DE2259768A1 - Material und verfahren zur herstellung von abbildungen - Google Patents

Description

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ElERG-X ÖÖlYERSIÖST DEYlGES, BFG,, 1675 West Ma pie Road, , Michigan 48084/7*St,A,

Material und Verfahren zur Herstellung von Abbildungen

Die Erfindung bezieht sich auf ein neues Abbildungsmaterial und ein Yerfahren zum Herstellen von Ab·* bildungen, insbesondere von Mikroformaten*

Zur Herstellung von Abbildungen, wie Mikroformaten, wird normalerweise eine Schicht aus lichtempfindlichem Material auf einem Substrat vorgesehen* Durch Belichtung und Entwicklung wird in der Schicht aus lichtempfind-

lichem Material das Bild erzeugt. Im Interesse des

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. ₂.

Kontrastes muli die Schicht undurchsichtig sein, oder es muli ein undurchsichtiges Material, beispielsweise Silber in der Schicht ausgefällt werden, oder es wird ein Farbstoff, beispielsweise durch Verwendung von Farbkupplern o.dgl. eingeführt. Der nach diesen Verfahrensweisen erzielbare Grad der Undurchsichtigkeit ist nur begrenzt« Dies stellt eine bedenkliche Beschränkung, insbesondere bei Mikroformaten, dar, bei denen wegen des Erfordernisses einer außerordentlichen Vergrößerung für Lese- bzw· Ausgabezwecke ein bestmöglicher Kontrast erforderlich ist. Außerdem erfordern diese bekannten Verfahren für die Herstellung von Mikroformaten verhältnismäßig lange Entwicklungszeiten, und dies stellt eine schwere Behinderung dar, wenn große Mengen an Mikroformaten, beispielsweise in einer kontinuierlich arbeitenden Maschine, hergestellt werden sollen· Das komplizierte und zeitraubende Entwickeln und das dieses gewöhnlich begleitende oder diesem folgende Fixieren erfordert komplizierte und sehr teuere Maschinenanlagen für die Massenproduktion von Mikroformaten.

Die Erfindung schafft ein neues Abbildungsmaterial, das sich durch höchsten Kontrast und ausgezeichnetes Auflösungsvermögen auszeichnet und mit den Abbildungen in einfachster Weise herstellbar sind und das sich selbst in einfachster Weise behandeln läßt, so daß die Möglichkeit geschaffen wird, unter Verwendung einfacher und billiger Anlagen Mikrofortnate höchster Qualität im großen herzustellen.

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Das Abbildungsmaterial· gemäß der Erfindung weist eine Schicht eines energieempfindlichen Materials auf, das durch Einwirkung von Energie zwischen zwei Zuständen veränderbar ist. Xn einem dieser Zustände ist das Material ohne weiteres in einem gegebenen Lösungsmittel löslich, während es in seinem anderen Zustand in dem gleichen Lösungsmittel unlöslich oder mindestens weniger löslich ist.

Die Konstruktion weist außerdem eine Schicht auf, die ein Bilderzeugungsmaterial ist oder enthält, das in einem Lösungsmittel löslich ist, das das energieempfind liche Material im Zustand höherer Löslichkeit löst. Im allgemeinen sind diese Schichten ah einem Substrat in solcher Weise angeordnet, daß die Schicht, die das Bilderzeugungsmaterial enthält, dem Substrat zunächst liegt und die Schicht mit dem energieempfindlichen Material darüberliegt. Zwischen der obersten Schicht, die das energieempfindliche Material enthält (bzw. ist), und der Schicht, die das Bilderzeugungsmaterial enthält (oder ist), und bzw. oder zwischen der letzteren Schicht und dem Substrat, wenn ein solches vorhanden ist, können Zwischenschichten aus anderen Materialien angeordnet sein. Die Schichten mit dem energieempfindlichen Material und dem Bilderzeugungsmaterial können zur Gänze aus den betreffenden Materialien bestehen oder können diese Materiellen als Beimengungen zu anderen gewünschten Materialien, beispielsweise einem Binder, Füllstoff, Reagens usw. enthalten. Die in der Beschreibung verwendete Bezeichnung "unlöslich" soll besagen, daß das energieempfindliche Material in einem gegebenen Lösungs-

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mittel weniger löslich ist als in dem Zustand, in dem es "löslich" ist. Die Bezeichnung bezeichnet dementsprechend eine Löslichkeitsbeziehung, die bedeutet, daß das Material langsamer gelöst wird, als wenn es sich im löslichen Zustand befindet, in dem es mit einer höheren Geschwindigkeit gelöst wird. Dies schließt jedoch nicht die Möglichkeit aus, daß das Material sich in einem gegebenen Lösungsmittel gegebenenfalls überhaupt nicht löst, wenn es sich in seinem unlöslichen Zustand befindet.

Die Erfindung bezieht sich also auf ein Verfahren zur Herstellung von Abbildungen, bei dem das Material laut obiger Beschreibung bildweise einer Energieeinwirkung ausgesetzt wird, durch die Bereiche in der obersten Schicht in solcher Weise verändert werden, daß in dieser obersten Schicht aus energieempfindlichem Material ein latentes Bild erzeugt wird, das zusammengesetzt ist aus Teilen oder Bereichen des Materials, die in einem gegebenen Lösungsmittel löslich sind, und anderen Bereichen oder Teilen des Materials, die unlöslich oder, wie oben erläutert, nur langsamer löslich sind. Diese Konstruktion wird dann mit einem Lösungsmittel behandelt, das sowohl das energieempfindliche Material in dessen löslichen Bereichen als auch das unter diesen löslichen Bereichen des energieempfindlichen Materials liegende Bilderzeugungsmaterial löst. Auf diese Weise wird ein Bild erzeugt, das in denjenigen Bereichen, in denen das energieempfindliche Material sich im Zustand der Unlöslichkeit befand, aus dem Bilderzeugungsmaterial mit dem darüberliegenden energieempfindlichen Material,

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iti cfeKjeEs±g;eEt Bereicfoeüi Iwt ά&η&η UAS- e«fcergie>empfißdlieiie Material siete la» %txä>tmad ~ ύ&& Losllciiked bei"and * aus voü energieempliiradlieiitettt Material freie** Bereichert besteht· Auf diese WödSe ist eitt SttÖ€fi?*t

Wenn erwtifts eöt * köttttfötü d£ö feile de» etnp±^vin€iliehen, Materials_f die ettif deift Bilder*zeitigttttg;ap-Biäteriai zurückbleibetti später fceispielsweise dttrcit Attreiben oder tisfer Verwetuitittg: eiaes anderets LiistiagÄtftiitte cßtfernt werden* Im allgemeinen beateiit jrödoöh keitse Notwenetiglceit, die ttitlösilcttett föile de* ettergieöttipfitld liehen Materials zu entferöeti_fr da sie gewöhnlicli die Beträö&tuaag, das Lesen oder die sonstige Verweiidttttg: der Abbildting nicb/fc

Ui e tioTistrüiction und das Verfahren getiiäii der Erfiadting: können ztir Erzeugung von. Abbildungen aller Art_r also van soieheti Tür die Betrachtung oder das Lesen Mit dem raenecliiichert Äuge ebenso wie von sölötiett für das Lesen mittels physikalischer oder mechanischer LesöVorrictttungen» beispielsweise solcher unter Verwendung von Lichtreflexion oder ütrahiung>'elektrischer Leitfähigkeit, magnetischer Eigenschaften O»dgl. als Kittel zum Lesen der Abbildung* verwendet werden.

Der grüüte Nutzen kann aus der Erfindung bei der Verwendung der Abbildungskottstruktiön und des Verfahrens getnäü der Erfindung für die Erzeugung von Mikroformatea, beispielsweise Mikrofilm» Mikrofiche usw. gezogen werden«

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Wird beispielsweise als energieempfindliches Material ein wasserlösliches Kondensationsprodukt Diazo- oder Azoverbindungen mit hohem Molekulargewicht, und als Bilderzeugungsmaterial Tellur, Molybdän oder eine geeignete Tellur Oder Molybdän als Bilderzeugungskomponente enthaltende Verbindung verwendet, so können Entwicklungszeiten,, d.h. für die Auflösung !»eider Schichten erforderliche Zeiten, in der Größenordnung einer halben Sekunde oder weniger ohne weitere· erzielt werden. Die Verwendung entsprechend bemessener Lichtquellen für das Belichten ermöglicht Arbeitsspielzeiten von.einer halben Sekunde und weniger für Mikrofiche. Ua nach dem Belichten nur' ein kurzer nasser Bilderzeugungsschritt und keine langen Trocknungezeiten erforderlich sind, kann die Herstellung von Kleinbildern mit Isolier Produktionsleistung unter Verwendung einfachster und billigster Anlagen durchgeführt werden, wenn das Material gemäii der Erfindung verwendet und das entsprechende Verfahren angewendet wird·

Die aus den Materialien und mittels des Verfahrens gemäu der Erfindung hergestellten Mikroformate zeichnen sich durch einen höheren Kontrast aus als andere herkömmiicherweise verwendete Materialien. Sie zeichnen sich außerdem durch ein hervorragendes Auflösungsvermögen und in manchen Fällen sogar durch höhere Schärfe und höheres Auflösungsvermögen als selbst das Original aus, wie dies im folgenden erläutert wird· Die Materialien gemäß der Erfindung haben ein hohes Tf (Gamma) und übertreffen in dieser Hinsicht die besten verfügbaren Silberhalogenldmaterialien.

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Gemäß der Erfindung ist also eine Konstruktion zum Erzeugen von Abbildungen, beispielsweise Mikroformaten, vorgesehen, die eine Schicht, aus einem energieempfindlichen Material, beispielsweise einem Kondensationsprodukt einer Diazo-Verbindung mit hohem Molekulargewicht, dessen Löslichkeit durch Einwirkung von Energie veränderbar ist, so daß bei bildweiser .Belichtung oder Energieeinwirkung ein latentes Bild erzeugt wird. Das latente Bild besteht aus Bereichen größerer Löslichkeit und Bereichen geringerer Löslichkeit in einem gegebenen Losungsmittel. Unter der Schicht aus energieempfindlichem Material befindet sich eine Schicht eines Bilderzeugungsmateriais, beispielsweise aus Tellur, das in dem gegebenen Lösungsmittel löslich ist.

Die Abbildung wird dadurch erzeugt, daß in einem Arbeitsgang das energieempfindliche Material, dessen Löslichkeit größer ist, und der darunterliegende Teil des Bildei'zeugungsmaterials unter Verwendung eines gemeinsamen Lösungsmittels für beide Materialien gelöst werden.

Das Verfahren gemäß der Erfindung wird im folgenden an Hand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsformen erläutert.

