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Die
Erfindung bezieht sich auf eine Übertragungsvorrichtung
und ein Übertragungsverfahren
für Eichdaten
eines Halbleiter-Testgeräts
zur Eichung des Testgeräts
mit einer verkürzten Übertragungszeit und
einer geringeren benötigten
Dateigröße für die Eichdaten.
Die Eichdaten werden mit Hilfe von Steuerdateien durch eine Steuereinrichtung
an eine Zeitverzögerungseinrichtung übertragen.
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Ein
Halbleiter-Testgerät
umfaßt
eine Vielzahl von Funktionen und Meßstiften. Um die Genauigkeit der Übertragungs-
und Testzeit für
jeden Meßstift
zu verbessern, werden vor dem Test eines zu testenden Prüflings die
Testfunktionen für
jeden einzelnen Meßstift
geeicht. Die zuvor beschriebene Eichung wird gewöhnlich durchgeführt, nachdem
die entsprechende Eichdaten-Datei übertragen worden ist.
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7 zeigt beispielhaft die
Eichung eines herkömmlichen
Halbleiter-Testgeräts.
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Das
Halbleiter-Testgerät
umfaßt
für einen
zu testenden Prüfling
(Device Under Test – DUT) 1 mehrere
Treiber 13, 23 und 33. Dem Treiber 13 ist
eine veränderbare
Verzögerungsschaltung 11 zur
zeitlichen Verschiebung eines Taktsignals vorgeschaltet. Mit Hilfe
eines vorbestimmten Wertes wird durch ein Register (VD-Register) 12 der
Verzögerungswert
an die Verzögerungsschaltung 11 vorgegeben.
Für die weiteren
Meßstifte
P2 – Pn
ist der Aufbau identisch. Bezüglich
des Meßstiftes
P2 ist eine veränderbare Verzögerungsschaltung 21 und
ein Register 22 vorgesehen. Zum Testen des Meßstiftes
Pn ist eine veränderbare
Verzögerungsschaltung 31 und
ein Register 32 vorhanden. Die Eichdaten eines jeden Meßstiftes
P1, P2 – Pn
werden an das entsprechende Register 12, 22 – 32 angelegt.
Für jeden
Meßstift
wird entsprechend das Taktsignal zeitlich verzögert.
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Des
weiteren weist das Halbleiter-Testgerät eine Mehrfach-Meßstift-Testfunktion
auf, um die Treiber zum Testen der Meßstifte sehr schnell und zudem komplex
ansteuern zu können.
Im Mehrfach-Meßstift-Testmodus
wird an die Treiber des Halbleiter-Testgeräts gleichsam ein komplexes
Hochgeschwindigkeits-Treibermuster angelegt.
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Zum
Einstellen dieser Mehrfach-Meßstift-Testfunktion
sind, wie in 7 gezeigt,
zusätzliche
Register (MX-Register) 27, 37 vorgesehen. Ist beispielsweise
für den
zweiten Meßstift
P2 der Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt, so unterbindet das Gatter (UND-Gatter) 26 das
Taktsignal für
P2 und der Ausgang des Treibers 23 ist demzufolge ebenfalls deaktiviert.
Das ODER-Gatter 15 führt
eine logische ODER-Verknüpfung zwischen
dem Taktsignal für
P1 und dem Taktsignal für
P2, welches über
das UND-Gatter 14 an das ODER-Gatter 15 angelegt
ist, durch. Der Treiber 13 wird somit entweder durch das Taktsignal
für P1
oder durch das Taktsignal für
P2 aktiviert. Das Taktsignal für
P2 kann daher über
den Treiber 13 an den zu testenden Prüfling 1 angelegt werden.
Somit wird zwischen einem Taktsignal eines geradzahligen Meßstiftes
und einem Taktsignal eines ungeradzahligen Meßstiftes eine logische ODER-Verknüpfung durchgeführt und
das Ergebnis dieser ODER-Verknüpfung an
den ungeradzahligen Meßtstift
ausgegeben.
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Zur
Durchführung
dieser Mehrfach-Meßstift-Testfunktion
sind lediglich für
die geradzahligen Meßstifte
P2, Pn entsprechende Register (MX-Register) 27, 37 vorhanden.
