DE1956273B2 - Pneumatische foerdereinrichtung fuer kleine werkstuecke - Google Patents

Pneumatische foerdereinrichtung fuer kleine werkstuecke

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DE1956273B2 DE19691956273 DE1956273A DE1956273B2 DE 1956273 B2 DE1956273 B2 DE 1956273B2 DE 19691956273 DE19691956273 DE 19691956273 DE 1956273 A DE1956273 A DE 1956273A DE 1956273 B2 DE1956273 B2 DE 1956273B2
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    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • HELECTRICITY
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    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks

Description

y.
I 956
selbst erfolgt; zur Vermeidung von Pruckverlusten und zur Aufrechterlmltung der Vorscbubkrftfte muß somit der Querschnitt des Transpartkanals möglichst genau der Form des Werkstücks angepaßt sein. Für den unmittelbaren Transport von Werkstücken unterscliiedlicher Größe und Form ist diese bekannte Einrichtung daher nicht zu verwenden, sondern es sind für den Transport der Werkstücke entsprechende Behälter erforderlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Transporteinrichtung der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, mit der bei verringertem Energieaufwand große Stückzahlen kleiner Werkstücke, jedoch auch solche von unterschiedlicher Größe, zuverlässig befördert werden könneD, ohne daß gesonderte Behälter für die Werkstücke benötigt werden. Hierfür ist die erfindungsgemäße Ausbildung darin zu sehen, daß die Abschnitte des die Förderbahn bildenden geschlossenen Kanals zum Erzeugen des Druckgefälles durch in einheitlichen Abständen angeordnete Stationen gebildet sind, bestehend aus einer verschließbaren öffnung im Kanal und einer benachbarten, die angrenzenden Kanalabschnitte wahlweise gegeneinander abschließenden Sperre, und daß die Stationen an eine zentrale Steuerung angeschlossen sind, durch die wechselweise die Öffnungen und die Sperren einer ersten Gruppe von Siationen, bestehend aus der ersten, dritten, ... usw. Station, geschlossen und gleichzeitig die öffnungen und die Sperren einer zweiten Gruppe von Stationen, bestehend aus der zweiten, vierten, . . . usw. Station, geöffnet werden und umgekehrt.
Die Erfindung macht somit von dem Prinzip der Aufteilung der Transpurtbahn in einzelne Abschnitte Gebrauch, bietet jedoch den besonderen Vorteil, daß die Position der einzelnen Werkstücke zu jeder Zeit des FöHenorgangs durch die zentrale Steuerung genau bestimmbar ist. Denn der Vorschub der Werkstücke erfolgt entsprechend der gebildeten Druckdifferenz schrittweise von Station zu Station und kann genau überwacht werden. Durch die sehr schnelle berührungsfreie Einzelförderung der Werkstücke wird eine größtmögliche Schonung erreicht, was insbesondere bei hochempfindlichen Einzelteilen für elektronische Schaltungseinheiten, wie z. B. Halbleitcrplältchcn. von großer Bedeutung ist.
Durch die Erfindung sind unterschiedliche Möglichkeiten für die Vorschubsteuerung gegeben, indem die Ventile entweder nach einem vorgegebenen Takt gesteuert werden oder vollständig automatisch in Abhängigkeit von der jeweiligen Lage der Werkstück«.·. Zum Betätigen der Schließelemente zum Schließen und öffnen der öffnungen und der Sperren können nach einer vorteilhaften Ausfiihrungsform der Erfindung ventilgesteuerte pneumatische Antriebe vorgesehen sein.
