DE60112860T2 - Dünnfilmspeicheranordnungen - Google Patents

Dünnfilmspeicheranordnungen Download PDF

Info

Publication number
DE60112860T2
DE60112860T2 DE60112860T DE60112860T DE60112860T2 DE 60112860 T2 DE60112860 T2 DE 60112860T2 DE 60112860 T DE60112860 T DE 60112860T DE 60112860 T DE60112860 T DE 60112860T DE 60112860 T2 DE60112860 T2 DE 60112860T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
write
memory cells
operations
once
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60112860T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60112860D1 (de
Inventor
Frederick A. Palo Alto Perner
Thomas C. Sunnyvale Anthony
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Hewlett Packard Development Co LP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hewlett Packard Development Co LP filed Critical Hewlett Packard Development Co LP
Publication of DE60112860D1 publication Critical patent/DE60112860D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60112860T2 publication Critical patent/DE60112860T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/02Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
    • G11C11/14Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements
    • G11C11/15Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements using multiple magnetic layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
    • G11C17/14Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
    • G11C17/146Write once memory, i.e. allowing changing of memory content by writing additional bits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/02Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
    • G11C11/14Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Datenspeicherungsvorrichtungen. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine einmal-beschreibbare Dünnfilmdatenspeicherungsvorrichtung.
  • Neue Arten von nicht-flüchtigem Dünnfilmspeicher umfassen einen magnetischen Direktzugriffsspeicher („MRAM"; MRAM = Magnetic Random Access Memory), der auf spinabhängigen Tunnelungs-Übergängen („SDT"-Übergängen; SDT = spin dependent tunneling) basiert. Ein typischer SDT-Übergang weist eine festgelegte ferromagnetische Schicht, eine ferromagnetische Erfassungsschicht und eine dünne isolierende Tunnelbarriere auf, sandwichartig angeordnet zwischen den ferromagnetischen Schichten. Ein Logikwert kann an einen SDT-Übergang geschrieben werden, durch Anlegen eines Magnetfelds, das die Magnetisierungsausrichtung des SDT-Übergangs auf parallel (Logikwert „0") oder antiparallel (Logikwert „1") einstellt. Die relative Ausrichtung und Größe der Spinpolarisierung der ferromagnetischen Schichten bestimmen den Widerstandszustand (R oder R + ΔR) des SDT-Übergangs. Der Logikwert, der in dem SDT-Übergang gespeichert ist, kann gelesen werden durch Erfassen des Widerstands des SDT-Übergangs.
  • Ein anderer Typ eines nicht-flüchtigen Dünnfilmspeichers ist ein Polymerspeicher, der auf polaren leitfähigen Polymermolekülen basiert. Daten werden gespeichert als „permanente Polarisierung" in einem Polymermolekül (im Gegensatz zu einem SDT-Übergang, wo Daten als ein „permanentes magnetisches Moment" gespeichert sind). Polymerspeicherelemente können geschrieben werden durch Anlegen elektrischer Felder. Der Widerstandszustand (R oder R + ΔR) eines Polymerspeicherelements ist abhängig von der Ausrichtung der Polarisierung der Polymermoleküle. Polymerspeicherelemente können auch gelesen werden durch Erfassen ihres Widerstands.
  • Diese Dünnfilmspeicherelemente sind neu beschreibbar. Das heißt, Daten können mehrere Male auf diese Elemente geschrieben werden.
  • Einmal-beschreibbarer Speicher im Gegensatz dazu ermöglicht, dass Daten nur einmal geschrieben werden. Ein einmalbeschreibbarer Speicher wird üblicherweise verwendet, um Schlüssel-Chip-Informationen permanent zu speichern, wie z. B. Chip-/Herstellungs-ID, Zugriffscodes und Fehlerdarstellungen.
  • Typische Vorrichtungen zum Speichern von Schlüssel-Chip-Informationen umfassen löschbare programmierbare Nur-Lese-Speicher-Vorrichtungen („EPROM"-Vorrichtungen; EPROM = erasable programmable read-only memory) und Schmelzverbindungs-programmierbare Vorrichtungen. EPROM- und schmelzverbindungsprogrammierbare Vorrichtungen bieten jedoch nicht die Hochdichte- und Niedrigspannungs-Merkmale von MRAM- und Polymerspeicher-Vorrichtungen. Ferner werden EPROM- und Schmelzverbindungs-programmierbare Vorrichtungen nicht ohne weiteres mit MRAM- und Polymerspeicher-Vorrichtungen integriert.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Gruppe aus Dünnfilmspeicherzellen geschaffen; und eine Schaltung zum Anlegen von Schreibpotentialen an zumindest einige der Speicherzellen; dadurch gekennzeichnet, dass die Speicherzellen einen Widerstand aufweisen, der auf einen Nenn- oder einen höheren Wert eingestellt werden kann, durch Anlegen eines ersten Schreibpotentials, und Dünnfilmbarrieren aufweisen, die beschädigt werden, wenn zweite Schreibpotentiale mit einem größeren Wert angelegt werden als die ersten Schreibpotentiale.
  • Andere Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung offensichtlich in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen, die beispielhaft die Prinzipien der vorliegenden Erfindung darstellen.
  • 1 ist eine Darstellung einer Datenspeicherungsvorrichtung, die ein Array aus Dünnfilmspeicherzellen umfasst;
  • 2a und 2b sind Darstellungen von einmal-beschreibbaren Speicherzellen an unterschiedlichen Logikzuständen;
  • 3 ist eine Darstellung von Lese- und Schreib-Spannungen für die einmal-beschreibbaren Speicherzellen;
  • 4a und 4b sind Darstellungen von Zeilen- und Spalten-Schal– tungen für die Datenspeicherungsvorrichtung aus 1;
  • 5 ist eine Darstellung einer alternativen, einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherzelle;
  • 6 ist eine Darstellung von Lese- und Schreib-Spannungen für die alternative, einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicherzelle;
  • 7 ist eine Darstellung einer Datenspeicherungsvorrichtung, die die alternativen einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherzellen umfasst;
  • 8 ist eine Darstellung eines einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherregisters; und
  • 9 ist eine Darstellung von Taktsignalen für das einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicherregister.
  • Wie in den Zeichnungen zu Zwecken der Darstellung gezeigt ist, ist die vorliegende Erfindung in einer Datenspeicherungsvorrichtung verkörpert, die ein Array aus Dünnfilmspeicherzellen und eine Schaltungsanordnung zum Lesen und Schreiben der Speicherzellen umfasst. Einmal-Beschreib-Operationen können ausgeführt werden durch Beschädigen der Dünnfilmbarrieren von zumindest einigen der Speicherzellen.
  • Es wird Bezug auf 1 genommen, die eine Datenspeicherungsvorrichtung 8 darstellt, die ein resistives Kreuzpunkt-Array 10 aus Dünnfilmspeicherzellen 12 umfasst. Die Speicherzellen 12 sind in Zeilen und Spalten angeordnet, wobei sich die Zeilen entlang einer x-Richtung erstrecken und die Spalten entlang einer y-Richtung erstrecken. Nur eine relativ geringe Anzahl von Speicherzellen 12 ist gezeigt, um die Erklärung der Vorrichtung 8 zu vereinfachen. In der Praxis können Arrays jeglicher Größe verwendet werden.
  • Spuren, die als Wortleitungen 14 funktionieren, erstrecken sich entlang der x-Richtung in einer Ebene auf einer Seite des Arrays 10. Spuren, die als Bitleitungen 16 funktionieren, erstrecken sich entlang der y-Richtung in einer Ebene auf einer gegenüberliegenden Seite des Arrays 10. Es kann eine Wortleitung 14 für jede Zeile des Arrays 10 und eine Bitleitung 16 für jede Spalte des Arrays 10 vorliegen. Jede Speicherzelle 12 ist an einem Kreuzungspunkt einer entsprechenden Wortleitung 14 und einer Bitleitung 16 angeordnet.
  • Die Speicherzellen 12 bilden ein resistives Kreuzpunkt-Array, da sie resistive Elemente umfassen, die miteinander durch viele parallele Wege gekoppelt sind. Der Widerstand, der an einem Kreuzungspunkt ersichtlich ist, ist gleich dem Widerstand der Speicherzelle 12 an diesem Kreuzungspunkt parallel zu den Widerständen von Speicherzellen 12 in den anderen Zeilen und Spalten.