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Der
Inhalt eines Eichdaten-Speichers 2 wird an die zuvor erwähnten Register
(VD-Register) 12, 22 und 32 übermittelt,
wodurch diese eingestellt werden. Diese Eichdaten sind aufgrund
der unterschiedlichen Gatterroute bzw. der unterschiedlichen Übertragungsschaltung
zu jedem Meßstift
für den
Mehrfach-Meßstift-Testmodus
und den Normal-Testmodus unterschiedlich. Daher muß der Eichdaten-Speicher 2 jeweils
für jeden
Meßstift
unterschiedliche Eichdaten PV und NV des Normal-Testmodus bzw. des
Mehrfach-Meßstift-Testmodus
aufweisen. Durch die Kombination dieser unterschiedlichen Eichdaten NV
und PV wird die Anzahl der erforderlichen Eichdaten sehr hoch, so
daß in
dem Eichdaten-Speicher 2 eine sehr große Menge an unterschiedlichen
Eichdateien F1, F2 – Fm
gespeichert werden müssen.
Der Eichdaten-Speicher 2 benötigt dementsprechend eine Speicherkapazität von n × m × x (bit),
wobei n die Anzahl der Meßstifte,
m die Anzahl der Eichdateien und x die Wortslänge der Eichdaten bezeichnen.
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Die
Erzeugung der Eichdaten wird nachfolgend unter Bezugnahme auf 8 erläutert, die beispielhaft die
Benutzerprogrammierung eines bekannten Halbleiter-Testgeräts darstellt.
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Zunächst werden
innerhalb der Programmphase TEST 1 die Meßstifte P1-n in den Normal-Testmodus
gesetzt. Aufgrund der entsprechend eingestellten Gatterroute und Übertragungsschaltung
zu jedem Meßstift
(vgl. 7) wird in dieser
Programmphase TEST 1 die Eichdatei 1 erzeugt. Das heißt, daß für jeden
Meßstift
die Eichung innerhalb dieser Programmphase durchgeführt wird.
Nach erfolgter Eichung wird mit Hilfe der CALL CAL-Routine die Eichdatei
Datei 1 für
sämtliche
Eichdaten der einzelnen Meßstifte
erzeugt. Anschließend
wird in der Programmphase TEST 2 der Meßstift P2 in den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt, wobei die anderen Meßstifte
weiterhin in dem Normal-Testmodus verbleiben. Da die Gatterroute
und Übertragungsschaltungen
zu den Meßstiften
von denen innerhalb der ersten Programmphase TEST 1 abweichen, ist
die Erzeugung einer weiteren Eichdatei notwendig. Daher wird in
dieser Programmphase die Eichdatei Datei 2 erzeugt. Es
sei angenommen, daß in
der Programmphase TEST m der Meßstift 2 und
der Meßstift n
in den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt sind, wobei sämtliche
anderen Meßstifte
in dem Normal-Testmodus verbleiben. Die Gatterroute und die Übertragungsschaltung
zu jedem einzelnen Meßstift ist
wiederum von denen innerhalb der Programmphasen TEST 1 und TEST
2 unterschiedlich. Wahlweise kann auch angenommen werden, daß mit jeder
weiteren Programmphase ein zusätzlicher
geradzahliger Meßstift
in den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt wird. Da jeweils die entsprechende Gatterroute bzw. Übertragungsschaltung
zu den einzelnen Meßstiften
von denen der vorhergehenden Programmphasen abweicht, müssen zusätzliche
Eichdateien mit den veränderten
Schaltungsbedingungen gerecht werdenden Eichdaten erzeugt werden.
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Die
Anzahl m der in dem Eichdaten-Speicher 2 vorhandenen Eichdateien
steigt mit der Anzahl der einzelnen in 8 gezeigten Programmphasen. Jede Programmphase
wird jeweils mit einer Testprozedur mit den entsprechenden Eichdaten
abgeschlossen.
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Bei
dem in 8 gezeigten Beispiel
sei weiterhin angenommen, daß in
der Programmphase TEST m+1 wieder die Meßstifte P1-n in den Normal-Testmodus
gesetzt werden. Dementsprechend stimmt die Gatterroute für die einzelnen
Taktsignale sowie die Schaltungsbedingungen mit denen in der ersten
Programmphase TEST 1 überein.
Eine erneute Eichung muß daher
nicht durchgeführt
werden und der Inhalt der ersten Eichdatei 1 kann an jedes Register 12, 22, 32 übertragen
werden. Das heißt,
daß in dieser
Programmphase lediglich eine Übertragung der
Eichdateien stattfindet. In der Programmphase TEST m+2 werden wiederum
die Meßstifte
P1-n in den Normal-Testmodus gesetzt. Wiederum stimmen die Schaltungsbedingungen
für die Übertragung
der Daten zu jedem Meßstift
mit denen der ersten Programmphase TEST 1 überein und die Eichdaten sind mit
den gerade übertragenen
Daten identisch. In diesem Fall müssen die Eichdaten wiederum
nicht durch das Benutzerprogramm erzeugt und übertragen werden. Wird die Übertragung
der Eichdaten jedoch trotzdem in diesem Programm aufgerufen, ist
dies der Leistungsfähigkeit
und Schnelligkeit des Benutzerprogramms abträglich. Dieser nachteilige Effekt ist
durch den Aufruf der CALL CAL-Routine in der Programmphase TEST
m+2 unvermeidbar. Die passenden Eichdateien werden erneut übertragen,
obwohl die den eingestellten Schaltungsbedingungen entsprechenden
Eichdaten bereits an den einzelnen Verzögerungsschaltungen 11, 21 und 31 anliegen.
