DE3147823A1 - "bad zur galvanischen abscheidung von palladium oder palladiumlegierungen und ein verfahren zur abscheidung von palladium oder palladiumlegierungen mit diesem bad" - Google Patents
"bad zur galvanischen abscheidung von palladium oder palladiumlegierungen und ein verfahren zur abscheidung von palladium oder palladiumlegierungen mit diesem bad"Info
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Description
3Η7823
Die Erfirdung bezieht sich auf Zusammensetzungen und Verfahren
zur galvi nisclien Abscheidung von Paltn.d:i.unimotal.l oder 1'u.lladiuinlegie
rangen auf Substraten aus Bädern, die Palladium in Form von Palladium-amin-Verbindungen, wie Palladoaminchlorid,
das ist Fd(NH )2C1, enthalten.
Es gibt ein verhältnismäßig umfangreiches Schrifttum, das die
galvanische Abscheidung von Palladium und seiner Legierungen auf Subs !.raten zum Gegenstand hat. Dieser Stand der Technik
wird durch die nachstehend aufgeführten Patentschriften wiedergegeben: US-PSe 3 530 050, 3 58O 820, 3 677 909,
k 066 3I7 und h O98 656. Aus diesen Patentschriften ist zu
ersehen, daß die Palladiummetallkomponente des galvanischen Bades, entweder allein oder in Verbindung mit einem legiez-enden
Metall eingesetzt, vorzugsweise in Form von Amin-Komplexsalzen,
wie z.B. Pallado-amin-chlorid und Palladium-diamin-dinitrit,
vorliegt,
Die im Stand der Technik offenbarten aminkomplexhaltigen
Bäder zu:: galvanischen Abscheidung von Palladium oder Palladiuralegiorungen
werden normalerweise bei einem pH-¥ert im Bereich von etwa 6,5 bis 10,0 betrieben. Nachteilig ist, daß
diese Bäder im Gebrauch immer schwerer zu betreiben sind,
wenn sie auf Temperaturen von etwa 20 bis 70 C erwärmt werden,
weil der pH-Wert dazu neigt,auf 5 oder darunter zu sinken.
lean der pH-Wert auf dieses Niveau gesunken ist, findet vorzeitiges
Ausfallen des Pallcidiunimetallsalzes 3owio dn:; Salzes
des legierenden Metalls statt. Es ist schon empfohlen worden,
diesen unerwünschten pH-Wertabfall durch Verwendung -von Puffern,
wie Ammonium- oder Allcalimetallphosphaten zu vermeiden. Jedoch
hatte die Verwendung solcher Puffer den ungünstigen Effekt, das unerwünschte Ausfallen dieser Metalle als Phosphate zu verursachen.
Folglich ist die Hauptschwierigkeit, die mit der Verwendung von palladiumaminlcomplexhaltigen Elektrolyten verbunden
ist, die häufig notwendige pH-Werteinsteilung und Vermeidung
vorzeitigen Ausfallens von Palladium und/oder seinen Legierungsmetallen,
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Schwierigkeiten, die mit der Verwendung von Palladiumaminkomplexen als Elektrolyt
bei der galvanischen Abscheidung von Palladiummetall auf verschiedenen Substx-aten verbunden sind, zu überwinden.
Es sollen Bäder zur galvanischen Abscheidung von PalLadium
geschaffen werden, die einen Palladiumaminkomplex allein oder
zusammen mit einer Verbindung eines legierenden Metalls ent- " halten, welche während des Betreibens keinem pH-Wertabfall
unterliegen. Das vorzeitige Ausfallen von Palladiumsalz oder
legierendem Metallsalz soll vermieden werden. Darüber hinaus soll ein Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Palladium
oder seinen Legierungen auf Substraten mit den speziellen Bädern bereitgestellt werden.
Die Aufgabe wird durch das Bad nach Anspruch 1 und das Ver-
«ΙΑ Λ · A «* «■ *l· *■«»<· «β «A<V
™ "7 «.
fahren nach. Anspruch I5 gelöst, Eevorzugte Ausführungsfοrmen
sind in den Unteransprüchen angegeben.
Es ist gefunden worden, daß pH-Wertstabilität erreicht und vorzeitiges Ausfallen von Palladiummetall- oder Legierungsmetallsalzen
durch Verwendung eines Borat-Puffers bei der
Formulierung des galvanischen Bades vermieden werden können.
