DE10393447T5

DE10393447T5 - Mehrabtastsignal-Gerät, Testgerät und Einstellverfahren

Info

Publication number: DE10393447T5
Application number: DE10393447T
Authority: DE
Inventors: Shinya Sato
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-10-01
Filing date: 2003-09-22
Publication date: 2005-08-25
Also published as: TW200406092A; KR20050065569A; WO2004031788A1; TWI252626B; KR101012283B1; JP4109951B2; JP2004125573A

Abstract

Mehrabtastsignal-Gerät zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen, umfassend:
eine Takterzeugungseinheit, die ein Signal zum Einstellen bei einem Zeitpunkt, an dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, erzeugen kann;
einen Abtastsignalerzeugungskreis zum Erzeugen der Mehrzahl von Abtastsignalen; und
ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitpunktes des Erzeugens jedes der Abtastsignale durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage des Einstellsignals.

Description

Die vorliegende Anmeldung ist eine Fortführungsanmeldung der PCT/JP2003/012094, die am 22. September 2003 eingereicht wurde und die Priorität der Japanischen Patentanmeldung Nr. 2002-289283 in Anspruch nimmt, die am 1. Oktober 2002 eingereicht wurde, wobei die Inhalte hier durch Referenz eingeschlossen sind.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Abtastsignalbündelgerät (Mehrabtastsignal-Gerät) zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen, auf ein Testgerät zum Testen einer elektronischen Vorrichtung und auf ein Einstellverfahren zum Einstellen eines Zeitpunktes zum Erzeu gen eines Abtastsignals jedes Abtastsignals des Abtastsignalbündels. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Mehrabtastsignal-Gerät zum Steuern des Zeitpunktes der Erzeugung jedes Abtastsignals.
Beschreibung des Standes der Technik
Üblicherweise wird im Falle des Detektierens eines Änderungspunktes eines Wertes eines zu messenden Signals ein Abtastsignal bei jedem Zyklus des zu messenden Signals verzögert und ausgegeben, wobei der Wert des zu messenden Signals für jedes Abtastsignal detektiert wird und eine Änderung in dem Wert detektiert wird. Dieses Verfahren wird verwendet, um einen Änderungspunkt des Wertes jedes von einem Datensignal und einem DSQ-Signal usw. für beispielsweise einen Setup-Haltetest eines Speichers zu detektieren.
Eine Vorrichtung des Typs einer doppelten Datenrate, die ein Datensignal synchron mit dem Ansteigen oder Fallen eines Taktsignals (DQS) ausgibt, wie ein DDR-SDRAM (Double Data Rate-SDRAM) beispielsweise, lässt das Datensignal dem Takt für jede vorbestimmte Breite der ausgegebenen Daten folgen und gibt das Datensignal aus. Somit wird eine Zeitverlaufsbedingung des Setup/Haltens für den Datentransfer unterstützt. Diese Art von Vorrichtung wird benötigt, um eine vorbestimmte Setupzeit und eine vorbestimmte Haltezeit zwischen dem Datensignal und dem Takt zu haben, um das Rücksetzen/Halten von Daten ohne Fehler durchzuführen.
Üblicherweise wird jeder der Werte des Datensignals und des Takts durch ein Abtastsignal detektiert und ein Veränderungspunkt jedes Wertes wird detektiert. Dann wird über Gut/Schlecht einer zu testenden Vor richtung ("DUT" (Device under test)) bestimmt, je nachdem ob der detektierte Änderungspunkt die vorbestimmte Setupzeit und die vorbestimmte Haltezeit einhält oder nicht.
Da jedoch die Werte des Datensignals und des DSQ bei jedem Zyklus jedes Signals durch ein Abtastsignal detektiert wird, ist es unmöglich, das Testen akkurat durchzuführen, in dem Fall, dass ein Zittern im Datensignal und im DSQ aufgrund verschiedener Gründe erzeugt wird, wie bei einer Änderung der Spannungsversorgung oder einer Wärmeveränderung der Vorrichtung. Da weiterhin das Datensignal und das DSQ durch ein Abtastsignal gescannt werden, nimmt es viel Zeit, das Testen durchzuführen.
Somit ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Mehrabtastsignal-Gerät, ein Testgerät und ein Einstellverfahren vorzusehen, die in der Lage sind, die obigen, den Stand der Technik begleitende Nachteile zu überwinden. Die obige Aufgabe kann durch die in den unabhängigen Ansprüchen beschriebenen Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Um die obigen Probleme zu lösen ist entsprechend dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Mehrabtastsignal-Gerät zur Erzeugung eines Abtastsignalbündels mit einer Vielzahl von Abtastsignalen vorgesehen, bei dem das Mehrabtastsignal-Gerät umfasst: eine Takterzeugungseinheit, die ein Signal zum Einstellen eines Zeitverlaufs, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, erzeugen kann; einen Abtastsignalerzeugungskreis zum Erzeugen der Mehrzahl von Abtastsignalen und ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitablaufs des Erzeugens jedes der Abtastsignale durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage des Einstellsignals.
Die Takterzeugungseinheit kann die Signale zum Einstellen sequentiell bei der Mehrzahl von Zeitpunkten erzeugen, bei denen die Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll und auf der Basis jedes der Signale zum Einstellen, die bei der Mehrzahl von Zeitpunkten erzeugt wird, kann das Einstellmodul einen Zeitverlauf des Erzeugens des entsprechenden Abtastsignals durch den Abtastsignalerzeugungskreis einstellen.
Der Abtastsignalerzeugungskreis kann eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen variablen Verzögerungskreisen umfassen, von denen jeder ein Abtastsignal empfängt, das empfangene Abtastsignal um eine vorbestimmte Zeit verzögert und das Abtastsignal sequentiell als den Abtasttakt ausgibt, und die Einstelleinheit kann eine Verzögerungszeit des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises in sequentieller Weise auf der Grundlage jedes der Einstellelemente einstellen.
Die Takterzeugungseinheit kann das Signal zum Einstellen synchron mit dem Abtastsignal erzeugen. Weiterhin kann das Mehrabtastsignal-Gerät außerdem eine Vielzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten umfassen, von denen jede vorgesehen ist, um einem der variablen Verzögerungskreise zu entsprechen und einen Zeitpunkt des von dem entsprechenden variablen Verzögerungskreis ausgegebenen Abtastsignals mit dem Zeitpunkt des Einstellsignals zu vergleichen, wobei die Ein stelleinheit die Verzögerungszeit jedes der variablen Verzögerungskreise auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses der entsprechenden Zeitpunktvergleichseinheit einstellt.