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9 zeigt den Algorithmus
dieser bekannten CALL CAL-Routine.
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Zunächst überprüft der Algorithmus,
ob bereits eine Eichdatei desselben Namens existiert. Ist dies der
Fall, so werden die entsprechenden Eichdaten dieser Eichdatei an
die Register übertragen.
Besteht noch keine Eichdatei desselben Namens, so wird die Eichung
durchgeführt
und eine entsprechende Eichdatei erzeugt. Im Vergleich zur Übertragungszeitder
Eichdatei benötigt
der Eichvorgang gewöhnlich
eine längere
Zeit. Nach der Übertragung
der Eichdaten endet die CALLCAL-Routine.
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In
der
DE 36 37 145 A1 wird
eine Schaltungsanordnung zur raschen Synchronisierung einstellbarer
Verzögerungsschaltungen
für ein
Mehrkanal-Schaltungsprüfgerät beschrieben,
bei der ein Taktimpuls, der das Ende eines vorgegebenen Signalweges
im Prüfgerät erreicht
hat, dazu verwendet wird, den nächsten
Taktimpuls in einem Taktimpulsgenerator auszulösen, so daß oszillierende oder sich wiederholende
Taktimpulse entstehen, deren Frequenz von der Laufzeit in dem betreffenden
Signalweg abhängt.
Diese Frequenz wird mit einer Referenzfrequenz verglichen und die
Verzögerung
in dem betreffenden Signalweg wird solange verstellt, bis die laufzeitabhängige Frequenz
mit einer gewünschten Frequenz übereinstimmt.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Übertragungsvorrichtung
sowie ein verbessertes Übertragungsverfahren
für Eichdaten eines
Halbleiter-Testgeräts anzugeben,
bei denen sowohl die Übertragungszeit
als auch der Umfang der Eichdaten verringert werden, wenn die Eichdaten an
eine Zeitverzögerungseinrichtung
in einem Halbleiter-Testgerät übertragen
werden.
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Die
Aufgabe wird durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst.
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Gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel der
Erfindung weist ein Halbleiter-Testgerät eine Übertragungsvorrichtung
sowie einen Speicher zum Übertragen
von Eichdaten für
jeden Meßstift
auf. Die Ubertragungsvorrichtung besitzt einen Meßstift- Datenspeicher zum
Speichern der den Eichmodus für jeden
Meßstift
kennzeichnenden Daten. Zudem besitzt die Übertragungsvorrichtung einen
Eichdaten-Speicher,
der die abhängig
von dem Ausgangssignal des Meßstift-Datenspeichers
zuvor gespeicherten Eichdaten einliest. Des weiteren ist eine Schaltung
zur Erzeugung eines Eichkennzeichens vorhanden, die eine Übereinstimmung
zwischen den zu übertragenden
Eichdaten und den bereits übertragenen
vorhergehenden Eichdaten ermittelt.
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Erfindungsgemäß weist
die zuvor beschriebene Schaltung zur Erzeugung eines Eichkennzeichens
ein Exklusiv-ODER-Gatter auf, welches die von einer Tester-Steuereinheit übertragenen
Eichmodus-Daten mit den Ausgangsdaten des Meßstift-Datenspeichers vergleicht.
Zudem besitzt die Schaltung zur Erzeugung eines Eichkennzeichens
ein Flip-Flop zur Speicherung des Vergleichsergebnisses des Exklusiv-ODER-Gatters sowie
ein mit dem Ausgang des Flip-Flops und dem Ausgang des Exklusiv-ODER-Gatters
verbundenes ODER-Gatter.
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Gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel der
Erfindung weist das Halbleiter-Testgerät eine Einzelmeßstift-Steuereinheit
auf, die eine Übereinstimmung
zwischen den zu übertragenden
Eichdaten und den bereits übertragenen
vorhergehenden Eichdaten erfaßt.