Fig. 1 ist ein schematischer Ausschnitt aus der Konstruktion gemäß der Erfindung bei Einwirkung elektromagnetischer Strahlung durch eine Maske, im Schnitt;

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UUi^-AVi: X tit ~

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BAD

Fit;. 2 ist eine Darstellung ähnlich Fig. 1 zur Veranschaulichung der durch die Bestrahlung veränderten Überschicht nach Abnehmen der Maske;

Fife;. '} ist eine Darstellung ähnlich Fig. 2 zur Veranschaulichung der Konstruktion nach Behandlung mit einem Lösungsmittel;

I'Ig. ^ ist eine andere Ausi'ührungsform einer Konstruktion Bernau der Erfindung, bei der zwischen der energieempfindlichen Schicht und der eigentlichen BiIderzeugungsschicht eine Zwischenschicht vorgesehen ist;

Fig. 5 und 6 sind graphische Darstellungen zur Veranschaulichung eines Buchstabens in einem Original {Fig. 5) mit grauen Konturenbereichen, und einer Kopie desselben (Fig. 6) mit scharfen Trennlinien zwischen Schwarz und Wein auf einer Abbildungskonstruktion gemäß der Erfindung;

11,;. 7 ist eine graphische Darstellung zur Veranschauliehung des Sachverhaltes bei Fig. 5 und 6;

Fifj. δ ist eine schetnatische Darstellung einer Konstruktion, bei eier nach Entfernen eines Schulterteiles entsprechend dem Graubereich des Originals eine scharie abbildung hohen Auflösungsvermögens erziel bar ist;

Fig. 9 ist eine Schnittdarstellung einer anderen Konstruktion tfemäJi der Erfindung, bei der zusätzlich zur

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irilderzeugutigs_;aqhieh.t eifre Metallschicht fiferdie Erzeugung, eineir Met^H^¹^³^ VQpgesebaQ ist»

Jn i?'i&. 1: ist eine &bb,ilduugs;kQnst^uktiQi3i T;O die ein Substrat T2, beispielsweise au? Myiair» Auf(tem Substrat ί·2 ist ^iae SQfeieitt t4." avs.3· einem. erZreugUinftsm^teria,! ^ be-ispi^lisv^iae ΈοΙΙιιγ,, Auf der p<?la.±cb;t Ik is.t eine d.Qb-.ielit \6 aus g

JiicheiJii Mti te 3Ti al ^ beiapiel^weis©; Iii.a,2!o-"H'a,rz ^H0±azo-No, 4 "eier FxFnja, FaiFmou.Pbt Chi^miGati Coirtpanyt

es Material ±ß,t ein l^ondeiisaitiOEigp^odiufet ei.B.ei· ^ mit holäem Malekülaiirgewictit und; is^t $·&. Χ,Β,ητι daher in der Fopnj einer w^tüi·igen Lösungr an tter« ivonstrulction angebraclit werden^ die veiae mittels eipe^ Walzenb^echich^fee¹^? üfeei* d-ie sch,ieb.f IM- gebreitet vdLFcti liaett de© Trt?cfe]H.eB Ü ist da& Material für die Bilderzeugung bereit»

wie dargestellt, wird auf die Oberseite der 10 eine Maske 18 aufgelegt. Die Maske weist einen un-< duiclisielitigen Bereich, 20 und lichtdurchlässige=

Zd auf. Wie- dargestellt,, fällt eine ⁺ 2M-,. beispieisvieise ein kurzer Blitz aus einer e aiseben Xenunblitzkanone (Xenon Electrenie Flask Gun) auf die Maske 18 auf und durch deren durchsichtige Be-* reiche 22 auf die Schicht 1-6. aus Diazo Kesin Nr-. k» Xn den Bereichen 26 unter den, durchsichtigen Bereichen 22 der Maske gibt das Harz, das ursprünglich wasserlöslicn war, unter der Wirkung der Strahlung 24 Stickstoff ab und wird unlöslich» bildet also ein Harz, das sich in Wasser nicht auflöst. In dem Bereich 28, der der Strahlung 2^:i nicht ausgesetzt wurde, bleibt, das Diazoharz wasser-.

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+ elektromagnetische «· 10 -

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löslich. Die so. veränderte Konstruktion let mit abgenommener Maske In Fig. 2. dargestellt. Venn unit, dl« in Fig. 2 gezeigte Konstruktion in «la· verdünnte Lösung von wäßrigem Natriumhypochlorit eingetaucht wird,. werden das. Diazoharz 1»' Bereich 28 sowie das Tellur In, dem darunterliegenden Bereich 30 sofort gelöst. Das üiazoharz im Bereich 2:6-, dft» infolge der Bestrahlung wasserunlöslich geworden ist, wird nicht gelöst* Auch das Tellur in ά&η unter den Bereiche« 26 liegenden Bereichen 32 wird nicht gelöst, Daher bilden 'da· undurchsichtige Tellur in de« Bier ei eben 32 und der Bereich jk, in dem das Tellur und da» Dlazoharz zur Gänze bis auf' das Substrat t2 entfernt wurden* ein Bild· Wenn das Substrat beispielsweise Mylar ist, iet der Bereich bei [i¹* durchsichtig, und die. au· Tellur bestehenden Bereiche 32 sind, in hohe« Maß undurchsichtig bzw. lichtundurchlässig, so daß ein Bild nit hohem Kontrast erzeugt wurde.

. Das bei dem beschriebenen Beispiel des Verfahrens der Erfindung verwendete Lösungsmittel ist ein· verdünnte wäßrige Natriumhypochloritlöeung. Die wäßrige Phase in diesem Lösungsmittel löst die. wasserlöslichen Teile des Dlazoharz.es in der beschriebenen Weise. Das Vorhandensein selbst kleiner Mengen an Natriumhypochlorit bewirkt das nahezu augenblickliche Lösen des Tellurs'. ISs ist überraschend und unerwartet, dad wäßriges Natriumhypochlorit als Lösungsmittel da..· in Form einer-Schicht aufgetragene bzw. niedergeschlagene Tellur löst. Eine wäürige Natriumhypochloritlösung löst, normalerweise Tellur in. der Form von Körncaen oder kleinen Partikeln nicht... Andererseits

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löst das gleiche Lösungsmittel das Tellur ohne weiteres, wenn dieses in der Form eines dünnen Filmes aufgetragen .ist, wie er bei dem Bilderzeugungsmaterial gemäß der Erfindung verwendbar ist. Das Tellur ist in der wäßrigen Natriumhypochloritlösung, ohne Rücksicht darauf löslich, ob es durch Aufdampfen im Vakuum oder durch Kathodenzerstäubung aufgebracht wurde.

Die Lösun^siähigkeit der wäßrigen Natriumhypochlorit lösung gegenüber Tellur reicht über einen weiten Bereich von Konzentrationen. So ist beispielsweise die wäßrige Nat riutnhypochlorit lösung voller Stärke, die als Reagens von Baker Chemicals Company erhältlich ist und eine Konzentration von 6,9 Gew.-$ hat, ein ausgezeichnetes Lösungsmittel für die aufgetragene Tellurschicht. Das gleiche Keagens in einer Verdünnung von beispielsweise 10 > oder sogar nur 1$j seiner Stärke ist immer noch ein gutes Lösungsmittel für die dünnen aufgetragenen Tellurschichten.

Ahnliche Löslichkeiten wurden bei anderen wäßrigen Hypochloritlösungen als Natriumhypochlorit beobachtet. Das beachtenswerte Phänomen wurde nicht nur bei aufge tragenen Tellurschichten sondern allgemein bei Schichten beobachtet, die Tellur als wesentliche Komponente in beigemengter oder legierter Form enthalten. Im allgemeinen sollte Tellur mindestens 50$> der Masse bilden, obwohl das soeben beschriebene Löslichkeitsphänomen auch bei Materialien zu beobachten ist, die weniger als 50Ji Tellur enthalten. Geeignete Tellurmaterialien, die in rortn eines Filmauftrages in wäßrigen Hypochloritn löslich sind, finden sich unter den Tellur

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enthaltenden Speichermaterialien, beispielsweise gemäß US-PS 3 271 591(S.K. Ovshinsky, erteilt am 6. September 1966) und US-PS 3 53O 4^1 (S.K. Ovshinsky, erteilt am 22. September 1970).

Zu diesen Tellurmaterialien gehören die glasartigen Massen, die außer einem größeren Anteil an Tellur auch ein oder mehrere andere Elemente enthalten, sofern diese anderen Elemente mit dem Tellur kein Salz ο.dgl. bilden. Typische Tellurmassen, die das oben erwähnte Löslichkeitsphänomen zeigen, sind beispielsweise eine Masse bestehend aus 81 At-Jj Tellur, 15 At-Jb Germanium, 2 At-Jb Antimon und 2 At-Jo Schwefel; eine Masse aus 92,5 At-Jb Tellur, 2,5 At-Jb Germanium, 2,5 At-Jb Silicium und 2,5 At-Jb Arsen; eine Masse aus 90 At-$> Tellur, 5 At-Jo Germanium, 3 At-Jb Silicium und 2 At-Jb Antimon; eine Masse aus 85 At-JO Tellur, 10 At-Jo Germanium und 5 At-Jb Wismut; eine Masse aus 85 At-Jb Tellur, 10 At-Jb Germanium, 2,5 At-Jb Indium und 2,5 At-Jb Gallium; eine Masse aus 85 At-Jb Tellur, 10 At-Jb Silicium^ k At-Jb Wismut und 1 At-Jb Thallium; eine Masse aus 80 At-Jb Tellur, 14 At-Jb Germanium, 2 At-Jb Wismut, 2 At-Jb Indium und 2 At-Jb Schwefel; eine Masse aus 70 At-Jt) Tellur, 10 At-Jb Arsen, 10 At-Jb Germanium und 10 At-Jo Antimon; eine Masse aus 60 At-Jb Tellur, At-Jo Germanium, 10 At-Jb Selen und 10 At-Jb Schwefel; eine Masse aus 60 At-Jb Tellur, 20 At-Jb Germanium und 20 At-Jb Selen; eine Masse aus 60 At-> Tellur, 20 At-Ju Arsen, 10 At-Ja Germanium und 10 At-Jo Gallium; eine Masse aus 81 At-Ju Tellur, I5 At-Jo Germanium, 2 At-Ja Schwefel und 2 At-Jb Indium; und viele andere Massen.