Die Einstelleinheit kann die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises, dessen Verzögerungszeit eingestellt werden soll, variieren und die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises auf. die Verzögerungszeit setzen, bei der die Zeitpunktvergleichseinheit bestimmt, dass der Zeitpunkt des von dem einzustellenden variablen Verzögerungskreis ausgegebenen Abtastsignals und der Zeitpunkt des Einstellsignals im Wesentlichen gleich sind.
Der variable Verzögerungskreis kann das Abtastsignal eine Anzahl von Malen bei jeder Verzögerungszeit ausgeben, die durch die Einstelleinheit variiert wird, die Takterzeugungseinheit kann das Einstellsignal erzeugen, dessen Wert zu dem Zeitpunkt variiert, bei dem der eingestellte Verzögerungskreis das Abtastsignal eine Anzahl von Malen ausgeben soll, die Zeitpunktvergleichseinheit kann einen Wert des Einstellsignals unter Verwendung der Abtastsignale detektieren, die eine Anzahl von Malen ausgegeben werden und die Einstelleinheit kann die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises auf die Verzögerungszeit setzen, bei der die Anzahl von Malen des Detektierens des Wertes des Einstellsignals durch die Zeitpunktvergleichseinheit bevor der Wert des Einstellsignals variiert wird, und den, nachdem der Wert des Einstellsignals variiert wurde, im Wesentlichen gleich sind.
Die Einstelleinheit kann eine Vergleichsergebnisaus wahleinheit zum Auswählen eines Vergleichsergebnisses der Vergleichseinheit entsprechend dem einzustellenden variablen Verzögerungskreis aus den Vergleichsergebnissen der Vielzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten und einen Ausfallzähler zum Zählen der Anzahl des Detektierens des Wertes des Einstellsignals bevor und nachdem der Wert des Einstellsignals variiert wird, umfassen.
Das Mehrabtastsignal-Gerät kann weiterhin eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen Verzögerungselementen umfassen, von denen jedes vorgesehen ist, um mit einem der Vielzahl von Verzögerungskreisen zu korrespondieren, von denen jedes das Signal zum Einstellen um einen Offsetverzögerungswert des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises verzögert und der korrespondierenden Zeitpunktvergleichseinheit das Einstellsignal liefert. Jedes der Verzögerungselemente kann Eigenschaften haben, die im Wesentlichen die gleichen wie die des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises sind, und das Einstellsignal um den Offsetverzögerungswert verzögern, unter Verwendung eines Verzögerungsweges, der die minimale Verzögerung des variablen Verzögerungskreises zum Einstellen erzeugt, indem ein Verzögerungswert des Verzögerungsweges, der die minimale Verzögerung erzeugt, im Wesentlichen der gleiche ist, wie ein Verzögerungswert eines Verzögerungsweges, der die minimale Verzögerung des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises erzeugt.
Die Takterzeugungseinheit kann einen variablen Einstellsignalerzeugungsverzögerungskreis zum Verzögern des Einstellsignals um einen gewünschten Verzögerungswert bzw. um eine gewünschte Verzögerungsgröße und zum Ausgeben desselben und einen Linearisierungs speicher zum Steuern eines Verzögerungswertes des variablen Einstellsignalerzeugungsverzögerungskreises umfassen.
Nach einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Testgerät zum Testen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, wobei das Testgerät umfasst:
eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Test- musters zum Testen der elektronischen Vorrichtung; einen Musterformatierer zum Formatieren des Testmusters und zum Liefern desselben an die elektronische Vorrichtung; und eine Bestimmungseinheit zur Gut/Schlecht-Bestimmung der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Ausgangssignals, das von der elektronischen Vorrichtung entsprechend dem Testmuster ausgegeben wird, wobei die Bestimmungseinheit ein Mehrabtastsignal-Gerät zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen zum Detektieren eines Wertes des Ausgangssignals einschließt und wobei das Mehrabtastsignal-Gerät umfasst: eine Takterzeugungseinheit, die ein Einstellsignal an einem Zeitpunkt, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, erzeugen kann; einen Abtastsignalerzeugungskreis zum Erzeugen einer Mehrzahl von Abtastsignalen; und ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitverlaufs des Erzeugens jedes der Abtastsignale durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage des Einstellsignals.
Entsprechend dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Testverfahren zum Einstellen eines Zeitpunktes zur Erzeugung jeweils einer Mehrzahl von Abtastsignalen, die in einem Abtastsignalbündel enthalten sind, vorgesehen, wobei das Testverfahren einen Einstellsignalerzeugungsschritt zum Erzeugen eines Einstellsignals zu einem Zeitpunkt, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll; einen Abtastsignalerzeugungsschritt zum Erzeugen der Vielzahl von Abtastsignalen; und einen Einstellschritt zum Einstellen eines Zeitpunktes der Erzeugung jedes der Abtastsignale in dem Abtastsignalerzeugungsschritt auf der Grundlage des Einstellsignals umfasst.
Die Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen Merkmale sein.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Beispiel des Aufbaus eines Testgerätes 100 entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
2 beschreibt ein Beispiel eines Vorbereitungstestens (Setuptestens) eines DDR-SDRAM.
2A zeigt ein Beispiel eines Zeitverlaufs eines DQS und eines DQ und
2B zeigt ein anderes Beispiel des Zeitverlaufs.
3 zeigt ein Beispiel des Aufbaus einer Takterzeugungseinheit 70 und eines Treiberkomparators 20.
4 zeigt ein Beispiel des Aufbaus eines Mehrfachabtastsignal-Geräts (Multistrobe-Geräts) 30 und eines Zeitvergleichskreises 60.
5 beschreibt eine Zeitpunkteinstellung von Ab tastsignalen, die von jedem variablen Verzögerungskreis 46 ausgegeben werden.
5A und 5B zeigen jeweils eine Zeitpunkteinstellung eines Abtastsignals 1 und eines Abtastsignals 2.
