist der Gehalt der niedermolekularen Komponenten in der Haftschicht vorzugsweise geringer als vorstehend angegeben. Angesichts dessen beträgt das Zahlenmittel des Molekulargewichts des Arcylpolymers vorzugsweise 300000 oder mehr, stärker bevorzugt 400000 bis 3000000.
  • Zu den gesättigten Polyestern gehören z.B. gesättigte Polyester, ein Kondensationsprodukt von mehrwertigen Alkoholen mit mehrwertigen Carbonsäuren. Zu den mehrwertigen Alkoholen gehören Glycole, wie Ethylenglycol, Propylenglycol und 1,4-Butandiol. Zu den mehrwertigen Carbonsäuren gehören aromatische Dicarbon säuren, wie Terephthalsäure und Isophthalsäure, und Fettdicarbonsäuren, wie Adipinsäure und Sebacinsäure. Der gesättigte Polyester ist vorzugsweise ein gesättigter Copolyester mit zwei oder mehr mehrwertigen Carbonsäuren, z.B. einer aromatischen Dicarbonsäure und einer Fettdicarbonsäure.
  • Dem Haftmittel kann auch ein externes Vernetzungsmittel zugesetzt werden. Das Vernetzungsverfahren ist z.B. ein Verfahren, bei dem eine Polyisocyanatverbindung, eine Epoxidverbindung, eine Aziridinverbindung, ein auf Melamin basierendes Vernetzungsmittel, Harnstoffharz, ein Säureanhydrid, Polyamin, ein Carboxylgruppen enthaltendes Polymer oder dergleichen zugesetzt werden und das Gemisch umgesetzt wird.
  • Wenn das externe Vernetzungsmittel verwendet wird, so wird dessen Menge in Abhängigkeit vom Gleichgewicht mit dem zu vernetzenden Basispolymer oder der gewünschten Verwendung des Haftmittels geeignet bestimmt. Das Vernetzungsmittel wird im allgemeinen in einer Menge von 5 Gew.-Teilen oder weniger eingemischt, und zwar auf 100 Gew.-Teile des Basispolymers bezogen.
  • Zusätzlich zu den vorstehend beschriebenen Komponenten kann für das Haftmittel, falls erforderlich, eine Vielzahl von herkömmlich bekannten Zusätzen verwendet werden, wie etwa ein klebrigmachendes Mittel, ein Weichmacher, ein Füllstoff, ein Alterungsschutzmittel und ein färbendes Mittel.
  • Die Haftschicht kann ablösbar hergestellt werden, indem diese Schicht aus einem unter Strahlung aushärtenden Haftmittel oder einem durch Wärme schäumenden Haftmittel hergestellt wird. Wenn das durch Wärme schäumende Haftmittel verwendet wird, so werden zwei oder mehr Haftschichten erzeugt, und die Haftschicht auf der Seite der Basisschicht wird vorzugsweise aus dem durch Wärme schäumenden Haftmittel hergestellt. In diesem Fall kann die Haftschicht als Oberflächenschicht aus einem unter Strahlung aushärtenden Haftmittel hergestellt werden.
  • Das unter Strahlung aushärtende Haftmittel ist nicht begrenzt, sofern es unter Strahlung aushärtende funktionelle Gruppen, wie z.B. Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen, aufweist und eine Adhäsion zeigt. Das unter Strahlung aushärtende Haftmittel ist wünschenswerterweise ein solches, bei dem die Adhäsion beim Bestrahlen, insbesondere mit UV-Strahlen, abnimmt.
  • Zu dem unter Strahlung aushärtenden Haftmittel gehören z.B. unter Strahlung aushärtende Haftmittel vom Additionstyp, die unter Strahlung aushärtende Komponenten aufweisen, die in übliche Haftklebemittel, wie das Arcylhaftmittel, das auf gesättigtem Polyester basierende Haftmittel und auf Kautschuk basierende Haftmittel, die vorstehend beschrieben sind, eingebaut sind. Zu den unter Strahlung aushärtenden Komponenten gehören Monomere, Oligomere und Polymere, die im Molekül Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen aufweisen und durch eine durch Strahlung initiierte Polymerisation aushärten können.
