-
GEBIET DER ERFINDUNG
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft ein druckempfindliches Klebeband.
Das druckempfindliche Klebeband der Erfindung kann für verschiedene
Zwecke verwendet werden. Das druckempfindliche Klebeband der Erfindung
hat die Eigenschaft, dass das Band ausgezeichnet ist in seiner anfänglichen
Klebekraft und ein Anstieg der Klebekraft desselben mit der Zeit
gering ist und dass es geeignet ist für Gegenstände, von denen das Klebeband
abgeschält
werden soll. Weiterhin betrifft die Erfindung einen druckempfindlichen
Haftvermittler, der in dem druckempfindlichen Klebeband verwendet
wird.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der Erfindung ist besonders geeignet
als ein druckempfindliches Klebeband, das in dem Schritt des Schneidens
von einem Halbleiter-Wafer
verwendet wird. Das druckempfindliche Klebeband, das in dem Schneideschritt
verwendet wird, ist als ein druckempfindliches Klebeband zum Schneiden
geeignet, welches dazu verwendet wird, einen zu schneidenden Gegenstand
zu befestigen, wie einen Halbleiter-Wafer, wenn der Gegenstand in
kleine Teile geschnitten wird, oder als ein druckempfindliches Klebeband
zum Aufnehmen (picking up) eines Halbleiters, das dazu verwendet
wird, Einzelteile des geschnittenen Gegenstands aufzunehmen. Da
ein einzelnes druckempfindliches Klebeband gewöhnlich dazu verwendet wird,
ein Verfahren von dem Schneideschritt zu dem Aufnahmeschritt durchzuführen, ist
das druckempfindliche Klebeband der vorliegenden Erfindung besonders
geeignet als ein druckempfindliches Klebeband zum Bearbeiten eines
Halbleiters, welches überall
in diesem Verfahren verwendet wird. Das druckempfindliche Klebeband
der Erfindung kann als ein druckempfindliches Klebeband zum Schneiden
eines Siliziumhalbleiters, eines Verbindungshalbleiters, eines Halbleiterpackages,
von Glas oder einem anderen Material verwendet werden. Diese Erfindung
betrifft auch ein Verfahren zum Bearbeiten eines Halbleiter-Wafers unter Verwendung des
druckempfindlichen Klebebands.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der Erfindung kann auch verwendet als
ein Oberflächenschutzband oder
irgendein anderes Band, welches wieder abgeschält werden soll, wenn eine Metallplatte,
wie eine rostfreie Stahlplatte oder eine Aluminiumplatte, verarbeitet,
gelagert oder transportiert wird.
-
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
-
Im
allgemeinen wird weithin ein weicher Polyvinylchlorid(PVC)-Film,
der einen Weichmacher wie Dioctylphthalat (DOP) enthält, als
Träger
für verschiedenartige
druckempfindliche Klebebänder
verwendet, da der Film ausgezeichnete mechanische Eigenschaften
aufweist (oder sowohl Starrheit, die PVC aufweist, als auch Flexibilität basierend
auf dem Weichmacher hat). Zum Beispiel wird ein weicher PVC-Film
als Träger
für ein
druckempfindliches Klebeband verwendet, das in dem Schritt des Schneidens
eines Halbleiter-Wafers verwendet wird, da der Film in seiner Vibrationsabsorption,
Ausdehnbarkeit und Fähigkeit
zur Selbstreparatur, nachdem der Film ausgedehnt wurde, ausgezeichnet
ist, welche in einem Halbleiterschneideschritt erforderlich sind.
-
Es
ist jedoch schwierig für
ein druckempfindliches Klebeband unter Verwendung eines weichen PVC-Films
als Träger
wegen der Wirkung des Weichmachers, der in dem weichen PVC-Film
enthalten ist, eine ausreichende anfängliche Klebekraft zu erlangen.
Wenn zum Beispiel das druckempfindliche Klebeband unter Verwendung
eines weichen PVC-Films als Träger
verwendet wird als ein druckempfindliches Klebeband zum Schneiden,
kann ein Halbleiter-Wafer nicht ausreichend zum Zeitpunkt des Schneidens
des Wafers gehalten werden. Folglich werden in dem Wafer-Schneideschritt
Unannehmlichkeiten verursacht, wie dass Chips verstreut werden.
-
Um
solche Unannehmlichkeiten zu beseitigen, wird üblicherweise eine Verbesserung
in der Klebeschicht des druckempfindlichen Klebebands durchgeführt. Es
wird zum Beispiel eine Klebeschicht vorgeschlagen, die als ein Basispolymer
derselben ein Acrylcopolymer enthält, welches eine Carboxylgruppe
als eine funktionelle Gruppe aufweist und mit einem Vernetzer, wie
einem Vernetzer vom Isocyanat-Typ oder einen Vernetzer vom Melamin-Typ,
vernetzt ist. Der Anstieg der Klebekraft dieser Klebeschicht mit
der Zeit ist jedoch groß;
folglich wird ein anderes Problem dadurch verursacht, dass der Aufnahmeschritt
nach dem Schneideschritt nicht leicht erzielt werden kann.
-
Wie
oben beschrieben, kann ein druckempfindliches Klebeband unter Verwendung
eines weichen PVC-Films als dessen Träger nicht die widersprüchlichen
Eigenschaften einer ausreichenden anfänglichen Klebekraft und einer
Stabilität
der Klebekraft über
die Zeit erfüllen.
Folglich kann das druckempfindliche Klebeband, wenn das druckempfindliche Klebeband
als ein druckempfindliches Klebeband zum Schneiden verwendet wird,
nicht zwei Eigenschaften betreffend das Halten eines Halbleiter-Wafers
zum Zeitpunkt des Schneidens des Wafers und die Verhinderung einer
Fehlererzeugung beim Aufnehmen erfüllen.