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Einstellen eines Zeitpunktes eines Abtastsignalbündels (Multistrobe) entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage von bevorzugten Ausführungsbeispielen beschrieben, die nicht den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung begrenzen sollen, sondern die Erfindung beispielhaft darstellen sollen. Alle Merkmale und ihre Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt ein Beispiel des Aufbaus eines Testgerätes 100 entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Testgerät 100 testet eine elektronische Vorrichtung 20 durch Abtasten eines Wertes eines Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 200 unter Verwendung eines Abtastsignalbündels oder Multistrobes, das eine Mehrzahl von Abtastsignalen aufweist.
Das Testgerät 100 umfasst eine Periodenerzeugungseinheit 10, eine Mustererzeugungseinheit 12, einen Musterformatierer 14, eine Takterzeugungseinheit 70, einen Treiberkomparator 20 und eine Bestimmungseinheit 16. Die Periodenerzeugungseinheit 10 erzeugt ein Zeitsignal für den Betrieb des Testgeräts 100. Beispielsweise empfängt die Periodenerzeugungseinheit 10 ein Testsetzsignal, das einen Zeitpunkt zum Liefern eines Testmusters von der Mustererzeugungseinheit 12 an die elektronische Vorrichtung 200 zeigt. Die Periodenerzeugungseinheit 10 versieht den Musterformatierer 14 mit einem Signal, das den Zeitpunkt zum Liefern des Testmusters an die elektronische Vorrichtung 200 zeigt. Weiterhin erzeugt die Periodenerzeugungseinheit 10 einen Referenztakt zum Synchronisieren der Operation des Testgeräts 100 und liefert an jedes der Elemente des Testgerätes den Referenztakt.
Die Mustererzeugungseinheit 12 erzeugt ein Testmuster zum Testen der elektronischen Vorrichtung 200 und liefert das Testmuster an den Musterformatierer 14. Der Musterformatierer 14 und die Takterzeugungseinheit 70 formatieren das empfangene Testmuster und versehen die elektronische Vorrichtung 200 mit dem formatierten Testmuster über den Treiberkomparator 20 entsprechend dem Signal, das von der Periodenerzeugungseinheit 10 empfangen wurde.
Die Bestimmungseinheit 16 bestimmt über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Ausgangssignals, das die elektronische Vorrichtung 200 entsprechend dem gegebenen Testmuster ausgibt. Die Bestimmungseinheit 16 erzeugt ein Abtastsignalbündel mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen und umfasst ein Mehrabtastsignal-Gerät 30 zum Detektieren eines Wertes des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 200 durch das erzeugte Abtastsignalbündel und eine logische Vergleichseinheit 34 zum Bestimmen über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 auf der Grundlage des Wertes des von dem Mehrabtastsignal-Gerät 30 detektierten Ausgangssignals. Die logische Vergleichseinheit 34 wird von der Mustererzeugungseinheit 12 mit einem Erwartungswertsignal versehen, das von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben werden sollte und bestimmt über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 durch Vergleich des Wertes des Ausgangssignals mit dem Erwartungswertsignal.
Darüber hinaus kann die Takterzeugungseinheit 70 das Mehrabtastsignal-Gerät 30 mit einem Strobesignal zum Erzeugen des Abtastsignalbündels beliefern. In diesem Fall versieht die Periodenerzeugungseinheit 10 die Takterzeugungseinheit 70 mit einem Zeitpunktsignal und die Takterzeugungseinheit 70 beliefert das Mehrabtastsignal-Gerät 30 mit dem Strobesignal auf der Grundlage des empfangenen Zeitpunktsignals.
Weiterhin kann die elektronische Vorrichtung 200 beispielsweise ein DDR-SDRAM sein und die Bestimmungseinheit kann ein Datensignal des DDR-SDRAMs als ein Ausgangssignal und ein DSQ empfangen, das ein synchron mit dem Datensignal ausgegebenes Taktsignal ist. In diesem Fall kann die Bestimmungseinheit 16 einen Setup/Haltetest an der elektronischen Vorrichtung 200 auf der Grundlage des empfangenen Datensignals und des DSQ durchführen und über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 bestimmen.
2 beschreibt ein Beispiel eines Setup-Testens des DDR-SDRAM. Entsprechend dem vorliegenden Beispiel detektiert das Testgerät 100 jeden der Werte des DSQ und des Datensignals (DQ) mit dem Abtastsignalbündel und führt ein Setuptesten an der elektronischen Vorrichtung 200 durch. Der DDR-SDRAM gibt das DQ und das DSQ aus, so dass ihre ansteigenden Flanken im Wesent lichen miteinander übereinstimmen. Das Testgerät verschiebt allerdings einen Zeitpunkt des Erzeugens des Abtastsignalbündels zum Detektieren des Wertes des DQ in Bezug auf einen Zeitpunkt des Erzeugens des Abtastsignalbündels zum Detektieren des Wertes des DQS um einen vorbestimmten Offsetwert und detektiert jeden der Werte. Beispielsweise kann ein Speichercontroller des Testgeräts 100, der verwendet wird, wenn der DDR-SDRAM in Verwendung ist, den Zeitpunkt des Erzeugens des Abtastsignalbündels einer Seite des DQs um den Verschiebewert bzw. die Verschiebegröße des DQS in Bezug auf das DQ verschieben.
Das Testgerät 100 bestimmt über Gut/Schlecht des DDR-SDRAM auf der Grundlage, ob der DDR-SDRAM das DQ mit einem bestimmten Wert an einem Änderungspunkt des detektierten Wertes des DQS ausgibt. Die 2A und 2B zeigen Beispiele von Zeitdarstellungen des DQS und des DQ. Da entsprechend dem Beispiel nach 2A das DQ einen vorbestimmten Wert an dem Variationspunkt (Veränderungspunkt) des Wertes des DQS zeigt, bestimmt das Testgerät 100, dass der DDR-SDRAM gut ist. Da entsprechend dem Beispiel nach 2B das DQ nicht einen vorbestimmten Wert an dem Veränderungspunkt des Wertes des DQS zeigt, bestimmt das Testgerät 100, dass der DDR-SDRAM schlecht ist.