  • Die Vorrichtung 8 umfasst ferner eine Lese-/Schreib-Schaltung (dargestellt durch eine erste und zweite Zeilenschaltung 18 und 20 und eine erste und zweite Spaltenschaltung 22 und 24) zum Anlegen von Lese- und Schreib-Potentialen an ausgewählte Speicherzellen während Lese- und Schreib-Operationen. Um die Lese- und Schreib-Ströme zu erzeugen, legen die erste und die zweite Zeilenschaltung 18 und 20 geeignete Potentiale an die Wortleitungen 14 an, und die erste und zweite Spaltenschaltung 22 und 24 legen geeignete Potentiale an die Spaltenleitungen 16 an.
  • Die zweite Spaltenschaltung 24 umfasst ferner Erfassungsverstärker zum Erfassen der Widerstandszustände der ausgewählten Speicherzellen. Die Widerstandszustände zeigen die gespeicherten Logikwerte an.
  • Kriechpfadströme können ein Problem während Lese-Operationen darstellen, da die Speicherzellen in dem Array miteinander durch viele parallele Wege gekoppelt sind. Wenn sie nicht blockiert werden, neigen die Kriechpfadströme dazu, das Erfassen zu hemmen.
  • Es gibt verschiedene Wege zum Blockieren der Kriechpfadströme während Lese-Operationen. Zum Beispiel kann die Vorrichtung 8 Schalter oder Dioden umfassen zum Isolieren der ausgewählten Zellen und dadurch Blockieren der Kriechpfadströme.
  • Alternativ können die Kriechpfadströme blockiert werden durch Implementieren eines „Äquipotential"-Verfahrens, offenbart in der mitanhängigen europäischen Patentveröffentlichung EP1152429 . Ein Lese-Potential kann an die Bitleitung angelegt werden, die die ausgewählte Speicherzelle kreuzt, und ein Massepotential kann an die Wortleitung angelegt werden, die die ausgewählte Speicherzelle kreuzt. Folglich fließt ein Erfassungsstrom durch die ausgewählte Speicherzelle. Um zu verhindern, dass die Kriechpfadströme den Erfassungsstrom hemmen, wird das selbe Potential an einen Teilsatz von nicht-ausgewählten Bitleitungen und nicht-ausgewählten Wortleitungen angelegt.
  • Während einer Schreiboperation legt die Lese-/Schreib-Schaltung Schreibpotentiale an ausgewählte Wort- und Bit-Leitungen 14 und 16 an. Folglich werden elektrische oder magnetische Felder um die ausgewählten Wort- und Bit-Leitungen 14 und 16 erzeugt. Eine Speicherzelle 12, die beide Felder sieht (d. h., eine Speicherzelle, die an einem Kreuzungspunkt einer ausgewählten Wortleitung und einer ausgewählten Bitleitung liegt), wird als eine „ausgewählte" Speicherzelle bezeichnet. Alle anderen Speicherzellen 12 entlang der ausgewählten Wortleitung 14 sehen eines der zwei Felder und alle der anderen Speicherzellen 12 entlang der ausgewählten Bitleitung 16 sehen das andere der zwei Magnetfelder. Diese Speicherzellen 12, die eines der zwei Magnetfelder sehen, werden als „halbgewählte" Speicherzellen bezeichnet. Die verbleibenden Speicherzellen 12 in dem Array 10 werden als „nicht-ausgewählte" Speicherzellen bezeichnet.
  • Eine Neuschreib-Operation kann ausgeführt werden durch Anlegen eines ersten und zweiten Schreibpotentials an die Wort- und Bit-Leitungen 14 und 16. Es resultiert ein Feld, das den Widerstandszustand der ausgewählten Speicherzelle auf einen Nennwert (R) oder einen höheren Wert (R + ΔR) einstellt. Das erste und das zweite Schreibpotential verursachen keinen dielektrischen Zusammenbruch der Dünnfilmbarriere (z. B. der tunnelisolierenden Barriere) der ausgewählten Speicherzelle. Folglich kann der Widerstandszustand wiederholt geändert werden.
  • Eine Einmal-Schreib-Operation kann ausgeführt werden durch Anlegen eines dritten und vierten Schreibpotentials an die Wort- und Bit-Leitungen 14 und 16. Das dritte und vierte Schreibpotential verursachen keine dielektrischen Zusammenbrüche der Dünnfilmbarrieren der halbgewählten Speicherzellen. Das dritte und vierte Potential verursacht jedoch einen dielektrischen Zusammenbruch der Dünnfilmbarriere der ausgewählten Speicherzelle. Folglich verursachen das dritte und vierte Schreibpotential, dass die Dünnfilmbarriere überbeansprucht oder beschädigt wird, und die ausgewählte Speicherzelle wird dauerhaft auf einen Niedrigwiderstandszustand verändert. Leseströme verursachen keine Beschädigung an nicht-beschädigten Dünnfilmbarrieren. Der Widerstandszustand einer einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherzelle gemäß der vorliegenden Erfindung kann nur einmal geändert werden, von einem hohen Widerstandszustand zu einem niedrigen Widerstandszustand.
  • Eine oder mehrere Gruppen der Speicherzellen 12 können entworfen sein für Einmal-Schreib-Operationen, und die verbleibenden Speicherzellen 12 können entworfen sein für Neuschreib-Operationen. Bei einer Gruppe, die für Einmal-Schreib-Operationen entworfen ist, stellen die Speicherzellen, die beschädigte Dünnfilme aufweisen, einen ersten Logikzustand dar und die Speicherzellen, die unbeschädigte Dünnfilme aufweisen, stellen einen zweiten Logikzustand dar.
  • Die Speicherzellen können einfach nach Spalten gruppiert sein. Das heißt, „einmal-beschreibbare" Spalten aus Speicherzellen 12 können für Einmal-Schreib-Operationen entworfen sein und „neu-beschreibbare" Spalten aus Speicherzellen 12 können für Neuschreib-Operationen entworfen sein. Ein solches Gruppieren ermöglicht, dass Schreibschaltungen für die einmal-beschreibbaren Spalten hergestellt werden und unterschiedliche Schreibspalten für die neu-beschreibbaren Spalten hergestellt werden. Schreibschaltungen für die einmal-beschreibbaren Spalten legen das dritte und vierte Schreibpotential an ausgewählte Speicherzellen an, und Schreibschaltungen für die neu-beschreibbaren Spalten wenden das erste und zweite Schreibpotential an ausgewählte Speicherzellen an. Alternativ könnte eine Schreibschaltung entworfen sein, um entweder das erste oder zweite Betriebspotential an eine ausgewählte Speicherzelle oder das dritte und vierte Betriebspotential an die ausgewählte Speicherzelle anzulegen.
  • Der Herstellungsprozess für das Array 10 muss nicht modifiziert werden; Speicherzellen 12, die für Einmal-Schreib-Operationen entworfen sind, weisen denselben Aufbau auf wie Speicherzellen 12, die für Neuschreib-Operationen entworfen sind. Der Herstellungsprozess sollte jedoch so gesteuert werden, dass die Zusammenbruch-Parameter gesteuert werden auf einen engen Bereich innerhalb von Grenzen, die durch Schreibtreiber für die Lese-/Schreib-Schaltung gesetzt werden.
  • Es wird nun Bezug auf 2a und 2b genommen, die einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicherzellen 12 auf unterschiedlichen Widerstandszuständen zeigen. Jede Dünnfilmspeicherzelle 12 umfasst ein resistives Speicherelement 30. Jedes resistive Speicherelement 30 seinerseits umfasst einen ersten und zweiten Leiter 32 und 34 und eine Hochwiderstands-Dünnfilmbarriere 36 zwischen denselben. Bei einem SDT-Übergang z. B. kann der erste Leiter 32 eine freie ferromagnetische Schicht sein, der zweite Leiter 34 kann eine festgelegte ferromagnetische Schicht sein und die Dünnfilmbarriere 36 kann eine isolierende Tunnelbarriere sein. Bei einem Polymer-Speicherelement kann der erste Leiter 32 ein Metall sein, der zweite Leiter 34 kann ein Metall sein und die Dünnfilmbarriere 36 kann ein Polymerspeichermaterial sein.
  • Die Dicke der Dünnfilmbarriere 36 ist so ausgewählt, dass die Barriere zusammenbricht, wenn das dritte und vierte Schreibpotential angelegt werden, aber nicht, wenn das erste und zweite Schreibpotential angelegt werden. Ein dielektrischer Zusammenbruch tritt üblicherweise bei einem kritischen elektrischen Feld und nicht einer kritischen Spannung auf.
  • Die Dünnfilmbarriere 36 der Speicherzelle 12, gezeigt in 2a, ist noch nicht zusammengebrochen, überbelastet oder anderweitig beschädigt. Daher weist die Speicherzelle 12 einen Nennwiderstand auf, der dem ersten Logikwert entspricht. Wenn ein Erfassungsstrom durch eine ausgewählte Speicherzelle fließt, bricht die Dünnfilmbarriere nicht zusammen.
