KR100375184B1 - 초음파 세정기 및 이를 구비하는 웨트처리 노즐 - Google Patents

초음파 세정기 및 이를 구비하는 웨트처리 노즐 Download PDF

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KR100375184B1 KR10-2000-0011809A KR20000011809A KR100375184B1 KR 100375184 B1 KR100375184 B1 KR 100375184B1 KR 20000011809 A KR20000011809 A KR 20000011809A KR 100375184 B1 KR100375184 B1 KR 100375184B1
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오노쇼이찌
소에지마준이찌로
다까하시노리히사
후지에아끼오
이와사끼미네오
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가부시끼가이샤가이죠
알프스 덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 초음파 방사효율의 조절이 용이한 초음파 세정기 및 이를 구비하는 웨트처리 노즐을 제공하는 것이다.
중앙부가 오목하고 주위의 말단부 (11) 가 차양형상으로 형성된 제 1 함체 (11) 를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부가 오목하고 주위의 말단부 (12b) 가 차양형상으로 형성된 제 2 함체 (12) 를 배치하고, 또 이들 함체의 말단부 사이에 패킹 (13) 을 볼트 (18) 와 너트 (19) 에 의해 끼우고, 제 1 함체와 제 2 함체 사이에 공동부 (14) 를 형성한다. 공동부 (14) 에 공분방지 (空焚防止) 용 탈기한 물 (15; 통, 주전자, 솥 등이 비워져 있는 상태로 가열되는 것을 방지하는 탈기한 물) 을 채우고, 또 제 1 함체의 중앙부 표면에 초음파 진동자 (16) 를 배치한다. 그리고, 제 2 함체의 벽면 (12c) 에 이 벽면의 진동을 방지하는 추 (17) 를 설치한다. 추 (17) 에 의해 함체 벽면의 진동이 억지되기 때문에 진동 에너지는 물 (15) 을 통하여 함체의 중앙의 저면 방향으로 되돌아가고, 저면 (12c) 에서부터 초음파로서 고효율로 방사된다.

Description

초음파 세정기 및 이를 구비하는 웨트처리 노즐 {ULTRASONIC CLEANER AND WET PROCESSING NOZZLE WITH THE SAME}
본 발명은 초음파 진동자에 의한 초음파를 세정액 중의 피세정물에 조사하는 초음파 세정기 및 이를 구비한 웨트처리 노즐 (wet treatment nozzle) 에 관한 것이다.
종래, 액정 패널이나 반도체 웨이퍼를 한매씩 세정하는데 예를 들면, 도 21 에서 나타낸 바와 같은 초음파 샤워 세정기 (450) 가 사용되고 있다. 이 초음파 샤워 세정기 (450) 는, 도시되어 있는 것과 같이 함체 (451) 의 내부에 세정액 (S) 을 저류하는 공동부 (452) 가 형성되어 있고, 이 함체 (451) 의 측면 상부에는 상기 공동부 (452) 에 세정액 (S) 을 공급하는 급액구 (453) 가 형성되어 있다. 또, 함체 (451) 의 하부에는 세정액 (S) 을 방출하기 위한 노즐 (454) 이 설치되어 있고, 함체 (451) 의 상면에는 초음파 진동자 (455) 가 부착되어 있다. 세정 방법은 피세정물 (P) 을 이 초음파 샤워 세정기 (450) 밑을 통과시켜, 그 때의 도시하지 않은 초음파 발신 장치에 의해 초음파 진동자 (455) 를 구동하고, 세정액 (S) 을 피세정물 (P) 의 표면에 방사시켜서 세정을 행한다.
그런데, 이 세정방법에서는 세정액의 사용량이 많기 때문에, 절수형으로써 도 2 에 나타낸 초음파 세정기 (460) 가 고려된다. 이 초음파 세정기 (460) 는중앙부 (461a) 가 오목하고, 주위의 말단부 (461b) 가 차양형상으로 형성된 함체 (461) 를 갖추고 있으며, 이 함체 (461) 의 중앙부 표면에는 초음파 진동자 (462) 가 배치되어 있고, 이 초음파 진동자 (462) 를 진동시킴으로써 함체 (461) 의 하측의 세정액 (S) 중을 통과하는 피세정물 (P) 에 초음파를 조사하여 세정하도록 한 것이다.
또, 이 세정방법과 유사하지만, 도 23 에 나타낸 초음파 세정기 (470) 도 고려된다. 이 초음파 세정기 (470) 는, 중앙부 (471a) 가 오목하고 주위의 말단부 (471b) 가 차양형상으로 형성된 제 1 함체 (471) 와, 이 제 1 함체 (471) 를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부 (472a) 가 오목하고 주위의 말단부 (472b) 가 차양형상으로 형성된 제 2 함체 (472) 를 가진다. 그리고, 이들 함체 (471, 472) 의 말단부 (471b, 472b) 사이에 패킹 (473) 이 끼워져 있어, 제 1 함체 (471) 와 제 2 함체 (472) 사이에 공동부 (474) 가 형성되어 있다. 또한, 이 공동부 (474) 에는 공분방지 (空焚防止) 를 위한 액체 (통, 주전자, 솥 등이 비워져 있는 상태로 가열되는 것을 방지하는 액체), 예를 들면 물 (475) 이 채워져 있으며, 동시에 제 1 함체 (471) 의 중앙부 표면에는 초음파 진동자 (476) 가 배치되어 있어, 이 초음파 진동자 (476) 를 진동시킴으로써 공동부 (474) 안의 물 (475) 을 통해 제 2 함체 (472) 의 하측의 세정액 (S) 중을 통과하는 피세정물 (P) 에 초음파를 조사하여 세정하도록 한 것이다.
그런데, 도 22 에 나타낸 초음파 세정기 (460) 의 경우, 절수형이긴 하나,초음파 진동자 (462) 의 진동 에너지는 함체 (461) 의 저면을 진동시켜 세정액 (S) 을 통해 피세정물 (P) 에 방사되는 것외에는, 함체 (461) 의 벽면을 진동시켜 버리는 에너지의 낭비가 발생한다.