E-ini λ eitere bevorzugte Ausführungsform der Erfindern ' iid darin gesehen, daß jede Station zur von der Zi n. ilen Steuerung taktgcstcitcrteti Zufuhr von zusatz I .·ιη Druckmedium über eine weitere Öffnting >' ' Kanal an ein gesondertes Druckversorgungssysteni n-oschlossen ist, wobei die weitere öffnung zwiscli ■' der öffnung und der Sperre angeordnet werden mn. Weiterhin können, in Weiterbildung des F': " lungsgedankens, zum Steuern der Schaltventili 1 ir die Schhcßelemeiitc /um Schließen und Öffner <> r öffnungen und der Sperren, zum Steuern der t·'1 ' 'Mgon für die Zufuhr von zusätzlichem Druckmedium und zum Steuern d.es Ein- und Aus-Schaltens von wahlweise vorgesehenen, taktgesteuejv ten Vakuurabremsen Fotozellen vorgesehen sein, die die Lage der Werkstücke im Kanal abtasten,
In der Zeichnung ist ein Ausfulmingsbeispiel der Ausbildung gemäß der Erfindung dargestellt,
Es geigt
Fig. 1 die pneumatische Fördereinrichtung, nach de*· Erfindung in einem schematischen Längsschnitt dargestellt, wobei sich die Schließelernente in ihrer ersten Stellung befinden,
Fig. 2 eine Darstellung entsprechend Fig, 1, in der sich die Schließelemente in ihrer zweiten Stellung befinden, wobei die Werkstücke sich um eine Station weiterbewegt haben,
Fig. 3 eine mit Fig. 1 übereinstimmende Darstellung, in der sich die Schließelemente wiederum in ihrer ersten Stellung heften und die Werkstücke sich um eine weitere Station w^iterbewegt haben,
F i g. 4 die Anordnung nach den F i g. 1 bis 3 in einem vergrößerten Teilschnitt einschließlich der schematischc-n Darstellung der Antriebe für die Sdiließelementt: und einer Vakuumbremse und
F i g. 5 die Fördereinrichtung nach den F i g. 1 bis 3 in einem vergrößerten Querschnitt.
Die pneumatische Fördereinrichtung weist einen Kanal 10 auf, durch den Werkstückeil, z.B. HaIbleiterplättchen für Schaltungseinheiten, über mehrere Stationen transportiert werden. Die Unterseite 12 des Kanals 10 besteht aus porösem Material, wie z. B. gesintertem, korrosionsbeständigem porösem Stahl. Ein Druckmedium, z. B. Druckluft, wird über eine Leitung 14 durch die Unterseite 12 dem Kanal 10 zugeführt. Die Leitung 14 ist über mehrere Zweigleitungen 17 an eine von einer Pumpe 15 gespeiste Hauptleitung 16 angeschlossen. Der von der Pumpe 15 gelieferte Druck ist so bemessen, daß im Kanal 10 ein Luftpolster aufrechterhalten wird, mittels dessen die Werkstücke 11 ohne Berührung mit den Wandungen des Kanals 10 vorwärts bewegt werden können.
In der Oberseite 23 des Kanals 10 sind weitere Öffnungen 18 bis 22 mit einheitlichen Abständen voneinander vorgesehen.
Jede der Öffnungen 18 bis 22 im Kanal 10 stellt eine Station dar. zu denen die Werkstücke 11 aufeinanderfolgend transportiert werden sollen. Der Weg der Werkstücke 11 verläuft somit von der durch die Lage der Öffnung 18 bestimmten Station zur nächsten Station, die durch die Öffnung 19 gekennzeichnet ist. und von dort weiter zu den Stationen entsprechend den Öffnungen 20. 21 und 22.
Den Öffnungen 18 bis 21 sind Ventile 24 bis 27 zugeordnet, die in Abhängigkeit von der Lage der Werkstücke 11 im Kanal 10 geöffnet und geschlossen werden. Für die Abdichtung der öffnungen 18 bis 21 bei geschlossenen Ventilen 24 bis 27 sind die Schließkörper der Ventile an ihrer Unterseite mit ar sprechenden Dichtflächen versehen. Das Betätig
der Ventile 24 bis 27 erfolgt durch Zylinder 30 Ul■·
Kolbenstangen 29. Die Kolben in den Zylindern Vl sind federbelastet, se daß die Ventile normalerwn
geöffnet sind. Sie können mittels Druckluft ■
schlossen werden, die von einer Pumpe 30' über c
Leitung 31 zur Kolbenoberscite strömt.
Die Ventile 24 bis 27 werden einzeln und π
abhängig voneinander durch ein Melirfachmagn
ventil 3Γ gesteuert. Infolgedessen kann den 7
lindern 30 einer Vcntilßrunne Druckluft 7iitfpfiiii
werden, während sieh die Werkstücke Ii atif dein Weg von der erstell zur zsveitett Station befinden, und anschließend, für den Transport Von der zweiten zur dritten Station, können die Zylinder 30 dieser Ventilgruppe drUckbeaUfschiagt Werden,
Im Kanal 10 befindet sich außerdem eine Anzahl von in Uiid außer WirksteÜüng im Kanal Verstell* baren Sperren 32 bis 35; Die Verteilung dieser Sperren im Kanal 10 ist so. daß. wie Fig. 1 zeigt, sich jeweils zwischen zweien der öffnungen 18 bis 22 eine Sperre befindet, und zwar jeweils benachbart zur nächstfolgenden öffnung im Sinne der Vorschubrichtung der Werkstucke 11. Jede der öffnungen 19 bis 22 ist somit einer der Sperren 32 bis 35 vorgeschaltet, mit Ausnahme der öffnung 18 am Anfang des Kanals 10. der geschlossen und somit als ständige Sperre ausgebildet ist.
