TWI332976B - Pressure-sensitive adhesive tape - Google Patents

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TWI332976B TW093132697A TW93132697A TWI332976B TW I332976 B TWI332976 B TW I332976B TW 093132697 A TW093132697 A TW 093132697A TW 93132697 A TW93132697 A TW 93132697A TW I332976 B TWI332976 B TW I332976B
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Ann Issaris
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Walter Eevers
Shouji Yamamoto
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Nitto Europe Nv
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1332976 15078pif.doc 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本^是有關於-種感_帶’本發明的感壓膠帶可 ^用於各種用通’本發明的感壓膠帶具有—個特性就 _始黏讀贿，且衫_影響增加 ^ 亚且對於會將勝帶剥除的物件很有用。此外 = 關於用於感壓膠帶的一種感壓黏著 Μ月疋有 :==用的感壓膠帶，用於切割步驟== 了切割_壓膠帶，其可以在將物件被 曰□ 1 肖關&要被切朗物件，像是半導體 B曰囫’或疋作為-_來收鮮導體㈣ 來收集個別的被切割物件。因為_種單—的感歸^通常 驟到收集步驟的過程，本發明的感壓 ^帶特別適合絲作為處理半導_膠帶，在此過程 Π:、ί發明的感壓膠帶可以用來作為用於切割矽 +w、δ成半導體、半導體封裝、賴或是—减他材 =:方:發明也是有關於-種用感峨來處理 感壓膠帶也可以用來作為—個表面保護帶 ϋ呂：ΐ今ΐΓ子’當處理、儲存或是傳送像是鋼鐵板 板時，應該可以被再次剥離。 通常，—種含有像是二辛基苯甲酸酷（dioctyl 7 1332976 15078pif.doc phthalate，oop)的可塑性加強劑之 chloride，PVC)薄膜會廣泛的被作—乙埽(Polyvinyl 壓膠帶的切物’因為此種_具佳n於各種感 兼具有m：具有=特性(或是 性)。舉例來說，軟的PVC薄膜會被用強劑的彈 半導體晶圓步驟中使用的感麵帶 "、種在切割 ;有絕佳的_吸收性、延展性、延== 我恢復力，這些都是晶圓切格步驟中必須的。 但是，對於使用軟的PVC薄膜作為支撐 因為在軟的PVC薄膜中含有可塑性加強劑= 仔到足夠的初始黏著性，舉例來說，當使用軟的薄膜 =支，物的感壓膠帶被用來作為切割時使用的一種感壓 ^ ’在切割晶圓的時候半導體晶圓無法完全被抓住，因 =會在晶圓切割步驟中造成一些不方便，像是晶片會分散 專。 、/為了解決這樣的不方便，通常會對感壓膠帶的黏著層 ^行改善，舉例來說，會建議一種膠帶，其含有作為主要 聚合物的有一個羧基的官能基之丙烯酸共聚物，以及會與 一種像是異氰酸酯類(isocyanate type)交鍵劑、或是三聚氰 胺類(melamine)交鍵劑的交鍵劑交鍵在一起。但是此黏著 層的黏著力隨著時間增加的很大，之後會造成其他的問 題’就是在切割步驟以後的收集步驟無法輕易的完成。 如上所述，使用一種軟的PVC薄膜作為支撐物的感 壓膠帶不能符合要有足夠的初始黏著性以及不受時間影響 8 1332976 15078pif.doc 穩定的黏著力此兩種互相牴觸的特性， a 用來作為切割時的感壓膠帶，此感壓膠帶無 半賴㈣以及錢齡财避免Μ失誤^ 為了㈣可以付合上述兩個矛盾特性的感壓膠帶，有 -種方法是加人微量的添加劑，像是甲埽二硬脂 (methylenebisstearylamide)到在軟的 pvc 薄臈 層，以將添加劑不均勻的散佈到黏著層的表面:藉以^ 膠帶的剥除(請見；Ρ·Α·1()·316774)，或是—些其他的方^ 但是，在赚控·不均勻分散於表面中的情財， 二=題就是這些藥劑會像污染物一樣黏著在半導體i圓 =上到肉眼可以看到這些藥劑的程度 不i具有切㈣性與收集特性兩種矛盾特性3 站者層表面中只有小量污染物的膠帶。 薄膜:ίίϊ :VC薄膜中形成黏著層時，不可能忽略掉 相”黏者層中的可塑性加強劑的轉移到表面中的效 (根據黏著劑的可塑性的故障集合）。此外，也會造成一也 ，題’像是當PVC薄贿存—段長時間以後會產生陶土二 【發明内容】 本發明的目的之一在於提供-種感壓膠帶，含有作為 其支樓物2包括-種可塑性加制的軟聚氣乙稀，可以符 合初始黏著性以其不受時__定_著力兩種互相抵 觸的特Ί且不會有表面污染物的問題。 本心月的另一目的在於提供一種用於切割的感壓膠 15078pif.doc :懕的感壓膠帶作成’以及一種使用用於切割的 感堅膠帶來處理半導體晶圓的方法。 發明的再另—目的在於提供—種用來形成上述感 壓膠帶的黏著層之感壓黏著劑。 〜 發明人已經進行大量研究以獲得上述物件，以找出以 下會提到的感壓膠帶，然後完成本發明。 因此，本發明是有關於一種感壓膠帶，包括一個支撐 物以及以及用-黏著劑製作的—或多層黏著層，該黏著^ 包括在該支撐物的一單一表面或是其表面與其他表面上有 主要聚合物以及交鍵劑， 特點在於該支撐物包括含有一可塑性加強劑的軟聚 氣乙烯，以及作為一主要聚合物的至少該黏著劑在該單— 表面上會包括具有一羧基的一丙稀酸共聚物，並進一步包 括作為交鍵劑的一異氰酸酯類交鍵劑、一縮水甘油胺 (glycidylamine)類交鍵劑、以及一三聚氰胺類交鍵劑。 