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Gemäß dem erfindungsgemäßen Übertragungsverfahren
für Eichdaten
werden die Eichdaten in einem Eichdaten-Speicher gespeichert und
der Eichmodus für
jeden einzelnen Meßstift
in einem Meßstift-Datenspeicher
abgelegt. Mit Hilfe eines Eichkennzeichens wird eine Übereinstimmung
zwischen den zu übertragenden
Eichdaten und den bereits übertragenen
vorhergehenden Eichdaten erkannt. Das Eichkennzeichen wird von einer
entsprechenden Schaltung zur Erzeugung eines Eichkennzeichens ausgegeben.
Die Eichdaten für
jeden Meßstift
werden nur dann übertragen,
wenn das zuvor erwähnte
Eichkennzeichen keine Übereinstimmung angibt.
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Zudem
wird mit Hilfe einer Einzelmeßstift-Steuereinheit
der jeweilige Übereinstimmungszustand
zwischen den zu übertragenden
Eichdaten und den bereits übertragenen
vorhergehenden Eichdaten gespeichert. Wurde keine Übereinstimmung zwischen
den zu übertragenden
und den bereits übertragenden
vorhergehenden Eichdaten ermittelt, so überträgt die Einzelmeßstift-Steuereinheit
nur für denjenigen
Meßstift
die Eichdaten, für
den keine Übereinstimmung
ermittelt worden ist.
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Erfindungsgemäß umfaßt die erforderliche Speicherkapazität für die einzelnen
Eichdaten-Dateien lediglich n × (2x
+ 1) bit. Im Vergleich zu der erforderlichen Speicherkapazität von n × m × x bit
bei der bekannten Übertragungsvorrichtung
beziehungsweise dem bekannten Übertragungsverfahren
konnte somit erfindungsgemäß die erforderliche
Speicherkapazität
deutlich verringert werden. Zudem wird die Übertragung der Eichdateien
falls erforderlich automatisch ohne Aufruf einer CALL CAL-Routine
in einem Benutzerprogramm durchgeführt. Der Benutzer muß somit
die einzelnen CALL CAL-Routinen nicht mehr im einzelnen festlegen.
Das Programm sowie die Programmierung konnten somit vereinfacht
werden. Eine Eichdatei wird erfindungsgemäß nicht doppelt übertragen.
Zudem wird die Eichung nicht während
der Testphase des Prüflings
durchgeführt,
so daß die
zur Übertragung
der Eichdaten erforderliche Zeit deutlich verringert werden konnte.
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Des
weiteren kann aufgrund der Einzelmeßstift-Steuereinheit die Übertragungszeitder
Eichdaten von 4 Takt-Zyklen auf 2 Takt-Zyklen verringert werden,
da für
einen Meßstift
mit veränderten
Eichdaten weiterhin dieselbe Übertragungszeit
wie bei dem bekannten Halbleiter-Testgerät erforderlich ist, für einen Meßstift mit
unveränderten
Eichdaten jedoch nur noch die halbe Übertragungszeit im Vergleich
zu dem bekannten Halbleiter-Testgerät benötigt wird. Für den Fall,
daß die
Anzahl der Testmuster mit veränderten Eichdaten
gering ist, kann daher für
die Durchführung der Übertragung
erforderliche Zeit nahezu auf die Hälfte reduziert werden. Im Vergleich
zu dem bekannten Halbleiter-Testgerät wird somit erfindungsgemäß für die Übertragung
der Eichdaten eine deutlich geringere Zeit benötigt.
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Die
Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand
bevorzugter Ausführungsbeispiele
näher erläutert. Es
zeigen:
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1 ein Blockdiagramm eines
ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels;
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2 ein Blockdiagramm eines
zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels
mit einer Einzelmeßstift-Steuereinheit;
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3 ein Blockdiagramm einer
Alternative des in 1 gezeigten
ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels;
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4 einen beispielhaften erfindungsgemäßen Testalgorithmus;
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5 einen beispielhaften Zeitverlauf
der erfindungsgemäßen Eichdaten-Übertragung;
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6 einen beispielhaften Zeitverlauf
der Eichdaten-Übertragung
bei dem in 2 gezeigten Ausführungsbeispiel
der Erfindung mit der Einzelmeßstift-Steuereinheit;
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7 ein beispielhaftes Blockdiagramm
eines Eichsystems eines bekannten Halbleiter-Testgeräts;
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8 ein beispielhaftes Benutzerprogramm für das bekannte
Halbleiter-Testgerät
und
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9 einen beispielhaften Algorithmus
einer CALL CAL-Routine für
das bekannte Halbleiter-Testgerät.
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Die
Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf 1 anhand eines ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels
erläutert.