  • Zu den eingebauten Komponenten in Form eines unter Strahlung aushärtenden Monomers gehören z.B. Urethan(meth)acrylat; Ester von (Meth)acrylsäure mit einem mehrwertigen Alkohol, z.B. Trimethylolpropantri(meth)acrylat, Tetramethylolmethantetra(meth)acrylat, Pentaerythritoltri(meth)acrylat, Pentaerythritoltetra(meth)acrylat, Dipentaerythritolmonohydroxypenta(meth)acrylat, Dipentaerythritolhexa(meth)acrylat, 1,4-Butandioldi(meth)acrylat, Tetraethylenglycoldi(meth)acrylat, 1,6-Hexandioldi(meth)acrylat und Neopentylglycoldi(meth)acrylat; und Cyanuratverbindungen oder Isocyanuratverbindungen, wie 2-Propenyldi-3-butenylcyanurat, 2-Hydroxyethylbis(2-acryloxyethyl)isocyanurat, Tris(2-acryloxyethyl)isocyanurat und Tris(2-methacryloxyethyl)isocyanurat.
  • Zu den Komponenten in Form eines unter Strahlung aushärtenden Oligomers gehören verschiedene Oligomere, die auf Urethan, Polyether, Polyester, Polycarbonat oder Polybutadien basieren, und deren Molekulargewicht liegt vorzugsweise im Bereich von 100 bis 30000. Die eingemischte Menge der Komponenten in Form der unter Strahlung aushärtenden Monomere und der Komponenten in Form der Oligomere kann in Abhängigkeit von der Art der Haftschicht geeignet bestimmt werden, so daß die Adhäsion der Haftschicht verringert werden kann. Deren Menge ist im allgemein z.B. nicht größer als 500 Gew.-Teile, vorzugsweise nicht größer als 150 Gew.-Teile, und zwar auf 100 Gew.-Teile des Basispolymers, wie etwa des Acrylpolymers, bezogen, das das Haftmittel bildet.
  • Zu dem unter Strahlung aushärtenden Haftmittel gehören nicht nur die unter Strahlung aushärtenden Haftmittel des vorstehend beschriebenen Additionstyps, sondern auch inhärent unter Strahlung aushärtende Haftmittel, die ein Basispolymer verwenden, das Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen in den Seiten- oder Hauptketten oder an den Enden der Hauptketten des Polymers aufweist. Das inhärent unter Strahlung aus härtende Haftmittel wird vorzugsweise verwendet, da es keine Komponenten in Form eines niedermolekularen Oligomers usw. erfordert oder keine große Menge derartiger Komponenten enthält und folglich eine Haftschicht mit einer stabilisierten Schichtstruktur erzeugt werden kann, ohne daß die Komponenten in Form des Oligomers usw. mit der Zeit im Haftmittel wandern.
  • Das Basispolymer mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen ist nicht besonders begrenzt bzw. eingeschränkt, sofern es Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen aufweist und eine Adhäsion zeigt. Das Basispolymer ist vorzugsweise eines mit einem Acrylpolymer als Grundgerüst. Das Grundgerüst des Arcylpolymers schließt das vorstehend als Beispiel aufgeführte Acrylpolymer ein.
  • Das Verfahren zum Einführen von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen in das Acrylpolymer ist nicht besonders begrenzt, und es können verschiedene Verfahren angewendet werden, das Einführen von Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen in Seitenketten des Polymers erleichtert jedoch die Gestaltung des Moleküls. Ein Monomer mit einer funktionellen Gruppe wird z.B. als Komponente des Acrylpolymers copolymerisiert, danach wird das entstandene Copolymer einer Kondensations- oder Additionsreaktion mit einer Verbindung unterzogen, die eine Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung und eine funktionelle Gruppe aufweist, die mit der vorstehend genannten funktionellen Gruppe reagieren kann, wobei während der Reaktion die Eigenschaften in bezug auf das Aushärten der Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung unter Strahlung erhalten bleiben.