Der Boratpuffer wird in einer Menge verwendet, die ausreicht, das Bad auf einen pH-Wert im Bereich von etwa 6,5 bis 9,5 zubringen. Dieser pH-¥ert wird unter den Betriebsbedingungen
wie geeigneten Palladiummetall-Abscheidungsteinperaturen von etwa 20 bis 75 C und Stromdichten im Bereich von etwa 0,11
bis 10,8 A/dm2, vorzugsweise 0,32 bis 5,38 A/dm2, nicht auf
5 absinken. Folglich wird vorzeitiges Ausfallen von Palladium-
oder Legierungsmetall-Salzen durch Aufrechterhaltung des
zweckmäßigen pH-Wertbereiches vermieden; und außerdem haben
die speziellen Borate, die bei der praktischen Durchführung
der Erfindung verwendet werden, nicht die Neigung, Metallsalze zu bilden, die in unerwünschter Weise ausfallen und
das normale Funktionieren des galvanischen Bades stören würden.
Die Borate, die erfindungsgemäß verwendet werden, werden durch
Neutralisation von Borsäure mit einer Alkalimetallverbindung, Ammoniak, Ammoniumhydroxid oder einem Amin gebildet. Die Neutralisation
kann entweder in situ, d.h. während der Herstellung des Badefj, vorgenommen werden oder separat, wobei das gebildete
Borat als eine Badkomponente verwendet wird. Die Neutralisation
der Borsäure, wie vortiteilend beschriebeil, kann mit folgenden
Verbindungen durchgeführt werden: Ammoniak, Ammoniumhydroxid, Alkali- oder Erdalkaliverbindungen wie Natriumhydroxid,
Kaliumhydroxid' und dergleichen; oder mit einem Amin, wie .
Ethylendiamin, Diethylentriamin oder dergleichen. Bevorzugte Borate sind Natriumtetraborat und Ammoniumdiborat.
Vorzugsweise wird das Borat in situ gebildet, wobei eier alkalische
Reaktaiit in einer Menge eingesetzt wird, die nicht nur
ausreicht, die Borsäure, gewöhnlich etwa 10 bis 50 g/l, in das
entsprechende Borat umzuwandeln, sondern die auch auireicht,'
den Anfangs-pH-¥ert des frisch hergestellten Bades auf einen Wert von etwa 6,5 bis 9»5 zu bringen oder einzustellen.
Der Palladium-Amin-Komplex kann entweder das Halogen, das
Nitrit, Nitrat, Sulfat oder Sulfamat sein. Beispielhafte Komplexe sind: Pallado-diamin-chlorid (Pd(NH)2Cl J ,
Palladium- diamin-dini tr it CPd(NII )2(NO2)2J , Palladiumtetramin-nitrat
£pd(NH„). (NO~) J und Palladium-diamiii-sulfat
Oder es können Palladiumsalze verwendet werden, wie Dichloro
diamin-palladiumchlorid und dergleichen.
Der Aminkomplex wird in einer Menge eingesetzt, daß das
Palladium in einer Menge von etwa 1 bis $0 g/l, vorzugsweise
5 bis 35 g/l, vorliegt. ·
Häufig iti.t es erwünscht, das Werkstück oder Substrat mit einer
Palladiumlegierung zu überziehen. Die legierenden Metalle, die
in dem erfindungsgemäßen Bad verwendet werden können, sind Aminsalze von Kupfer, Cobalt, Cadmium, Gold, Eisen, Indium,
Nickel, Silber, Zinn und Zink. Beispiele für legierende Metallkomponenten schließen ein: Nickel-(ll)-aminchlorid,
Aminozinl;acetat, der Uobaltkomplex der Ethylendiamintetraessigsäure,
der Nickelkomplex der Trinitiloessigsäiire usw.
Die Xofyi'-rimijsmotcillkonipononto kann in tloin Bad in oinor Mongo
im Bereich von etwa 0 bis 'jO g/.l vorliegen und liegt, wenn
sie anwesend ist, vorzugsweise in Mengen von etwa 5 bis 20 g/l
vor.