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Wie
in 1 gezeigt, umfaßt das erfindungsgemäße Halbleiter-Testgerät einen
Eichdaten-Speicher 200. Des weiteren ist ein Meßstift-Datenspeicher 300 vorhanden,
der für
jeden einzelnen Meßstift den
entsprechenden Eich- bzw. Testmodus, d.h. Normalmodus oder Mehrfach-Meßstift-Modus,
speichert. Eine Schaltung 400 zur Erzeugung eines Eichkennzeichens
erfaßt
eine Übereinstimmung
zwischen bereits übertragenen
vorhergehenden Eichdaten und den zu übertragenden Eichdaten.
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Der
Eichdaten-Speicher 200 umfaßt eine Speichervorrichtung 202 mit
einer Datei F1, in der die Eichdaten für sämtliche Meßstifte in den Normal-Testmodus
gesetzt sind, sowie einer Datei F2, in der die Eichdaten entsprechend
für sämtliche
Meßstifte
in den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt sind. Wie bereits anhand des bekannten Halbleiter-Testgeräts beschrieben,
können
gewöhnlich
nur die geradzahligen Meßstifte
in den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
gesetzt werden. Daher sind gewöhnlich
in der Datei F2 nur für
die geradzahligen Meßstifte
die Eichdaten für
den Mehrfach-Meßstift-Testmodus
abgelegt.
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Der
Eichdaten-Speicher 200 umfaßt einen Dekoder 201 zum
Anwählen
der einzelnen Meßstifte P1-n
sowie einen Dekoder 203 zum Anwählen der einzelnen Eichdateien
F1 und F2. Die den einzelnen Meßstiften
P1-n entsprechenden Ausgangssignale werden an die einzelnen in 7 gezeigten Register (VD-Register) 12, 22 und 32 angelegt.
Es sei angenommen, daß die
Eichdaten jeweils x bit umfassen und n die Anzahl der Meßstifte
beschreibt. In diesem Fall beträgt
die Speicherkapazität
des erfindungsgemäßen Eichdaten-Speichers 200 n × 2 × x bit.
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Der
Meßstift-Datenspeicher 300 weist
eine Speichervorrichtung 302 zur Speicherung des Testmodus,
d.h. des Normal-Testmodus bzw. des Mehrfach-Meßstift-Testmodus, für jeden
einzelenen Meßstift
P1-n auf. Ein Dekoder 301 ist zur Ansteuerung der Testmodus-Daten
für jeden
einzelnen Meßstift vorhanden.
Mittels einer Auswahlschaltung 303 werden die Daten bidirektional übertragen.
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Die
den geradzahligen Meßstiften
entsprechenden Ausgangssignale der Speichervorrichtung 302 werden
an das jeweils entsprechende Register (MX-Register) 27 – 37 angelegt.
Bezüglich
der Speichervorrichtung 302 bezeichnet in 1 N den Normal-Testmodus und P den Mehrfach-Meßstift-Testmodus.
Bei dem in 1 gezeigten
Ausführungsbeispiel
können
die in der Speichervorrichtung 302 gespeicherten Daten
bereits durch 1 bit unterschieden werden, so daß der Meßstift-Datenspeicher 300 lediglich
eine Speicherkapazität
von n bit aufweisen muß.
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Die
Schaltung 400 umfaßt
ein Flip-Flop 401. Die einzelnen Meßstifte werden entweder in
den Normal-Testmodus oder den Mehrfach-Meßstift-Testmodus gesetzt. Die
entsprechenden Meßstift-Daten werden
als Schreibdaten mit Hilfe einer Tester-Steuereinheit 500 an einen
Eingangsanschluß eines
Exklusiv-ODER-Gatters 403 angelegt. Das Exklusiv-ODER-Gatter 403 erzeugt
ein Ausgangssignal mit niedrigem Pegel, wenn seine beiden Eingangssignale übereinstimmen.
Stimmen die beiden Eingangssignale nicht überein, so erzeugt das Exklusiv-ODER-Gatter 403 ein
Ausgangssignal mit hohem Pegel, welches dann auch am Ausgangsanschluß des nachgeschalteten
ODER-Gatters 402 auftritt. Der Ausgang des ODER-Gatters 402 ist
mit dem Dateneingang des Flip-Flops 401 verbunden. An den Takt-
bzw. Triggeranschluß des
Flip-Flops 401 ist ein Freigabesignal der Tester-Steuereinheit 500 angelegt.
Ist das Freigabesignal vorhanden, so wird der an den Eingangsanschluß des Flip-Flops 401 anliegende
Signalwert an den Ausgang des Flip-Flops weitergeschoben. Der Ausgang
des Flip-Flops 401 ist zudem mit dem anderen Eingangsanschluß des ODER-Gatters 402 verbunden.