  • Zu den Kombinationen solcher funktionellen Gruppen gehören z.B. Kombinationen von einer Carboxylgruppe und einer Epoxygruppe, einer Carboxylgruppe und einer Aziridylgruppe oder einer Hydroxylgruppe und einer Isocyanatgruppe. Von diesen Kombinationen von funktionellen Gruppen ist eine Kombination aus einer Hydroxylgruppen und einer Isocyanatgruppe bevorzugt, da die Reaktion leicht überwacht werden kann.
  • Die funktionellen Gruppen können im Acrylpolymer oder der vorstehend genannten Verbindung vorhanden sein, sofern durch diese Kombination von funktionellen Gruppen das Acrylpolymer mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen hergestellt werden kann; es ist jedoch bevorzugt, daß bei der vorstehend beschriebenen bevorzugten Kombination das Acrylpolymer eine Hydroxylgruppe aufweist, während die vorstehend genannte Verbindung eine Isocyanatgruppe hat.
  • In diesem Fall gehören zu der Isocyanatverbindung mit einer Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindung z.B. Methacryloylisocyanat, 2-Methacryloyloxyethylisocyanat, m-Isopropenyl-α,α-dimethylbenzyldiisocyanat usw. Das Acrylpolymer verwendet ein Copolymer des vorstehend als Beispiel aufgeführten, Hydroxylgruppen enthaltenden Monomers und einer auf Ether basierenden Verbindung, wie 2-Hydroxyethylvinylether, 4-Hydroxybutylvinylether oder Diethylenglycolmonovinylether.
  • Bei dem inhärent unter Strahlung aushärtenden Haftmittel kann das Basispolymer mit Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen, insbesondere das Acrylpolymer, allein verwendet werden, die Komponenten in Form der unter Strahlung aushärtenden Monomere und die Komponenten in Form der Oligomere können jedoch darin auch bis zu einem solchen Ausmaß vermischt sein, daß die Eigenschaften nicht beeinträchtigt werden. Die Menge der Komponente in Form des unter Strahlung aushärtenden Oligomers usw. beträgt gewöhnlich 30 Gew.-% oder weniger, vorzugsweise 10 Gew.-% oder weniger, und zwar auf 100 Gew.-Teile des Basispolymers bezogen.
  • Für das Aushärten mit UV-Strahlen usw. ist im unter Strahlung aushärtenden Haftmittel ein Photopolymerisationsinitiator enthalten. Der Photopolymerisationsinitiator kann irgendeine Verbindung sein, die zu Radikalen gespalten wird, wenn sie mit UV-Strahlen mit einer geeigneten Wellenlänge bestrahlt wird, die zu einer Polymerisationsreaktion führen kann.
  • Zu dem Photopolymerisationsinitiator gehören z.B. Benzoinalkylether, wie Benzoinmethylether, Benzoinisopropylether und Benzoinisobutylether; aromatische Ketone, wie Benzyl, Benzoin, Benzophenon und α-Hydroxycyclohexylphenylketon; aromatische Ketale, wie Benzyldimethylketal; Polyvinylbenzophenon; und Thioxanthone, wie Chlorthioxanthon, Dodecylthioxanthon, Dimethylthioxanthon und Diethylthioxanthon.
  • Die Menge des Photopolymerisationsinitiators beträgt z.B. 1 bis 10 Gew.-Teile, vorzugsweise 3 bis 5 Gew.Teile, und zwar auf 100 Gew.-Teile des Basispolymers, wie des Acrylpolymers, bezogen, das das Haftmittel bildet.
  • Einerseits weist das durch Wärme schäumende Haftmittel feine Partikel auf, die sich durch Wärme ausdehnen können und in das allgemeine Haftklebemittel eingeführt worden sind, das vorstehend beschrieben ist. Das durch Wärme schäumende Haftmittel erleichtert die Trennung, indem die Haftfläche durch das Schäumen der feinen Partikel, die sich durch Wärme ausdehnen können, beim Erwärmen verringert wird, und der mittlere Partikeldurchmesser der feinen Partikel, die sich durch Wärme ausdehnen können, beträgt vorzugsweise 1 μm bis 25 μm.
