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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallreiniger zum Bestrahlen
eines zu reinigenden Gegenstands in einer Reinigungsflüssigkeit
mit von einem Ultraschallwandler erzeugten Ultraschallwellen und
einen denselben aufweisenden Nassbehandlungsstutzen.
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Stand der
Technik
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Früher wurde
ein Ultraschall-Duschreiniger 450, wie er in 21 gezeigt
ist, verwendet, um Flüssigkristallanzeigetafeln
und Halbleiterwafer zu reinigen. Bei diesem Ultraschall-Duschreiniger 450 ist
ein hohler Bereich 452 zum Speichern einer Reinigungsflüssigkeit
S in der Innenseite eines Gehäuses 451 ausgebildet,
und ein Flüssigkeitsversorgungsanschluss 453 zum
Zuführen
einer Reinigungsflüssigkeit
S in den hohlen Bereich 452 ist in einem oberen Bereich
einer Seitenwand des Gehäuses 451 ausgebildet,
wie in der Figur gezeigt. Eine Düse 454 zum Auslassen
der Reinigungsflüssigkeit
S ist in dem unteren Bereich des Gehäuses 451 ausgebildet,
und ein Ultraschallwandler 455 ist an der oberen Fläche des
Gehäuses 451 installiert.
Um den zu reinigenden Gegenstand P zu reinigen, wird dieser Gegenstand
P unter dem Ultraschall-Duschreiniger 450 hindurch laufen
gelassen, und die Reinigungsflüssigkeit
S wird auf die Oberfläche
des Gegenstands P bei Betreiben des Ultraschallwandlers 455 mittels
eines nicht gezeigten Ultraschall-Wellengenerators geschüttet.
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Da
jedoch die Menge der Reinigungsflüssigkeit bei diesem Reinigungsverfahren
groß ist,
ist ein in 22 gezeigter, Wasser sparender
Ultraschallreiniger 460 vorstellbar. Dieser Ultraschallreiniger 460 hat
ein Gehäuse 461,
dessen Zentralbereich 461a abgesenkt ist und dessen Endbereich 461b wie ein
Schirm ausgebildet ist, ein Ultraschallwandler 462 ist
an der Oberfläche
des Zentralbereichs des Gehäuses 461 angeordnet,
und der durch die Reinigungsflüssigkeit
S unter dem Gehäuse 461 laufende Gegenstand
P wird mit Ultraschallwellen bestrahlt, um durch Schwingung des
Ultraschallwandlers 462 gereinigt zu werden.
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Ein
in 23 gezeigter Ultraschallreiniger 470 ist
ebenfalls vorstellbar, wobei dessen Reinigungsverfahren ähnlich dem
obigen Reinigungsverfahren ist. Dieser Ultraschallwandler 470 hat
ein erstes Gehäuse 471,
dessen Zentralbereich 471a abgesenkt ist und dessen Endbereich 471b um
den Zentralbereich 471a wie ein Schirm ausgebildet ist,
und ein zweites Gehäuse 472,
das dieses erste Gehäuse 471 umgibt,
dessen Zentralbereich 472a abgesenkt ist und dessen Endbereich 472b um
den Zentralbereich 472a wie ein Schirm ausgebildet ist.
Ein Packungselement 473 ist zwischen den Endbereichen 471b und 472b dieser
Gehäuse 471 und 472 sandwichartig
angeordnet, und ein hohler Bereich 474 ist zwischen dem
ersten Gehäuse 471 und
dem zweiten Gehäuse 472 ausgebildet.
Ferner wird eine Flüssigkeit,
um Leerheizen zu vermeiden, wie Wasser 475, in diesen hohlen
Bereich 474 gefüllt,
und ein Ultraschallwandler 476 wird an der Oberfläche des
Zentralbereichs des ersten Gehäuses 471 so
installiert, dass der durch die Reinigungsflüssigkeit S unter dem zweiten
Gehäuse 472 durchlaufende
Gegenstand P mit Ultraschallwellen durch Wasser 475 in
dem hohlen Bereich 474 bestrahlt wird, um durch Schwingung des
Ultraschallwandlers 476 gereinigt zu werden.
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Im
Fall des in 22 gezeigten Ultraschallreinigers 460,
der von einem Wasser sparenden Typ ist, versetzt die Schwingungsenergie
des Ultraschallwandlers 462 die Bodenfläche des Gehäuses 461 in Schwingung
und wird durch die Reinigungsflüssigkeit S
auf den Gegenstand P gestrahlt. Sie versetzt jedoch auch die Wandfläche des
Gehäuses 461 in Schwingung,
was zu dem Verlust an Energie führt.
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Im
Fall des in 23 gezeigten Ultraschallreinigers 470 differiert
die Dicke des Packungselements abhängig von einer Klemmkraft geringfügig, wodurch
die Dicke des hohlen Bereichs 474, d.h. die Tiefe des in
den hohlen Bereich 474 eingefüllten Wassers, differiert.
In diesem System, bei dem der Gegenstand mit Ultraschallwellen durch
Wasser bestrahlt wird, ändert
sich der von der Schallwellenstrahlungsfläche, die die Bodenfläche des
Zentralbereichs des zweiten Gehäuses
ist, abgestrahlte Schalldruck stark in Abhängigkeit von Variationen in der
Wassertiefe von der Relation zwischen der Wellenlänge einer
Ultraschall welle und der Wassertiefe. Mit anderen Worten wird der
Strahlungsschalldruck stark durch die Klemmkraft des Packungselements beeinflusst,
und es mangelt ihm an Stabilität.
Wenn die Wassertiefe nicht passend ist und der Strahlungsschalldruck
von der Ultraschallwellenstrahlungsfläche klein ist, kann ein Teil
der von dem Ultraschallwandler abgestrahlten Energie, der nicht
effektiv genutzt wird, als Energie zum In-Schwingung-versetzen der
Wandfläche
des zweiten Gehäuses
genutzt und verschwendet werden und kann andere Einrichtungen durch
die Schwingung des Gehäuses
beeinflussen.