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Die zur Verwendung gemäß der Erfindung nützlichen Speichermaterialien und die vorstehend als in Form eines Filmauftrages in sehr verdünnten wäßrigen Hypochloritlösungen löslich bezeichneten Tellurmassen sind durchwegs in hervorragender ¥eise als Bilderzeugungs— materialien in Konstruktionen gemäß der Erfindung geeignet. Die zum Lösen der Tellur enthaltenden Abbildungs materialien gemäß der Erfindung erforderlichen, sehr verdünnten Hypochloritlösungen sind im Gebrauch unschädlich und harmlos ο Was ihre Harmlosigkeit betrifft, sind sie nahezu so ideal wie Wasser, jedoch sind Tellur enthaltende Abbildungsmaterialien in Wasser, mit dem solche Materialien enthaltende Abbildungen im Gebrauch oder bei der Lagerung in Berührung kommen könnten_s nicht löslieh„ Die Tellur enthaltenden Materialien bilden daher ein ganz ideales Abbildungsmaterial, das in dieser Hinsicht fast allen Abbildungsmaterialien überlegen ist, die häufig wasserempfindlich sind oder, wenn dies nicht der B^aIl ist, für ihre Entwicklung schädlicher organischer oder anorganischer Lösungsmittel bedürfenο Ein anderer bedeutender Vorteil dieser Tellur enthaltenden Abbildungsmaterialien und insbesondere des Tellurs selbst besteht darin, daß sie selbst bei Auftrag in Form eines äußerst dünnen Filmes eine Schicht höchster Lichtundurchlässigkeit oder Undurchsichtigkeit bilden. Auf diese Weise kann unter geringsten Materialkosten ein höherer Kontrast als sonst erzielt werden. Ähnlich gute Wirkungen sind mit Germanium und Germanium enthaltenden Massen erzielbar.

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Auch viele Metalle zeichnen sich in der Form von Filmen durch hohe Undurchsichtigkeit oder Lichtundurchlässigkeit aus. Diese Netalle sind jedoch im allgemeinen als Bilderzeugungsmaterialien Tür den allgemeinen Publikumsgebrauch nicht geeignet, da sie gewöhnlich Säuren und anderer bedenklicher oder schädlicher Lösungsmittel für die Bilderzeugung durch Lösen von Lichtabdeckmas3en (photoresist) bedürren. Natürlich gehören zu den Bilderzeugungsmaterialien gemäß der Erfindung alle diejenigen Metalle ,die sich in einem unschädlichen Lösungsmittel ohne weiteres lösen lassen, das zugleich ein Lösungsmittel für die löslichen Teile des in dem jeweiligen System verwendeten energieempfiiidlichen Materials ist. Ein Metall, das sich als für die Verwendung gemäß der Erfindung befriedigend erwiesen hat, ist Molybdän in Form eines dünnen Filmes. Natriumhypochloritlösungen der oben erwähnten Stärk· sind gegenüber Molybdän wirksam, das sich seinerseits durch gute optische Eigenschaften, wie eine hohe Lichtundurchlässigkeit, auszeichnet.

Bei der Konstruktion gemäß der Erfindung nützliche Bilderzeugunftsmaterialien können auch beliebige andere organische, anorganische oder metall-organ!sehe oder element-organische Materialien sein, die sich in die Form einer dünnen Schicht bringen lassen, die BiIderzeugungseigenschaften aufweisen und die in einem Lösungsmittel Löslich sind, das auch diejenigen Teile des energieempi'indlichen Materials löst, die sich im Zustand höherer Löslichkeit befinden.

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Für die Erzeugung optisch wahrnehmbarer Abbildungen durch das Verfahren gemäß der Erfindung ist die gewünschte Bilderzeugungseigenschaft eines Bilderzeugungsmaterials im Falle der Durchsichtbetrachtung seine Lichtundurchlässigkeit (Diapositiv) oder im Falle der Reflexionsbetrachtung seine Reflexionsfähigkeit_f Streufähigkeit o.dgl. Xm Interesse höchsten Kontrastes wird man im Falxe der Durchsichtbetrachtung oder Projektion ein durchsichtiges oder durchscheinendes Substrat-, beispielsweise Glas oder Kunststoff, einschließlich Celluloseacetat, auswählen. Im Fall der Reflexionsbeträchtung wird man ein reflexionsfähiges Substrat, beispielsweise ein leicht gefärbtes Papier, Pappe, Kunststoff o.dgl. auswählen. Durch geeignete Wahl der Eigenschaften des Substrats Und der BiIderzeugutigseigenschaften des Bilderzeugungsmaterials können Bilder mit höchstem Kontrast und Auflösungsvermögen hergestellt werden. Es können andere BiIderzeugungsmaterialien verwendet werden, die als BiIderzeugungseigenschaft andere Eigenschaften, beispiels-Aveise magnetische, elektrische oder sonstige physikalische Eigenschaften aufweisen. Durch Lösen des Materials in cinif^n .Bereichen und Nicht-Lösen desselben in anderen Bereichen wird eine unterscheidbare Abbildung oder Aufzeichnung von Nachrichten mit beliebigen dieser Materialien erzielt, die unterscheidungsfähige, feststellbare Ki^enschaften aufweisen. Wie oben erwähnt, ist da:-; einzige Kriterium für die wahl eines geeigneten Bilderzeugungsmaterials gemäß der Erfindung das, daß dieses in einem Lösungsmittel lösbar sein muß, das n Teile des energieempfindlichen Materials

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lost, die die höhere Löslichkeit aufweisen.

Für das energieempfindliche Material in der Oberschicht steht eine weite Auswahl zur Verfügung. Es kann jedes beliebige Material verwendet werden, dessen Löslichkeit dui'ch Einwirkung einer Energie beliebiger gewünschter \rt veränderbar ist. Die Energie kann eine elektromagnetische Strahlung, beispielsweise aktinische strahlung, elektrische Energie, Korpuskularenergie (Teil clienener^ie) oder mechanische Energie sein. Wichtig ist, dall die Löslichkeitseigenschaften des Materials unter der Einwirkung der Energie verändert werden. Das etier;.;ieetnpf indliche Material kann in der Form, in der es in der Schicht angebracht ist, in einem gegebenen Lösungsmitte!, das fähig ist, das Material im ur-

+
sprünglichen Zustand zu lösen, und in dem Lösungsmittel unlöslich bzw. weniger löslich werden. Es kann jedoch au* ein Material sein, das, in der Form einer Schicht angeordnet, in einem gegebenen Lösungsmittel, wie wasser, unlöslich ist und durch Energieeinwirkung, beispielsweise in Wasser, löslich wird. Die hier verwendeten Ausdrücke "löslich", "unlöslich" oder "weniger löslich" sind x'elative Bezeichnungen und beziehen sich auf flaw Vorhalten gegenüber einem und demselben Lösungsmittel . Es ist beispielsweise möglich, daß ein energieempfindliches Material in einem organischen Lösungsmittel löslich, in Wasser jedoch unlöslich ist. Es kann daher in der Form einer Lösung in dem organischen Lösungsmittel angebracht werden, das anschließend zur ilildun,, der trockenen Überschicht verdampft wird.

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+ löslich sein,309Q24/ «j "J g2

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Nach, bildweiser Einwirkung der Abbildungsenergie können diejenigen Teile des energieempfindlichen Materials, die der Energieeinwirkung ausgesetzt waren* beispielsweise durch eine physikalische Veränderung des Materials oder durch eine unter der Einwirkung der Energie stattfindende chemische Reaktion, wasserlöslich werden. In diesem Fall werden diejenigen Teile des Materials, die der Energie ausgesetzt waren, bei Einwirkung von Wasser oder einer wäßrigen Lösung gelöst, während diejenigen Teile des Materials, die in ihrem ursprünglichen Zustand verblieben sind, in Wasser nicht gelöst werden, selbst wenn dieses Material in einem organischen Lösungsmittel "löslxch"ist.

Das energieempfindliche Material kann anorganisch oder organisch sein. Im allgemeinen werden organische Materialien bevorzugt, da diese in größerer Auswahl zur Verfügung stehen, ihre Löslichkeitseigerischaften sich an die Lösungsmittelanforderungen für ein gewähltes üilderüeugungsraateriaX leichter anpassen lassen und auch ihre Energieempfindlichkeit sich einem gegebenen Fail leichter anpassen läßt· _; ■

Insbesondere bevorzugt werden diejenigen energieempfindlichen Materialien, die unter der Einwirkung aer ijüdersaeugungsenergie in Wasser oder in einem unschädlichen wäßrigen Lösungsmittel oder -medium löslich werden. Nahezu in idealer Weise sind für die Zwecke der Erfindung gewisse Diazoverbindungen, aromatische Azido-Verbindungen, Chinondiazide und ähnliche Produkte, und insbesondere Kondensationsprodukte dieser Stickst of !Verbindungen von hohem Molekulargewicht,geeignet«

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Diese können Verbindungen sein, die durch Kondensation der betreffenden Stickstoffverbindungen erzeugt wurden. Beispiele hierfür sind wasserlösliche Kondensationsprodukte hohen Molekulargewichts, die durch Kondensation diazotierter Verbindungen vom Diphenylamintyp mit Formaldehyd oder anderen ähnlichen Kondensationsmitteln mit einer aktiven Carbonylgruppe in ihrem Molekül erhalten werden. Diese Verbindungen sind wasserlöslich und geben unter der Wirkung einer elektromagnetischen Strahlung Stickstoff ab und bilden ein bakelit-artiges, wässerunlösliches Harzprodukt, Diese Verbindungen sind gewöhnlich Diazoniumsalze von hohem Molekülargewicht, in denen die einzelnen Moleküle der Diazoverbindung durch Methylenbrücken oder ähnliche organische Brücken verbunden sind. Andere energieempfindliche Materialien hohen Molekulargewichtes, die bei der Konstruktion gemäß der Erfindung nützlich sind, können durch Kondensation mannigfaltiger Azidoverbindungen oder Chimm-Azidoverbindungen erhalten werden. Andere nützliche energieempfindliche Materialien hohen Molekulargewichtes können durch Anhängen einer Amino-Diazonium-Verbindung an eine makromolekulare Verbindung, beispielsweise Cellulose, Casein, Polyvinylalcohol o.dgl. mit Hilfe von Cyanurchlorid erhalten werden. Diese energieempfindlichen Verbindungen hohen Molekulargewichts können die betreffende Oberschicht in der Konstruktion gemäß der Erfindung allein oder in Beimischung zu einem anderen organischen Colloid bilden.