도 23 에 나타낸 초음파 세정기 (470) 의 경우, 패킹의 두께가 조임력에 의해 미묘하게 다르고, 그 결과 공동부 (474) 의 두께, 즉 내부에 채운 물의 깊이가 변화된다. 이 방식과 같이 물을 통해 피세정물에 초음파를 조사하는 방법에서는, 물의 깊이가 변함으로써, 초음파의 파장과 물의 깊이와의 관계에서 제 2 함체의 중앙부인 저면의 음파 방사면으로부터의 방사음압이 크게 변화한다. 즉, 패킹의 조임력에 의해 방사음압이 좌우되어 안정도가 떨어지게 된다. 이렇게 물의 깊이가 적당하지 않고 초음파 방사면으로부터의 방사음압이 적을 때, 초음파 진동자로부터 방사된 에너지 중 유효하게 이용되지 않는 부분이 제 2 함체의 벽면을 진동시키는 에너지로 사용되어 낭비될 뿐만 아니라, 함체의 진동에 의한 다른 장치로도 영향을 미칠 위험이 있다.
본 발명의 과제는 초음파 방사효율의 조절이 용이한 초음파 세정기 및 이를 구비한 웨트처리 노즐의 제공에 있다.
도 1 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 1 실시 형태를 나타내고, 도 1 의 (a) 는 그 사시도, 도 1 의 (b) 는 도 1 의 (a) 의 Ib-Ib 선을 따른 확대종단면도.
도 2 는 도 1 에 나타낸 초음파 세정기에 의한 피세정물의 세정 상태를 나타내는 종단면도.
도 3 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 2 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 4 는 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 3 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 5 는 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 4 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 6 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 5 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 7 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 6 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 8 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 7 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 9 는 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 8 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 10 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 10 실시 형태를 나타내고, 도 10 의 (a) 는 그 사시도, 도 10 의 (b) 는 도 10 의 (a) 의 Xb-Xb 선을 따른 확대종단면도.
도 11 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 11 실시 형태를 나타내고, 도 11 의 (a) 는 그 사시도, 도 11 의 (b) 는 도 11 의 (a) 의 XIb-XIb 선을 따른 확대종단면도.
도 12 는 본 발명에 관한 웨트처리 노즐의 일 실시 형태를 나타내고, 도 12 의 (a) 는 그 사시도, 도 12 의 (b) 는 도 12 의 (a) 의 XIIb-XIIb 선을 따른 확대종단면도.
도 13 은 도 12 에 나타낸 웨트처리 노즐에 의한 피세정물의 세정 상태를 나타내는 종단면도.
도 14 는 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 1 실시 형태를 나타내고, 도 14 의 (a) 는 그 사시도, 도 14 의 (b) 는 도 14 의 (a) 의 XIVb-XIVb 선을 따른 확대종단면도.
도 15 은 도 14 에 나타낸 초음파 세정기에 의한 피세정물의 세정 상태를 나타내는 종단면도.
도 16 은 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 2 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 17 은 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 3 실시 형태를 나타내는 종단면도.
도 18 는 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 4 실시 형태를 나타내고, 도 18 의 (a) 는 그 사시도, 도 18 의 (b) 는 도 18 의 (a) 의 XVIIIb-XVIIIb 선을 따른 확대종단면도.
도 19 는 본 발명에 관한 다른 웨트처리 노즐의 일 실시 형태를 나타내고, 도 19 의 (a) 는 그 사시도, 도 19 의 (b) 는 도 19 의 (a) 의 XIXb-XIXb 선을 따른 확대종단면도.
도 20 은 도 19 에 나타낸 웨트처리 노즐에 의한 피세정물의 세정 상태를 나타내는 단면도.
도 21 은 종래의 초음파 샤워 세정기의 종단면도.
도 22 는 종래의 절수형 초음파 세정기의 종단면도.
도 23 은 종래의 2 중 욕조 형식의 절수형 초음파 세정기의 종단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 …초음파 세정기 11 …제 1 함체
12 …제 2 함체 13 …패킹
14 …공동부 15 …물
16 …초음파 진동자 17,21,31,41,51,61 …추
71,72,81,82,83,91 …추 110 …웨트처리 노즐
111 …도입 통로 112 …배출 통로
113 …진동 가이드 부재
본 발명에 관한 초음파 세정기는, 단면이 오목형상인 함체를 구비하고, 이 함체의 오목 내면에 초음파 진동자를 배설하며, 상기 함체에 함체 벽면의 진동을 방지하는 추를 설치한 것을 특징으로 하고 있다.
이러한 구성으로 하면, 벽면으로 초음파 에너지가 새어나가는 일이 없이 저면에서부터 초음파로서 고효율로 방사된다.
상기 추는 함체의 강성을 높이기 위한 것으로, 내벽면, 외벽면 중 어느 쪽이라도 상관없기 때문에, 상기 함체의 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽 이상에 설치되도록 할 수도 있다.
또한, 상기 추는 초음파 진동자로부터의 에너지가 함체를 도피하지 않도록 하기 위한 것으로서, 초음파 진동자가 설치되어 있는 내저면에 있으면 추 설치부분으로부터 밖으로 초음파 에너지가 새어나가지 않게 되기 때문에, 상기 함체의 내저면이면서 상기 초음파 진동자에 의한 진동을 저해하지 않는 영역의 내저면에 설치되어 있을 수도 있다.
상기 추는 함체의 강성을 높이는 수단으로서 소정 부분의 두께를 다른 곳 보다 두껍게 해도 동일한 기능을 달성할 수 있기 때문에, 상기 함체 자체의 두께를 변경함으로써 형성할 수도 있다.
또, 상기 추는 함체의 강성을 높이고, 벽면의 고유 진동수를 진동입력의 주파수로부터 어긋나게 함으로써, 공진하지 않게 하여 벽면에 초음파 진동자로부터의 에너지가 전달 운반되는 것을 방지하기 위해 상기 함체의 벽면 전 주위에 걸쳐 설치하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 웨트처리 노즐은, 일측에 처리액을 도입하는 도입통로와 타측에 웨트처리 후의 처리액을 배출하는 배출통로를 구비함과 동시에, 상기 도입통로와 상기 배출통로의 사이에 피처리물에 대해 상기 도입통로에서 도입한 처리액을 가이드하고, 또 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재를구비하며, 상기 진동 가이드 부재는 상술한 초음파 세정기인 것을 특징으로 하고 있다.
