DE2225326C2

DE2225326C2 - Vorrichtung zum pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke

Info

Publication number: DE2225326C2
Application number: DE2225326A
Authority: DE
Inventors: George Richard Jericho Vt. Goth
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1971-06-01
Filing date: 1972-05-25
Publication date: 1982-06-16
Also published as: DE2225326A1; JPS537118B1; US3731823A; FR2139881A1; GB1358513A; FR2139881B1

Description

a) eine Doppelungseinrichtung (58), bestehend aus

— einer wahlweise einschaltbaren Bremsvorrichtung (60) zum Festhalten der zugeführten Werkstücke (12,16) und

— einem davor angeordneten Bereich (66) mit unter verstärktem Druck stehenden Düsen (68) zum Anheben des jeweils zugeführten Werkstücks (12,16), sowie

b) eine Vereinzelungseinrichtung (80), bestehend aus

— einer weiteren, wahlweise einschaitbaren Bremsvorrichtung (82) und

— einem davor angeordneten, wahlweise einschaltbaren pneumatischen Abheber (88)

angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportbahn (10) aus einem Hauptkanal (32) mit Doppelungs- (58) und Vereinzelungseinrichturs (80) und zwei an einem Ende in diese mündende Kanäle (20, 27} zur wechselweisen Zufuhr von paarigen Werkstücken (12, 16) besteht und daß an den äußeren Enden όπ Kanäle (20, 22; 32) je ein Schlitten (24, 34; 74) zur Zufuhr bzw. Entnahme von Werkstücken (12, 16) bzw. Werkstückpaaren angeordnet ist

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen (44) in den Kanälen (32, 20, 22) der Transportbahn (10) teilweise in der einen Transportrichtung und zum anderen Teil in der entgegengesetzten Transportrichtung geneigt angeordnet und gruppenweise an die Druckleitungen (54,56) anschaltbar sind, daß die Vereinzelungseinrichtung (80) in der entgegengesetzten Transportrichtung wirksam angeordnet ist und daß an den Einmündungen vom Hauptkanal (32) in die abzweigenden Kanäle (20, 22) umschaltbare Sperren (28, 38) angeordnet sind.

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke zwischen Magazinen, Bearbeitungsstationen etc., mit einer mit schräg gerichteten Düsen versehenen Transportbahn, auf der die Werkstücke auf einem durch kontinuierlich zugeführtes Druckmedium gebildeten Gasfilm berührungsfrei fortbewegt werden,

Bei der automatischen Herstellung und Bearbeitung von in großer Zahl benötigten, gleichen oder gleichartigen kleinen Werkstücken, wie z. B. Einzelteilen für elektronische Schaltungseinheiten, wie sogenannten Wafern und ähnlichen, ist es erforderlich, daß die Werkstücke schnell und ohne die Gefahr von Beschädigungen von einer Bearbeitungsstation zur anderen transportiert werden können. Häufig sind derartige Werkstücke hochempfindlich, so daß jegliche Berührung Beschädigungen hervorrufen kann. Zwischen den einzelnen Bearbeitungsstationen darf daher keinerlei Berührung der einzelnen Werkstücke bzw, bestimmter Flächen der einzelnen Werkstücke mit anderen Teilen auftreten.

Für den Transport von Werkstücken eignen sich bei den vorgenannten Anforderungen bevorzugt pnournatisehe Fördereinrichtungen, die in verschiedenen Ausführungen bekannt sind. In der US-Patentschrift 31 60 443 ist beispielsweise eine pneumatische Fördereinrichtung beschrieben, bei der in einer Nut oder auf einer Auflagefläche geführte Werkstücke mittels im wesentlidien in Vorschubrichtung ausgerichteter Düsen mit einem Druckmedium beaufschlagt und unter dessen Wirkung in der Transportbahn fortbewegt werden. Während dort zwischen den Werkstücken und der Führungsbahn ein physischer Kontakt der Werkstücke mit Teilen der Bahn oder mit anderen Werkstücken nicht ganz verhindert ist, zeigt die US-Patentschrift 26 78 273 eine Führungsbahn für die berührungsfreie Lagerung und Führung von Werkstücken, wobei durch eine in der Führungsbahn vorgesehene Perforation ständig Druckmedium zugeführt und somit ein Luftfilm gebildet wird, der die Werkstücke trägt Der Vorschub der Werkstücke erfolgt bei dieser bekannten Anordnung entweder durch eine entsprechende Neigung der Führungsbahn oder durch die Ausrichtung der als Düsen wirksamen Löcher der Perforation in der gewünschten Vorschubrichtung. Eine Vorrichtung zum pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke mit einer mit schräg gerichteten Düsen versehenen Transportbahn, auf der die Werkstücke auf einem kontinuierlich gebildeten Gasfilm berührungsfrei fortbewegt werden, ist außerdem durch die DE-OS 19 59 093 bekannt