  • Die Dünnfilmbarriere der Speicherzelle 12, gezeigt in 2b, ist bereits zusammengebrochen. Daher weist die Speicherzelle 12, gezeigt in 2b, einen Widerstand auf, der niedriger ist als der Nennwert. Dieser niedrigere Widerstand entspricht dem zweiten Logikwert.
  • Der Widerstand des resistiven Speicherelements 30, gezeigt in 2a (unbeschädigte Barriere), kann im Bereich von 1 Megaohm sein, und der Widerstand des resistiven Speicherelements 30, gezeigt in 2b (beschädigte Barriere), kann im Bereich von 100 Ohm bis 10.000 Ohm sein. Im Gegensatz dazu kann ein resistives Speicherelement einer neu-beschreibbaren Speicherzelle einen Widerstand im Bereich von 1 Megaohm bei einem Widerstandszustand und 1,1 Megaohm bei dem anderen Widerstandszustand aufweisen.
  • Wenn ein Speicherelement 30 einen Widerstand nahe Null aufweist, könnte es übermäßig große Lese- und Schreibströme während Lese- und Schreib-Operationen ziehen. Um zu verhindern, dass ein solches Speicherelement 30 große Ströme zieht, kann ein Widerstand 38 in Reihe mit dem resistiven Speicherelement 30 geschaltet sein. Der Widerstand des in Reihe geschalteten Widerstands 38 sollte niedrig genug sein, um eine minimale Auswirkung auf Lese-Operationen aufzuweisen, und hoch genug, um minimale Auswirkung auf Schreiboperationen auszuüben. Somit sollte der tatsächliche Widerstand des in Reihe geschalteten Widerstands 38 das Speicherelement 30 isolieren, ohne die Erfassung des Erfassungsstroms während Lese-Operationen zu verschlechtern und ohne die Schreibströme während Schreiboperationen zu ver schlechtern. Der Widerstandsbereich des in Reihe geschalteten Widerstands 38 kann zwischen 0,1 % und 50 % des Nennwerts sein. Somit, wenn das resistive Speicherelement 30 eine beschädigte Barriere 36 aufweist, ist der Widerstand der Speicherzelle 12 zumindest gleich dem Widerstand des in Reihe geschalteten Widerstands 38. Die U.S.-Anmeldung 6 456 525 der Anmelderin, eingereicht am 15. September 2000 mit dem Titel „SHORT TOLERANT RESISTIVE CROSS POINT ARRAY" offenbart resistive Elemente, die in Reihe mit Speicherelementen geschaltet sind.
  • Es wird nun Bezug auf 3 genommen, die die Lese- und Schreib-Spannungen für die Speicherzellen darstellt. Die maximale Lesespannung (VRMAX) ist kleiner als die minimale Einmalbeschreibspannung (VWMIN). Die Spannung für eine Einmalbeschreiboperation ist größer als die minimale Einmalbeschreibspannung (VWMIN) und kleiner oder gleich der vollen VDD-Spannung. Somit liegt keine Überlappung zwischen der Lese- und Einmalbeschreibspannung vor.
  • Die Spannung für eine Einmalbeschreiboperation wird für ein kurzes Intervall angelegt. Der dielektrische Zusammenbruch tritt sehr schnell auf, sobald die Zusammenbruchschwelle überschritten wird. Eine Einmalbeschreiboperation könnte innerhalb einer einzelnen Taktperiode (10 – 30 ns) ausgeführt werden. Der Zusammenbruchstrom könnte überwacht werden und die Einmalbeschreibspannung beseitigt werden, sobald ein Zusammenbruch erfasst wird. Es wäre jedoch einfacher, die Einmalbeschreibspannung für eine kurze, feste Zeitperiode anzulegen.
  • Die Spannung, die während einer Neuschreib-Operation angelegt wird, ist beschränkt durch die Zusammenbruchgrenzen der Speicherzelle, die an der Maximallesespannung ist (VRMAX). Somit ist die Spannung während einer Neuschreib-Operation geringer als die maximale Lesespannung (VRMAX). Eine typische Spannung während einer Leseoperation ist zwischen dem Massepotential (GND) und der Spannung für die Neuschreiboperation.
  • Es wird Bezug auf 4a und 4b genommen, die die erste Zeilen- und die zweite Spalten-Schaltung 18 und 24 detaillierter zeigen. Die erste Zeilenschaltung 18 umfasst einen ersten Schalter 52 für jede Wortleitung 14. Der erste Schalter 52 führt drei Funktionen aus: Verbinden der ausgewählten Wortleitungen 14 mit Masse sowohl für Lese- als auch Schreiboperationen; Verbinden der nicht-ausgewählten Wortleitungen 14 mit der Array-Spannung (Vs) während Lese-Operationen (was ein äquipotentielles Lesen ermöglicht); und Verbinden der nicht-ausgewählten Wortleitungen 14 mit der Halbwähl-Schreibspannung (Vw) während einer Einmalbeschreib-Operation. Wenn die Einmalbeschreib- und Neuschreib-Funktionalität kombiniert werden, liefert der erste Schalter 52 eine Leerlaufschaltung für die nicht-ausgewählten Zeilen während Neuschreib-Schreiboperationen. Die Halbwählspannung (Vw) ist geringer als die Zusammenbruchspannung.
  • Während Lese- und Einmalbeschreib-Operationen verbindet die zweite Zeilenschaltung 20 alle Wortleitungen mit einer hohen Impedanz (z. B. Leerlaufschalter). Während einer Neuschreib-Operation legt die zweite Zeilenschaltung 20 eine Zeilenschreibspannung an alle Wortleitungen 14 an oder liefert alternativ die Zeilenschreibspannung nur zu den ausgewählten Wortleitungen 14 und verbindet die nicht-ausgewählten Wortleitungen mit einer hohen Impedanz (z. B. Leerlaufschaltern).
  • Während Lese- und Einmalbeschreib-Operationen verbindet die erste Spaltenschaltung 22 alle Bitleitungen 16 mit einer hohen Impedanz. Während einer Neuschreib-Operation verbindet die erste Spaltenschaltung 22 die ausgewählte Bitleitung 16 mit den Schaltungen 18 bis 24 und alle nicht-ausgewählten Bitleitungen 16 mit einer hohen Impedanz (z. B. Leerlaufschaltern).
  • Die zweite Spaltenschaltung 24 umfasst einen Erfassungsverstärker 54 und eine Mehrzahl von zweiten Schaltern 56. Jeder zweite Schalter 56 führt drei Funktionen aus: Verbinden der ausgewählten Spalte 16 mit dem Eingang des Erfassungsverstärkers 54 während Lese- und Neuschreib-Operationen; Verbinden der nicht-ausgewählten Bitleitungen 16 mit der Arrayspannung (Vs) während Leseoperationen; und Verbinden der nicht-ausgewählten Bitleitungen 16 mit einer Halbwählspannung (Vw) während Einmalbeschreib-Operationen. Wenn er mit einer ausgewählten Bitleitung verbunden ist, erfasst der Erfassungsverstärker 54 den Widerstandszustand von ausgewählten Speicherzellen während einer Leseoperation und legt ein Neuschreibpotential während einer Neuschreib-Operation an. Während einer Einmalbeschreib-Operation legt der Erfassungsverstärker 54 ein Masse-Potential an, um eine logische „0" zu schreiben, und zwei Mal die Halbwählspannung (2WV), um eine logische „1" zu schreiben. Ein Anlegen von zwei Mal der Halbwählspannung verursacht einen Zusammenbruch.
  • 4a zeigt die erste Zeilenschaltung 18 und die zweiten Spaltenschaltungen 24 während einer Leseoperation. Während einer Leseoperation binden die ersten Schalter 52 eine ausgewählte Wortleitung 14 an Masse und nicht-ausgewählte Wortleitungen 14 an die Array-Spannung (Vs), und der zweite Schalter 56 verbindet eine ausgewählte Bitleitung 16 mit dem Erfassungsverstärker 54 und die nicht-ausgewählten Bitleitungen 16 mit der Array-Spannung (Vs). Der Erfassungsverstärker 54 legt ein Lese-Potential an die ausgewählte Bitleitung an und erfasst einen Erfassungsstrom.
  • 4b zeigt die erste Zeilen- und die zweite Spalten-Schaltung 18 und 24 während einer Schreiboperation. Während einer Einmalbeschreib-Operation legen die zweiten Schalter 56 ein Schreibpotential (entweder GND oder 2·Vw) an ein Ende der ausgewählten Bitleitung 16 und ein Halbwähl-Schreibpotential (Vw) an die nicht-ausgewählten Bitleitun gen 16 an. Die ersten Schalter 52 legen ein Schreibpotential (GND) an die ausgewählte Wortleitung 14 und ein Halbwähl-Schreibpotential (Vw) an die nicht-ausgewählten Wortleitungen 14 an. Die Zelle 12 an dem Kreuzungspunkt der ausgewählten Bitleitung 16 und der ausgewählten Wortleitung 14 sieht eine Spannung (2·Vw), die größer ist als die Zusammenbruchspannung, um eine logische „1" zu schreiben, oder eine Null-Spannung, um eine logische „0" zu schreiben, während alle nicht-ausgewählten Speicherzellen entweder eine Null-Spannung oder eine Halbwählspannung sehen.