  • Der mittlere Partikeldurchmesser beträgt stärker bevorzugt 5 bis 15 μm, noch stärker bevorzugt etwa 10 μm. Die feinen Partikel, die sich durch Wärme ausdehnen können, sind nicht besonders begrenzt, sofern sie sich durch Erwärmen ausdehnen können. Es sind z.B. Mikrokapseln geeignet, die sich durch Wärme ausdehnen können und durch in situ Polymerisation hergestellt wurden, indem geeignete, niedrigsiedende Komponenten, die Gase erzeugen, wie etwa Butan, Propan oder Pentan, in den Copolymerwänden von Vinylchlorid, Acrylnitril usw. verkapselt werden.
  • Die Mikrokapseln, die sich durch Wärme ausdehnen können, haben den Vorteil, daß sie sich hervorragend im Haftmittel dispergieren und damit mischen lassen. Zu handelsüblichen Produkten von Mikrokapseln, die sich durch Wärme ausdehnen können, gehört z.B. Microsphere®, von Matsumoto Yushi Co., Ltd. hergestellt.
  • Die Menge der feinen Partikel, die sich durch Wärme ausdehnen können, z.B. der Mikrokapseln, die sich durch Wärme ausdehnen können, die in das Klebemittel eingeführt wird, kann in Abhängigkeit von der Art der Haftschicht geeignet bestimmt werden, so daß die Adhäsion des Haftmittels verringert werden kann, und diese Menge beträgt im allgemeinen 1 bis 100 Gew.-Teile, vorzugsweise 5 bis 50 Gew.-Teile, stärker bevorzugt 10 bis 40 Gew.-Teile, und zwar auf 100 Gew.-Teile des Basispolymers bezogen.
  • Der erfindungsgemäße haftende Flächenkörper kann z.B. hergestellt werden, indem auf der Basisschicht eine Haftschicht erzeugt wird. Das Verfahren zum Herstellen der Haftschicht ist nicht besonders begrenzt, und es kann z.B. ein Verfahren, bei dem die Haftschicht erzeugt wird, indem sie direkt auf die Basisschicht aufgebracht wird, oder ein Verfahren angewendet werden, bei dem die Haftschicht erzeugt wird, indem sie getrennt auf einem Trennelement erzeugt wird und die Haftschicht dann auf die Basisschicht geklebt wird. Eine Dicke der Haftschicht von 7 μm oder weniger ist stärker bevorzugt. In Hinblick auf ein vermindertes Abplatzen wird vorzugsweise eine Haftschicht verwendet, die einen Speichermodul (23°C) bei 0 bis 10°C von 3 × 101 bis 1 × 105 N/cm2 aufweist.
  • Die Basisschicht, die das Trennelement bildet, ist nicht besonders begrenzt, sofern sie eine Schicht (einschließlich eines Flächenkörpers) ist, die die Haftschicht schützen kann. Zu Beispielen davon gehören Kunststoffschichten, wie Polyetheretherketon, Polyetherimid, Polyallylat, Polyethylennaphthalat, eine Polyethylenschicht, eine Polypropylenschicht, eine Polybutenschicht, eine Polybutadienschicht, eine Polymethylpentenschicht, eine Polyvinylchloridschicht, eine Schicht aus einem Vinylchloridcopolymer, eine Polyethylenterephthalatschicht, eine Polybutylenterephthalatschicht, eine Polyurethanschicht, eine Schicht aus einem Ethylen-Vinylacetat-Copolymer, eine Schicht aus einem Ionomerharz, eine Schicht aus einem Ethylen-(Meth)acrylsäure-Copolymer, eine Schicht aus einem Ethylen-(Meth)acrylat-Copolymer, eine Polystyrolschicht und eine Polycarbonatschicht.
  • Die Dicke der Schicht beträgt gewöhnlich 5 μm bis 200 μm, vorzugsweise 25 μm bis 100 μm, stärker bevorzugt 38 μm bis 60 μm. Die Oberfläche der Schicht, auf die das Haftmittel geklebt wird, kann mit einem Trennmittel, das auf Silicon (einschließlich einem UV-Härter), Fluor oder einem langkettigen Alkyl- oder Fettamid basiert, oder mit Siliciumdioxid behandelt werden.
  • Die erfindungsgemäße haftende Flächenkörper wird gewöhnlich in einem aufgerollten Zustand aufbewahrt und abgerollt, wenn es für die Verwendung beim Schritt zum Zerteilen erforderlich ist.