Besondere Bedeutung haben Transporteinrichtungen der vorgenannten Art für die Herstellung von integrierten und ähnlichen elektronischen Schaltungen erlangt. Diese Transporteinrichtungen sind jedoch im allgemeinen so ausgelegt, daß sie die Werkstücke einzeln aufeinanderfolgend transportieren. Für bestimmte Bearbeitungsvorgänge von Werkstücken hat es sich aber als zweckmäßig herausgestellt, die Werkstükke paarweise zuzuführen, und zwar jeweils dann, wenn nur eine Seite der Oberflächen der Werkstücke bearbeitet werden muß, während die andere Fläche einer Beschichtung oder Bearbeitung nicht ausgesetzt werden soll. Für derartige Bearbeitungsfälle werden vorteilhaft die Werkstücke mit ihren nicht zu beschichtenden bzw. bearbeitenden Flächen zueinandergekehrt, so daß die zu bearbeitenden Flächen sich auf der Außenseite eines solchen Werkstückpaares befinden. Diese Methode wird mit besonderem Vorteil bei der Herstellung sogenannter Halbleiterwafer angewendet, die jeweils in großer Stückzahl, z. B. zu je 100, einem bestimmten Bearbeitungsgang zum Aufbringen der integrierten Schaltung auf der Oberfläche ausgesetzt, z. B. in einen Diffusions- oder Oxidationsraum eingebracht werden. Dieser Vorgang mußte bisher manuell ausgeführt werden, was bei der wachsenden Zahl benötigter Komponenten die Herstellkosten erheblich beeinflußte und außerdem häufige Beschädigungen mit sich brachte.

Zwar ist die Verwendung von pneumatischen Stapeleinrichtungen für auf pneumatischer Transportbahn befördene Werkstücke bekannt, z. B. durch die US-PS 34 60 685, jedoch dient diese Anlage zur

Stapelung einer Vielzahl von Werkstücken. Weiterhin ist es aus der DE-OS 19 31 208 bekannt, zum Zwecke der Stapelung von schwebend geführten blattförmigen Gegenständen, wie Papierbögen, Folien u. ä\, zur Bildung einer Überlappung aufeinanderfolgender Blätter mittels Düsen verstärkt von unten anzublasen.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Vorrichtung zum. pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke der eingangs genannten Art, bei welcher die Werkstücke in einer bestimmten Zuordnung zueinander für einen bestimmten Bearbeitungsvorgang paarweise aufeinandergelegt und anschließend wieder vereinzelt werden können, so daß sie sodann einzeln weiteren Bearbeimngsstationen zuführbar sind. Diese Aufgabe wird nach der Erfindung mit den im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmalen gelöst

Die Unteransprüche enthalten zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung, wobei insbesondere die Ausführung einer Transportbahn mit reversiblem Werkstückvorschub von Vorteil ist, mittels derer die paarweise zugeführten Werkstücke in der einen Richtung aufeinandergelegt und in der entgegengesetzten Richtung vereinzelt werden.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung isi in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigt

F i g. 1 eine schaubildliche Gesamtansicht einer Vorrichtung zum pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke mit Reversierbetrieb,

Fig.2A einen Schnitt entlang der Linie 2-2 der Fig. 1,

Fi g. 2B einen ähnlichen Schnitt entlang der Linie 2-2 in Fig. 1, in der Phase bei beendeter Doppelung eines Werkstückpaares,

Fig.3A, 3B Schnitte entlang der Linie 3-3 in Fig. 1, und zwar zwei verschiedene Phasen eines Vereinzelungsvorganges der Werkstücke und

Fig.4 einen Schnitt entlang der Linie 4-4 in Fig. 1, zur Darstellung des umschaltbaren Drucksystems.