이러한 노즐에 의하면, 피처리면에 처리액이 공급됨과 동시에 사용이 끝난 처리액을 배출통로를 통해 적절히 배출할 수 있으므로, 항상 신선한 처리액으로 피처리면을 처리하는 것이 가능해지고, 사용이 끝난 처리액에 의한 피처리면의 재오염을 방지할 수 있다.
또, 처리액이 피처리면과 진동 가이드 부재와의 틈새에 계면장력 등의 압력 밸런스로 유지될 수 있기 때문에, 최소 필요량의 처리액으로 피처리면을 웨트 처리할 수 있고, 동시에 확실하게 피처리면에 초음파 진동을 부여하는 것이 가능하다.
추를 설치한 초음파 세정기를 진동 가이드 부재로 사용하기 때문에, 웨트 처리에 필요한 초음파 에너지를 얻을 수 있고, 최소 필요량의 처리액으로 매우 양호한 처리가 가능해진다.
이 웨트처리 노즐에 있어서는, 피처리물에 접촉한 처리액이 웨트처리 후에 배출통로 밖으로 흐르지 않도록 피처리물과 접촉하고 있는 처리액의 압력과 대기압과의 차를 제어하기 위한 압력 제어 수단이 설치되어 있다. 이 압력 제어 수단은, 예를 들면 배출통로측 하류에 설치된 흡인 펌프와 도입통로측 상류에 설치된 급액 펌프로 구성되어 있고, 또 피처리물과 접촉하고 있는 처리액의 압력을 탐지하기 위한 압력 센서를 가지며, 이 압력 센서로부터의 신호에 의해 흡인 펌프 및 급액 펌프의 구동을 제어하기 위한 제어 장치를 갖추고 있다.
본 발명에 관한 다른 초음파 세정기는, 단면 형상이 오목형상이고 내부에 공동부를 갖는 함체를 구비하며, 이 함체의 오목 내면에 초음파 진동자를 배설하고, 상기 공동부에 상기 초음파 진동자로부터의 진동을 상기 함체의 오목 외면의 외저면에 전달하는 공분방지액을 넣고, 상기 함체에 함체 벽면의 진동을 방지하는 추를 설치한 것을 특징으로 한다.
이렇게 구성하면, 예를 들어 패킹의 조임 정도에 따라 공동부의 두께, 즉 공분방지액, 예를 들면 물의 깊이가 초음파의 파장과 매치하지 않고, 초음파 진동자에 의해 발생한 에너지가 공분방지액을 통해 함체의 오목 외면의 저면을 진동시키려 해도 추에 의해 진동이 억제되기 때문에, 진동 에너지는 공분방지액을 통해 함체 중앙의 저면 방향으로 되돌아가서, 저면에서부터 초음파로서 고효율로 방사된다.
공분방지액으로는 탈기한 액을 사용하는 것이 바람직하다. 탈기함으로써 공분방지액의 유량 (냉각을 위한 순환) 도 대폭으로 저감할 수 있다. 만일 이 공분방지액 중에 기포가 다수 존재하면, 다시 공분과 동일한 현상이 발생하는 경우가 있기 때문이다.
상기 추는 함체 자체의 강성을 높이기 위한 수단이기 때문에 외면의 외벽면 및 내벽면의 어느 곳이라도 상관없으므로, 함체의 상기 오목 외면을 이루는 외벽면과 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우 추는 또한, 오목 내면의 벽면의 강성을 높이기 위해, 오목 내면에 설치한 초음파 진동자로부터의 초음파 진동 에너지가 벽면으로 도피하지 않도록 하기 위해, 함체의 상기 오목 내면을 이루는 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되어 있도록 할 수도 있다.
상기 추는 오목 외면의 내저면에 있어서, 오목 내면에 설치된 초음파 진동자에 상당하는 면적의 외측에 설치함으로써, 오목 외면의 내저면의 주변에서 벽면으로 초음파 에너지가 새어나가는 것을 방지할 수 있는 것과, 오목 내면에 설치된 초음파 진동자의 외측에 설치함으로써, 오목 내면의 내저면으로부터 벽면으로의 초음파 에너지가 새어나가는 것을 방지하기 위해, 상기 함체의 상기 오목 외면의 내저면 및 상기 오목 내면의 저면 중 적어도 한쪽으로서 상기 초음파 진동자에 의한 진동을 저해하지 않는 영역의 내저면 또는 저면에 설치되어 있을 수도 있다.
상기 추는 함체 자체의 강성을 변화하기 위한 것으로서, 그 달성 수단으로는 새롭게 추를 더하는 방식과 필요한 부분을 적당한 두께로 하는 방식도 있기 때문에, 함체의 상기 외오목면 또는 상기 내오목면의 두께를 변경함으로써 형성할 수도 있다.
상기 추는, 함체의 강성을 높이고, 벽면의 고유 진동수를 진동 입력의 주파수로부터 어긋나게 함으로써, 공진하지 않도록 하여 벽면에 초음파 진동자로부터의 에너지가 전달 운반하는 것을 방지하기 위해 상기 함체의 벽면 전 주위에 걸쳐 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기 함체는, 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 1 함체를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 2 함체를 배치하며, 또한, 이들 함체의 말단부 사이에 패킹을 끼워 이 제 1 함체와 제 2 함체 사이에 상기 공동부를 형성하여 이루어지는 것이 바람직하다.
이러한 함체에 의하면, 이 공동부에 적당한 액체를 넣어, 이것에 의해 함체 하측에 웨트처리액이 없어도 공분이 발생되지 않고 초음파 진동자가 훼손되는 것을 방지할 수 있다. 또, 웨트처리액이 함체 하측에 있을 경우에는, 웨트처리액에 충분한 초음파 에너지를 전달 운반할 수 있다.