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Ein
weiterer herkömmlicher
Reiniger ist in EP-A-0 603 008 offenbart. Hier verwendet eine Vorrichtung
einen Zweifach-Reservoir-Aufbau, wobei die Reservoirs durch ein
Wehr getrennt sind, und Gegenstände
werden über
Kontakt mit einem Reinigungsfluid gereinigt, während sie Megaschallschwingungen
unterzogen werden.
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Ein
weiterer Typ von Ultraschallreiniger, bei dem nur ein einzelnes
Reservoir verwendet wird, ist in GB 1 455 124 diskutiert.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ultraschallreiniger,
der die Kontrolle von Ultraschallwellenstrahlungseffizienz vereinfacht
und einen diesen aufweisenden Nassbehandlungsstutzen bereitzustellen.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird ein Ultraschallreiniger vorgesehen, aufweisend; ein
Gehäuse
mit einem U-förmigen
Querschnitt und einem hohlen Bereich darin; einen Ultraschallwandler,
der an der inneren Bodenfläche
eines inneren U-förmigen
Bereichs des Gehäuses
angeordnet ist; eine Flüssigkeit,
um Leerheizen zu verhindern, die in dem hohlen Bereich enthalten
ist, um Schwingung von dem Ultraschallwandler auf die äußere Bodenfläche eines äußeren U-förmigen Bereichs
des Gehäuses zu übertragen;
dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse so aufgebaut ist, dass
ein zweites Gehäuse,
dessen Zentralbereich abgesenkt ist und dessen Endbereich um den
Zentralbereich wie ein Schirm ausgebildet ist, um ein erstes Gehäuse herum
angeordnet ist, in dessen Zentralbereich abgesenkt ist und dessen
Endbereich um den Zentralbereich wie ein Schirm ausgebildet ist,
und der hohle Bereich zwischen dem ersten Gehäuse und dem zweiten Gehäuse durch
sandwichartiges Anordnen eines Packungselements zwischen den Endbereichen
des Gehäuses ausgebildet
ist und dass das Packungselement aus einem elastischen Element gefertigt
ist mit einem Durchgangsloch in der Mitte, das erste Gehäuse und das
zweite Gehäuse
aus einem Plattenelement gefertigt sind, das elastische Element
zwischen den schirmartigen Endbereich des ersten Gehäuses und den
schirmartigen Endbereich des zweiten Gehäuses durch einen Bolzen (18),
der diese Endbereiche durchdringt, sandwichartig angeordnet ist
und die Dicke des Packungselements durch Anpassen des Spanngrades
des Bolzens geändert
wird.
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Bei
dieser Ausführungsform
wird Schwingung durch das Gewicht verhindert, wenn die Dicke des
hohlen Bereichs, d.h. die Tiefe der Flüssigkeit zum Vermeiden von
Leerheizen, z.B. Wasser, nicht mit der Wellenlänge einer Ultraschallwelle übereinstimmt
gemäß dem Spanngrad
eines Packungselements und wenn durch den Ultraschallwandler erzeugte
Energie versucht, die Bodenfläche
des äußeren U-förmigen Bereichs
des Gehäuses
durch die Flüssigkeit
zum Vermeiden von Leerheizen in Schwingung zu versetzen. Daher kehrt
Schwingungsenergie zum Boden des Zentralbereichs des Gehäuses durch
die Flüssigkeit
zum Vermeiden von Leerheizen zurück
und wird von dem Boden effizient als Ultraschallwellen abgestrahlt.
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Die
Flüssigkeit
zum Vermeiden von Leerheizen ist vorzugsweise eine entgaste Flüssigkeit. Durch
Entgasen kann die Strömungsrate
der Flüssigkeit
zum Vermeiden von Leerheizen (Zirkulation zum Kühlen) stark reduziert werden.
Wenn die Flüssigkeit zum
Vermeiden von Leerheizen viele Blasen enthält, kann dasselbe Phänomen wie
Leerheizen auftreten.
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Da
das Gewicht ein Mittel zum Verbessern der Festigkeit des Gehäuses selbst
ist, kann es an der äußeren Wandfläche oder
der inneren Wandfläche
angeordnet werden. Es wird wünschenswerterweise
an der äußeren Wandfläche und/oder
an der inneren Wandfläche,
die den obigen äußeren U-förmigen Bereich
des Gehäuses
bilden, angeordnet.
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In
diesem Fall kann das Gewicht an der äußeren Wandfläche und/oder
an der inneren Wandfläche,
die den inneren U-förmigen
Bereich des Gehäuses
bildet, angeordnet werden, um Ultraschall-Schwingungsenergie von
dem an dem inneren U-förmigen
Bereich installierten Ultraschallwandler durch Erhöhen der
Festigkeit der Wand des inneren U-förmigen Bereichs daran zu hindern,
zu der Wand zu entweichen.
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Das
Gewicht wird außerhalb
einer Fläche, die
dem an dem inneren U-förmigen
Bereich an der inneren Bodenfläche
des äußeren U-förmigen Bereichs
installierten Ultraschallwandler entspricht, angeordnet, um Ultraschallenergie
daran zu hindern, von einem Bereich um die innere Bodenfläche des äußeren U-förmigen Bereichs
zu der Wand zu lecken. Das Gewicht wird außerhalb des an dem inneren
U-förmigen
Bereich installierten Ultraschallwandlers angeordnet, um Ultraschallenergie
daran zu hindern, von der inneren Bodenfläche des inneren U-förmigen Bereichs
zu der Wand zu lecken. Daher kann das Gewicht an der inneren Bodenfläche des äußeren U-förmigen Bereichs
und/oder der Bodenfläche des
inneren U-förmigen
Bereichs des Gehäuses
in einer Fläche
angeordnet sein, in der durch den Ultraschallwandler bewirkte Schwingung
nicht vermieden wird.
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Das
Gewicht ändert
die Festigkeit, des Gehäuses
selbst. Als Mittel, um dies zu erreichen, wird ein neues Gewicht
hinzugefügt,
oder die Dicke eines nötigen
Bereichs wird geeignet gewählt.
Daher kann das Mittel durch Ändern
der Dicke des äußeren U-förmigen Bereichs
oder des inneren U-förmigen
Bereichs des Gehäuses
ausgebildet werden.