  • Derart offenbart ist ein einmal beschreibbarer Dünnfilmspeicher, der eine höhere Dichte aufweist als ein EPROM und ein schmelzverbindungsprogrammierbarer Speicher. Der einmalbeschreibbare Dünnfilmspeicher weist ferner eine niedrigere Spannungs-Operation auf als der EPROM und der schmelzverbindungsprogrammierbare Speicher. Die volle VDD-Spannung kann verwendet werden, um die Dünnfilmbarrieren zu überbelasten. Somit wird eine niedrigere Energie verwendet, um die einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherzellen zu beschreiben, als für Speicherzellen bei schmelzverbindungsprogrammierbaren Vorrichtungen. Eine niedrigere Energie ihrerseits führt zu geringerem strukturellen Schaden und höherer Zuverlässigkeit. Die niedrigeren Lese- und Schreibspannungen können ferner den einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicher kompatibel mit einer hochentwickelten CMOS-Technik machen.
  • Der einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicher wird mit denselben Komponenten und der Prozesstechnik hergestellt, die beim Herstellen von neubeschreibbarem Dünnfilmspeicher verwendet werden. Der Herstellungsprozess muss nicht verändert werden, um einmal-beschreibbare und neu-beschreibbare Speicherzellen zu mischen. Somit können im Gegensatz zum EPROM und schmelzverbindungsprogrammierbaren Speichern einmal-beschreibbare Speicherzellen auf demselben Siliziumsubstrat mit den neu-beschreibbaren Speicherzellen gemischt werden. Vorteile des Mischens der einmal-beschreibbaren und neu-beschreibbaren Speicherzellen umfassen dieselbe grundlegende Speicherzellenstruktur; und einen einfacheren Entwurf für die Leseschaltungen für den einmal-beschreibbaren Speicher, was ermöglicht, dass ein Teilsatz des einmal-beschreibbaren Speichers automatisch während des Hochfahrzyklus der Schaltung erfasst wird. Ein anderer Vorteil ist, dass Einmalbeschreibdaten permanent gespeichert werden und für ID, Sicherheit, Leistung bei der Konfiguration oder Anwendungscode-Speicherung verwendet werden können. Somit werden keine separaten Chips benötigt, um Schlüssel-Chip-Informationen zu speichern, wie z. B. Chip-/Herstellungs-ID, Zugriffscode und Fehlerpläne.
  • Der einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicher weist eine robuste Leseoperation auf. Die Differenz zwischen einem logischen „1"- und „0"-Zustand ist relativ groß. Zum Beispiel kann ein Schreiben von „0" durch einen Widerstand von einem Megaohm dargestellt werden und ein Schreiben von „1" kann durch einen niedrigen Widerstand von 1.000 Ohm dargestellt werden. Ein solch großer Unterschied ist relativ leicht zu erfassen und vereinfacht den Leseschaltungsentwurf.
  • Die Vorrichtung 8 ist nicht auf einen bestimmten Typ eines Dünnfilmspeichers beschränkt. MRAM und Polymerspeicher sind nur zwei Typen. MRAM-Speicherelemente können SDT-Übergänge und Gigant-Magnetoresistenz-Vorrichtungen („GMR"-Vorrichtungen; GMR = giant magnetoresistance) umfassen.
  • Wenn Dioden oder Schalter zum Blockieren von Kriechpfadströmen während Leseoperationen verwendet werden, muss die Leseschaltungsanordnung nur entsprechende Potentiale an die Wort- und Bitleitung anlegen, die die ausgewählte Speicherzelle kreuzen, um einen Erfassungsstrom zu erzeugen.
  • Die Einmalbeschreib-Dünnfilmzellen können irgendwo in dem Array 10 angeordnet sein. Einmalbeschreib-Speicherzellen können jedoch von den neubeschreibbaren Speicherzellen getrennt sein, um zu ermöglichen, dass robustere Erfas sungsverstärker für den einmal-beschreibbaren Speicher verwendet werden. Separate Gruppen von einmal-beschreibbaren Speicherzellen können beim Hochfahren betrieben werden, um spezielle Funktionen zu liefern, wie z. B. das Einrichten von Konfigurationsdaten, Fehlerplänen oder ID-Daten.
  • 5 zeigt eine alternative Speicherzelle 110, die ein einmal-beschreibbares, resistives Dünnfilmspeicherelement 112 und einen Zugriffstransistor 114 umfasst, in Reihe geschaltet mit dem resistiven Speicherelement 112; und 6 zeigt Spannungen, die während Lese- und Einmalbeschreib-Operationen angelegt werden. Während einer Leseoperation an der alternativen Speicherzelle 110 kann der Zugriffstransistor 114 als ein Sourcefolger betrieben werden. Eine Spannung (VR), angelegt über das einmal-beschreibbare Speicherelement 112 ist ungefähr gleich der Spannung (VGATE) zu dem Zugriffstransistor-Gate minus die Body-Effekt-Schwellenspannung des Zugriffstransistors 114. Die Gate-Spannung (VGATE) wird niedrig gehalten, um eine niedrige Spannung (VR) über das einmal-beschreibbare Speicherelement 112 zu halten. Der Zugriffstransistor 114 funktioniert als eine Stromquelle, die das Speicherelement 112 an der Source des Zugriffstransistors 114 von einem Erfassungsverstärker 116 isoliert, der mit dem Drain des Zugriffstransistors 114 gekoppelt ist. Erfassungsspannungen (VR/W) an dem Drain des Zugriffstransistors 114 können hochgehen, ohne die Dünnfilmbarriere des Speicherelements 112 während Lese-Operationen zu beschädigen. Der Erfassungsverstärker 116 kann einen Erfassungsstrom (iR/W) mit einer Schwelle vergleichen, um den Widerstandszustand des einmal-beschreibbaren Speicherelements 112 zu bestimmen.
  • Daten können in die Speicherzelle 110 geschrieben werden, durch Anlegen der vollen VDD-Spannung an das Gate und den Drain des Zugriffstransistors 114. Somit ist VGATE = VDD und VR/W = VDD. Die resultierende Spannung (VR), angelegt an das Speicherelement 112 verursacht, dass die Dünnfilmbarriere überbelastet wird und zusammenbricht. Sobald die Überbelastung auftritt, wird die Gate-Spannung (VGATE) entfernt. Die Gate-Spannung (VGATE) kann für eine Dauer von weniger als einer Taktperiode angelegt werden.
  • Die Zugriffstransistoren 114 können nur in den Speicherzellen 110 angewendet werden, die für Einmalbeschreib-Operationen entworfen sind, oder sie können in allen Speicherzellen 110 verwendet werden. Wenn sie in allen Speicherzellen 110 verwendet werden, können die Zugriffstransistoren 114 gesteuert werden, um zu verhindern, dass Kriechpfadströme die Erfassungsströme während den Leseoperationen hemmen.
  • 7 zeigt eine Datenspeicherungsvorrichtung 210, die ein Array 212 der alternativen einmal-beschreibbaren Speicherzellen 110 umfasst. Gates der Zugriffstransistoren 114 sind mit Wortleitungen 214 verbunden, und Drains der Zugriffstransistoren 114 sind mit Bitleitungen 216 verbunden. Die Vorrichtung 210 umfasst ferner einen Strommoden-Erfassungsverstärker 218 und Bitleitungs-Zugriffstransistoren 220. Ein Referenzelement 222 wird verwendet, unreinen Referenzstrom (ir) für einen Vergleich mit dem Erfassungsstrom (is) zu liefern.
  • Während einer Leseoperation wird eine Speicherzelle 110 ausgewählt durch Auswählen ihrer überkreuzenden Wort- und Bitleitungen 214 und 216. Ein Erfassungsstrom (is) fließt durch die ausgewählte Speicherzelle 110. Zusätzlich dazu wird ein Transistor 224 geschlossen, wodurch ein Referenzstrom (ir) durch das Referenzelement 222 fließt. Die Größe des Referenzstroms (ir) liegt zwischen dem Erfassungsstrom, der einer Unbeschädigte-Barriere-Logik „0" entspricht und einem Erfassungsstrom, der einer logischen „1" entspricht. Zum Beispiel kann die Referenzstromgröße vier Mal die erwartete Größe des Erfassungsstroms sein, der durch eine Speicherzelle mit unbeschädigter Barriere fließt.
  • Der Strommoden-Erfassungsverstärker 118 umfasst einen Pufferverstärker 226 und einen Verhältnis-Stromspiegel 228 zum Vergleichen des Erfassungsstroms (is) mit einem Verhältnis-Stromspiegelstrom, um den Widerstandszustand der ausgewählten Speicherzelle 110 zu bestimmen. Der Verhältnis-Stromspiegel 228 umfasst drei P-Kanal-Transistoren und zwei n-Kanal-Transistoren. Ein p-Kanal-Transistor 230 ist größer als sein benachbarter p-Kanal-Transistor 232. Wenn z. B. der eine p-Kanal-Transistor 230 vier Mal größer ist als sein benachbarter p-Kanal-Transistor 232, ist der Erfassungsstrom (is) drei Mal der Referenzstrom (ir). Der Referenzstrom (ir) zieht einen Erfassungsknoten (xs) hoch, wenn die ausgewählte Speicherzelle 110 keine beschädigte Barriere aufweist (hoher Widerstand), und zieht den Erfassungsknoten (xs) nach unten, wenn die ausgewählte Speicherzelle 110 eine beschädigte Barriere aufweist (niedriger Widerstand).