Jede der Sperren 32 bis 35 ist mittels je einer Kolbenstange 36 von einem zugeordneten Zylinder 37 aus belätigbar. Durch Zufuhr von Druckluft durch die Zuleitung 38 zur Oberseite der Zylinder 37 '(F i g. 4) bei gleichzeitigem Entlüften der Rückleitung 39 wird die entsprechende Sperre in ihre Wirkstellung im Kanal 10 gebracht. Das öffnen der Sperren erfolgt durch ein entsprechendes Umsteuern der Zylinder 37.
Das Steuern der Zylinder 37 für die Sperren 32 bis 35 über die Zuleitungen 38 und die Rückleitungen 39 erfolgt ebenfalls über das Mehrfachmagnetventil 2>Y: denn die Zuleitungen 38 sind an die Leitungen 31 angeschlossen, so daß beispielsweise die Sperren 32 und 34 in ihre Wirkstellung verstellt werden, wenn die zugeordneten Ventile 25 und 27 geschlossen werden. Entsprechend werden die Sperren 33 und 35 jeweils zugleich mit den Ventilen 26 und 24 geschlossen. Ein Teil der Sperren 32 bis 35 ist somit jeweils geöffnet, während der andere Teil geschlossen ist. wodurch der Kanal 10 in einzelne Abschnitte aufgeteilt wird.
Schließlich befinden sich im Kanal 10. ebenfalls den einzelnen Stationen zugeordnet, öffnungen 40 bis 43. Die Öffnung 40 befindet sich zwischen dem Beginn des Kanals 10 und der Öffnung 18. die Öffnung 41 irt zwischen der Sperre 32 und der Öffnung 19 angeordnet, und in entsprechender Weise liegen die Öffnungen 42 und 43 zwischen der Öffnung 20 und der Sperre 33 bzw. zwischen der Öffnung 21 und der Sperre 34. Den Öffnungen 40 bis 43 wird von einer von der Pumpe 15 unabhängigen Pumpe 45 Druckluft zugeführt.
Das Steuern der Druckluftzufuhr von der Pumpe 45 zu den Öffnungen 40 bis 43 erfolgt über ein Magnetventil 44 in der Weise, daß die Öffnungen 40 Und 42 an die Pumpe 45 angeschlossen sind, wenn die Ventile 24 und 26 geschlossen sind, während die Öffnungen 41 und 43 bei geschlossenen Ventilen 25 und 27 unter Druck stehen.
Wenn ein Werkstück 11 durch eine entsprechende (nicht dargestellte) Zuführeinrichtung durch die Öffnung 18 in den Kanal 10 eingeführt ist, sich also im Bereich der Öffnung 18 befindet, entspricht die Stellung der Ventile 24 bis 27 der Darstellung gemäß Fig. 1, d.h. die Ventile24 und 26 sind geschlossen, während die Ventile 25 und 27 offen sind. Gleichzeitig sind entsprechend den vorher gegebenen Regeln die Sperren 33 und 35 in Wirkstellung, während die Sperren 32 und 34 geöffnet sind, wie ebenfalls ans F i s. 1 erkennbar. Außerdem wird den Öffnunsen 40 Und 42 vdii der Pumpe 45 über das Magnetventil 44 Druckluft zugeführt.