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Vorzugsweise
wird das Gewicht an der gesamten Fläche der Wand des Gehäuses vorgesehen, um
die Festigkeit des Gehäuses
zu verbessern und Energie von dem Ultraschallwandler durch Verschieben
der Eigenfrequenz der Wand von der Eingabeschwingungsfrequenz daran
zu hindern, zu der Wand zu propagieren, um die Resonanz der Wand
zu vermeiden.
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Vorzugsweise
ist das Gehäuse
derart aufgebaut, dass ein zweites Gehäuse, dessen Zentralbereich
abgesenkt ist und dessen Endbereich um den Zentral bereich wie ein
Schirm ausgebildet ist, um ein erstes Gehäuse angeordnet ist, dessen
Zentralbereich abgesenkt ist und dessen Endbereich um den Zentralbereich
wie ein Schirm ausgebildet ist, und ein hohler Bereich ist zwischen
dem ersten Gehäuse
und dem zweiten Gehäuse
durch sandwichartiges Anordnen eines Packungselements zwischen den
Endbereichen der Gehäuse
ausgebildet.
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In
dem Gehäuse
wird eine geeignete Flüssigkeit
in diesem hohlen Bereich angeordnet, wodurch es ermöglicht wird,
das durch Heizen ohne eine Nassbehandlungsflüssigkeit unter dem Gehäuse verursachte
Brechen des Ultraschallwandlers zu vermeiden. Wenn sich die Nassbehandlungsflüssigkeit
unter dem Gehäuse
befindet, kann genügend
Ultraschallenergie zu der Nassbehandlungsflüssigkeit propagiert werden.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Nassbehandlungsstutzen vorgesehen,
der einen Einführdurchgang
zum Einführen
von Behandlungsflüssigkeit
an einer Seite, einen Abgabedurchgang zum Abgeben der Behandlungsflüssigkeit
an einer Seite, einen Abgabedurchgang zum Abgeben der Behandlungsflüssigkeit
nach einer Nassbehandlung an der anderen Seite und ein Schwingungsführungselement
aufweist, das zwischen den Einführdurchgang
und den Abgabedurchgang zum Führen
der von dem Einführdurchgang eingeführten Behandlungsflüssigkeit
zu einem zu behandelnden Gegenstand und Nassbehandeln des Gegenstands,
während
es in Schwingung versetzt wird, zwischengelagert ist, wobei das
obige Schwingungsführungselement
der o.g. Ultraschallreiniger der vorliegenden Erfindung ist.
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Mit
diesem Stutzen kann die Behandlungsflüssigkeit auf die zu behandelnde
Oberfläche
zugeführt
werden, und die benutzte Behandlungsflüssigkeit kann geeignet durch
den Abgabedurchgang abgegeben werden, was es ermöglicht, die Oberfläche immer
mit einer frischen Behandlungsflüssigkeit
zu behandeln und die Oberfläche
daran zu hindern, durch die benutzte Behandlungsflüssigkeit
wieder kontaminiert zu werden.
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Da
die Behandlungsflüssigkeit
in einem Raum zwischen der zu behandelnden Oberfläche und
dem Schwingungsführungselement
mit Druckgleichgewicht wie Grenzflächenspannung gehalten wird,
kann die Oberfläche
mit dem nötigen
Minimum der Behandlungsflüssigkeit
nassbehandelt werden, und Ultraschallschwingung kann auf alle Fälle auf
die zu behandelnde Oberfläche
angewendet werden.
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Außerdem ist,
selbst wenn die Behandlungsflüssigkeit
in dem Raum zwischen dem Ultraschall-Schwingungsführungselement
und der Behandlungsoberfläche
knapp wird, eine Flüssigkeit zum
Verhindern von Leerheizen in dem Raum zwischen dem Ultraschallwandler
und dem Ultraschall-Schwingungsführungselement
vorhanden, was es ermöglicht,
das Leerheizen des Ultraschallwandlers auf jeden Fall zu verhindern.
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Dieser
Nassbehandlungsstutzen ist auch mit einer Druckkontrolleinrichtung
zum Kontrollieren des Unterschieds zwischen dem Druck der Behandlungsflüssigkeit
in Kontakt mit dem zu behandelnden Gegenstand und atmosphärischem
Druck vorgesehen, um die Behandlungsflüssigkeit in Kontakt mit dem Gegenstand
daran zu hindern, zu der Außenseite des
Abgabedurchgangs nach der Nassbehandlung zu strömen.
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Kurze Beschreibung
der begleitenden Zeichnungen
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1A ist
eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines Ultraschallreinigers
gemäß der vorliegenden
Erfindung, und 1B ist eine vergrößerte, an
der Linie Ib-Ib aus 1A geschnittene Längsschnittansicht;
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2 ist
eine Längsschnittansicht,
die zeigt, dass einen zu reinigenden Gegenstand durch den in den 1A und 1B gezeigten
Ultraschallreiniger gereinigt wird;
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3 ist
eine Längsschnittansicht
einer zweiten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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4.