在上述之感壓膠帶中，較適當的縮水甘油胺類交鍵劑 為1，3-二(N，N-二縮水甘油氨曱基）環己烷（1, 3_bis(N， N-diglycidylaminomethyl)cyclohexane)。 在上述之感壓膠帶中，較適當的三聚氰胺類交鍵劑為 一丁路修改(butanol-modified)的三聚氰胺/曱酸樹脂。 在上述之感壓膠帶中，對重量為100等份的該丙稀酸 共聚物來說，包括重量為0.5.至10等份的該異氰酸酯類交 鍵劑，0.2至2等份的縮水甘油胺類交鍵劑、以及〇 5 5 1332976 15078pif.doc 10等份的該氰胺類交鍵劑。 本發明也關於一種用於切割的感壓膠帶，特點在於合 在將一半導體晶圓切割時使用到上述之感壓膠帶。、3 本發明也關於-種用來處理一半導體晶圓的方法 點在於透過包括使用上述之用於切割的感愿膠來 切割半導體晶圓。 求 、本發明也關於一種感壓黏著劑，特點在於被使用於形 成上述之感壓膠帶之該黏著層以及包括作為一主要聚合^ 的具有一羧基的一丙烯酸共聚物，以及進一步包括作I交 鍵劑的-異氰酸酷類交鍵劑、一縮水甘油胺類交鍵劑、2 及一三聚氰胺類交鍵劑。 如上所述，本發明的感壓膠帶是一種膠帶，兑中合使 用含有可塑性加強_軟PVC作為支撐物，其轉層^用 -種黏著劑製作’包括—種具有i基的—丙晞酸^聚物 用以作為主要的聚合物，並進一步包括同時有異氰酸能類 父鍵劑、縮水甘油胺類交鍵劑、以及三聚氰胺類交鍵劑等 j交鍵劑的交鍵劑，即使沒使用到殘留會變成污染物的 微罝剥除控制劑，此黏著層讓膠帶也可以有好的平衡滿 足關於初始點著性以及不受時間影響穩定的黏著力的兩個 特性’本發明的感壓膠帶是—種不會輕易受到軟PVC中任 何可塑性加強劑影響的感壓膠帶。 本發明具有此特性的感壓膠帶適合用來作為用於切 割的感壓膠帶，也就是說本發明的感歸帶有絕佳的 特性因為’有—始㈣力，且料也有好的收集& 11 1332976 15078pif.doc =為膠，黏著力不受時間影響都很穩定，所 ’ 0_帶沒有包含任何制除控制劑， ，二生广剝除控制劑有關污染半導體晶圓的問題。 取人f耆層中使用含有縣的丙稀酸共聚物作為主要 * 口的情財，考制絲的化學反應， 單 用異氛酸_交鍵劑、縮水甘油胺類交鍵劑、ί
用以控制黏著層的分子量或是其中的膠體含量鍵二3 使用兩種X鍵敝要是為了用另—做則彳 ==因此兩種交鍵劑不會被認為是具有^ 獨力此的樂别。舉例來說，可以考慮用在室溫下合反應 的異氰酸_貞交_或縮水甘油賴交 ^二 下會反應但在室溫下不會化學反應的三聚氰胺類 因此可以考慮從這些交鍵劑中選出的交鍵劑數量最多為 二，增加數量是無益的。
在本發明中，同時混合此三種交鍵劑有不同的反應速 度(反應條件）’這些交鍵劑會被用於個別獨立的目 以符合上述的特性。 已知當將縮水甘油胺類交鍵劑被結合到含有羧基的 丙晞酸共聚物時’紐分子的分子量會變小，所以聚合物 主鏈的移動會被抑制，藉以不受時間影響穩定黏著力。但 ，，假如加入的縮水甘油胺類交鍵劑的量大的話，初始黏 著^會低的报明顯，為了補足這點，本發明也使用到—種 異氰酸酯類交鍵劑，藉以提高其黏著力。在本發明之前， 12 I5078pif.doc 並^發現透過-起錢縮水甘油麵⑽綱及異氮酸能 類父鍵劑可叫時確細始㈣力以及衫時間影響的黏 著力’如上所述。通常，縮水甘油胺類交鍵劑與異氛酸錯 類交鍵劑在室溫下會_無基反應，因此不認為兩種藥 劑其中之-會補足另—個的反應速率，兩個會呈現出單獨 的特質’所以可以得到互相牴觸的特性，這是―個全新 發現》 在PVC >專膜中含有的可塑性加強劑像是D〇p 一般來 說有-個大的量，結果當薄贿存長時間時，接續合發生 -個現象：可錄加強齡賴在薄财的黏著劑内曰(咖 是其表面）’所以黏著劑會被塑造而產㈣土狀，此現象並 無法透過只單職結合使用賤酸_交鍵嫩縮水甘油 胺類交鍵喊麟’目此在本發明巾，雜水甘油胺類交 鍵劑與異氰義齡_ —起制三聚氰胺敏鍵劑，也 就是說會-祕用三種交_ ’ —併使用三聚氰胺類交鍵 劑可以解決這樣的問題，結果形成_帶可以得到穩定的 長時間穩定度。通常，任何三聚氰醜交賴在高溫下會 有大的反應速率但在室溫下會明_變小，因此在一併使 用三聚氰胺類交鍵_情形中，此義會被时作為一種 交鍵劑關充異減S旨敏鍵戦縮水甘油賴交鍵劑， 但是如上所述’三聚氰_交鍵财是时作為交鍵劑， 而是用來避免PVC薄财峰著_可塑性加_用，此 可塑性加強作用係來自可紐加強劑，這是—個全新的發 現。 1332976 15078pif.doc 為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能 易懂，下文特舉較佳實施例，作詳細說明如下。 ，、、負 【實施方式】 之後將說明本發明的感歸帶。本發明的感壓膠 括個支樓物以及由一種黏著劑作成的一個黏著層 個黏著層，此黏著劑包括一個主要聚合物以及交鍵: 樓物的-解—表面或是在此表面與其絲面上， 層上可以形成有一個或多個分隔物。 支撐物主要是*含有—種可塑性加強劑的軟聚 、'構成’在習知的軟PVC中使用的任何可_加強劑都 以作為本發明的可舰加強織有㈣的關。在此提到 的例子包括一辛基笨二甲酸§旨(如吻1 phthalate，DOP)以及 一異壬基笨一甲酸酯(diis〇n〇nyl phthalate，DiNp)，習知軟 pvc包含的可塑性加強劑—般是DQp、或是由產率 跟^本觀點物來相近的其他材料，但是也可以使用低分 子里的可塑性加強劑，像是二丁基苯二甲酸酯沖如別 phthalate，DBP)或是一種環氧類聚合物可塑性加強劍，這些 可以組合使用，可塑性加強齡pvc中的含量並沒有特別 的限制’卩PVC的重量為1〇〇等份來說，通常重量會佔 10至50等份，較佳是20至40等份。 