Durch die gemäß dem Zustand fiacli Fig. 1 ge* schlossenen Sperren 33 Und 35 ist der Kanal 10 in
einen ersten Abschnitt zwischen 'seinem1 Anfang Und der Sperre'33j. in" einen zweiten Abschnitt zwischen den Sperren 33 Und 35" Und in eitlen dritten Abschnitt zwischen der Spe*ffö35 und dem geschlossenen Ende des Kanals 1Ö eingeteilt. Der erste Abschnitt umfaßt die Stationen mit den öffnungen 18 und 19. während sich im zweiten Abschnitt die Stationen mit den Öffnungen 20 und 21 befinden; die Station mit der Öffnung 22 gehört zum dritten Abschnitt. Ist somit bei der beschriebenen Stellung der einzelnen Elemente gemäß Fig. 1 die öffnung 19 offen und die öffnung 18 geschlossen, während durch die öffnung 40 Druckluft in den Kanal 10 zugeführt wird, so entsteht im Bereich zwischen dem Beginn des Kanals 10 und der öffnung 19 ein entsprechender Druckabfall, mit einem Maximum an Druck am Beginn des Kanals 10 und einem Minimum an Druck, dem Außendruck entsprechend, an der öffnung 19. Mit anderen Worten fällt somit der Druck im Kanal 10 von der öffnung 18. an der sich das Werkstück 11 befindet. zi?r öffnung 19 kontinuierlich ab, wie dies durch die strichpunktierte Linie 46 dargestellt ist. In dein Abschnitt zwischen dem Beginn des Kanals 10 und der Sperre 33 entsteht jedoch noch ein Weiteres Druckgefälle, nämlich zwischen der öffnung 19 und der Sperre 33. entsprechend der strichpunktierten Linie47 in Fig. 1. Dieses Druckgefälle ist bedingt durch die Druckluftzufuhr durch die Unterseite 12 hindurch, wobei im Bereich der Öffnung 19 das Minimum, entsprechend dem Außendruck, auftritt, während das Maximum an der Sperre 33 eine geringere Druckhöhe aufweist als dasjenige am Beginn des Kanals 10. Infolge dieser Druckverhältnisse gelangt das Werkstück 11 von der Station an der öffnung 18 zu der der öffnung 19 zugeordneten Station.
Während der vorher beschriebenen Vorschubbewegung des betreffenden Werkstücks 11 von der Öffnung 18 zur Öffnung 19 gelangt das vorherige Werkstück 11 von der Öffnung 20 zur Öffnung 21.
da in diesem Bereich des zweiten Abschnittes zwischen der Sperre 33 und der Sperre 35 die gleichen, durch die strichpunktierten Linien 48 und 49 dargestellten Druckabfallverhältnisse herrschen wie im ersten Abschnitt des Kanals 10. Schließlich wird ^ebenfalls zur gleichen Zeit ein drittes Werkstück 11 von der Öffnung 22 im Kanal 10 entnommen. Dies ist ohne Rückwirkungen auf den vorherigen Abschnitt des Kanals 10 möglich, da die Sperre 35 den Bereich der Öffnung 22 gegen den benachbarten Abschnitt abschließt. Der in diesem dritten Bereich ebenfalls durch eine strichpunktierte Linie dargestellte Druckabfall resultiert aus der Drückzüfuhr durch die Unterseite 12 des Kanals 10.
Wenn die Werkstücke im ersten und zweiten Abschnitt die den Öffnungen 19 und 21 zugeordneten Stationen erreicht haben, werden die Sperren 33 und 35 geöffnet und gleichzeitig die Sperren 32 und 34 geschlossen, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. Zugleich werden auch die Ventile 24 und 26 geöffnet, die Ventile 25 und 27 hingegen geschlossen. Die Druckluftzufuhr erfolgt nun durch die Öffnungen 41 und 43.
Durch diese Stellung der Ventile und Sperren
I 956
wird der Kanal 1.0 film in einen ersten Abschnitt zwischen seinem Anfang und der Sperre 32, einen zweiten Abschnitt zwischen den Sp'crren 32 und 34 und einen dritten Abschnitt zwischen der Sperre 34 und dein Ende des Kanals eingeteilt. Die Druck- S Verhältnisse in diesen Abschnitten des Kanals 10 sind in Fig. 2 wiederum durch strichpunktierte Linien dai gestellt. Tn entspiecliendei Wcisr wie bei den Vcrfcaltnissen gemäß F i g. 1 ist jetzt der Druckanstieg lh den Bereichen zwischen der Sperre 34 und der Öffnung 20 sowie zwischen der Sperre 32 und der Öffnung 18 durch die Druckluftzufuhr durch die Unterseite 12 des Kanals 10 bedingt.