-
Um
ein druckempfindliches Klebeband zu erhalten, das die zwei oben
erwähnten
widersprüchlichen Eigenschaften
erfüllt,
wird ein Verfahren der Zugabe einer winzigen Menge eines Additivs,
wie Methylenbisstearylamid, zu einer Klebeschicht in einem weichen
PVC-Film, um das Additiv ungleich in der Oberfläche der Klebeschicht zu verteilen,
wodurch das Abschälen
des Bands (siehe JP-A-10-316774) kontrolliert wird, oder irgendein
anderes Verfahren vorgeschlagen. In dem Fall, dass das Abschälkontrollmittel
ungleich auf der Oberfläche
verteilt ist, entsteht jedoch das Problem, dass dieses Mittel als
Kontaminationsstoff auf der Oberfläche eines Halbleiter-Wafers
in einem solchen Maße
klebt, dass das Mittel mit dem bloßen Auge erkannt werden kann.
Daher sind die konventionellen druckempfindlichen Klebebänder nicht
Klebebänder,
die die widersprüchlichen
Eigenschaften der Schneideeigenschaft und der Aufnahmeeigenschaft
aufweisen, und enthalten in der Klebeschichtoberfläche derselben
lediglich eine kleine Menge an Kontaminationsstoffen.
-
Wenn
eine Klebeschicht auf einem weichen PVC-Film gebildet wird, ist
es unmöglich,
die Wirkung der Übertragung
des in dem Film enthaltenen Weichmachers und der Klebeschicht auf
die Oberfläche
zu ignorieren (Aggregationszusammenbruch basierend auf der Plastifizierung
des Haftvermittlers). Weiterhin werden Probleme verursacht, wie
dass Klebstoff erzeugt wird, wenn der PVC-Film für eine lange Zeitdauer gelagert wird.
-
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
-
Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein druckempfindliches
Klebeband zur Verfügung
zu stellen, welches als dessen Träger ein weiches Polyvinylchlorid
enthält,
das einen Weichmacher enthält,
die widersprüchlichen
Eigenschaften einer anfänglichen
Klebekraft und einer Stabilität
der Klebekraft über
die Zeit erfüllt
und keine Probleme bezüglich
der Oberflächenkontamination
aufweist.
-
Eine
andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein druckempfindliches
Klebeband zum Schneiden, das aus dem oben erwähnten druckempfindlichen Klebeband hergestellt
ist, und ein Verfahren zum Bearbeiten eines Halbleiter-Wafers unter
Verwendung des druckempfindlichen Klebebands zum Schneiden zur Verfügung zu
stellen.
-
Noch
eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen druckempfindlichen
Haftvermittler zur Verfügung
zu stellen, der zur Bildung einer Klebeschicht des oben erwähnten druckempfindlichen
Klebebandes verwendet wird.
-
Die
Erfinder haben eifrige Untersuchungen durchgeführt, um die oben erwähnten Aufgaben
zu lösen, wobei
das folgende druckempfindliche Klebeband gefunden wurde. Folglich
wurde die vorliegende Erfindung gemacht.
-
Deshalb
betrifft die vorliegende Erfindung ein druckempfindliches Klebeband,
umfassend einen Träger und
eine Klebeschicht oder Klebeschichten, geformt aus einem Haftvermittler,
welcher ein Basispolymer und Vernetzungsmittel umfasst, auf einer
einzelnen Oberfläche
des Trägers
oder auf der Oberfläche
und der anderen Oberfläche
davon,
dadurch charakterisiert, dass der Träger ein weiches Polyvinylchlorid,
umfassend einen Weichmacher, umfasst, und
der mindestens eine
Haftvermittler auf der einzelnen Oberfläche als ein Basispolymer ein
Acrylcopolymer, welches eine Carboxylgruppe hat, umfasst, und weiterhin
als die Vernetzungsmittel eine Mischung aus Vernetzungsmitteln umfasst,
umfassend ein Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ, ein Vernetzungsmittel
vom Glycidylamin-Typ und ein Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ.
-
In
dem oben erwähnten
druckempfindlichen Klebeband ist es bevorzugt, dass das Vernetzungsmittel vom
Glycidylamin-Typ 1,3-Bis(N,N-diglycidylaminomethyl)cyclohexan ist.
-
In
dem oben erwähnten
druckempfindlichen Klebeband ist es bevorzugt, dass das Vernetzungsmittel vom
Melamin-Typ ein Butanol-modifiziertes Melamin/Formaldehydharz ist.
-
Es
ist bevorzugt, dass das oben erwähnte
druckempfindliche Klebeband 0,5 bis 10 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels
vom Isocyanat-Typ, 0,2 bis 2 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels vom
Glycidylamin-Typ und 0,5 bis 10 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels
vom Melamin-Typ je 100 Gew.-Teile des Acrylcopolymers umfasst.
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft auch ein druckempfindliches Klebeband
zum Schneiden, dadurch charakterisiert, dass das oben erwähnte druckempfindliche
Klebeband in dem Schritt des Schneidens eines Halbleiter-Wafers
verwendet wird.
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Bearbeiten
eines Halbleiter-Wafers,
dadurch charakterisiert, dass das Verfahren den Schritt der Verwendung
des druckempfindlichen Klebebands zum Schneiden umfasst, um den
Halbleiter-Wafer zu schneiden.
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft auch einen druckempfindlichen Haftvermittler,
dadurch charakterisiert, dass dieser zum Bilden der Klebeschicht
des oben erwähnten
druckempfindlichen Klebebands verwendet wird und als Basispolymer
ein Acrylcopolymer, welches eines Carboxylgruppe hat, umfasst und
weiterhin als Vernetzungsmittel eine Mischung aus Vernetzungsmitteln
umfasst, umfassend ein Vernetzungsmittel vom Glycidylamin-Typ und
ein Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ.