본 발명에 관한 상기한 것외의 다른 초음파 세정기에 있어서, 상기 패킹은 중앙부에 관통구멍을 갖는 탄성부재로 이루어지고, 상기 제 1 함체 및 제 2 함체는 판상부재로 이루어지며, 제 1 함체의 상기 차양형상의 말단부와 제 2 함체의 상기 차양형상의 말단부에 의한 탄성부재를 끼워 붙이는 것을 이들 말단부를 관통하는 볼트에 의해 행하고, 또한 볼트의 조임 조절에 의해 패킹의 두께를 변경할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
이렇게 구성하면, 제 1 함체의 차양형상의 말단부와 제 2 함체의 차양형상의 말단부와의 사이에 끼워 붙이게 되어 있는 탄성 부재의 두께를 볼트의 조임 정도의 조절에 의해 조정할 수 있어, 초음파의 방사 강도의 조정을 용이하게 할 수 있다.
또, 본 발명에 관한 다른 웨트처리 노즐은, 한쪽에 처리액을 도입하는 도입통로와 다른 쪽에 웨트처리 후의 처리액을 배출하는 배출통로를 구비함과 동시에, 상기 도입통로와 상기 배출통로의 사이에, 피처리물에 대해 상기 도입통로에서 도입한 처리액을 가이드하고 또 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재를 갖추고, 상기 진동 가이드 부재는 상술한 본 발명의 초음파 세정기인 것을 특징으로 한다.
이러한 노즐에 의하면, 피처리면에 처리액이 공급됨과 동시에 사용이 끝난처리액을 배출통로를 통해 적절히 배출할 수 있게 되므로, 항상 신선한 처리액으로 피처리면을 처리하는 것이 가능해지고, 사용이 끝난 처리액에 의한 피처리면의 재오염을 방지할 수 있다.
또, 처리액이 피처리면과 진동 가이드 부재와의 틈새에 계면장력 등의 압력 밸런스로 유지될 수 있기 때문에, 최소 필요량의 처리액으로 피처리면을 웨트 처리할 수 있으며, 확실하게 피처리면에 초음파 진동을 부여하는 것이 가능하다.
게다가 이 구성을 취함으로써, 만일 초음파 진동 가이드 부재와 피처리면과의 사이에 처리액이 부족하다고 해도 초음파 진동자와 초음파 진동 가이드 부재와의 사이에 공분방지액을 가지게 되므로, 초음파 진동자의 공분을 확실하게 방지할 수 있다.
이 웨트처리 노즐에도, 상기와 같은 피처리물에 접촉한 처리액이 웨트처리 후에 배출통로 밖으로 흐르지 않도록 피처리물과 접촉하고 있는 처리액의 압력과 대기압과의 차를 제어하기 위한 압력 제어 수단이 설치된다.
(발명의 실시 형태)
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 초음파 세정기의 실시 형태에 대해 설명한다.
도 1 은 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 1 실시 형태를 나타낸 것이다.
이 초음파 세정기 (10) 는 중앙부 (11a) 가 오목하고, 주위의 말단부 (11b) 가 차양형상으로 형성된 욕조형상의 제 1 함체 (11) 와, 이 제 1 함체 (11) 를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부 (12a) 가 오목하고, 주위의 말단부 (12b) 가 차양형상으로 형성된 욕조형상의 제 2 함체 (12) 를 갖는다. 이들 함체 (11, 12) 의 차양형상의 말단부 (11b, 12b) 의 사이에 패킹 (13) 이 끼워져 있어, 제 1 함체 (11) 와 제 2 함체 (12) 의 사이에 공동부 (14) 가 형성되어 있다. 또, 패킹 (13) 은 제 1, 2 의 함체 (11, 12) 의 말단부 (11b, 12b) 사이의 전 주위에 걸쳐 배치되고, 복수의 볼트 (18) 와 너트 (19) 에 의해 조여져 있다.
이 패킹 (13) 이 끼워져 있음으로 인해 형성된 제 1 함체 (11) 와 제 2 함체 (12) 사이의 공동부 (14) 에는, 공분방지액으로서 탈기한 물 (15) 이 넣어져 있다. 물 (15) 은, 적어도 제 1 함체 (11) 의 중앙부 (저면) (11a) 와 제 2 함체 (12) 의 중앙부 (저면) (12a) 사이에 틈새없이 채워져 있다. 또한, 제 1 함체 (11) 의 중앙부 (11a) 의 표면에는 초음파 진동자 (16) 가 배치되어 있어, 초음파 진동자 (16) 를 진동시킴으로써 공동부 (14) 중의 물 (15) 을 통해 제 2 함체 (12) 의 횡폭 (L) 으로 이루어지는 방사면 하방의 세정액 (도시생략) 안을 통과하는 피세정물 (도시생략) 에 초음파를 조사하고 세정한다.
또, 제 2 함체 (12) 의 벽면 (12c) 의 하부 외측에는 벽면 (12c) 의 주위 전체에 걸쳐 링형상의 추 (17) 가 설치되어 있다.
이 추 (17) 를 설치함으로 인한 작용 효과를 설명하면, 도 2 에 나타낸 바와 같이, 초음파 세정기 (10) 의 제 2 함체 (12) 의 중앙부 (12a) 가 세정액 (S) 에 침지하도록 배치하여, 초음파 세정기 (10) 의 하방을 피세정물 (P) 이 통과하도록 한다. 그리고, 도시를 생략한 초음파 발신 장치에 의해 초음파 진동자 (16) 를 진동시키고, 공동부 (14) 중의 물 (15) 을 통해 제 2 함체 (12) 의 횡폭 (L) 으로이루어지는 방사면의 하방을 통과하는 피세정물 (P) 에 초음파를 조사하여 세정한다.
그런데, 제 1 함체 (11) 와 제 2 함체 (12) 는 그 말단부 (11b, 12b) 에 패킹 (13) 을 끼우고 죄임 고정하여 공동부 (14) 를 형성하고 있으나, 패킹 (13) 의 조임 정도에 의해 공동부 (14) 의 두께, 즉 물 (15) 의 깊이가 초음파의 파장과 맞지않는 경우, 제 2 함체 (12) 의 중앙부 (12a) 인 저면의 음파방사면으로부터의 방사음압이 감소한다. 초음파 진동자 (16) 에서 방사된 진동 에너지가 감소한 부분은 제 2 함체 (12) 의 벽면 (12c) 을 진동시키려고 하지만, 추 (17) 에 의해 진동이 억제되기 때문에, 진동 에너지는 물 (15) 을 통해 제 2 함체 (12) 의 저면 (12a) 방향으로 되돌아가서 저면 (12a) 에서부터 초음파로서 방사된다. 이 때문에 패킹 (13) 의 조임 정도에 구애받지 않고, 초음파 진동자 (16) 로부터 발생된 에너지를 고효율로 피세정물에 조사할 수 있게 된다.