Das in der ersten Transportphase zur öffnung 19 Jcwegte Werkstück 11 gelangt nun in der zweiten i$ iMiase entsprechend dem Druckabfall zwischen der Iperre 32 und der Öffnung 20 in die der öffnung 20 fcigeordnete Station, übereinstimmend damit wird das ♦orhergehende Werkstück 11 von der öffnung 2t ?u der der öffnung 22 zugeordneten Station fortbewegt. Gleichzeitig kann durch die Öffnung 18 ein weiteres Werkstück 11 dem Kanal 10 zugeführt werden. So-IaId die Werkstücke im Verlauf der zweiten Vor-■chuhstufe die Stationen der öffnungen 20 bzw. 22 erreicht haben, werden die Ventile und Sperren •ieder in ihre Position gemäß Fig. 1 zurückgeschalt''.. und es ergeben sich im Kanal 10 die gleichen t>ruckverhä!tnisse wie zuvor, wie in 1L i g. 3 dargestellt. Das vorderste Werkstück kann nun wieder-Im durch die Öffnung 22 entnommen werden, wanliend das nächstfolgende von der Station an der Off-Hung 20 zur Öffnung 21 und das übernächste Werkstück von der Station an der öffnung 18 zur öffnung 19 fortbewegt werden. Die Höhe der Druekdifferenlen ist ein Maß für die Beschleunigung und somit die Vorschubgeschwindigkeit der Werkstücke 11 durch den Kanal 10.
Im zu verhindern, daß das Werkstück 11 bei Erieichen der jeweiligen Zielstation, an der Außendruck herrscht, etwas zu weit, r.ämlich über die Station hinaus gerät, kann jede Station mit einer Vakuumbremse ausgestattet werden. Eine solche ist ki Fig. 4 dargestellt. Die Vakuumbremse besteht aus tiner Leitung 50, die einerseits von der Unterseite ler im Bereich der Öffnung, der sie zugeordnet ist. 1. B. Öffnung 20. in den Kanal 10 mündet und ■ndererseits über ein Magnetventil 52 an eine Vakuumpumpe 51 angeschlossen ist. Das Magnetventil 52 ist normalerweise geschlossen und öffnet Jeweils nur dann, wenn ein Werkstück gerade zu der eugeordneten Öffnung im Kanal 10 transportiert wird. Die Steuerung der Magnetventile 52 erfolgt durch Fotozellen 53 im Kanal 10. die bei jedem Durchgang eines Werkstücks 11 ein Öffnungssigna] zu dein Magnetventil 52 der der betreffenden Öff-Dung. z. B. Öffnung 20T zugeordneten Leitung 50 senden.
Da die Belichtung der Fotozelle 53 Jiur für eine ganz kliize Zeit unterbrochen wird, ist auch die Vakuumbremse nur kurzzeitig eingeschaltet. Die Fotozelle 53 ist daher im Kanal lO so angeordnet daß das Vakuum am Ende" der Leitung 50 genau dann wirksam wird, wenn das Werkstück dort anj kommt. Nach diesem Wirksamwerden der Vakuumbremse sorgt dann das Diuckminiimim an der geöffneten Öffnung des betreffenden Abschnittes im Kanal 10 dafür, daß das Werkstück 11 im unmittelbaren Bereich der öffnung bleibt, wenn die Vakuumbremse wieder abgeschaltet ist. Gemäß der bisherigen Beschreibung sind für das Aufrechterhalten des Druckes im Kanal 10 zwei Druckiii'dlpn vorgesehen, nämlich die Pumpe 15 für die Aufrechterhaltung des Luftfilmes und die Pumpe 45 für die Bildung der biuckdiiferenzen im Kanal 10. Die Anordnung kann jedoch auch nur mit der Pumpe 15 für den Luftfilm betrieben werden, wobei jedoch die Druckdifferenzen für die Fortbewegung der Werkstücke 11 wesentlich geringer sind und damit die für den Transport behotigte Zeit sich entsprechend erhöht.
Für den automatischen Betrieh ist eine entsprechende Steuerung der Ventile 24 bis 27. der Sperren 32 bis 35 und des Mehrfachmagnetventils 2>Y. das die Druckluftzufuhr zu den Zylindern 30 und 37 steuert, erforderlich. Weiterhin muß das Magnetventil 44 zum Öffnen und Schließen der öffnungen 40 bis 43 an eine zentrale Steuerung angeschlossen werden. Zu diesem Zweck sind Fotozellen54 (Fig. 4) vorgesehen, die jeweils die Ankunft eines Werkstücks 11 in einer Station abtasten und ein entsprechendes Signal einer (nicht dargestellten) Steuerschaltung zuführen, die dann ihrerseits die Ventile 31' und 44 steuert. An Stelle der Fotozellen 54 können aber auch andere Steuerelemente Verwendung finden, z. B. Zeitschalter, da die Transportzeit eines Elements von einer Station zur anderen im voraus einfach zu bestimmen ist.