-
Wie
oben beschrieben ist das druckempfindlichen Klebeband der vorliegenden
Erfindung ein Band, worin als dessen Träger weiches PVC, umfassend
einen Weichmacher, verwendet wird. Dessen Klebeschicht ist aus einem
Haftvermittler, umfassend als Basispolymer ein Acrylcopolymer, das
eine Carboxylgruppe aufweist, und weiterhin als Vernetzungsmittel
drei Vernetzungsmittel von einem Vernetzungsmittel des Isocyanat-Typs,
einem Vernetzungsmittel des Glycidylamin-Typs und einem Vernetzungsmittel
des Melamin-Typs gleichzeitig umfasst, hergestellt. Diese Klebeschicht
macht es möglich,
dass das Klebeband beide Eigenschaften bezüglich der anfänglichen
Klebekraft und einer über
die Zeit stabilen Klebekraft mit einer guten Ausgewogenheit erfüllt, auch
wenn eine winzige Menge eines Abschälkontrollmittels, welches als
Kontaminationsstoff zurückbleibt,
nicht verwendet wird. Das druckempfindliche Klebeband dieser Erfindung
ist ein druckempfindliches Klebeband, welches nicht leicht durch
irgendeinen Weichmacher beeinflusst wird, der in dem weichen PVC
enthalten ist.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der vorliegenden Erfindung, das diese
Eigenschaft aufweist, ist geeignet als ein druckempfindliches Klebeband
zum Schneiden. Das heißt,
das druckempfindliche Klebeband dieser Erfindung ist ausgezeichnet
in seiner Schneideeigenschaft, da das Band eine gute anfängliche
Klebekraft aufweist und das Klebe band auch eine gute Aufnahmeeigenschaft
aufweist, da das Klebeband eine Klebekraft aufweist, die über die
Zeit stabil ist, so dass ein Anstieg der Klebekraft unterdrückt werden
kann. Da es möglich
ist, dass das Klebeband irgendein Abschälkontrollmittel nicht enthält, wird
ein Problem der Kontamination der Halbleiter-Wafer, das mit dem
Abschälkontrollmittel
in Verbindung steht, nicht verursacht.
-
In
dem Fall, dass ein Copolymer vom Acryl-Typ, enthaltend eine Carboxylgruppe,
als ein Basispolymer in einer Klebeschicht verwendet wird, ist es üblich, als
Vernetzungsmittel ein Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ, ein Vernetzungsmittel
vom Glycidylamin-Typ oder ein Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ
allein zu verwenden, unter Berücksichtigung
der chemischen Reaktion mit der Carboxylgruppe. Es kann in Frage
kommen, dass zwei der Vernetzungsmittel zusammen verwendet werden,
um das Molekulargewicht der Klebeschicht oder des Gelgehalts darin
zu kontrollieren. Jedoch zielt die Verwendung von zwei Vernetzungsmitteln zusammen
hauptsächlich
darauf ab, die Reaktionsrate des hauptsächlichen Mittels der Vernetzungsmittel
mit dem anderen Vernetzungsmittel zu ergänzen. Folglich werden die zwei
Vernetzungsmittel nicht als Mittel angesehen, die Funktionen aufweisen,
die diese unabhängig
voneinander aufweisen. Es kann in Frage kommen, dass z.B. ein Vernetzungsmittel
vom Isocyanat-Typ oder ein Vernetzungsmittel vom Glycidylamin-Typ,
das bei Umgebungstemperatur reaktiv ist, mit einem Vernetzungsmittel
vom Melamin-Typ ergänzt
wird, das bei hoher Temperatur reaktiv ist, jedoch bei Umgebungstemperatur
chemisch inaktiv ist. Es wurde deshalb in Erwägung gezogen, dass die Anzahl
an Vernetzungsmitteln, die unter diesen Vernetzungsmitteln verwendet
wird, höchstens
zwei ist und dass es ergebnislos ist, deren Anzahl zu erhöhen.
-
In
der vorliegenden Erfindung werden die drei Vernetzungsmittel, die
verschiedene Reaktionsraten (Reaktionsbedingungen) aufweisen, gleichzeitig
gemischt. Diese Vernetzungsmittel werden für Zwecke verwendet, die unabhängig voneinander
sind, wobei die oben erwähnte
Eigenschaft erfüllt
wird.
-
Es
ist bekannt, dass wenn ein Vernetzungsmittel vom Glycidylamin-Typ
in ein Acrylcopolymer, enthaltend eine Carboxylgruppe, inkorporiert
wird, das Molekulargewicht des vernetzten Moleküls so klein wird, dass die
Bewegung der Hauptkette des Polymers blockiert ist, wodurch die
Klebekraft desselben über
die Zeit stabilisiert wird. Falls jedoch die Menge des inkorporierten
Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ groß gemacht wird, verringert
sich die anfängliche
Klebekraft bemerkenswert. Um das zu ergänzen, wird in der vorliegenden
Erfindung auch ein Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ verwendet,
wodurch die Polarität
der äußersten
Oberfläche
des Haftvermittlers ansteigt, um die Klebekraft desselben zu erhöhen. Es
wurde nie vor dieser Erfindung herausgefunden, dass die anfängliche
Klebekraft und die Stabilität
der Klebekraft über
die Zeit gleichzeitig durch die gemeinsame Verwendung eines Vernetzungsmittels
vom Glycidylamin-Typ und eines Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ,
wie oben beschrieben, sichergestellt werden können. Allgemein sind ein Vernetzungsmittel
vom Glycidylamin-Typ und ein Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ
je mit einer Carboxylgruppe bei Umgebungstemperatur reaktiv; deshalb
wird nicht in Betracht gezogen, dass eines der beiden Mittel die
Reaktionsrate des anderen ergänzt.
Es ist eine vollständig
neue Erkenntnis, das unabhängige Eigenschaften
der beiden sich zeigen, wodurch die widersprüchlichen Eigenschaften erhalten
werden können.