包括軟PVC的支標物（薄膜）之厚度通常為50至 200μπι ’較佳為60至13〇μιη，假如有需要的話可以對支 撐物進行一道習知的物理或化學處理，像是覆蓋(mat)處 1332976 15078pif.doc 理、電暈放電(e_a diseh零)處理、《是I填(pdmer)處 理。 至少支撐物的單一表面上的黏著層會由一種黏著劑 構成，係包括有一羧基的一丙烯酸共聚物以作為主要聚合 物’並進一步包括作為交鍵劑的一異氰酸酯類交鍵劑、一 縮水甘油胺類(glycidylamine type)交鍵劑、以及一三聚氰胺 類交鍵劑。 丙稀酸共聚物包括烷基（曱基）丙烯酸酯（alkyl (meth)acrylate)作為主要的單體單位，且進一步包括一種含 有羧基的單體來作為單體單元。 此院基（曱基）丙烯酸酯可以是一個具有正常或分支的 烧基的院基（甲基)丙烯酸酯，院基有3〇個或更少的碳原 子，較佳為4至18個碳原子，這些烧基的例子包括曱基 (methyl)乙基(ethyl)、丙基(propyl)、異丙基(isopropyl)、 正丁基(n-butyl)、三級丁基(t_butyi)、異丁基(is〇butyl)、戊 基(amyl)、異戊基(isoaniyl)、己基(heXyi)、庚基(heptyl)、 環己基（cyclohexyl)、2-乙基己基（2-ethylhexyl)、辛基 (octyl)、異辛基(is〇〇ctyl)、壬基(nonyl)、異壬基(isononyl)、 癸基(decyl)、異癸基(isodecyl)、十一基(undecyl)、十二基 (lauryl)、三癸基(tricjeCyl)、四癸基(tetradecyl)、硬脂酸基 (stearyl)、十八烷基(octadecyi)、十二烷基(d〇decy丨)等，“烧 基（曱基）丙烯酸酯”這個字表示烷基丙烯酸酯以及/或烷基 曱基丙烯酸酯，在本說明書中所有包括“（甲基)，，的字都具 有同樣的意思，這些烧基（甲基)丙烯酸酯會單獨使用或是 15078pif.doc 以二或多個的組合。 芑有叛基的單體的例子包括丙烯酸(acrylic acid)、曱 基丙埽 S义(methacrylic acid)、敌酸丙稀酸 g旨（carb〇xyethyl acrylate)、緩基戊基丙細酸酿(carboxypentyl acrylate)、次甲 基一k(itac〇nic acid)、順丁稀二酸⑽士沁此⑹、反丁埽二 酉文(fumaric acid)以及丁烯醒：(cr〇t〇nic acid),這些含有緩基 的單體可以單獨使用或是採二或多個的組合。關於在丙烯 酸共聚物中含有羧基的單體之比例，以構成丙烯酸共聚物 的所有單體的重量為100等份來看，含有羧基的單體的量 約為0.1至20等份’較佳為0.5至15等份。 不只有烷基（曱基）丙烯酸酯與含有羧基的單體還有一 種可同時聚合反應的不同單體會被加入到丙烯酸共聚物 中’藉以使其能夠改善在主要來自官能基或極性基導入的 黏著劑的黏著性’或控制共聚物的玻璃轉換溫度以改善或 修正其黏著力或是抗熱性，其中為此目的使用的可聚合反 應的不同單體的例子包括酸酐(acid anhydride)單體像是順 丁 西二酐（maleic anhydride)與次曱基二酐（itaconic anhydride);含有羥基的單體像是2-羥基乙基（曱基)丙烯酸 酯(2-hydroxyethyl (meth)acrylate)、2-羥基丙基（甲基）丙烯 酸酯(2-hydroxypropyl (meth)acrylate)、4-經基丁基（曱基） 丙稀酸酯(4-hydroxybutyl (meth)acrylate)、6-經基己基（曱基) 丙稀酸醋(6-hydroxyhexyl (meth)acrylate)、8-經基辛基（曱基) 丙埽酸g旨(8-hydroxyoctyl (meth)acrylate)、10-經基癸基（曱 基)丙稀酸S旨(10-hydroxydecyl (meth)acrylate)、12-經基十二 1332976 15078pif.doc 基（曱基）丙稀酸酯（12-hydroxylauryl (meth)acrylate)、以及 (4-羥曱基環己烷基）-甲基丙烯酸酯 ((4-hydroxymethylcyclohexyl)-methyl acrylate);含有亞石黃酸 基（sulfonic acid group)的單體，像是苯乙稀亞績酸 (styrenesulfonic acid)、丙晞亞石黃酸(allylsulfonic acid)、2-(曱 基）丙烯醯胺-2-曱基丙烷亞磺酸 (2-(meth)acrylamide-2-methylpropanesulfonic acid)、（曱基)
丙稀酷胺丙院亞石黃酸（(meth)acrylamidepropanesulfonic acid)、石黃酸基丙基（曱基）丙烯酸g旨（sulfopropyl (meth)acrylate)以及（曱基）丙烯基氧萘烯亞磺酸 ((meth)acryloyloxynaphthalenesulfonic acid);含有填酸基 (phosphoric acid)的單體，像是2-羥乙基丙烯基磷酸酯 (2-hydroxyethylacryloylphosphate);以及其他單體，像是縮 水甘油醋（曱基)丙稀酸醋(glycidylester (meth)acrylate)、乙 烯基丙烯酸酯(vinyl acetate)、苯乙烯(styrene)、（曱基)丙烯 腈（(meth)acrylonitrile) 、 N-乙烯基砒咯啶 (N-vinylpyrrolidone)、（曱基）丙烯基氧氮陸園 ((meth)acryloylmorpholine)、環己烷順丁 烯醯胺 (cyclohexylmaleimide)、異丙烷順丁 烯醯胺 (isopropylmaleimide)以及（曱基）丙烯酸醯胺 ((meth)acrylamide) ’這些共聚物的單體可以單獨或是結合 一或多個來使用。