Die in F i g. 1 dargestellte Transportvorrichtung enthält eine Transportbahn 10, auf der Werkstücke 12 mit einer gegen Berührung empfindlichen oberen Fläche 14 bewegt werden sowie Werkstücke 16 mit einer gegen Berührung empfindlichen unteren Fläche 18 (vergl. auch F i g. 2A, 2B, 3A und 3B).

An ihrem einen (in F i g. 1 rechten) Ende verzweigt sich die Transportbahn 10 in zwei Kanäle 20 und 22. Am Ende des Kanals 22 befindet sich ein Schlitten 24, welcher unter der Wirkung einer Vorschubsteuerung 26 aufeinanderfolgend Werkstücke 12 mit empfindlicher oberer Fläche 14 zuführt Eine Sperre 28 an der Mündung des Kanals 22 in dem Hauptkanal 32 der Transportbahn 10 ist mittels eines Elektromagneten 30 in oder außer Wirkstellung bewegbar, um zugeführte Werkstücke 12 entweder festzuhalten oder durchzulassen.

In ähnlicher Weise befindet sich am äußeren Ende des Kanals 20 ein Schlitten 34, welcher unter der Wirkung einer Vorschubsteuerung 36 aufeinanderfolgend die Werkstücke 16 mit empfindlicher unterer Fläche 18 zuführt. Eine mittels eines Elektromagneten 40 steuerbare Sperre 38 ist in gleicher Weise wie die Sperre 28 zur Freigabe oder zum Sperren der Zufuhr von Werkstücken 16 zum Hauptkanal 32 wirksam.

Die Werkstücke 42 und 16 werden längs der Transportbahn 10 durch einzelne Luftstrahlen 42 fortbewegt, welche aus Düsen 44 in der Fläche 45 der Transportbahn 10 austreten, wobei die Düsen 44 in vier Reihen 46, 48, 50 und 52 angeordnet sind. Die Luftstrahlen 42 sind nicht genau vertikal, sondern in der gewünschten Vorschubrichtung der Werkstücke 12,16 gerichtet, so daß diese sowohl berührungsfrei gelagert als auch in die gewünschte Vorschubrichtung fortbewegt werden. Die Transportbahn 10 ist eine Zwei-Richtungs-Bahn, indem die erste Reihe 46 und die dritte Reihe 50 der Düsen 44 zur Fortbewegung der

ίο Werkstücke von rechts nach links gerichtet sind (vergl.

Fig.2A und 2B), mit der. Folge, daß die zu

transportierenden Werkstücke von rechts nach links fortbewegt werden.

Die zweite Reihe 48 und die vierte Reihe 52 der

Düsen 44 sind in entgegengesetzter Richtung ausgerichtet, so daß die aus diesen Düsen austretenden Luftstrahlen von links nach rechts wirksam sind, die Werkstücke 12 bzw. 16 also von links nach rechts fortbewegen (vergl. F i g. 3A und 3B).

In Fig.4 ist dargestellt, wie die Luftstrahlen 42 wahlweise zur Fortbewegung der Werkstücke 12 bzw. 16 in der gewünschten Vorschubrichiung wirksam gemacht werden. Hierzu sind die erste und dritte Reihe 46 und 50 der Düsen 44 an eine Druckleitung 54 angeschlossen, der Druckluft zugeführt wird, wenn die Werkstücke von rechts nach links fortbewegt werden sollen (F i g. 2A, 2B). Die Reihen 48 und 52 der Düsen 44 sind an eine Druckleitung 56 angeschlossen, und bei der Zufuhr von Druckluft durch diese Druckleitung 56 erfolgt somit eine Vorschubbewegung der Werkstücke von links nach rechts (F i g. 3A, 3B). Die Druckleitungen 54 und 56 sind über (nicht dargestellte) Ventile an eine Druckluftpumpe derart angeschlossen, daß jeweils entweder nur der Druckleitung 54 oder nur der

Druckleitung 56 Druckluft zugeführt wird.