-
In
einem PVC-Film ist allgemein ein Weichmacher wie DOP in einer großen Menge
enthalten. Als ein Ergebnis wird das folgende Phänomen erzeugt, wenn der Film
für eine
lange Zeitdauer gelagert wird: Der Weichmacher verlagert sich in
den Haftvermittler (insbesondere die Oberfläche desselben) in dem Film,
so dass der Haftvermittler plastifiziert wird unter Erzeugung eines
Klebstoffs. Dieses Phänomen
kann nicht durch Verwendung eines Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ
und eines Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ allein oder in
Kombination derselben gelöst
werden. Folglich wird in der vorliegenden Erfindung ein Vernetzungsmittel
vom Melamin-Typ zusammen mit einem Vernetzungsmittel vom Glycidylamin-Typ
und einem Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ verwendet. Die drei
Vernetzungsmittel werden nämlich
zusammen verwendet. Die gemeinsame Verwendung des Vernetzungsmittels
vom Melamin-Typ macht es möglich,
dieses Problem zu lösen.
Als ein Ergebnis kann das resultierende Klebeband eine dauerhafte
Langzeitstabilität
erzielen. Allgemein hat jegliches Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ
eine hohe Reaktionsrate bei hoher Temperatur, jedoch eine bemerkenswert
niedrige Reaktionsrate bei Raumtemperatur; deshalb wurde das Mittel
in dem Fall der gemeinsamen Verwendung eines Vernetzungsmittel vom
Melamin-Typ als ein Vernetzungsmittel zur Ergänzung eines Vernetzungsmittel
vom Isocyanat-Typ oder eines Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ verwendet.
Wie oben beschrieben ist es jedoch eine vollständig neue Erkenntnis, dass
ein Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ nicht als ein Vernetzungsmittel
verwendet wird, sondern verwendet wird, um eine Plasti fizierung
eines Haftvermittlers in einem PVC-Film zu verhindern, wobei die
Plastifizierung auf dem Weichmacher basiert.
-
BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
-
Das
druckempfindliche Klebeband der vorliegenden Erfindung ist im Folgenden
beschrieben. Das druckempfindliche Klebeband der Erfindung umfasst
einen Träger
und eine Klebeschicht oder Klebeschichten, die aus einem Haftvermittler,
umfassend ein Basispolymer und eine Mischung aus Vernetzungsmitteln
auf einer einzelnen Oberfläche
des Trägers
oder auf der Oberfläche
und der anderen Oberfläche
desselben geformt sind. Ein Separator oder Separatoren können auf
der (den) Klebeschicht (Klebeschichten) gebildet sein.
-
Der
Träger
ist hauptsächlich
aus weichem Polyvinylchlorid (PVC) geformt, das einen Weichmacher enthält. Als
der Weichmacher kann ein jeglicher Weichmacher, der in konventionellem
weichem PVC verwendet wird, ohne spezielle Beschränkungen
verwendet werden. Beispiele derselben beinhalten Dioctylphthalat (DOP)
und Diisononylphthalat (DINP). Der Weichmacher, den konventionelles
weiches PVC enthält,
ist allgemeine DOP, DINP oder Ähnliches
vom Standpunkt der Herstellungsmenge und Kosten; es kann jedoch
ein niedermolekularer Weichmacher wie Dibutylphthalat (DBP) oder
ein Weichmacher vom Epoxypolymer-Typ verwendet werden. Diese können in
Kombination verwendet werden. Der Gehalt des Weichmachers im PVC
des weichen PVC ist nicht besonders beschränkt und ist gewöhnlich von
etwa 10 bis 50 Gew.-Teilen, bevorzugt von etwa 20 bis 40 Gew.-Teilen
je 100 Gew.-Teile des PVC.
-
Die
Dicke des Trägers
(Films), umfassend das weiche PVC ist gewöhnlich von etwa 50 bis 200 μm, vorzugsweise
von etwa 60 bis 130 μm.
Falls erforderlich kann der Träger
einer konventionellen physikalischen oder chemischen Behandlung,
wie einer Mattierungsbehandlung (mat treatment) einer Koronaentladungsbehandlung
oder einer Primerbehandlung, unterworfen werden.
-
Wenigstens
die Klebeschicht auf der einzelnen Oberfläche des Trägers ist aus einem Haftvermittler geformt,
der als Basispolymer ein Acrylcopolymer, welches eine Carboxylgruppe
hat, und weiterhin als die Vernetzungsmittel eine Mischung aus Vernetzungs mitteln
umfasst, die ein Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ, ein Vernetzungsmittel
vom Glycidylamin-Typ und ein Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ umfasst.
-
Das
Acrylcopolymer umfasst Alkyl(meth)acrylat als Hauptmonomereinheit
und umfasst weiterhin ein Carboxyl-enthaltendes Monomer als eine
Monomereinheit.
-
Das
Alkyl(meth)acrylat kann ein Alkyl(meth)acrylat sein, das eine normale
oder verzweigte Alkylgruppe mit 30 oder weniger Kohlenstoffatomen,
vorzugsweise 4 bis 18 Kohlenstoffatomen aufweist, wobei Beispiele
derselben Methyl-, Ethyl-, Propyl-, Isopropyl-, n-Butyl-, t-Butyl-,
Isobutyl-, Amyl-, Isoamyl-, Hexyl-, Heptyl-, Cyclohexyl-, 2-Ethylhexyl-, Octyl-,
Isooctyl-, Nonyl-, Isononyl-, Decyl-, Isodecyl-, Undecyl-, Lauryl-,
Tridecyl-, Tetradecyl-, Stearyl-, Octadecyl- und Dodecylgruppen
beinhalten. Der Begriff „Alkyl(meth)acrylat" meint Alkylacrylat
und/oder Alkylmethacrylat. Alle Begriffe beinhaltend „(meth)" in der vorliegenden
Beschreibung haben ähnliche
Bedeutungen. Diese Alkyl(meth)acrylate werden alleine oder in Kombination
zweier oder mehrerer derselben verwendet.
-
Beispiele
des Carboxyl enthaltenden Monomers beinhalten Acrylsäure, Methacrylsäure, Carboxyethylacrylat,
Carboxypentylacrylat, Itakonsäure,
Maleinsäure,
Fumarsäure
und Krotonsäure.