ist eine Längsschnittansicht
einer dritten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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5 ist
eine Längsschnittansicht
einer vierten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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6 ist
eine Längsschnittansicht
einer fünften
Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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7 ist
eine Längsschnittansicht
einer sechsten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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8 ist
eine Längsschnittansicht
einer siebten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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9 ist
eine Längsschnittansicht
einer achten Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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10A ist eine perspektivische Ansicht einer zehnten
Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung, und 10B ist eine vergrößerte, an
der Linie Xb-Xb aus 10A geschnittene Längsschnittansicht;
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11A ist eine perspektivische Ansicht einer elften
Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung, und 11B ist eine vergrößerte, an
der Linie XIb-XIb aus 11A geschnittene
Längsschnittansicht;
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12 ist
eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Nassbehandlungsstutzens gemäß der vorliegenden
Erfindung, und 12B ist eine vergrößerte, an
der Linie XIIb-XIIb aus 12A geschnittene
Längsschnittansicht;
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13 ist
eine Längsschnittansicht,
die zeigt, dass einen zu reinigenden Gegenstand durch den in 12A und 12B gezeigten
Nassbehandlungsstutzen gereinigt wird;
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14A ist eine perspektivische Ansicht einer ersten
Ausführungsform
eines weiteren Ultraschallreinigers, und 14B ist
eine vergrößerte, entlang
der Linie XIVb-XIVb aus 14A geschnittene
Längsschnittansicht;
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15 ist
eine Längsschnittansicht,
die zeigt, dass ein zu reinigender Gegenstand durch den in den 14A und 14B gezeigten
Ultraschallreiniger gereinigt wird;
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16 ist
eine Längsschnittansicht
einer zweiten Ausführungsform
eines weiteren Ultraschallreinigers;
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17 ist
eine Längsschnittansicht
einer dritten Ausführungsform
eines weiteren Ultraschallreinigers;
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18A ist eine perspektivische Ansicht einer vierten
Ausführungsform
eines weiteren Ultraschallreinigers, und 18B ist
eine vergrößerte, an der
Linie XVIIIb-XVIIIb aus 18A geschnittene Längsschnittansicht;
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19A ist eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform
eines weiteren Nassbehandlungsstutzens, und 19B ist
eine vergrößerte, an der
Linie XIXb-XIXb aus 19A geschnittene Längsschnittansicht;
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20 ist
eine Schnittansicht, die zeigt, dass ein zu reinigender Gegenstand
durch den in den 19A und 19B gezeigten
Nassbehandlungsstutzen gereinigt wird;
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21 ist
eine Längsschnittansicht
eines Ultraschall-Duschreinigers aus dem Stand der Technik:
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22 ist
eine Längsschnittansicht
eines Wasser sparenden Ultraschallreinigers aus dem Stand der Technik;
und
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23 ist
eine Längsschnittansicht
eines Wasser sparenden Ultraschallreinigers eines Doppeltanksystems
aus dem Stand der Technik.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
eines Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung werden im Anschluss unter Bezugnahme auf die begleitenden
Zeichnungen lediglich im Wege von Beispielen beschrieben.
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1A und 1B zeigen
die erste Ausführungsform
eines Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung.
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Dieser
Ultraschallreiniger 10 hat ein tankähnliches erstes Gehäuse 11,
dessen Zentralbereich 11a abgesenkt ist und dessen Endbereich 11b um
den Zentralbereich 11a wie ein Schirm ausgebildet ist,
und ein dieses erste Gehäuse 11 umgebendes
tankähnliches
zweites Gehäuse 12,
dessen Zentralbereich 12a abgesenkt ist und dessen Endbereich 12b um
den Zentralbereich 12a wie ein Schirm ausgebildet ist.
Ein Packungselement oder eine Dichtung 13 ist zwischen
den Endbereichen 11b und 12b der Gehäuse 11 und 12 sandwichartig
angeordnet, und ein hohler Bereich 14 ist zwischen dem
ersten Gehäuse 11 und
dem zweiten Gehäuse 12 ausgebildet.
Das Packungselement 13 ist an der gesamten Peripherie zwischen
den Endbereichen 11b und 12b des ersten und des
zweiten Gehäuses 11 und 12 vorgesehen
und durch eine Mehrzahl von Bolzen oder Schrauben 18 und
eine Mehrzahl von Muttern 19 befestigt.
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Wasser 15,
das entgast wurde, wird als eine Flüssigkeit zum Verhindern von
Leerheizen in den zwischen dem ersten Gehäuse 11 und dem zweiten Gehäuse gebildeten
hohlen Bereich 14 durch sandwichartiges Anordnen des Packungselements 13 dazwischen
gefüllt.
Wasser 15 wird zumindest in den Raum zwischen dem Zentralbereich 11a (Bodenfläche) des
ersten Gehäuses 11 und
den Zentralbereich 12a (Bodenfläche) des zweiten Gehäuses 12 gefüllt. Ferner
wird ein Ultraschallwandler 16 an der Oberfläche des
Zentralbereichs 11a des ersten Gehäuses 11 installiert,
und ein zu reinigender Gegenstand (nicht gezeigt), der durch die
Reinigungsflüssigkeit
(nicht gezeigt) unter einer Strahlungsfläche mit der Breite L des zweiten
Gehäuses 12 läuft, wird
mit Ultraschallwellen durch das Wasser 15 in dem hohlen
Bereich 14 durch In-Schwingung-versetzen oder Vibrieren des
Ultraschallwandlers 16 bestrahlt, um gereinigt zu werden.
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Ein
ringförmiges
Gewicht 17 ist an der gesamten Oberfläche des äußeren unteren Bereichs der
Wand 12c des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen.
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Eine
Funktion und eine Wirkung, die durch Vorsehen dieses Gewichts 17 erreicht
wird, wird im Anschluss beschrieben. Wie in 2 gezeigt,
wird der Zentralbereich 12a des zweiten Gehäuses 12 des Ultraschallreinigers 10 so
in die Reinigungsflüssigkeit S
getaucht, dass der zu reinigende Gegenstand unter dem Ultraschallreiniger 10 durchläuft. Der
Ultraschallwandler 16 wird durch einen nicht gezeigten
Ultraschallwellengenerator in Schwingung versetzt, um den unter
der Strahlungsoberfläche
mit der Breite L des zweiten Gehäuses 12 durchlaufenden
Gegenstand P mit Ultraschallwellen durch das Wasser 15 in dem
hohlen Bereich 14 zu bestrahlen, um es zu reinigen.
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Der
hohle Bereich 14 wird durch sandwichartiges Anordnen des
Packungselements 13 zwischen die Endbereiche 11b und 12b des
ersten Gehäuses 11 und
des zweiten Gehäuses 12 und
durch Fixieren desselben durch Spannen gebildet. Wenn die Dicke des
hohlen Bereichs 14, d.h. die Wassertiefe 15, nicht
mit der Wellenlänge
einer Ultraschallwelle gemäß dem Befestigungs-
oder Spanngrad des Packungselements 13 übereinstimmt, nimmt der Strahlungsschalldruck
von der Schallwellen-Strahlungsfläche, die die Bodenfläche des
Zentralbereichs 12a des zweiten Gehäuses 12 ist, ab. Obwohl
eine Komponente, die zu einer Reduzierung der von dem Ultraschallwandler 16 abgestrahlten
Schwingungsenergie äquivalent
ist, eingesetzt wird, um die Wandfläche 12c des zweiten
Gehäuses 12 in
Schwingung zu versetzen, wird die Schwingung der Wandfläche 12c durch
das Gewicht 17 unterdrückt.