關於此可聚合反應之單體的比例，以組 成丙烯酸共聚物的所有單體的重量為1〇〇等份來說，此單 體的量約為30等份或更少，較適當是15等份或更少。 17 1332976 I5078pif.doc 假如有需要的話，為了讓丙烯酸共聚物進行交鍵處理 或是其他處理，一個有聚合功能的單體或是一些其他的單 體可以被用來作為可聚合反應的單體，此單體的例子包括 己二醇二（曱基)丙稀酸酯(hexanediol di(meth)acrylate)、（聚） 乙二醇二（曱基）丙稀酸醋（(poly)ethylene glycol di(meth)acrylate)、（聚）丙二醇二（曱基）丙烯酸酯 ((poly)propylene glycol di(meth)acrylate)、異戊二醇二（甲基) 丙稀酸酷(neopentyl glycol di(meth)acrylate)、異戊四醇二 (曱基）丙烯酸自旨(pentaerythritol di(meth)acrylate)、三曱醇丙 院三（曱基）丙稀酸醋（trimethylolpropane tri(meth)acrylate)、異戊四醇三（甲基）丙稀酸酿 (pentaerythritol tri(meth)acrylate)、二異戊四醇己烧（曱基） 丙稀酸S旨（dipentaerythritol hexane(meth)acrylate)、環氧丙稀 酸醋(epoxy acrylate)、丙稀酸聚 g旨(polyester aery late)以及丙 烯酸胺基甲酸S旨(urethane acrylate)等，這些共聚物的單體 可以單獨或是結合一或多個來使用。關於此有聚合功能之 單體的比例，以組成丙烯酸共聚物的所有單體的重量為 100等份來說，此單體的量約為30等份或更少，較適當是 15等份或更少。 如此一種丙烯酸共聚物可以透過進行適當的聚合反 應方法來製備，其方法係選自溶液聚合反應（solution polymerization)、乳化聚合反應(emulsion polymerization)、 塊狀聚合反應（bulk polymerization)、懸浮聚合反應 (suspension polymerization)、以及其他聚合反應其中之一’ 18 1332976 15078pif.doc 用於一·個含有至少烧基（曱基)丙稀酸酯的單體混合物與含 有叛基的單體上’丙烯酸共聚物的平均分子量通常為 200000 至 1500000，較適當是約為 250000 至 1500000。
作為異氰酸酯類交鍵劑，可以使用一種具有至少兩個 異氰酸酯基的交鍵劑沒有特別的限制，在此的例子包括曱 苯二異氰酸酯(tolylene diisoeyanate)、二笨基曱烧二異氰酸 酯（diphenylmethane diisocyanate)、六亞曱基二異氰酸酿 (hexamethylene diisocyanate)、苯二甲基二異氰酸酯 (xylylene diisocyanate)以及其與像是三甲醇丙烷 (trimethylolpropane)的醇的化合物構成的化合物。但是異氰 酸酯類交鍵劑並不限於這些例子，交鍵劑的特殊例子包括 由 Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.製作的 Colonate
(轉換略縮字）L (商標名）以及由BAYER. A. G.製作的 DESMODUR-L75(商標名）作為甲苯二異氰酸g旨（t〇iyiene diiosyanate)在商業上可購買的化合物，與三曱醇丙烷 (trimethylolpropane)作用；而 Nippon Polyurethane Industry Co.，Ltd·製作的Milionate (轉換略縮字)MR-300(商標名）為 商業上可用的二苯基曱院二異氰酸g旨（diphenylmethane diisocyanate)。 作為縮水甘油胺類交鍵劑，可以使用一種至少具有兩 個縮水甘油胺基且會與叛基在室溫(攝氏2〇至3〇度)下迅 速反應的交鍵劑沒有特別的限制，這樣的例子為丨口七。…， N-二縮水甘油胺曱基）環己烷，一個特別的例子是由
Mitsubishi Gas Chemical Co·，Inc.製造的 TETRAD-C(商標 19 1332976 15078pif.doc 名）’就，是商業上用的l,3-bis(N，N-二縮水甘油胺曱基)環己 烧。 土 < 三聚氰胺類交鍵劑會被用來避免被含在軟pvc中的 可塑性加強劑對黏著劑產生可塑性加強作用，在此的一個 例子就是丁醇修改的三聚氰胺/曱醛樹脂，其中三聚氮胺類 交鍵劑沒有限制，在此特別的例子包括用由KNi=on Polyurethane Industry Co·，Ltd.製作的 Super Beckhamine (轉換略縮字）J-82060N，以及BASF Co.製作的Luwipa丨〇12 來作為商業利用的丁醇修改的三聚氰氨/甲酸樹脂。 上述父鍵劑之間的混合比例沒有特別的限制，由提高 黏著層表面的極性以及膠帶的產率的觀點來看，丙稀酸共 聚物的重量為100等份的話’異氰酸酯類交鍵劑量^ 當為0.5至料份，更適當為⑴等份， 類交鍵劑很大量時，黏著劑的保存期會變短所以產率合 低；由膠帶的初始黏著性以及不受時間影響的黏著力變化 的觀點來看’縮水甘油胺類交鍵劑的量較佳為〇2至2等 份’更適當的危0_3至1等份；根據異氰酸酯類交鍵劑與 縮水甘油胺類交鍵劑兩種的使用’三聚氰胺類交鍵劑的量 較佳為0.5至10等份，因此可以避免可塑性加強劑的作用 產生的陶土’以及有初始黏者力且黏者力穩定不受時間影 響。 