Das Bad kann auch etwa 5 t>is 150 g/l, vorzugsweise 10 bis
g/l, eines Leitsalzes enthalten. Geeignete Leitsalze sind die Ammonium- oder Alkalimetall-Halogenide, -Sulfate, -Nitrate,
-Stilfamace und Carbonsäuresalze. Beispiele für solche Salze
sind Ammoniumchlorid, Ammoniumcitrat, Ammoniumnitrat, Natriumnitrat,
AmiHoniuinsulfamat, Kalitimsulfat und dergleichen und
Gemische davon. Die besonders bevorzugten Leitsalze sind Ammonium3hlorid, Ammoniumcitrat, Kaliumeitrat und Gemische
davon.
Bei der Formulierung der galvanischen Bäder nach der Erfindung
ist es auch von Nutzen,für bestimmte Anwendungen einen Glanz-
.../10
bildner zu verwenden. Für die vorliegenden Zwecke siud die
am besten geeigneten Glanzbildner aromatische Sulfonierte
Amide, aromatische sulfonierte Imide, Alkalimetallsalze aromatischer Sulfonsäuren, aromatische Sulfonsäuren und
Gemische davon. Besondere Glanzbildner sind das Natriumsalz der Nujjlifcliulinsulfons;luro, das Natriurasalü des Saccharins
und Gemische davon. Im allgemeinen werden die GlanzbLldner
in Mengen im Bereich von etwa 0,1 bis 5 g/l» vorzugsweise
von etwa 0,5 bis h g/l, eingesetzt.
In einigen Fällen ist es auch zweckmäßig, eine Quelle für "freie" oder nicht komplex gebundene Nitritionen im Bad
vorzusehen. Die Quelle für die freien Nitritionen isb vorzugsweise
ein wasserlösliches anorganisches Nitrit, ./ie ein
Alkalimetallnitrit. Besonders bevorzugte Nitrite sind Natriumnitrat, Kaliuninitrit, Amnioniumnitrit und dergleichen.
Die Menge der Nitritionen kann stark schwanken und beträgt mindestens etwa 0,05 Gew.-^, bezogen auf die Palladiumionen
im Bad. Anfänglich kann die Konzentration der Nitritionen im Bereich von etwa 0,1 bis etwa 50 Gew.-^, bezogen auf
Palladiumionen, betragen.
Die Bäder nach der Erfindung sind in Verbindung mit Anoden
aus unlöslichem Platin, plattiertem Platin, Tantal oder Niob verwendet worden, Im allgemeinen wurde Galvanisieren
im Einhängegestell angewendet, und die Werkstücke, zum Bei-
.../11
spiel Kontaktdosen und Kontaktstecker, Kontakte für gedruckte
Schaltungen, dekorativer Schmuck usw., hatten Oberflächen aus
Metall wie Kupfer, Messing, Bronze, Nickel, Silber, Stahl usw. Die Palladium- oder Palladiumlegierungs-Überzüge waren von
hoher Qualität.
Die Erfindung wird nun noch anhand von Beispielen erläutert.
Es wurde ein wäßriges Palladiumbad folgender Zusammensetzung
hergestellt;
Komponente g/l
Palladoaninchlorid 10 (Pd-Metall)
Ammoniumohlorid 50
Borsäure · 30
AmmoniuiiOiydroxid bis pH 8,2
-Wasser . Rest
Das Bad viirde bei einer Temperatur von etwa 20 bis 70 C und
einer Stromdichte von 1,08 A/dm betrieben. Nach h Stunden GalvanisLeren war der pH-Wert nicht unter 7>5 abgefallen.
.../12
3H7823
- 12 Beispiel II
Es wurde ein wäßriges Bad zur galvanischen Abscheidung von
Palladium hergestellt, das folgende Zusammensetzung hatte:
Palladium-diamino-dinitrit
Natriumnitrit Ammoniumnitrat Borsäure Ammoniak Wasser
Βίλ
10 bis ΊΟ (Pd-Metall)
10
bis pH 7,0 bis 7,5 Rest
Das Bad wurde bei einer Temperatur von etwa 50 bis 70 C und einer
Stromdichte von 10,8 bis 108 A/dm betrieben. Nach 4 Stunden Galvanisieren wurde kein Abfall des pH-Yerts unter 1,5 festgestellt.