이렇게, 패킹 (13) 의 조임량에 의해 좌우되는 수심의 변화에 의해 본래 발생하는 방사음압의 변화를 추 (17) 를 설치함으로써 거의 일정하게 제어할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 2 내지 제 8 의 실시 형태를 각각 도 3 내지 도 8 에 따라 설명한다. 또, 이들 실시 형태는 도 1 에 나타낸 제 1 실시 형태에 있어서 추 (17) 에 또 다른 추를 부가한 것이므로, 도 1 에서 나타낸 구성부재와 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 3 에 나타낸 제 2 실시 형태는 링형상의 제 2 추 (21) 를 제 2 함체 (12)의 벽면 (12c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (20) 이다. 제 2 추 (21) 를 설치함으로써, 제 2 실시 형태는 제 1 실시 형태에 비하여 추 (17) 를 작게 할 수 있고, 이로써 전체적으로 함체 (12) 와 추 (17) 로 이루어지는 초음파 세정기 자체의 폭을 작게 할 수 있다. 또, 추 (17) 하부면의 연마처리 등이 보다 양호하게 행하기 쉽게 된다.
도 4 에 나타낸 제 3 실시 형태는, 링형상의 제 3 추 (31) 를 제 1 함체 (11) 의 벽면 (11c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (30) 이다. 제 3 추 (31) 를 설치함으로써, 제 3 실시 형태는 제 1 실시 형태와 비교하여 더욱, 제 1 함체 (11) 에 설치된 초음파 진동자 (16) 로부터 방사되는 초음파 에너지가 벽면 (11c) 으로 전달 운반되는 것을 방지할 수 있고, 결과로서 공분방지액 측에 전달 운반되는 초음파 에너지의 비율이 매우 좋게 되기 때문에, 외저면 (12c) 에서부터의 초음파 에너지의 방사를 크게 할 수 있다.
도 5 에 나타낸 제 4 실시 형태는, 링형상의 제 4 추 (41) 를 제 1 함체 (11) 의 벽면 (11c) 의 외면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (40) 이다. 제 4 추 (41) 를 설치함으로써, 제 4 실시 형태는 제 3 실시 형태의 효과와 거의 동등한 효과를 갖는다.
도 6 에 나타낸 제 5 실시 형태는 링형상의 제 5 추 (51) 를 제 2 함체 (12) 의 저면 (12c) 의 내면 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (50) 이다. 제 5 추 (51) 를 설치함으로써, 제 5 실시 형태는 제 1 실시 형태에 비교하여 더욱더 추 (17) 를 작게 할 수 있고, 이로 인해 전체적으로 함체 (12) 와 추 (17) 로이루어지는 초음파 세정기의 폭을 작게 할 수 있음과 동시에, 추 (17) 의 하부면의 연마처리가 보다 양호하게 가능해지므로 제작 비용의 삭감을 꾀할 수 있다.
도 7 에 나타낸 제 6 실시 형태는 링형상의 제 6 추 (61) 를 제 1 함체 (11) 의 저면 (11a) 의 내면 주변부의 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (60) 이다. 제 6 추 (61) 를 설치함으로써, 제 6 실시 형태는 제 3 실시 형태의 효과와 거의 동등한 효과를 갖는다.
도 8 에 나타낸 제 7 실시 형태는 링형상의 제 7 추 (71) 를 제 2 함체 (12) 의 벽면 (12c) 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치하고, 또 링형상의 제 8 추 (72) 를 제 2 함체 (12) 의 저면 (12a) 의 내면 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (70) 이다. 제 7 추 (71) 및 제 8 추 (72) 를 설치함으로써, 제 7 실시 형태는 제 1 실시 형태와 비교하여 추 (17) 를 제 5 실시 형태보다도 작게 할 수 있고, 이로 인해 전체적인 함체의 폭을 작게 할 수 있으며, 제 5 실시 형태보다도 더욱 연마처리가 추 (17) 와 오목 외면 (12) 의 경계 부분까지 양호하게 처리되어, 웨트처리의 안정성을 증대할 수 있다.
도 9 에 나타낸 제 8 실시 형태는 링형상의 제 9 추 (81) 를 제 1 함체 (11) 의 벽면 (11c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치하고, 또 링형상의 제 10 추 (82) 를 제 1 함체 (11) 의 벽면 (11c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치하며, 추가로 링형상의 제 11 추 (83) 를 제 1 함체 (11) 의 저면 (11a) 의 내면 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (80) 이다. 제 9 추 (81), 제 10 추 (82) 및 제 11 추 (83) 를 설치함으로써, 제 8 실시 형태는 제 3 실시 형태와 거의동등하게 제 2 함체 (12) 의 저면 (12a) 에서부터 양호하게 초음파 에너지를 방사할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 초음파 세정기의 제 9 및 제 10 실시 형태는, 각각 도 10 및 도 11 에 따라서 설명한다. 이들 실시 형태는 도 1 에 나타낸 제 1 실시 형태에 있어서 추 (17) 를 제거하고 대신에 다른 추를 제 1 함체 (11) 또는 제 2 함체 (12) 에 설치한 것으로, 도 1 에 나타낸 구성부재와 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 10 에 나타낸 제 9 실시 형태는 링형상의 제 12 추 (91) 를 제 2 함체 (12) 의 벽면 (12c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (90) 이다. 제 12 추 (91) 를 설치함으로써, 제 9 실시 형태는 제 1 실시 형태에 비하여 추 (17) 가 없기 때문에, 제 2 함체 (12) 의 크기에 의해 처리 노즐의 폭이 결정되어 노즐 자체의 폭이 증가하지 않는 것과, 제 2 함체 (12) 의 외벽면 및 외저면의 연마처리를 매우 용이하게 실시할 수 있어, 웨트처리 노즐 제작이 용이하게 이루어지도록 하는 효과를 가진다.