Aus diesem Grund hält
das Flip-Flop 401 einen hohen Pegel an seinem Ausgangsanschluß so lange,
bis es durch ein Eichkennzeichen-Rücksetzsignal zurückgesetzt
wird. Mit Hilfe dieser Halteoperation kann die Übereinstimmung oder Nichtübereinstimmung
zwischen den Eichdaten eines jeden Meßstifts ermittelt und erfaßt werden.
Stimmen die Eichdaten nicht überein,
so erzeugt die Schaltung 400 ein Eichkennzeichen-Signal, welches
an die Tester-Steuereinheit 500 weitergegeben wird. Wird
die Stromversorgung des Halbleiter-Testgeräts eingeschaltet, so wird in
dem Flip-Flop 401 ein vordefinierter Anfangszustand durch
Anlegen des Einschaltsignals an den Setzeingang S des Flip-Flops 401 geschaffen.
Das erzeugte Schreib-Freigabesignal wird mit Hilfe eines Verzögerungselements 501 verzögert und
an ein Gatter 503 nach Durchlaufen eines Inverters 502 angelegt,
wodurch das Gatter 503 geöffnet wird. Zu diesem Zeitpunkt
werden die Schreibdaten in den Meßstift-Datenspeicher 300 geschrieben.
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Insgesamt
ist somit erfindungsgemäß für die Übertragung
der Eichdaten lediglich eine Speicherkapazität von n × (2x + 1) bit erforderlich.
Mit Hilfe dieser berechneten Speicherkapazität können sämtliche gewünschte Kombinationen von Eichdaten
erzeugt werden. Somit kann die Speicherkapazität für die Eichdaten im Vergleich
zu der bei dem bekannten Halbleiter-Testgerät erforderliche Speicherkapazität deutlich
reduziert werden. Zudem muß die
Anzahl der Eichdateien nicht erhöht
werden, selbst wenn die Anzahl der einzelnen Programm- bzw. Testschritte (vgl. 8) erhöht wird.
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Für den in 1 gezeigten Eichdaten-Speicher 200 wird
lediglich zwischen zwei verschiedenen Testmodi unterschieden. Sollte
jedoch die Anzahl der Testmodi erhöht werden, so können entsprechend weitere
Eichdaten-Dateien hinzugefügt
werden.
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4 zeigt den entsprechenden
erfindungsgemäßen Test-Algorithmus.
Es ist nicht mehr erforderlich, daß durch den Benutzer eine CALL CAL-Routine
aufgerufen wird, so daß für den Benutzer
die Programmierung erleichtert wird. Erfindungsgemäß wird die Übertragung
der Eichdaten automatisch durch die Tester-Steuereinheit durchgeführt. Wie
in 4 gezeigt, überprüft die Tester-Steuereinheit
den Zustand des Eichkennzeichens. Ist das Eichkennzeichen gesetzt,
so werden die Eichdaten an jedes der Register übermittelt, und zwar abhängig von den
in den Meßstift-Datenspeicher
gespeicherten Daten, die für
jeden Meßstift
den gewählten
Modus, d.h. den Normal- bzw. Mehrfach-Meßstift-Testmodus festlegen.
Ist das Eichkennzeichen nicht gesetzt, so schließt daraus die Tester-Steuereinheit 500,
daß die zu übertragenden
Eichdaten bereits übertragen
werden und der Testvorgang wird sofort durchgeführt ohne die entsprechenden
Eichdaten erneut zu übertragen.
Erfindungsgemäß wurden
die Eichdaten für den
Normal-Testmodus bzw. den Mehrfach-Meßstift-Testmodus bereits zuvor
in dem Halbleiter-Testgerät
in einem Eichvorgang in den Eichdateien F1 und F2 in dem Eichdaten-Speicher 200 abgelegt.
Die Daten dieses Eichdaten-Speichers 200 sind von den einzelnen
Testschritten unabhängig
und können
daher generell verwendet werden. So können beispielsweise die bei
der Herstellung in einem Fertigungsbetrieb während eines Eichvorgangs ermittelten
Eichdaten fest abgespeichert und mit dem ausgelieferten Halbleiter-Testgerät verwendet
werden. Der Benutzer muß daher
beim Programmieren keine CALL CAL-Routine mehr programmieren bzw.
definieren, da erfindungsgemäß die Übertragung
der Eichdaten automatisch erfolgt. Die Erstellung des Programms wird
somit deutlich vereinfacht und eine doppelte Übertragung der Eichdaten wird
vermieden. Da der Eichvorgang nicht während des Testens des Prüflings ausgeführt wird,
kann die zur Übertragung
der Eichdaten erforderliche Zeit weiterhin deutlich verringert werden.