Man kann die Öffnungen 18 bis 22 ohne Bedenker in der Größe der Werkstücke 11 oder auch größer ausführen, da die Druckverhältnisse im Kanal 10 ein Austreten eines Werkstücks 11 aus einer der öffnungen verhindern.
Unter Bezugnahme auf F i g. 4 ist noch zu bemerken, daß zur Führung der Sperren 32 bis 35 ir der Oberseite 23 des Kanals 10 entsprechende Buchsen 55 eingesetzt sind, die verhindern, daß stet pruckverlüste im Kanal 10 einstellen. Weiterhin is bezüglich des in den F i g. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiels zu bemerken, daß dort an Stell« von fünf Stationen noch, mehrere Stationen vorgesehen werden können; auch ist es möglich, für d& Zuführen und das Entnehmen der Werkstücke 11 ar Stelle der ersten und der letzten Öffnung, wie ζ. Β der Öffnungen 18 und 22, gesonderte Öffnungen in Kanal 10 vorzusehen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Die Erfindung betrifft eine pneumatische Fördeis einrichtung für kleine Werkstücke mit einer von
1. Pneumatische Fördereinrichtung für Weine einem geschlossenen Kanal gebildeten Förderbahn, Werkstücke mit einer von einem geschlossenen in welcher die kleinen Werkstücke auf einem durch Kanal gebildeten Förderbahn, in welcher die 5 einen erhöhten Druck und mittels eines porösen kleinen Werkstücke auf einem durch einen er- Bodens gebildeten GasfUm berührengsfrei mit dem höhten Druck und mittels eines porösen Bodens Boden und mittels eines im Kanal gebildeten Druckgebildeten Gasfilm berührungsfrei mit dem Bo- gefälJes fortbewegt werden, wobei der Druck im den und mittels eines ini Kanal gebildeten Druck- Kanal abschnittweise gesteuert wird.
gefälles fortbewegt werden, wobei der Druck im io Bei der automatischen Herstellung und Bearbeitung Kanal abschnittweise gesteuert wird, dadurch von in großer Anzahl benötigten gleichen oder gleichge kennzeich net, daß die Abschnitte des artigen kleinen Werkstücke^ wie z.B. Einzelteilen Kanals (10) zum Erzeugen des Druckgefalles für elektronische Schaltungseinheiten, wie Halbleiterdurch in einheitlichen Abständen angeordnete plättchen u. ä., ist es erforderlich, daß die Werkstücke Stationen gebildet sind, bestehend aus einer ver- 15 schnell und ohne die Gefahr von Beschädigung von schließbaren Öffnung (18 bis 22) im Kanal und einer Bearbeitungsstation zur anderen transportiert einer benachbarten, Jie angrenzenden Kanal- werden können. Die hohe Präzision und Empfindlichabschnitte wahlweise gegeneinander abschließen- keit solcher Teile verlangt oft, daß zwischen den Beden Sperre (32 bis 35), und daß die Stationen arbeilungsstationen keinerlei Berührung der einzelnen an eine zentrale Steuerung (31') angeschlossen 20 Teile mit anderen Teilen auftritt, daß also die Werksind, durch die wechselweise die öffnungen (18, stücke weder untereinander noch mit irgendwelchen 20, 22) und die Sperren (33, 35) einer ersten Transportmitteln, z. B. der Führungsbahn, in Kon-Gruppe von Stationen, bestehend aus der ersten. takt geraten.
dritten, ... usw. Station, geschlossen und gleich- Dei artige pneumatische Fördereinrichtungen für
zeitig die öffnungen (19, 21) und die Sperren (32, 25 kleine Werkslücke sind bereits seit langem bekannt.