Ein Beispiel eines Diazoniumsalzes, das in der Konstruktion gemäß der Erfindung in Form eines Formaldehyd-

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!condensates verwendet werden kann, ist beispielsweise 2-Diazo~1-naphthol~5-sulfonylchlorid; repräsentative handelsübliche Erzeugnisse, die mit Vorteil als energieempfindliches Material bei der Konstruktion gemäß der Erfindung verwendbar sind, sind beispielsweise das Erzeugnis "Kedi-cote" von Lifchoplate Ine», und das bereits oben genannte Erzeugnis Biazo-ltesin No₀ k der Fairmount Chemical Company_o

Andere energieempfindliche Materialien, die mit Nutzen bei der Konstruktion und bei dem Verfahren gemäß der Erfindung verwendet werden können, sind unter anderem

polymerisierbare Monomere, insbesondere äthylenisch ungesättigte Monomere, in Kombination mit durch Energie, insbesondere durch aktinische Strahlung, aktivierbaren Katalysatorsystemen« In denjenigen Bereichen, in denen eine aktinische Strahlung auf das Monomerengemisch auftrifft, erfolgt die Polymerisderung spontan, und es wird ein unlösliches Polymer gebildet. In den™ jenigen Bereichen, in denen keine aktinische Strahlung aufgetroffen ist, bleibt das Monomerengemisch in seiner monomeren löslichen Form und läßt sich leicht nach dem Verfahren gemäß der Erfindung lösen_o Für das Lösen können häufig Wasser, schwaches wäßriges Alkali o.dgl. verwendet werden. Wenn als Bilderzeugungsmaterial beispielsweise e±a undurchsichtiges oder lichtundurchlässiges Material verwendet wird, das im gleichen Lösungsmittel wie das Monomerengemisch löslich ist, wird mit diesen Materialien ebenfalls augenblicklich ein klares Bild mit hohem Kontrast erzielt.

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Andere geeignete energieempfindliche Materialien, die
mit Nutzen bei den Konstruktionen und bei dem Verfahren gemäß der Erfindung verwendet werden können, sind unter anderem die Dichromatgruppen enthaltenden Colloid«
mannigfaltiger Zusammensetzung« Mannigfaltige lichtempfindliche, ungesättigte Verbindungen, beispielsweise die verschiedenen Stilbenverbindungen, deren Löslichkeitseigenschaften bei Einwirkung aktinischer Strahlung veränderbar sind, sowie mannigfaltige andere Materialien, deren ⁺ durch Einwirkung von Energie

veränderbar sind, können ebenfalls bei der Konstruktion gemäß der Erfindung als energieempfindliches Material
verwendet werden. Bei dem Verfahren gemäß der Erfindung erfüllt das Speichermaterial die Punktion des energieempfindlichen Materials und auch die Funktion de» Bilderzeugungsmaterials. Nach dem Verfahren gemäß der Erfindung werden sie auch als energieempfindliches Material allein und in Kombination mit einer getrennten Schicht
verwendet, die ein Bilderzeugungematerial enthält.

Da bei dem Verfahren gemäß der Erfindung keine scharfen Atzmedien verwendet werden, braucht das energieempfind-Liche Material nicht die sonst allgemein bei einem
Lichtabdeckmaterial geforderten Eigenschaften zu haben. Es ist lediglich erforderlich, daß seine LöslichkeitS—
eigenschaften durch Einwirkung von Energie veränderbar
sind. Wenn das Lösungsmittel dann zur Wirkung gebracht
wird, löst es die löslicheren Teile des energieempfindlichen Materials und die darunterliegenden Teile des
Hilderzeugunftsrnaterials.

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+ Lösiichkeitseigenschaften

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Dies stellt einen wesentlichen Unterschied des Verfahrens gemäii der Erfidnung gegenüber den bekannten Methoden unter Verwendung von Lichtabdeckmaterialien (photoresist methods) dar. Dank diesem Unterschied können bei der Konstruktion und bei dem Verfahren gemäß der Erfindung mannigfaltige lichtempfindliche Materialien verwendet werden, die normalerweise als Lichtabdeckmaterial bei herkömmlichen Lichtabdeckarbeiten nicht geeignet wären.

Herkömmliche Lichtabdeckmaterialien sind aus den hier angegebenen Gründen gewöhnlieh Materialien, bei denen die Bilderzeugungsbereiche in einem organischen Lösungsmittel löslich sind. Gewöhnlich erfolgt das Lösen langsam und erfordert verhältnismäßig viol Zeit. Die herkömmlichen Lichtabdeckmaterialien^ die normaXarweis© nur zur Herstellung von Druckplatten, gedruckten Stromkreisen und Masken auf Glas verwendet werden» haben den Nachteil, daß da's für die Entwicklung des Lichtabdeckmaterials verwendete organische Lösungsmittel auch.die meisten Kunststoffe angreift, die herkömmlicherweise als substrate bei der Herstellung von Projektionsabbildungen oder Mikroformaten, wie Mikrofilm oder Mikrofiche,verwendet werden oder erwünscht wären. Die herkömmlichen Lichtabdeckmaterialien sind daher hinsichtlich ihrer Anwendbarkeit auf die Erzeugung von MikroFormaten beschränkt. Diese Probleme bestehen natürlich bei der Konstruktion gemäß der Erfindung nicht, da hier zur Entwicklung des latenten Bildes als Lösungsmittel walteIge Medien verwendet werden«

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Zur leichteren Anwendung ist es im allgemeinen vorzuziehen, daß das energieempfindliche Material in dem an der betreffenden Schicht angebrachten Zustand in einem Lösungsmittel löslich ist, das vorzugsweise für daa darunterliegende Bilderzeugungsmaterial kein Lösungsmittel ist. Diese Forderung wird in hervorragender Weise in dem oben erwähnten Fall erfüllt, in dem das energieempfindliche Material in einem organischen Lösungsmittel löslich ist und nach Einwirkung der Bilderzeugungsenergie in Wasser löslich wird. Diese Forderung wird auch in dem oben gegebenen Beispiel eines Tellur enthaltenden Bilderzeugungsmaterials in Kombination mit den wasserlöslichen Diazonium-Kondensationsprodukten erfüllt. Das als Lösungsmittel für das Aufbringen der letzteren verwendete Wasser greift die Tellur enthaltende Schicht nicht an, während die wäßrige Hypochloritlösung,, die beim Entwickeln zur Wirkung gebracht wird, sowohl die unveränderten, wasserlöslichen Diazonium-Kondensationsprodukte als auch das darunterliegende Tellur bzw. die Tellurmasse löst. Wenn es erwünscht ist, die Schicht des energieempfindlichen Materials in der Form einer Lösung in einem Lösungsmittel aufzubringen, das normalerweise die Schicht des Bilderzeugungsmaterials angreifen würde, besteht auch die Möglichkeit, eine dünne Zwischenschicht anzubringen, wie dies im folgenden an Hand '■ einer weiteren Ausführungsform der Konstruktion der Erfindung noch erläutert wird.

Ein weiterer wichtiger Gesichtspunkt ist natürlich der, daß das energieempfindliche Material und das Bild-

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erzeugungsmaterial derart ausgewählt sind, daß sie miteinander verträglich sind. Diazoniumsalze und andere lichtempfindliche Stickstoffverbindungen vom Diazo-, Azido- oder Azidtyp reagierten häufig mit einer Metallschicht, wenn sie auf diese aufgebracht werden, so daß sie innerhalb kurzer Zeit unwirksam sind bzw» zerstört werden« Tellur, die Tellurmassen und die übrigen Bilderzeugungsmaterialien, die bei den Konstruktionen gemäß der Erfindung verwendet werden, haben diese Wirkung nicht, und die Konstruktionen gemäß der Erfindung sind über lange Zeiträume lagerungsfähig und behalten ihre Wirksamkeit und Funktionsfähigkeit während langer Zeiträume. Im Verein mit anderen Bilderzeugungsmaterialien wird man aus der großen Zahl möglicher energieempfindlicher Materialien diejenigen auswählen, die von dem Bilderzeugungsmaterial nicht oder kaum angegriffen werden und die miteinander nicht oder kaum reagieren.

Ein bedeutender Vorteil der Konstruktion und des Verfahrens gemäß der Erfindung besteht darin, daß die Schichten des Bilderzeugungsmaterials und des energieempfindlichen Materials äußerst dünn hergestellt werden können. Wenn ein sichtbares Bild, beispielsweise ein Mikroformat, gewünscht wird, wird ein Bilderzeugungsmaterial ausgewählt, das an sich eine hohe Undurchlässigkeit aufweist ο Auf diese Weise genügen äußerst dünne Schichten des Bilderzeugungsmaterials zur Erzielung höchsten Kontrastes. Wie ohne weiteres ersichtlich, wird, da das Bilderzeugungsmaterial nicht lichtempfindlich nach dem Gesichtspunkt hoher Lichtundurchlässigkeit und seiner Lösbarkeit ausgewählt, werden« Da andererseits

+ gewöhnlich .

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eine getrennte Schicht des Bilderzeugungematerials verwendet wird, braucht das energieempfindliche Material nicht undurchsichtig bzw. lichtundurchlässig noch bilderzeu^ungsfähig zu sein. Auf diese Weise braucht das euergieempfindliche Material lediglich nach Gesichtspunkten seiner Empfindlichkeit gegenüber der gewünschten Energie und seiner angestrebten Fähigkeit der Lösliclikeitsänderung ausgewählt zu werden. Es ist tatsächlich bekannt, daß viele der besten energieempfindlichen Materialien bisher nicht für Bilderzeugungszwecke verwendet werden konnten, da sich belichtete und unbelichtete Bereiche nicht in genügender Weise unterscheiden, um ein optisch wahrnehmbares Bild mit ausreichendem Kontrast zu bilden. Selbst durch Verwendung von Farbkopplern und Anwendung ähnlicher Maßnahmen konnte bei solchen Anwendungen, wie bei Mikroformaten, der gewünschte bestmögliche Kontrast nicht erzielt worden. Da der Kontrast in äußerst wirksamer Weise durch das Bilderzeugungsmaterial geschaffen werden kann, braucht die aus diesem bestehende oder dieses enthaltende Schicht im Falle von Tellur oder anderen Tellur enthaltenden Massen nur äußerst dünn, beispielsweise in der Größenordnung von 1000 A zu sein. Je nach Undurchsichtigkeit des Bilderzeugungsmaterials können Schichtdicken von wenigen hunderten Angström bis zu einigen ,um den gewünschten hohen Kontrast sicherstellen.