Das Testgerät 100 entsprechend der vorliegenden Erfindung detektiert den Variationspunkt bzw. Veränderungspunkt des Wertes jeweils des DQS und des DQ unter Verwendung des Abtastsignalbündels. Mit anderen Worten gesagt, bestimmt das Testgerät 100, welches der Abtastsignale des Abtastsignalbündels den Veränderungspunkt des Wertes jedes der DQS und DQ detektiert und bestimmt über Gut/Schlecht des DDR-SDRAMs auf der Grundlage der Position des Abtastsignals, das den Variationspunkt des Wertes jedes der DQS und DQ detektiert.
Da entsprechend dem Testgerät 100 der vorliegenden Erfindung die Werte des DQ und des DSQ für einen Zyklus von dem Abtastsignalbündel mit einer Vielzahl von Abtastsignalen detektiert werden, ist es möglich, das Testen genau selbst in dem Fall durchzuführen, bei dem Verzögerungszeiten des DQ und des DQS in jedem Zyklus verstreut sind. Weiterhin ist es möglich, einen Haltetest an dem DDR-SDRAM in der gleichen Weise durchzuführen.
3 zeigt ein Beispiel des Aufbaus der Takterzeugungseinheit 70 und des Treiberkomparators 20. Die Takterzeugungseinheit 70 empfängt ein Setzsignal und ein Rücksetzsignal entsprechend dem Testmuster von dem Testformatierer 14 und erzeugt eine ansteigende und eine fallende Flanke des Testmusters auf der Grundlage des Setzsignals und des Rücksetzsignals.
Die Testerzeugungseinheit 70 umfasst einen variablen Verzögerungskreis 22a zum Verzögern des Setzsignals, einen variablen Verzögerungskreis 22b zum Verzögern des Rücksetzkreises, einen Linearisierungsspeicher 24a zum Steuern einer Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 22a, einen Linearisierungsspeicher 24b zum Steuern einer Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 22b und ein Setz/Rücksetzlatch 26.
Jeder der Linearisierungsspeicher 24a und 24b steuert die Verzögerungszeit des entsprechenden variablen Verzögerungskreises 22 entsprechend dem Testmuster, das an die elektronische Vorrichtung 200 gegeben werden soll. Jeder Linearisierungsspeicher 24 speichert eine Steuerinformation zum Steuern des variablen Verzögerungskreises 22 entsprechend einem Verzögerungssetzwert und die Steuerinformation wird entsprechend den Eigenschaften des korrespondieren variablen Verzögerungskreises 22 kalibriert. Somit ist es möglich, genau die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 22 zu steuern.
Das Setz/Rücksetzlatch 26 erzeugt eine ansteigende und eine fallende Flanke des an die elektronische Vorrichtung 200 zu liefernden Testmusters auf der Grundlage des Setzsignals und des Rücksetzsignals, die von jedem variablen Verzögerungskreises 22 verzögert werden, und beliefert die elektronische Vorrichtung 200 damit über den Treiberkomparator 20 und einen Treiber 28. Ein Komparator 32 des Treiberkomparators 20 vergleicht ein von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenes Ausgangssignal und einen vorbestimmten Wert und versieht das Mehrabtastsignal-Gerät 30 mit dem Vergleichsergebnis. Hier kann das Ausgangssignal das oben beschriebene DSQ und das DQ sein.
Das Mehrabtastsignal-Gerät 30 detektiert das Vergleichsergebnis des Komparators 32 durch das Abtastsignalbündel und versieht die logische Vergleichseinheit 34 mit dem detektierten Vergleichsergebnis.
4 zeigt ein Beispiel des Aufbaus des Mehrabtastsignal-Geräts 30. Das Mehrabtastsignal-Gerät 30 umfasst einen Abtastsignalerzeugungskreis 40 zum Erzeugen einer Mehrzahl von Abtastsignalen, einen Zeitpunktvergleichskreis 60 zum Detektieren des Vergleichsergebnisses des Treiberkomparators 20 durch das Abtastsignalbündel und eine Einstelleinheit 50 zum Einstellen eines Zeitverlaufs des Abtastsignaler zeugungskreises 40, der jedes der Abtastsignale erzeugt. Das Strobesignal zur Erzeugung des Abtastsignals wird an den Abtastsignalerzeugungskreis 40 geliefert. Das Strobesignal kann beispielsweise von der Takterzeugungseinheit 70 geliefert werden.
Der Abtastsignalerzeugungskreis 40 umfasst eine Mehrzahl von kaskadierten variablen Verzögerungskreisen 46. Darüber hinaus umfasst die Zeitpunktvergleichseinheit 60 eine Mehrzahl von kaskadierten Verzögerungselementen 42 und eine Mehrzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten 44. Die Mehrzahl von variablen Verzögerungskreisen 46 empfängt die Strobesignale, verzögert die empfangenen Strobesignale um eine vorbestimmte Zeit, gibt jedes von ihnen als Abtastsignal aus und erzeugt das Abtastsignalbündel. Die Mehrzahl von Verzögerungselementen 42 liefert an die Zeitpunktvergleichseinheiten 44 das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 200. Jede der Mehrzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten 44 ist vorgesehen, um jeweils einem der variablen Verzögerungskreise 46 zu entsprechen, jede empfängt das von dem entsprechenden variablen Verzögerungskreis 46 gelieferte Abtastsignal und das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 200 und detektiert einen Wert des Ausgangssignals mittels des empfangenen Abtastsignals.
Jedes der Mehrzahl von Verzögerungselementen 42 ist vorgesehen, um einem der Mehrzahl von variablen Verzögerungskreisen 46 zu entsprechen, jedes empfängt das Vergleichsergebnis des Komparators 32, verzögert das empfangene Vergleichsergebnis sukzessive um eine vorbestimmte Zeit, um es an entsprechende Zeitpunktvergleichseinheiten 44 zu liefern. Jedes Verzögerungselement 42 verzögert das empfangene Vergleichsergebnis um einen Offsetverzögerungswert des korres pondierenden variablen Verzögerungskreises 46.
Hier ist der Offsetverzögerungswert ein Verzögerungswert, der erzeugt wird, im Falle, dass ein Weg des variablen Verzögerungskreises gewählt wird, der den minimalen Verzögerungswert erzeugt. Beispielsweise zeigt der Offsetverzögerungswert einen Verzögerungswert, der im Falle eines Weges des variablen Verzögerungskreises gewählt wird, der nicht ein Signal verzögert. Mit anderen Worten gesagt, zeigt der Offsetverzögerungswert einen Fehler in der Verzögerungszeit von einem Verzögerungseinstellwert des variablen Verzögerungskreises 46. Es ist möglich, den Fehler in der Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46 zu reduzieren, indem die Zeitpunktvergleichseinheit 44 mit dem empfangenen Signal beliefert wird, das um den Offsetverzögerungswert des entsprechenden variablen Verzögerungskreises 46 durch das Verzögerungselement 42 verzögert ist.