Die Carboxyl enthaltenden Monomere werden allein oder in Kombination
zweier oder mehrerer derselben verwendet. Hinsichtlich des Verhältnisses
des (der) Carboxyl enthaltenden Monomers (Monomeren) in dem Acrylcopolymer
ist die Menge des (der) Carboxyl enthaltenden Monomers (Monomere)
von etwa 0,1 bis 20 Teile, bevorzugt von etwa 0,5 bis 15 Gew.-Teile
je 100 Gew.-Teile aller Monomere, die das Acrylcopolymer ausmachen.
-
Nicht
nur das Alkyl(meth)acrylat und das Carboxyl enthaltende Monomer,
sondern auch ein verschiedenes Monomer, das damit copolymerisierbar
ist, kann in das Acrylcopolymer inkorporiert werden, wodurch es möglich gemacht
wird, die Klebekraft des Haftvermittlers auf der Basis der Einführung dessen
funktioneller Gruppe oder polarer Gruppe zu verbessern, oder die
Glasübergangstemperatur
des Copolymers zu kontrollieren, um die Kohesivkraft oder Hitzebeständigkeit
zu verbessern oder zu modifizieren. Beispiele des verschiedenen
copolymerisierbaren Monomers, das für diesen Zweck verwendet wird,
beinhalten Säureanhydridmonomere,
wie Maleinsäureanhydrid
oder Itakonsäureanhydrid;
Hydroxyl enthaltende Monomere, wie 2-Hydroxyethyl(meht)acrylat,
2- Hydroxypropyl(meth)acrylat,
4-Hydroxybutyl(meth)acrylat, 6-Hydroxyhexyl(meth)acrylat, 8-Hydroxyoctyl(meth)acrylat,
10-Hydrodecyl(meth)acrylat, 12-Hydroxylauryl(meth)acrylat und (4-Hydroxymethylcyclohexyl)methylacrylat;
Sulfonsäuregruppe
enthaltende Monomere, wie Styrolsulfonsäure, Allylsulfonsäure, 2-(Meth)acrylamid-2-methylpropansulfonsäure, (Meth)acrylamidpropansulfonsäure, Sulfopropyl(meth)acrylat
und (Meth)acryloyloxynaphthalensulfonsäure; Phosphorsäuregruppen
enthaltende Monomere, wie 2-Hydroxyethylacryloylphosphat; und andere
Monomere wie Glycidylester(meth)acrylat, Vinylacetat, Styrol, (Meth)acrylonitril,
N-Vinylpyrrolidon, (Meth)acryloylmorpholin, Cyclohexylmaleimid,
Isopropylmaleimid und (Meth)acrylamid. Diese Copolymermonomere können alleine
oder in Kombination zweier oder mehrerer derselben verwendet werden.
Hinsichtlich des Verhältnisses
des (der) copolymerisierbaren Monomers (Monomeren) in dem Acrylcopolymer
ist die Menge des (der) Monomers (Monomere) von etwa 30 Teilen oder
weniger, vorzugsweise 15 Gew.-Teilen oder weniger, je 100 Gew.-Teile
aller Monomere, die das Acrylcopolymer ausmachen.
-
Falls
erforderlich kann ein polyfunktionelles Monomer oder ein anderes
Monomer als das copolymerisierbare Monomer verwendet werden, um
das Acrylcopolymer einer Vernetzungsbehandlung oder einer anderen
Behandlung zu unterwerfen. Beispiele des Monomers beinhalten Hexandioldi(meth)acrylat,
(Poly)ethylenglycoldi(meth)acrylat, (Poly)propylenglycoldi(meth)acrylat,
Neopentylglycoldi(meth)acrylat, Pentaerythritoldi(meth)acrylat,
Trimethylolpropantri(meth)acrylat, Pentaerythritoltri(meth)acrylat,
Dipentaerythritolhexan(meth)acrylat, Epoxyacrylat, Polyesteracrylat
und Urethanacrylat. Die polyfunktionellen Monomere können allein
oder in Kombination zweier oder mehrer derselben verwendet werden.
Hinsichtlich des Verhältnisses des
(der) polyfunktionellen Monomers (Monomere) in dem Acrylcopolymer
ist die Menge des (der) Monomers (Monomere) von etwa 30 Teilen oder
weniger, vorzugsweise 15 Gew.-Teilen oder weniger, je 100 Gew.-Teile aller
Monomere, die das Acrylcopolymer ausmachen.
-
Ein
solches Acrylcopolymer kann durch Anwendung eines geeigneten Polymerisationsverfahrens,
das aus der Lösungspolymerisation,
der Emulsionspolymerisation, der Massepolymerisation, der Suspensionspolymerisation
oder anderen Polymerisationen ausgewählt ist, auf eine Monomermischung,
enthaltend wenigstens das Alkyl(meth)acrylat und das Carboxyl enthaltende
Monomer hergestellt werden. Das gewichtsmittlere Mole kulargewicht
des Acrylcopolymers ist gewöhnlich
von etwa 200.000 bis 1.500.000, vorzugsweise von 250.000 bis 1.500.000.
-
Als
das Vernetzungsmittel vom Isocyanat-Typ kann ein Vernetzungsmittel
mit wenigstens zwei Isocyanatgruppen ohne eine spezielle Beschränkung verwendet
werden. Beispiele desselben beinhalten, Toluoldiisocyanat, Diphenylmethandiisocyanat,
Hexamethylendiisocyanat, Xylylendiisocyanat und Addukte derselben mit
einer Alkoholverbindung, wie Trimethylolpropan. Das Vernetzungsmittel
vom Isocyanat-Typ ist jedoch nicht auf diese Beispiele beschränkt. Spezielle
Beispiele des Vernetzungsmittels beinhalten Colonate (Transliteration)
L (Handelsname), hergestellt von Nippon Polyurethan Industry Co.,
Ltd., und DESMODUR-L75 (Handelsname), hergestellt von Bayer AG,
als kommerziell erhältliche
Addukte von Tolylendiisocyanat mit Trimethylolpropan; und Milionate
(Transliteration) MR-300 (Handelsname), hergestellt von Nippon Polyurethan
Industry Co., Ltd., als kommerziell erhältliches Diphenylmethandiisocyanat.