Ahnliche Gesichtspunkte gelten für die Dicke der aus dem enerßieempfindlichen Material bestehendenbzw. dieses enthaltenden Schicht. Grundsätzlich brauchen diese Schichten lediglich dick genug zu sein, um eine

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zusammenhängende und durchgehende Fläche des energieempfindlichen Materials zu bilden. Es ist kein überschüssiges Material erforderlich, da das Material nicht als Lichtabdeekmasse im Verein mit scharfen Ätzmitteln dienen soll. Es wird auch nicht für die Bilderzeugung benötigt. Bei den meisten energieempfindlichen Materialien, die bei der Konstruktion der Erfindung anwendbar sind, kann die Dicke der diese enthaltenden Schicht von ein paar hundert bis ein paar tausend A und in Ausnahmefällen bis zu einigen /um betragene

Wie aus den obigen Ausführungen hervorgeht, benötigen Konstruktionen, die die wirksamen Materialien in · so dünnen Schichten enthalten, -sehr wenig Material und sind daher billig. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß diese dünnen Schichten in äußerst kurzen. Zeiträumen gelöst bzw» entwickelt werden können, wie dies im folgenden noch ausgeführt wird»

Die Energie, die für das Abbilden und für die Erzeugung des latenten Bildes aus energieempfindlichem Material von hoher Löslichkeit und niedriger Löslichkeit ver- . wendet werden kann, kann entsprechend den Erfordernissen des im Einzelfall verwendeten energieempfindlichen Materials ausgewählt werden. Bevorzugt werden diejenigen Materialien _t die bei Einwirkung niedriger oder mittlerer Mengen elektromagnetischer Strahlung, beispielsweise sichtbaren Lichtes, UV-Strahlung oder IK-Strahlung abbilden. Gemäß der Erfindung wurde gefunden, daß einige der bevorzugten energieempfindlichen Materialien, beispielsweise die obengenannten Diazonium-Kondensationsprodukte hohen Molekulargewichtes durch sehr kurze Impulse von UV-Strahlung aussendenden Licht-

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quellen, wie Quecksilberdampflampen} photοgraphischen und elektronischen Blitzlichtlampen, beispielsweise Xenonblitzlampen, belichtet werden können. Bei Verwendung starker Energiequellen dieses Typs genügen Blitze von weniger als 0,25 s und vorzugsweise von weniger als 0,1 s, und bei elektronischen Blitzlichtlampen reichen sogar Impulse von 1 oder einigen ms aus, um die Änderung der Löslichkeitseigenschaften des energieempfindlichen Materials zu bewirken. Es war unerwartet, daß die chemischen Veränderungen, die zu der Änderung der Löslichkeitseigenschaften führen, durch so kurze Impulse in der Größenordnung von Millisekunden hervorgerufen werden können. Das Abbilden oder Belichten durch kurze Impulse ist von besonderem Vorteil bei der Massenproduktion von Mikrofortnaten auf den Abbildungsmaterialien gemäß der Erfindung. Die für die Belichtung erforderlichen kurzen Impulse im Verein mit der nahezu augenblicklichen Entwicklung, beispielsweise durch Abwischen des belichteten Materials mit einem geeigneten Stück Filz o.dgl., ermöglicht außerordentlich hohe Produktionsleistungen und —ge— schwindigkeiten unter Verwendung von Geräten mit kleinen Abmessungen.

Es war nicht zu erwarten, daß das Belichten der Materialien gemäß der Erfindung durch kurze Impulse hoher Energie, beispielsweise von einer Xenonlampe, möglich sein würde. Die Xenonblitzlichtlampe emittiert ungeordnetes Licht, d.h. die ausgesendeten Lichtstrahlen sind nicht parallel. Es wäre zu erwarten gewesen, daß dies die Konturentrennschärfe des Bildes

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beeinträchtigen würde. Überraschenderweise werden jedoch auch mit diesen Lichtquellen äußerst scharfe Bilder höchster Trennschärfe erzielt, wenn Abbildungsmateria'lien gemäß der Erfindung verwendet werden· Unter diesen Abbildungsbedingungen wären auch schädliche Lichthofbildungen zu erwarten gewesen. Es hat sich gezeigt, daß bei Verwendung der Materialien gemäß der Erfindung keine solchen Lichthofeffekte auftreten. Es besteht daher auch keine Notwendigkeit,, spezielle Schichten zur Verhinderung des Lichthofeffektes vorzusehen, selbst wenn die Unterschicht des Bilderzeugungsmaterials reflexionsfähig ist. Diese Wirkiyig wird mindestens teilweise durch die Tatsache erklärt, daß die Abbildungsmaterialien gemäß der Erfindung ein äußerst hohes Ύ* » beispielsweise in der Größenordnung von 5-10 haben.

Die energieempfindlichenMaterialien gemäß der Erfindung können bei der Herstellung der Konstruktion gemäß der Erfindung in der Form einer Losung,, beispielsweise durch Aufwalzen, Aufsprühen, Wirbeln (spinning), Tauchen oder durch beliebige andere gewünschte Verfahrensweisen aufgebracht werden. Diese Verfahren, insbesondere das Aufwalzen, sind insbesondere auch bei denjenigen energie® rap findXichen. Materialien vorzuziehen, die sich in der Form einer wäßrigen Lösung aufbringen lassen, wie dies bei den obengenannten Formaldehyd-Kondensationsprodukten von Diazoniumsalzen der Fall ist.

Wenn die Unterschicht der Konstruktion, die aus dem Bilderzeugungsmaterial besteht bzw. dieses enthält,

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ebenfalls in dein für das Aufbringen des energieempfindlichen Materials verwendeten Lösungsmittel löslich ist, könnte die Unterschicht in schädlicher Weise beeinflußt werden, wenn die Oberschicht aus energieempfindlichem Material aufgebracht wird. In diesen Fällen ist es nützlich, die Ausführungsform der neuen Konstruktion gemäß Fig. 4 zu verwenden. Die Konstruktion 40 weist ein Substrat 42 auf. Auf dieser ist eine Schicht 44 aus einem Bilderzeugungsmaterial ausgebreitet, beispielsweise eine Schicht eines wasser löslichen, organischen, polymeren Materials, die als Bilderzeugungsmaterial beispielsweise einen schwarzen oder dunklen Farbstoff, wie Nigrosin, oder ein Pigment» wie Graphit, Kuli oder ein sonstiges Pigment, enthält. Die Schicht 44 hat eine solche Dicke, daß sie bei der fertigen Abbildung den erforderlichen oder gewünschten Kontrast gewährleistet. Auf der Schicht kk befindet sich eine äußerst dünne Schicht 46 eines Schutzmaterials, beispielsweise aus Tellur oder aus einer Tellur enthaltenden Masse, die nicht in Wasser, jedoch in einem unschädlichen wäßrigen Lösungsmittel, beispielsweise in den obengenannten wäßrigen Hypochlorit-Lösungsmitteln, loslich ist. Die Oberschicht 48 ist aus einem energieetnpl indli chen Material, beispielsweise aus einem der obengenannten wasserlöslichen Formaldehydkondensaten einer Diazoniuniverbindung gebildet. Die Schicht 46 des Schutzmaterials braucht nur äußerst dünn, und zwar eben üick genug zu sein, um eine durchgehende, schützende Schicht zu bilden, so daß die wasserlösliche Schicht kk nicht beschädigt wird, wenn die wäßrige Lösung des energieeinpfindlichen Materials zur Bildung der

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Oberschicht aufgebracht- wird· Bie Zwischenschicht 46 braucht lediglich in der Größenordnung von 1OO oder 200 Ä* zu sein, kann jedoch, wenn erwünscht, auch dicker ausgebildet werden»

Das Abbilden (Belichten) und Entwickeln der Konstruktion 40 kann in der im Zusammenhang mit Fig. 1 bis 3 beschriebenen Weise durchgeführt werden. Wenn bei spielsweise das Entwickeln mittels einer stark verdünnten wäßrigen Natriumhypochloritlösung durchgeführt wird, löst die Lösung das Material in den Schichten 48, 46 und 44 in allen denjenigen Bereichen, in denen das . Material in der Schicht 48 in .Wasser oder in einem anderen gemeinsamen Lösungsmittel löslich ist. Mit anderen Worten, bei dieser Ausführungsform der Erfindung sind drei bchichten vorhanden, die im belichteten oder unbelichteten Zustand in einem gemeinsamen Lösungsmittel löslich sind.

Wie ohne weiteres ersichtlich, dient bei dieser Ausführungsforin der Konstruktion gemäß der Erfindung die Zwischenschicht 46, die beispielsweise aus Tellur be steht, nicht als flilderzeugungsraaterial sondern ledig lich als Schutzschicht. Wenn erwünscht» können die Teile der Oberschicht 48 und der Zwischenschicht 46, die bei der Entwicklung nicht entfernt worden sind, in einem anschließenden Arbeitsgang beispielsweise durch Abreiben, Abwischen, Lösen in einem Lösungsmittel, das j.edoch für das Bilderzeugungsmaterial in der Schicht 44 kein Lösungsmittel ist, uef. entfernt werden.

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Die soeben beschriebene Konstruktion kann mit ähnlichem Vorteil mit beliebigen anderen Materialien zusammen verwendet werden, die in einem beliebigen anderen gewünschten Lösungsmittel löslich sind, und kann a,ucb in dem Fall verwendet werden, daß ein energieempfindliches Material, das in einem Entwicklungs-Löaungsmittel unlöslich ist, infolge der Einwirkung von Energie löslich wird. In ähnlicher Weise können die Konstruktionen gemalJ der Erfindung mit vier oder mehr Schichten ausgestattet sein, die im einen oder anderen Zustand in einem gemeinsamen Lösungsmittel löslich sind.

Die Konstruktionen gemäß der Erfindung können auch zur Erzeugung von Reflexionskopien verwendet werden· In diesem Fall wird ein lichtdurchlässiges Substrat verwendet und die Schicht des Bilderzeugungsmateriala aus einem Material hergestellt, das bei der verwendeten Dicke mindestens teilweise lichtdurchlässig ist und ein niedriges Reflexionsvermögen hat. Ein geeignetes Bilderzeugungsmaterial für diesen Typ der Konstruktion ist beispielsweise Tellur oder eine Tellur enthaltende Masse in einer Dicke von beispielsweise ca. 200 A. Das energieempfindliche Material kann eines der obengenannten Diazonium-Kondensationsprodukte von hohem Molekulargewicht sein, und das Substrat kann beispielsweise Mylar oder Celluloseacetat sein. Andere Konstruktionen gemäß der Erfindung, die andere Bilderzeugungsmateriaiien und andere energieempfindliche Materialien enthalten, können mit gleichem Nutzen bei dem Verfahren zum iieflexionskopieren verwendet werden· Vorzuziehen sind energieempfindliche Materialien, die auf

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elektromagnetische Strahlung und vorzugsweise auf Licht im sichtbaren Bereich empfindlich sind.