Daher kehrt die Schwingungsenergie hin zu der Bodenfläche 12a des zweiten
Gehäuses 12 durch
das Wasser 15 zurück, um
von der Bodenfläche 12a als
eine Ultraschallwelle abgestrahlt zu werden. Als Ergebnis kann von
dem Ultraschallwandler 16 erzeugte Energie effizient auf den
zu reinigenden Gegenstand gestrahlt werden, unabhängig von
dem Spanngrad des Packungselements 13.
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Somit
ist das Gewicht 17 vorgesehen, um Änderungen im Strahlungsschalldruck
zu kontrollieren, die durch Änderungen
in der Wassertiefe erzeugt werden, die durch den Spannbetrag des
Packungselements 13 auf einen beinahe festen Wert bestimmt
wird.
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Die
zweite bis achte Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung werden im Anschluss mit Bezug auf die 3 bis 8 beschrieben.
Ein weiteres Gewicht wird dem Gewicht 17 der in den 1A und 1B gezeigten
ersten Ausführungsform
in diesen Ausführungsformen
hinzugefügt.
Denselben Elementen wie denjenigen in den 1A und 1B sind
dieselben Bezugszeichen gegeben, und ihre Beschreibung wurde weggelassen.
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Die
in 3 gezeigte zweite Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 20,
bei dem ein zweites ringförmiges
Gewicht 21 an der gesamten Oberfläche des inneren unteren Bereichs
der Wand 12c des Gehäuses 12 vorgesehen
ist. In der zweiten Ausführungsform
kann das Gewicht 17 durch Vorsehen des zweiten Gewichts 21 kleiner
gewählt
werden als in der ersten Ausführungsform,
wodurch die Breite des das Gehäuse 12 und
das Gewicht 17 aufweisenden Ultraschallreinigers reduziert
werden kann. Auch das Polieren der unteren Oberfläche des
Gewichts 17 kann einfacher ausgeführt werden.
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Die
in 4 gezeigte dritte Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 30,
bei dem ein drittes ringförmiges
Gewicht 31 an der gesamten Oberfläche des inneren unteren Bereichs
der Wand 11c des ersten Gehäuses 11 vorgesehen
ist. Die dritte Ausführungsform
kann von dem in dem ersten Gehäuse 11 vorgesehenen
Ultraschallwandler 16 abgestrahlte Ultraschallenergie durch
Vorsehen des dritten Gewichts 31 besser daran hindern,
zu der Wand 11c zu propagieren als die erste Ausführungsform,
wodurch der Anteil von Ultraschallenergie, der zu der Seite der Flüssigkeit
zum Verhindern von Leerheizen propagiert, stark gesteigert wird,
und die Abstrahlung von Ultraschallenergie von der äußeren Bodenfläche 12a kann
verbessert werden.
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Die
in 5 gezeigte vierte Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 40,
in dem ein viertes ringförmiges
Gewicht 41 an der gesamten Oberfläche des äußeren unteren Bereichs der
Wand 11c des ersten Gehäuses 11 vorgesehen
ist. Die vierte Ausführungsform
erzielt durch Vorsehen des vierten Gewichts 41 beinahe
denselben Effekt wie derjenige der dritten Ausführungsform.
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Die
in 6 gezeigte fünfte
Ausführungsform
ist ein Ultraschallreiniger 50, bei dem ein fünftes ringförmiges Gewicht 51 an
der gesamten Oberfläche
des inneren Randbereichs des Bodens 12a des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen
ist. In der fünften Ausführungsform
kann das Gewicht 17 kleiner gewählt werden als das der ersten
Ausführungsform, wodurch
die Breite des das Gehäuse 12 und
das Gewicht 17 aufweisenden Ultraschallreinigers reduziert werden
kann und das Polieren der unteren Oberfläche des Gewichts 17 besser
ausgeführt
werden kann, was es ermöglicht,
die Herstellungskosten zu reduzieren.
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Die
in 7 gezeigte sechste Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 60,
bei dem ein sechstes ringförmiges
Gewicht 61 an der gesamten Oberfläche des inneren Randbereichs
des Bodens 11a des ersten Gehäuses 11 vorgesehen
ist. Die sechste Ausführungsform
erreicht durch Vorsehen des sechsten Gewichts 61 beinahe
dieselbe Wirkung wie diejenige der dritten Ausführungsform.
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Die
in 8 gezeigte siebte Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 70,
bei dem ein siebtes ringförmiges
Gewicht 71 an der gesamten Oberfläche des inneren unteren Bereichs
der Wand 12c des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen
ist, und ein achtes ringförmiges
Gewicht 72 ist ebenfalls an der gesamten Oberfläche des
inneren Randbereichs des Bodens 12a des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen.
In der siebten Ausführungsform
kann das Gewicht 17 durch Vorsehen des siebten Gewichts 71 und
des achten Gewichts 72 kleiner gemacht werden als dasjenige
der fünften
Ausführungsform,
verglichen mit der ersten Ausführungsform,
wodurch die Breite des gesamten Gehäuses reduziert werden kann,
das Gewicht 17 und ein Bereich nahe dem äußeren, abgesenkten
Bereich 12 kann besser poliert werden als in der fünften Ausführungsform,
und die Stabilität
einer Nassbehandlung kann gesteigert werden.
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Die
in 9 gezeigte achte Ausführungsform ist ein Ultraschallreiniger 80,
bei dem ein neuntes ringförmiges
Gewicht 81 an der gesamten Oberfläche des inneren unteren Bereichs
der Wand 11c des ersten Gehäuses 11 vorgesehen
ist, ein zehntes ringförmiges
Gewicht 82 ist an der gesamten Oberfläche des äußeren unteren Bereichs der
Wand 11c des ersten Gehäuses 11 vorgesehen,
und ein elftes ringförmiges
Gewicht 83 ist an der gesamten Oberfläche des inneren Randbereichs
des Bodens 11a des Gehäuses 11 vorgesehen.