Jedes Verzögerungselement 42 hat im Wesentlichen die gleichen Eigenschaften wie die des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises 46 und ist ein variabler Verzögerungskreis zum Einstellen, wobei eine Verzögerungsgröße bzw. ein Verzögerungswert eines Verzögerungsweges des Verzögerungselementes 42, das die minimale Verzögerung erzeugt, im Wesentlichen die gleiche wie die des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises 46 ist. Das Verzögerungselement 46 verzögert das empfangene Signal um den Offsetverzögerungswert des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises 46 unter Verwendung des Verzögerungsweges, der die minimale Verzögerung des variablen Verzögerungskreises zur Einstellung erzeugt.
Beispielsweise wird das Verzögerungselement 42 von einem Material und einem Prozess hergestellt, die denen des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises 46 entsprechen. Durch Verwendung eines variablen Verzögerungskreises zum Einstellen, der die gleichen Eigenschaften wie die des korrespondieren variablen Verzögerungskreises 46 aufweist, als das Verzögerungselement 42, ist es möglich, genau einen Verzögerungswert zu erzeugen, der der gleiche wie der Offsetverzögerungswert des variablen Verzögerungskreises 46 ist. Darüber ist es selbst in dem Fall möglich, dass der Offsetverzögerungswert des variablen Verzögerungskreises 46 entsprechend einer Temperaturveränderung variiert, die Änderung zu absorbieren, indem das Verzögerungselement 42 mit den gleichen Eigenschaften verwendet wird.
Jede der Zeitpunktvergleichseinheiten 44 detektiert einen Wert des von dem Verzögerungselement 42 zu dem Zeitpunkt des von dem korrespondierenden variablen Verzögerungskreises 46 empfangenen Abtastsignals ausgegebenen Signals und liefert der logischen Vergleichseinheit 34 den Wert über die Einstelleinheit 50. Die logische Vergleichseinheit 34 vergleicht den von der Zeitpunktvergleichseinheit 44 empfangenen Wert mit dem von der Mustererzeugungseinheit 12 erzeugten Erwartungswert. Die in Zusammenhang mit der 1 beschriebene Bestimmungseinheit 16 bestimmt über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung 200 auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses der logischen Vergleichseinheit 34.
Durch die obigen Operationen detektiert das Testgerät 100 den Wert des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 200 mittels des Abtastsignalbündels und bestimmt über Gut/Schlecht der elektronischen Vorrichtung 200. Als Nächstes wird die Einstellung der Zeitpunkte bzw. des Zeitverlaufs der Vielzahl von Abtastimpulsen unter Bezugnahme auf das Mehrabtastsignal-Gerät 30 beschrieben.
Im Falle des Einstellens des Zeitverlaufs des Mehrabtastsignal-Gerätes 30, das die Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt, liefert die Takterzeugungseinheit 70 ein Signal zum Einstellen, wobei der Wert des Signals zu dem Zeitpunkt variiert, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll. Mit anderen Worten gesagt liefert die Takterzeugungseinheit 70 ein Einstellsignal zum Einstellen eines Verzögerungswertes für jeden der variablen Verzögerungskreise 46. In diesem Fall erzeugt die Mustererzeugungseinheit 12 ein Signal zum Erzeugen des Einstellsignals. Die Takterzeugungseinheit 70 erzeugt das Einstellsignal synchron mit dem Strobesignal, das an das Mehrabtastsignal-Gerät 30 geliefert wird.
Die Takterzeugungseinheit 70 kann ein Einstellsignal erzeugen, dessen Wert an einem bestimmten Zeitpunkt genau variiert, da die Takterzeugungseinheit 70 das Einstellsignal unter Verwendung des Linearisierungsspeichers 24 und des variablen Verzögerungskreises 22 (ein variables Einstellsignalerzeugungsverzögerungskreis), die wie oben beschrieben kalibriert sind, erzeugt. Zuerst liefert die Takterzeugungseinheit ein Einstellsignal zum Setzen eines Verzögerungswertes des variablen Verzögerungskreises 46-1, der die erste Stufe der kaskadiert verbundenen variablen Verzögerungskreise 46 ist. Mit anderen Worten gesagt liefert die Takterzeugungseinheit 70 ein Einstellsignal, dessen Wert zu einem Zeitpunkt entsprechend der für den variablen Verzögerungskreis 46-1 zusetzenden Verzögerungsgröße variiert. Das Signal zum Einstellen wird durch eine Verzögerungsgröße bzw. einen Verzögerungs wert verzögert, der im Wesentlichen der gleiche ist, wie der Offsetverzögerungswert des variablen Verzögerungskreises 46, durch die Vielzahl der Verzögerungselemente 42 und wird an die Zeitpunktvergleichseinheit 44 geliefert.
Eine Zeitpunktvergleichseinheit 44-1 detektiert einen Wert des Einstellsignals unter Verwendung des von dem variablen Verzögerungskreis 46-1 gelieferten Abtastsignals und vergleicht somit den Zeitpunkt des Veränderungspunktes des Einstellsignals mit dem Zeitpunkt des Abtastsignals. Die Einstelleinheit 50 setzt eine Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46-1 auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses der Zeitvergleichseinheit 44-1.
Die Takterzeugungseinheit 70 erzeugt Einstellsignale sukzessiv an einer Mehrzahl von Zeitpunkten, bei denen eine Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll. Die Einstelleinheit 50 setzt Verzögerungszeiten al der variablen Verzögerungskreise 46 in aufeinander folgender Weise, um mit dem variablen Verzögerungskreis 46 der ersten Stufe zu beginnen, auf der Basis jedes der Einstellsignale, die an der Mehrzahl von Zeitpunkt erzeugt werden und stellt somit den Zeitverlauf des Abtastsignalerzeugungskreises 40 ein, der jedes Abtastsignal erzeugt.