-
Als
das Vernetzungsmittel vom Glycidylamin-Typ kann ein Vernetzungsmittel,
das wenigstens zwei Glydiylaminogruppen aufweist und chemisch mit
einer Carboxylgruppe rasch bei Umgebungstemperatur (20 bis 30°C) reagiert,
ohne spezielle Beschränkung
verwendet werden. Ein Beispiel desselben ist 1,3-Bis(N,N-diglycidylaminomethyl)cyclohexan.
Ein spezielles Beispiel desselben ist TETRAD-C (Handelsname), hergestellt von
Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., als kommerziell erhältliches
1,3-Bis(N,N-diglycidylaminomethyl)cyclohexan.
-
Das
Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ wird verwendet, um eine Plastifizierung
des Haftvermittlers durch den in dem weichen PVC enthaltenen Weichmacher
zu verhindern. Ein Beispiel desselben ist Butanol-modifiziertes
Melamin/Formaldehydharz, auf das das Vernetzungsmittel vom Melamin-Typ
nicht beschränkt
ist. Spezielle Beispiele desselben beinhalten Super Beckhamine (Transliteration)
J-82060N, hergestellt von Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.
und Luwipal 012, hergestellt von BASF Co., als kommerziell erhältliches
Butanol-modifiziertes Melamin/Formaldehydharz.
-
Das
Mischungsverhältnis
zwischen den oben erwähnten
Vernetzungsmitteln ist nicht besonders beschränkt. Die Menge des Vernetzungsmittels
vom Isocyanat-Typ ist vorzugsweise von 0,5 bis 10 Teile, stärker bevorzugt
von 1 bis 5 Gew.-Teile, je 100 Gew.-Teile des Acrylcopolymers vom Standpunkt
der Wirkung einer Erhöhung
der Polarität
auf der Oberfläche
der Klebeschicht und der Produktivität des Klebebands. Falls das Vernetzungsmittel
vom Isocyanat-Typ in einer größeren Menge
inkorporiert ist, wird die Topfzeit des Haftvermittlers kurz, so
dass sich die Produktivität
verringert. Die Menge des Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ
ist vorzugsweise von 0,2 bis 2 Teile, stärker bevorzugt von 0,3 bis
1 Gew.-Teil vom Standpunkt der anfänglichen Klebekraft des Klebebands
und der Stabilität
der Klebekraft desselben über
die Zeit. Die Menge des Vernetzungsmittels vom Melamin-Typ ist vorzugsweise
von 0,5 bis 10 Gew.-Teile, da die Erzeugung von Klebstoff durch
die Wirkung des Weichmachers verhindert werden kann und die anfängliche
Klebekraft und Stabilität
der Klebekraft über
die Zeit, basierend auf der Verwendung sowohl des Vernetzungsmittels
vom Isocyanat-Typ als auch des Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ,
mit einem gutem Gleichgewicht aufrecht erhalten werden kann.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der vorliegenden Erfindung kann einen
Weichmacher neben dem Acrylcopolymer und den drei Vernetzungsmittel
enthalten. Die Art des Weichmachers, der verwendet werden kann,
ist nicht besonders beschränkt.
Beispiele desselben sind dieselben Weichmacher, die in PVC inkorporiert
sind. Die Mischungsmenge des Weichmachers ist nicht besonders beschränkt. Die
Menge desselben ist allgemein von etwa 0 bis 100 Teile, bevorzugt
von 20 bis 80 Gew.-Teile, je 100 Gew.-Teile des Acrylcopolymers. Falls
erforderlich kann der Haftvermittler verschiedenartige Additive,
wie einen Klebrigmacher, einen Füllstoff, ein
der Alterung widerstehendes Mittel (age resistor), einen Farbstoff,
ein Antioxidationsmittel und ein Ultraviolett-Absorptionsmittel
enthalten. Das Verhältnis
eines jeden der Additive kann nach Belieben ausgewählt werden.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der Erfindung kann zum Beispiel hergestellt
werden durch Aufbringen des Haftvermittlers auf eine Oberfläche des
Trägers,
Trocknen des Mittels und (optional Erwärmen des Mittels, um die Komponenten
in dem Mittel zu vernetzen) um eine Klebeschicht zu bilden und optional
Kleben eines Separators auf die Oberfläche dieser Klebeschicht. Daneben
kann ein Verfahren des Formens einer Klebeschicht auf dem Separator
und anschließendes
Kleben des Ergebnisses auf den Träger oder irgend ein anderes
Verfahren angewendet werden. Die Dicke der Klebeschicht ist nicht
besonders beschränkt
und ist gewöhnlich
von etwa 1 bis 30 μm,
vorzugsweise von etwa 5 bis 15 μm.
-
Falls
erforderlich wird ein Separator geformt, um die Klebeschicht gleichmäßig (smooth)
für die
Kennzeichnungsbearbeitung zu machen. Beispiele des Materials, das
den Separator ausmacht, beinhalten Papier und einen synthetischen
Harzfilm, geformt aus Polyethylen, Polypropylen oder Polyethylenterephthalat.
Falls erforderlich können
eine Oberfläche
oder beide Oberflächen
des Separators einer Abschälungsbehandlung, wie
einer Silikonbehandlung, einer Behandlung mit langkettigem Alkyl
oder einer Fluorbehandlung unterworfen werden, um die Abschälbarkeit
desselben von der Klebeschicht hoch zu machen. Entsprechend der
Zielsetzung, die Steifigkeit des Separators hoch zu machen oder
für einen
anderen Zweck, kann der Separator einer monoaxialen oder biaxialen
Zugbehandlung (drawing treatment) unterworfen werden oder mit einem
unterschiedlichen Plastikfilm oder Ähnlichem beschichtet werden.