In der achten Ausführungsform
kann Ultraschallenergie von dem Boden 12a des zweiten Gehäuses 12 durch
Vorsehen des neunten Gewichts 81, des zehnten Gewichts 82 und
des elften Gewichts 83 effizient abgestrahlt werden, beinahe
wie in der dritten Ausführungsform.
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Es
werden weiter jeweils die neunte und die zehnte Ausführungsform
des Ultraschallreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung unter Bezugnahme auf die 10 und 11 beschrieben.
In diesen Ausführungsformen
ist das Gewicht 17 der in den 1a und 1b gezeigten
ersten Ausführungsform
durch andere Gewichte, die in dem ersten Gehäuse 11 oder dem zweiten
Gehäuse 12 angeordnet sind,
ersetzt. Denselben Elementen wie denjenigen in den 1A und 1B sind
dieselben Bezugszeichen gegeben, und deren Beschreibung wurde weggelassen.
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Die
in den 10A und 10B gezeigte neunte
Ausführungsform
ist ein Ultraschallreiniger 90, bei dem ein zwölftes ringförmiges Gewicht 91 an der
gesamten Oberfläche
des inneren unteren Bereichs der Wand 12c des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen
ist. Bei der neunten Ausführungsform
ist die Breite eines Behandlungsstutzens, anders als bei der ersten
Ausführungsform,
durch die Größe des zweiten
Gehäuses 12 bestimmt,
weil das Gewicht 17 nicht existiert, und wächst nicht
an, und das Polieren der äußeren Wandfläche und
der äußeren Bodenfläche des
zweiten Gehäuses 12 kann
extrem einfach ausgeführt
werden, was es einfach macht, einen Nassbehandlungsstutzen zu fertigen.
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Die
in den 11a und 11b gezeigte zehnte
Ausführungsform
ist ein Ultraschallreiniger 100, bei dem ein dreizehntes
ringförmiges
Gewicht 101 an der gesamten Oberfläche des inneren Randbereichs
des Bodens 12a des zweiten Gehäuses 12 vorgesehen
ist. Die zehnte Ausführungsform
kann durch Vorsehen des dreizehnten Gewichts 101 beinahe
dieselbe Wirkung erreichen wie diejenige der neunten Ausführungsform.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
eines Nassbehandlungsstutzens gemäß der vorliegenden Erfindung,
der den obigen Ultraschallreiniger aufweist, wird im Anschluss unter
Bezugnahme auf die 12A und 12B beschrieben.
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Dieser
Nassbehandlungsstutzen 110 umfasst einen Einführdurchgang 111 zum
Einführen
einer Behandlungsflüssigkeit
(nicht gezeigt) an einer Seite, einen Abgabedurchgang 112 zum
Abgeben der Behandlungsflüssigkeit
L nach einer Nassbehandlung an der anderen Seite und ein Schwingungsführungselement 113,
das zwischen dem Einführdurchgang 111 und
dem Abgabedurchgang 112 zwischengeordnet ist, zum Führen der
von dem Einführdurchgang 111 eingeführten Behandlungsflüssigkeit
zu einem zu behandelnden Gegenstand (nicht gezeigt) und Nassbehandeln
des Gegenstands, während
er in Schwingung versetzt wird. Der in den 1A und 1B gezeigte
Ultraschallreiniger 10 wird als das Schwingungsführungselement 113 verwendet.
Daher werden denselben Elementen wie denjenigen in den 1A und 1B dieselben
Bezugszeichen in den 12A und 12B gegeben, und
deren Beschreibungen werden weggelassen.
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In
den 12A und 12B ist
ein Einführdurchgangsrahmen 114 mit
dem darin ausgebildeten Einführdurchgang 111 aus
einer Metallplatte rostfreien Stahls mit einem L-förmigen Querschnitt
gefertigt, und sein Boden 114a wird mit dem Boden 12a des Schwingungsführungselements
bündig
oder beinahe bündig
gemacht. Der Einführdurchgangsrahmen 114 hat
ein Einführrohr 114b,
das sich schräg
nach oben in dem Zentralbereich in einer Längsrichtung erstreckt, und
seine Wand 114c ist mit dem an der äußeren Oberfläche der
Wand 12c des Schwingungsführungselements vorgesehenen
Gewicht durch Schweißen
verbunden. Diese Verbindung kann durch einen Bolzen und eine Mutter
ausgeführt
werden.
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In ähnlicher
Weise ist der Abgabedurchgangsrahmen 115 mit dem darin
ausgebildeten Abgabedurchgang 112 aus einer Metallplatte
rostfreien Stahls mit einem L-förmigen
Querschnitt gefertigt, und sein Boden 115a ist mit dem
Boden 12a des Schwingungsführungselements bündig oder
beinahe bündig
gemacht. Der Abgabedurchgangsrahmen 115 hat ein Abgaberohr 115b,
das sich schräg
nach oben in den Zentralbereich in einer Längsrichtung erstreckt, und
seine Wand 115c ist mit dem an der äußeren Oberfläche der
Wand des Schwingungsführungselements
vorgesehenen Gewicht 17 durch Schweißen verbunden. Diese Verbindung
kann durch einen Bolzen und eine Mutter ausgeführt sein.
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Dieser
Nassbehandlungsstutzen 110 ist mit einer Drucksteuerung
(nicht gezeigt) vorgesehen zum Kontrollieren der Differenz zwischen
dem Druck der Behandlungsflüssigkeit
in Kontakt mit dem zu behandelnden Gegenstand und dem atmosphärischen Druck,
so dass die Behandlungsflüssigkeit
im Kontakt mit dem Gegenstand nicht zur Außenseite des Abgabedurchgangs
nach der Nassbehandlung strömt.
Dieser Nassbehandlungsstutzen 110 ist auch mit einer Positionierungseinheit
(nicht gezeigt) vorgesehen zum Aufrechterhalten eines vorbestimmten Raums
zwischen dem Schwingungsführungselement 113 und
dem Gegenstand und Halten der Behandlungsflüssigkeit in dem Raum.
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Ein
Nassbehandlungsverfahren, das diesen Nassbehandlungsstutzen verwendet,
wird mit Bezug auf 13 beschrieben.