  • Beispiele
  • Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Beispiele ausführlicher beschrieben, die Erfindung ist jedoch nicht auf diese Beispiele begrenzt. Der Zugfestigkeitsmodul der Basisschicht ist der anfängliche Zugfestigkeitsmodul, der anhand einer S-S-Kurve bestimmt wird, die erhalten wird, wenn bei einer Film- bzw. Folienbreite von 10 mm und einem Abstand zwischen den Klemmvorrichtungen von 10 mm bei 23°C mit einer Geschwindigkeit von 300 mm/min gezogen wird.
  • Beispiel 1
  • Eine Zusammensetzung, die 70 Gew.-Teile Methylacrylat, 30 Gew.-Teile Butylacrylat und 5 Gew.-Teile Acrylsäure aufweist, wurde in Ethylacetat copolymerisiert, so daß eine Lösung erhalten wurde, die einen Feststoffgehalt von 25 Gew.-% aufweist und ein Acrylpolymer mit einem Zahlenmittel des Molekulargewichts von 800000 enthielt. Dieser Lösung wurden 60 Gew.-Teile Dipentaerythritolhexaacrylat (Karayad DPHA®, von Nippon Kayaku Co., Ltd. hergestellt), 5 Gew.-Teile eines Radikalpolymerisationsinitiators (Irgacure 651®, von Ciba Specialties Chemicals hergestellt) und 5 Gew.-Teile einer Polyisocyanatverbindung (Coronate L®, von Nippon Polyurethane hergestellt) zugesetzt, so daß eine Lösung eines unter UV-Strahlen aushärtenden Acrylhaftmittels hergestellt wurde.
  • Als Basisschicht wurde eine Polyesterschicht mit einer Dicke von 150 μm verwendet (Zugfestigkeitsmodul 1,5 GPa), die auf einer Seite einer Coronabehandlung unterzogen worden war. Die der Coronabehandlung unterzogene Seite dieser Basisschicht wurde mit der vorstehend genannten Haftmittellösung beschichtet und durch Erwärmen getrocknet, so daß darauf eine unter UV-Strahlen aushärtende Haftschicht mit 4 μm Dicke erzeugt wurde. Dann wurde ein Trennelement auf die Oberfläche der Haftschicht geklebt, so daß ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper erzeugt wurde.
  • Als Trennelement wurde eine Polyesterschicht mit 38 μm Dicke (Luminar S-10 #50®, von Toray hergestellt) verwendet, die eine an der Haftschicht klebende Oberfläche aufweist, die mit einem Trennmittel behandelt worden war.
  • Beispiel 2
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß die Dicke der Haftschicht 5 μm betrug.
  • Beispiel 3
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß die Dicke der Haftschicht 7 μm betrug.
  • Beispiel 4
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß als Basisschicht eine Polyesterschicht mit einer Dicke von 188 μm verwendet wurde und die Dicke der Haftschicht 5 μm betrug.
  • Beispiel 5
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß als Basisschicht eine Polyesterschicht mit einer Dicke von 225 μm verwendet wurde und die Dicke der Haftschicht 5 μm betrug.
  • Vergleichsbeispiel 1
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß die Dicke der Haftschicht 10 μm betrug.
  • Vergleichsbeispiel 2
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß die Dicke der Haftschicht 20 μm betrug.
  • Vergleichsbeispiel 3
  • Ein unter UV-Strahlen aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß als Basisschicht eine Polyesterschicht mit einer Dicke von 125 μm verwendet wurde.
  • Vergleichsbeispiel 4
  • Ein unter UV-Strahlung aushärtender haftender Flächenkörper wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 erhalten, außer daß als Basisschicht eine Polyvinylchloridschicht mit einer Dicke von 185 μm (Zugfestigkeitsmodul 0,2 GPa) verwendet wurde und die Dicke der Haftschicht 5 μm betrug.