Wie oben bemerkt, sind das Verfahren und die Konstruktion gemäß der Erfindung von besonders großem Nutzen bei der Herstellung von Mikroformaten, beispielsweise Mikrofilm und Mikrofiche. Das Verfahren ist nicht nur äußerst zeitsparend, so daß es in der oben beschriebenen Weise eine äußerst hohe Produktions» geschwindigkeit und -leistung ermöglicht, sondern liefert auch Mikroformate äußerst hoher Qualität, Die Materialien gemäß der Erfindung ergeben Bilder von höchstem Auflösungsvermögen, das dem bester handeis» üblicher Materialien gleich kommt oder dieses übertrifft. Die Trennschärfe ist ausgezeichnet, und wegen des äußerst hohen o»· wird ein ausgezeichneter Kontrast erzielt. Da gemäß der Erfindung Bild@rzeiägungsmat©rialien höchstmöglicher Lichtundurchlässigkeit, unabhängig von deren Lichtempf indlichkeit, ausgewählt werden können., haben die mit den bevorzugten Materialien gemäß der Erfindung hergestellten Abbildungen Im Vergleich zu sämtlichen handelsüblichen Abbilduragsmatarialiea den höchsten Kontrast.

Das äußerst hohe γ der Materialien gemäß der Erfindung

macht es möglich,, sehr kontrastreiche Bilder zu erzielen, .die selbst die Bilder ihrer Vorlagen oder Originale an Schärfe übertreffen» Dies wird durch die Darstellungen in Fig. 5 bis 7 verdeutlicht. Fig. 5 zeigt in starker Vergrößerung eine dünne Linie oder ein Schriftzeichen 50, wie dies beispielsweise in einer Silberhalogenidmaske dargestellt sein kann. Der Mittelbereich 52 hat die höchste, in der Silberhalogenid-

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.. ■ "., " ³² " BAD ORIGINAL

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Abbildung erzielbare Dichte. Die Flächenbereiche 5^ an beiden Kanten stellen einen Graubereich dar, in dem die Dichte von "schwarz" bis zur Durchsichtigkeit des Hintergrundes abfällt. Dieser Dichte-Abfall ist in Fig. 5 durch die dreieckigen Abschnitte 56 veranschaulicht. Dies bedeutet, daß das tiefste Grau sich an der Kante 58 des schwarzen Bereiches 52 befindet und daß die Dichte "null" oder die vollständige Durchsichtigkeit an den Linien 60 beginnt.

Eine Kopie 6k des Schriftzeichens 50» die an einer Abbildungskonstruktion gemäß der Erfindung hergestellt wurde, ist in Fig. 6 veranschaulicht« Die Kopie 64 des Schriftzeichens ist durch eine in hohem Maße undurchsichtige Fläche 66 wiedergegeben, die durch scharfe Linien begrenzt 1st und bei der die in dem Original vorhanden gewesenen Graukantenbereiche entfallen sind. Mit anderen Worten, zwischen dem in hohem Maße undurchsichtigen Bereich 66 und dem vollständig lichtdurchlässigen Bereich jenseits der Trennlinie 68 ist eine scharfe Stufe vorhanden. Da graue, fransige Kanten 5'+ nicht vorhanden sind, fällt die,.Abbildung schärfer aus. Es ist zu bemerken, daß die in hohem Maße undurchsichtige Belache 66 etwas breiter als die Fläche 52, nicht jedoch so breit wie das Schriftzeichen 50 an seinen äußeren Begrenzungslinien 60 ist. Dies sorgt für größere Schärfe und höheres Auflösungsvermögen, so daß in der Tat die Verwendung des Abbildungsmaterials eine Erhöhung des Auflösungsvermögens der Kopie gegenüber dem Original ermöglicht. Wie bekannt, sind normalerweise bei den meisten Kopiermaterialien Auflösungsvermögen und Schärfe

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bei der Kopie geringer als beim Original.

Der dargestellte Sachverhalt ist in Fig. 7 graphisch veranschaulicht. Die Dichte ist entlang der Ordinate als Funktion des Querschnittes bei Fehlen eines Schriftzeichens, wie desjenigen gemäß Fig. 5» aufgezeichnet. Die ivurve 70 zeigt, daß die Dichte von dar Kante des Schriftzeichens gegen dessen Mitte hin üüunitnmt, bis sie einen Maximalwert erreicht hat. Gegen die gegenüberliegende Kante hin beginnt die Dichte später bis auf null abzufallen. Eine etwaige Dichte d§s Hintergrundes wurde dabei subtrahiert (blieb unberücksichtigt) und ist in der Kurve 70 nicht dargestellt« Die Kurve 72 (unterbrochener Linienzug) stellt die Kurve in gleicher Weise für die Kopie des Schriftzeichen? dar, das der Kurve 70 zugrundeliegt, und gilt für ein Kopiermaterial gemäß der Erfindung laut obig-er Beschreibung,, Aus der Kurve 72 ist zu erkennen, daß bei Annäherung an das Schriftzeichen die Dichte plötzlich auf ihren höchsten Vert steigt, über die Drei te des bchriftzeichens unverändert bleibt und dann an det anderen Kante direkt auf null absinkt. Es ist auch zu erkennen, daß die Dichte in der Kopie, des bchriftzeicheus, die durch die Kurve 72 veranschaulicht ist, erheblich größer ist als die beim Original erreichte .maximale Dichte. Die Schnittpunkte Jk zwischen den Kurven JO und 72 stellen Kippunkte dar. Sie können bei Herstellung der Kopie durch Verändern der Belichtungszeit derart gewählt werden, daß.sie weiter nach außen, beispielsweise gegen einen Punkt in dem durch den Pfeil Jb gekennzeichneten Bereich, oder weiter einwärts

^ Jk ~

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gegen einen Punkt in dem durch den Pfeil 78 gekennzeichneten Bereich fallen. Das Verfahren und die Konstruktionen gemäß der Erfindung gestatten es daher nicht nur, im Original vorhandene graue oder fransige Bereiche zu beseitigen, sondern auch durch Wahl des Kippunktes in weiten Bereichen die Deutlichkeit und SchärTe zu beeinflussen, und ermöglichen es außerdem, das Auflösungsvermögen den Erfordernissen eines bestimmten Falles anzupassen. Wie ohne weiteres ersichtlich, machen diese Eigenschaften das Abbildungsmaterial ge mal.; der Erfindung anderen Materialien zur Herstellung von Mikroformaten höchster Qualität bei weitem überlegen*

Die Fähigkeit des Abbildungsmaterials gemäß der Erfindung, Kopien von höchstem Auflösungsvermögen zu erzeugen und Schriftzeichen zu schaffen, die sich durch eine scharfe Trennung zwischen undurchsichtigen und lichtdurchlässigen Bereichen auszeichnen, kann in Fällen, in denen das. Original erhebliche Kantenunschärfen und Graukantenbereiche aufweist» mechanisch gefördert weiden. Dieser Fall ist in Fig. 8 veranschaulicht, die in stark vergrößertem Maßstab den Querschnitt einer Konstruktion BO gemäß der Erfindung, bestehend aus einer Schicht Sh aus Bilderzeugungsmaterial, beispielsweise Tellur, auf einem Substrat 82, darstellt. Darüberliegeml ist eine Schicht 86 aus energieempfindlichem Material, beispielsweise aus einem der obengenannten FornialdehydJvmiderisation3produkte einer Diazoniumverbinduntf, dargestellt. Die Fläche 8ö der Konstruktion wurde der Einwirkung einer Energie, beispielsweise einer UV-Strahlung, ausgesetzt, und dies hatte zur

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Folge, daii das Material in diesem Fall erhärtete und in Wasser unlöslich wurde» Es sei nun angenommen, daß die Kante zwischen den Ii eilt durchlass igen und

Üchtundurchlässigen Bereichen des ursprünglichen Schriftzeichens in der Maske für die Durchführung der Belichtung nicht scharf ist sondern einen Graubereich aufweist, wie er beispielsweise in Fig_o- 5 dargestellt ist; dann fallen, vom Punkt 88 gegen einen Punkt 90 in der Schicht fortschreitend, abnehmende Mengen d©x* UV-Strahlung auf die Schicht 86 auf. Dies bedeutet» daü zwischen den Punkten 88 und 90 das ensrgiesmpfind liche Material in der Schicht 86 weniger als die Menge an Strahlung erhält, die erforderlich ist; um das Material vollständig unlöslich zu machen. Ss ist daher in diesem Bereich ein Gemisch aus wasserlöslichem und wasserunlöslichen Materialien vorhanden, das bei Einwirkung von Wasser zur Ausbildung einer Schulter führt, die durch eine abfallende Linie 92 in Pig» 8 angedeutet ist. Ua das Material innerhalb dieser Schulter aiit der behiebt Sk des Bilderzeugungsmaterials nicht fest verankert ist, könnte ein Teil des Lösungsmittels beim Entwickeln unter die Kante in den mit 9^ bezeich=- neten bereich eintreten und in dem Bilderzeugungsmaterial in der Schicht 88 eine etwas fransige Kante erzeugen. Dies kann dadurch vermieden werden, daß die Oberfläche der Konstruktion gleichzeitig mit der Einwirkung des Lösungsmittels abgewischt oder abgerieben wird. Dieses mischen oder Reiben bat zur Folge, daß die in sich widerstandslose Schulter 92 entlang einer scharfen Linie, die durch die unterbrochene Linie 96 angedeutet ist, wegbricht. Anschließend löst das

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Lösungsmittel den darunterliegenden Teil des Bilderzeugungsmaterials links der Linie 98, so daß sich in der hergestellten Kopie eine sehr scharfe, saubere Kante und somit eine hohe Schärfe und scharfe Begrenzung des dargestellten Schriftzeichens ergibt.

In der Praxis kann dieses Wischen oder Reiben zugleich mit dem Entwickeln oder Lösen durch die Verwendung eines bewegten Riemens aus feinem Filz o.dgl. erzielt werden, der mit dem Lösungsmedium getränkt ist und zum augenblicklichen Entwickeln des Mikroformate in höchster Qualität dient.

Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren und eine Konstruktion zur Herstellung von Metallmasken· Eine repräsentative Konstruktion 100 ist in Flg. 9 gezeigt und weist ein Substrat 102 auf. Auf diesem Substrat befindet sich eine Schicht 104 aus einem Metall, wie Chrom. Darüber ist eine Schicht 106 eines BiIderzeugungematerials laut obiger Beschreibung, beispielsweise Tellur oder eine Tellur enthaltende Masse vorgesehen. Auf der Konstruktion 100 ist eine Schicht 108 aus energieempfindlichem Material laut obiger Beschreibung, beispielsweise aus dem obengenannten Diazoharz Diazo Resin No. h, angebracht. Das Bilderzeugungsmaterial und das energieempfindliche Material sind so gewählt, daß sie, wie oben beschrieben, entweder im belichteten oder im unbelichteten Zustand, in einem gemeinsamen Lösungsmittel löslich sind. Die Oberschicht 108 der Konstruktion 100 wird der Einwirkung einer geeigneten Energie, beispielsweise einer elektromagnetischen Strahlung, ausgesetzt, und die so belichtete

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Fläche wird in das betreffende gemeinsame Lösungsmittel eingetaucht, mit diesem gewaschen oder mit diesem gewiseht. Dieses Lösungsmittel kann beispielsweise eine wäwrige verdünnte Hypochloritlösung sein, wie oben beschrieben. Auf diese Weise wird, wie oben erläutert, ein Bild erzeugt, in dem das Metall, beispielsweise Chrom, i'reigelegt wird. Dann wird die Konstruktion zum Wegätzeu des Metalls bzw. der Chromschicht mit einem Lösungsmittel für das Metall, beispielsweise einer im Verhältnis 1:1 verdünnten wäßrigen Salzsäurelösung behandelt. Anschließend kann das Bilderzeugungsmaterial (z.B. Tellur) und/oder das energieempfindliche Material (z.B. das Diazoharz Resin No. k), das auf dem Chrom zurückgeblieben ist, beispielsweise mechanisch oder unter Verwendung eines geeigneten Lösungsmittels abgestreift werden. In dieser Weise erhält man unverzüglich eine Metallmaske, beispielsweise eine Chrommaske auf z.B. Glas oder Kunststoff, wie Mylar. Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung dient die Kombination der Schichten aus Bilderzeugungsmaterial und energieempfindlichem Material als Lichtabdeckung oder l'hotodeckschicht (photoresist) verbesserter Eigenschaften und Funktionsfähigkeit. Ein besonderer Vorteil der neuen Konstruktion bzw. des neuen Verfahrens besteht darin, daß die bei herkömmlichen Verfahren zur Herstellung von Metallmasken erforderlichen Arbeitsgänge des ivasctiens und Brennens entfallen können.

Zahlreiche weitere Abwandlungen der mannigfaltigen Ausführ unß-sformen der Erfindung sind ohne Abweichen vom Erfindungsgedanken möglich.

Patentansprüche

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^J BAD

Claims (1)

1. Patentansprüche
   . ^Kbbildungsmaterial, gekennzeichnet durch

   a) eine Schicht mit bzw. aus einem energieempfindlichen Material, das durch Einwirkung von Energie zwischen zwei Zuständen veränderbar ist, deren einer ein Zustand ist, in dem das Material in einem gewählten Losungsmittel löslich ist, und dessen anderer ein Zustand ist, bei dem das Material in dem gewählten Lösungsmittel unlöslich ist, und

   b) eine Schicht aus bzw. mit einem Bilderζeugungsmaterial, das in dem gewählten Losungsmittel löslich ist.

   2. Abbildun;;smaterial nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus bzw. mit dem Bilderzeugungsmaterial auf einem Substrat angeordnet 1st.

   j. Abbildun^smaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat lichtdurchlässig ist.

   k, Abbildungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das energieempfindliche Material ein organisches Material ist.

   3. Abbildungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das energieempfindliche Material eine Verbindung einer gegebenen chemischen Zusammen-

   - 39 ^{309824/11 6}2 BADOR₁G₁NAL

   setzung ist, die durch Einwirkung eirier Energie in eine Verbindung anderer chemischer Zusammensetzung umwandelbar ist-, wobei die Löslichkeit der Verbindungen unterschiedlicher chemischer Zusammensetzung in einem gewählten Lösungsmittel wesentlich unterschiedlich ist,

   6. Abbildungsmateriai nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das eiaergieempfindlich© Material ein lichtempfindliches Material ist.

   7. Abbildungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daÜ das energieemyfindliche Material eine wasserlösliche Diaäsoverbindung ist, die unter Bnergieeinwirkung wasserunlöslich wird»·

   8. Abbildungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet» daß das en©rgieempfindliche Material ein Diazoharz (üiaao l<esin No₀ 4) ist.

   9. Äbbilctungsmaterial nach Anspruch 1 oder Z, dadurch '

   gekennzeichnet, daß das einiergieempi'indiiche Material

   eine organische ist, die gegenüber elektromagnetischer Strahlung empfindlich ist.

   10. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Bilderzeugungsmateriai ein undurchsichtiges Material ist,

   11. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Bildererzeugungsmaterial ein Material ist, dessen Dichte bei einer Dicke von 2000 X 2,5 bis 3,5 beträgt.

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   - 40 -

   + Verbindung

   - kO

   12. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis dadurch gekennzeichnet, daß das Bilderzeugungsmaterial eine Masse ist, die zu ca, 50 bis 100 At-$ aus Tellur besteht.

   13. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das energieempfindliche Material ein Material ist, das in Wasser und in einer verdünnten wäßrigen Natriumhypochloritlösung löslich ist und bei Einwirkung einer genügenden Abbildungsenergie in Wasser und in verdünntem wäßrigem Natriumhypochlorit einer Stärke, bei der dieses das Bilderzeugungsmaterial löst, unlöslich wird»

   14. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Bilderzeugungsmaterial eine Tellur enthaltende Masse ist, die in verdünnter wäßriger Natriumhypochloritlösung löslich ist.

   15· Verfahren zur Herstellung einer Abbildung, dadurch gekennzeichnet, daß

   a) eine Konstruktion geschaffen wird, die eine Schicht aus einem Bilderzeugungsmaterial, das in einem gewählten Lösungsmittel löslich ist, und eine auf dieser Schicht aus Bilderzeugungsmaterial angeordnete Schicht aus bzw. mit einem energieempfindlichen Material aufweist, das unter Einwirkung einer Energie zwischen zwei Zuständen veränderbar ist, in denen seine Löslichkeit in einem gewählten Lösungsmittel unterschiedlich ist;

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   d) zur Aufzeichnung eines beliebigen Musters (schriftzeichen, Abbildung o.dgl.) in der Schicht des ftiergieempfindlichen Materials durch Veränderung des Zustandes des energieempfindlichen Materials aus dem einen in den andern gewünschte ausgewählte Bereiche der Konstruktion der Einwirkung von Energie selektiv ausgesetzt werden; und "

   c) zur Erzeugung einer Abbildung aus dem Bilderzeugungsinaterial an der Konstruktion ein gewähltes Losungsmittel zur Wirkung gebracht wird, das diejenigen Teile der Schicht des energieeiapfindlichen Materials, die sich im Zustand der größeren Löslichkeit befinden, in einem wesentlich größeren Ausmaß oder mit größerer Geschwindigkeit löst als diejenigen Teile, die sich in dem anderen Zustand geringerer Löslichkeit befinden, und-das außerdem auch diejenigen Teile des Bilderzeuguhgsmaterials löst, die unter jenen Teilen des energieempfindlichen Materials liegen, die sich in «.!em Zustand der Löslichkeit im größeren Ausmaß befinden.

   Ιό. Verfuhren nach Anspruch 15» dadurch gekennzeichnet, daii das Bilderzeugungsniateriai auf einem Substrat angeordnet ist.

   I7, Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, d_tlij 'lad Bilderzeugungsniateriai auf einem lichtdurchlässigen Substrat angeordnet ist.

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   lh. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17» dadurch gekennzeichnet, daß eine Konstruktion mit einer Schicht vorgesehen ist, die aus einer Teliurttiasse besteht, die zu von etwa 50 bis 100 At-> aus Teilui· bestellt.

   \9. Vet iah reu nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß eine Konstruktion verwendet wird, die auf einem Substrat eine Schicht aus einer in einer vordünnten wäßrigen Natriumhypochloritlösung einer bestimmten Konzentration löslichen, Tellur enthaltenden Masse sowie ferner eine in dieser verdünnten wäßrigen Natriumhypochloritlösung der bestimmten Konzentration löslichen energieempfindlichen Material aufweist, welch letzteres bei Einwirkung von Energie in der verdünnten wäßrigen Natriumhypochloritlösung der bestimmten Konzentration unlöslich wird, und daß nach bildweiser Einwirkung der Energie auf die Konstruktion zum Lösen des energieempfind-1 Lehen Materials und der Tellur enthaltenden Masse in denjenigen Bereichen der Konstruktion, die keine .\bbi iiiinv.seuerg-ie erhalten haben, an der das energieenipi null iche Material enthaltenden Schicht wäßrige .Natri umhypox hloritlösung der bestimmten Konzentration zur Wirkung gebracht wird.

   ÜO» Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 191 dadurch gekennzeichnet, daß das Lösen des energieempf in<J liehen Materials in den Bereichen, in denen es sich im Zustand größerer Löslichkeit befindet, sowie des Bilderzeugungsmaterials in den unter diesen Dereichen Liegenden Bereichen innerhalb weniger

   als IU Sekunden erfolgt.

   309824/1162 - kj -

   + Schicht aus einem

   21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Lösen des energieempfindlichen Materials in den Bereichen, in denen es sich im Zustand größerer Löslichkeit befindet, sowie des Bilderzeugung^- materials in den unter diesen Bereichen liegenden Bereichen innerhalb weniger als 1 Sekunde erfolgt.

   22. Verfahren nach Anspruch 15 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht vorgesehen ist, die als energioempfindliches Material eine Verbindung aufweist oder enthält, deren ehemische Struktur unter der Einwirkung von Energie sich von einer chemischen Zusammensetzung zu einer anderen chemischen Zusammensetzung verändert.

   2j. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 his 22_P dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht vorgesehen ist₉ die als energieempfindliches Material eine Diazoverbindung aufweist.

   2t. Verfciliren nach einem der Ansprüche 15 bis ZJ, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht vorgesehen ist, die als energieempfindliches Material ein Kondensationsprodukt mindestens einer Diazoverbindung von hohem Molekulargewicht aufVeist, das in wäßrigen Medien löslich ist und unter Energieeinwirkung in wäi-ir, V₁^eU Medien im wesentlichen unlöslich wird.

   25. VerJahren nach einem der Ansprüche 19 bis 2k, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht vorgesehen ist, die als energieempfindliches Material ein

   309824/1 _16? BAD

   Kondensaitionaprodukt mindestens einer üiazoverbindung von hohem Molekulargewicht aufweist, das in wäiJrigen Medien löslich ist und unter Energieeinwirkuni' in wäßrigen Medien im wesentlichen unlöslich wird.

   2ö, Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 25» dadurch gekennzeichnet, da/J an der Konstruktion ein ausgewähltes Lösungsmittel zur Wirkung gebracht wird, das unschädlich ist.