In den F i g. 1 und 2A, 2B sind Doppelungseinrichtungen 58 für die Werkstücke 12 und 16 dargestellt Eine Bremsvorrichtung 60 für die Werkstücke 12 und 16 besteht aus Stiften 62, die unter der Steuerung eines Elektromagneten 64 in die Transportbahn 10 der Werkstücke 12, 16 einschwenkbar bzw. aus der Transportbahn 10 ausschwenkbar angeordnet sind. Ein Bereich 66 im Hauptkanal 32 rechts der Bremsvorrichtung 60 (F i g. 1) weist vertikal gerichtete Düsen 68 auf, aus denen entsprechend vertikal gerichtete Luftstrahlen austreten.

Am Ende 72 des Hauptkanals 32, links der Doppelungseinrichtung 58, befindet sich ein Schlitten 74 mit Fächern 76, wie in den F i g. 2A und 2B gezeigt, zur

so Aufnahme von Werkstückpaaren 12 und 16. Eine Vorschubsteuerung 78 richtet zum Doppeln und Stapeln der Werkstücke die einzelnen Fächer 76 aufeinanderfo! gend mit der Transportbann 10 aus. Zum Vereinzeln der Werkstücke 12,16 befindet sich, wie in den Fig. 1, 3A und 3B gezeigt, in der rechten Hälfte der Transportbahn 10 eine Vereinzelungseinrichtung 80 mit einer Bremsvorrichtung 82, deren Stifte 84 in gleicher Weise wie bei der Bremsvorrichtung 60 in den Weg der Werkstücke i2 und 16 in der Transportbahn 10 einschwenkbar bzw. aus der Transportbähn 10 ausschwenkbar sind, und zwar unter der Steuerung eines Elektromagneten 86. Eh pneumatischer Abheber 88 wird jeweils zum Festhalten eines Werkstücks wirksam, wenn eine Doppellage von Werkstücken 12 und IS durch die Bremsvorrichtung 82 angehalten wurde.

Während des Betriebes der Transportbahn 10 sind die Luftstrahlen 42 längs der Transportbahn 10 in

Abhängigkeit davon zu bemessen, ob die zu transportierenden Werkstücke 12 und 16 gedoppelt oder einzeln sind. Zu diesem Zweck sind für jeden Abschnitt der Transportbahn 10 unabhängig steuerbare Leitungen 34 und 56 zur Zufuhr der Druckluft angeordnet. Außerdem ist ein unabhängiger Einlaß 89 für die vertikal gerichteten Luftstrahlen 70 im Bereich 66 der Transportbahn 10 vorgesehen.

Zur Erläuterung der Arbeitsweise der beschriebenen Transportvorrichtung wird im folgenden davon ausgegangen, daß Werkstücke 12 und 16 von den Schlitten 24 und 34 zur Doppelungseinrichtung 58 zum Doppeln gelangen und sodann der Schlitten 74 mit den gedoppelten Werkstücken 12 und 16 beladen wird. Bei umgekehrter Transportrichtung wird anstelle der Doppelungseinrichtung 58 die Vereinzelungseinrichtung 80 wirksam.

Der Schlitten 34 ist ähnlich ausgebildet wie der in den F i g. 2A und 2B im Schnitt dargestellte Schlitten 74 und enthält p'inp Anzahl Werkstücke !6, die parsüc! zueinander angeordnet und mittels ihrer Kanten im Schlitten 34 gelagert sind. Zum Auswerfen eines Werkstücks 16 vom Schlitten 34 wird dieser mittels der Vorschubsteuerung 36 abwärts bewegt, derart, daß ein Werkstück 16 in eine Stellung etwas oberhalb der Fläche 45 (Fig. 2A, 2B) der Transportbahn 10 gelangt. Die nunmehr wirksamen Luftstrahlen 42 haben eine von rechts nach links gerichtete Richtungskomponente, wie ebenfalls aus den Fig. 2A und 2B hervorgeht, und entnehmen das Werkstück 16 von seiner Auflage im Schlitten 34. um es längs dem Kanal 20 fortzubewegen. Seitliche Schienen 91 in der Transportbahn 10 dienen zur seitlichen Führung des Werkstücks 16 durch Berührung zwischen dessen Kanten und der betreffenden Schiene 91. während die untere Fläche 18 des Werkstücks nicht in Berührung mit der Fläche 45 der Transportbahn 10 kommt. Nun wird der Elektromagnet 40 betätigt, wodurch sich die Sperre 38 öffnet und den Durchgang des Werkstücks 16 in den Hauptkanal 32 der Transportbahn 10 freigibt· Daraufhin wird auch der Elektromagnet 86 betätigt, so daß die Stifte 84 der Bremsvorrichtung 82 aus der Transportbahn ausgeschwenkt werden und den Durchgang von Werkstücken freigeben.