도 11 에 나타낸 제 10 실시 형태는 링형상의 제 13 추 (101) 를 제 2 함체 (12) 의 저면 (12a) 의 내면 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (100) 이다. 제 13 추 (101) 를 설치함으로써 제 10 실시 형태는 제 9 실시 형태와 거의 동등한 효과를 갖는다.
다음으로, 상술한 초음파 세정기를 이용한 본 발명의 웨트처리 노즐의 일 실시 형태를 도 12 에 따라 설명한다.
이 웨트처리 노즐 (110) 은 한쪽에 처리액 (도시생략) 을 도입하는 도입통로 (111) 와 다른 쪽에 웨트처리 후의 처리액 (S) 을 배출하는 배출통로 (112) 를 구비함과 동시에, 도입통로 (111) 와 배출통로 (112) 의 사이에 피처리물 (도시생략) 에 대해 도입통로 (111) 에서 도입한 처리액을 가이드하고, 또한 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재 (113) 를 설치하고 있다. 진동 가이드 부재 (113) 는 도 1 에 나타낸 초음파 세정기 (10) 를 사용하고 있다. 따라서, 도 12 에서 도 1 과 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 12 에 있어서, 도입통로 (111) 를 형성한 도입통로 형틀 (114) 은 단면이 L 자형인 스테인리스 스틸로 형성된 금속판으로 이루어지고, 그 저면 (114a) 이 진동 가이드 부재의 저면 (12a) 과 만나거나 거의 만나도록 형성되어 있다. 도입통로 형틀 (114) 은 길이방향의 중앙부에 비스듬하게 상방으로 연장된 도입관 (114b) 을 형성하고 있고, 벽면 (114c) 이 용접법에 의해 진동 가이드 부재의 외벽면 (12c) 에 설치한 추 (17) 에 결합되어 있다. 또, 이 결합은 볼트 등에 의한 결합 방법으로 실행할 수도 있다.
마찬가지로, 배출통로 (112) 를 형성한 배출통로 형틀 (115) 은 단면이 L 자형인 스테인리스 스틸로 형성된 금속판으로 이루어지고, 그 저면 (115a) 이 진동 가이드 부재의 저면 (12a) 과 만나거나 거의 만나도록 형성되어 있다. 배출통로 형틀 (115) 은 길이 방향 중앙부에 비스듬하게 상방으로 연장된 배출관 (115b) 을 형성하고 있고, 벽면 (115c) 이 용접법에 의해 진동 가이드 부재의 외벽면(12c) 에 설치한 추 (17) 에 결합되어 있다. 또, 이 결합은 볼트 등에 의한 결합 방법에 따라 실행할 수도 있다.
이 웨트처리 노즐 (110) 에는 피처리물에 접촉한 처리액이 웨트처리 후에 배출통로 밖으로 흐르지 않도록 피처리물과 접촉하고 있는 처리액의 압력과 대기압과의 차를 제어하기 위한 압력 제어 장치 (도시생략) 가 설치된다. 또, 이 웨트처리 노즐 (110) 에는 진동 가이드 부재 (113) 와 피처리물을 소정 간극으로 유지하고, 이 간극에 처리액을 유지시키는 위치결정 장치 (도시생략) 가 설치된다.
이 웨트처리 노즐을 사용한 웨트처리 방법을 도 13 에 따라서 설명한다.
피처리물 (P) 과 웨트처리 노즐 (110) 을 각각 화살표 A, B 방향으로 상대적으로 이동시키면서 처리액 (S), 예를 들면 정제수, 전해이온수, 오존수, 수소수를 도입통로 (111) 를 통해 피처리물 (P) 에 순차적으로 공급하고, 이 처리액 (S) 을 피처리물 (P) 과 접촉하고 있는 처리액 (S) 의 압력과 대기압과의 차를 압력 제어 장치 (도시생략) 에 의해 제어함으로써 공급한 부분 이외의 부분에 접촉시키지 않고 피처리물 (P) 상에서 배출한다.
도 12 에 나타낸 웨트처리 노즐은, 도 1 에 나타낸 초음파 세정기를 진동 가이드 부재로서 사용하고 있으나, 본 발명의 웨트처리 노즐은 이에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 도 3 내지 도 11 에 나타낸 초음파 세정기 등을 사용할 수도 있다.
다음으로, 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 실시 형태를 설명한다.
다른 초음파 세정기의 제 1 실시 형태인 초음파 세정기 (200) 는, 도 14 에나타낸 것과 같이 중앙부 (201a) 가 오목하고, 주위의 말단부 (201b) 가 차양형상으로 형성된 욕조형상의 함체 (201) 와, 이 함체 중앙부 (201a) 의 표면에 배치된 초음파 진동자 (216) 와, 함체 벽면 (201c) 의 외면 하부에 벽면의 주위 전체에 걸쳐 설치한 링형상의 추 (217) 로 구성되어 있다.
이 초음파 세정기 (200) 는, 초음파 진동자 (216) 를 진동시킴으로써 함체 (201) 의 횡폭 (L2) 으로 이루어지는 방사면 하방의 세정액 (도시생략) 안을 통과하는 피세정물 (도시생략) 에 초음파를 조사하여 세정한다.