Ss wurde ein wäßriges Bad zur galvanischen Abscheidung einer Palladium-Nickel-Legierung hergestellt. Es hatte folgende
Zus ammens e t zung:
Palladoaminchlorid Nickelaminchlorid
10 (Pd-Metall) 12 (Ni-Metall)
.../13
V : S-:": ' 3H7823
ft *» - »A ft*( *<« ^ it - * t. ti
- 13 -
Ammoniumchlorid 30
Ammoniumcitrat 10
Borsäure 15
Ammoniumhydrox'id bis pH 9»0
Wasser Rest
Das Bad -wurde bei einer Temperatur von etwa 20 bis 50 C und
einer Stromdichte von etwa 2S15 A/dm betrieben. Nach h Stunden
war der pH-¥ert nicht unter 7*5 gesunken.
Versuch A
Das Bad des Beispiels II wurde nochmals hex'gestellt mit der
Ausnahme, daß der Gehalt an Palladiuminet all auf 2h g/l reduziert
wurde und 5 g/l Silbex-metall in Form eines Alkalimetall-Silber-Dinitrits
eingesetzt wurden. Die Temperatur des Bades wurde zwischen 20 und 25°C gehalten. ,
Versuch 13
Das Bad des Beispiels II wurde nochmals hergestellt mit der Ausnahme, daß der Palladiumgehalt auf 5 g/l herabgesetzt wurde
und Zink als legierendes Metall (1 g/l) in Form von Amiriozinkacetat
anwesend war.
.../lh
3U7823
Versuch C
Das Bad nach Beispiel III -wurde nochmals hergestellt mit der
Ausnahme, daß 3 g/l ^es Natriumsalzes der Benzaldehyd-ο~
Sulfonsäure und 0,1 g/l des Natriumsalzes der Naphthulinsulfonsäure
zugefügt wurden. Dieses Bad vurde bei 30°C und einer
Stromdichte zwischen 1,08 und 5,38 A/dm betrieben.
Versuch D
Das Bad nach Beispiel III wurde nochmals hergestellt mit der Ausnahme, daß ihm 0,1 bis 10 g/l des Natriumsalzes das Saccharins
zugefügt wurden. Dieses Bad wurde bei 35 C und Stromdichten
zwischen 0,5^ und 51 38 A/dm betrieben,um Nickel-Pal.ladiumuberzüge
geringer Spannung zu erhalten.
Unter den üblichen Betriebsbedingungen zeigte keines der Bäder
der Versuchsreihe A bis D einen starken pH-¥ertabfall, d.h. von 7,5 bis 5· Andererseits, wenn diese Bäder sowie die 3äder nach
den Beispielen I bis III ohne den weiter vorn beschriebenen Borat-Puffer, d.h. mit Alkalimetallhydroxid oder Ammoniumhydroxid
neutralisierte Borsäure, betrieben wurden, oder wenn andere Puffer, wie Citrat-, Phosphat-, Tartrat-Puffec oder dergleichen
anstelle des Borat-Puffers eingesetzt wurden, fiel der pH-Wert in k Stunden oder weniger auf einen pH-¥ert von 5
ab, was von Ausfallen des Palladiums und/öder des legierenden Metalls begleitet war.