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Die
Behandlungsflüssigkeit
L, z.B. ultrareines Wasser, elektrolysiertes Ionen-Wasser, Ozon-Wasser
oder Wasserstoff-Wasser, wird dem zu behandelnden Gegenstand P durch
den Einführdurchgang 111 zugeführt, während der
zu behandelnde Gegenstand P und der Nassbehandlungsstutzen 110 jeweils
in Richtungen A und B relativ zueinander bewegt werden, und die
Behandlungsflüssigkeit
L wird von oberhalb des Gegenstands P abgegeben, ohne einen anderen
Bereich als den Bereich zu kontaktieren, dem die Behandlungsflüssigkeit
L zugeführt
wird, durch Kontrollieren der Differenz zwischen dem Druck der Behandlungsflüssigkeit
L in Kontakt mit dem Gegenstand P und dem atmosphärischen
Druck mittels der Drucksteuerung (nicht gezeigt).
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Der
in 12 gezeigte Nassbehandlungsstutzen umfasst den
in den 1A und 1B gezeigten
Ultraschallreiniger als das Schwingungsführungselement. Der Nassbehandlungsstutzen
der vorliegenden Erfindung ist nicht hierauf begrenzt, und die in
den 3 bis 11 gezeigten Ultraschallreiniger
können
verwendet werden.
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Nachfolgend
wird eine Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen eines weiteren
Ultraschallreinigers gegeben.
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Wie
in den 14A und 14B gezeigt, umfasst
ein Ultraschallreiniger 200, der die erste Ausführungsform
des anderen Ultraschallreinigers ist, ein tankähnliches Gehäuse 201,
dessen Zentralbereich 201a abgesenkt ist und dessen Endbereich 201b um
den Zentralbereich 201a wie ein Schirm ausgebildet ist,
einen Ultraschallwandler 216, der an der Oberfläche des
Zentralbereichs 201a des Gehäuses installiert ist, und ein
ringförmiges
Gewicht 217, das an der gesamten Oberfläche des äußeren unteren Bereichs der
Wand 201c des Gehäuses
vorgesehen ist.
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Dieser
Ultraschallreiniger 200 bestrahlt einen zu behandelnden
Gegenstand, der durch eine Reinigungsflüssigkeit (nicht gezeigt) unter
der Strahlungsfläche
mit der Breite L2 des Gehäuses 201 läuft, mit
Ultraschallwellen durch In-Schwingung-Versetzen des Ultraschallwandlers 216,
um es zu reinigen.
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Eine
durch Vorsehen dieses Gewichts 217 erhaltene Funktion und
Wirkung wird hierin im Anschluss beschrieben. Wie in 15 gezeigt,
ist der Zentralbereich 201a des Gehäuses 201 des Ultraschallreinigers 200 in
die Reinigungsflüssigkeit
S getaucht, und der Gegenstand P verläuft unterhalb des Ultraschallreinigers 216.
Der Ultraschallwandler 216 wird durch einen nicht gezeigten
Ultraschallwellengenerator in Schwingung versetzt, um den unter
der Strahlungsfläche
mit der Breite L2 des Gehäuses 201 hindurch
laufenden Gegenstand P mit Ultraschallwellen zu bestrahlen, um ihn
zu reinigen. Während
dieser Behandlung kann von dem Ultraschallwandler 216 abgestrahlte
Ultraschallenergie aufgrund der Existenz des Gewichts 217 extrem
gut daran gehindert werden, zu dem Gehäuse 201 und dem oberen Bereich
des Gewichts 217 zu propagieren, wodurch die Ultraschallenergie
von dem Boden 201a zu der Reinigungsflüssigkeit S propagiert, um den
Gegenstand gut zu reinigen.
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Die
zweite und die dritte Ausführungsform der
weiteren Ultraschallreiniger wird mit Bezug auf die 16 und 17 beschrieben.
In diesen Ausführungsformen
ist ein weiteres Gewicht zusätzlich zu
dem Gewicht 217 der ersten Ausführungsform des weiteren, in
den 14A und 14B gezeigten
Ultraschallreinigers vorgesehen. Denselben konstituierenden Elementen
wie den in den 14A und 14B gezeigten
werden dieselben Bezugszeichen gegeben, und deren Beschreibungen
werden weggelassen.
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Die
zweite Ausführungsform
des in 16 gezeigten weiteren Ultraschallreinigers
ist ein Ultraschallreiniger 230, bei dem ein zweites ringförmiges Gewicht 218 an
der gesamten Oberfläche
des inneren unteren Bereichs der Wand 201c des Gehäuses 201 vorgesehen
ist. In der zweiten Ausführungsform kann
das Gewicht 217 durch Vorsehen des Gewichts 218 kleiner
als dasjenige der ersten Ausführungsform
gewählt
werden, wodurch das Polieren der äußeren Wandfläche und
der das Gewicht 217 einschließenden äußeren Bodenfläche des
Gehäuses 201 sehr
einfach ausgeführt
werden kann und die Stabilität
des Stutzens verbessert wird. Der Effekt des Propagierens von Ultraschallenergie
zu der Reinigungsflüssigkeit
kann effektiv gleich demjenigen der in den 14A und 14B gezeigten ersten Ausführungsform gemacht werden.
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Die
dritte Ausführungsform
des in 17 gezeigten weiteren Ultraschallreinigers
ist ein Ultraschallreiniger 240, bei dem ferner ein drittes
ringförmiges
Gewicht 219 an der gesamten Oberfläche des inneren Randbereichs
des Bodens 201a des Gehäuses 201 des
in 16 gezeigten Reinigers vorgesehen ist. In dieser
dritten Ausführungsform
kann das Gewicht 217 durch Vorsehen der Gewichte 218 und 219 viel
kleiner gemacht werden als dasjenige der in den 14A und 14B gezeigten
ersten Ausführungsform.
Dadurch kann das Polieren der äußeren Wandfläche und
der äußeren Bodenfläche des
Gehäuses
einfacher ausgeführt
werden als bei der zweiten Ausführungsform,
und die Stabilität
des Nassbehandlungsstutzens kann verbessert werden.
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Weiter
wird die vierte Ausführungsform
eines weiteren Ultraschallreinigers unter Bezugnahme auf die 18A und 18B beschrieben.