〜 本發明的感壓膠帶在丙烯酸共聚物與三種交鍵劑以 外還包含一種可塑性加強劑’可塑性加強劑的總類沒有特 別的限制，在此的例子跟加入pvc中的可塑性加強劑— 1332976 15078pif.doc 樣’可塑性加強劑的混合量也沒有特別的限制，以丙婦酸 共聚物的重董為1〇〇等份來看’在此的量一般為〇至1〇〇 等份’較佳為20至80等份’假如有需要的話，黏著劑可 以含有各種添加劑’像是增黏樹脂(tackifier)、填充物、階 段電阻、著色劑、抗氧化劑' 以及紫外線吸收劑等，每種 添加物的比例可以依照需要作選擇。 本發明的感壓膠帶比如可以透過將黏著劑放到支標 物的表面上，乾燥藥劑，然後(選擇性的加熱藥劑使在藥劑 *中的成分交鍵在一起)以形成一層黏著層，並選擇的在此黏 著層的表面上放上一個分隔物。除此之外，也可以採用一 種在分隔物上形成黏著層，然後將結果物放在支撐物上的 方法或其他的方式，黏著層的厚度不需要特別限制，通常 約為1至30μηι，較佳為5至15哗。 #_假如有必要的話會用分隔物來讓黏著層可以順利的 處理，構成分隔物的材料的例子包括紙以及用聚乙 假如、f聚乙烯對苯二甲酸Sl構成的合成樹脂層， 推θ 要的居，分搞物的一或兩面會被進行剥除處理， 由^菩届樹域理、長鏈絲處理 '或是I處理，以使其 的^心的可剥除率高。根據要讓分隔物的剛性變高的目 跟二個兀^的.可以對分隔物作單軸或雙軸拉取處理或是 通當由的塑膠層或相似物輾壓在一起’分隔物的厚度 物的产π Φ至20,0μΙΏ，較佳是為25至100μιη。在使用分隔 侷限:此中’膠帶可以作成滾筒狀 ’但是膠帶的型態並不 21 1332976 15078pif.doc 本發明的感壓膠帶可以用於上述的各種目的，此膠帶 特別適用於_半導體晶κ以及收集_後的晶圓的步驟 中’切割的步驟與㈣的步驟可㈣任何常用的方式來進 行0 本發明會用下列的範例作進一步詳細的說明，但是本 發明並不侷限於這些範例。 範例1 (支撐物） 以?κ合反應程度為1050且厚度為7〇μηι的PVC重量 為100等份來說，會採用一個含有27等份的DOP的軟pvc 薄膜。 (製備感壓黏著劑） 透過乳化聚合反應將85等份的丁基丙烯酸酯、15等 份的丙烯腈以及2.5等份的丙烯酸彼此聚合在一起，以產 生一種含有丙烯酸共聚物的溶液，其平均分子量為 800000。 將此聚合物溶液中100等份的固態物質加入3等份的 異氰酸酯類交鍵劑，由 Nippon Polyurethane Industry Co.， Ltd.製作的Colonate (轉換略縮字）L (商標名）、0.5等份的 縮水甘油胺類交鍵劑，由Mitsubishi Gas Chemical Co.，Inc. 製作的TETRAD-C (商標名）、1等份的三聚氰胺類交鍵 劑，由 Nippon Polyurethane Industry Co.，Ltd.製作的 Super Beckhamine(轉換略縮字）J-82060N(商標名）、以及6〇等份 的DOP，藉以製備一種感壓黏著劑溶液。 22 1332976 15078pif.doc (生產感壓膠帶） 將上述製備的黏著劑溶液塗抹在上述提到的支樓物 的一個單一表面上，然後將結果物在攝氏13〇度下乾燥9〇 秒，以形成一個厚度為ΙΟμιη的黏著層，接著透過將一個 厚度為38μηι的聚乙烯對苯二甲酸酯的表面進矽氧樹脂的 處理倚到的支樓物放到黏者層的表面上，以作感壓膠帶。 範例2 (製備感壓黏著劑） 除了用下列的交鍵劑來取代範例i中的交鍵劑以外， 本範例中的感壓黏著劑的製備方法與範例丨相同，使用的 交鍵劑為5等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYER a G製作 的DESMODUR_L75(商標名）、0 5等份的縮水甘油胺類交 鍵劑，由 Mitsubishi Gas Chemical Co” lnc.製作的 TETRAD-C (商標名）、以及3等份的三聚氰氨類交鍵劑， 由BASF Co.製作的Liwipal (商標名）。 (生產感壓膠帶） 除了使用上述製備的點著劑溶液以外，感壓膠帶 造方式與範例1相同。 比較範例1 (製備感壓黏著劑） 除了用〇·5等份的縮水甘油胺類交鍵劑，由Mitsubishi Gas Chemical Co” Inc.製作的 TETRAD_C (商標名）作為交 23 1332976 15078pif.doc 鍵劑取代範m中的交鍵劑料，感齡著劑的製備方式 與範例1相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 比較範例2 (製備感壓黏著劑） 除了用3等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYER. A. G.製 作的DESMODUR-L75(商標名)作為交鍵劑取代範例1中 的父鍵劑以外，感壓黏著劑的製備方式與範例i相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 比較範例3 (製備感壓黏著劑） 除了用10等份的三聚氰胺類交鍵劑，由Nipp〇n