이 추 (217) 를 설치한 것으로 인한 작용 효과를 설명하면, 도 15 에 나타낸 것과 같이 초음파 세정기 (200) 의 함체 (201) 의 중앙부 (201a) 가 세정액 (S) 중에 침지하도록 배치하여, 초음파 세정기 (216) 하방을 피세정물 (P) 이 통과하도록 한다. 그리고, 도시를 생략한 초음파 발신 장치에 의해 초음파 진동자 (216) 를 진동시켜, 함체 (201) 의 횡폭 (L2) 으로 이루어지는 방사면의 하방을 통과하는 피세정물 (P) 에 초음파를 조사하여 세정한다. 이 처리시에, 추 (217) 가 있기 때문에, 초음파 진동자 (216) 로부터 방사된 초음파 에너지가 함체 (201) 를 전달 운반하여 추 (217) 의 상방으로 전달 운반되는 것을 극히 양호하게 방지할 수 있고, 이로 인해 양호하게 저면 (201a) 에서부터 초음파 에너지가 세정액 (S) 에 전달 운반되어 양호하게 세정할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 2 및 제 3 실시 형태를 각각 도 16 및 도 17 에 따라서 설명한다. 이들 실시 형태는 도 14 에 나타낸 다른 초음파 세정기의 제 1 실시 형태에 있어서 추 (217) 에 부가하여 또 다른 추를 부가한 것으로, 도 14 에 나타낸 구성부재와 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 16 에 나타낸 다른 초음파 세정기의 제 2 실시 형태는, 링형상의 제 2 추 (218) 를 함체 (201) 의 벽면 (201c) 의 내면 하부의 주위 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (230) 이다. 이 제 2 실시 형태는 도 14 에 나타낸 제 1 실시 형태에 비하여 더욱 더, 추 (218) 를 설치함으로써 추 (217) 를 작게 할 수 있고, 이로 인해 추 (217) 를 포함한 함체 (201) 의 외벽면, 외저면의 연마처리가 용이하게 되고, 노즐의 안정성이 향상된다. 또 초음파 에너지를 유효하게 세정액에 전달 운반시키는 효과도, 도 14 에 나타낸 제 1 실시 형태와 동등하게 할 수 있다.
도 17 에 나타낸 다른 초음파 세정기의 제 3 실시 형태는, 도 16 에 나타낸 세정기에 다시 링형상의 제 3 추 (219) 를 함체 (201) 의 저면 (201a) 내면의 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (240) 이다. 이 제 3 실시 형태는 도 14 에 나타낸 제 1 실시 형태와 비교하면 추 (218, 219) 를 설치함으로써 추 (217) 를 더욱 작게 할 수 있다. 이로 인해 제 2 실시 형태보다도 함체의 외벽면 및 외저면의 연마처리가 극히 용이하게 양호하게 수행되어, 웨트처리 노즐의 안정성을 더할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 다른 초음파 세정기의 제 4 실시 형태를 도 18 을 따라서 설명한다. 이 실시 형태는, 도 14 에 나타낸 제 1 실시 형태에 있어서 추 (217) 를 제거하고 대신에 다른 추를 함체 (201) 에 설치한 것이므로, 도 14 에 나타낸 구성부재와 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 18 에 나타낸 제 4 실시 형태는, 링형상의 제 4 추 (220) 를 함체 (201) 의 저면 (201a) 내면의 주변부 전면에 걸쳐 설치한 초음파 세정기 (250) 이다. 이 실시 형태는 도 14 에 나타낸 제 1 실시 형태와 비교하여 더욱, 추 (220) 만으로 이루어져서 함체 (201) 의 외벽면에 부가하는 것이 없으므로 함체 (201) 의 외벽면, 외저면의 연마처리가 가장 용이하게 이루어지기 때문에, 웨트처리 노즐의 안정성을 대폭 향상시킬 수 있다.
다음으로, 상술한 초음파 세정기를 이용한 본 발명의 웨트처리 노즐의 일 실시 형태를 도 19 에 따라서 설명한다.
이 웨트처리 노즐 (310) 은, 한쪽에 처리액 (도시생략) 을 도입하는 도입통로 (311) 와 다른 쪽에 웨트처리 후의 처리액 (S) 을 배출하는 배출통로 (312) 를 구비함과 동시에, 도입통로 (311) 와 배출통로 (312) 의 사이에 피처리물 (도시생략) 에 대해 도입통로 (311) 에서 도입한 처리액을 가이드하고, 또 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재 (313) 를 설치하고 있다. 진동 가이드 부재 (313) 는 도 16 에 나타낸 초음파 세정기 (230) 를 사용하고 있다. 따라서, 도 19 에서 도 16 과 동일부재에는 동일부호를 붙이고, 이들 부재의 설명을 생략한다.
도 19 에 있어서, 도입통로 (311) 를 형성한 도입통로 형틀 (314) 은 단면이 L 자형인 스테인리스 스틸로 형성된 금속판으로 이루어지고, 그 저면 (314a) 이 진동 가이드 부재의 저면 (201a) 과 만나거나 거의 만나도록 형성되어 있다. 도입통로 형틀 (314) 은 길이 방향의 중앙부에 비스듬하게 상방으로 연장된 도입관(314b) 을 형성하고 있고, 벽면 (314c) 을 용접법에 의해 진동 가이드 부재의 벽면 (201c) 에 설치한 추 (217) 에 결합되어 있다. 또, 이 결합은 볼트 등에 의한 결합 방법에 따라 실행할 수도 있다.
마찬가지로, 배출통로 (312) 를 형성한 배출통로 형틀 (315) 은 단면이 L 자형인 스테인리스 스틸로 형성된 금속판으로 이루어지고, 그 저면 (315a) 이 진동 가이드 부재의 저면 (201a) 과 만나거나 거의 만나도록 형성되어 있다. 배출통로 형틀 (315) 은 길이 방향의 중앙부에 비스듬하게 상방으로 연장된 배출관 (315b) 을 형성하고 있고, 벽면 (315c) 을 용접법에 의해 진동 가이드 부재의 외벽면 (201c) 에 설치한 추 (217) 에 결합되어 있다. 또, 이 결합은 볼트 등에 의한 결합 방법에 따라 실행할 수도 있다.
이 웨트처리 노즐 (300) 에는 피처리물에 접촉한 처리액이 웨트처리 후에, 배출통로 밖으로 흐르지 않도록 피처리물과 접촉하고 있는 처리액의 압력과 대기압과의 차를 제어하기 위한 압력 제어 장치 (도시생략) 가 설치된다. 또, 이 웨트처리 노즐 (300) 에는 진동 가이드 부재 (313) 와 피처리물을 소정 간극으로 유지하고, 이 간극에 처리액을 유지시키는 위치결정 장치 (도시생략) 가 설치된다.
다음으로, 이 웨트처리 노즐을 사용한 웨트처리 방법을 도 20 에 따라 설명한다.