34) einer zweiten Gruppe von Stationen, be- So ist in der HSA.-Patentschrift 3 160 443 eine pneustehend aus der zweiten, vierten, .. . usw. Station. mansche Fördereinrichtung beschrieben, bei der in geöffnet werden und umgekehrt. einer Nut oder auf einer Auflagefläche geführte
2. Fördereinrichtung nach Ansprxh 1, da- Werkstücke mittels im wesentlichen in Vorschubdurch gekennzeichnet, daß zurr Betätigen der 30 richtung ausgerichteter Düsen mit einem Druck-Schließelemente /um Schließen und Ö fnen der medium beaufschlagt und unter dessen Wirkung in Öffnungen (18 bis 22) und der Sperren (32 bis der Transportbahn fortbewegt werden. Während dort
35) ventilgesteuerte pneumatische Antriebe (30, zwischen den Werkstücken und der Führungsbahn 37) vorgesehen sind. physischer Kontakt besteht, zeigt die USA.-Patent-
3. Fördereinrichtung nach Anspruch 1, da- 35 schrift 2 678 237 eine Führungsbahn tür die bedurch gekennzeichnet, daß jede Station zur von rührungsfreie Lagerung und Führung </ ^n Werkder zentralen Steuerung (3Γ) taktgesteuerten Zu- stücken, indem durch eine in der Führungsbahn vorfuhr von zusätzlichem Druckmedium über eine gesehene Perforation ständig Druckmedium zugeführt weitere öffnung (40 bis 43) im Kanal (10) an ein und somit ein Luftfilm gebildet wird, der die Werkgesondertes Druckversorgungssystem (44, 45) an- 40 stücke trägt. Der Vorschub der Werkstücke erfolgt geschlossen ist. bei dieser bekannten Anordnung entweder durch eine
4. Fördereinrichtung nach Anspruch 3, da- entsprechende Neigung der Führungsbahn oder durch durch gekennzeichnet, daß die weitere Öffnung die Ausrichtung der als Düsen wirksamen Löcher (40 bis 43) zwischen der Öffnung (18 bis 22) und der Perforation in der gewünschten Vorschubrichder Sperre (23 bis 35) angeordnet ist. 45 tung.
5. Fördereinrichtung nach den Ansprüchen 3 In einer weiteren, durch die USA.-Patentschrift und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnun- 3 408 113 bekannten Transporteinrichtung werden gen (18 bis 22; 40 bis 43) und Sperren (32 bis die Werkstücke ebenfalls auf einem Luftfilm trans-35) in der Oberseite (23) des Kanals angeord- portiert, jedoch wird dort der Vorschub durch eine net sind. 50 in der Führungsbahn erzeugte Druckdifferenz be-
6. Fördereinrichtung nach Anspruch 1. da- wirkt, wobei jedem einzelnen der gegeneinander abdurch gekenn/eidinet, daß jede Station eine takt- gedichteten Abschnitte eines Druckluftzuführkanals gesteuerte Vakuumbremse aufweist, bestehend gesondert Druckmedium zugeführt wird. Zwischen aus einer an ein zentrales Vakuumversorgungs- der Anordnung und Länge der einzelnen Abschnitte system (51, 52) angeschlossenen, in den Kanal 55 des Druckluftzuführkanals und der Aufeinanderfolge (10) mündenden Vakuumleitung (50). der Werkstücke besteht bei dieser bekannten T -
7. Fördereinrichtung nach den Ansprüchen 1 richtung keine Beziehung, sondern die Wahl der A >bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zum Steuern sclmittslängen isf ausschließlich auf die Aufrecht· der SchältVentile (31', 44j 52) für die Schließ- erhaltung der erforderlichen Druckdifferenz zwischen elemente zurrt Schließen und öffnen def Öffntirt' 60 der !Rückseite und dei Vorderseite des Werkstücks gen (18 bis 22) Und der Sperren (32 bis 35), zum abgestimmt,
Steuern der Öffnungen (40 bis 43) für die Zufuhr Ein wesentlicher Nachteil dieser bekannten Ein-
Von zusätzlichem Druckmedium und zum Steuern richtung, die irt erster Linie für den Transport von
des Ein- und Ausschaltens der Vakuumbremse Werkstücken über größere Entfernungen — in der
Fotozellen (53, 53) Vorgesehen sind) die die Lage 65 Größenordnung Von Kilometern —· vorgesehen ist,
der Werkstücke (11) im Kanal (10) abtasten, ist darin zu sehen, daß die Trennung der Bereiche
hohen Druckes und geringen Druckes im Sinne der _ gewünschten VorschubrichtUng durch das Werkstück
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