In dieser Ausführungsform
wird das Gewicht 217 in der in den 14A und 14B gezeigten ersten Ausführungsform eliminiert, und
ein anderes Gewicht wird stattdessen an dem Gehäuse 201 vorgesehen.
Denselben konstituierenden Elementen wie denjenigen der 14A und 14B werden
dieselben Bezugszeichen gegeben, und deren Beschreibungen werden
weggelassen.
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Die
in den 18A und 18B gezeigte vierte
Ausführungsform
ist ein Ultraschallreiniger 250, bei dem ein viertes ringförmiges Gewicht 220 an der
gesamten Oberfläche
des inneren Randbereichs des Bodens 201a des Gehäuses 201 vorgesehen
ist. Da es in dieser Ausführungsform
nur das Gewicht 220 gibt und nichts anderes der äußeren Wandfläche des
Gehäuses 201 hinzugefügt ist,
verglichen mit der in den 14A und 14B gezeigten ersten Ausführungsform, kann das Polieren
der äußeren Wandfläche und
der äußeren Bodenfläche des
Gehäuses 201 am
einfachsten ausgeführt
werden, und die Stabilität
des Nassbehandlungsstutzens kann stark verbessert werden.
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Eine
Ausführungsform
des Nassbehandlungsstutzens, die den obigen Ultraschallreiniger
verwendet, wird unter Bezugnahme auf die 19A und 19B beschrieben.
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Dieser
Nassbehandlungsstutzen 310 umfasst einen Einführdurchgang 311 zum
Einführen
einer Behandlungsflüssigkeit
(nicht gezeigt) an einer Seite, einen Abgabedurchgang 312 zum
Abgeben der Behandlungsflüssigkeit
L nach einer Nassbehandlung an der anderen Seite und ein Schwingungsführungselement 313,
das zwischen den Einführdurchgang 311 und
den Abgabedurchgang 312 zwischengeordnet ist, zum Führen der
von dem Einführdurchgang 311 eingeführten Behandlungsflüssigkeit
zu einem zu behandelnden Gegenstand (nicht gezeigt) und Nassbehandeln
des Gegenstands, während
es in Schwingung versetzt wird. Der in 16 gezeigte
Ultraschallreiniger 230 wird als das Schwingungsführungselement 213 verwendet.
Daher werden denselben Ele menten wie denjenigen aus 16 dieselben
Bezugszeichen in den 19A und 19B gegeben,
und deren Beschreibungen werden weggelassen.
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In
den 19A und 19B ist
ein Einführdurchgangsrahmen 314 mit
dem darin ausgebildeten Einführdurchgang 311 aus
einer Metallplatte rostfreien Stahls mit einem L-förmigen Querschnitt
gebildet, und sein Boden 314a ist bündig oder beinahe bündig mit
dem Boden 201a des Schwingungsführungselements ausgebildet.
Der Einführdurchgangsrahmen 314 hat
ein Einführrohr 314b,
das sich schräg
nach oben in den Zentralbereich in einer Längsrichtung erstreckt, und
seine Wand 314c ist mit dem an der äußeren Oberfläche der
Wand 201c des Schwingungsführungselements vorgesehenen
Gewicht 317 durch Schweißen verbunden. Diese Verbindung
kann durch einen Bolzen und eine Mutter ausgeführt sein.
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In ähnlicher
Weise ist der Abgabedurchgangsrahmen 315 mit dem darin
ausgebildeten Abgabedurchgang 312 aus einer Metallplatte
rostfreien Stahls mit einem L-förmigen
Querschnitt gebildet, und sein Boden 315a ist bündig oder
beinahe bündig mit
dem Boden 201a des Schwingungsführungselements ausgebildet.
Der Abgabedurchgangsrahmen 315 hat ein Abgaberohr 315b,
das sich schräg
nach oben in den Zentralbereich in einer Längsrichtung erstreckt, und
seine Wand 315c ist mit dem an der äußeren Oberfläche der
Wand 201c des Schwingungsführungselements vorgesehenen
Gewicht 217 durch Schweißen verbunden. Diese Verbindung
kann durch einen Bolzen und eine Mutter ausgeführt sein.
-
Dieser
Nassbehandlungsstutzen 300 ist mit einer Drucksteuerung
(nicht gezeigt) zum Kontrollieren der Differenz zwischen dem Druck
der Behandlungsflüssigkeit
im Kontakt mit dem zu behandelnden Gegenstand und dem atmosphärischen
Druck vorgesehen, so dass die Behandlungsflüssigkeit im Kontakt mit dem
Gegenstand nach der Nassbehandlung nicht zu der Außenseite
des Entleerungsdurchgangs strömt.
Dieser Nassbehandlungsstutzen 300 ist auch mit einer Positionierungseinheit
(nicht gezeigt) vorgesehen, um einen vorbestimmten Raum zwischen dem
Schwingungsführungselement 313 und
dem Gegenstand aufrechtzuerhalten und die Behandlungsflüssigkeit
in dem Raum zu halten.
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Ein
Nassbehandlungsverfahren, das diesen Nassbehandlungsstutzen verwendet,
wird mit Bezug auf 20 beschrieben.
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Die
Behandlungsflüssigkeit
L, z.B. ultrareines Wasser, elektrolysiertes Ionen-Wasser, Ozon-Wasser
oder Wasserstoff-Wasser, wird dem zu behandelnden Gegenstand P durch
den Einführdurchgang 311 zugeführt, während der
zu behandelnde Gegenstand P und der Nassbehandlungsstutzen 300 jeweils
in Richtungen C und D relativ zueinander bewegt werden, und die
Behandlungsflüssigkeit
L wird von oberhalb des Gegenstands P abgegeben, ohne einen anderen
Bereich als denjenigen zu kontaktieren, dem die Behandlungsflüssigkeit
L zugeführt
wird, durch Kontrollieren der Differenz zwischen dem Druck der Behandlungsflüssigkeit
L in Kontakt mit dem Gegenstand P und dem atmosphärischen
Druck mittels der Drucksteuerung (nicht gezeigt).
-
Der
in den 19A und 19B gezeigte Nassbehandlungsstutzen
weist den in 16 gezeigten Ultraschallreiniger
als das Schwingungsführungselement
auf.