Polyurethane Industry Co.，Ltd.製作的 Super Beckhamine(轉 換略縮字）J-82060N(商標名）作為交键劑取代範例丨中的交 鍵劑以外’感壓黏著劑的製備方式與範例i相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 24 1332976 I5078pif.doc 比較範例4 (製備感壓黏著劑) 除了用5等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYEl A 〇 $ 作的DESMODUR-L75(商標名）’以及0.5等份的縮水甘、由 胺類交鍵劑，由 Mitsubishi Gas Chemical Co.，ine TETRAD-C (商標名）’作為交鍵劑取代範例1中的交鍵3 以外，感壓黏著劑的製備方式與範例1相同。 1 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 比較範例5 (製備感壓黏著劑） 除了用3等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYER. A.G.製 作的DESMODUR-L75(商標名），以及2等份的三聚氰胺類 交鍵劑，由 Nippon Polyurethane Industry Co” Ltd.製作的 Super Beckhamine(轉換略縮字）J-82060N(商標名）’作為交 鍵劑取代範例1中的交鍵劑以外，感壓黏著劑的製備方式 與範例1相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 25 1332976 15078pif.doc 比較範例6 (製備感壓黏著劑） 除了用5等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYER. A.G.製 作的DESMODUR-L75(商標名），以及0.5等份的縮水甘油 胺類交鍵劑，由 Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.製作的 TETRAD-C(商標名），作為交鍵劑取代範例【中的交键 劑，然後進一步的加入3等份的l，3,5-tris(2-羥基乙基)三聚 氰酸以外，感壓黏著劑的製備方式與範例1相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 比較範例7 (製備感壓黏著劑） 除了用5等份的異氰酸酯類交鍵劑，BAYER. A.G.製 作的DESM〇DUR-L75(商標名），以及0.5等份的縮水甘油 胺類交鍵劑，由 Mitsubishi Gas Chemical Co·，Inc.製作的 TETRAD-C (商標名），作為交鍵劑取代範例i中的交鍵 劑’然後進一步的加入3等份的2,4,6-三（羥基芳香 基)-1，3,5-三氮六環以外，感壓黏著劑的製備方式與範例1 相同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 26 15078pif.doc 比較範例8 (製備感壓黏著劑） 除了用3等份的異氰酸酯類交鍵劑，由Nippon
Polyurethane Industry Co.，Ltd.製作的 Colonate (轉換略縮 字(商標;g)5等份的錢_旨類交侧，作為交鍵劑取 代範例1中的交鍵劑，然後進一步的加入〇2等份的 di〇CtyMnlaurate以外’感壓黏著劑的製備方式與範例1相 同。 (製作感壓膠帶） 除了用上述的黏著劑溶液以外，感壓膠帶的製造方法 與範例1相同。 (評估測試） 用下列的方法評估在範例與比較範例中得到的感壓 勝帶’結果顯示於表1至表4。比較範例6與7只評估膠 帶的儲存穩定度。 ' (黏著強度穩定度） 在範例與比較範例中的每一種膠帶會被切成寬度 20mm，用一個2公斤的滾輪在有兩個交互來回移動 (0.3m/min)的情況下，將形成的每個片段會被放置在一個 矽晶圓（由 Shin-Etsu Handotai Co.，Ltd.製造的 CZ_N POLISHED WAFER 4 英吋 N(l〇〇) 2.5 3·5)上，在放置以 後’將結果物存放在室溫(攝氏23度)以及5〇%RH達3〇分 鐘或7天，或是在攝氏40度下達七天，在存放以後，使= 27 1332976 15078pif.doc 一種Instron模式的拉伸測試器來量測存放的膠帶在室溫 (攝氏23度）以及50%RH下的剥除強度(在n/20 mm的單元 中的黏著強度），條件設定在拉伸速度為〇.3m/min，而剥除 角度為180度，結果顯示於表1。 表1 範例 1 範例 2 比較 範例 1 比較 範例 2 比較 範例 3 比較 範例 4 比較 範例 5 比較 範例 8 黏著強度 (N/20mm) 攝氏23 度30分 鐘 0.8 0.9 1.0 1.0 1.0 0.7 1.0 0.7 攝氏23 度七天 1.0 1.2 2.6 1.8 2.5 1.0 2.2 1.0 攝氏40 度七天 1.5 1.5 4.5 2.5 4.0 1.5 3.5 1.3 (切割順應力：切割時晶片的分散） 用下列的條件對範例與比較範例中的每一種膠帶進 行切割測試，然後檢查切割放置有交代的晶圓時晶片分散 的數罝(每6英p寸晶圓），結果顯示於表2。 刀片總類 NBC-ZH2050 27HECC (Disco Co.製 作） 轴的轉速 40000 rpm 切割速度 8 0mm/秒 切到膠帶内的深度25μΓη 晶片尺寸 2.5mmx2.5mm，以及 7.0mmx7.0mm 水的流速 1.0L/分鐘 28 15078pif.doc 表2 · 'ιϊ1η~' 1ST 2 比較 範例 1 分傲的 1 Smt-n 1 比較 範例 2 J 比較 範例 比較 範例 比較 範例 比較 範例 〇 /4 σ V 晶片（每 片晶圓 平方 20 ---~— 12 3 15 28 4 25 5 12 〇 60 的數量） 平方 0 0 0 0 0 0 0 2 (切割順應力：在儲知後收集特性） 測試tr將進=割 攝氏40度下七天，儲存以後在下顺條件下 集測試，以檢查隨著時間的收集特性。在此方法中，奋檢 查收集特性隨著時間的穩定度，收細穩定度會用進二收 集測試30次的收集成功率(％)來表示，結果顯示於表3。 CPS-100 (由 NEC Machinery Corp.