Da bei dem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel
dieselben Eichdaten nicht doppelt übertragen werden, wird zusätzlich die Übertragungszeit
verringert. Bei dem in 1 gezeigten
ersten Ausführungsbeispiel
werden die Eichdaten für sämtliche
Meßstifte übertragen,
wenn die Eichdaten von den zuvor übertragenen Eichdaten abweichen. Es
ist jedoch erfindungsgemäß auch möglich, nur
die Eichdaten desjenigen Meßstiftes
zu übertragen,
dessen Eichdaten von den zuvor übertragenen
Eichdaten abweichen. Dies wird mit Hilfe der nachfolgend beschriebenen
Variante der Erfindung realisiert.
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3 zeigt eine aus der in 1 gezeigten Schaltung weiterentwickelte
Schaltung, wobei entsprechende Schaltungselemente durch identische Bezugszeichen
beschrieben sind. Zusätzlich
ist ein Übertragungs-Steuerteil 610 vorgesehen,
das das Ausgangssignal des Eichdaten-Speichers 200 an das
jeweils entsprechende Register 12, 32 anlegt. Das Übertragungs-Steuerteil 610 wird
durch ein Eich-Übertragungssignal
der Tester-Steuereinheit 500 angesteuert.
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Wird
durch die Tester-Steuereinheit 500 eine beliebige Meßstift-Adresse
vorgegeben, so werden die entsprechenden Eichdaten von dem Eichdaten-Speicher 200 ausgegeben.
Das Übertragungs-Steuerteil 610 legt
jeweils abhängig
von dem gewünschten
Meßstift
ein Schreib-Datensignal WD, ein Schreib-Freigabesignal WE und ein
Schreib-Befehlssignal WC an die Register 12, 32 an,
wodurch die gewünschten
Eichdaten an das gewünschte
Register 12, 32 weitergegeben werden. Anschließend wird
ein Adressen-Weiterschaltungssignal INC an einen Zähler 620 angelegt,
woraufhin dieser die aktuelle Meßstift-Adresse erhöht und eine
neue Meßstift-Adresse
ausgibt. Der Übertragungsvorgang
der zuvor beschriebenen Eichdaten wird von der ersten bis zur letzten
Meßstift-Adresse,
beispielsweise von Meßstift 1 bis
Meßstift 100,
einzeln wiederholt wird und endet anschließend.
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Bei
der in 3 gezeigten Schaltung
sind getriggerte Bauteile 640 und 650 zur Abstimmung des Übertragungs-Steuerteils 610 mit
dem Eichdaten-Speicher 200 vorgesehen. Ein Dekoder 630 bildet über das
mit dem Eich-Übertragungssignal
getriggerte Bauteil 650 die Schnittstelle zwischen der Eichkennzeichen-Schaltung 400 und
dem Eichdaten-Speicher 200 zur Auswahl der Eichdatei-Adresse.
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5 zeigt den entsprechenden
Signalverlauf während
der Übertragung
der Eichdaten.
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Das
Ausgangssignal des Zählers 620 legt
die Meßstift-Adresse
fest. Mit dem Ausgangssignal des Meßstift-Datenspeichers 300 wird
der Testmodus bestimmt, so daß für jeden
Meßstift
einzeln aus dem Eichdaten-Speicher die entsprechenden Eichdaten ausgelesen
werden können.
Abhängig
von der durch den Zähler 620 vorgegebenen
Meßstift-Adresse
erzeugt das Übertragungs-Steuerteil 610 ein
entsprechendes Schreib-Daten-, Schreib-Freigabe- und Schreib-Befehls-Signal,
welches an jedes der Register 12, 32 angelegt
wird, so daß die
entsprechenden Eichdaten in das gewünschte Register (VD-Register) geschrieben
werden. Anschließend
erhöht
der Zähler 620 abhängig von
dem Adressen-Weiterschaltungssignal des Übertragungs-Steuerteils 610 die
Meßstift-Adresse.
Wie aus 5 ersichtlich,
umfaßt
die Übertragungszeit
für die
Eichdaten eines Meßstiftes 4
Takt-Zyklen.
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Nachfolgend
wird unter Bezugnahme auf 2 ein
zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel
mit einer Einzelmeßstift-Steuereinheit
beschrieben, die für
jeden Meßstift
durch das Eichkennzeichen angesteuert wird.
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Zunächst gibt
die Tester-Steuereinheit 500 für eine beliebige Meßstift-Adresse
entsprechende Eichdaten als Schreibdaten aus. In diesem Fall tritt am
Ausgang des Exklusiv-ODER-Gatters 403 das Signal auf, welches
die Übereinstimmung
bzw. Nichtübereinstimmung
zwischen den zu übertragenden Eichdaten
und den zuvor bereits übertragenen
Eichdaten kennzeichnet. Dieses Signal liegt über ein Gatter 702 an
den Datenanschluß eines
Speicherbausteins 701 an und wird mit Hilfe eines Freigabesignals
in den Speicher 701 geschrieben. Ist das Schreib-Freigabe-Signal
nicht mehr vorhanden, liegt das Signal an einem Eingangsanschluß eines UND-Gatters 710 an.