Wenn im weiteren Verlauf des Transportvorganges des Werkstücks 16 über den Bereich 66 im Hauptkanal 32 gelangt, wird es mittels der vertikal gerichteten Luftstrahlen 70 angehoben, da diese eine höhere Strahlgeschwindigkeit haben als die Luftstrahlen 42. Der Elektromagnet 64 ist zu diesem Zeitpunkt nicht eingeschaltet, so daß die Stifte 62 der Bremsvorrichtung 60 in den Transportweg ragen und daher das Werkstück 16 festhalten. Wenn gewünscht, können, wenn die Werkstücke 16 die Bremsvorrichtung 60 erreichen, die Luftstrahlen 70 im Bereich 66 abgeschaltet werden. Es ist jedoch steuerungstechnisch einfacher, wenn die Luftzufuhr zu den Düsen 68 zur Speisung der Luftstrahlen 70 ständig aufrechterhalten bleibt

Der Elektromagnet 40 ist nun abgeschaltet, so daß die Sperre 38 geschlossen ist während mittels Erregung des Elektromagneten 30 nunmehr die Sperre 28 geöffnet wird. Anschließend wird der Schlitten 24 mittels der Vorschubsteuerung 26 etwas abgesenkt, so daß das Werkstück 12 vom Schlitten 24 in der gleichen Weise, wie zuvor im Zusammenhang mit dem Schütten 34 beschrieben, in den Kanal 22 gelangt, wo es von dem Luftstrahl 42 erfaßt und oberhalb der Führungsfiäche des Kanals 22 fliegend gehalten wird. Infolge der Horizontalkomponente der Luftstrahlen 42 gelangt das Werkstück 12 längs des Kanals 22 zum Hauptkanal 32, wobei wiederum zwischen der Fläche 45 der Transportbahn 10 und dem Werkstück 12 keinu Berührung stattfindet. Wenn das Werkstück 12 sich dem Bereich 66 nähert, wird es mittels der vertikal gerichteten Luftstrahlen 70 etwas angehoben, wie in Fig.2A dargestellt ist. Währenddessen wurde das Werkstück 16, das mittels der Stifte 62 der Bremsvorrichtung 60 noch

ίο immer festgehalten ist, wieder auf seine normale Höhe über der Fläche der Transportbahn 10 abgesenkt. Das Werkstück 12 gelangt daher oberhalb des Werkstücks 16 zur Bremsvorrichtung 60, so daß beide Werkstücke 12 und 16 übereinanderliegend und vertikal zueinander ausgerichtet sind, wie in F i g. 2B dargestellt.

In Fig. 2A sind zwei auf diese Weise bereits aufeinandergelegte Werkstücke 12 und 16 im restlichen Teil des Hauptkanals 32 und links von der Bremsvorrichtung 60 befindlich dargestellt, von wo aus sie in ein

2"t !CCTCS rSCii jv uC5 .jCfiiiitt.iia /τ ti atisyui iici ι wciucfl (F i g. 2B). Bevor das nächste Paar von Werkstücken 12 und 16 in den Schlitten 74 geladen wird, wird dieser mittels der Vorschubsteuerung 78 um einen dem Fachabstand entsprechenden Betrag angehoben, so daß das nächste leere Fach 92 mit dem nächsten zuzuführenden Werkstückspaar horizontal ausgerichtet ist. Nun gelangt die Bremsvorrichtung 60 mittels Betätigung des Elektromagneten 64 außer Wirkstellung, so daß hs nächste Werkstückpaar in den Schlitten 74

jo eingeführt werden kann.