製作） 7.0 mmx7.0 mm 晶片尺寸 ’Λ ’ Λ 針頭形狀 半徑250 μηι 針的排列 四根針，4 mmx4 mm 推刺的量 800 μηι 29 15078pif.doc 表3 範例 1 範例 2 比較 範例 1 比較 範例 2 比較 範例 3 比較 範例 4 比較 範例 5 比較 範例 8 成功 率(％) — 攝氏 23度 一天 100 100 100 100 100 100 100 100 攝氏 23度 七天 100 100 0 0 0 100 0 100 攝氏 40度 七天 90 100 0 0 0 70 0 100 (膠帶的儲存穩定度） 將自範例與比較範例中得到的每一種膠帶放置在一 個石夕晶圓（由 Shin-Etsu Handotai Co.，Ltd” 製造得 CZ-N fOLISGED WAFER 4 英吋 N(100) 2.5 2.5)上，進行切割測 試，放置的時機為這些膠帶個別生產（初始）之後直接放 置，或是儲存在室溫下(攝氏23度)達8〇天之後、在一個 (攝氏4〇度與92%RH)下達30天、或是在-個加 ^j攝氏5〇度)下3〇天的膠帶，採用的結果物是在攝 ίΛ P 細下存放24小時。之後，根據下列的標 準用肉眼評估每—_晶圓表面上的污祕(陶土）。 /陶土3¾¾ x:㈣土朗沒有㈣可供 產生的結果顯示於表4。 1332976 表4 故例 1 範例 2 比敉 範例 1__ 比铰 範例 2 比較 範例 3 比較 範例 4 一---Γ 比敉 範例 5___ 範例 6 比較 範例 7 比較 範例 8 污染物 (陶土） 初始 0 〇 〇 〇 〇 0 0 0 0 0 室溫 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 濕度 條件 〇 0 〇 X 〇 X 0 X X X 加熱 條件 〇 0 X X 〇 X 0 - - X J---- 15078pif.doc 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神 和範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範園所界定者為準。 【圖式簡單說明】 無 【主要元件符號說明】 無 31

Claims (1)

1332976 15078pif.doc 十、申請專利範圍： 1:-種感轉帶’包括—支撐物以及用—黏著劑 的-，多層黏著層，雜著劑包括在該支撐物的—單 面或疋其表面與其他表面上的—主絲合物以及交鍵劑， 特點在於該切物包括含有—可塑性加 氣乙烯，以及 ？ 人來 作為一主要聚合物的至少該黏著劑在該單一表面上 包括具有-雜的—丙稀gl共聚物，並進—步包括作為交 鍵劑的-純_旨類賴劑、—縮水甘顏類交鍵劑、以 及一三聚氰胺類交鍵劑。 2·如申請專利範圍第1項所述之感壓膠帶，其中該縮 水甘油胺類父鍵劑為i，3，二(^ Ν·:縮水甘〉，由氨甲基)環己 院(1，3 bis(N，N-diglycidylaminomethyl)cyclohexane)。 3. 如申請專利範圍第1項所述之感壓膠帶，其中該三 聚氰胺類父鍵劑為一丁醛修改(butan〇1_m〇dified)的三 胺/曱醛樹脂。 Λ 4. 如申請專利範圍第丨項所述之感壓膠帶，其中對重 量為100等份的該丙烯酸共聚物來說，包括重量為〇5至 10等份的該異氰酸酯類交鍵劑，0 2至2等份的縮水甘油 胺類交鍵劑、以及0.5至1〇等份的該氰胺類交鍵劑。 5. —種用於切割的感壓膠帶，特點在於會在將一半導 體晶圓切割時使用申請專利範圍第丨項所述之感壓膠帶。 6. —種用來處理一半導體晶圓的方法，特點在於透過 包括使用申請專利範圍第5項所述之用於切割的感壓膠帶 32 1332976 15078pif.doc 的步驟。 7. —種感壓黏著劑，特點在於被使用於形成申請專利 範圍第1項所述之感壓膠帶之該黏著層以及包括作為一主 要聚合物的具有一羧基的一丙烯酸共聚物，以及進一步包 括作為交鍵劑的一異氰酸醋類交鍵劑、一縮水甘油胺類交 鍵劑以及一三聚氰胺類交鍵劑。 33
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4822885B2 (ja) * 2006-03-14 2011-11-24 日東電工株式会社 半導体用粘着シート
JP2008013692A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Denki Kagaku Kogyo Kk 電子部品固定用粘着シート及びそれを用いた電子部品の製造方法。
CN101591517B (zh) * 2009-06-30 2012-02-22 广州南沙华卓化工有限公司 光学粘合胶的制备方法
JP2012046723A (ja) * 2010-07-30 2012-03-08 Nitto Denko Corp アプリケーションテープ
CN102453447B (zh) * 2010-10-26 2014-02-26 罗门哈斯公司 可移除的胶粘贴
KR101629033B1 (ko) * 2010-12-24 2016-06-10 (주)엘지하우시스 아민계 촉진제를 함유하는 접착수지 조성물 및 이를 포함하는 장식필름
JP2012184369A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Nitto Denko Corp 粘着テープ又はシート
TWI671799B (zh) 2011-03-30 2019-09-11 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. 半導體晶圓等加工用黏著帶