Die Dicke des Separators ist gewöhnlich
von 10 bis 200 μm,
vorzugsweise von 25 bis 100 μm.
In dem Fall, dass der Separator verwendet wird, kann das Klebeband
in einer Rollenform gebracht werden. Die Form des Klebebands ist
jedoch nicht auf diese Form beschränkt.
-
Das
druckempfindliche Klebeband der Erfindung kann für die oben erwähnten verschiedenartigen Zwecke
verwendet werden. Das Klebeband wird insbesondere in dem Schritt
des Schneidens eines Halbleiter-Wafers und in dem Schritt des Aufnehmens
des geschnittenen Wafers verwendet. Der Schneideschritt und der
Aufnahmeschritt können
in einer jeglichen gewöhnlichen
Weise durchgeführt
werden.
-
Die
vorliegende Erfindung wird genauer auf der Grundlage der folgenden
Beispiele beschrieben. Die Erfindung ist jedoch nicht auf diese
Beispiele beschränkt.
-
Beispiel 1
-
(Träger)
-
Ein
weicher PVC-Film wurde verwendet, der 27 Gew.-Teile DOP je 100 Gew.-Teile
PVC mit einem Polymerisationsgrad von 1.050 enthielt und eine Dicke
von 70 μm
aufwies.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
85
Gew.-Teile Butylacrylat, 15 Gew.-Teile Acrylnitril und 2,5 Gew.-Teile
Acrylsäure
wurden miteinander copolymerisiert durch Emulsionspolymerisation,
um eine Lösung
zu erhalten, die ein Acrylcopolymer mit einem gewichtsmittleren
Molekulargewicht von 800.000 enthielt.
-
Je
100 Gew.-Teile eines Feststoffs dieser Polymerlösung wurden 3 Gew.-Teile eines
Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ, Colonate (Transliteration)
L (Handelsname), hergestellt von Nippon Polyurethane Industry Co.,
Ltd., 0,5 Gew.-Teile eines Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ,
TETRAD-C (Handelsname), hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical
Co., Inc., 1 Gew.-Teil eines Vernetzungsmittels vom Melamin-Typ,
Super Beckhamine (Transliteration) J-82060N (Handelsname), hergestellt
von Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., und 60 Gew.-Teile DOP
inkorporiert, um eine druckempfindliche Haftvermittlerlösung herzustellen.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Die
wie oben beschrieben hergestellte Haftvermittlerlösung wurde
auf eine einzelne Oberfläche
des oben erwähnten
Trägers
aufgebracht und das Ergebnis wurde anschließend bei 130°C für 90 Sekunden
getrocknet, um eine Klebeschicht mit einer Dicke von 10 μm zu bilden.
Als nächstes
wurde ein Separator, der durch Aussetzung einer Oberfläche eines
Polyethylenterephthalatfilms mit einer Dicke von 38 μm gegenüber einer
Silikonbehandlung erhalten wurde, auf die Oberfläche der Klebeschicht geklebt,
um ein druckempfindliches Klebeband herzustellen.
-
Beispiel 2
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in derselben Weise
wie im Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die Folgenden
als Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel in Beispiel
1 verwendet wurden: 5 Gew.-Teile eines Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ,
DESMODUR-L75 (Handelsname) hergestellt von BAYER AG, 0,5 Gew.-Teile
eines Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ, TETRAD-C (Handelsname),
hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., und 3 Gew.-Teile
eines Vernetzungsmittels vom Melamin-Typ, Luwipal 012 (Handelsname),
hergestellt von BASF Co.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in derselben Weise wie in Beispiel
1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben hergestellte
Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 1
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass nur 3
Gew.-Teile eines Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ, DESMODUR-L75 (Handelsname),
hergestellt von BAYER AG, als Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel
in Beispiel 1 verwendet wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 2
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass nur 0,5
Gew.-Teile eines Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ, TETRAD-C
(Handelsname), hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.,
als ein Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel in Beispiel
1 verwendet wurde.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 3
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass nur 10
Gew.-Teile eines Vernetzungsmittels vom Melamin-Typ, Super Beckhamine (Transliteration)
J-82060N (Handelsname), hergestellt von Nippon Polyurethane Industry
Co., Ltd., als ein Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel
in Beispiel 1 verwendet wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 4
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass 5 Gew.-Teile
des Vernetzers vom Isocyanat-Typ, DESMODUR-L75 (Handelsname), hergestellt
von BAYER AG, und 0,5 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ,
TETRAD-C (Handelsname), hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical
Co., Inc., als Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel
in Beispiel 1 verwendet wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 5
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass 3 Gew.-Teile
des Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ, DESMODUR-L75 (Handelsname),
hergestellt von BAYER AG, und 2 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels vom Melamin-Typ,
Super Beckhamine (Transliteration) J-82060N (Handelsname), hergestellt
von Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., als Vernetzungsmittel
an Stelle der Vernetzungsmittel in Beispiel 1 verwendet wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 6
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass 5 Gew.-Teile
des Vernetzers vom Isocyanat-Typ, DESMODUR-L75 (Handelsname), hergestellt
von BAYER AG, und 0,5 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ,
TETRAD-C (Handelsname), hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical
Co., Inc., als Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel
in Beispiel 1 verwendet wurden und weiterhin 3 Gew.-Teile 1,3,5-Tris(2-hydroxyethyl)cyanursäure hinzugegeben
wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 7
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass 5 Gew.-Teile
des Vernetzers vom Isocyanat-Typ, DESMODUR-L75 (Handelsname), hergestellt
von BAYER AG, und 0,5 Gew.-Teile des Vernetzungsmittels vom Glycidylamin-Typ,
TETRAD-C (Handelsname), hergestellt von Mitsubishi Gas Chemical
Co., Inc., als Vernetzungsmittel an Stelle der Vernetzungsmittel
in Beispiel 1 verwendet wurden und weiterhin 3 Gew.-Teile 2,4,6-Tris(hydroxyaryl)-1,3,5-triazin zugegeben
wurden.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
Vergleichsbeispiel 8
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Haftvermittlers)
-
Eine
druckempfindliche Haftvermittlerlösung wurde in der gleichen
Weise wie in Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass 3 Gew.-Teile
des Vernetzungsmittels vom Isocyanat-Typ, Colonate (Transliteration)
L (Handelsname), hergestellt von Nippon Polyurethane Industry Co.,
Ltd., als ein Vernetzungsmittel verwendet wurden und weiterhin 2
Gew.-Teile Dioctylzinnlaurat
zugegeben wurde.