Die Einstelleinheit 50 umfasst einen Vergleichsergebnisauswahlkreis 52, einen Ausfallzähler 56 und ein Einstellmodul 58. Der Vergleichsergebnisauswahlkreis 52 wählt ein Vergleichsergebnis der Zeitpunktvergleichseinheit 44 entsprechend dem variablen Verzögerungskreis 46, dessen Verzögerungszeit eingestellt werden soll, aus den Vergleichsergebnissen der Vielzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten 44 aus. Die Einstelleinheit 50 stellt die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46 ein, so dass der Zeitpunkt des von dem variablen Verzögerungskreis 46 ausgegebenen Abtastsignals mit dem Veränderungspunkt des Wertes des Einstellsignals übereinstimmt, das auf der Grundlage des ausgewählten Vergleichsergebnisses eingestellt werden soll.
Beispielsweise variiert die Einstelleinheit 50 die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46, der eingestellt werden soll, und setzt die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46, der auf die Verzögerungszeit eingestellt werden soll, bei der die Zeitpunktvergleichseinheit 44 bestimmt, dass der Zeitpunkt des Abtastsignals, das von dem einzustellenden variablen Verzögerungskreis 46 ausgegeben wird, im Wesentlichen mit dem Zeitpunkt des Einstellsignals übereinstimmt. Beispielsweise variiert das Einstellmodul 58 sequentiell die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46. Weiterhin liefert die Takterzeugungseinheit 70 das Signal zum Einstellen, jedes Mal, wenn die Einstelleinheit 50 die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46 variiert.
Weiterhin kann die Takterzeugungseinheit 70 das Einstellsignal mehrfach ausgeben, jedes Mal, wenn das Einstellmodul 58 die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 variiert. In diesem Fall liefert der variable Verzögerungskreis 46 das Abtastsignal mehrmalig entsprechend den Signalen zum Einstellen und die Zeitpunktvergleichseinheit 44 detektiert den Wert des Einstellsignals entsprechend jedem der Abtastsignale. Der Vergleichsergebnisauswahlkreis 52 liefert an den Ausfallzähler 56 eine Vielzahl von ausgewählten Vergleichsergebnissen. Der Ausfallzähler 56 zählt ein oder beide von wie viel Malen der Wert des Einstellsignals detektiert wird bevor und nachdem der Wert des Einstellsignals variiert auf der Grundlage der empfangenen Vergleichsergebnisse.
Das Einstellmodul 58 setzt die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 auf der Grundlage des Zielergebnisses des Ausfallzählers 56. Das Einstellmodul 58 setzt beispielsweise die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 auf die Verzögerungszeit, bei der die Anzahl des Detektierens des Wertes des Einstellsignals bevor der Wert des Einstellsignals variiert, im Wesentlichen gleich der ist, nachdem der Wert des Einstellsignals variiert. Weiterhin kann das Einstellmodul 58 die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 so setzen, dass die Anzahl des Detektierens des Wertes des Einstellsignals, bevor oder nachdem der Wert des Einstellsignals variiert, im Wesentlichen die halbe Anzahl des Ausgebens des Abtastsignals des variablen einzustellenden Verzögerungskreises 46 ist. Weiterhin kann das Einstellmodul 58 die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 auf die Verzögerungszeit setzen, bei der eine Differenz zwischen den Anzahlen des Detektierens des Wertes des Einstellsignals, bevor und nachdem der Wert des Einstellsignals variiert, ein Minimum aus den variierten Verzögerungszeiten ist.
Zusätzlich variiert das Einstellmodul 58 die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 beispielsweise in einer steigenden oder einer fallenden Reihenfolge und setzt die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungs kreises 46 auf der Grundlage des Zählergebnisses entsprechend jeder Verzögerungszeit. Weiterhin kann entsprechend eines anderen Ausführungsbeispiels das Einstellmodul 58 die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises 46 beispielsweise durch ein binäres Suchverfahren variieren und die optimale Verzögerungszeit detektieren.
Es ist möglich, genau jedes Abtastsignalintervall des Abtastsignalbündels auf ein gewünschtes Intervall zu setzen, indem das oben beschriebene Setzen der Verzögerungszeit sukzessive durchgeführt wird, um mit der ersten Stufe für alle variablen Verzögerungskreise 46 zu beginnen. Weiterhin stellt das Testgerät 100 die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46 unter Verwendung eines Ausgangssignalübertragungsweges einschließlich des Treiberkomparators 20, des Verzögerungselements 42 und der Zeitpunktvergleichseinheit 44 ein, die im Falle des Durchführens des Testes an der elektronischen Vorrichtung 200 verwendet werden. Somit ist es möglich, den Einfluss eines Zeitfehlers des Ausgangssignals und des Abtastsignalbündels zu verringern, der aufgrund der Eigenschaften des Ausgangssignalübertragungsweges beim Testen der elektronischen Vorrichtung 200 erzeugt wird. Beispielsweise ist es möglich, den Einfluss der Ansprecheigenschaft der Zeitpunktvergleichseinheit 44 zu reduzieren. Weiterhin kann das Mehrabtastsignal-Gerät 30 zusätzlich eine Takterzeugungseinheit umfassen, die eine Funktion und einen Aufbau ähnlich denen der Takterzeugungseinheit 70 aufweist. In diesem Fall wird das Einstellsignal durch die in dem Mehrabtastsignal-Gerät 30 enthaltene Takterzeugungseinheit erzeugt.
5 beschreibt eine Zeitpunkteinstellung der Ab tastsignale, die von jedem variablen Verzögerungskreis 46 ausgegeben werden. Entsprechend dem vorliegenden Beispiel ist das Einstellsignal ein Signal, dessen Wert von null (0) bis eins (1) bei einem Zeitpunkt, bei dem jeder variable Verzögerungskreis 46 ein Abtastsignal ausgibt, variiert. Zuerst wird, wie in 5A gezeigt, die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46-1 der ersten Stufe variiert und eine Zeitpunkteinstellung eines Abtastsignals 1, das vom variablen Verzögerungskreis 46-1 ausgegeben wird, wird durchgeführt.