CN104718264B (zh) * 2012-10-19 2017-05-10 琳得科株式会社 粘合剂组合物及粘合片
JP6095996B2 (ja) * 2013-02-08 2017-03-15 日東電工株式会社 粘着テープ
JP6211771B2 (ja) * 2013-02-08 2017-10-11 日東電工株式会社 粘着テープ
JP6071712B2 (ja) * 2013-04-05 2017-02-01 日東電工株式会社 粘着テープ
KR20150092986A (ko) * 2014-02-06 2015-08-17 도레이첨단소재 주식회사 점착제 조성물과 이를 포함하는 전자부품 제조용 점착테이프
DE202014101183U1 (de) 2014-03-05 2014-05-05 Novamelt GmbH Klebstofftechnologie Mit Klebstoff beschichtetes thermisch empfindliches Polymersubstrat
JP2017511836A (ja) 2014-03-05 2017-04-27 ヘンケル・アクチェンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフト・アウフ・アクチェンＨｅｎｋｅｌ ＡＧ ＆ Ｃｏ． ＫＧａＡ 接着剤被覆感熱性ポリマー基材、その製造方法、及びその使用
CN104530792A (zh) * 2014-12-12 2015-04-22 常熟市明瑞针纺织有限公司 电脑针织横编机用的压脚控制凸轮
JP6944758B2 (ja) * 2015-01-16 2021-10-06 日東電工株式会社 両面粘着シート
KR20180043252A (ko) * 2015-08-25 2018-04-27 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 점착제층이 형성된 내화 부재
JP2017132940A (ja) * 2016-01-29 2017-08-03 日東電工株式会社 粘着テープ
JP7115983B2 (ja) * 2016-10-26 2022-08-09 リケンテクノス株式会社 粘着フィルム
CN107699154B (zh) * 2017-10-17 2018-07-06 广州市金万正印刷材料有限公司 食品接触再密封标签材料、食品接触再密封标签及制备方法和应用
CN107815257A (zh) * 2017-11-08 2018-03-20 苏州赛伍应用技术股份有限公司 一种芯片切割用保护膜及其制备方法和使用方法
US20220145138A1 (en) * 2019-02-26 2022-05-12 Avery Dennison Corporation Psa composition having high shear and peel properties
CN111777968A (zh) * 2020-08-10 2020-10-16 张家港保税区汇英聚福材料科技合伙企业(有限合伙) 一种耐高温压敏胶制品及其制备方法
CN114032048A (zh) * 2021-12-20 2022-02-11 中山市中益油墨涂料有限公司 一种水性环保热熔胶及其制备方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2600361B2 (ja) * 1989-01-24 1997-04-16 日立化成工業株式会社 表面保護フイルム用粘着剤
JPH08120237A (ja) * 1994-10-26 1996-05-14 Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The 粘着剤組成物
JPH10316774A (ja) * 1997-05-19 1998-12-02 Bando Chem Ind Ltd ポリ塩化ビニルシート及び粘着シート
US6281298B1 (en) * 1999-08-20 2001-08-28 H. B. Fuller Licensing & Financing Inc. Water-based pressure sensitive adhesives having enhanced characteristics
KR100405303B1 (ko) * 1999-08-31 2003-11-12 주식회사 엘지화학 가열활성 점착제 조성물
KR100383092B1 (ko) * 1999-08-31 2003-05-12 주식회사 엘지화학 잔류응력 완화효과가 우수한 아크릴계 점착제 조성물
JP2001247832A (ja) * 2000-03-02 2001-09-14 Sekisui Chem Co Ltd 粘着剤組成物及び粘着テープ
JP5100925B2 (ja) * 2000-11-09 2012-12-19 日東電工株式会社 シート材、ならびにそれを有する感圧性接着シート
US7141300B2 (en) * 2001-06-27 2006-11-28 Nitto Denko Corporation Adhesive sheet for dicing
JP2003096412A (ja) * 2001-09-26 2003-04-03 Nitto Denko Corp 半導体部品ダイシング用粘着シートおよび半導体部品の製造方法
JP4108499B2 (ja) * 2002-02-25 2008-06-25 日東電工株式会社 水分散型粘着剤組成物及び粘着製品

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