-
(Herstellung eines druckempfindlichen
Klebebands)
-
Ein
druckempfindliches Klebeband wurde in der gleichen Weise wie im
Beispiel 1 hergestellt mit der Ausnahme, dass die wie oben beschrieben
hergestellte Haftvermittlerlösung
verwendet wurde.
-
(Bewertungstests)
-
Die
druckempfindlichen Klebebänder,
die in den Arbeitsbeispielen und den Vergleichsbeispielen erhalten
wurden, wurden nach den folgenden Verfahren bewertet. Die Resultate
sind in den Tabellen 1 bis 4 gezeigt.
-
Die
Vergleichsbeispiele 6 und 7 wurden nur im Hinblick auf die Lagerstabilität der Klebebänder bewertet.
-
(Stabilität der Klebestärke)
-
Jedes
der Klebebänder,
die in den Arbeitsbeispielen und den Vergleichsbeispielen erhalten
wurden, wurde in eine Breite von 20 mm geschnitten. Jedes der resultierenden
Stücke
wurde auf einen Silizium-Wafer (CZ-N POLISHED WAFER 4 Inch N(100)
2,5 3,5, hergestellt von Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.) unter den
Bedingungen zweier Hin- und Herbewegungen (0,3 m/min) einer Rolle
von 2 kg geklebt. Nach dem Kleben wurde das Ergebnis bei Raumtemperatur
(23°C) und
50% relativer Luftfeuchtigkeit für
30 Minuten oder 7 Tage, oder bei 40°C für 7 Tage gelagert. Nach dem
Lagern wurde ein Zugprüfgerät vom Typ
Instron verwendet, um die Abschälkraft
(Klebestärke
in der Einheit N/20 mm) des gelagerten Bands bei Raumtemperatur
(23°C) und
50% relativer Luftfeuchtigkeit unter den Bedingungen einer Zuggeschwindigkeit
von 0,3 m/min und einem Abschälwinkel
von 180° zu
messen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
-
-
(Schneideanpassungsvermögen: Streuung
von Chips zum Zeitpunkt des Schneidens)
-
Jedes
der Klebebänder,
die in den Arbeitsbeispielen und in Vergleichsbeispielen erhalten
wurden, wurde einem Schneidetest unter den folgenden Bedingungen
unterworfen und es wurde anschließend die Anzahl (pro 6 Inch-Wafer)
der verstreuten Chips zum Zeitpunkt des Schneidens eines Wafers überprüft, auf
den das Band geklebt war. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt.
| Blatttyp: | NBC-ZH2050
27HECC (hergestellt von Disco Co.) |
| Wellendrehzahl: | 40.000
Upm |
| Schneidegeschwindigkeit: | 80
mm/s |
| Schneidetiefe
in das Band: | 25 μm |
| Chipgröße: | 2,5
mm × 2,5
mm, und 7,0 mm × 7,0
mm |
| Wasserfließrate: | 1,0
L/M in |
-
-
(Schneideanpassungsfähigkeit: Aufnahmeeigenschaft
nach Lagerung)
-
Nachdem
der Wafer, auf den jedes der Bänder
geklebt worden war, dem Schneidetest unter den oben erwähnten Bedingungen
unterworfen worden war, wurde der Wafer bei 23°C für 1 Tag oder 7 Tage, oder bei 40°C für 7 Tage
gelagert. Nach der Lagerung wurde der Wafer einem Aufnahmetest unter
den folgenden Bedingungen unterworfen, um die Aufnahmeeigenschaft über die
Zeit zu prüfen.
Auf diese Weise wurde die Stabilität der Aufnahme über die
Zeit geprüft.
Die Stabilität
der Aufnahme ist dargestellt durch die Erfolgsrate (%) der Aufnahme
in dem Fall, dass der Aufnahmetest 30 Mal durchgeführt wurde.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 3 gezeigt. CPS-100
(hergestellt von NEC Machinery Corp.)
| Chipgröße: | 7,0
mm × 7,0
mm |
| Nadelspitzenform: | 250 μm Radius |
| Nadelanordnung: | 4
Nadeln, 4 mm × 4
mm |
| Nach
oben stoßende
Menge: (Thrusting-up amount) | 800 μm |
-
-
(Lagerstabilität der Klebebänder)
-
Die
Klebebänder,
die in den Arbeitsbeispielen und den Vergleichsbeispielen erhalten
wurden, wurden je auf einen Silizium-Wafer (CZ-N POLISHED WAFER
4 Inch N(100) 2.5 3.5, hergestellt von Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.),
sofort nachdem die Klebebänder
je (anfänglich)
hergestellt worden waren oder nachdem die Klebebänder je bei Umgebungstemperatur
(23°C) für 80 Tage
unter Feuchtigkeitsbedingungen (40°C und 92% relative Luftfeuchtigkeit)
für 30
Tage oder unter einer Hitzebedingung (50°C) für 30 Tage gelagert worden waren,
geklebt. Die Ergebnisse wurden je bei 23°C und 50% relativer Luftfeuchtigkeit
für 24
Stunden gelagert. Danach wurde die Kontamination (Klebstoff) auf
jeder der Oberflächen
der Silizium-Wafer mit dem bloßen Auge
entsprechend dem folgenden Kriterium bewertet.
O: Kein Klebstoff
blieb zurück.
x: Klebstoff blieb zurück.
-: Keine Daten zum Vergleich. Die Ergebnisse sind in Tabelle 4 gezeigt.
-