Claims (14)
- 30 723-2IHAUCK,, DÖRINGHAMBURO MÜNCHEN DÜSSELDORFt>ATBNTANWALTi'. ■ NEUER WALL 41 ■ 2000 HAMBUHG 3βHooker Chemicals & Plastic Corp Hoover RoadWarren, Kick. 48089 USADipl.-Phys. W. SCHMITZ - Dlpl.-Ing. E. GRAALFS Neuer Wall 41 · 2000 Hamburg 38 Telefon + Telecopier (040) 36 67 55 Telex 0211769 input dDipl.-Ing. H. IIAXJCK - Dipl.-Ing. W. WEHNERT Mozonstraße 23 - 8000 München 2 Telefon + Telecopier (089) 53 .'32 36 Telex 05216553 pamu dDr.-Ing. W. DÖRINGK.-Wilnelm-Rinf; 41 . 4OOO Düsseldorf HTelefon (0211) 57 ΠΟ 27ZUSTELLUNf SANSCHKIFT / PLEASE REPLY TO:Hamburg. 2. Dezember I9SIBad zur galvanischen Abscheidung von Palladium oder Palladiumlepierungen und ein Verfahren zur Abscheidung von Palladium oder Palladiummit diesem BadAnsp rüche sΛK Wäßriges Bad zur galvanischen Abscheidung von Palladium oder Palladiumlegierungen auf Substraten bei einer Temperatur von etwa 20 bis 75°C und einer Stromdichte von etwa 1 bis 108 A/dm , dadurch gekennzeichnet, daß zur Verhütung unerwünschten Ausfallens von Palladium oder legierendem Metall aus dem Bad der pH-Wert während des Betriebes des Bades mittels eines Ammonium-, Amin- oder Allcalimetall-Boratpuffers auf etwa 6,5 bis 9,5 gehalten wird.Eurof-oan Potent Attorneys Zugelnnraene Vertreter beim KuroijfilHclicn PntrntamtDeutsche Bank AO Hiiraburg, Nr. OB/28 407 (BJ..Z 200 700 OO) · Postschock Hnmliurg 2842-2ΟΟDroBrlnor Bank AO Htimburg, Nr. 0.'JSt)OHfS (ΙϊΙ^Ζ 200BOO0O)U-.>~ l.,-:.'O I 3H7823 - 'ζ -
- 2. Wäßriges Bad nach Anspruch. 1, dadurch gekennzeichnet, daß die legierende Metallkomponente aus der Gruppe von Kupfer, Cobalt, Cadmium, Gold, Eisen, Indium, Nickel, Silber, Zinn und Zink-Aminokomplexen oder -salzen ausgewählt ist.
- 3. Bad nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die logierende Metallkomponente ein Nickelaminokoiftplex ist.
- h. Bad nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die legierende Metallkomponente ein Silberaminokomplex ist.
- 5. Bad nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die legierende Metallkomponente ein Zinkaminokomplex ist.
- 6. Bad nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es ein Leitsalz enthält, das aus der Gruppe von Ammonium- oder Alkalimetall-Halogcniden, -Sulfaten, -Nitraten, -Sulfamaten, Ammonium- oder Alkalimetallsalzen von Carbonsäuren sowie Gemischen davon ausgewählt ist.
- 7. Bad nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es einen Glanzbildner enthält und dieser ausgewählt ist aus der Gruppe von aromatischen sulfonierten Imiden, aromatischen sulfonierten Amiden, Alkalimetallsalzeh aromatischer Sulfonsäuren, aromatischen Sulfonsäuren und Gemischen davon.73
- 8. Wäßriges Bad zur galvanischen Abscheidung von Palladium, gekennzeichnet durch die nachstehende Zusammensetzung:KomponentePalladium^Metall 1 bis 50Legierungs-Metall 0 bis 20Leitsalz 5 bisGlanzbildner O bis 5Borsäure (neutralisiert mit Alkalimetall, Ammoniumhydroxid, Ammoniak oder Amin bis pH 6,5 bis 9,5 10 bis 50Wasser Rest
- 9. Bad nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Palladium in Form von Amino-palladium-halogenid, -nitrit, -nitrat, -sulfat, -sulfamat oder Carbonsäurederivat vorliegt.
- 10» Bad nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet,daß·es Palladoamin-chlorid enthält.
- 11, Bad nach Anspruch 9> dadurch gekennzeichnet, daß es Palladium-diamino-dinitrit enthält.
- 12. Bad nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierungsmetallkomponente ausgewählt ist aus der Gruppe von Kupfer, Cobalt, Cadmium, Gold, Eisen, Indium, Silber, Zinn und Zink-Aniinokomplexen und -salzen.
- 13· Bad nach, einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Borsäure mit Ammoniumhydroxid neutralisiert ist.
- 14. Bad nach einem der Ansprüche 8 bis 12,dadurch gekennzeichnet, daß die Borsäure mit Ammoniak neutralisiert ist.15· Vorfahren zur galvanischen Abscheidung von Pallarlxurametall oder Palladiummetallegierungen auf einem Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß elektrischer Strom zwischen . einer Kathode und einer Anode durch, ein Bad nach einem der Ansprüche 1 bis i4 für eine zur Abscheidung von Palladium oder Palladiumlegierung in der gewünschten Dicke ausreichenden Zeit hindurchgeschickt wird.
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