Entsprechend der Zeitpunkteinstellung des Abtastsignals 1 detektiert die Zeitpunktvergleichseinheit 44-1 einen Wert eines Signals zur Einstellung des Abtastsignals 1 eine Anzahl von Malen, wie in Bezugnahme auf 4 beschrieben. Hier wird die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46-1 so gesetzt, dass das Vergleichsergebnis der Zeitpunktvergleichseinheit 44-1 angibt, dass die Anzahl des Abtastens von null (0), die ein Wert ist, bevor der Wert des Einstellsignals variiert wird, und die Anzahl des Detektierens von eins (1), die ein Wert ist, nachdem der Wert des Einstellsignals variiert wurde, im Wesentlichen gleich sind.
Dann erzeugt die Takterzeugungseinheit 70 ein Einstellsignal, dessen Wert zum Zeitpunkt, bei dem ein Abtastsignal 2 erzeugt werden sollte, variiert. Die Einstelleinheit 50 führt eine Zeitpunkteinstellung des Abtastsignals 2 durch, wie in 5B gezeigt wird, und dann von allen Abtastsignalen in der gleichen Weise. Beispielsweise wird die Zeitpunkteinstellung so durchgeführt, dass alle Abtastsignalintervalle zu T1 werden.
6 ist ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Einstellen eines Zeitverlaufs des Abtastsignalbündels entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Das Einstellverfahren stellt einen Zeitverlauf jedes Abtastsignals des Abtastsignalbündels ein, das von dem Mehrabtastsignal-Gerät 30 in der gleichen Weise wie mit dem Mehrabtastsignal-Gerät 30 erzeugt wurde, das in Bezug auf die 1 bis 5 beschrieben wurde.
Zuerst wird in einem Schritt zur Erzeugung eines Einstellsignals S300 ein Einstellsignal erzeugt und zu einem Zeitpunkt ausgegeben, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll. Der Schritt S300 kann unter Verwendung der Takterzeugungseinheit 70 und des Treiberkomparators 20 durchgeführt werden, die in Bezug auf 3 beschrieben wurden.
Dann wird in einem Abtastsignalerzeugungsschritt S302 ein Abtastsignalbündel mit einer Vielzahl von Abtastsignalen erzeugt. Der Schritt S302 kann unter Verwendung des Abtastsignalerzeugungskreises 40 durchgeführt werden, der in Bezug auf die 4 beschrieben wurde.
Dann wird in einem Verzögerungszeitvariierungsschritt S304 eine Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises 46, der eingestellt werden soll, variiert und ein einzustellender Zeitpunkt des Erzeugens des Abtastsignals wird variiert. Der Schritt S304 kann unter Verwendung der Einstelleinheit 50, die in Bezug auf 4 beschrieben wurde, durchgeführt werden.
Dann wird in einem Wertdetektierschritt S306 ein Wert des Einstellsignals jedes Abtastsignals, dessen Erzeugungszeitpunkt variiert wird, detektiert. In dem Schritt S306 kann der Wert des Einstellsignals jedes Erzeugungszeitpunkts eine Anzahl von Malen detektiert werden, wie zuvor beschrieben wurde. Der Schritt S306 kann unter Verwendung der Zeitpunktvergleichseinheit 44, wie in Zusammenhang mit 4 beschrieben, durchgeführt werden.
Dann wird in einem Verzögerungswertsetzschritt S308 ein Verzögerungswert des variablen Verzögerungskreises, der eingestellt werden soll, auf der Grundlage des im Schritt S306 detektierten Wertes gesetzt. Der Schritt S308 kann unter Verwendung der Einstelleinheit 50, die in Bezug auf 4 beschrieben wurde, durchgeführt werden.
Dann wird in einem Bestimmungsschritt S310 bestimmt, ob der Verzögerungswert für alle variablen Verzögerungskreise 46 bestimmt ist oder nicht. Im Falle, dass der Verzögerungswert für alle die variablen Verzögerungskreise 46 gesetzt ist, ist die Prozedur beendet. Im Fall, dass der Verzögerungswert nicht für alle variablen Verzögerungskreise 46 gesetzt ist, wird ein Verzögerungswert des Einstellsignals entsprechend dem als nächstes einzustellenden variablen Verzögerungskreis 46 gesetzt und die Prozesse nach Schritt S300 bis S310 werden wiederholt. Entsprechend dem vorliegenden Einstellverfahren ist es möglich, genau den Zeitverlauf jedes Abtastsignals der Abtastsignalerzeugung einzustellen.
Wie es aus der obigen Beschreibung offensichtlich ist, ist es entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich, ein Abtastsignalbündel zu erzeugen, bei dem ein Zeitverlauf jedes Abtastsignals eines Abtastsig nalbündels genau gesteuert wird. Daher ist es möglich, eine elektronische Vorrichtung genau zu testen.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von beispielhaften Ausführungsformen beschrieben wurde, sollte verstanden werden, dass die Fachleute viele Änderungen und Ersetzungen vornehmen können,, ohne den Geist und den Schutzumfang der vorliegenden Erfindung, der nur durch die beigefügten Ansprüche definiert ist, zu verlassen.
Zusammenfassung der Offenbarung
Es ist ein Abtastsignalbündelgerät zur Erzeugung eines Abtastsignalbündel mit einer Vielzahl von Abtastsignalen vorgesehen, das eine Takterzeugungseinheit, die zur Erzeugung eines Einstellsignals zu einem Zeitpunkt, bei dem jedes der Vielzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, geeignet ist, eine Abtastsignalerzeugungseinheit zum Erzeugen der Vielzahl von Abtastsignalen und ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitverlaufs des Abtastsignalerzeugungskreises umfasst, der jedes der Abtastsignale auf der Grundlage des Einstellsignals erzeugt.