   27· Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 26, dadurch gekennzeichnet, daü an der Konstruktion beim Lösen in einem einzigen Arbeitsschritt ein gewähltes wäßriges, unschädliches Lösungsmittel zur Wirkung gebracht wird.

   28. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 27» dadurch gekennzeichnet, daß an der Konstruktion aktinische Strahlung bildweise zur Wirkung gebracht wird.

   29· Verfahren"nach einem der Ansprüche 15 bis 28, dadurch gekermzeictmet, dali eine Konstruktion verwendet wird, die auf einem Substrat eine Schicht aus oder mit einem in einem gewählten Lösungsmittel löslichen, hoch-undurchsichtigen bzw. lichtundurchlässigen iJiiderzudgungsmaterial und darüber eine Schicht aus bzw. mit einem in dem gewählten Lösungsmittel löslichen Hilfsbilderzeugungsinaterial und darüber eine Schicht aus einem energieempfindlichen Material aufweist, welch letzteres in dem einen seiner Zustände in dem gewählten Lösungsmittel löslich ist.

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   jO. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß ein energieempfindliches Material in der Schicht vorgesehen ist, das bei Fehlen einer Energieeinwirkung in einem Hilfslösungstnittel das für das Hilfsbilderzeu'gungsmaterial kein Lösungsmittel ist, und daß zur Bildung der Schicht des energieempfindlichen Materials dieses in der Form einer Lösung in dem Hilfslösungsmittel auf die Schicht des Hilfstoilderzeugungsmat©rials aufgebracht wird«

   j1. Verfahren zur Herstellung von Mikroformaten, dadurch gekennzeichnet, daß

   a) ein Kopiermaterial verwendet wird, das auf einem lichtdurchlässigen Substrat eine Schicht eines undurchsichtigen bzw» lichtundurchlässigen Bilderzeugungsmaterials sowie eine darauf angeordnete Schicht aus einem hochmolekularen wasserlöslichen üond ensationaprodukt aufweist, welch letzteres bei Einwirkung einer aktinischen Strahlung fähig ist, ein wasserlösliches Härzprodukt zu bilden,

   b) das Kopiermaterial mit der Seite, die die Schicht des hochmolekularen Kondensationsproduktes aufweist, mit einem Original zur Berührung gebracht wird, das eine Bilddarstellung der zu vervielfältigenden oder zu kopierenden Mikroaufzeichnung enthält und lichtdurchlässige und undurchsichtige Bereiche aufweist,

   BAD ORIGINAL + löslich ist,

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   c) zur Bildung einer latenten Bilddarstellung auf dem Kopiermaterial an diesem durch das Original hindurch eine aktinische Strahlung während einer Zeitspanne zur Wirkung gebracht wird, die lang genug ist, um das wasserlösliche Kondensationsprodukt in den den lichtdurchlässigen Bereichen des Originals entsprechenden Bereichen wasserunlöslich zu machen, jedoch kurz genug ist, um das Kondensationeprodukt in den den undurchsichtigen. Bereichen des Originals entsprechenden Bereichen wasserlöslich zu erhalten,

   d) das Original mit dem Kopiermaterial außer Berührung gebracht wird und

   e) zur Bildung einer Kopie oder eine· Duplikates des Mikroformatoriginals an der latenten Bilddarstellung zum Lösen des wasserlöslichen Kondensationsproduktes in den Bereichen, in denen es wasserlöslich geblieben ist, sowie des unter dem löslichen Kondensationsprodukt liegenden undurchsichtigen Bilderzeugungsmaterials ein wäßriges Lösungsmittel zur Wirkung gebracht wird, so daß nur das Harzkondensationsprodukt und das von diesem bedeckte Bilderzeugung!
   ungelöst zurückbleibt.

   bedeckte Bilderzeugungsmaterial im wesentlichen

   D2. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis JO, dadurch gekennzeichnet, daß in der das energieempfindliche Material begleitenden Schicht ein in einer unschädlichen wäßrigen Lösung lösliches photoempfindliches

   - k7 -undurchsichtige '

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   BAD ORIGINAL

   Material vorgesehen ist, das eine Verbindung ist oder enthält, die aus der Gruppe, bestehend aus Diazoverbindungen, aromatischen. Azidoverbindungen, Diazidverbindungen und den hochmolekularen Kondensationsprodukten dieser Verbindungen ausgewählt ist.

   JJ. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch.gskennz©Ichnet, daü eine Schicht einer· In einem wäßrigen Lösungsmittel löslichen Tellur enthaltenden Masse vorgesehen ist.

   3^. Verfahren nach Anspruch 31 und 33, dadurch gekenn-. zeichnet, daß eine Schicht aus einer Germanium enthaltenden Masse vorgesehen ist.

   35. Verfahren nach einem der Ansprüche 31 , 33 und Jh₁ dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht einer Tallurmasse vorgesehen ist, di® in verdünnter wäßriger Hypochloritlösung löslich ist und in der ara u®r latenten Abbildungstfledergab© wäßrige Hypochloritlösung als Lösungsmittel sua Lösen des wasserlöslichen Kondensationsprodukt©» und der TeXlurmasse zur Wirkung gebracht

   J6. Verfahren nach einem der Ansprüche 31 und 33 bis

   35» dadurch gekennzeichnet, daß eine Tellurschicht ' vorgesehen ist·

   37· Verfahren nach einem der Ansprüche 31 und 33 bis 36', dadurch gekennzeichnet, daß die zur Wirkuug gebrachte aktinische Strahlung eine UV-Strahlung ist.

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   J8. Verfahren zur Herstellung von Kleinformaten, dadurch gekennzeichnet ι daß

   a) ein Kopiermaterial verwendet wird, das auf einem lichtdurchlässigen Substrat eine Schicht einer Masse, die zu von ca. 50 At-^fe bie 100 At-# aus Tellur besteht und In einem gewählten Lösungsmittel löslich ist, sowie eine auf der Schicht der Tellurmasse angeordnete Schicht, bestehend aus einem energieempfindlichen Material aufweist, welch letzteres durch Einwirkung von Energie zwischen zwei Zuständen unterschiedlicher Löslichkeit durch das gewählte Lösungemittel veränderbar ist,

   b) das Kopiermaterial mit der die Schicht dee energieempiindlichen Materials aufweisenden Seit« mit einem Original zur Berührung gebracht wird, das eine Bilddarstellung der zu kopierenden oder zu vervielfältigenden Mikroaufzeichnung in Form von lichtdurchlässigen und lichtundurchlässigen Bereichen aufweist,

   c) zur Bildung einer latenten Bilddarstellung auf dem Kupiermaterial an diesem durch das Original hindurch eine elektromagnetische Strahlung während einer Zeitspanne zur Wirkung gebracht wird, die lang genug ist, um die Änderung des energieempfindlichen Materials vom einen zum andern Zustand desselben in den den lichtdurchlässigen Bereichen des Originals entsprechenden Bereichen zu bewirken, die jedoch kurz genug ist,um den Zustand des energieempfindlichen Materials in den den Üchtundurchlässigen

   - ^S» 6AD ORIGINAL 30982A / 1 1 62

   Bereichen des Originals entsprechenden Bereichen im wesentlichen unverändert zu erhalten,

   d) das Original mit dem Kopiermaterial außer Berührung gebracht wird und

   e) zur Erzeugung einer Kopie oder eines Duplikates
   des Mikroformatoriginals ar. dem Kopiermaterial
   ein Lösungsmittel zur Wirkung gebracht wird, das das energieempfindliche Material in den Schichtbereichen größerer Löslichkeit löst und außerdem die unter den gelösten Teilen des energieempfindlichen Materials liegende Tellurmasse löst und
   nur diejenigen Teile des Sensibilisatormaterials mit der niedrigeren Löslichkeit in dem Lösungsmittel sowie die von diesen Teilen des Sensibilisatormaterials im wesentlichen ungelöst zurückläßt .

   39* Verfahren nach Anspruch 38» dadurch gekennzeichnet, daß in der Schicht aus energieempfindlichem Material ein wasserlösliches Kondensationsprodukt einer
   Verbindung vorgesehen ist, die aus den Diazoverbindungen ausgewählt ist, wobei die Gruppe aus Diazoverbindungen, aromatischen Azidoverbindungen und Diazoverbindungen sowie den hochmolekularen Kondensationsprodukten
   dieser Verbindungen besteht·

   40, Verfahren nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß in der Schicht mit dem energieempfindlichen
   Material ein photoempfindliches Material vorgesehen ist,, das in einer unschädlichen wäßrigen Lösung
   löslich ist und eine Verbindung ist oder enthält,

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   + überdeckten Teile der T©llurmasse

   die aus der Gruppe, bestehend aus Diazoverbindungen, aromatischen Azidoverbindungen, Diazidverbindungen und den hochmolekularen Kondensationeprodukten dieser Verbindungen ausgewählt ist.

   41, Verfahren nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß in der Schicht aus energieempfind11ehern Material ein photoempfindliches polymerisierbares Material vorgesehen ist, das in einer unschädlichen wäßrigen Lösung löslich ist und unter der Wirkung einer elektromagnetischen Strahlung polymerisiert und ein Material bildet, das in dem genannten wäßrigen Lösungsmittel im wesentlichen unlöslich ist.

   42. Verfahren, dadurch gekennzeichnet» daß

   a) eine dünne Schicht aus einer Mass· vorgesehen wird, die zu von ca. 50 At-# bis 100 At-# aus Tellur besteht, und

   b) zum Lösen der Tellurmasse die Schloht mit einer wäßrigen Hypochloritlösung zur Berührung gebracht wird.

   k}. Verfahren nach Anspruch k2_t dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der Tellurmasse durch Kathodenzerstäubung auf ein Substrat aufgebracht wird»

   kh. Verfahren nach Anspruch kz, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der Tellurmasse durch Auftrag im Vakuum bzw. Aufdampfen auf ein Substrat aufgebracht wird.

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   45. Verfahren nach einem der Ansprüche 42 bis 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der

   , Tellurmasse mit einer wäßrigen liypochloritlösung zur Berührung gebracht wird_? di© von 0,5 h±e 15 Gew.-5b verfügbares Chlor enthält _β

   46. Verfahren nach einem d©r Ansprüche '42 bis 45 s dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus der Tellurmasse mit einer Natriutnhypocfoloritlusung zur Berührung gebracht wird, die von 0,5 fris 30 Gew-fc Natriumhypochlorit enthält-.

   47. Lösung, gekennzeichnet durch, ein Lösungsmittel,, eine Hypochloritverbindung und darin gelöstes Tellur*

   48. Abbildungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis UO, dadurch gekennzeichnet, daß das Bilder.seugiingamaterial eine Masse ist, die im wesentlichen, aus Molybdän besteht.

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