피처리물 (P) 과 웨트처리 노즐 (300) 을 각각 화살표 C, D 방향으로 상대적으로 이동시키면서 처리액 (S), 예를 들면 정제수, 전해이온수, 오존수, 수소수를 도입통로 (311) 를 통해 피처리물 (P) 에 순차적으로 공급하고, 이 처리액 (S) 을 피처리물 (P) 과 접촉하고 있는 처리액 (S) 의 압력과 대기압과의 차를 압력 제어 장치 (도시생략) 에 의해 제어함으로써 공급한 부분 이외의 부분에 접촉시키지 않고 피처리물 (P) 상에서 배출한다.
도 19 에 나타낸 다른 웨트처리 노즐은, 도 16 에 나타낸 초음파 세정기를 진동 가이드 부재로서 사용하고 있으나, 본 발명의 웨트처리 노즐은 이에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 도 14, 도 17 또는 도 18 등에 나타낸 다른 초음파 세정기 등을 사용할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 초음파 세정기에 의하면, 추에 의해 함체 벽면의 진동이 억제되기 때문에, 진동 에너지는 공분방지액을 통해 또는 함체 자체를 통해 함체 중앙의 저면 방향으로 되돌아가고, 저면에서부터 초음파로서 고효율로 방사된다. 따라서, 초음파 방사효율의 조절이 용이한 초음파 세정기 및 이를 이용한 웨트처리 노즐로 된다.

Claims (26)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 한쪽에 처리액을 도입하는 도입통로와 다른 쪽에 웨트처리 후의 처리액을 배출하는 배출통로를 구비함과 동시에, 상기 도입통로와 상기 배출통로의 사이에 피처리물에 대해 상기 도입통로에서 도입한 처리액을 가이드하고, 또 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재를 갖춘 웨트처리 노즐에 있어서,
    상기 진동 가이드 부재가, 단면이 오목형상인 함체를 구비하고, 이 함체의 내저면에 초음파 진동자를 배설하며, 상기 함체에 함체 벽면의 진동을 방지하는 추를 설치한 초음파 세정기인 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  7. 단면이 오목형상이며 내부에 공동부를 갖는 함체를 구비하고, 이 함체의 오목 내면의 내저면에 초음파 진동자를 배설하고, 상기 공동부에 상기 초음파 진동자로부터의 진동을 상기 함체의 오목 외면의 외저면에 전달하는 공분방지액을 넣고, 상기 함체에 함체 벽면의 진동을 방지하는 추를 설치한 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 추가 함체의 상기 오목 외면을 이루는 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 추가 함체의 상기 오목 내면을 이루는 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  10. 제 7 항에 있어서, 상기 추가 함체의 상기 오목 외면의 내저면 및 상기 오목 내면의 저면 중 적어도 한쪽이면서 상기 초음파 진동자에 의한 진동을 저해하지 않는 영역의 내저면 또는 저면에 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  11. 제 7 항에 있어서, 상기 추가 함체의 상기 외오목면 또는 상기 내오목면의 두께를 변경함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  12. 제 7 항에 있어서, 상기 추가 상기 함체의 벽면 전 주변에 걸쳐 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 함체는, 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 1 함체를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 2 함체를 배치하며, 또한, 이들 함체의 말단부 사이에 패킹을 끼우고, 이 제 1 함체와 제 2 함체 사이에 상기 공동부를 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 패킹이 중앙부에 관통구멍을 갖는 탄성부재로 이루어지고, 상기 제 1 함체 및 제 2 함체는 판상부재로 이루어지고, 제 1 함체의 상기 차양형상의 말단부와 제 2 함체의 상기 차양형상의 말단부에 의한 탄성부재를 끼워 붙이는 것을 이들 말단부를 관통하는 볼트에 의해 행하고, 또한 볼트의 조임 조절에 의해 패킹의 두께를 변경할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 초음파 세정기.
  15. 한쪽에 처리액을 도입하는 도입통로와 다른 쪽에 웨트처리 후의 처리액을 배출하는 배출통로를 구비함과 동시에, 상기 도입통로와 상기 배출통로의 사이에 피처리물에 대해 상기 도입통로에서 도입한 처리액을 가이드하고, 또 진동을 부여하면서 피처리물을 웨트처리하는 진동 가이드 부재를 갖춘 웨트처리 노즐에 있어서, 상기 진동 가이드 부재가 제 7 항에 기재된 초음파 세정기인 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  16. 제 6 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  17. 제 6 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 내저면으로서 상기 초음파 진동자에 의한 진동을 저해하지 않는 영역의 내저면에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  18. 제 6 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 두께를 변경함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐
  19. 제 6 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 상기 함체의 벽면 전 주변에 걸쳐 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  20. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 상기 오목 외면을 이루는 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  21. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 상기 오목 내면을 이루는 외벽면 및 내벽면의 적어도 한쪽에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  22. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 상기 오목 외면의 내저면 및 상기 오목 내면의 저면 중 적어도 한쪽이면서 상기 초음파 진동자에 의한 진동을 저해하지 않는 영역의 내저면 또는 저면에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  23. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 함체의 상기 외오목면 또는 상기 내오목면의 두께를 변경함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  24. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 추가 상기 함체의 벽면 전 주변에 걸쳐 설치되는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  25. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 함체는 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 1 함체를 둘러싸고, 마찬가지로 중앙부가 오목하고 주위의 말단부가 차양형상으로 형성된 제 2 함체를 배치하며, 또한, 이들 함체의 말단부 사이에 패킹을 끼우고, 이 제 1 함체와 제 2 함체 사이에 상기 공동부를 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
  26. 제 15 항에 있어서, 상기 초음파 세정기에서 상기 패킹이 중앙부에 관통구멍을 갖는 탄성부재로 이루어지고, 상기 제 1 함체 및 제 2 함체는 판상부재로 이루어지며, 제 1 함체의 상기 차양형상의 말단부와 제 2 함체의 상기 차양형상의 말단부에 의한 탄성부재를 끼워 붙이는 것을 이들 말단부를 관통하는 볼트에 의해 행하고, 또한 볼트의 조임 조절에 의해 패킹의 두께를 변경할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 웨트처리 노즐.
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