(4)

Claims

Mehrabtastsignal-Gerät zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen, umfassend: eine Takterzeugungseinheit, die ein Signal zum Einstellen bei einem Zeitpunkt, an dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, erzeugen kann; einen Abtastsignalerzeugungskreis zum Erzeugen der Mehrzahl von Abtastsignalen; und ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitpunktes des Erzeugens jedes der Abtastsignale durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage des Einstellsignals.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Takterzeugungseinheit die Signale zum Einstellen sequentiell bei der Mehrzahl von Zeitpunkten erzeugt, bei denen die Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll und das Einstellmodul einen Zeitverlauf des Erzeugens des entsprechenden Abtastsignals durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage jedes der Einstellsignale, die an der Mehrzahl von Zeitpunkten erzeugt werden, einstellt.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 2, bei dem der Abtastsignalerzeugungskreis eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen variablen Verzögerungskreise umfasst, von denen jeder ein Abtastsignal empfängt, das empfangene Abtastsignal um eine vorbestimmte Zeit verzögert und das Abtast signal sequentiell als Abtasttakt ausgibt und die Einstelleinheit eine Verzögerungszeit des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises sequentiell auf der Grundlage jedes der Einstellsignale einstellt.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 3, bei dem die Takterzeugungseinheit das Einstellsignal synchron mit dem Abtastsignal erzeugt.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 4, weiterhin umfassend: eine Mehrzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten, von denen jede vorgesehen ist, um einem der variablen Verzögerungskreise zu entsprechen und von denen jede einen Zeitpunkt des von dem korrespondierenden variablen Verzögerungskreis ausgegebenen Abtastsignals mit dem Zeitpunkt des Einstellsignals vergleicht, wobei die Einstelleinheit die Verzögerungszeit jedes der variablen Verzögerungskreise auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses der entsprechenden Zeitpunktvergleichseinheit einstellt.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 5, bei dem die Einstelleinheit die Verzögerungszeit des Verzögerungskreises, dessen Verzögerungszeit eingestellt werden soll, variiert und die Verzögerungszeit des einzustellenden variablen Verzögerungskreises auf die Verzögerungszeit setzt, bei der die Zeitpunktvergleichseinheit bestimmt, dass der Zeitpunkt des von dem einzustellenden variablen Verzögerungskreises und der Zeitpunkt des Einstellsignals im Wesentlichen gleich sind.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 6, bei dem der variable Verzögerungskreis das Abtastsignal eine Anzahl von Malen bei jeder durch die Einstelleinheit variierten Verzögerungszeit ausgibt, die Takterzeugungseinheit das Einstellsignal erzeugt, dessen Wert bei dem Zeitpunkt, bei dem der eingestellte variable Verzögerungskreis das Abtastsignal eine Anzahl von Malen ausgeben soll, variiert, die Zeitpunktvergleichseinheit einen Wert des Einstellsignals unter Verwendung der eine Anzahl von Malen ausgegebenen Abtastsignale detektiert, und die Einstelleinheit die Verzögerungszeit des variablen Verzögerungskreises auf die Verzögerungszeit setzt, bei der die Anzahl von Malen des Detektierens durch die Zeitpunktvergleichseinheit des Wertes des Einstellsignals, bevor der Wert des Einstellsignals variiert wird, und desjenigen, nachdem der Wert des Einstellsignals variiert wurde, im Wesentlichen gleich sind.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 7, bei dem die Einstelleinheit umfasst: eine Vergleichsergebnisauswahleinheit zum Auswählen eines Vergleichsergebnisses der Vergleichseinheit entsprechend dem einzustellenden variablen Verzögerungskreise aus den Vergleichsergebnissen der Vielzahl von Zeitpunktvergleichseinheiten, und einen Ausfallzähler zum Zählen der Anzahl von Malen des Detektierens des Wertes des Einstellsignals, bevor der Wert des Einstellsignals variiert wird und nachdem der Wert des Einstellsignals variiert wurde.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 5, weiterhin umfassend: eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen Verzögerungselementen, von denen jedes vorgesehen ist, um mit einem der Mehrzahl von variablen Verzögerungskreisen zu korrespondieren, das Einstellsignal um einen Offsetverzögerungswert des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises zu verzögern und an die korrespondierende Zeitpunktvergleichseinheit das Einstellsignal zu liefern.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 9, bei dem jedes der Verzögerungselemente Eigenschaften aufweist, die im Wesentlichen die gleichen wie die des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises sind, und das Einstellsignal um den Offsetverzögerungswert unter Verwendung eines Verzögerungsweges verzögert, der die minimale Verzögerung des variablen Verzögerungskreises zum Einstellen erzeugt, indem ein Verzögerungswert des Verzögerungsweges, der die minimale Verzögerung erzeugt, im Wesentlichen der gleiche ist wie ein Verzögerungswert eines Verzögerungspfades, der die minimale Verzögerung des korrespondierenden variablen Verzögerungskreises erzeugt.
Mehrabtastsignal-Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Takterzeugungseinheit einen variablen Einstellsignalerzeugungsverzögerungskreis zum Verzögern des Einstellsignals um einen gewünschten Verzögerungswert und zum Ausgeben desselben und einen linearisierenden Speicher zum Steuern eines Verzögerungswertes des variablen Einstellsignalerzeugungsverzögerungskreises umfasst.
Testgerät zum Testen einer elektronischen Vorrichtung, umfassend: eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Testmusters zum Testen der elektronischen Vorrichtung; einen Musterformatierer zum Formatieren des Testmusters und Liefern desselben an die elektronische Vorrichtung; und eine Bestimmungseinheit zur Gut/Schlecht-Bestimmung der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Ausgangssignals, das von der elektronischen Vorrichtung entsprechend dem Testmuster ausgegeben wird, wobei die Bestimmungseinheit ein Mehrabtastsignal-Gerät zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels mit einer Mehrzahl von Abtastsignalen zum Detektieren eines Wertes des Ausgangssignals aufweist, und das Mehrabtastsignal-Gerät umfasst: eine Takterzeugungseinheit, die ein Einstellsignal zu einem Zeitpunkt, bei dem jedes der Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll, erzeugen kann; einen Abtastsignalerzeugungskreis zum Erzeugen der Mehrzahl von Abtastsignalen; und ein Einstellmodul zum Einstellen eines Zeitverlaufs des Erzeugens jedes der Abtastsignale durch den Abtastsignalerzeugungskreis, auf der Grundlage des Einstellsignals.
Testverfahren zum Einstellen eines Zeitpunktes zur Erzeugung jedes einer Mehrzahl von Abtastsignalen, die in einem Abtastsignalbündel enthalten sind, umfassend: einen Einstellsignalerzeugungsschritt zum Erzeugen eines Einstellsignals zu einem Zeitpunkt, bei dem jedes einer Mehrzahl von Abtastsignalen erzeugt werden soll; einen Abtastsignalerzeugungsschritt zum Erzeugen der Mehrzahl von Abtastsignalen; und einen Einstellschritt zum Einstellen eines Zeitpunktes der Erzeugung jedes der Abtastsignale in dem Abtastsignalerzeugungsschritt auf der Grundlage des Einstellsignals.