  • Der Pufferverstärker 224 kann ein Paar aus Invertern umfassen, die in Reihe geschaltet sind, um als ein Erfassungsverstärker-Komparator und ein Ausgangstreiber zu funktionieren. Das Inverterpaar führt die Funktion des Pufferns eines Hochimpedanzknotens (Knoten Y1) von Schaltungen aus, die mit dem Verstärkerausgang verbunden sind (d. h. das Inverterpaar puffert den Eingang und Ausgang und verstärkt das Eingangssignal). Das Paar aus Invertern funktioniert auch als ein Komparator: wenn der Erfassungsknoten (xs) unter eine Schaltschwelle des Inverterpaars gezogen wird, berichtet der Pufferverstärker 226 ein Ausgangssignal (Dout), das eine logische „0" darstellt, und wenn der Erfassungsknoten (xs) über der Schaltschwelle ist, stellt das Ausgangssignal (Dout) eine logische „1" dar. Somit funktioniert der Erfassungsverstärker 218 als ein Stromspiegel-Komparator.
  • Daten werden in die ausgewählte Speicherzelle 110 geschrieben durch Steuern der Gate-Signale (d0 bis dn) zu den Bitleitungs-Zugriffstransistoren 220 und einem Rücksetz transistor 234 gemäß den Einmalbeschreibzuständen, die oben in Verbindung mit 5 und 6 beschrieben wurden. Die Funktion des Rücksetztransistors 234 ist das Hochziehen des Erfassungsknotens (xs) zwischen Leseoperationen und das Liefern des Schreibpotentials während Schreiboperationen, wie in 6 beschrieben ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf Speicherzellen-Arrays beschränkt. Zum Beispiel kann ein einmal-beschreibbares Register die einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicherzellen umfassen. Das einmal-beschreibbare Register weist keine Wortleitungen auf. Speicherzellen werden ausgewählt durch Auswählen von ausschließlich Bitleitungen. Das volle Schreibpotential, das an eine ausgewählte Bitleitung angelegt wird, verursacht einen dielektrischen Zusammenbruch in einer ausgewählten Speicherzelle.
  • Es wird nun Bezug auf 8 genommen, die ein einmal-beschreibbares Register 310 zeigt, das eine Speicherzelle 312 umfasst. Die Speicherzelle 312 umfasst ein Dünnfilmelement 314, einen Zugriffstransistor 316 und einen Schreibtransistor 318. Ein Drain-Source-Weg des Schreibtransistors 318 ist über den Drain-Source-Weg des Zugriffstransistors 316 gekoppelt. Das einmal-beschreibbare Register 310 umfasst ferner einen Differenzverstärker 320, der zwischen einen ersten und zweiten Knoten (na und nb) geschaltet ist. Der Differenzverstärker 320 ist konfiguriert, um eine Widerstandsdifferenz zwischen einer Referenzzelle 322 und dem Dünnfilmelement 314 zu erfassen, während eine niedrige Lesespannung an der Referenzzelle 322 und dem Dünnfilmelement 314 beibehalten wird. Der Differenzverstärker 320 legt ferner die Schreibspannung an das einmal-beschreibbare Dünnfilmelement 314 an.
  • Es wird zusätzlich Bezug auf 9 genommen. Lese- und Schreib-Operationen werden durch ein erstes, zweites und drittes Taktsignal (LV1, LV2, LV3), ein Ausgleichssignal (EQ) und ein Schreibsignal (W) gesteuert. Diese Signale werden durch einen Steuersignalgenerator 324 erzeugt.
  • Ein Schreibdatensignal (Din) wird zu dem Gate eines Transistors 326 geliefert, dessen Drain-Source-Weg zwischen den ersten Knoten (na) und Masse gekoppelt ist. Ein Signal (Dinb), das das Komplement des Schreibdatensignals (Din) darstellt, wird zu dem Gate eines Transistors 328 geliefert, dessen Drain-Source-Weg zwischen den zweiten Knoten (nb) und Masse gekoppelt ist. Um die Register 310 zuverlässig zu schreiben, werden die Transistoren 326 und 328 gesteuert, um entweder den ersten oder den zweiten Knoten (na oder nb) gemäß dem Pegel des Schreibdatensignals (Din) herunterzuziehen.
  • Eine Schreiboperation wird durchgeführt durch Einschalten eines p-Kanal-Transistors 330 (mit dem zweiten Taktsignal LV2), um den internen Knoten des Differenzverstärkers 320 auf den vollen VDD-Pegel zu bringen und das Schreibdatensignal (Din) zu dem Gate des Transistors 326 zu liefern. Wenn das Datensignal (Din) niedrig ist, dann wird ermöglicht, dass die Spannung an dem ersten Knoten (na) floatet und die Spannung an dem zweiten Knoten (nb) abwärts gezwungen wird. Folglich wird keine Spannung an das einmal-beschreibbare Element 314 angelegt, wenn das Schreibsignal (W) aktiviert ist. Somit, wenn der Widerstand des einmal-beschreibbaren Elements 314 hoch ist, wenn das Schreibsignal (W) aktiviert wird, bleibt er hoch.
  • Wenn jedoch das Datensignal (Din) hoch ist, wird der Differenzverstärker 320 auf die volle VDD-Spannung an dem zweiten Knoten (nb) getrieben. Wenn der Schreibzugriffstransistor 318 angeschaltet wird und das Schreibsignal W aktiviert wird, wird die Spannung an dem zweiten Knoten (nb) hoch auf die volle VDD-Spannung gezwungen, und die hohe Spannung wird an das Dünnfilmelement 314 angelegt. Die hohe Spannung verursacht einen dielektrischen Zusammenbruch in dem Dünnfilmelement 314.
  • Während einer Leseoperation erfasst der Differenzverstärker 320 die Stufe des Dünnfilmelements 314 in zwei Schritten. Zuerst wird ein n-Kanaltransistor 332 angeschaltet (durch das erste Taktsignal LV1), um die Spannung an dem ersten und zweiten Knoten (na und nb) auf eine niedrige Spannung zu bringen (ungefähr VDD/2). Als nächstes wird ein Ausgleichstransistor 334 angeschaltet (durch das Ausgleichssignal EQ), um beide Knoten (na und nb) auf eine gleiche (niedrige) Spannung zu zwingen, und die Zugriffstransistoren 316 und 336 werden angeschaltet (durch das dritte Steuersignal LV3), um die Speicher- und Referenzzellen 312 und 322 mit den Eingängen des Differenzverstärkers 320 zu verbinden. Wenn das Ausgleichssignal EQ beseitigt wird, entwickelt sich eine Differenzspannung über den ersten und zweiten Knoten (na und nb). Diese Differenzspannung wird bestimmt durch den Widerstand des Dünnfilmelements 314 im Vergleich zu dem Widerstand der Referenzzelle 322. Der Widerstand der Referenzzelle 322 kann einen Wert gleich dem Mittelwert des Nennwiderstands des Dünnfilmelements 314 und seinen Widerstand in dem Niedrigwiderstandszustand aufweisen. Nach einer kurzen Verzögerung, um das Entwickeln der Differenzspannung zu ermöglichen, schaltet das dritte Steuersignal (LV3) die Zugriffstransistoren 316 und 336 ab, um die Speicher- und Referenz-Zellen 312 und 322 von dem Differenzverstärker 320 zu isolieren.
  • Der zweite Schritt wird ausgeführt durch Einschalten des p-Kanal-Transistors 330, um die Knoten (na und nb) des Differenzverstärkers 320 auf die volle VDD-Spannung zu bringen. Die volle VDD-Spannung überträgt den Zustand des Registers 310 als ein Voll-Schwing-Logiksignal zu den Logikschaltungen, die mit dem Datenausgang des Registers 310 verbunden sind. Der Datenausgang des Registers 310 wird von dem ersten Knoten (na) genommen.
  • Während der Lese-Operation wird das Dünnfilmspeicherelement 314 von dem vollen VDD isoliert, durch die Zugriffs- und Schreibtransistoren 316 und 318, die durch das dritte Taktsignal (LV3) und ein Schreibsignal (W) gesteuert werden. Der Zugriffstransistor 316 funktioniert als ein Spannungsfolger, der die Spannung VR auf die Gate-Spannung (VGATE) minus die Body-Effekt-Schwellenspannungen des Zugriffstransistors 316 beschränkt. Die Gate-Spannung an dem Zugriffstransistor 316 ist begrenzt durch Begrenzen des dritten Taktsignals (LV3) auf eine Spannung geringer als die volle VDD-Spannung (z. B. VDD/2). Das Schreibsignal (W) betreibt den Schreibtransistor 318 als einen Ein-Aus-Schalter. Somit werden hohe Spannungen an dem zweiten Knoten (nb) nicht an das Dünnfilmspeicherelement 314 während Lese-Operationen angelegt.
  • Der einmal-beschreibbare Dünnfilmspeicher ist nicht auf eine bestimmte Anwendung beschränkt. Er könnte für eine kostengünstige Dauerspeicheranwendung verwendet werden. Zusätzlich zu Chip/Herstellungs-ID, Zugriffscode und Fehlerplänen könnten Anwendungen für den einmal-beschreibbaren Dünnfilmspeicher einen einmal-beschreibbaren digitalen Film für Digitalkameras, eine einmal-beschreibbare MP3-Digital-Audio-Speicherung, einmal-beschreibbare Benutzer-ID-Felder für Passwörter oder Sicherheit, Programmcode-Speicherung, etc., umfassen.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die spezifischen Ausführungsbeispiele beschränkt, die oben beschrieben und dargestellt sind. Statt dessen ist die Erfindung gemäß den nachfolgenden Ansprüchen erdacht.