  • In Tabelle 1 sind die Werte für die Dicke von jeder dieser Basisschichten und Haftschichten aufgeführt, die in den Beispielen und Vergleichsbeispielen erhalten wurden. Tabelle 1
    Dicke (μm)
    Basisschicht Haftschicht
    Beispiel 1 150 4
    Beispiel 2 150 5
    Beispiel 3 150 7
    Beispiel 4 188 5
    Beispiel 5 225 5
    Vergleichsbeispiel 1 150 10
    Vergleichsbeispiel 2 150 20
    Vergleichsbeispiel 3 125 5
    Vergleichsbeispiel 4 185 5
  • Auswertungstests
  • Die in den Beispielen und Vergleichsbeispielen erhaltenen, unter UV-Strahlen aushärtenden haftenden Flächenkörper wurden wie folgt ausgewertet.
  • (1) Zerteiltest
  • Sodaglas (ein Glassubstrat) mit 1 mm Dicke wurde 10 Minuten bei einer bestimmten Temperatur (23°C, 40°C, 60°C) auf einem Substrat belassen, so daß die Temperatur des Glassubstrats mit der bestimmten Temperatur des Substrats identisch wurde. Dann wurde die Haftschicht auf das Glassubstrat geklebt, danach für eine bestimmte Zeit (0,5 h, 3 h, 12 h, 24 h) bei üblichen Temperaturen belassen und unter folgenden Bedingungen zerteilt.
    Schneidgeschwindigkeit: 2,5 mm/s
    Anzahl der Umdrehungen der Spindel: 20000 U/min
    Klinge: Klinge G1A851SD400R13B01 mit einer Dicke von 210 μm, von DISCO hergestellt
    Schnitthöhe: 50 μm
  • Das Zerteilen erfolgte so, daß Stücke mit einer Größe von 1 mm × 1 mm, 3 mm × 3 mm bzw. 5 mm × 5 mm geschnitten wurden. Nachdem das Zerteilen beendet worden war, wurde das Verteilen von Splittern, einschließlich umliegender Splitter, nach folgenden Kriterien ausgewertet. Die Ergebnisse sind in Tabellen 2, 3 und 4 für die entsprechenden Größen der zerteilten Stücke aufgeführt.
    • ⌾:
    Kein Verteilen von Splittern im umgebenden Bereich und im Produkt
    O:
    Geringfügiges Verteilen von Splittern im umgebenden Bereich ohne Verteilen von Splittern im Produkt
    X:
    Starkes Verteilen von Splittern im umgebenden Bereich und Verteilen von Splittern im Produkt
    Tabelle 2: Verteilen von Splittern bei der Größenbildung/Schnittgröße: 1 mm × 1 mm
    Temperatur (°C) des Substrats beim Kleben Nach dem Kleben vergangene Zeit (Stunden) Beispiel 1 Beispiel 2 Beispiel 3 Beispiel 4 Beispiel 5 Vergl.beispiel 1 Vergl.beispiel 2 Vergl.beispiel 3 Vergl.beispiel 4
    23 0,5 X X X X X ⌾ ⌾ X X
    3 X X O X X – – X X
    12 X O O O O – – X O
    24 O O ⌾ O O – – O O
    40 0,5 O O ⌾ O O – – O O
    60 0,5 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾ ⌾
    Tabelle 3 Verteilen von Splittern bei der Größenbildung/Schnittgröße: 3 mm × 3 mm
    Temperatur (°C) des Substrats beim Kleben Nach dem Kleben vergangene Zeit (Stunden) Beispiel 1 Beispiel 2 Beispiel 3 Beispiel 4 Beispiel 5 Vergl.beispiel 1 Vergl.beispiel 2 Vergl.beispiel 3 Vergl.beispiel 4
    23 0,5 X X O X X ⌾ ⌾ X X
    3 X O O O O – – X O
    12 O O ⌾ O O – – O O
    24 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾ ⌾
    40 0,5 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾ ⌾
    60 0,5 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾ ⌾
    Tabelle 4 Verteilen von Splittern bei der Größenbildung/Schnittgröße: 5 mm × 5 mm
    Temperatur (°C) des Substrats beim Kleben Nach dem Kleben vergangene Zeit (Stunden) Beispiel 1 Beispiel 2 Beispiel 3 Beispiel 4 Beispiel 5 Vergl.beispiel 1 Vergl.beispiel 2 Vergl.bei Spiel 3
    23 0,5 O O O O O ⌾ ⌾ O
    3 O O O O O – – O
    12 O O ⌾ O O – – O
    24 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾
    40 0,5 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾
    60 0,5 ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ ⌾ – – ⌾
  • (2) Abplatzen auf der Rückseite
  • Nach dem Zerteilen (Temperatur des Substrats beim Kleben 60°C, nach dem Kleben vergangene Zeit 0,5 h, Größe der zerteilten Stücke 3 mm × 3 mm) wurden die zerteilten Stücke für 13 Sekunden mit UV-Strahlen mit 35 mW/cm2·s bestrahlt, und das geschnittene Glassubstrat (G) wurde von der Haftschicht gelöst. Die erste, die zweite, die dritte und die vierte Schnittlinie wurden mit L1, L2, L3 und L4 bezeichnet. Das Abplatzen in der vierten Schnittlinie (L4) auf der Rückseite des geschnittenen Glassubstrats (G) wurde unter einem Mikroskop betrachtet. Wie in 2 dargestellt, wurde das maximale Abplatzen (W: μm) bei jedem Stück gemessen, und der Durchschnitts wert für 20 Stücke wurde als Qualität der Stücke angegeben. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5 aufgeführt.