Die Zufuhr von Werkstücken 16 und 12 in der Transportbahn 10, das Aufeinanderlegen mittels der Doppelungsvorrichtung 58 und das nachfolgende Beladen des Schlittens 74 wird so lange fortgesetzt, bis sämtliche Fächer 76 des Schlittens 74 gefüllt sind. Nun kann ein Bearbeitungsvorgang für die Werkstücke 16 und 12, die jeweils paarweise aufeinanderliegend angeordnet sind, angeschlossen werden, z. B. ein Oxidations- oder Diffusionsvorgang im Rahmen des Herstellungsprozesses für integrierte Schaltungen, wenn es sich bei den Werkstücken 16 und 12 um Halbleiterplättchen, sogenannte Chips, handelt. Wird eine derartige Wärmebehandlung vorgenommen, so muß der Schlitten 74 aus wärmebeständigem Werkstoff, wie z. B. Quarz, bestehen.

Im Anschluß an den zuvor angedeuteten Bearbeitungsvorgang sind die Werkstücke 16 und 12 wieder einzeln zu ihren Schlitten 34 bzw. 24 zurückzubefördern, vorzugsweise für einen weiteren Bearbeitungsschritt

so wie z. B. das Auftragen von Photoresist oder das Abziehen der Oxidschicht. Zu diesem Zweck wird, wie anhand von Fig.4 sichtbar, die Druckluftzufuhr zur Druckleitung 54 unterbrochen und nunmehr an die Druckleitung 56 angeschlossen, welche die Düsen 44 versorgt, deren Luftstrahlen 42 eine Richtungskomponente von links nach rechts aufweisen. Der Schlitten 74 wird wieder zum Ende 72 des Hauptkanals 32 geführt und mittels der Vorschubsteuerung 78 schrittweise so abwärts bewegt, daß aufeinanderfolgend ein Werk stückpaar nach dem anderen aus dem Schlitten 74 entnommen werden kann, und zwar unter der Wirkung der Luftstrahlen 42 in der Wirkrichtung gemäß den F i g. 3A und 3B. Der Elektromagnet 64 ist nun erregt die Stifte 62 der .Bremsvorrichtung 60 sind angehoben und geben die Transportbahn für die Werkstücke frei. Es gelangt nun je ein Paar, bestehend aus einem Werkstück 12 und einem Werkstück 16, längs des Hauptkanals 32 der Transportbahn 10 bis zu den Stiften

84 der Bremsvorrichtung 82. die sich zu dieser Zeil in ihrer Wirkstellung befindet.

Ist auf diese Weise ein Werkstückpaar in der in Fig. 3A dargestellten Position angelangt, so wird der pneumatisch*: Abheber 88 mittels Einschalten einer Druckluftleitung 94 wirksam, und infolgedessen wird nach dem Bernoulli'schen Prinzip das Werkstück 12 vom Werkstück 16 abgehoben. Durch Einschaltung des F.l-iktromagneten 86 werden die Stifte 84 der Bremsvorrichtung 82 nunmehr aus ihrer Wirkstellung ausgeschwenkt, so daß das Werkstück 16 längs des Hauptkanals 32 weiterbefördert wiH, wie in Fig.3B

dargestellt. Nun wird mittels des Elektromagneten 40 die Sperre 38 geöffnet, so daß das Werkstück 16 in den Kanal 20 gelangt. Der Schlitten 34 wird zur Aufnahme des Werkstücks 16 mittels der Vorschubsteuerung 36 so eingestellt, daß das Werkstück in ein leeres Fach aufgenommen werden kann.

Nun wird die Sperre 38 wieder geschlossen und stattdessen die Sperre 28 geöffnet. Das Werkstück 12 wird dann vom pneumatischen Abheber 88 freigegeben und wandert in den Kanal 22, von wo es in den Schlitten 24 gelangt.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum pneumatischen Transport kleiner flacher Werkstücke zwischen Magazinen, Bearbeilungsstationen etc, mit einer mit schräg gerichteten Düsen versehenen Transportbahn, auf der die Werkstücke auf einem durch kontinuierlich geführtes Druckmedium gebildeten Gasfilm berührungsfrei fortbewegt werden, dadurch gekennzeichnet, daß in der Transportbahn (10)