Claims (10)

  1. Eine Datenspeicherungsvorrichtung (8, 210, 310), die folgende Merkmale aufweist: eine Gruppe aus Dünnfilmspeicherzellen (12, 110, 312); und eine Schaltung (1824, 218, 320) zum Anlegen von ersten und zweiten Schreibpotenzialen an zumindest einige der Speicherzellen (12, 110, 312); dadurch gekennzeichnet, dass die Speicherzellen (12, 110, 312) einen Widerstand aufweisen, der auf einen Nenn- oder einen höheren Wert eingestellt werden kann, durch Anlegen der ersten Schreibpotenziale, und Dünnfilmbarrieren (36) aufweisen, die beschädigt werden, wenn die zweiten Schreibpotenziale mit einem größeren Wert als den ersten Schreibpotenzialen angelegt werden.
  2. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Gruppe ein Array (10, 212) aus Speicherzellen (12) ist.
  3. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 2, bei der die Schaltung (18 bis 24) angeordnet ist, um erste und zweite Schreibpotenziale an Wort- und Bit-Leitungen (14 und 16) anzulegen, die eine erste Gruppe aus Speicherzellen während Neuschreiboperationen überkreuzen, wobei die ersten und die zweiten Schreibpotenziale keinen dielektrischen Zusammenbruch in ausgewählten Speicherzellen der ersten Gruppe verursachen; und wobei die Schaltung (18 bis 24) angeordnet ist, um eine dritte und vierte Schreibspeicherzelle während Einmalbeschreiboperationen anzulegen, wobei das dritte und vierte Schreibpotenzial einen dielektrischen Zusammenbruch in den ausgewählten Speicherzellen (12) der zweiten Gruppe verursachen.
  4. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 3, bei der die Speicherzellen (12) der ersten Gruppe zwischen einem Nennwiderstand, der einem ersten logischen Wert entspricht, und einem zweiten Widerstandszustand, der einem zweiten logischen Wert entspricht, geschaltet werden können; wobei die Speicherzellen (12) der zweiten Gruppe entweder den Nennwiderstand, der dem ersten logischen Wert entspricht, oder einen dritten Widerstand, der dem zweiten logischen Wert entspricht, aufweisen; und wobei der Nenn-, der zweite und der dritte Widerstand unterschiedlich sind.
  5. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 2, die ferner eine Mehrzahl von Wort- und Bit-Leitungen (14 und 16) aufweist, wobei jede Speicherzelle (12) an einem Kreuzungspunkt einer Wortleitung (14) und einer Bitleitung (16) vorliegt; und wobei die Schaltung (18 bis 24) Folgendes umfasst: einen Erfassungsverstärker (54); einen ersten Schalter (52) für jede Wortleitung (14), wobei jeder erste Schalter (52) eine ausgewählte Zeile mit Masse für Lese- als auch Schreib-Operationen verbindet, eine nicht-ausgewählte Zeile mit einer Arrayspannung während Leseoperationen verbindet und nichtausgewählte Zeilen mit einer Halbwähl-Schreibspannung während Einmalbeschreiboperationen verbindet; und einen zweiten Schalter (56) für jede Bitleitung (16), wobei jeder zweite Schalter (56) eine ausgewählte Bitleitung mit einem Eingang des Erfassungsverstärkers (54) während Lese- und Schreib-Operationen verbindet, nicht-ausgewählte Bitleitungen mit der Arrayspannung während Leseoperationen verbindet und die nicht-ausgewählten Bitleitungen mit einer Halbwählspannung während Einmalbeschreiboperationen verbindet.
  6. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 5, bei der der Erfassungsverstärker (54) die Widerstandszustände von ausgewählten Speicherzellen (12) während Leseoperationen erfasst und Neuschreibpotenziale an ausgewählte Speicherzellen während Neuschreiboperationen anlegt; und wobei während Einmalbeschreiboperationen der Erfassungsverstärker (54) ein Massepotenzial anlegt, um eine logische „0" in ausgewählte Speicherzellen (12) zu schreiben, und zweimal die Halbwählspannung, um eine logische „1" in ausgewählte Speicherzellen (12) zu schreiben.
  7. Die Vorrichtung (210) gemäß Anspruch 2, bei der die Schaltung einen Erfassungsverstärker (218) umfasst, der einen Verhältnisstromspiegel (228) und einen Pufferverstärker (224) zum Erfassen eines Widerstandszustands einer ausgewählten Speicherzelle (110) umfasst.
  8. Die Vorrichtung (310) gemäß Anspruch 1, bei der die Gruppe Register aus einmal beschreibbaren Speicherzellen (312) umfasst.
  9. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 8, bei der die Schaltung einen Differenzverstärker (320) und ein Referenzelement (322) umfasst, wobei der Differenzverstärker (320) eine Differenz zwischen Erfassungs- und Referenz-Strömen anzeigt, die durch ausgewählte Speicherzellen (312) und die Referenzelemente (322) während Leseoperationen an den ausgewählten Speicherzellen (312) fließen, wobei die Differenzen den Widerstandszustand der ausgewählten Speicherzellen (312) anzeigen, wobei der Differenzverstärker (320) eine Voll schreibspannung während Schreiboperationen erzeugt, wobei die Schaltung ferner einen Transistor (325, 328) umfasst zum Herunterziehen des Knotens gemäß einem Zustand einer Eingangsleitung.
  10. Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der jede Speicherzelle ein Speicherelement (112) und einen Zugriffstransistor (114) für das Speicherelement (112) umfasst; und bei der Spannungen, die an die Speicherelemente (112) angelegt werden, durch Steuern von Gatespannungen der Zugriffstransistoren (114) eingeschränkt werden.
DE60112860T 2000-09-15 2001-09-14 Dünnfilmspeicheranordnungen Expired - Lifetime DE60112860T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US663016 2000-09-15
US09/663,016 US6324093B1 (en) 2000-09-15 2000-09-15 Write-once thin-film memory