  • (3) Unregelmäßige Form
  • Nach dem Zerteilen (Temperatur des Substrats beim Kleben 60°C, nach dem Kleben vergangene Zeit 0,5 h, Größe der zerteilten Stücke 3 mm × 3 mm) wurde der Querschnitt jedes zerteilten Stücks unter einem Mikroskop betrachtet und gemäß den folgenden Kriterien ausgewertet. Im Vergleichsbeispiel 5 hatten alle Stücke Risse. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5 aufgeführt.
    • O:
    Der Querschnitt war gerade.
    X:
    Der Querschnitt hatte eine unregelmäßige Form, wie es in 3 dargestellt ist.
    Tabelle 5
    Abplatzen (μm) Unregelmäßige Form
    Beispiel 1 18 O
    Beispiel 2 21 O
    Beispiel 3 28 O
    Beispiel 4 24 O
    Beispiel 5 22 O
    Vergleichsbeispiel 1 40 O
    Vergleichsbeispiel 2 63 O
    Vergleichsbeispiel 3 19 X
    Vergleichsbeispiel 4 27 X

Claims (8)

  1. Haftender Flächenkörper zum Zerteilen eines Glassubstrats, wobei der Flächenkörper eine Basisschicht (1) und eine auf der Basisschicht (1) angeordnete Haftschicht (2) aufweist, wobei die Basisschicht (1) eine Dicke von 130 μm oder mehr und einen Zugfestigkeitsmodul von 1 GPa oder mehr aufweist und wobei die Haftschicht (2) eine Dicke von 9 μm oder weniger aufweist.
  2. Haftender Flächenkörper nach Anspruch 1, wobei die Basisschicht (1) eine Polyesterschicht ist.
  3. Haftender Flächenkörper nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Haftschicht (2) eine unter Strahlung aushärtende Haftschicht ist.
  4. Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: – Kleben des haftenden Flächenkörpers (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 3 auf ein Glassubstrat (G), und – Zerteilen des Glassubstrats (G).
  5. Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats nach Anspruch 4, wobei das Glassubstrat (G) durch Zerteilen in Stücke von 3 mm × 3 mm Größe oder kleiner zerlegt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, wobei das Glassubstrat (G) zerteilt wird, nachdem es zumindest 24 Stunden nach dem Aufkleben des haftenden Flächenkörpers (2) auf diesem belassen worden ist.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei der haftende Flächenkörper (2) unter Erwärmung auf eine Temperatur von 40°C oder mehr auf das Glassubstrat (G) geklebt wird.
  8. Zerteiltes Stück Glassubstrat, das mit dem Verfahren zum Zerteilen eines Glassubstrats nach einem der Ansprüche 4 bis 7 gebildet worden ist.
DE2003613396 2002-06-10 2003-06-10 Klebebogen für das Zerteilen von Glassubstrat und Methode zum Zerteilen von Glassubstrat Expired - Lifetime DE60313396T2 (de)

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