An dem anderen Eingangsanschluß des
UND-Gatters 710 liegt das Eich-Übertragungssignal der Tester-Steuereinheit 500 an.
Der Ausgang des UND-Gatters 710 ist
mit dem Freigabeanschluß des Übertragungs-Steuerteils 610 verbunden.
Zum Übermitteln
von Eichdaten an die Register (VD-Register) 12, 32 etc.
(vgl. 1 und 3) erzeugt die Tester-Steuereinheit 500 das
Eich-Übertragungssignal.
Kennzeichnet das Eichkennzeichen eine Übereinstimmung zwischen den
Eichdaten, d.h. liegt das am Ausgang des Exklusiv-ODER-Gatters 403 abgegriffene
Signal auf niedrigem Pegel, so wird durch das UND-Gatter 710 das
Eich-Übertragungssignal
unterdrückt
und somit ebenso die Übertragung der
Eichdaten an die Register unterdrückt, da die zu übertragenden
Eichdaten mit den bereits zuvor übertragenen
Eichdaten übereinstimmen.
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6 zeigt den Zeitverlauf
der Eichdaten-Übertragung
mit der erfindungsgemäßen Einzelmeßstift-Steuereinheit.
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Unterscheiden
sich beispielsweise für
die Adresse 1 (Kanal 1) die zu übertragenden
Eichdaten von den vorhergehenden Eichdaten, so ist es erforderlich,
diese Eichdaten für
den Meßstift 1 an
das entsprechende Register zu senden. Wie aus 6 ersichtlich, benötigt diese Datenübertragung
wie gewöhnlich
4 Takt-Zyklen. Für
den Meßstift 2 bzw.
Kanal 2 stimmen jedoch die zuvor übertragenen Eichdaten mit den
zu übertragenden
Eichdaten überein,
d.h. das Eichkennzeichen-Signal der Einzelmeßstift-Steuereinheit 700 nimmt
einen niedrigen Pegel an. In diesem Fall wird das Eich-Übertragungssignal durch
das UND-Gatter 710 unterdrückt, so daß ebenfalls die Ausgabe eines
Schreibbefehls WC von der Übertragungs-Steuereinheit 610 unterdrückt wird. Die Übertragung
der Eichdaten für
diesen Meßstift wird
sofort unterbrochen und das Weiterschaltungssignal wird erzeugt,
um auf Kanal 3 der nachfolgenden Meßstift-Adresse zu wechseln.
Wie aus 6 ersichtlich,
beträgt
die Übertragungszeit
für diesen
Kanal 2 (Meßstift 2)
daher lediglich 2 Takt-Zyklen.
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Somit
kann gemäß dem Ausgangssignal
der Einzelmeßstift-Steuereinheit 700 die Übertragungszeit
für die
Eichdaten von 4 Takt-Zyklen auf 2 Takt-Zyklen verringert werden.
Insbesondere kann die Übertragungszeit
für die
Eichdaten sämtlicher
Meßstifte halbiert
werden, wenn die Anzahl derjenigen Meßstifte, deren Eichdaten erneuert
werden müssen,
gering ist. Somit kann die Übertragungszeit
für die
Eichdaten deutlich verringert werden.
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Die
zuvor beschriebenen beiden erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiele beziehen sich
jeweils auf die Übertragung
von Eichdaten zum Eichen der Zeitverzögerung der in 7 gezeigten Treiber 13, 23 und 33.
Die erfindungsgemäßen Übertragungsschaltungen
bzw. das erfindungsgemäße Übertragungsverfahren
kann jedoch ebenso zur Einstellung der Zeitverzögerung eines Vergleichers eingesetzt
werden, der die Ausgangssignale des Prüflings in dem Halbleiter-Testgerät überprüft.
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Mit
Hilfe der zuvor beschriebenen Erfindung kann sowohl die erforderliche Übertragungszeit
als auch die Datengröße der an
eine Zeitverzögerungsschaltung
in dem Halbleiter-Testgerät
zu übertragenen
Eichdaten verringert werden.
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Abschließend sei
darauf hingewiesen, daß die
erfindungsgemäße Übertragungsvorrichtung
und das erfindungsgemäße Verfahren
zur Übertragung von
Eichdaten in einem Halbleiter-Testgerät bereits realisiert worden
sind.