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60112860D1 DE60112860D1 (de) 2005-09-29
DE60112860T2 true DE60112860T2 (de) 2006-07-13

Family

ID=24660165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60112860T Expired - Lifetime DE60112860T2 (de) 2000-09-15 2001-09-14 Dünnfilmspeicheranordnungen

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6324093B1 (de)
EP (1) EP1189239B1 (de)
JP (1) JP2002117684A (de)
KR (1) KR20020021614A (de)
CN (1) CN100380527C (de)
DE (1) DE60112860T2 (de)
HK (1) HK1045754B (de)
TW (1) TW511089B (de)

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6483736B2 (en) 1998-11-16 2002-11-19 Matrix Semiconductor, Inc. Vertically stacked field programmable nonvolatile memory and method of fabrication
US8575719B2 (en) 2000-04-28 2013-11-05 Sandisk 3D Llc Silicon nitride antifuse for use in diode-antifuse memory arrays
JP3672803B2 (ja) * 2000-07-28 2005-07-20 Necエレクトロニクス株式会社 不揮発性記憶装置
TW520501B (en) * 2000-12-29 2003-02-11 Amic Technology Taiwan Inc Bias device for a magneto-resistive random access memory
US7177181B1 (en) * 2001-03-21 2007-02-13 Sandisk 3D Llc Current sensing method and apparatus particularly useful for a memory array of cells having diode-like characteristics
JP2002368196A (ja) * 2001-05-30 2002-12-20 Internatl Business Mach Corp <Ibm> メモリセル、記憶回路ブロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法
US6925001B2 (en) * 2001-06-28 2005-08-02 Sharp Laboratories Of America, Inc. Electrically programmable resistance cross point memory sensing method
US6512690B1 (en) * 2001-08-15 2003-01-28 Read-Rite Corporation High sensitivity common source amplifier MRAM cell, memory array and read/write scheme
US6501697B1 (en) * 2001-10-11 2002-12-31 Hewlett-Packard Company High density memory sense amplifier
JP4073690B2 (ja) * 2001-11-14 2008-04-09 株式会社ルネサステクノロジ 薄膜磁性体記憶装置
JP2003151262A (ja) * 2001-11-15 2003-05-23 Toshiba Corp 磁気ランダムアクセスメモリ
US6483734B1 (en) * 2001-11-26 2002-11-19 Hewlett Packard Company Memory device having memory cells capable of four states
JP2003196142A (ja) * 2001-12-25 2003-07-11 Sony Corp ライトワンス型メモリ装置及びファイル管理方法
JP4046513B2 (ja) * 2002-01-30 2008-02-13 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路
US20030154426A1 (en) * 2002-02-11 2003-08-14 David Chow Method and apparatus for programmable BIST and an optional error counter
US6678189B2 (en) * 2002-02-25 2004-01-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for performing equipotential sensing across a memory array to eliminate leakage currents
KR100464536B1 (ko) * 2002-03-22 2005-01-03 주식회사 하이닉스반도체 자기 저항 램
JP4071531B2 (ja) * 2002-04-23 2008-04-02 株式会社ルネサステクノロジ 薄膜磁性体記憶装置
KR100505104B1 (ko) * 2002-04-30 2005-07-29 삼성전자주식회사 자기 램 셀들, 그 구조체들 및 그 구동방법
JP3808799B2 (ja) * 2002-05-15 2006-08-16 株式会社東芝 磁気ランダムアクセスメモリ
JP3808802B2 (ja) * 2002-06-20 2006-08-16 株式会社東芝 磁気ランダムアクセスメモリ
JP4646485B2 (ja) * 2002-06-25 2011-03-09 ルネサスエレクトロニクス株式会社 薄膜磁性体記憶装置
US6768661B2 (en) * 2002-06-27 2004-07-27 Matrix Semiconductor, Inc. Multiple-mode memory and method for forming same
JP2004103179A (ja) * 2002-09-12 2004-04-02 Renesas Technology Corp 薄膜磁性体記憶装置およびその製造方法
JP2004110992A (ja) * 2002-09-20 2004-04-08 Renesas Technology Corp 薄膜磁性体記憶装置
EP1550132A2 (de) 2002-10-03 2005-07-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Programmierbarer magnetspeicherbaustein, fp-mram
JP2004133969A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Renesas Technology Corp 半導体装置
US6940744B2 (en) * 2002-10-31 2005-09-06 Unity Semiconductor Corporation Adaptive programming technique for a re-writable conductive memory device
JP3766380B2 (ja) * 2002-12-25 2006-04-12 株式会社東芝 磁気ランダムアクセスメモリ及びその磁気ランダムアクセスメモリのデータ読み出し方法
JP4294307B2 (ja) * 2002-12-26 2009-07-08 株式会社ルネサステクノロジ 不揮発性記憶装置
US6839270B2 (en) * 2003-01-17 2005-01-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. System for and method of accessing a four-conductor magnetic random access memory
US6842389B2 (en) * 2003-01-17 2005-01-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. System for and method of four-conductor magnetic random access memory cell and decoding scheme
JP4405162B2 (ja) 2003-02-14 2010-01-27 株式会社ルネサステクノロジ 薄膜磁性体記憶装置
US6822903B2 (en) * 2003-03-31 2004-11-23 Matrix Semiconductor, Inc. Apparatus and method for disturb-free programming of passive element memory cells
US7233024B2 (en) * 2003-03-31 2007-06-19 Sandisk 3D Llc Three-dimensional memory device incorporating segmented bit line memory array
US6879505B2 (en) * 2003-03-31 2005-04-12 Matrix Semiconductor, Inc. Word line arrangement having multi-layer word line segments for three-dimensional memory array
US6768150B1 (en) * 2003-04-17 2004-07-27 Infineon Technologies Aktiengesellschaft Magnetic memory
US6873543B2 (en) * 2003-05-30 2005-03-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Memory device
US7291878B2 (en) * 2003-06-03 2007-11-06 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Ultra low-cost solid-state memory
US6985383B2 (en) * 2003-10-20 2006-01-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Reference generator for multilevel nonlinear resistivity memory storage elements
US7038941B2 (en) * 2003-12-19 2006-05-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Magnetic memory storage device
US7142456B2 (en) * 2004-10-08 2006-11-28 Lexmark International Distributed programmed memory cells used as memory reference currents
US7054219B1 (en) 2005-03-31 2006-05-30 Matrix Semiconductor, Inc. Transistor layout configuration for tight-pitched memory array lines
US7142471B2 (en) * 2005-03-31 2006-11-28 Sandisk 3D Llc Method and apparatus for incorporating block redundancy in a memory array
US7272052B2 (en) * 2005-03-31 2007-09-18 Sandisk 3D Llc Decoding circuit for non-binary groups of memory line drivers
US7359279B2 (en) * 2005-03-31 2008-04-15 Sandisk 3D Llc Integrated circuit memory array configuration including decoding compatibility with partial implementation of multiple memory layers
US7224630B2 (en) * 2005-06-24 2007-05-29 Freescale Semiconductor, Inc. Antifuse circuit
US7361561B2 (en) 2005-06-24 2008-04-22 Freescale Semiconductor, Inc. Method of making a metal gate semiconductor device
US7777261B2 (en) * 2005-09-20 2010-08-17 Grandis Inc. Magnetic device having stabilized free ferromagnetic layer
WO2007046128A1 (ja) * 2005-10-17 2007-04-26 Renesas Technology Corp. 半導体装置およびその製造方法
JP4410272B2 (ja) * 2007-05-11 2010-02-03 株式会社東芝 不揮発性メモリ装置及びそのデータ書き込み方法
KR101493868B1 (ko) * 2008-07-10 2015-02-17 삼성전자주식회사 자기 메모리 소자의 구동 방법
JP4749454B2 (ja) * 2008-09-02 2011-08-17 ルネサスエレクトロニクス株式会社 薄膜磁性体記憶装置
US7894248B2 (en) * 2008-09-12 2011-02-22 Grandis Inc. Programmable and redundant circuitry based on magnetic tunnel junction (MTJ)
US8400860B2 (en) * 2010-07-20 2013-03-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Electrical fuse memory
US8547736B2 (en) * 2010-08-03 2013-10-01 Qualcomm Incorporated Generating a non-reversible state at a bitcell having a first magnetic tunnel junction and a second magnetic tunnel junction
US8927909B2 (en) 2010-10-11 2015-01-06 Stmicroelectronics, Inc. Closed loop temperature controlled circuit to improve device stability
US8767435B1 (en) * 2010-12-03 2014-07-01 Iii Holdings 1, Llc Field programming method for magnetic memory devices
US8809861B2 (en) 2010-12-29 2014-08-19 Stmicroelectronics Pte Ltd. Thin film metal-dielectric-metal transistor
US9159413B2 (en) 2010-12-29 2015-10-13 Stmicroelectronics Pte Ltd. Thermo programmable resistor based ROM
US8526214B2 (en) 2011-11-15 2013-09-03 Stmicroelectronics Pte Ltd. Resistor thin film MTP memory
US8923044B2 (en) 2012-08-20 2014-12-30 Qualcomm Incorporated MTP MTJ device
US9165631B2 (en) * 2012-09-13 2015-10-20 Qualcomm Incorporated OTP scheme with multiple magnetic tunnel junction devices in a cell
FR3018137A1 (de) 2014-03-03 2015-09-04 St Microelectronics Grenoble 2
US9455015B2 (en) 2014-10-10 2016-09-27 Everspin Technologies, Inc. High temperature data retention in magnetoresistive random access memory
KR20170056242A (ko) * 2015-11-13 2017-05-23 에스케이하이닉스 주식회사 전자 장치
DE102016112765B4 (de) 2016-07-12 2024-04-25 Infineon Technologies Ag Magnetspeicherbauelement und Verfahren zum Betreiben desselben
JP2023132810A (ja) * 2022-03-11 2023-09-22 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 半導体装置及び電子機器

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4162538A (en) * 1977-07-27 1979-07-24 Xerox Corporation Thin film programmable read-only memory having transposable input and output lines
US4931763A (en) * 1988-02-16 1990-06-05 California Institute Of Technology Memory switches based on metal oxide thin films
US5640343A (en) * 1996-03-18 1997-06-17 International Business Machines Corporation Magnetic memory array using magnetic tunnel junction devices in the memory cells
US5995409A (en) * 1998-03-20 1999-11-30 Silicon Aquarius, Inc. Electrically-programmable read-only memory fabricated using a dynamic random access memory fabrication process and methods for programming same
US6169688B1 (en) * 1998-03-23 2001-01-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic storage device using unipole currents for selecting memory cells
EP0959475A3 (de) * 1998-05-18 2000-11-08 Canon Kabushiki Kaisha Magnetischer Dünnfilmspeicher sowie Schreibe- und Leseverfahren und Anordnung unter Verwendung solchen Speichers

Also Published As

Publication number Publication date
EP1189239A3 (de) 2004-05-19
EP1189239A2 (de) 2002-03-20
CN100380527C (zh) 2008-04-09
HK1045754A1 (en) 2002-12-06
JP2002117684A (ja) 2002-04-19
EP1189239B1 (de) 2005-08-24
TW511089B (en) 2002-11-21
HK1045754B (zh) 2009-01-09
KR20020021614A (ko) 2002-03-21
DE60112860D1 (de) 2005-09-29
US6324093B1 (en) 2001-11-27
CN1345071A (zh) 2002-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60112860T2 (de) Dünnfilmspeicheranordnungen
DE60025152T2 (de) MRAM Speicher mit Differenzleseverstärkern
DE10228560B4 (de) Dünnfilmmagnetspeichervorrichtung mit einer Datenlesestromeinstellungsfunktion
DE60211531T2 (de) Mram mit mittelpunktsreferenzgenerator
DE60303835T2 (de) Magnetischer Direktzugriffsspeicher sowie entsprechendes Leseverfahren
DE102005053717B4 (de) Erfass-Verstärker-Bitleitungs-Verstärkungs-Schaltkreis
DE60205193T2 (de) Speicherleseverstärker
DE10036140C1 (de) Verfahren und Anordnung zum zerstörungsfreien Auslesen von Speicherzellen eines MRAM-Speichers
DE102006062969B3 (de) Zugriffsverfahren für ein Widerstandsspeicherbauelement und Magnetspeicherzellenfeld
DE10239596A1 (de) Magnetisches Dünnfilmspeicherbauelement
DE10220897A1 (de) Dünnfilmmagnetspeicher
DE10238307A1 (de) Halbleiterspeichervorrichtung zum Lesen von Daten basierend auf einer Speicherzelle, durch die während eines Zugriffs Strom fließt
DE60311954T2 (de) Magnetischer Direktzugriffspeicher zur Speicherung von Informationen unter Verwendung des Magnetoresistiveffekts
DE10303073A1 (de) Magnetische Dünnfilmspeichervorrichtung mit einer Dummyzelle
DE10059182C2 (de) Schaltungsanordnung zum zerstörungsfreien, selbstnormierenden Auslesen von MRAM-Speicherzellen
DE102005046425A1 (de) Array resistiver Speicherzellen und Verfahren zum Erfassen von Widerstandswerten solcher Zellen
DE10238782A1 (de) Dünnfilm-Magnetspeichervorrichtung mit Redundanzreparaturfunktion
DE10307991A1 (de) Magnetische Dünnfilmspeichervorrichtung zum Durchführen des Lesebetriebs nach einem selbstreferenzierenden Verfahren
DE102004039236B4 (de) Magnetischer Speicher
DE112019000653T5 (de) Hybrid-Konfigurationsspeicherzelle
DE60307459T2 (de) Mram-zelle und speicherarchitektur mit maximalem lesesignal und reduzierter elektromagnetischer interferenz
DE10303702A1 (de) Magnetische Dünnfilmspeichervorrichtung mit einem von einer Mehrzahl von Zellen gemeinsam genutzten Zugriffselement
DE102020114702A1 (de) Trimmen von speicherleseverstärkern
WO2004049348A1 (de) Sram-speicherzelle und verfahren zum kompensieren eines in die sram-speicherzelle fliessenden leckstroms
EP1189236A1 (de) Integrierter Speicher mit Speicherzellen mit magnetoresistivem Speichereffekt und Verfahren zum Betrieb eines solchen Speichers

Legal Events

Date Code Title Description
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT CO., L.P., HOUSTON, TE

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON, GYEONGGI, KR